TWI322031B - Integration of automated cryopump safety purge - Google Patents

Description

1322031 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域及先前技術】 在離子植入期間氣體散發的危險性與反應性本質會受 到安全與製程上的挑戰。每一個工具會由一種連續或間歇 性模式而排放不同類型與濃度的揮發性及危險性的氣體。 舉例而言，氫氣可以是植入製程之副產物。雖然氫氣本身 並不危險，但是有點火的潛在風險。數項因素可能會導致 點火發生。此等因素包括有：出現氧化劑、特定之壓力與 溫度的組合、某種比率之氫氣與氧氣、或者是'點火源。 低溫真空泵（低溫泵）為一種吸附型泵體（capture pump)，其通常被利用來將氣體從處理腔室處抽離，此因 為其容許較高的氫氣抽汲速度所致。由於氫氣之揮發性之 故，所以必須制注意以確保在植入器應时之正常使用 :間以及低溫泵之維護期間能夠維持安全狀況。舉例而 言，只要抽汲陣列被維持在低溫下，被低溫泵所抽汲的氣 體被維持在該泵體内。當該低溫泵被暖化時，這些氣體會 破排放。在該泵體中之氣體混合物會在此程序期間點燃的 情況是可能。#氫氣從泵體處排氣時，其也會導致在被糕 接到該低溫泵的排氣管線/歧管系統中與氧氣混合之潛在 爆炸性。

用於管理在低溫果中之安全運作的常見方案涉及— 分配系統。在-種典型的構型中，—個低溫栗被連結到_ =路終端機並㈣料終端機處進行㈣，此網路終⑻ 提供了 -種標準化的通訊連結到主㈣㈣。該低H 1322031 局端電子裝置的控制完全與該主控制系統相整合。以此方 式’該主控制系統會控制該低溫泵之安全運作，並且可以 響應一危險狀況而使該低溫泵進行再生及淨化。此一特點 使該泵體進入一安全模式，用以降低燃燒的風險》當氫氣 從忒泵體處釋放並排放到一排氣系統中時，對該泵體進行 淨化可能會稀釋出現在該泵體中的氫氣。 【發明内容】 上述方案會運作良好直到出現通訊或設備故障為止。 此·#故障會防止s亥主控制系統去有效地管理併入到該低溫 泵中的女全性特點。舉例而言，在一電力中斷期間，在該 低/m泵與邊主控制器之間的通訊連結可能會有問題。在— 電力中斷期間無法開啟該淨化閥體可能會使得出現在該泵 體中的任何氫氣有點燃的可能。一般而言，對於在該泵體 中可此產生之潛在危險狀況而言，這些系統並未提供一種 全面的安全解決方案。 此外，某些低溫泵具有一個常開型淨化閥體，其於電 力損失之後可以被自動地開啟。通常，該淨化閥體可以藉 由改變低溫泵之操作模式的一個使用料令而從一終端機 處被加以關閉。該淨化閥體亦可以藉由使用重置或優先切 換态（reset or override swhches)而被關閉。因此，此等 ，化閥體可以在潛在危險性或不安全狀況下，例如是在氫 孔出現在低溫泵内’並可能由於其揮發性而發生點燃時， 而由-個使用者或者是由該主控制器來加以關閉。 本發明之諸態樣提供了全面性的自動防止故障危害之 用以防止該低溫泵之不安全狀況下所產生的危害安 王眭之狀況。一種不安全狀況可能是：低溫泵中之電力故 障、低溫泵中有瑕疵的溫度感應二極體、或者是低溫泵之 咖度超過一臨界溫度位準。本發明可以在不安全狀況期間 控制一個或多個淨化閥體，並且可以使用與低溫泵相整合 之局知電子裝置而使來自於例如是該主控制器之其他系統 用以控制低溫泵之操作的企圖為無效。 本發明可以包括一種用於控制一低溫泵的系統及方 法。在該低溫泵中之一不安全狀況可以被決定，並且該淨 氣體了以被引導進入該低溫栗之中。另外，該閘門閥體 可以被保持關閉。該低溫泵可以藉由引導一或多個淨化閥 體（低溫淨化閥體或是排氣淨化閥體）進行開啟而被淨化。 舉例而言，低溫泵可以藉由使該淨化閥體開啟而被淨化。 該排氣系統可以藉由致使該排氣淨化閥體開啟而被淨化。 該淨化閥體與該排氣淨化閥體可以為常開型的閥體，並且 其可以隨著釋放而被維持為開啟者。該淨化閥體與該排氣 淨化閥體可以被週期性地開啟及關閉。藉由對該低溫泵進 行淨化，出現在該泵體與該排氣管線中的任何氫氣可以被 稀釋’並且燃燒的機會可以被降低。 一個被輕接到該低溫泵的電子控制器可以被使用以響 應一不安全狀況，此係藉由起始一個使一或多個淨化閥體 被引導而開啟的安全淨化。該控制器在其施行一安全淨化 時可以使任何其他系統為無效。該淨化閥體可以藉由該控 1322031 制器而被自動地控制，並藉由啟動用以防止任何使 主控制器去關閉該淨化閥體之一連鎖而被維持為開啟者。 藉由在一安全淨化期間釋放該淨化闕體，淨化氣 以被遞送進入該低溫栗中並且進入該排氣管線之中。 氣體可以從該#化閥體處被引導到該m <第二級 列。：發明能夠藉由使來自其他系統之任何指令為無效， 並且藉由防止安全淨化被中止的方式確保該間體維持開啟 一段充分的時間。局端電子裝置可以被輕接到該栗體，用 以確保該淨化閥體可以被控制’即便在低溫泵離線時亦 然。一個女全淨化可以被完成而無需起始一完整的再生程 序。在該安全淨化完成後，使用者或是主系統可以決定一 完整的再生程序是否需要。然而，在低溫栗之一閉門閱體 開啟時，可以防止發生再生程序。 可以包括-個時間延遲特點。此一特點會使該開啟淨 化閥體延遲-段預定時間。特別的是，該排氣淨化閥體被 開啟，而同時該低溫淨化閥體維持關閉。如果不安全狀況 在時間延遲週期過去之前並未消除，則該低溫淨化閥體會. 被自動地開啟，並且該低溫泵由淨化氣體所淨化。 -個被-體地減到該低溫泉的冑子㈣器可以被使 用，以藉由起始一安全淨化來響應一電力故障之不安全狀 況。使用被耦接到該低溫泵的局端電子裝置，一個淨化閥 體可以維持關閉-段預定時間。在預定時間過後，該淨化 閥體可以被開啟，以將該淨化氣體散發進入該低溫泉之 中。-個不斷電（UPS)特點可以併入該控制器中，使得 1322031 忒控制器能夠自動將該淨化閥體保持關閉，但會在安全時 間過後開啟該淨化閥體。藉由使用被耦接到該泵體的局端 電子裝置’一個或多個淨化閥體可以被控制，即便是端低 泵離線時亦然。舉例而言，該控制器可以容許該排氣淨 化閥體開啟，並可保持該淨化閥體關閉。 該整合控制器可以起始一個與該主系統無關的安全淨 化。該控制器可以使得來自系統的任何輸入為無效，直到 安全淨化完成為止。該淨化閥體可由該控制器自動地控 制，並且藉由防止任何使用者或主控制器去關閉該淨化閥 體之起動連鎖而維持開啟。 本發明可以監視一個低溫泵，用以決定其溫度是否為 在一操作設定點之下。舉例而言，如果該低溫泵冷卻到一 個低於操作設定點之溫度，則例如是可以設定一旗標之標 識。該操作設定點可以為1 8 K。 當該標識已被設定，且決定將溫度升高到一個超過一 預熱設定點的溫度，則一安全淨化可以藉由引導一淨化閥 體以及/或者排氣淨化閥體進行開啟而被起始。該預熱設 定點可以為34K。 該安全淨化可以容許該泵體在最短可能的時間内從危 險性狀況處恢復，而在同時使用最少量的資源。該淨化氣 體可以被直接地遞送進入該低溫泵的第二級陣列中。該淨 化閥體與該排氣淨化閥體可以被週期性地開啟及關閉，用 以發散一陣淨化氣體。該安全淨化可以被施行而無需進入 一個完整的再生程序之中。 1322031 本發明亦包括有一個控制器，其響 至少-個電容單元可以被提供力丈障 所认早從该至少—個電容單元處 所，·=予電力的一個延遲電路可以 Μ Μ i * 田5丨導—淨化閥體維持 關閉的方式來響應一電力故障 . 电合單兀可以儲存在一 釋放時間内所釋放的能量。 .,§ pa „ ^ ^ 釋放時間為—段該淨化閥體 必須開啟的安全時間。該延遲電路 ^ ·σ ^ , 乂控制一個被耦接到 β玄低;m泵的淨化閥體，並且在

