TWI354761B - - Google Patents

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1354761 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種對被處理物進行熱處理的熱處理裝 置。 ’ 【先前技術】

一般習知的熱處理裝置可在被處理物收納於熱處理部 内的狀態下，一邊使上述熱處理部内的空氣循環，一邊進 行加熱，藉由此加熱空氣對上述被處理物進行熱處理。 此種熱處理裝置在FPD(平面顯示器）等的製造過程 中有時會被使用在光阻、有機物薄膜的預洪製程、後供 製程等。在這些製程中’當由玻璃基板等所組成的被處理 物”熱處理時，光阻等所含有的揮發性成分會汽化，產 生多量的昇華物，q華物會再結晶，造成散佈於熱處理 裝置周圍或附著於其周圍等問題。 為此問題的對策，特開平1〇 —141868公報揭露一種 裝置，其加熱外部空氣，將其送入上述熱處理部内，另一 二面，’使上述熱處理部㈣空氣流至導出管内，藉此，進 订上述熱處理部内的換氣。如此，可藉由進行熱處理部内 的換氣’阻止昇華物的再結晶及其在周圍的附著。 々不過，如上所述，在換氣之後，從熱處理部流出的空 氣在導出管内流動時合 予3冷部，有昇華物在導出管内堆積的 疑慮。 2〇14-8933^PF;Ahddub 5 1354761 ' 【發明内容】 本發明的目的在提供一種用來解決上述問題的熱處理 • 裝置。又，本發明的另一目的在提供一種可阻止昇華物在 導出管内堆積的熱處理裝置。 根據本發明的其十一種構造，可在被處理物收納於熱 處理部内的狀態下，一邊使上述熱處理部内的空氣循環， 一邊進行加熱，藉此，對上述被處理物進行熱處理，並且， _ —邊加熱外部空氣’將其送入上述熱處理部内，一邊使上 述熱處理部内的空氣流至導出管内，藉此，進行上述熱處 理部内的換氣，其中，上述導出管上設有觸媒，其可分解 對上述被處理物進行熱處理時從該被處理物產生的昇華 物。 又，本發明的另一種構造為一種熱處理裝置，其進一 步包括可將被處理物收納於内部的熱處理部、連接至上述 熱處理部的導出管及加熱外部空氣並將其送入上述熱處理 # °卩内以對上述被處理物進行熱處理的空調部，其中，上述 空調部可藉由將外部空氣送入上述熱處理部内，在不將上 述熱處理部内的空氣送回該空調部的情況下，使其流至上 述導出管内，上述導出管具有將從上述熱處理部流出的空 氣全部排放至外部的構造，此導出管上設有觸媒，其可分 解對上述被處理物進行熱處理時從該被處理物產生的昇華 物。 【實施方式】 2014-8933-PF;Ahddub 6 1354761

型態的圖。如同一圖所示，第1實施型態之熱處理裝置u 被使用於FPD的製程，此熱處理裝置1A設置於無塵室，稱 以下 最佳型態 第 為無塵烤箱。

上述熱處理裝置 壁圍繞空間的隔熱室 24隔開’相對於隔板24為左側的部分為熱處理部21，右 側的邛刀為空調部2 3。隔板2 4上形成開口，此開口内配 設有過遽器31。藉此，可透過過濾器31使之通風。又， 在圖示中雖省略，但在裝置本體2上設有連通路徑，用來 連通熱處理部21的内部和空調部23的内部。 在上述熱處理部21的内部，設有工作物支持部22。 作物支持。卩2 2可維持由玻璃基板等所組成的複數個 :皮處理物(以下僅稱為工作物)w維持在上下並列的狀態。 藉由在此工作物支持部22上支持工作物w，該工作物评被 收納於熱處理部21内。 在上述空調部23上，設有加熱器32及送風機33。加 ”，'器32用來加熱空調部23内的空氣，送風機33可透過過 濾器3"字空調部23内的空氣送入熱處理部21内。然後， 田藉由送風機33將空氣送入熱處理部21内時，熱處理部 21内的空氣經過省略圖示的連通路徑，回到空調部23内。 …後，回到空調部23内的空氣藉由再度加熱器32加熱。 2014-8933-PF；Ahddub 7 1354761 •換言之，熱處理部21内的线—邊受到循環，—邊受到加 熱’藉此’收納於熱處理部21内的工作物w受到熱處理。 • 再者’在上述空調部23上，連接有吸氣管4，又，在 •上述熱處理部21上，連接有導出管5。然後，從吸氣管4 吸入的的外部空氣經過空調部23及過濾器31被送入熱處 理邛21内，並且，熱處理部21内的空氣流至導出管5内， 藉此，熱處理部21的内部得以換氣。 •上述導出管5的其中一端部連接至熱處理部以。導出 管5具有開放至外部的排氣管51及從此排氣管51分支出 去且連接至上述吸氣管4的回流管52。排氣管51用來將 從上述熱處理部21流出的空氣直接排放至外部，回流管 52可透過上述吸氣管4將從上述熱處理部21流出的空氣 送至再度熱處理部21内。 在上述回流管52的中途，設有吹風機7和觸媒6。觸 媒6在上述排氣管51中’配置於相對於上述回流管5 2所 φ 分支出來的位置為上游的部分。此外，觸媒6如第1圖中 的虛線所示，在回流管52中，可設置於吹風機7的上游的 部分。 上述觸媒6可在上述對工作物W進行熱處理時促進從 該工作物W產生的昇華物的氧化分解反應。在本實施型態 中，構成觸媒6的活性金屬可採用鉑（Pt)、鈀（Pd)等貴金 屬或這些貴金屬的合金之類的物質。這些觸媒6在約 15 0〜200°C的溫度環境下展現觸媒活性。經過觸媒6的空氣 的溫度隨著熱處理溫度、管子的彎曲方式而變化，所以， 8 2014-8933-PF/Ahddub 1354761 G ’可在觸媒6 升到觸媒活性溫 有稱為觸媒毒的 ’會有觸媒6被 的前側（上游）配 若未以足以啟動觸媒活性的溫度通過觸媒 的前端安裝加熱裝置1〇,使空氣的溫度上 度。又，若從工作物w所產生的昇華物中 物質（含有Si、P、s等的有機化合物）進入 毒化的情1在此種情況下，可在觸媒6 设則處理材料（鋁、陶瓷等）。

