TW201339601A - 內設零件基板的檢查方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種內設零件基板的檢查方法，其可有效地消除檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響、以及內設零件基板內的配線之間的靜電電容的影響，並可對內設零件基板內的檢查對象部進行準確的檢查。例如在將電容器(C1)設為關注檢查對象部的情況下，與被設為第一選擇檢查點的檢查點(D1、D2)以及被設為第一電位調整檢查點的檢查點(D5~D7)接觸的探針(P1、P2、P5~P7)與電源部的第一輸出端子電連接。另外，與被設為第二選擇檢查點(D4)接觸的探針(P4)與電源部(4)的第二輸出端子電連接。另外，與被設為非關聯檢查點(D3、D8~D10)接觸的探針(P3、P8~P10)與接地電位電連接。

Description

內設零件基板的檢查方法

本發明涉及一種針對由設置在內設零件基板內的電子零件或包含電子零件的電路所構成的多個檢查對象部，經由與設置在內設零件基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢查該檢查對象部的電特性的內設零件基板的檢查方法，其中該內設零件基板內設具有阻抗的電子零件。

目前，內設有電容器和電阻器等電子零件的內設零件基板(也稱作嵌入式基板)開始普及，極需確定針對內設在內設零件基板內的電子零件的檢查方法。由於內設零件基板本身是新產品，因此，關於這種檢查方法的現狀，並不存在可稱為習知技術的已有技術。因此，在此記載本發明被提出之前由本申請的發明人等提出的檢查方法和所存在的問題。

針對在先提出的檢查方法，以針對在圖1中示意地表示的內設零件基板1進行檢查的情況為例來說明。該內設零件基板1是藉由將多層(在此為三層)基板1a~1c層疊而構成的，並且在其內部內設有具有阻抗的多個電子零件(在此為三個電容器C1~C3和兩個電阻器R1、R2)。另外，在內設零件基板1的上側和下側表面上設置有10個檢查點D1~D10；在進行檢查時，檢查裝置的探針P1~P10一併與各個檢查點D1~D10接觸。在此，在統稱檢查點D1~D10和探針P1~P10的情況下，分別使用符號“D”、“P”。另外，在統稱作為內設的電子零件的電容器C1~C3和電阻器R1、R2的情 況下，稱為電子零件。另外，在此，針對將電容器C1~C3和電阻器R1、R2逐一地且獨立地設為檢查對象部的情況進行說明。

圖2是示意地表示設置在內設零件基板1上的電子零件、配線圖案和檢查點的電連接關係的配線圖。如圖2所示，在內設零件基板1內存在三個獨立的網絡N1~N3。電容器C1~C3、電阻器R1和檢查點D1、D2、D4~D7屬於網絡N1，電阻器R2和檢查點D8、D9屬於網絡N2，檢查點D3、D10屬於網絡N3。

針對這樣的被內設在內設零件基板1內的電子零件(電容器C1~C3、電阻器R1、R2)，在先前提出的檢查方法中，例如按照電容器C1、電容器C2、電容器C3、電阻器R1、電阻器R2的順序進行檢查。在針對電容器C1的檢查步驟中，經由檢查點D1、D4和分別與它們接觸的探針P1、P4而向電容器C1供給檢查電力(例如，交流電流、直流變動電流、交流電壓或直流變動電壓)，經由檢查點D1、D4和分別與它們接觸的探針P1、P4來檢測電容器C1的電特性，並根據檢測結果進行電容器C1是否良好的判斷等。作為電容器C1的電特性的檢測，例如檢測檢查點D1、D4之間的電位差和在檢查點D1、D4之間流動的電流，並根據這些檢測值來檢測電容器C1的阻抗。在對該電容器C1的檢查期間，與檢查點D1、D4之外的檢查點D(即檢查點D2、D3、D5~D10)接觸的探針P(即探針P2、P3、P5~P10)處於電斷開狀態。

接下來，在電容器C2的檢查中，經由檢查點D1、D5和分別與它們接觸的探針P1、P5而向電容器C2供給檢查電力，經由檢查點D1、D5和分別與它們接觸的探針P1、P5來檢測電容器C2的電特性(例如阻抗)，並根據檢測結果進行電容器C2是否良好的判斷。此時，與檢查點D1、D5之外的檢查點D接觸的探針P處於電斷開狀態。