M隹这擇放時間過後排放該淨化 儲存在單元中的能量可以被用做—個自動防止故 :危肩序機制。該電容單元可以僅具有足夠用以保持 化閥體關閉兩分鐘的能量。當被儲存在該單元甲的能 置被釋放時，該淨化閥體可以自動地開啟。該電容單元可 以為一電化學電容器。 -種用於供給—機構電力㈣統及方法可以被包括。 在至少-個電容單元中，在一釋放時間内被釋放的能量可 以被儲存。該釋放時間為一段該機構必須被除去電力之安 全時間。經由被儲存的能量’該系統可以藉由供給該機構 所儲存的能量來響應一個電力故障。該機構可以包括有一 個第一以及第二狀態。該第一狀態可以為一個針對潛在危 險狀況之去除電力狀態。該第二狀態可以為針對正常操作 之給予電力狀態。舉例而言，機構可以為一個常開型閥趙， 其中該第一狀態可以為正常開啟（無電力），並且該第二 狀態可以為關閉（有電力）。 本發明之另一態樣包括有一個用於監視例如是被耦接 - 到—低溫泵之溫度感應二極體之溫度感應器的系統及方

11 1322031 法。如果一個或多個溫度感應二極體並未適當作用，一個 淨化閥體可以被開啟’以將淨化氣體供應到該低溫果中。 本發明可以包括有一個電力故障恢復系統及方法。當 在一低溫泵中的電力發生故障時，該系統可以藉由引導該 等淨化閥體進行開啟的方式來響應。特別的是，在每次電 力故障之後，該系統可以藉由決定該低溫泵是否已被暖化 到一恢復溫度設定點之上來響應已恢復的電力。該恢復溫 度設定點可以為34K。如果該低溫泵已被暖化到該恢復溫 度设定點之上，一個安全淨化可以被起始。本發明可以確 保安全淨化不會被中止。在本發明的某些實施例中，該電 力故障恢復程序無法被關閉。 該低溫泵在電力損失時的操作狀態可以被決定。如果 該操作狀態指出在電力故障時該低溫$處在—再生程序之 中’則再生可以被起始。 【實施方式】

本發明之較佳實施例的描述如下。 篮溫A空糸欲 第一圖為根據本發明一 〇。該低溫真空系統1 〇 0 至102，用於將氣體從該 出。該低溫真空系統1 〇 〇 以及通常至少—個用以供應 壓縮機（並顯示）。該低溫 實施例之一低溫真空系統i 〇 被麵接到一個離子植入處理腔 離子植入處理腔室1 0 2處抽 包括有至少一個低溫泵丄〇4 壓縮氣體到該低溫泵1 〇 4的 真空系統1 0 ◦亦可以包括有 12 該低真空果122,水泵'堝輪系 工14、116以及錄規。這些料全部:、間體112、 溫冷卻到-較廣泛系統，例如是 #用以提供該低 具。 疋—個用於半導體處理的工 =可以包括有一個工具主控制系统ι〇6,其揭 :確二: 該低溫真空系統100之系統的 確切控制裎度。該工具可以使 yc τ=\ ^ λ： ^ 腔至102來施行 不冋的丰導體製造程序，例如是離

@々而μ 磷子植入、晶圓蝕刻、化 予或電漿瘵汽沉積、氧化、燒社、 ^ 托、、，。以及退火。這些程序通 吊被施行在分離的腔室之中’每一個腔室可以包括有一個 低溫真空系統1 0 〇的一個低溫泵丄◦ 4。 第二圖為根據第-圖之一低溫果的視圖。該低溫果工 0 4包括有一個低溫泵腔室i "，其可以沿著一個凸緣

1 1 0而被裝設到該處理腔室i 〇 2的壁部。該低溫泵腔 室1 0 8可以相似於在美國專利第4 555 9〇7號中所描述 者。該低溫泵1 〇 4可以藉由產生一高真空並冷凍在該低 溫泵1 ◦ 4内之低溫的低溫面板上的氣體分子，而將氣體 從該處理腔室1 〇 2處移去。 該低溫泵1 〇 4可以包括有一個或多級。舉例而言， 一個二級泵包括有一個第一級陣列與第二級陣列，其藉由 一個低溫真空冷凍器而被冷卻。如第三圖所示，一個第一 級1 2 2 a可以具有從一個輻射屏障1 3 8處所延伸的低 溫面板’用以對其上之例如是水蒸氣的高沸騰點氣體進行 冷凝。一個第二級1 2 2 b可以具有用以對其上之低沸騰 13 1322031 點氣體進行冷凝的低溫面板。該第二級陣列之低溫面板可 以包括有一個吸附劑’例如是炭，用以吸附例如是氫氣之 非常低沸騰點的氣體。該溫度感應二極體1 4 6 3與1 4 δ b被使用以決定該低溫泵1 〇 4之第一及第二級1 2 2 a及1 2 2b的溫度。在該低溫泵1 〇4中的一個二級平 移件藉由一個被容納在該低溫泵i 〇 4之外殼内的馬達i 2 4所驅動。

