1338147 -九、發明說明： f發明所屬之技術領域】 . 纟發明有關-種用於檢查呈多列配置的導電圖幸 (pattern)的圖案檢查裝置。 電S案 【先前技術】 =液晶面板中，將被稱為間極線及c 呈多列配置的第一岸、w β # ,一丄 子电固木 .,,f ΛΛ ^私θ 被稱為源極線的導電圖案呈多 ./、弟一曰進行疊層。此時，源極線與閘極線及Cs ，線交：配置。在第-層和第二層之間設置有絕緣層V: 源極線與閘極線及Cs線的電性連接。但是， 中，在絕緣層會產生微小的孔，即產生所謂的針孔2 )，故源極線與祕線及^線有時會產生電性連接（短 二° "在,不同層之間的導電圖案的短路也稱為交叉短 路，攸而¥致液晶面板動作不良和故障的原因。另外，在 交叉短路以外，有時也會產生鄰接的導線圖案電性連接的 普通短路、以及導線圖案在中間斷路的缺陷。上述的缺陷 在製造過程中需要明確判定並進行修理。 "因此’至今為止’有提出過一些用於判定這些缺陷的 技術。但是’大多數都是將電極直接接觸到導電圖案而進 行提供檢查用信號的結構。在所述的結構中，由於物理性 接觸電極的導電圖案，因此會導致導電圖案的損傷以及產 生灰塵等問題。 因此在下述專利文獻1中，揭示有一種利用靜電耦 合來判定導電圖案有無缺陷及其位置的技術。在該專利文 319637 5 1338147 獻1中，無須使電極接觸到導電圖案，即可向 ，交流電壓’同時檢查作為檢查對象的導電圖案: 交流電壓。依據上述結構’可確實防止導電圖案的以 及產生灰塵。 ' 專利文獻1 :日本特開2005·24518號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 但是，在該專利文獻！中，關於所述的交叉短 Γ定沒有具體的記載，另外，在專利文獻】t，斷路圖 *的判定以及判定其斷路位置時’檢查電極是一個 交流電㈣供電電極固定在預定的位置 ::檢=與一間的位置，有時： :此’本發明第—目的在於提供—種不必使電極接觸 '圖案而可以判定交又短路位置的圖案檢查裝置。 I另外’本發明的第二目的在於提供—種可進—步 電圖案的檢查精確度的圖案檢查裝置。 (解決課題的手段） =發明的圖案檢查裝置，是判定呈多列配置的第一導 第田道U及在與第一導電圖案交叉的方向呈多列配置的 ^導電圖案電性連接的交叉短路位置的圖案檢查裝置， 第^在於’具備有：供電電極，係與產生有交又短路的 圖安获！圖案：父又圖案之間保持微小的空間並沿該交又 西卞夕，而藉由隔著上述微小空間的靜電耦合，向交又 319637 6 1338147 圖流電愿；檢查電極，係與供電電極連動，在愈 二：：方向移動，而藉由與對向的第二導電圖荦 及控制部，係根據檢杳電極㈣感應；以 判定交叉短路的位置。…的父^電屢值的變化而 在較佳的態樣中，將供雷 個，將檢查電極在通過上=:=動方向鄰接設置兩 線上鄰接設置兩個。 電極…態樣卜還具備有輔助 動f二二。、電電極旁邊’且與該供電電極連動而移 :二向：向的導電圖案施加與供電電極所施加的交流電 [相同位準而相位相差⑽。的第二交流電麼。 本發明另一種的圖案檢查裝置’是檢查基板上呈多列 配置的導電圖案的狀態的圖案檢查裝置，其特徵在於，且 備有：第-供電電極，係與基板之間保持微小空間而移動： 主要是向對向的導電圖案施加第一交流電壓；第二供電電 極’係與第-供電電極連動而移動’主要是向對向的導電 圖案施加與m電壓相同位準而相位相差刚。的第 二交流電壓；檢查電極’係與兩個供電電極連動而移動， 亚對應對向的導電圖案感應產生的交流電壓值而❹產生 相應大小的交流電麼；以及控制部，係根據檢查電極所感 應產生的交流電壓值的變化而判斷導電圖案的狀態。 在較佳的態樣中，兩個供電電極係在導電圖案的端部 旁邊’沿配置方向移動；檢查電極係分別在兩個供電電極 的旁邊各設置-個’與該供電電極連動而移動；控制部係 319637 7 丄丄4/ ΓΪ:ί 感應產生的交流電壓值的變化，而從多個 判夂產生斷路的斷路圖案。 路圖樣中，在產生有斷路的導電圖案即斷 第二供㈣又依序配置第一供電電極、檢查電極、 一 /、、電極，並使這三個電極沿著所述斷路圖案移 ^控制部_據檢查電極所感應產生的交流電壓值的變 而判疋存在於斷路圖案上之斷路的位置。