以下相同地，在電容器C3的檢查中，經由檢查點D1、D7和分別與它們接觸的探針P1、P7進行針對電容器C3的檢查電力的供給和電特性的檢 測。此時，與檢查點D1、D7之外的檢查點D接觸的探針P處於電斷開狀態。另外，在電阻器R1的檢查中，經由檢查點D2、D6和分別與它們接觸的探針P2、P6進行針對電阻器R1的檢查電力的供給和電特性的檢測。此時，與檢查點D2、D6之外的檢查點D接觸的探針P處於電斷開狀態。另外在電阻器R2的檢查中，經由檢查點D8、D9和分別與它們接觸的探針P8、P9進行針對電阻器R2的檢查電力的供給和電特性的檢測。此時，與檢查點D8、D9之外的檢查點D接觸的探針P處於電斷開狀態。

然而，已知在這樣的先前提出的檢查方法中，存在下述兩個問題。

(a)在檢查時，探針P一併與內設零件基板1的所有檢查點D接觸，檢查夾具內的配線經由探針P和檢查點D而與內設零件基板1內的電路相連接。然而，在前述先前提出的檢查方法中，未考慮到在使探針P與內設零件基板1的檢查點D接觸時產生的、對內設零件基板1內的電路的影響(例如，檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響)，在檢測內設在內設零件基板1內的電子零件的電特性時，存在著不能消除檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響的問題。

(b)也未考慮到在內設零件基板1內的配線之間產生的靜電電容的影響，在檢測內設在內設零件基板1內的電子零件的電特性時，存在著不能消除內設零件基板1內的配線之間的靜電電容等的影響的問題。

另外，作為與內設零件基板的檢查方法相關的習知技術文獻，例如有專利文獻1。

[習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-309814號公報

因此，本發明要解決的問題為：提供一種內設零件基板的檢查方法，其可有效地消除經由探針而與內設零件基板的檢查點連接的檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響、以及內設零件基板內的配線之間的靜電電容的影響，並準確地對由內設零件基板內的電子零件或包含電子零件的電路所構成的檢查對象部進行檢查。

為了解決上述問題，本發明的第一態樣為一種內設零件基板的檢查方法，針對由設置在內設零件基板內的電子零件或包含該電子零件的電路所構成的多個檢查對象部，經由與設置在該內設零件基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢測該檢查對象部的電特性，該內設零件基板內設具有阻抗的電子零件，該內設零件基板的檢查方法包括以下步驟：從該內設零件基板內的該多個檢查對象部中，按順序選擇任一個檢查對象部作為關注檢查對象部的步驟；將該多個檢查點中的與該關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查點設為關聯檢查點，將除此之外的檢查點設為非關聯檢查點的步驟；將該關聯檢查點中的、不經由該電子零件而與插入有該關注檢查對象部的配線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由該電子零件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二選擇檢查點，並將剩餘檢查點中的、經由該關注檢查對象部之外的該電子零件而與該第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第一電位調整檢查點，將經由該關注檢查對象部之外的該電子零件而與該第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第二電位調整檢查點，而且使與該關聯檢查點中的該第一選擇檢查點以及該第一電位調整檢查點接觸的該探針與輸出檢查電力的電源部的、成對的第一和第二輸出端子中的第一輸出端子電連接，使與該第二選擇檢查點以及該第二電位調整檢查點接觸的該探針與該電源部的該第二輸出端子電連接，並使與該非關聯檢查點接觸的該探針與既定的基準電位電連接的步驟；經由與該第一選擇檢查點以及該第二選擇檢查點接觸的該探針，使該電源部對該關注檢查對象部供給該檢查電力，並由既定的電特 性檢測部檢測該關注檢測對象部的電特性的步驟；以及根據該電特性檢測部的檢測結果，判斷該關注檢查對象部是否良好的步驟。

另外，在本發明的第二態樣，在上述第一態樣涉及的內設零件基板的檢查方法中，在從該內設零件基板內的該多個檢查對象部中選擇該關注檢查對象部的該步驟中，在對此時刻所選擇的關注檢查對象部的檢查結束並要選擇下一個關注檢查對象部時，優先選擇與檢查結束了的關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查對象部作為關注檢查對象部。