在使用數日或數周之後，已被冷凝在低溫面板上的氣 體，尤其是被吸附的氣體，開始使低溫泵飽和。所造成的 氣體混合物不一定具有危險’只要其維持凝結在該等低溫 面板上。然而，由於電力損失、使該低溫泵丄〇 4的通氣 或真空意外所造成陣列之暖化，可能會呈現出一種於低溫 泵1 0 4之中的潛在之不安全狀況，或者是在一個被耦接 到該低溫泵1 〇 4的排氣管線！ 1 8之中。在暖化期間， =低溫泵1 〇 4中的任何氫氣會被快速釋放並排放到該排 乱e線1 1 8巾，並且如杲氣體之某種混合以及—點火源 出現的話’氫氣快速燃燒的可能性會存在。如第二圖所示， 為了稀釋在該低溫泵"4與該排氣管線！工8中的氣 體，該低溫泵1 〇 4由淨化氣體所淨化。 在再生期間，該低溫泵1 6亥淨化氣體會加速該等低溫面 該低溫泵之滌洗水及其他蒸氣 該低溫泵1 〇 4中被排放的氫 因為其為相當惰性，並且為可 〇 4會由淨化氣體所淨化。 板的暖化，並且亦作為來自 。其可以被用來稀釋任何在 氣。氮為通常之淨化氣體， 取得而不含有水蒸氣β藉由 14 1322031 將氛氣引導進入到該低溫泵1 〇 4之中並接近該第二級陣 列1 2 2 b的方式，流入該低溫泵1 〇 4中的氮氣使得水 蒸氣從該第一陣列1 2 2 a處回到該第二級陣列1 2 2 b 的移動減到最小。在該低溫泵被淨化後，其可以藉由一個 低真空泵1 2 2所抽汲，以產生一個在該等低溫抽汲表面 與冷凝管（cold finger )附近之真空狀態。此一程序會降 低由氣體所熱傳導，並使該低溫泵能夠冷卻到正常操作溫 度。淨化氣體經由一個被耦接到該低溫泵1 〇 4之淨化閥 體1 1 2而被供應到該低溫泵腔室1 〇 8之中》淨化氣體 亦經由一個排氣淨化閥體1 1 4而被供應到該排氣管線1 1 8之中。 一個淨化氣體源1 2 6經由一個導管1 2 8、連接器 130、導管132、淨化閥體1 ι2、以及導管136 而被耦接到該低溫泵腔室1 0 8。當該淨化閥體1 1 2被 開啟時，該低溫泵經由來自該淨化氣體源1 2 Θ之淨化氣 體而被進行淨化。該淨化閥體1 1 2可以為一個電磁閥， 其被電氣地操作並具有兩個狀態，亦即完全開啟以及完全 關閉狀態。該閥體1 1 2可以使用-金屬線圈，其由電流 所供給電力時會使該閥體開啟或關閉。如果電流中止，該 閱體1 1 2可以自動地回復到其去除電力的狀態。該閥體 1 1 2可以為一個常開型或是常關型的電磁閥。在本發明 =確切示例中，如在下文中所更詳細地討論，其較佳為一 *開型的閥體。當被供給電力時，該閥體1 1 2將會被關 閉但疋在一個警示狀況被偵測到後，通往閥體i丄2之 15 UZZUJ1 電流將會藉由一個祐紅 ?皮轉接到該低溫泵1 0 4的控制器1 2

0而被關閉，並且兮I 〜*開型的間體將會開啟，以供應淨化 氣體到該低溫泵1 Ω / 斑, 丄。舉例而言，該閥體1 1 2可以響 應一電力故障而維持關Ρ弓.Λ . Β 矛關閉一段時間，並可以在該段時間過 後開啟。 該淨化閥體1 1 〇 + γ 丄丄Ζ亦可以包括有硬體以及/或者軟體 連鎖立硬體連鎖典型為電子式或機械式裝I，其為自動防

止故P早危σ的操作。軟體連鎖通常被用在啟動硬體連鎖之 前來中斷一程序。 δ亥淨化氣體源1 2 6亦被耦接到該排氣管線j i 8， 而該排氣管線1 1 8被麵接到該低溫泵1 Q 4。該排氣管 線1 1 8立由一個導管1 3 4以及一個排氣淨化閥體1 1 4而被耦接到該淨化氣體源1 2 6。該排氣管線χ i 8可 以包括有一個於一外殼内之排氣閥體丄4 〇，其經由一個 導管1 4 2以及導管1 44而被耦接到該低溫泵丄〇4。 如美國專利第5,906，102號所述，該排氣閥體丄4 〇經由 該導管1 2 8、連接器1 3 〇、導管3 4、排氣淨化閥 體1 1 4、以及遞送導管1 4 8而被耦接到該淨化氣體源 1 2 6。一般而言，該排氣閥體1 4 〇使得從該低溫泵腔 室1 0 8處所釋放的氣體通氣到或排放到該排氣管線1丄 8中。來自該排氣管線1 1 8之氣體被驅使進入—個排氣 設備主要歧管中，在此處其可以由一減輕系統所處理，該 減輕系統（abatement system )可以包括有濕式或乾式先蘇 器、乾式泵、以及過濾器，其可以被用來處理並除去排放 16 1322031 氣體。 該排氣淨化閥體1 1 4可以為一個電磁閥，其開啟以 將淨化氣體從該淨化氣體源1 2 6處遞送到該排氣管線1 1 8 °在一個不安全狀況期間，該排氣淨化閥體1 1 4可 以將淨化氣體遞送進入該排氣管線1 1 8之中。如果該排 氣淨化閥體1 1 4為一個電磁閥，其為類似上文中參照該 低溫淨化閥體1 1 2所描述者。該排氣淨化閥體丄1 4亦 可以包括有一連鎖。然而，與該低溫淨化閥體i i 2所不 同的是，較佳的情況是不會有影響該排氣淨化閥體i丄4 所響應一不安全狀況之開啟的啟動延遲。 一個低溫泵控制系統1 2 0被顯示在第四八圖到第四 圖之中°亥控制系統1 2 0被網路連結到該主控制器1 〇 6。：個網路控制器丄5 2可以提供一個通訊介面到該 主控制系統1 〇 6。以此方式，該主控制系統1 〇 6於正 常操作期間對該低溫泵1 進行控制l在不安全 狀況期間，該控制系餘Ί 9 n I #丄 制糸統1 2 0會藉由使來自任何其他系統 之“為無效之方式來限制這些系統的控制。另外，該控 制系統1 2 0可以草止杯你你田土 μ 仃使用者去手動地控制該等淨化 閥體1 1 2和1 1 4、以及該閘門閥體丄丄6。 該控制系統1 Jot ^ λ ◦匕括有一個處理器1 5 4，其驅動 該低溫泵104的操作。該處理 库厭★ s… 〇亥處理裔1 5 4儲存例如是溫 又垄力、再生時間、間體 心矛' 統參數，以及該低溫 17 1322031 果1 〇 4的操作狀態。該處理器i 5 4決定在該 〇4中是否有任何不安全狀況或是安全 "" B 女全狀况。較佳情況 疋’該控制系統1 2 〇為與該低溫泵相整入 ，^ 欠祁登合，如美國專利 弟⑼M30號中所述’其全部内容在此合併做為本案之 參考〇 該控制器120之架構可以基於—個部件框架其包 括有一或多個模組。在第四A圖到第心圖中所顯示的特 &貫施狀況之中’兩個模組被圖示說明’一個低溫泉控制 棋組1 8 0以及一個自動淨化控制模組} 5 〇 ^雖然該控 制益1 2 0可以被實施成為單一模組，但是將該控制系統 分離為可與數種不同應用相整合的諸部件丄8 〇、i 5 〇 可能為吾人所希求者。藉由使用一個部件模型來設計該控 =系統1 2 〇，每—個模組i 8 Q、i 5 Q從而不會被限 2到一特定產品，而可運用到多種產品。此容許此等部件 能夠被獨立地與任何隨後的模型或是與其他類型系統之任 何控制器相整合。 田 個不女全狀況被偵測到時，該控制系統1 2 〇負 責監視以及控制該等淨化閥體1 1 2和1 1 4以及該閘門 閥體1 1 6。舉例而言’當該控制系統1 2 〇決定在該低 皿系中有一個不安全狀況時’該控制系統1 2 0可以確保 該等淨化闊體1 1 2和1 1 4以及該閘門閥體1 1 6為開 啟或關閉。该控制系統1 2 〇使用該自動淨化控制模組1 5 0來施行此項任務。該閘門閥體控制類似於在美國專利 $ 6’327,863號中所描述者，其全部内容在此合併做為本 18 1022Ό51 案的參考。

