TWI377341B - Optical inspection device for inspecting article surface - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 50
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 claims description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims 2
- 206010061218 Inflammation Diseases 0.000 claims 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 1
- 230000004054 inflammatory process Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 1
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 1
- 201000011510 cancer Diseases 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種物件表面之光學檢測裝置,特別是關於 一種利用數個反射鏡形成三組實質等長之影像反射路徑,以便 由單一影像擷取單元擷取待測物件360度表面影像之光學檢 測裝置。 【先前技術】 現今許多產品,例如晶片電容、晶片電阻、IC封裝體、螺 絲、螺帽、水果或其他之電子元件、農產品或手工藝品,其在 生產、製造或採收後通常需要進行一道光學影像之檢測程序, 以便得知產品是否具有表面缺陷及是否符合預定尺寸大小,進 而方便產tm分級包裝、監控產品良率及確保產品出廠時之一致 性等。為了完成上述物件表面之光學檢測程序,相關業者於是 不斷改良研發出各種物件表面之光學檢測裝置。 例如’中華民國公告第5M771號新型專利揭示一種螺絲影 像筛選機構造改良之裝置’其係將二組攝像機置放於筛選機 則,該一組攝像機設置為不同平面,一為擷取定位壓頭機構與 螺絲頭接觸Φ相關位置之影像;另—貞彳為榻取螺絲置棚盤與 螺絲之相關位置之影像,將獅之影像傳輸至,以精癌快 速的計算出該螺絲之各種尺寸與規格。再者,中華民國公告第 M323343號新型專利及第則1114號新型專利亦揭示相似之 5 1377341 光學檢測裝置,其亦設置二組攝像機,以拍攝螺絲不同角度之 表面影像’供進行物件表面之光學檢測。 再者,令華民國公告第568198號新型專利揭示一種螺帽自 動檢測機,其係在一輸送帶的輸送方向依序設置第_、第二與 第二檢測裝置,螺帽由輸送帶輸送通過該些檢測裝置,利用第 一檢測裝置從上方對螺帽進行檢測,若合格則繼續輸送到第二 檢測裝置,以從上側方對螺帽進行不同項目的檢測,若合格則 繼續被輸送到第三檢測裝置,以從侧邊對螺帽進行其他檢測, 若合格則予以收取。在該光學檢測裝置中,其設置三組檢測裝 置’以拍攝螺帽不同角度之表面影像。 再者,中華民國公告第厘273713號新型專利揭示一種電子 元件之品質檢測裝置,其利用一置料轉盤運送一電子元件(如 晶片電容)依序經過各工作站。數個動態攝影機分別用以擷取 各工作站位置之電子元件的影像,該影像則由電腦分別處理。 若該電腦判別任一工作站之電子元件具有瑕庇時,該工作站即 去除電子元件之不良品。若完成所有工作站之檢測,該電子元 件則判別為良品。在該光學檢測裝置中,其設置六組動態攝影 機,以拍攝電子元件不同角度之表面影像,其中第三及第四組 動態攝影機係在其工作站之上下側分設數個反射鏡,以擷取電 子元件之上下侧影像,但其在電子元件之二端面仍有攝影死 角’無法同時擷取電子元件之360度表面影像。 6 再者,令華民國公告第1239391號發明專利揭示一種影像 輔助全自動甸爾夫球定位及表面商標瑕疵檢測系統,其包含一 〜像操取裝置、—照明裝置、-球定位機構及-影像分析之電 腦整合單元,由於該球定位機構為具X、Y及z轴之旋轉及定 位機構,可適時轉動待測球體,因此該檢測系統可利用單一影 像掏取襄置進行全方位偵測高爾夫球、鋼珠或其他球體之各種 表面瑕疲及品管檢測0 然而,上述各種物件表面之光學檢測裝置實際上仍存在技 術問題’例如··若物件表面之光學制裝置設置數組影像娜 單元,將相對增加機台製造及維修之成本與影像整合的複雜 度。若物件表面之光學檢測裝置設置單组影像擷取單元並搭配 使用一轉動定位機構,則僅適用於檢測圓球狀物件;如果物件 具有明顯的表面凹陷或輪廓呈不規則狀,則轉動中的物件可能 產生不規則的震動或翻轉,導致動態擷取之影像過於複雜或含 有雜訊,因而增加電腦整合單元處理及判斷動態影像的難度。 