根據本發明第一態樣涉及的內設零件基板的檢查方法，在針對從內設零件基板內的多個檢查對象部中逐一地按順序選擇的關注檢查對象部進行檢查時，將多個檢查點中與關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查點設為關聯檢查點，將除此之外的檢查點設為非關聯檢查點。將關聯檢查點中的、不經由該電子零件而與插入有關注檢查對象部的配線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由該電子零件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二選擇檢查點，並且將剩餘檢查點中的、經由該關注檢查對象部之外的電子零件而與第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第一電位調整檢查點，並將經由關注檢查對象部之外的電子零件而與該第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第二電位調整檢查點。另外，使與關聯檢查點中的第一選擇檢查點以及第一電位調整檢查點接觸的探針與輸出檢查電力的電源部的、成對的第一和第二輸出端子中的第一輸出端子電連接，使與第二選擇檢查點以及第二電位調整檢查點接觸的探針與電源部的第二輸出端子電連接，並使與非關聯檢查點接觸的探針與既定的基準電位電連接。使電源部經由與第一選擇檢查點以及第二選擇檢查點接觸的探針而對關注檢查對象部供給檢查電力，並由既定的電特性檢測部檢測關注檢測對象部的電特性，並根據檢測結果來判斷關注檢查對象部是否良好。

因此，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，從電源部的第 一或第二輸出端子對與向關注檢查對象部供給檢查電力的相關的探針和內設零件基板內的配線部分之外的所有探針和內設零件基板內的配線部分施加電位、或施加既定的基準電位。因此，可以有效地消除經由探針而與內設零件基板的檢查點連接的檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響、以及內設零件基板內的配線之間的靜電電容的影響，並可以在各檢查步驟中對關注檢查對象部進行準確的檢查。

另外，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，針對與關注檢查對象部屬於同一網絡內的其他檢查對象部或電子零件，經由探針施加電源部的第一或第二輸出端子的電位，使得插入有該檢查對象部或電子零件的配線部分兩側的電位變得相等。另外，針對與關注檢查對象部不同的網絡，將既定的基準電位施加於屬於該網絡的所有檢查點。因此，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，在內設零件基板內的關注檢查對象部和用於向關注檢查對象部供給檢查電力的配線部分之外的電子零件及配線部分中不流過電流。因此，可以防止例如流過關注檢查對象部之外的電子零件等的電流的影響以串擾等形式波及關注檢查對象部的檢查，可以對關注檢查對象部進行更準確的檢查。

另外，存在著在各檢查步驟中被供給到關注檢查部的檢查電力的較佳輸出位準等依檢查對象部的種類等而不同的情況，並且還存在著設置在基板1內的電子零件可允許的施加電位差或供給電流也依每個電子零件而不同的情況。關於這一點，在本實施方式涉及的檢查方法中，在對關注檢查對象部進行檢查時，由於在關注檢查對象部之外的電子零件中不流過電流，所以可以防止在各檢查步驟中所設定的關注檢查對象部之外的其他電子零件因檢查電力的供給而劣化，並可以設定與關注檢查對象部相應的檢查電力的輸出位準等。

另外，根據本發明第二態樣涉及的內設零件基板的檢查方法，在從內設零件基板內的多個檢查對象部中選出關注檢查對象部的步驟中，在對此時刻所選擇的關注檢查對象部的檢查結束並要選出下一個關注檢查對象部 時，優先選擇與檢查結束了的關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查對象部作為關注檢查對象部。因此，可以使伴隨著各檢查步驟中的關注檢查對象部的切換的、探針與電源部、電特性檢查部以及既定的基準電位之間的切換動作等效率化，可以實現檢查的效率化和高速化。

