TWI321653B - Optical apparatus - Google Patents

Description

1321653 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種通過由發光源所產生的透射光及反射光，來 檢驗被測物的光學裝置。 【先前技術】 習知LCD檢驗裝置僅藉由透射光來對被測物進行檢驗。這種 檢驗裝置中，具有透明底面的玻璃基板下方設有光源，而藉由這 一光源所產生的光透過該玻璃基板後透射光，來對被測物進行檢 驗。 第一圖表示這種習知光學裝置。如第一圖所示，習知光學裝 置包括發光單元（100)及測光器（200)，其中，由所述發光單元（1〇〇) 所透射的光經過玻璃基板(B)和被測物（A)後射入測光器（2〇〇)。 即’由發光單元（100)所透射的光透過玻璃基板(B)及被測物（a) 後，可藉由測光器（200)觀察到該透射光。即，在這種習知光學裝 置中’只利用透射光來檢驗被測物（A)。 但是’這種習知光學裝置中並不存在用於支援玻璃基板的部 件，因此作為底面來使用的玻璃基板，由於其具有嚴重變形的特 性’因此，無法在部分領域中觀察到透射光。 此外，如果在該玻璃基板的底面設置支撐部件，則不能像習 知光學裝置那樣利用透射光進行檢驗。 另外，當於玻璃基板的底面設置支撐部件時，不能僅利用反 射光來對被測物進行準確的檢驗。 【發明内容】 雲於上述問題，本發明的目的是提供一種包含用於支援玻璃 基板的反射盤之光學裝置。 ' 本發明的另一目的是提供一種即使在包含用於支援玻璃基板 的反射盤之情況下，也能夠利用透射光及反射光進行檢驗的光學 裝置。 5 實施例1 : 下面參照第二圖至第五圖，來說明本發明光學裝置的第一 施例。 、 首先說明本發明光學裝置的結構。如第二圖所示，本發明光 學裝置包括第一發光單元（10)、分光鏡(20)、光學透鏡(3〇)、第 二發光單元(40)、遮光部件（50)、反射片（60)、反射盤（7〇)、測 光器（80)。 ’ ^其中，第一發光單元（10)用於產生並照射具一定大小波長的 第一光線，所照射的第一光線射入分光鏡(2〇)。 分光鏡(20)位於所述第一發光單元（1〇)的一側，其用於反射 所射入光的一部分，而另一部分入射光則被分光鏡（2〇)透射。 被反射的第一光線射入像濾光片或TFT等被測物^)，而射入濾光 片或TFT等的第一光線則在其表面反射或透過。 光學透鏡（30)配置在分光鏡(20)的下方，其用於聚集入射 光，並將其透過。 第二發光單元(40)配置在所述光學透鏡(30)下方的一側，其 用於產生及照射具預定大小波長的第二光線。由所述第二發光單 元(40)所產生的第二光線射入濾光片或TFT。射入濾光片或TFT 的第二光線在其表面反射或透過。 遮光部件（50)設置在第二發光單元(4〇)的周圍，其上設有遮 光壁’所述遮光壁用於阻隔第二發光單元（4〇)和光學透鏡（so) 之間，以防止由所述第二發光單元（40)照射出的第二光線在被 測物處反射後，射入所述光學透鏡（30)。 為了有效地圍住第二發光單元(40)的周圍，所述遮光部件（5 〇)可設成”型，或者也可設成半圓形或平板狀。 反射片（60)位於所述遮光部件（50)的下方，並從遮光部件（50) 隔開設置。所謂反射片（60)是用於反射透過濾光片或TFT、玻璃基 板的光線的片體。本實施例中反射片（60)可以是棱鏡片。第五圖 1321*653 中不出棱鏡片，射入棱鏡片的光線將根據不同的波長，向不同的 方向反射出。所述棱鏡片可以是圓錐形，也可以是三角錐形。 反射盤⑽固定在反射片⑽的下方。反射盤^)用ς穩定 地固定遽光片或TFT等被測物(Α)及附著有被測物的玻璃基板⑻。 本實把例中，可通過配置在分光鏡(2〇)上方的測光器（8〇)， 觀察到透過濾光片或TFT等被測物，或者由所述被測物反射的光。 下面，參照第二圖及第四圖，來看一下通過本發明光學裝置， 利用反射光及透射光對被測物進行檢驗的方法。 首先，參照第三圖說明利用第一發光單元（1〇)所引起的反射 籲光來檢驗被測物的方法。如第三圖所示，由第一發光單元（10)所 產生的第一光線(K)在分光鏡(20)反射，並射入光學透鏡(3〇h而 透過光學透鏡(30)的第一光線(κ)則到達濾光片或TFT(B)等被測 物。遽光片或TFT(B)具有反射大部分的光，而只透過一部分光線 的特性。因此，只要第一光線(K)的強度不是很大，大部分的光線 (L)被反射，而重新回到光學透鏡(3〇)。這些反射光(1〇中的一部 分將透過分光鏡(20)後到達測光器（8〇)。