故,有必要提供一種物件表面之光學檢測裝置,以解決習知技 術所存在的缺陷。 【發明内容】 本發明之主要目的在於提供一種物件表面之光學檢測裝 置,其係利用數個反射鏡形成三組實質等長之影像反射路經, 以便分別反射三個相等尺寸比例之120度影像片段至同一影 像擷取單元,進_化檢測裝置及降低製造成本β 本發明υ目的在於提供—種物件表面之光學檢測裝 置’其藉由單_影像榻取單元將三個120度影像片段整合成同 一個36G度表面影像,進_化檢測程序及降低影像處理難 度。 本發明之另-目的在於提供—種物件表面之光學檢測裝 置’其選擇糊-支撐板、—輸送帶或___支撑至少一 待測物件’以便由單一影像掏取單元摘取待測物件3⑻度之表 面影像,進而提升檢測效率及操作便利性。 本發明之再-目的在於提供一種物件表面之光學檢測裝 置,其係麵在-制平自之待麻置财—祕孔並由該 落料孔上方逐-投下健待嶋件,崎由單—影像娜單元 瞬間摘取待測物件36G度之表面影像,進而提升檢測效率及操 作便利性。 本發明之又—目的在於提供—種物件表面之光學檢測裝 置’其係在-檢測平台之待測位置的上、下方分別設置一環形 光源’以投射均勻光線至待測物件,進而提升影像品質。 為達上述之目的,本發供—種物件表面之找檢測裝 置’其包含-光源組、一第一角位反射鏡組、一第二角位反射 鏡組、-第三角位反射鏡組及單一影像摘取單元。該光源組用 以照射-待測物件之表^該第―、第二及第反 1377341 分別提供實質等長之一第一影像反射路徑、一第二影像反射路 徑及一第三影像反射路徑,以供分別反射該待測物件於第一、 第二及第三角位置之三組120度表面影像片段。該單一影像擷 取單元用以擷取該三組120度表面影像片段,以整合並輸出該 待測物件之360度表面影像。 在本發明之一較佳實施例中,該第一角位反射鏡組係由一 前段反射鏡、一中段反射鏡及一後段反射鏡組成該第一影像反 射路徑’以供反射該待測物件於一第一角位置之12〇度表面影 像片段。該第二角位反射鏡組係由一前段反射鏡、一中段反射 鏡及一後段反射鏡組成該第二影像反射路徑,以供反射該待測 物件於一第二角位置之12〇度表面影像片段。該第三角位反射 鏡組係由一前段反射鏡、二中段反射鏡及一後段反射鏡組成該 第三影像反射路徑,以供反射該待測物件於一第三角位置之 ⑼度表面影像片段。藉此’使該第一、第二及第三影像反射 路徑具有實質相等之路徑長度。 【實施方式】 為了讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易 懂,下文將特舉本發明較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細 說明如下。 請參照第1、2、3及4圖所示,本發明較佳實施例之物件 表面之光學檢測裝置主要包含一檢測平台 1、一光源組2、一 < S ) 9 第一角位反射鏡組3、-第二角位反射鏡組4、-第三角位反 射鏡組5及單—影像練單元6,其係用以檢測—待測物件9 之360度表面影像,以供後續進行影像分析處理判斷其表面是 否具有缺1¾或其尺寸是否符合標準。本發㈣可依實際需求用 以檢測各種待測物件9,例如電子元件、農產品或手卫藝品等。 惟’該影像分析處理程序或待測物件9並非用以限制本發明之 使用領域。再者’本發明於下列實施例所提到的方向用語,例 如「前」、「後」、「左」、「右」、「上」、「下」等,僅是參考附加 圖式的方向。因此,使用的方向用語是用來說明,其亦非用以 限制本發明,合先敘明。 請參照第卜2、3及4圖所示,本發明較佳實施例之檢測 平台1用以承載固定該光源組2、第一角位反射鏡組3、第二 角位反射鏡組4、第三角位反射鏡組5及該影像擷取單元6。 在本實施例t,該檢測平台1具有一待測位置,其具有一第一 角位置(左後方)、一第二角位置(右後方)及一第三角位置(正前 方)。該檢測平台1可於一待測位置之左、右二侧設置一對支 撐架11 ,其係可選擇結合一支撐板(未繪示),以供承載一待測 物件9於該待測位置處。此外’本發明亦可由其他方式提供該 待測物件9。例如,在另一實施例中,該支撐架u亦可選擇 結合一輸送帶(未繪示)’由該輸送帶在每一預定時間運送一待 測物件9至該待測位置處。再者,該檢測平台1亦可直接選擇 彻-懸掛、繩體(未繪示)將一待測物件9懸掛於該待測位置 處。或者’亦可選擇在該檢測平台1之待測位置開設-落料孔 • 12,並於該祕孔12上方設置—轉單元(树示),以便由 . 該落料孔12上方逐—投下數個制物件9至該制位置處, 藉此提供動態檢測功能。 請參照第卜2、3及4圖所示,本發明較佳實施例之光源 、组2係設置該檢測平台1之待測位置周圍,以提供光線照射該 待測物件9之表面。