在另一較佳的態樣中，當將呈多列配置的第一導電圖 案、以及在與第一導電圖案交叉的方向呈多列配置的第二 導電圖案隔著絕緣層進行疊層時，在第—導電圖案的配置 方向：序配置第一供電電極、檢查電極、第二供電電極， f使這三個電極沿著所述配置方向移動，且控制部係根據 檢查電極所感應產生的交流電壓值的變化，而判定與第二 導電圖案形成短路的第一導電圖案即交又圖案。 [發明效果] 在本發明的圖案檢查裝置中，電極與導電圖案係藉由 靜電耦合而電性連接。因此無須使電極接觸導電圖案而可 判定交叉短路的位置。 另外’在本發明的另一種圖案檢查裝置中，同時向導 電圖案施加互相反相的交流電壓。因此，由於面板整體的 電位大致穩定為〇,故可進一步提高導電圖案的檢查精確 度。 【實施方式】 以下’參,日，?、圖示έ兌明本發明的實施形態。在以下的說 319637 8 13-38147 明中’將用於液晶面板等而在破璃基板上呈多列配置的導 電圖案作為檢查對象。但是，只要是呈多列配置的導電圖 -案，也可以將用於液晶面板以外的裝置的導電圖案作為檢 • 查對象。
第1圖是本發明的第一實施形態的圖案檢查裝置1〇 '的概略俯視圖·>另外，第2圖是圖案檢查裝置1〇的概略側 視圖。該圖案檢查裝置是適用於判定交又短路位置情況 的圖案檢查裝置。在此，在對該圖案檢查裝置1〇進行詳細 φ說明之前，先對交叉短路進行簡單說明D 一般的液晶面板50等，是由將被稱為閘極線52的導 .電圖案呈多列配置的第一層、以及被稱為源極線54的導電 .圖案呈多列配置的第二層進行疊層而構成。第一層的閘極 線52與第二層的源極線54係相互交叉配置。在該第一層 和第二層之間設置有絕緣層56，以防止源極線54與閘極 線52的電性連接（短路）。但是，由於種種原因，在絕緣層 癱兄會產生微小的孔（針孔），通過這些針孔，源極線與閘 極線52會有產生電性連接的情況。該閘極線52和源極線 W的電性連接稱為交又短路。該交叉短路成為液晶面板扣 動作不良和故障的原因。因此，在液晶面板5〇製造過程的 步驟中，必須要明確判定該交叉短路並進行修理。 在判定上述交叉短路時，首先，從多條源極線54中判 定存在交叉短路CS的源極線54，作為交又線（交叉圖 案）54a。接著’從已經判定的交又線54a上判定存在交又 紐路cs的位置。本實施形態的圖案檢查裝置1〇係構成為 319637 9 1338147 適用於判定父叉線54a後，判定存在於該交叉線54a上的 交叉短路cs的位置。另外，關於交又線54a的判定技術， 因為後面會做詳細說明，在這裏省略詳細說明。 本實施形態的圖案檢查裝£ 1〇纟有可以沿著存在交 叉短路CS的交又線54a移動的感測器12。作為該感測器 12的移動機構，可湘衆所周知的機構，例如由馬達和 杆所構成的移動機構。感測器〗2的移動量或者是移動位置 係藉由未圖示的控制裝置取得並儲存。 兩個供電電極 •从旦电伐10、大致呈 十字狀設置於感測器12。也就是說，兩個供電電極Μ、Μ 係設在源極線54的長度方向（第1圖中的χ方向），兩個檢 查電極18、20係設在源極線54的配置方向（第！圖中的γ !向)而分別鄰接。從第2圖可得知，該感測器12隔著— 疋的空間，位於液晶面板5〇的上側。從該感測器U到 晶50的距離為設置在該感測器12的四個電極μ, 2〇和源極線54及閘極線52能_電麵合的㈣。、 =供電電極14、16是用於向交叉線％施 =極’且連接在交流電源22。