以控制模組i 8〇包括有一個AC電源供應輸入件工 ’其被耦接到-個電壓調節器1 5 6。該電壓調節器 1 5 6輸出2 4伏特的交流電以將電力供給包括有整合式 自動淨化控制模組1 5 0、閥體1 1 2、1 i 4、丄丄6 與毛細系統部件的低溫閥1 〇 [該電壓調節器丄5 6被 j „個電源供應致能該控制器1 8 4 ’該電源供應致 制-1 8 4將f源供應到該整合式自動淨化控制模組 15 0° —該自動淨化控制模組1 5 Q包括有-個隔絕的電廢調 節器1 f 6，該電壓調節器1 8 6被耦接到2 4伏特的電 原：應„。1 84。該電壓調節器丄86將來自於該電源供 應器1 84之24伏特電壓轉換為工2伏特的直流電壓， 而此1 2伏特的直流電壓可以經由控制輸出節點丄9 〇、 194、196而被供應，以給予該等閥體112、工工 4、1 1 6電力。

«亥等淨化閥體丄丄2 '工工4為常開型的閥體，並且 在β亥低，姐泵的正常操作期間，延遲電路1 5 8、1 6 8被 給予電力以確保該等淨化閥體丄1 2、丄丄4維持關閉。 個淨化閥體驅動器（功率放大器）丄9 8正常被致能以 於《亥低皿泵1 〇 4的正常操作期間將該淨化閥體工工2維 持關閉^ 。亥閘門閥體1 1 6為_個常關型的閥體。該自動淨化 控制模組1 5 Q確保該閘門閥體1 1 6被關閉以使該低溫 19 1322031 栗1 04與該處理腔室1 〇2相隔絕。該繼電器1 6 4被 供給能量用以控制該閘門閥體1 1 6的狀態。位置感應器 可以被坐落在該閘鬥閥體1 1 6内，其可以偵測該閘門閥 體1 1 6之位置為在一開啟或關閉位置之中。該閘門閥體 1 1 6之位置藉由一個致動器2 〇 6 (例如是一個氣動式 致動器或是電磁閥）而被調節。閘門閥體位置反饋器2 〇 2、204於一輸入節點208處被輸入到該處理器15 4 0 一個暖化警示指示器1 6 6被包括在該自動淨化控制 模組1 5 0之中。該暖化警示指示器可以為一個狀態發光 一極體（status light-emitting diode),其指出該低溫泵是 否已被暖化到一臨界溫度之上。該暖化警示繼電器1 6 2 經由該控制輸出1 9 2來控制該警示指示器1 6 6。 來自該電壓調節器1 8 6的電流會流過一個電力可用 狀態指示S 1 8 8，其為一個狀態發光二極體，其指出電 力是否從該電壓調節器i 8 6處被供應。在一電力故障期 該狀態指示器i 8 8通常會指出電力並未從該電壓調 即器1 8 6處被供應。根據本發明之一態樣，在一電力故 障期間，一個使用電化學電容器1 7 〇的備用電源供應器 會將電力供應到該自動淨化控制模組1 5 〇。一個充電電 72被使用以於電力為可取得之時對該等電化學電容 裔1 70進行充電。該充電電路i 72藉由將—連串的電 流脈衝供應到該等電容器丄7 〇的方式來對電容器 進行充電。 20 丄似031 溫淨·化延辑 在電力故障期間’該常開型的排氣淨化閥體1 1 4會 開啟以對泵體進行淨化，同時該低溫淨化閥體i i 2被保 持為關閉一段安全時間週期。延遲該低溫淨化閥體1 i 2 之開啟為吾人所希求者，此因為起始該低溫泵1 〇 4之一 安全淨化而不予以延遲可能會導致不必要地浪費寶貴時間 及貝源。對該低溫泵1 0 4進行淨化會毀壞在低溫泵中的 真二，並且致使接著可能會需要再生之氣體的排放，而此 若可能的話會被防止。使該淨化閥體之開啟延遲一段時間 藉由該控制器1 2 〇而容許電力之可能維持以及可能恢 復’而不會使該低溫泵之操作因淨化而中斷。 該等電容器1 70被使用以藉由對該繼電器丄58與 該淨化閥體驅動器i 9 8給予電力一段安全時間週期而對 關閉的淨化閥體1 1 2給予電力。—個時間延遲控制電路 1 6 8被使用以決定在電力故障後安全時間週期何時會過 去。在此一示例之中，該時間延遲電路丄6 8於5伏特下 作用，並因此，其被耦接到一個5伏特的直流電壓調節器 200，此直流電壓調節器2〇〇接收來自於獨立的12 伏特直流電壓調節器186的電力。該電壓調節器2〇〇 可以為一個齊那二極體（zener diode )。 該自動淨化控制模組i 5 〇延遲該低溫泵丄〇 4之淨 化一段安全時間it期，並且如果電力在此時間週期已過後 並未恢復，則該淨化閥體i i 2被允許以進行開啟。然而， 21 以2031 如果不安全狀況在一個小於安全 -安全狀況，則該控制模組！ 二時間内改變到 復程序，並且回復到正常操作，如同未有°個電力故障恢 舉例而言，-個安全狀況被決定為；=何事情發生。 +。士 ^ &句在電力被回復到該系姑 者如果其被決定為例如是該主控制^另 -糸統會適當響應不安全狀況 ：：另 藉由使用-個淨化閥體112延遲兄被更正時’ 全狀況的響應，該自動淨化控制模由中止對不安