該光源組2較佳係選自至少一環形光源 21、22 ^該環形光源21、22之數量較佳為二個,其分別設置 於該待測位置的上、下方。該環形光源21、22各具有一内錐 面211、221 ’其佈滿數個發光單元212、222。該發光單元212、 222較佳選自發光二極體(lED)。藉此,該環形光源21、22可 由該發光單元212、222投射均勻光線至該待測物件9。再者, 該光源、组2另可包含一支樓燈座23,以便支撐該環形光源21、 22,及調整該環形光源21、22相對於該檢測平台丨之高度。 在其他實施例中’該光源組2亦可選自由齒素燈、日光燈管或 發光二極體所組成之其他光源構造。此外,當該檢測平台!之 待測位置開設該落料孔12時,該環形光源21、22較佳分別對 應開設-開口 210、220,以便該待測物件9順利通過該光源 組2。 明參照第1、2、3及4騎示,本發明較佳實施例之第一 11 丄丄 角位反射舰3實·__料1之制位置的第-側 (左侧)’以供反射該鋼位置處之細物件9於—第一角位置 (左後侧)之120度表面影像片段。該第一角位反射鏡組3包含 則段反射鏡31、- ψ段反射鏡32及一後段反射賴其分 別利用-第-鏡座310、-第二鏡座32〇及一第三鏡座33〇固 設於該檢測平台1上。該第一、第二及第三鏡座31〇 32〇、 330並可用以分別微調雜段、中段及後段反射鏡31、^^ 相對於該檢測平台1之位置1第—鏡座31G及前段反射鏡 31實質位於該制位置的左後侧,該帛二鏡座32〇及中段反 射鏡32實質位於該第-鏡座31〇及前段反射鏡31之正前侧, 而該第二鏡座330及後段反射鏡33實質位於該第一鏡座31〇 及刖段反射鏡31之右側。藉此,該前段反射鏡31、中段反射 鏡32及後段反射鏡33共同組成一第一影像反射路徑a,以供 反射該待測物件9於第一角位置(左後側)之12〇度表面影像片 段。該第一影像反射路徑A相對該前段反射鏡3丨表面之法線 較佳夹有30至45度之夾角0丨;該第一影像反射路徑A相對 該中段反射鏡32表面之法線較佳夾有45度之夾角02 ;及該 第一影像反射路徑A相對該後段反射鏡33表面之法線較佳夾 有45度之失角03。 凊參照第1、2、3及4圖所示,本發明較佳實施例之第二 角位反射鏡組4實質位於該檢測平台1之待測位置的第二側 12 (右側)’以供反射該待測位置處之待測物件9於一第二角位置 (右後側)之120度表面影像片段,且該第二角位反射鏡組4實 質對應於該第一角位反射鏡組3。該第二角位反射鏡組4亦包 含一前段反射鏡41、一中段反射鏡42及一後段反射鏡43,其 分別利用一第一鏡座410、一第二鏡座42〇及一第三鏡座43〇 固設於該檢測平台1上。該第一、第二及第三鏡座410、420、 430並可用以分別微調該前段、中段及後段反射鏡41、42、43 相對於該檢測平台1之位置。該第一鏡座410及前段反射鏡 41實質位於該待測位置的右後侧,該第二鏡座42〇及中段反 射鏡42實質位於該第一鏡座41〇及前段反射鏡41之正前侧, 而該第三鏡座430及後段反射鏡43實質位於該第一鏡座41〇 及前段反射鏡41之左側。藉此,該前段反射鏡41、中段反射 鏡42及後段反射鏡43共同組成一第二影像反射路徑B,以供 反射該待測物件9於第二角位置(右後側)之12〇度表面影像片 段。該第二影像反射路徑B相對該前段反射鏡41表面之法線 較佳夾有30至45度之夾角0 4 ;該第二影像反射路徑b相對 該中段反射鏡42表面之法線較佳夾有45度之夾角05 ;及該 第二影像反射路徑B相對該後段反射鏡43表面之法線較佳夾 有45度之夾角06。 請參照第1、2、3及4圖所示’本發明較佳實施例之第三 角位反射鏡組5實質位於該檢測平台丨之待測位置的第三侧 (則側),以供反射該待測位置處之待測物件9於一第三角位置 (正刚側)之120度表面影像片段。該第三角位反射鏡組5包含 一前段反射鏡51、二中段反射鏡52及一後段反射鏡53,該前 段反射鏡51及後段反射鏡53共同利用一第一鏡座51〇固設於 該檢測平台1上,及該二中段反射鏡52共同利用一第二鏡座 520固設於該檢測平台1上。該第一鏡座51〇並可用以分別微 調該前段及後段反射鏡51、53相對於該檢測平台丨之位置, 及該第二鏡座520可用以分別微調該二中段反射鏡52相對於 該檢測平台1之位置。該第-鏡座51〇、前段反射鏡51及後 段反射鏡53實質位於該待測位置的正前側及該二後段反射鏡 33及43之後側,該第二鏡座520及二中段反射鏡52實質位 於該第一鏡座510及前段反射鏡51之一側(右側或左側皆 可)。藉此’該前段反射鏡51、二中段反射鏡52及後段反射鏡 53共同組成一第三影像反射路徑c,以供反射該待測物件9 於第二角位置(正前侧)之120度表面影像片段。