在判定交又短路cj 為了使這兩個供電電極14、16 進行感測器U的位置調整。由於交叉線54:^ 極MW相對向，兩者靜電耗合。而且，由此=:電電 電極14、16向交叉線54a的施加交流電壓。、攸供電 兩個檢查電極18、2〇是用於檢 生的交流電壓的雷炼。& & , ]極線52感應產 電[的電極。這兩個檢查電極18、2〇藉由與對向 319637 10 1338147 的閘極線52的靜電輕合，對應該閘極線52感應產生的交 μ電壓值而感應產生相應大小的交流電壓。由檢查電極 18、20感應產生的交流電壓通過放大器26而放大，作為 檢出電壓而被取得。控制部將該檢出電壓值與感測器U 的位置資訊附加_並儲存。並且，控制部根據所取得 檢出電壓值的變化來判定交叉短路c s的位置。 胆地說明關於判定交又短路cs的位置的情況的過 程。另外，第1圖下側係圖示伴隨感測器12 電壓值的變化情況。 細出 在'定交又短路CS的位置時’為了將兩個供電電極 、16定位在交又線54a的延長線上，而確 的位置，使感測器12沿著該交叉線54a移動。換十之 供電電極14、16保持為接近交叉線54a而移動。、㈣ :電極㈣與交又線54a之間的空間作為電容而發揮； 用、者該空間在交叉線54a感應產生交流電壓。感 =交流電壓經由交叉短路cs也會感應產生在和^又 線54a產生有交叉短路的閘極線52a。 的閘Si面，/沒有和交又線…產生交叉短路的其他 =:二由絕緣層56而與交叉線絕緣，故基 :上不會感應產生交流電座。因此，隨著感測H 12的移 動，檢查電極1 8、20 Sp /由软& , 勺牙夕 置’檢查電㈣、2。也不;線52的位 广電[。於疋’結果是檢出電壓值大致為〇。另一方 面’隨著感測器】2的移動，檢查電極18、2。在接二交方 319637
II 1338147 叉線54a產生有交又短路的閘極線52a時，換言之接近經 由乂又短路CS而被施加交流信號的閘極線52a時，經由 與該閘極線52a之間產生的電容（空間），會由檢查電極 2 〇感應產生較大的交流電壓。也就是說，只要感測器 12移動到交又短路cs旁邊，檢出電壓值就會急劇的上 升。控制部將該檢查電壓值急劇上升時的感測器12位置判 定為交又短路CS的位置。 從以上的說明可得知，依據本實施形態，不使電極物 理性的接觸到源極線54和閘極線52等導電圖案就可以判 疋父又短路CS的位置。結果，既能防止物理接觸產生的 塵埃和導電圖案損傷等，又可以簡單的判定交叉短路的位 置。
另外，在本實施形態中，兩個供電電極丨4、〗6以及兩 個檢查電S 18、2G呈大致十字狀配置。結果，交叉短路 P使存在於導電圖案的端部旁邊，也能準確的判定其位 ，。+例如，考慮交又短路cs存在於源極線54的端部旁邊。 攻時，為了檢查出交叉短路cs的位置，有必要使檢查電 極18、20移動到該交叉短路cs的旁邊。這時，如本實施 ^態’若將四個電極14、16、18、2〇呈大致十字狀配置時， 雖“個供電電極14、16中至少一方有位於交叉線* 、9位置之虞，但另一方位於能夠向交又線54a供電的 、。果’如上所述，在交叉短路CS㈣產生急劇的 壓值㈣化，且能夠簡單而且正確關定交叉短路 、置另外，考慮父又短路CS在閘極線52的端部 319637 12 13-38147 方邊的情況。這種情況下，為了檢 置，有必要使檢查電極】8、2 : 乂又知路以的位 旁邊。這時，如本〜…〇各動到該開極線52的端部 20 ％形也，若將四個電極14、16、、 、十子狀配置時，雖然兩個檢杳 -方有位於間極線52以外的位置之：查上極18、2〇至少 夠與閘極線52產生靜電 仁另一方停留在能 座生静電耦合的位置。結果， 且正確的判定交又短路CS的位置。也一二早 施形態，使四個雷炻7 . 也就疋祝，如本實 藉此即使在導電圖安的：二18、2〇呈大致十字狀配置， 準破二2 部旁邊產生有交又短路CS，也能 早確的檢查出其位置。 