設二 =:::4及_5 上’— …、、後，進行前述的熱處理’同時，當吹風機？被驅動 時，熱處理部21内的空氣從排氣管51的其中一端部被吸 引’流入排氣管51内。流入排氣管51内的空氣中含有從 工作物W所產生的昇華物，不過，此昇華物和觸媒接觸而 又到刀解。之後，空氣的一部分從排氣管51的中途流入回 抓管52内，被吸至吹風機7，剩下的空氣從排氣管η的 另一個端部排放至外部。又，當熱處理部21内的空氣流至 排氣官51内時，外部空氣隨即從吸氣管4吸入，被送至空 調部23内。在此，外部空氣藉由加熱器32加熱，之後通 過過濾'器31，送至熱處理部21内。換言之，加熱器32具 有2個功能’其中一個是對外部空氣加熱的功能，另一個 疋如刚所述的一邊使熱處理部21内的空氣循環一邊對其 加熱的功能。 此外’從吹風機7排出的空氣從回流管52供給至吸氣 管4’送入再度熱處理部21内。 如此’在第1實施型態之熱處理裝置1A中，當熱處理 2014-8933-PF；Ahddub 9 1354761 部2丨内的空氣流過導出管5時，和觸媒6接 媒6，空氣中的昇華物受到分解。因此，可:由此觸 導出管5中的觸媒6所設置的位置堆積至下:華物從 觸媒6設置於相對於吹風機7為上游 1刀所以，亦可 阻止昇華物堆積在吹風機7内。 再者，從熱處理部21流出的空氣和觸媒6接觸後，透 過回流管52及吸氣管4再度被送人熱處理部21内所以， 可再利用從熱處理部21流出的空氣。藉此，可—起將被吸 入吸氣管4的外部空氣的吸氣量及從排氣管51排放至外部 的排氣量變少，於是可節省能源。 接著，參照第2圖，說明本發明第2實施型態之熱處 理裝置1Β。此外’在以下所示的第2至第4實施型態中， 和第1實施型態之熱處理裝置1Α相同的構造部分，附加相 同的符號’並省略說明。 在第2實施型態之熱處理裝置16中，導出管5單獨由 鲁1根排氣管51所構成。換言之，在此導出管5中，回流管 52不從排氣r 51 >支。因此’在第2實施型態中，從熱 處理部21流出的空氣藉由排氣管51，完全排放至熱處理 裝置1B的外部。又，在排氣管5丨的下游附近，設有吹風 機7’在此吹風機7的上游，設有觸媒6。 再者’在第2實施型態之熱處理裝置iB上，設有熱交 換Is 9°此熱交換器9位於排氣管51的吹風機7和觸媒6 之間’並且’位於吸氣管4的中途。此熱交換器9在流過 吸氣營4内的外部空氣和流過相對於排氣管内5丨的觸媒6 2014-8933-PF;Ahddub 10 1354761 為下游的部分的空氣之間進行熱交換。 ^以此種方式設置熱交換器9’可由熱交換器9利用 從”’、處理部21流出的空氣的熱對外部空氣加熱，所以，可 即省能源。並且，藉由熱交換器9和外部空氣進行熱交換 的二氣為昇華物已受到觸媒6分解的空氣，所以，即使因 為熱交換而使上述空氣冷卻下來’也可阻止昇華物堆積在 熱交換器9内。 在這裡的第1實施型態中’設置了回流管52，以便將 和觸媒6接觸後的空氣再次送入熱處理部？！内，在觸媒6 因任何理由劣化的情況下，可能會因含有昇華物的空氣再 次被送入熱處理部21内而導致熱處理部21内的昇華物濃 度上升。相對於此，在第2實施型態中，從熱處理部21流 出的空氣藉由排氣管51完全被排放至熱處理裝置1β的外 部，所以，和觸媒6接觸後的空氣不再被送入熱處理部Η 内。因此，即使觸媒6劣化，熱處理部21内的昇華物濃度 也不會上升。並且，常有新鮮的外部空氣通過吸氣管4而 被導入隔熱室20。 。者’在第1實施型態中’為了使回流管52内的風 為單向，一S要有吹風機7,不過，在第2實施型態中 由於構造上的關係，亦可省略吹風機7。 