1‧‧‧內設零件基板

1a~1c‧‧‧基板

2‧‧‧基板檢查裝置

3‧‧‧連接切換部

4‧‧‧電源部

4a‧‧‧第一輸出端子

4b‧‧‧第二輸出端子

5‧‧‧電位差檢測部

6‧‧‧電流檢測部

7‧‧‧控制部

C1~C6‧‧‧電容器

D1~D12‧‧‧檢查點

N1~N3‧‧‧網絡

P1~P12‧‧‧探針

R1、R2‧‧‧電阻器

SW1~SW3‧‧‧開關元件

SWG1~SWG10‧‧‧開關組

圖1是應用本發明的一個實施方式涉及的內設零件基板檢查方法的內設零件基板的結構示意圖。

圖2是示意地表示設置在圖1的內設零件基板上的電子零件、配線圖案和檢查點的電連接關係的配線圖。

圖3是表示在本發明的一個實施方式的內設零件基板檢查方法中使用的基板檢查裝置的電結構的圖。

圖4是表示對內設零件基板內的電容器C1進行檢查時探針與電源部以及接地電位的連接狀態的圖。

圖5是表示對內設零件基板內的電容器C2進行檢查時探針與電源部以及接地電位的連接狀態的圖。

圖6是表示對內設零件基板內的電阻器R1進行檢查時探針與電源部以及接地電位的連接狀態的圖。

圖7是表示對內設零件基板內的電容器C3進行檢查時探針與電源部以及接地電位的連接狀態的圖。

圖8是表示對內設零件基板內的電阻器R2進行檢查時探針與電源部以及接地電位的連接狀態的圖。

圖9是用於對局部地改變圖1的內設零件基板內的電路結構的情況下的檢查方法進行說明的圖。

圖10是用於對以串聯連接的兩個電容器C5、C6來替代圖1的內設零件基板內的電容器C1的情況下的檢查方法進行說明的圖。

參照圖1~圖10，對本發明的一實施方式涉及的內設零件基板(以下簡稱為“基板”)的檢查方法(以下簡稱為“檢查方法”)進行說明。另外，省略了對圖1和圖2所示基板1的結構中的、已經在先前的”先前技術”中說明過的部分的說明。

在本實施方式涉及的檢查方法中，將設置在基板1內的電子零件或包含電子零件的電路設定為檢查對象部，並針對該檢查對象部進行檢查。但是，在圖1所示的基板1內的電路結構的情況下，由於可對內設在基板1內的各個電子零件(電容器C1~C3和電阻器R1、R2)逐一地且獨立地進行檢查，所以各個電子零件以單體被設定為檢查對象部。另外，針對以將多個電子零件集總而成的電路的整體作為檢查對象的例子，將根據圖10在後文中進行說明。

首先參照圖3，對本實施方式涉及的檢查方法所使用的基板檢查裝置2的結構進行說明。如圖3所示，該基板檢查裝置2具備：具有探針P1~P10的未圖示的檢查夾具；連接切換部3；電源部4；電位差檢測部5；電流檢測部6；和控制部7。另外，電位差檢測部5和電流檢測部6對應於本發明涉及的電特性檢測部。另外，在本實施方式中，雖然使用電位差檢測部5和電流檢測部6來檢測被內設在基板1內的電子零件的電特性，但在電源部4的輸出電壓值或輸出電流值是預先已知的、不必進行電位差檢測或電流檢測中的一方等情況下，也可以省略電位差檢測部5或電流檢測部6中的一方。

檢查夾具具備：上側檢查夾具，其具有可與圖1的基板1的上側表面的檢查點D1~D3接觸的探針P1~P3；和下側檢查夾具，其具有可與基板1的下側表面的檢查點D4~D10接觸的探針P4~P10。在檢查時，上側檢查夾具的探針P1~P3和下側檢查夾具的探針P4~P10可以一併與基板1的相應的檢查點D1~D10相接觸。

連接切換部3構成為具備被設置在針對每個探針P而設置的開關組 SWG1~SWG10，藉由控制部7的控制來切換各個探針P與電源部4的第一和第二輸出端子4a、4b、作為既定的基準電位的接地電位、電位差檢測部5以及電流檢測部6之間的電連接關係。在各個開關組SWG1~SWG10中，具備藉由控制部7而被接通、斷開控制的三個開關元件(例如半導體開關元件)SW1~SW3。在開關元件SW1接通的情況下，對應的探針P經由開關元件SW1與電源部4的第一輸出端子4a相連接。在開關元件SW2接通的情況下，對應的探針P經由開關元件SW2與電源部4的第二輸出端子4b相連接。在開關元件SW3接通時，對應的探針P經由開關元件SW3與接地電位相連接。

電源部4藉由控制部7的控制來輸出檢查用的檢查電力，並具有輸出檢查電力的、成對的第一和第二輸出端子4a、4b。作為電源部4輸出的檢查電力，可以使用交流電流(例如，交流恆定電流)、交流電壓(例如，交流恆定電壓)、輸出電流值呈週期變化的直流變動電流、或輸出電壓值呈週期變化的直流變動電壓。在本實施方式中，例如輸出交流恆定電流作為檢查電力。另外，關於第二輸出端子4b的輸出電位，也可以固定為既定電位、例如接地電位。在此情況下，第一輸出端子4a的輸出電位相對於第二輸出端子4b的既定電位而改變。另外，圖3和後述的圖4~圖10中的“+”、“-”的記號是用於方便理解與第一和第二輸出端子4a、4b的連接關係而表示的，與第一和第二輸出端子4a、4b的極性無關。