及恢復時間以及資源的不必要Π::::防止淨化 果安全時間週期過 不女全狀況仍然存在，-個安全淨化會被起始，該 卓化閥體1 1 2被容許以進行開&，並且該淨化氣體會立 即，該系體1 〇 4處進行通氣。根據本發明之一方面，即 f是電力在安全淨化期間被恢復，淨化將會繼續一段淨化 時間，例如是五分鐘，而使來自一使用者或主控制處理器 的任何相反輸入為無效。

習知系統藉由起始一再生程序來響應電力故障。然而， 當電力被恢復時，淨化可能已被停止。因此，危險性氣體 可此已被排放，而可能將該泵體置放在一個可燃燒的狀態 中°如上文所討論’本系統繼續一個安全淨化，即便是電 力已被恢復’並因此降低燃燒的機會。 故障危害的閫體釋放以及時間控制换制 根據本發明之一方面，自動防止故障危害的閥體釋放 與時間控制機制被併入。該控制系統1 2 0合併有一個備 22 丄 用時間控制機制來做A + · ·，， 寸衛，其確保該淨化閥體1工 J在預定時間過後開啟。舉 ^ 』而5，如果時序電路168 並未谷許該淨化閥體1 ，,,θ φ 1 1 2在預定時間過後進行開啟，則 幻如疋電化學電容器1 動防備用電源被使用以提供一自 止故障危害的淨化閥體釋放機制。 被健存在電化學電容器1 丄〈〇中的食b里會在電力故障 量二Γ之速率（RC·間常數）而耗盡。-有限能 二被儲t在電容器170中’用以將該淨化間體112保 持段安全時間的關閉。舉例而^ # ” 1j肉5 ，如果該閥體1 1 2為 一個常開型閥體，被儲存在該等 ， 寸电谷态丄7 〇中的能量可 淨，體電子驅動器198致能，並且供給該繼電 :針：能！以將該淨化閥體在電力故障時保持關閉。當 =:該電容器170中的能量被耗盡之時，該驅動器 1”會失能，而該闊體112會自動地開啟。從而，經 由此一技術’該低溫泵可以被淨化 里^ 净化，並且不安全狀況的結 果可以被緩和下來’即便是在該時序電路丄㈠中有一故 障時亦然。藉由示例說明’ B夺間延遲電路168可以容許 在兩分鐘後使淨化閱體開啟’並且來自於該電化學電容的 電力在三分鐘後會不足以將該淨化閥體保持開啟。 超過一個安全時間週期，例如是三分鐘 額外的自動防止故障危害的技術可以被實現而與此一 技術相-致。舉例而言，計時器168亦可以包括有一個 快速地使電力從該電容器170處排去的電路…電路 有助於確保電容器170無法對淨化閥體ii2供給能量 23 1322031 一個狀態光指示器1 模組1 5 0之 發光二極體， 7 4亦被包括在該自動淨化控制

電狀態。 電容之受控充雷 該充電電路1 7 2被使用於當電力可取得時來對電化 學電容器1 7 0進行充電。在某些狀況下，刻意阻礙該充 電電路1 7 2而使其無法快速對該電容器i 7 〇進行充電 可能會有益處，即便該等電容器i 7 〇能夠在數秒鐘内被 完全地充電。舉例而言，如果該等電容器丄7 〇被容許正 常充電，並且存在有電力故障與恢復之快速及間歇循環， 則該淨化閥體可能從未被容許開啟，即使該低溫系被暖化 到一不安全狀況。特別的是，每一次電力被恢復時，該等 電容器1 7 0將被容許被完全地充電。為了防止此一狀 況’該充電電路1 7 2可以藉由將一連串的受控電流脈衝 供應到該等電容器1 7 0而非常緩慢地對該等電容器丄7 〇進行充電。 J：力故障伖德 先前的電力恢復方案可以由一使用者或主系統所關 閉’然而其通常需要該泵體之大量資源及停機時間。當電 力於真空系統中被恢復時，使用者可以選擇以中止電力故 障恢復程序。然而，如果點火源存在的話，關閉電力故障 恢復可此e導致在該閥體容器及排氣系統中之潛在危險。 該恢復系統典型包括有三種響應已恢復電力之可行系 統。此一先前電力故障恢復系統被描述在美國專利第 6’510’697號之中°此―習知系統包括有-個電力故障恢復 程序’其為選擇性者，並且從而可以在任何時間被關閉。 二種可能響應的第—種為不響應。因為電力故障恢復程序 為選擇性者，使用者可以將電力故障恢復系統完全關閉， 而該系統將單純地不對已恢復電力響應。如果電力故障恢 復模式開啟，且該栗體之溫度低於某-臨界值，一個第二 響應包括有起始泵體之冷卻。典型上，這發生在該果體： 於-程式化臨界值，例如是35Κ。在冷卻時，I束器被開 啟，而該泵體被自動冷卻。如果該泵體並未在三十八鐘内 冷卻到低力20Κ，一個警示或旗標會被設定。第三= =型上關於進人—個完整的再生循環狀態，如果栗體過 又暖化的話，舉例而言，如果溫度上升到高於35Κ的話。 此一再生循環包括有數種階段，例如是淨化、加熱 以及低真空抽汲。通常’數項測試亦被執行，例如淨：、 壓力以及清空測試。這些測試有助於決定系統是否必窄重 複再生循環的前-階段。依據被冷凝或被吸收在 ^ 面板上的氣體，在泵體被認為是安全或已再生之前，节姐 統典型上可以重複某一階段或甚至是整個循環一::六：系 由於半導體製程典型上被施行於個別的 八久。 主、母一個腔室 可以包括有—個低溫真空线之m 體中的一或多個必須遭受-或多個再生循環的停 25

Sbs導致—個長的、複雜的、以及昂貴的程序。在今日的 全球動態環境中，半導體工業之正確性以及速度的關鍵本 貝可月b思、心對一新產品或甚至是一家公司之成功及失敗間 的差別。對許多半導體製造者來說，典型上，產品之大部 刀成本於製造階段前即被決定，此一停機時間會造成產品 發展時間的損失，而使公司付出巨大的成本。