該第三影像反 射路徑C相對該前段反射鏡51表面之法線較佳夹有45度之 夾角Θ7 ’·該第三影像反射路徑c相對該二中段反射鏡52表 面之法線較佳分別夾有45度之夾角08;及該第三影像反射路 徑C相對該後段反射鏡53表面之法線較佳夾有45度之夾角 0 9。再者’該第三影像反射路徑c並通過該二後段反射鏡刃 及43之間的空間。 /J41 ^參照第1、2、3及4圖所示,本發明較佳實施例之影像 . 擷取單元6係可選自電荷耦合元件(CCD)或互補金屬氧化物半 導體(CMOS)之感測器,其係藉由一移動座6〇固定於該檢測平 台1上,該移動座60並可用以調整該影像擷取單元6相對於 該檢測平台1之高度。上述第一、第二及第三影像反射路徑A、 B、C分別形成於該待測位置(亦即該待測物件9)及該影像掏取 _ 早元6之間。上述第一、第二及第三影像反射路徑A、B、c 相對於該待測位置之任二相鄰影像反射路徑之間係分別夾有 120度之夾角,亦即該待測位置之第―、第二及第三角位置之 任二相鄰角位置之間係分別夾有12〇度之夾角。相對於該影像 掏取單元6,該第-、第二及第三影像反射路徑a、b、c則 是相互平行的射入該影像擷取單元6。 請參照第2及3圖所示’當使用本發明較佳實施例之物件 % 表面之光學檢測裝置對該待測物件9進行36〇度之表面影像摘 取時’選擇藉由該支撑板、輸送帶或懸掛繩斷未繪示)提供一 待測物件9置於該檢測平台丨之制位置上,或選擇由該落料 單元(未緣示)逐-投下數個待測物件9至該待測位置處。此 時,該光敝2之環形光源2卜22投射㈣光線至該待測物 件9,該待測物件9之第一、第二及第三角位置(左後側、右後 側及正前側)的表面分別反射光線,因而分別形成該待測物件9 的左後側、右後側及正前侧之12〇度表面影像片段。該第一角 15 1377341 位置(左後側)之度表面影像片段經由該第一影像反射路徑 A依序通過該第-角位反射鏡組3之前段、中段及後段反射鏡 31、32、33反射數次後’投射至該影像操取單元6 ^該第二角 位置(右後側)之120度表面影像片段經由該第二影像反射路徑 B依序通過該第三角位反射鏡組4之前段、中段及後段反射鏡 41、42、43反射數次後,投射至該影像擷取單元6。該第三角 位置(正前側)之120度表面影像片段經由該第三影像反射路徑 C依序通過該第三角位反射鏡組5之前段、中段及後段反射鏡 51、52、53反射數次後,投射至該影像擷取單元6。藉此,該 單一影像擷取單元6可擷取該三組12〇度表面影像片段,以整 合並輸出該待測物件9之360度表面影像。由於該第一、第二 及第二影像反射路徑A、B、C具有實質相等之路徑長度,故 於同一影像數位檔中的三組120度表面影像片段係具實質相 等之尺寸比例’故有利於提升檢測效率及操作便利性。 如上所述,相較於習用物件表面之光學檢測裝置必需設置 數組影像擷取單元或搭配使用轉動定位機構,而導致相對增加 機台之製造成本與影像處理的複雜度等缺點,第3圖之本發明 藉由數個反射鏡形成三組實質等長之影像反射路徑A、B、C, 以便由單一影像擷取單元6擷取待測物件9之360度表面影 像’其確實可以有效簡化檢測裝置及檢測程序、降低製造成本 及影像處理難度,並提升檢測效率及操作便利性。 16 雖然本發批雜佳實酬揭露,财並_以限制本發 明,任何熟習此項技藝之人士,在不脫離本發明之精神和範圍 内虽可作各種更動與修飾,因此本發明之保護範圍當視後附 之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 第1圖:本發明較佳實施例之物件表面之光學檢測裝置之組合 立體圖。 第2圖:本發明較佳實施例之物件表面之光學檢測裝置之組合 上視圖。 第3圖:本發明較佳#施例之三個120度角位置之影像反射路 徑之示意圖。 第4圖:本發明較佳實施例之物件表面之光學檢測裝置之組合 侧視圖。 【主要元件符號說明】 11支撐架 2 光源組 210 開口 212發光單元 220 開口 222發光單元 3 第一角位反射鏡組 1 檢測平台 12落料孔 21環形光源 211内錐面 22環形光源 221内錐面 23支撐燈座 1377341
31 前段反射鏡 310 第一鏡座 32 中段反射鏡 320 第二鏡座 33 後段反射鏡 330第三鏡座 4 第二負位反射鏡組 41 前段反射鏡 410 第一鏡座 42 中段反射鏡 420第二鏡座 43 後段反射鏡 430 第三鏡座 5 第三角位反射鏡組 51 前段反射鏡 510第一鏡座 52 中段反射鏡 520 第二鏡座 53 後段反射鏡 6 影像擷取單元 60 移動座 9 待測物件 A 第一影像反射路徑 B 第二影像反射路徑 C 第三影像反射路徑
Claims (1)