作為電源部4的變形例，電源部4也可以依檢查對象的電子零件並藉由控制部7的控制來切換檢查電力的輸出位準等。

電位差檢測部5經由探針P檢測由電源部4施加於檢查對象的電子零件上的電位差，並將檢測結果提供給控制部7。另外，在本實施方式中，雖然在電位差檢測部5的電位差檢測中使用的探針P、與用於將電源部4的檢查電力提供給基板1內的檢查對象部的探針P是共用的，但在採用所謂的四端子測量法的情況下，除了檢查電力供給用的探針P與每個檢查點D接觸之外，也可以追加地使電位差檢測用的探針P與每個檢查點D接觸。在 此情況下，在連接切換部3追加切換元件，該切換元件插入於追加的電位差檢測用的探針P和電位差檢測部5之間，並對是否使任一個電位差檢測用的探針P與電位差檢測部5相連接之狀態進行切換。另外，在此情況下，電位差檢測部5對經由探針P而連接的任一個檢查點D和既定的基準電位(例如，接地電位)之間的電位差進行檢測。

電流檢測部6插入於從電源部4的第一輸出端子4a或第二輸出端子4b(在本實施方式中為第二輸出端子4b)經由連接切換部3而朝向探針P的配線之中，經由探針P對由電源部4供給到檢查對象的電子零件的電流進行檢測，並將檢測結果提供給控制部7。

控制部7執行對該基板檢查裝置2的控制、以及對基板1的各電子零件的檢查處理。關於該控制部7的檢查處理的具體內容，以下根據圖4~圖8詳細說明。

首先，關於對設置在基板1內的多個電子零件(檢查對象部)的檢查的順序，從多個電子零件中按順序選擇任一個電子零件作為關注檢查對象部；並且在各個檢查步驟中，逐一地按順序進行檢查。當對被選擇為關注檢查對象部的電子零件的檢查結束時，選擇下一個電子零件作為關注檢查對象部。此時，與檢查結束了的關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查對象部優先被選擇為下一個關注檢查對象部。原則上，對所有電子零件按順序進行檢查。在本實施方式中，在圖1和圖2所示基板1的結構中，按照電容器C1、電容器C2、電阻器R1、電容器C3、電阻器R2的順序進行檢查。

當在各個檢查步驟中選擇了關注檢查對象部時，將設置在基板1上的多個檢查點D中的、與被設定為關注檢查對象部的電子零件屬於同一網絡的檢查點D設為關聯檢查點，並將除此之外的檢查點D設為非關聯檢查點。

例如，在電容器C1被選為關注檢查對象部時，將與電容器C1屬於同一網絡N1的檢查點D1、D2、D4~D7設為關聯檢查點，將屬於與網絡N1 不同的網絡N2、N3的檢查點D3、D8~D10設為非關聯檢查點。

接下來，將關聯檢查點中的、不經由其他電子零件而與插入有關注檢查對象部的配線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由其他電子零件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二檢查點。與此同時，剩餘的關聯檢查點中的、經由關注檢查對象部之外的電子零件而與第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點被設為第一電位調整檢查點，經由關注檢查對象部之外的電子零件而與第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點被設為第二電位調整檢查點。

例如，在電容器C1被選擇為關注檢查對象部，並將檢查點D1、D2、D4~D7設為關聯檢查點的情況下，關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7)中的、不經由其他電子零件而與插入有電容器C1的配線部分(參照圖4)的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點(例如檢查點D1、D2)被設為第一選擇檢查點，不經由其他電子零件而與另一側相連接的關聯檢查點(例如檢查點D4)被設為第二選擇檢查點。另外，剩餘的關聯檢查點(檢查點D5~D7)中的、經由關注檢查對象部(電容器C1)之外的電子零件(在此為電容器C2、C3和電阻器R1)而與第一選擇檢查點(檢查點D1、D2)相連接的關聯檢查點(檢查點D5~D7)被設為第一電位調整檢查點。在圖1和圖2的電路結構中，在電容器C1被選擇為關注檢查對象部的情況下，不存在對應於第二電位調整檢查點的檢查點D。對於這一點，在其他電容器C2、C3和電阻器R1、R2被選擇為關注檢查對象部的情況下也是同樣的。針對存在對應於第二電位調整檢查點的檢查點D的電路的結構例，將在下文中根據圖9詳細說明。