如此，利用第一發光單 元（10)所引起的反射光，可觀察到濾光片或TFT(；B)的表面狀態。 此時，濾光片的反射影像利於檢查濾光片中凸出的部分（即將此叫 φ 作黑(black)缺陷）。 其次，參照第四圖說明利用第二發光單元(4〇)所引起的透射 光來檢驗被測物的方法。如第四圖所示，由第二發光單元（4〇)所 產生的弟一光線直接射入渡光片或tft(b)。如上述說明，在濾光 片中大部分光線被反射，因此為了利用透射光，需要讓第二發光 單元（40)產生遠大于第一發光單元（1〇)所產生的光線之強度的 光。在濾光片或TFT(B)處被反射的光〇|)則被遮光部件(5〇)擋住而 免於進入光學透鏡(30)。在此，可適當選擇遮光部件（5〇)的位置， 以免反射光(M)進入光學透鏡(3〇)。由濾光片或TFT(B)透過的光(N) 將透過玻璃基板(B)後，到達反射片（6〇)。本實施例中，反射片（6〇) 8 是棱鏡片，在第五圖中示出光的前進方向。如第五圖所示，所進 入的光根據不同的波長，被反射而分散於不同的方向。其中，一 部分光線重新透過玻璃基板(B)及濾光片或TFT(B)，並射入光學透 鏡(30)。這些透射光(N)將透過分光鏡(2〇)後’到達測光器（8〇)。 如此，可利用第二發光單元（4〇)所引起的透射光來觀察濾光片或 TFT(B)的狀態。此時，濾光片的透射影像利於檢查濾光片中凹進 的部分（即將此叫作白（white)缺陷）。 這樣，在檢驗附著於玻璃基板上的濾光片或TFT的雜質時， 可通過選擇利用第一發光單元所引起的反射光或第二發光單元所 引起的透射光，來準確地觀察濾光片或TFT的全般領域。另外， 在利用第二發光單元所引起的透射光時，可通過增加遮光部件， 以防止受到反射光的干擾。 實施例2 ,,、下面，參照第六圖說明本發明光學裝置的第三實施例。在此， 省略說明和實施例1相同的結構。 苐✓、圖表示本發明另一實施例中的遮光部件。 ^第六圖所示，在光學透鏡(3〇)的周圍配置有兩個以上第二 發光單元(40)及遮光部件（5〇)。如第六圖所示，第二發光單元(4〇) 及遮光部件（50)可以有4個，但也可配置其他數目。從業人員也 應該可以理解到為了防止㈣二發光單元㈤所產生的光線直 接，被測物膜片上反射後進入光學透鏡（3〇)，所述遮光部件(5〇) 在第二光源(4〇)的周圍可設置具一定深度的遮光壁。 也可在光學透鏡（3〇)的周圍配置多數第二發光單元(4〇)及 ，光部件(50)’由此更加有效地通過反射光（第四圖中符號N)來進 行對濾光片的觀察及檢驗操作。 實施例3 最後，參照第七圖說明本發明光學裝置的第三實施例。在此， 也省，說明和實施例1烟的結構。 +，ΐΐΐί示本發㈣第三實補t的錢部件。如第七圖所 抑鏡(3G)的觸，第二發光單元⑽光部件⑽ 农逑接5又置。遮光部件（50)以光學透鏡（30)為t心，設成環带 狀，且和第二實施例同樣地設有遮光壁。此時，可以理解到遮^ 部=(50)可設成如壯騎示的_狀，或者也可設成四邊形或 二角形狀。遮光部件(训）的内部可配置多個第二發光單元(4〇)， 由此更加有效地通過反射光（第四圖巾符號N)進行制光片 察及檢驗。 —本發明的保護範圍並不限於上述實施例，而在後述的申請專 利範圍内可實現不同的實施方式。在不脫離申請專利範圍中記載 的發明要闕範® Η ’從業者所能進行的各齡飾及變更也應該 屬於本發明的保護範圍。 " 本發明的光學裝置和習知技術不同’即使在玻絲板被反射 盤支援的情況下’也可以通過其他光源所引起的透射光，來檢驗 濾光片或TFT。 另外，本發明的光學裝置可選擇利用透射光及反射光，由此 可準確地觀察濾光片或TFT的全般區域。 此外，利用第二發光單元所引起的透射光的情況下，可增加使用 遮光部件，由此可防止受到反射光的干擾。 【圖式簡單說明】 ，-圖是習知光學裝置的剖視圖。 ，二圖是根據本發明第一實施例的光學裝置剖視圖。 二第三圖表示根據本發明第一實施例的光學裝置中第一光線的 前進方向。 二第四圖表示根據本發明第一實施例的光學裝置中第二光線的 前進方向。 第五圖是本發明的第一實施例中反射片的俯視圖。 f六圖是本發明的第二實施例中遮光部件的俯視圖。 第七圖是本發明的第三實施例中遮光部件的俯視圖。 【主要元件符號說明】 (共計16項元件符號或編號） 10:第一發光單元 20:分光鏡 30:光學透鏡 40:第二發光單元 50:遮光部件 60:反射片 70:反射盤 80:測光器 100:發光單元 200:測光器 A:被測物 B:玻璃基板 K:第一光線 L:光線 反射光 N:透射光

Claims (1)

1321653 及遮光部件。