本系統之電力故障恢復程序可藉由使用最少的資源而 在最短可能時間内降低對安全的危害。任何不安全狀況可 以藉由起始一安全淨化而被解決，從而防止在電力故障、

再生或低溫聚故障後可能產生之腐㈣或危險性氣體或液 體的積聚。根據本發明之一態樣，本發明電力故障恢復程 序的安全淨化使用最少的資源來防止氣體之可燃性混合物 在該系體1 0 4和該排氣系統i i 8中發展，並在最短可 能時間内使該系體i 〇 4無法正常操作…實現此一特 點’該等淨化閥體1 i 2和1 i 4可以被產生脈衝一段時 間’例：是五分鐘，用以確保該泵體丄〇 4與該排氣系統 1 1 8安全。纟另-個實施例之中，該淨化氣體被直接地 供應到該第二級的低溫面板，而一陣陣到該第二級陣列及 該排氣管線的淨化氣體可以被循環。在完成安全淨化被之 後，電力故障恢復程序不需要接著進行一個完整再生程 序。此-選擇留給主系統或使用者來決定。該安全淨化使 泵體104進入一安全操作壯能 ^ 作狀態，並且容許該泵體能夠回 復到正常操作來縮短停機時間。如下文中所更詳細討論， 為了安全的理由，本發明電力故障恢復程序的安全淨化無 26 1322031 法被中止且無法被關閉。該安全淨化可以由該系統1 2 ο 而被實施成一個固有的、自動防止故障危害的響應。 第五圖為一個流程圖’其描述了根據本發明之一態樣 的一個電力故障恢復程序5 0 〇。當恢復電力時，該低溫 泵控制系統1 2 0會在步驟5 1 〇處藉由偵測來自該低溫 泵1 0 4之溫度感應二極體的溫度來決定該低溫泵1 〇 4 的溫度。在步驟5 2 0處，如果一個或多個溫度二極體並 未適當作用，則該系統1 2 0會於步驟6 〇 〇處起始一安 全淨化。 如果該等二極體於作用中，則在步驟5 3 〇處，該系 統1 2 0會決定該低溫泵丄〇 4的溫度是否為低於一預定 臨界值’例如（35Κ。如果該栗體的溫度並未小於此一界 限’則在步驟6 0 0處，該安全淨化被起始。在完成該安 全淨化後’在步驟5 8 〇處，該主系統或使用者被容許具 有對該低溫泵1 〇 4的控制。 如果該低溫泵1 〇 4的溫度為小於35κ，

2〇會在電力損失之時決定該低溫果…的操作= 舉例而言’在步驟540處，該系統120會決定該低 泵1 〇 4在電力故障之時是否開啟。如果該泵體"4 電力故障時並未開啟，則在步驟5 8 0處，該主控制系 1 0 6或使用者被容許來控制該低溫泵丄〇 4。 如果該低溫泵1 〇 4開啟’則在步驟5 5 ◦處，程； 會決定該系體在電力故障時是否處於再生的過程中。如」 電力故障中斷—個在該低溫栗1 0 4中的再生程序，… 27 1322031 步驟5 9 0處，該系統1 20會決定該低溫泵1 〇4在被 關閉時是否可以完成再生程序。在步驟5 8 〇處，該主系 統或使用者被容許具有對該低溫泵1 〇 4的控制《如果該 低溫泵1 〇 4並未處於再生狀態，則在步驟5 6 〇處，該 系統1 2 0會施行檢查以決定該低溫泵丄〇 4的溫度是否 低於25K。如果溫度大於25K，一個安全淨化於步驟6 〇 0處被起始。在完成安全淨化被後，在步驟5 8 〇處，該 主系統或使用者被容許具有對該低溫泵1 〇 4的控制。 如果該低溫泵1 〇 4的溫度小於25K，並且該泵體工 0 4可以在步驟5 7 0處冷卻到低於丨8K的溫度，則該泵 體1 0 4為足夠冷卻以進行開啟者。在步驟5 8 〇處，主 系統或使用者被容許具有對該低溫泵1 〇 4的控制。 如果該泵體1 0 4無法冷卻到一個低於丨8Κ的溫度， 則其並未冷卻足以進行開啟，在步驟5 8 〇處，該主系統 或使用者被容許具有在步驟4 4 0處對該低溫泵i 〇 4的 控制。H统1 2 Q可以設置-個旗標，其指出該栗體必 .須被施行檢查，並且此一訊息可以被通報至該主控制器工 0 6° 不安全狀沉 根據本發明之一態樣，一個不安全狀況可能出現任何 對該低溫泵1 〇 4造成潛在危險的狀況。舉例而言，當該 低溫真空系統1 G G電力故障、低溫泵之溫度超過某—臨 界溫度位準、或在該低溫泵中有__故障的溫度二極體時， 28 1322031 一個不安全狀況即被確認。一般而言’在一不安全狀況由 該系統1 2 0決定時’該閘門閥體i丄6被關閉，而該低 溫泵1 〇 4與排氣管線1 1 8會被施行淨化_段時間，例 如是五分鐘。在此一段時間期間，該等淨化閥體丄i 2和 1 1 4可以被週期性地開啟及關閉。在完成安全淨化並靖 正不安全狀況之後，該主控制器i 〇 6可以控制該低溫泵 10 4° 超過一臨界溫唐 第六圖為一個流程圖’其描述了 一個用於決定該低溫 泵之溫度超過某一臨界溫度的程序。根據本發明之此一態 樣，s玄系統1 2 0會在步驟6 3 0處決定該低溫泵之溫度 是否低於某一操作設定點，例如是18Κβ在步驟6 4 〇處， 該系統1 2 0會設定一個旗標，其指出該低溫泵之溫度已 降低到該操作設定點之下。在步驟6 4 0處，該系統1 2 0會決定該低溫栗之溫度是否已升高到一個預熱設定點， 例如疋3 5 Κ。如果該低溫系預熱到一個大於此一參數的數 值’則在步驟680處’該等淨化閥體112和114會 被容許開啟，並如步驟6 6 0所述，該閘門閥體1 1 4被 關閉。在此段時間’在步驟6 7 ◦處，該主控制器1 ◦ 6 無法控制該等閥體1 1 2、1 1 6、以及1 1 6。此一安 全淨化會繼續某段時間，例如是五分鐘，在步驟6 8 0處。 五分鐘過後，在步驟6 9 0處，該主控制器1 〇 6會取回 對該等閥體1 1 2、1 1 6、以及1 1 6的控制。 29 1322031 故障的溫疳二炼赭 如第三圖所示，該低溫泵1 〇 4包括有-個或多個溫 度感應二極體146a、146b。如果其中一個溫度感 應二極體1 4 6 a、1 4 6 b故障，則該低溫泵i 〇 4可 能會在一個無法被偵測到的不安全溫度下作用，並從而可 能會發生意外。本系統使用局端電子裝置1 2 〇來決定該 二極體是否適當作用。 先剛的解決方案的焦點放在該主系統是否已接收到相 關於低溫泵之溫度訊息。當該主控制器未能決㈣體之溫 度時，該主控制器在典型的狀況下會起始一個完整的再生 循裱。然而，基於此一方法來起始低溫泵的一個完成再生 程序可能會導致寶貴時間及資源的不必要浪f，此因為無 法接收溫度讀數可能是許多其他故障所造成，例如是一通 訊錯誤或是與一故障二極體所不相關之設備的故障。一般 :言m统並未具有一種用於偵測溫度感應二極體之 操作狀態的技術。該主系統反而是簡單地起始低溫泵之一 完整再生程序以響應某一故障，用以接收與該低溫泵有關 的通訊。 根據本發明之一實施例，當溫度感應二極體^ 4 6 a、 1 4 6 b的其中一個並未適當作用時，存在一種不安全狀 況。本發明使用局端電子裝置1 2 〇來偵測二極體的操作 狀態，並且該局端電子裝置i 2 〇可據此進行響應。以此 方式，可以實現一個離線解決方案，其特別可以決定一個 1322031 故I1早的溫度感應二極體。決定一溫度感應二極體在何時並 未適當作用的能力會提高可靠性，並避免不必要的再生、 時間的浪費、與資源的開支。 熟％此項技藝之人士所理解的是，涉及整合式自動低 溫泵安全淨化與排氣管線安全淨化的方法可以一個包括有 電腦可用媒體的電腦程式產品來實施。舉例而言，此一 電腦可讀媒體可以包括有任冑具有才皮儲存於其上之電腦可 讀取程式碼部分的裝置。電腦可讀取媒體亦可以包括有一 個通訊或傳送媒介，例如是其上載有程式碼部分來做為數 位或類比訊號之一匯排流或是光學、有線、無線的通訊連 結。 將更進一步為普通熟習此項技藝之人士所理解的是， 如本申請案中所使用的，「低溫泵（cryopump)」可被廣 泛解釋為意圖經由任何已知或後續發展出來的方式而被直 接或間接連接到或可連接到一離子植入系統的任何低溫攫 取果體（cryogenic capture pump )或其部件。 雖然本發明已參照某些實施例而被特別顯示及描述， 但是將為普通熟習此項技藝之人士所了解的是，可以在形 式與細節上做出數種改變而不會背離本發明由隨附申請專 利範圍所含括的範疇。 【圖式簡單說明】 本發明先前與其他目的、特點、與優點將從附圖中所 說明本發明的較佳實施例之更特定的描述而顯明，在圖示 31 1322031 中’相同的元件符號在所有不同圖示中表示相同之部件。 圖示並不需要依據比例繪製，而是隨著說明本發明之原理 來加以強調。 ' 第一圖為根據本發明一實施例之低溫真空系統 > 第一圖為根據第一圖之低溫泵之一視圓； 第三圖為一低溫泵之截面圖； 及 第四A圖到第四B圖為一低溫泉控制系統的方塊圖· 第五圖為一流程圖，其描述一電力故障恢復程序'，:

第六圖為一流程圖，其描述一 —溫度是否超過一起始溫度的程序 個用於決定一 低溫录之 【主要元件符號說明】 10 0 低溫真空系統 10 2 離子植入處理腔室 10 4 低溫泵 10 6 主控制器/主控制 10 8 低溫泵腔室 110 凸緣 112 閥體 114 閥體 116 閥體 118 排氣管線 系統

32 1322031 12 0 12 2 12 2a 12 2b 12 4 12 6 12 8 13 0 13 2 13 4 13 6 13 8 14 0 14 2 14 4 14 6a 14 6b 14 8 15 0 15 2 15 4 15 6 16 2 16 4 控制器/低溫泵控制系統 低真空泵（roughing pump) 第一級 第二級 馬達 淨化氣體源 導管 連接器 導管 導管 導管 輻射屏障 排氣閥體 導管 導管 溫度感應二極體 溫度感應二極體 遞送導管 自動淨化控制模組 網路控制器 處理器 電壓調節器 暖化警示繼電器 繼電器

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Claims (1)

1. 月吟修⑻正替換頁 十、申請專利範圍：--—I_ 2、一種控制一低溫泵之方法，其包括有： 藉由以下回應一在該低溫泵中之潛在不安全的狀況： 將一常開型淨化閥體保持關閉一段時間，·及 在經過一段時間後，使該淨化闕體開啟以將一淨化氣 體排入該低溫泵中。 2、根據申請專利範圍第1項所述之方法，其中，該 争化閥體疋一低溫淨化閥體或一排氣淨化閥體。 3 '根據申晴專利範圍第1項所述之方法，其更包括 有：在該淨化閥體已被允許開啟之後，防止任何其他系統 關閉該淨化閥體，直到該潛在不安全狀況改變成一安全狀 况為止。 4、 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其更包括 有·在該淨化閥體已被允許開啟之後’優先於_主控制器， 防止其關閉該淨化閥體。 5、 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其更包括 有：在該淨化閥體已被允許開啟之後’防止淨化氣體之輸 送被中止。 6、 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其中，一 個潛在不安全狀況包括以下任一狀沉： 該低溫泵之電力故障； 該低溫泵之溫度高於或等於一預定溫度臨界值；或 無法決定該低溫果之溫度。 7、 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其中，允 35 1322031 ----- | t — —_ 11 ___ 丨_ ▲ — 將該潛在不 許該淨化閥體開啟使^Γ£-霞·Fnc^ ' 安全狀況改變成一安全狀況。 8、 一種低溫泵，其包括有： 一個低溫泵腔室，其具有抽汲表面； 一個常開型淨化閥體，其被耦接到該低溫泵；以及 個電子控制器，其被輕接到該低溫泵，其特徵在於： 該電子控制器藉由將該淨化閥體保持關閉一段時間回 應該低溫泵中之一潛在不安全狀況，且若在經過一段時間 後，該潛在不安全狀況保持，則該控制器進一步藉由引導 該淨化閥體開啟以輸送淨化氣體來回應。 9、 根據申請專利範圍第8項所述之低溫泵，其中， 該潛在不安全狀況存在於以下任一狀況： 該低溫果之電力故障； 該低溫泵之溫度高於或等於一溫度臨界值；或 無法接收讀自該低溫泵之溫度。 1 0、一種用於控制一低溫泵之系統，該系統包括有： 用於將一常開型淨化閥體保持關閉一段時間的機構； 及 ， 用於在經過一段時間後允許該淨化閥體開啟以將淨化 氣體排入該低溫泵的機構。 1 1、一種控制一低溫泵之方法，該方法包括有 決定一溫度感應器是否適當地作用；以及 藉由引導一淨化閥體開啟來回應一個未適备 田作用的溫 度感應器。 36 1322031 p年(脈日 利範圍第11項所述之方法，直 1 2、根據申請專 該淨化閥體是一個被耦接到一低溫泵之低溫淨化閥體或 是一個被耦接到一低溫泵之一排氣管線的排氣淨化閥體。 1 3、根據申請專利範圍第χ丄項所述之方法，其中， 引導-淨化閥體開啟進-步包括維持該淨化間體開啟以輸 送淨化氣體一段時間。 丄4、很豫甲請專 維 持該淨化閥體開啟更包括有：防止任何其他系統關閉 淨化閥體