接下來返回到圖2的結構，對連接切換部3的各開關組SWG1~SWG10的各開關元件SW1~SW3的狀態進行切換，使與關聯檢查點中的第一選擇檢查點和第一電位調整檢查點接觸的探針P經由連接切換部3與電源部4的第一輸出端子4a電連接。另外，使與第二選擇檢查點和第二電位調整檢查點接觸的探針P經由連接切換部3與電源部4的第二輸出端子4b電連 接。另外，使與非關聯檢查點接觸的探針P經由連接切換部3與接地電位電連接。

例如，在電容器C1被設為關注檢查對象部的情況下，如圖4中的記號“+”、“-”、“GND”所示，與被設為第一選擇檢查點的檢查點D1、D2以及被設為第一電位調整檢查點的檢查點D5~D7接觸的探針P1、P2、P5~P7經由連接切換部3而與電源部4的第一輸出端子4a電連接。另外，與被設為第二選擇檢查點的檢查點D4接觸的探針P4經由連接切換部3而與電源部4的第二輸出端子4b電連接。另外，與被設為非關聯檢查點的檢查點D3、D8~D10接觸的探針P3、P8~P10經由連接切換部3而與接地電位電連接。

接下來，經由與第一選擇檢查點和第二選擇檢查點接觸的探針P，從電源部4對關注檢查對象部供給檢查電力，並由電位差檢測部5對施加於關注檢查對象部的電位差的值進行檢測、以及由電流檢測部6對施加於檢查對象部的電流值進行檢測。例如，在電容器C1被選擇為關注檢查對象部的情況下，經由探針P1、P2和探針P4，進行對電容器C1的檢查電力的供給、基於電位差檢測部5的電位差值的檢測、以及基於電流檢測部6的供給電流值的檢測。

接下來，根據電位差檢測部5和電流檢測部6的檢測結果，由控制部7判斷關注檢查對象部是否良好。此時，例如，根據電位差檢測部5檢測到的施加於關注檢查對象部的電位差值、以及電流檢測部6檢測到的施加於關注檢查對象部的電流值，來導出檢查對象部的阻抗，並藉由將所導出的阻抗與評價基準值進行比較等，來判斷關注檢查對象部是否良好。在關注檢查對象部為電容器或包含電容器的電路的情況下，也可以根據檢測到的電位差值和電流值等，導出關注檢查對象部的靜電電容，並根據該靜電電容進行是否良好的判斷。

當對關注檢查對象部的檢查結束時，將下一個檢查對象部選擇為關注 檢查對象部，並進行對下一個關注檢查對象部的檢查。

以下，參照圖5~圖8，對在電容器C1之外的電子零件(電容器C2、C3和電阻器R1、R2)被選擇為關注檢查對象部的情況下，檢查點D和探針P的電連接進行說明。

在電容器C2被選為關注檢查對象部的情況下，如圖5所示，屬於網絡N1的檢查點D1、D2、D4~D7被設為關聯檢查點，除此之外的檢查點D3、D8~D10被設為非關聯檢查點。在關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7)中，例如檢查點D1、D2被設為第一選擇檢查點，檢查點D5被設為第二選擇檢查點，檢查點D4、D6、D7被設為第一電位調整檢查點。與此對應，探針P1、P2、P4、P6、P7與電源部4的第一輸出端子4a電連接，探針P5與電源部4的第二輸出端子4b電連接，探針P3、P8~P10與接地電位電連接。經由探針P1、P2和探針P5進行對於電容器C2的檢查電力的供給、基於電位差檢測部5的電位差值的檢測、以及基於電流檢測部6的供給電流值的檢測。