1月匕 子，這裏說明的感測器12的構成態樣只是一個例 田=也可以㈣其他的構成態樣。例如， 所不，也可以由單一的供雷雷 ^ 2〇 λ Μ .,, 、電極14和兩個檢查電極18、 0來構成感測器！2。這時’最好是將單一 沿行進方向形成長條形狀，將烚杏 ’、電電極14 雷雷祐電極18、2G配置在該供 以〆 的兩側。另外，相反的’如第3圖(B)所示，可 ^米用單一的檢查電極18 ’將供電電極14、16配置在該 早—的檢查電極18的兩側。 可是’如上所述’當檢查電極18、2〇接近沒有和交又 l4a產生短路的其他閘極㈣時’檢出電壓值應該大致 但是’從第i圖下側所示的檢出電壓值明顯可以看 出’檢出電壓值不是0,時常會有微小的變化。這基於以 下幾個理由。 由供電電極H、16提供的交流電壓實際上不只是通過 319637 13 1338147 相對向的交叉線54a，而且通過與該交叉線54a鄰接的其 他的源極線54b、交叉線54a和閘極線52的交點的寄生電 ‘容，遍佈整個液晶面板50，提高液晶面板50整體的電位。 .由於液晶面板的寄生電容會因位置而變化，所以液晶面板 的電位也會因位置而有微妙的不同。並且，在所述電位不 均勻的液晶面板50相對向的檢查電極丨8、2〇所檢查出的 才^出電壓值雖然低但是也會變動。有時所述的電壓檢出電 I值的變動會成為交叉短路cs位置判定精確度下降等的 •原因。 第4圖是可解決所述問題，且提高交叉短路cs位置 判定精確度的本發明第二實施形態所述的圖案檢查裝置 10的概略俯視圖。該圖案檢查裝置1〇和第一實施形態相 同’具備有可以沿著交又、線54a移動的感卿12。感測器 12的移動位置以及後述的檢出電壓值被附加相互關聯，且 儲存在沒有圖示的控制部。 鲁 該感測器12設有兩個供電電極14、16以及兩個檢查 電極18、20。但是，本實施形態與第一實施形態不同，兩 個供電電極14、16鄰接配置在源極線54的配置方向。另 卜兩個核查電極1 8、20配置在源極線54的配置方向， 而夾著這兩個供電電極14、16。 一 β兩個供電電極14、丨6連接於相位相反的交流電源。也 二、疋兒在第一供電電極14施加相位為〇。的交流電壓。 卜β在第一供電電極16施加與施加於第一供電電極14 的電壓相同位準且相位相差⑽。的交流電塵。在判定交又 319637 14 13-38147 短路CS位置的時候，以使第一供電電極 5如的正上方移動的方式調整感測器】2整體的位置。線 兩個檢查電極18、2〇與第一實施形態和同，是用於檢 f由問極線52感應產生的交流電屡值的電極。藉由與閉極 :52的靜電#合而由兩個檢查電極18、㈣應產生的交 Γ電愿係經由放大器26 *放大，作為檢出㈣值而被取 仔0
接著，說明關於在該圖案檢查裝置1〇的交叉短路cS 斷的過轾。另外’第4圖的下側係圖示隨著感測器 12的私動，檢出電壓值的變化。 &在判定交叉短路CS的位置時，以使第一供電電極14 能夠在交叉線54a的正上方移動的方式調整感測器12整體 的位置後，使該感測器12沿著該交又線⑷移動。這時， 第供電電極14和父又線54a之間產生的空間作為電容而 發揮作用’在交叉線54a施加相位為〇。的交流電壓。施加 的該父流電壓係經由交叉短路cs也感應產生在該間極線 52a另外伙第一供電電極14提供的相位為的交流電壓 通過寄生電容，也被施加在整個液晶面板5〇。 另-方面’與第一供電電極14鄰接配置的第二供電電 極16，係與鄰接於交叉、線54a的源極線糾接近並移動。 這時，第二供電電極16係在該鄰接的源極線州施加相位 為18(Γ的交流電壓。另外，通過不均勻存在的寄生電容， 也會在液晶面板50整體施加相位為18〇。的很小的交 壓。 Μ 319637 15 丄幻8147 、在这裏，第二供電電極16對交叉線54a的影響與接近 並對向於父叉線54a的第一供電電極14對交叉線5乜的影 響相^是非常小的。