1377341 十、申請專利範圍: • 1· 一種物件表面之光學檢測裝置,其包含: • 一檢測平台,其具有一待測位置,以放置一待測物件,該待 測位置具有一第一角位置、一第二角位置及一第三角位置; 一光源組,其用以照射該待測物件之表面; 一第一角位反射鏡組,其提供一第一影像反射路徑,以反射 該待測物件於第一角位置之120度表面影像片段; φ 一第一角位反射鏡組’其提供一第二影像反射路徑,以反射 該待測物件於第二角位置之120度表面影像片段; 一第三角位反射鏡組,其提供一第三影像反射路徑,以反射 該待測物件於第一角位置之120度表面影像片段;及 單一影像榻取單元,其用以擷取該待測物件之三組12〇度表 面影像片段,以整合並輸出該待測物件之360度表面影像; 其中該第一影像反射路徑、第二影像反射路徑及第三影像反 • 射路徑係實質等長;且該待測位置之第一、第二及第三角位 置之任二相鄰角位置之間係分別夾有12〇度之夾角。 2. 如申請專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第一角位反射鏡組係由一前段反射鏡、一中段反射鏡及 一後段反射鏡組成該第一影像反射路徑。 3. 如申請專利範圍第2項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第一角位反射鏡組設有一第一鏡座、一第二鏡座及一第 三鏡座,以分別將該前段、中段及後段反射鏡固設於該檢測 19 1377341 平台上。 4. 如申請專利範園第2項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第一影像反射路徑相對該第一角位反射鏡組之前段反 射鏡表面之法線夾有30至45度之夹角。 5. 如申請專利範園第2項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第一影像反射路徑相對該第一角位反射鏡組之中段反 射鏡表面之法線夾有45度之夾角。 6. 如申凊專利範圍第2項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第-影像反射路徑相對該第一角位反射鏡組之後段反 射鏡表面之法線夾有45度之炎角。 7. 如申請專利範圍第}項所述之物件表面之光學檢測裝置其 中該第二角位反射鏡組係由一前段反射鏡、一中段反射鏡及 後#又反射鏡組成該第二影像反射路徑。 8. 如申請專利範圍第7項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第二角位反射鏡組設有一第一鏡座、一第二鏡座及一第 三鏡座,以分別將該前段、中段及後段反射鏡固設於該檢測 平台上。 9·如申請專利範圍第7項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第二雜反射路_對該第二纽騎敝之前段反 射鏡表面之法線夾有3〇至45度之夾角。 10·如申請專利範圍第7項所述之物件表面之光學檢測襄置,其 (.S ) 20 1377341 中該第二影像反射路徑相對該第二角位反射鏡組之中段反 射鏡表面之法線夹有45度之夾角。 11·如申請專痛g第7項所述之物件表面之光學制裝置其 中該第二影像反射路徑相對該第二角位反射鏡組之後段反 射鏡表面之法線夾有45度之夾角。 12·如申專利範g第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該第二角位反射鏡組係由一前段反射鏡、二中段反射鏡及 —後段反射鏡組成該第三影像反射路徑。 13.如申睛專利範圍第12項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該第三角位反射鏡組設有一第一鏡座及一第二鏡座,該 第一鏡座將該前段及後段反射鏡固設於該檢測平台上,及該 第二鏡座將該二中段反射鏡固設於該檢測平台上。 I4·如申請專利範園帛12項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該第三影像反射路徑相對該第三角位反射鏡組之前段 反射鏡表面之法線夹有45度之夾角。 15.如申請專利範圍第12項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該第三影像反射路徑相對該第三角位反射鏡組之二中 段反射鏡表面之法線分別夾有45度之爽角。 16·如申請專圍第12項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該第三影像反射路徑相對該第三角位反射鏡組之後段 反射鏡表面之法線夾有45度之爽角。 21 :17.