   1 5、根據申請專利範圍第i 3項所述之方法其中， 維持該淨化閥體開啟更包括有：優先於一主控制器，防止 其關閉該淨化閥體。 1 6、根據申請專利範圍第丄3項所述之方法其中， 維持該淨化閥體開啟更包括有··防止淨化氣體之輸^中 止。 1 7、根據申請專利範圍第1 3項所述之方法，其中， 弓丨導-淨化閥體開啟更包括有：釋放一個常開型淨化閥· 體。 1 8、根據申請專利範圍第χ 7項所述之方法，其中， 弓1導一淨化閥體開啟更包括有： 將該常開型淨化閥體保持關閉一段時間；及 在經過該預定時間後，允許該淨化閥體開啟。 19、一種低溫系’其包括有： 一個淨化閥體，其被耦接到該低溫泵； 37 1322031 口修(更)正公换I " 一個或多個溫度感應器，其等被耦接到該低溫泵；以 及 一個電子控制器，其被耦接到該低溫泵該控制器被 裝δ又成決疋疋否有其中一個溫度感應器故障，該控制器在 其中一個/JBL度感應器已故障時，會引起該淨化閥體開啟。 2 0、根據申請專利範圍第i 9項所述之低溫泵，其. 中，該控制器保持該淨化閥體開啟更包括有：該控制器防 止其他系統關閉該淨化閥體。 2 1、一種用於控制一低溫泵之系統，該系統包括有：籲 用於決定一溫度感應器是否適當地作用之機構；以及 藉由引導一淨化閥體開啟來回應一個未適當作用的溫 度感應器之機構。 2 2、一種控制一低溫泵的方法，該方法包括有. 使用來自至少一個電容單元之電力以保持一淨化閥體 關閉來回應一電力故障；以及 在至少一個電谷單元之中’儲存在一釋放時間内所釋 放的能量’該釋放時間為一段供該淨化閥體必須開啟之釋 馨 放時間。 2 3、根據申請專利範圍第2 2項所述之方法，其更 包括有：在被儲存於該單元中之所有能量被釋放時，使該 淨化閥體開啟。 2 4、根據申請專利範圍第2 2項所述之方法，盆由， T 被儲存在該單元中的能量被使用做為一個時序機制。 25、根據申請專利範圍第22項所述之方法，直 T ， 38 1^22031 # 修(更)正替換q 該至少一個電容單元為元。 2 6、根據申請專利範圍第2 2項所述之方法，其中， 回應電力故障更包括有： 、 a使一個被耦接到該低溫泵之一排氣管線的排氡閱體或 疋一個破耦接到該低溫泵之低溫淨化閥體開啟；以及S 使一個被耦接到該低溫泵的閘門閥體關閉。 27、根據申請專利範圍第22項所述之方法，其 該釋放時間小於五分鐘。 八’

   爆甲靖寻利範圍第2 2項所述之方法，其 包括有：-個使該淨化閥體在—個小於該釋放時^ 内開啟的延遲電路。 吁 y、根據申請專利範圍第2 8項 小於該釋放時間之時間為二分鐘 3 〇、一種低溫泵，其包括有： 至少一個電容單元； -個延遲電路，其從該至少一個電容 該延遲電路藉由引導一個被 被，，α予電

   ^ 固破輪接到該低溫泵之涤彳卜明 持關閉來回應一電力故障；以及 閥 該電容單元儲存在—經 妨在釋放時間内被釋放的能量， 放時間為一段供兮洁 >(μ pq _ 供这淨化閥體必須開啟的 31、 根據申請專利範圍 中，當被儲存在兮置_ 3〇項所述的低溫泵 路致使該淨化的所有能量被釋放時，該延: 32、 一種用於控制-低溫泵之系統，該系統包括 39 1322031 月吟修(更)正替換頁 用於使用來自至少一個冑容 PB gfl „ * 干7^之^刀以保持一淨化 閥體關閉來回應-電力故障的機構；以及 儲存在該至少一個電容 放之浐旦认地 之中於一釋放時間内所釋 放之肊置的機構，該釋放時間為— 啟之釋放時間。 -供該净化閥體必須開 3 3、一種控制一低溫泵的方法，其包括有 決定在一低溫泵中之一不安全狀況；以及 藉由允許一個常開型淨化閥體開啟以將淨 進入到該低溫系之中，細應該不安全狀況，並且防止： 何士控制H去控制該淨化„，直到㈣安全狀況改變成 一女全狀況為止。 34、根據申請專利範圍第33項所述的方法，其中， ，淨化閥體是一個被耦接到一低溫泵之低溫淨化閥體，或 是-個被耦接到一低溫泵之一排氣管線的排氣淨化閥體/ 3 5、根據申請專利範圍第3 3項所述的方法，其中 允許一常開型淨化閥體開啟更包括有：維持該閥 啟以輸送淨化氣體一段時間。 開 3 6 '根據申請專利範圍第3 5項所述的方法，其中 維持該淨化閥㈣啟更包括有：防結何其他系統關 淨化閥體。》 3 7、根據申請專利範圍第3 5項所述的方法，其中 維持該淨化閥體開啟更包括有：優先於一主盟八’ 其關閉該淨化閥體。 Λ M it 38、根據f請專利範圍第35項所述的方法n 40 1322031 包括有以".—· 藉由決定該低溫泵之再生是否必需來回應一個改變成 β安全狀況的不安全狀況。 3 9、根據申請專利範圍第3 5項所述的方法，其更 包括有以下步驟： 在該低溫泵之一閘門閥體開啟時，防止該低溫泵之再 生0 4 0、根據申請專利範圍第3 5項所述的方法，其中， 維持該淨化閥體開啟更包括有：防止淨化氣體之輸送被中 土。 4 1、根據申請專利範圍第3 3項所述之方法，其中， 允許一個常開型淨化閥體開啟更包括有：釋放一個常開型 淨化閥體。 4 2、根據申請專利範圍第4 1項所述之方法，其中， 允許一個常開型淨化閥體開啟更包括有： 將該常開型淨化閥體保持關閉一段時間；及 在經過該預定時間後，使該淨化閥體開啟。 4 3、根據申請專利範圍第3 3項所述的方法，其中， 回應該不安全狀況更包括有： 延遲將淨化氣體引導進入該低溫泵之中，並且延遲防 止任何主控制器去控制該淨化閥體，直到預定時間過去為 止；以及 如果該不安全狀況於該預定時間過後仍然存在時，則 啟動開啟該淨化閥體及防止任何主控制器去控制該淨化閱 1322031 f年G月〜日修(史;正膂换頁 體。 ~ '~J 4 4、根據申請專利範圍第3 3項所述之方也^ 々 ，声.τ|? 該不女全狀況為以下任一狀況： 該低溫泵之電力故障； 該低溫泵之溫度高於或等於一溫度臨界值；或 無法接收讀自該低溫泵之溫度。 4 5、一種低溫系，其包括有： 一個低溫泵腔室，其具有抽汲表面； 定 體 器 其 一個淨化閥體，其被耦接到該低溫泵；以及 一個電子控制器’其控制該低溫泵，該控制器能決 該低溫泵係操作在一安全或不安全之狀況中，該淨化閥 由該控制器自動地控制，以回應一不安全狀況，該控制 係藉由允許一常開型淨化閥體開啟來回應該不安全狀況 該控制器超越任何其他系統。 4 6、根據申請專利範圍第4 5項所述之低溫泵， 中’該不安全狀況係為以下任一狀況： 該低溫泵之電力故障； 該低溫泵之溫度高於或等於一溫度臨界值；或 無法接收讀自該低溫泵之溫度。 常 之 全 4 7、一種用於控制一低溫泵之系統，該系統包括有 用於決定在一低溫泵中之一不安全狀況的機構；及 用於回應該不安全狀況的機構，其係藉由引導一個 開型淨化閥體開啟來將淨化氣體引導進入到該低溫泵 中’且防止任何主控制器控制該淨化閥體，直到該不安 42 1322031 7许(V a修(更;正皆换 狀況改變到一安全狀況為止。 十一、圖式： 如次頁

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