因此，在交叉線54a以及與該交叉線 a 乂叉紐路的閘極線52a感應產生的相位為〇。的交流電 璧;’不會與相位為18G。的交流電壓抵消，而維持相當高的 4準另方面，液晶面板50的整體，同時被第一供電電 極14 %加相位為〇。的相同位準的交流電壓以及被第二供 電電極16施加相位為18〇。的相同位準的交流電壓。這種 同時施加的相位相反的交流電壓係互相抵消。因此，作為 液晶面扳50整體的電位大致為〇。 結果’隨著感測器12移動，檢出電麼值的位準會穩 ::也就是說’如第4圖的下側所示，當檢查電極18::〇 從交叉短路cs位置離開時’相對向的源極線M和閉極線 52的電位大致是〇’由檢查電極18、則應產生的交流電 壓也大致穩定為0。另一方面，當檢查電極18、2〇 又短路《旁邊時，藉由和交叉線54a產生有交叉短路的 間極線52a(換言之，由相位為G。的較高的交流電_ 生的與閘極線52a)的靜電輕合，檢查電極18、2〇會感應 產生相位為0。的交流。控制部係根據隨時取得的^ 電盧值達到最高點時的感測器位置，來判定交又短路cs 由於互相 以在沒有 而且，其 從以上的說明中可得知，根據本實施形態， 反相的交流電壓同時施加到液晶面板5〇整體^所 缺陷的部分的檢出電壓值的位準大致穩定為〇。 319637 16 1338147 結果能夠更準確的判定交叉短路cs的位置。 但是，在本實施形態中，利用藉由同時施加反相的交 流電壓而使檢出電壓值穩定這項技術來判定交叉短路cs 、存在的位置，這項技術也能應用於其他的圖案檢查。 第5圖是本發明第三實施形態的圖案檢查裝置10的概 略俯視圖。該圖案檢查裝置1G是—種適用於判定產生斷線 的導電圖案（以下稱為「斷路圖案」）的檢查裝置。 該圖案檢查裝置10的感測器12可以沿著導電圖案6〇 勺配置方向（第5圖中的γ方向）移動^該感測器〗2設置有 兩個供電電極14、16以及兩個檢查電極1 8、20。感測器 • 12係以所搭載的四個.電極14、16、18'2G與相對向的導 圖案60此夠產生靜電耦合的距離配置在液晶面板π 上側。 為了使兩個供電電極14、16分別在導電圖案6〇的兩 側旁邊位置，隔著預定間隔排列在導電圖案6()的延伸設置 鲁2 (第5圖中的X方向）°兩個供電電極14、分別連接 :電原' 22 24，並被施加互相反相的交流電壓。也就是 說’在第-供電電極14施加相位為〇。的交流電麼，在第 「供電電極16施加與在第—供電電極14施加 相同位準且相位相差18〇。的交流電壓。 電土 分別將第一檢查㈣18配置在第—供電電極 、*，將第二檢查電極20配置在第二供電電極16的旁邊。 ^兩個檢查電極18、20係和相對向的導電圖案60靜電耦 13而且，藉由該靜電耦合，在檢查電極18、20會感應產 319637 17 交浐ΐ严:導案60感應產生的交流電壓呈比例大小的 各個檢查電極18、2G感應引起的交流電麼係經 電壓：=28放大’從而作為第一檢出電壓和第二檢出 移二“Γ。控制部係將這兩個檢出電壓值和感測器12 私動位置附加關聯並儲存。 二著：說明關於採用該圖案檢查裝置10的斷路圖案 的^ &另外’第5圖的右側係圖示隨著感測器U >的^’。弟一檢出電壓值（實線）以及第二檢出電壓值（虛線） 在從多個導電圖案60中判定產生斷路0的斷路圖案 62的情況下，以使四個電極14、16、i8、2Q位於導電圖 二60上方的方式調整感測器㈣位置後，使該感測器η m配置方向移動。這時，控制部係將感測器12的移動位置 和檢出電壓值附加關聯並隨時儲存。 在這裏，當感測器12與沒有產生斷路〇和短路的正 常導電圖案6G相對向時，兩個供電電極14、16和該正常 導電圖案60靜電耗合，並施加交流電麗。此時，同時施加 第供電電極Η的相位為〇。