在將電阻器R1設為關注檢查對象部的情況下，如圖6所示，屬於網絡N1的檢查點D1、D2、D4~D7被設為關聯檢查點，除此之外的檢查點D3、D8~D10被設為非關聯檢查點。在關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7)中，例如檢查點D1、D2被設為第一選擇檢查點，檢查點D6被設為第二選擇檢查點，檢查點D4、D5、D7被設為第一電位調整檢查點。與此對應，探針P1、P2、P4、P5、P7與電源部4的第一輸出端子4a電連接，探針P6與電源部4的第二輸出端子4b電連接，探針P3、P8~P10與接地電位電連接。經由探針P1、P2和探針P6進行對於電阻器R1的檢查電力的供給、基於電位差檢測部5的電位差值的檢測、以及基於電流檢測部6的供給電流值的檢測。

在將電容器C3設為關注檢查對象部的情況下，如圖7所示，屬於網絡N1的檢查點D1、D2、D4~D7被設為關聯檢查點，除此之外的檢查點D3、 D8~D10被設為非關聯檢查點。在關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7)中，例如檢查點D1、D2被設為第一選擇檢查點，檢查點D7被設為第二選擇檢查點，檢查點D4~D6被設為第一電位調整檢查點。與此對應，探針P1、P2、P4~P6與電源部4的第一輸出端子4a電連接，探針P7與電源部4的第二輸出端子4b電連接，探針P3、P8~P10與接地電位電連接。經由探針P1、P2和探針P7進行對於電容器C3的檢查電力的供給、基於電位差檢測部5的電位差值的檢測、以及基於電流檢測部6的供給電流值的檢測。

在將最後的檢查對象即電阻器R2設為關注檢查對象部的情況下，如圖8所示，屬於網絡N2的檢查點D8、D9被設為關聯檢查點，除此之外的檢查點D1~D7、D10被設為非關聯檢查點。關聯檢查點(檢查點D8、D9)中，例如檢查點D8被設為第一選擇檢查點，檢查點D9被設為第二選擇檢查點。與此對應，探針P8與電源部4的第一輸出端子4a電連接，探針P9與電源部4的第二輸出端子4b電連接，探針P1~P7、P10與接地電位電連接。經由探針P8和探針P9，進行對於電阻器R2的檢查電力的供給、基於電位差檢測部5的電位差值的檢測、以及基於電流檢測部6的供給電流值的檢測。

如上所述，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，對與向關注檢查對象部供給檢查電力相關的探針P和基板1內的配線部分之外的所有探針P和基板1內的配線部分，施加來自電源部4的第一或第二輸出端子4a、4b的電位、或既定的基準電位(在本實施方式中為接地電位)。因此，可以有效地消除經由探針P而與基板1的檢查點D連接的檢查夾具內的配線之間的寄生電容等的影響、以及基板1內的配線之間的靜電電容的影響，可以在各檢查步驟中對關注檢查對象部進行準確的檢查。

另外，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，對於與關注檢查對象部屬於同一網絡N1~N3內的其他檢查對象部或電子零件，經由探針P施加電源部4的第一或第二輸出端子4a、4b的電位，使得插入有該檢查對象部或電子零件的配線部分的兩側的電位變得相等。另外，針對與關 注檢查對象部不同的網絡N1~N3，對屬於該網絡N1~N3的所有檢查點D施加既定的基準電位(在本實施方式中為接地電位)。因此，在各檢查步驟中對關注檢測對象部進行檢查時，在基板1內的關注檢查對象部和用於向關注檢查對象部供給檢查電力的配線部分之外的電子零件和配線部分中不流過電流。因此，可以防止例如流過關注檢查對象部之外的電子零件等的電流的影響以串擾等形式波及關注檢查對象部的檢查，可以對關注檢查對象部進行更準確的檢查。

另外，存在著在各檢查步驟中被供給到關注檢查部的檢查電力的較佳輸出位準等依檢查對象部的種類等而不同的情況，同時也存在著設置在基板1內的電子零件的允許施加電位差或供給電流也依每個電子零件而不同的情況。針對這一點，在本實施方式涉及的檢查方法中，在對關注檢查對象部進行檢查時，在關注檢查對象部之外的電子零件中不流過電流，因此可以防止在各檢查步驟中所設定的關注檢查對象部之外的其他電子零件因檢查電力的供給而劣化，可以設定與關注檢查對象部相應的檢查電力的輸出位準等。

另外，如上所述，在各檢查步驟中對被選為關注檢查對象部的電子零件的檢查結束，並選擇下一個關注檢查對象部時，與檢查結束了的關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查對象部優先被選擇作為下一個關注檢查對象部。因此，可以使伴隨著各檢查步驟中的關注檢查對象部的切換的、基於連接切換部3而進行的探針P與電源部4等之間的切換動作等效率化，可以實現檢查的效率化和高速化。