如申請專利範固第1項所述之物件表面之纖測裝置,其 • 中該時台之待測位置的二側設置一對纖,其結合_ S雜’賴承載鱗測物件。 • 18.如申請專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該檢測平。之待測位置藉由一輸送帶運送該待測物件至 該待測位置處。 19. 如申請專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該檢測平台5又有一懸掛織體,以將該待測物件懸掛於該待 測位置處。 20. 如申明專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該檢測平。之待測位置開設一落料孔並於該落料孔上方 ,又置祕單it H解元逐—投下健制物件至該待 測位置處。 21. 如申凊專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 _ +該光源組健自至少—環形光源,其各具-啡面,該内 錐面佈滿數健光單元,以㈣均自練制物件。 22·如申請專利範圍第21項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該發光單元選自發光二極體。 23.如申請專利範圍第21項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該光齡另包含-域燈座,以支__光源,及調 整該環形光源相對於該檢測平台之高产。 22 Λ ,- •如申請專利範圍第21項所述之物件表面之光學檢測裝置, 其中該環形光源開設一開口,及該檢測平台之待測位置對應 開設一落料孔,以供該待測物件通過該光源組。 如申印專利範園第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該影像拮員取單元係選自電荷麵合元件或互補金屬氧化物 半導體之感測器。 • 如申明專利範圍第1項所述之物件表面之光學檢測裝置,其 中該办像擷取單疋係藉由一移動座固定於該檢測平台上,及 調整其相對於該檢測平台之高度。 23
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW97114511A TWI377341B (en) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | Optical inspection device for inspecting article surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW97114511A TWI377341B (en) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | Optical inspection device for inspecting article surface |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200944785A TW200944785A (en) | 2009-11-01 |
| TWI377341B true TWI377341B (en) | 2012-11-21 |
Family
ID=44869494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW97114511A TWI377341B (en) | 2008-04-21 | 2008-04-21 | Optical inspection device for inspecting article surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI377341B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111487254A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-04 | 长沙麦睛科技有限公司 | 一种器件内外表面一体成像方法 |
-
2008
- 2008-04-21 TW TW97114511A patent/TWI377341B/zh not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200944785A (en) | 2009-11-01 |
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