的交流電塵以及第二供電電 & ㈣為18()^交流電f至一個導電圖案6(J由於 同時施加的反相的交流電壓互相抵消，所以結果是該導電 圖案60感應產生的交流電壓大致為〇。在供電電極14、16 與正常的導電圖案60靜電輕合的情況下，與該供電電極 14、16連動而移動的檢查電極18、2〇也與該正常的導電 圖案6〇靜電搞合。但是，該正常的導電圖f 60由於反相 319637 1338147 的交流電塵的相互抵消而使電位為〇。因此，在檢查電極 18、20感應產生的交流電壓的值也大致為q，第—檢出電 壓值以及第二檢出電壓值都大致為〇。 另方面，當感測器U移動到產生斷路〇的斷路圖 案62的正上方時，藉由斷路〇阻止所述的交流電壓的相 互抵因此，由各個供電電極14、16施加到斷路圖案 62的父流電壓變強。結果，兩個檢查電極以、中，一 =會感應產生0。的交流信號，另一方會感應產生！，的交 .號:在這裏，當將〇。及18〇。的交流予以同步， 為正的直流電麗，180。的交讀會作 為負的直流電壓而檢出。 哭據本實施形態，如第5圖右側所示，在感測 案62旁邊的時候取得高位準的檢出電I 值在感測益U遠離斷路圖案62的時候取得大 值。控制部係根據取得高位準的檢出電壓值_ 測12的位置來判定斷路圖案62。 〜 相交==中可知，由於本實施形態為同時施加反 成，使得在缺陷以外處的檢出電壓值大致 穩疋為〇。，纟。果’力夠提高斷路圖案 外，在本實施形態中 ㈣疋精確度。另 個。 τ &查電極既可以是兩個也可以是一 接著’說明關於第四實施形態。， 實施形態的圖案檢查装置i 明第四 置10是一鍤镝田认t ;概唂俯視圖。該圖案檢查裝 種適用於列定存在於斷路圖案上的斷路的位置 319637 】9 1338147 的裝置。 °又置在5亥圖案檢查裝置1 0的感測器12可以沿著斷路 圖术62 ~動。第—供電電極檢查電極18、第二供電 電和、/α斷路圖案62的長度方向而排列配置於感測器 12。並且，感測器12係以這三個電極14、18、16與對向 的斷路圖帛62隔著能夠產生靜電_合的距離配置在液晶 面板50的上側。 —在兩個供電電極14、16施加互相反相的交流電壓。在 本實施形態中，在配置在感測器移動方向前方側的第一供 電電極％加相位為〇。的交流電壓，在配置在感測器的移動 方向後方側的第二供電電極！ 6施加相位為⑽。的交流電 壓仏查電極18感應產生的交流電壓係經過放大器26放 大，作為檢出電壓值而被取得。 。 一、說明關於採用該圖案檢查裝置1〇的斷路〇的位置判 ° 第6圖下側係圖示隨著感測器的移動檢出電壓值 的變化。 一 ^判疋斷路〇的位置時，使感測器12從斷路圖案Μ =7 =動到另-端。該感測器12開始移動後，也就是 ' ’、第—供電電極16以及檢查電極18位於斷路圖案 外側的時候==14口位於斷路圖案62的端部的 、 斷路圖案62，、施加相位為1 。的交流電 LIT感測器12開始移動後，不會發生所述交流電壓 移動感測器==為負方向的高位準。但是，繼續 田一個電極14、18、16全部移動到斷路 319637 20 1338147 圖案62的正上方時’第一供電電極14的相位為〇。以及第 二供電電極16相位為】80。的交流電壓會同時施加到該斷 路圖案62。而且，由於施加的$兩種交流電愿互相抵消， 故斷路圖案62的電位大致變為〇。因此，經由檢查電極 檢查出的檢出電壓值也大致穩定為〇。 另一方面，感測器〗2進一步移動，在通過斷路〇位 置的前後，檢出電壓值有大的變動。具體而言，只有第二 供電電極在斷路〇後方側，只有檢查電極ί8以及第一供 電電極在斷路〇前方側。這時，在斷路〇前方側的斷 路圖案62a只施加相位為〇。的交流電塵。而且，該前方側 的斷路圖案62a的電位在正方向上升，在與該前方側的斷 路圖案62a靜電耦合的檢查電極18感應產生的交流電