以下，以圖1和圖2所示基板1的電路結構經局部變更的圖9和圖10的電路結構為例，針對本實施方式的檢查方法進行補充說明。

在前述圖1和圖2所示電路結構中，在對任一個檢查對象部進行檢查時，都僅設定一個第二選擇檢查點，而不存在第二電位調整檢查點。作為對這一點的補充，參照圖9，對於設定了多個第二選擇檢查點並存在第二電 位調整檢查點為例進行說明。

在圖9所示的電路結構中，針對電容器C1被選擇為關注檢查對象部的情況進行說明。在此情況下，當關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7、D11、D12)中的檢查點D1、D2被設為第一選擇檢查點時，檢查點D4、D12被設為第二選擇檢查點。剩餘的關聯檢查點(檢查點D5~D7、D11)中，檢查點D5~D7被設為第一電位調整檢查點，檢查點D11被設為第二電位調整檢查點。

另外，在圖9所示的電路結構中，在電容器C4被選擇為關注檢查對象部的情況下，當關聯檢查點(檢查點D1、D2、D4~D7、D11、D12)中的檢查點D11被設為第一選擇檢查點時，檢查點D4、D12被設為第二選擇檢查點。剩餘的關聯檢查點(檢查點D1、D2、D5~D7)被設為第二電位調整檢查點。在此情況下，不存在第一電位調整檢查點。

另外，作為另一種電路結構，在如圖10所示的例子那樣、用串聯連接的兩個電容器C5、C6替代圖1的電容器C1的情況下，不能單個地檢查電容器C5、C6。在此情況下，以將串聯連接的電容器C5、C6集總而成的電路作為檢查對象部來進行檢查。

1‧‧‧內設零件基板

1a~1c‧‧‧基板

C1~C3‧‧‧電容器

D1~D10‧‧‧檢查點

P1~P10‧‧‧探針

R1、R2‧‧‧電阻器

Claims (2)

1. 一種內設零件基板的檢查方法，針對由設置在內設零件基板內的電子零件或包含該電子零件的電路所構成的多個檢查對象部，經由與設置在該內設零件基板表面上的多個檢查點接觸的探針來檢測該檢查對象部的電特性，該內設零件基板內設具有阻抗的電子零件，該內設零件基板的檢查方法的特徵在於，包括以下步驟：從該內設零件基板內的該多個檢查對象部中，按順序選擇任一個檢查對象部作為關注檢查對象部的步驟；將該多個檢查點中的與該關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查點設為關聯檢查點，將除此之外的檢查點設為非關聯檢查點的步驟；將該關聯檢查點中的、不經由該電子零件而與插入有該關注檢查對象部的配線部分的兩側中的任一側相連接的關聯檢查點設為第一選擇檢查點，將不經由該電子零件而與另一側相連接的關聯檢查點設為第二選擇檢查點，並將剩餘檢查點中的、經由該關注檢查對象部之外的該電子零件而與該第一選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第一電位調整檢查點，將經由該關注檢查對象部之外的該電子零件而與該第二選擇檢查點相連接的關聯檢查點設為第二電位調整檢查點，而且使與該關聯檢查點中的該第一選擇檢查點以及該第一電位調整檢查點接觸的該探針與輸出檢查電力的電源部的、成對的第一和第二輸出端子中的第一輸出端子電連接，使與該第二選擇檢查點以及該第二電位調整檢查點接觸的該探針與該電源部的該第二輸出端子電連接，並使與該非關聯檢查點接觸的探針與既定的基準電位電連接的步驟；經由與該第一選擇檢查點以及該第二選擇檢查點接觸的該探針，使該電源部對該關注檢查對象部供給該檢查電力，並由既定的電特性檢測部檢測該關注檢測對象部的電特性的步驟；以及根據該電特性檢測部的檢測結果，判斷該關注檢查對象部是否良好的步驟。
2. 如申請專利範圍第1項之內設零件基板的檢查方法，其中，在從該內設零件基板內的該多個檢查對象部中選擇該關注檢查對象部的該步驟中，在對此時刻所選擇的關注檢查對象部的檢查結束並要選 擇下一個關注檢查對象部時，優先選擇與檢查結束了的關注檢查對象部屬於同一網絡的檢查對象部作為關注檢查對象部。