並且，當感測器移動，且只有第二供電電極^ 及檢查電極18位於斷路0的後方側時，相反地會產生 :二也就是說’雖然檢查電極18與斷路〇後方側的斷 靜電耦合，但該後方側的斷路圖案62b只被第 供電電極施加相位為18G。的交流電壓。因此，當將檢查 極18的信號予以同步檢波時，檢出負的直流電壓。— 侧所亦感測器12通過斷路0的時候，如“圖 侧所不，檢出電懕信fΑ π + , ^ 女。2 士 向方向增大，之後向負方向 面’在感測器12已經離開斷路0的時候， 正:負St本大上穩定為。。控制部係根據檢出電壓值 負方向W感測器12的位置來判定斷路〇的位置 319637 21 丄：)0014/ 攸以上的說明中可知，由於本實施形態係在導電圖案 同時施加有反㈣交流電壓，所以離開缺陷時的檢出電 值穩定。並且，作為結果，能夠提高斷路0的位置判定 精確度。 i〜< 接著’說明_第五實施形態。帛7圖是第五實施形 〜:圖案;^查裝置1Q的概略俯視圖。此圖案檢查褒置 種適用於從多條導電圖案中判定產生有短路的導電圖 木（以下稱為短路圖案）的裝置。 該圖案檢查裝置10的感測器12可以沿著導電圖案6〇 的配置方向(第7圖中的Y方向)移動。第-供電電極14、 檢。查電極18、第二供電電極16沿配置方向排列配置於感 ’貝1裔12。與上述的實施形態相同，傳感器係以三個電 =m16與對向的導電圖案6G隔著能夠產生靜電輕 s的距離的方式配置在基板的上側。 在兩個供電電極14、16施加互相反相的交流電壓。在 ::施形態中，在配置在感測器12移動方向前方側的第一 二電極14施加相位為〇。的交流電壓，在配置在感測哭 的移動方向後方側的第二供電電極16施加相位為⑽。 的父流電壓。檢查電極18設置在兩個供電電極Μ、“之 間’用於檢出對向的導電圖案6〇感應產生的交流電壓值。 =檢查電極18感應產生的交流電壓，經過放大器％放大， 作為檢出電壓值而被取得。 說明關於㈣該圖案檢查裝£ 1G的短路圖案的判定 “王。幻圖右侧係圖示隨著感測器12的移動檢出電壓值 319637 22 的變化的模樣。另外，以 12移動方h a D月為了易於理解，將感測器 將感二 圖案643稱為“第-短路圖案”， 路圖案”。夕。後方側的短路圖案料b稱為“第二短 有短路::: 調整到導電圖案6。的端二12的位置 電圖案6。的配置方向移動。彳使該感測益12沿著導 位電_⑷目對向的導電圖案施加相 圖案施加相位為U。。的交電:：16相對向的導電 的寄生電容，在液晶:板= 湳雷厭, 锻〕u正體冋時施加相位為〇。的交 相位為1 80。的交流電壓。這種施加在液曰 整體的兩種交流電壓’因為互相抵 ： 整體電位大致鞾宕盔Λ π 夜日日面板50 圖索64 “ 當感測器12位於離開短路 ” a、4b的位置時，經由檢查電極 壓值大致穩定為〇。 你出的仏出電 電壓變在動撿=丄8通二：案的前後， -短路圊安： 電電極16移動到第 一短路圖“讣的對向位置，檢查電極 圖案㈣對向位置。這時，第二供電電極：：二= 圖案_以及與該第二短路圖案64b短路的第—短路圖安 64a施加相位為18〇。的交流電壓。第一供電電極μ通= 生電容也會在該第-短路圖案64a、第二短路圖案6仆施 319637 23 1338147 加相位為〇。的較小的 加的相位為】8〇C 但與第二供電電極】6施 此，Γ? 8"父流電虔相比，其比例是非常小的。因 第一短路圖案64a、第二短 向增大。在盥該査古a帝，、一間杀04D的電位向負方 0 〇 、 D電位增尚的第一短路圖案64a相對 向的铋查電極18感應產生負 12繼❼翻a 王貝的又桃電堡。接著，感測器 相ΐΓ^Λ’虽檢查電極18移動到與第二短路圖案6仆 相對向的位置、第一供雷雪ϋ 7 # 64a相斟… 移動到與第-短路圖案
Ma相對向的位置時，這次 第一 Mini # ^ 生相反的現象。也就是說， 路圖案64a、第二短路圖案糾的電位係由第一供 電極M提供相位為〇。的交流電愿而導致正方向較大， 且在檢查電極18感應產生正的交流電壓。 亦即’如第7圖右側所示，當感測器12通過短路圖案 a、64b的時候，檢出電壓值首先向負方向變大，接著向 正方向變大。控制部係據檢出電壓值變的較大時感測器Μ 的位置來判定短路圖案64a、64b。 •從：上的說明中可知’由於在本實施形態令同時施加 ^相的父、机電壓’使得離開缺陷位置的檢出電壓值大致穩 定為〇。並且，其結果提高了短路圖案的判定精確度。 另外’本實施形態的圖案檢查裝置10不僅能判定鄰接的導 電圖案的互相短路，而且能判定在互相交叉的方向上延伸 的導電圖案的互相短路也就是交又短路。 第8圖是採用本實施形態的圖案檢查裝置】〇，判定和 閘極線52a產生有交叉短路的源極線54a，也就是交又線 54a時的概略俯視圖。 319637 24 1338147 . 在判疋父叉線54a的時候，將感測器12配置到源極線 54的端部旁邊後，使該感測器12沿著源極線54的配置方 - 向（第8圖申的Y方向）移動。 / 如上所述，在本實施形態中，同時施加有互相反相的 交流電壓。因此，在離開交叉線54a的位置上，由於通過 •寄生電容施加的反相的交流電壓會互相抵消，故液晶面板 50整體的電位大致穩定為〇<)因此，感測器〗2在離開交叉 線54a的位置時，檢查電極〗8感應產生的交流電壓也大致 #穩定為0。 另一方面，當檢查電極丨8位於交叉線54&旁邊時，反 •相的交流電壓的平衡會崩潰，使檢出電壓值有較大變動。 =體而§，當第二供電電極16位於交又線的正上方 時^第二供電電才圣16主要向交叉線54a以及和該交叉線 54a父又短路的閘極線52a，共計兩條導電圖案供電。另一 方面’第-供電電極14主要僅向沒有產生交叉短路的一條 •源極線54供電。這時，向數量多的導電圖案供電的第二供 電電極16的負何增大，電位降低。並且，與第—供電電極 14相比’由於第二供電電極16的電位降低’故阻止所述 交流電屢的互相抵消現象。結果，在檢查電極18周圍，受 供電電極14的影響更多，且在檢查電極18感應產 電雷目2 〇°的交流信號。感測器12繼續移動，當第一供 =極U位於交叉線54 a的正上方時，產生與此相反的 14的雷、即’與第二供電電極16相比，由於第一供電電極 .位降低’結果在檢查電極W感應產生相位為180。 319637 25 1338147 的交流信號。 亦即，當感測器12通過交叉線5 4 a時，檢出電壓值的 相位檢波的結果’首先向正方向變大，接著向負方向變大。 控制部係根據該檢出電壓值變大時感測器12的位置來判 定交叉線54a。 按照上述說明可知，由於在本實施形態中同時施加反 相的交流電壓’而使離開缺陷位置時的檢出電壓值大致穩 疋為0。並且，其結果可以提高交叉線54a的判定精確度。 【圖式簡單說明】 第1圖是本發明的第一實施形態的圖案檢查裝置的概 略俯視圖。 第2圖是圖案檢查裝置的概略側視圖。 第3圖（A)及（B)是顯示其它的電極配置態樣的一個示 例圖。 第4圖疋本發明的第二實施形態的圖案檢查裝置的概 略俯視圖。 第5圖是本發明的第三實施形態的圖案檢查裝置的概 略俯視圖。 第6圖是本發明的第四實施形態的圖案檢查裝置的概 略俯視圖。 第7圖疋本發明的第五實施形態的圖案檢查裝置的概 略俯視圖。 第8圖是顯示使用圖案檢查裝置進行交 判定時的 不意圖。 26 319637 1338147 【主要元件符號說明】 10 圖 案檢查裝置 12 感測器 14、 16 供電電極 18 ' 20 檢查 電極 22 ' 24 交流電源 26、 28 放大 器 50 液 晶面板 52、 52a閘極線 54、 54b 源極線 54a 交叉線 56 絕 緣層 60 導電圖 案 62、 62a ' 62b 斷路圖案 64 短路圖 案 CS 交叉短路 0 斷路 27 319637