接著’參照第3圖’說明本發明第3實施型態之熱 理裝置1C。帛3實施型態之熱處理裝置κ為組合第卜 施型態之熱處理裝置1A之構造和第2實施型態之熱處理』 置1B之構造的裝置。在第3實施型態中，可利用從熱處; 2014-8933-PF/Ahddub 11 部21流出的空氣的熱對外部空氣加熱。 換言之，在第3實施型態中，觸媒6設置於相對於排 虱管51中的回流管52分支 足出來的位置為上游的部分， 風機7設置於相對於排氣營y 士认 铆矾s 51中的回流管52分支出來的 位置為下游的部分。再者， ^熟父換态9位於排氣管51中的 回流管52所分支出凌gg上 叉出I的位置和設置吹風機7的位置之間， 並且，位於吸氣管4的十途。 如此不僅可得到第i實施型g 2 果，還可得到更有效率地以熱交換器9進行熱交換的效 果。換言之’藉由使從熱處理部21流出的空氣通過回流管 52及吸氣管4以再利用，減少了吸氣量，戶斤以，只需加熱 夕量的外βΛ氣’可有效率地藉由熱交換器9進行熱交換。 t此外在本實施型態+，於相對於排氣管51巾的回流 s 52所刀1出來的位置為上游的部分設置觸媒6，不過， 觸媒6亦可m免置於相對於回流管52及排氣管5i中的 回流管52所分支出央沾#里& # 出來的位置為下游並且為熱交換器9的上 游的部分。 接者’參照第4圖，說明本發明第4實施型態之熱處 理裝置1D。在第4實施型態之熱處理裝置1D中，藉由隔 板24將隔熱至20分隔為上下兩部分。然後，在裝置本體 2的側壁上’以與空調部23連通的方式連接吸氣管4，並 且，以與熱處理部21連通的方式連接導出管5。吸氣管4 和導出管5連接在相同側（在第4圖中的右側）的側壁。又， 在第4實施型態中，不設置帛j實施型態中省略圖示的連 2014-8933-PP；Ahddub 12 1354761 通路徑’隔板24連接至上述側壁中的吸氣管4的附近。然 後’在隔板24和隔熱室20的内壁面之間形成通風口 25， 單獨藉由此通風口 25連通空調部23的内部和熱處理部21 的内部。 導出管5和第2實施型態相同’單獨由排氣管η構 成從熱處理部21流出的空氣全部排放至熱處理裳置ip 的外部。此外’在排氣管51上，不設置吹風機7，僅設置 觸媒6及加熱器丨〇。 在此種構造的熱處理裝置1D上，當使設置於空調部 23的送風機33運轉時，外部空氣從吸氣管吸入，被送進 空調部23内。外部空氣在空調部23内由加熱器32加熱。 之後’加熱後的外部空氣藉由送風機33通過通風口 25, 被送進熱處理部21内。藉此，省略圖示的工作物受到熱處 理，並且，熱處理部21内的空氣流至排氣管51内。換言 之，在第4實施型態中，如圖中的箭頭&所示，不使熱處 理部21内的空氣循環而使其在單一方向上流動，全部流至 排氣管51内。如此，第4實施型態的空調部23將通過吸 氣管4導入的外部空氣送入熱處理部21内，藉此，具有一 功能，亦即，可在不使熱處理部21内的空氣返回該空調部 Μ的情況下使其流至排氣管51内。然後’熱處理部21内 的空氣全部流至排氣管51内，所以，含有在熱處理部21 内所產生之昇華物的空氣不會流至空調部23。 在此種構造令也是一樣，可藉由在排氣管51上設置觸 媒6’阻止昇華物在排氣管5]内堆積。 2014-8933-PP；Ahddub 13 1354761 早獨由排氣管51構成的導出管5的效果和 實施型態相同。 在此說明實施型態的概要。 ⑴根據本實施型態的構造，當熱處理部的空氣流過導 出管時，和觸媒接觸m中含有從被處理物產生的昇 華物，但此昇華物被觸媒分解，所以，可阻止昇華物在導 出管内堆積。

:2 :本實施型態的熱處理裝置包括用來吸入外部空氣 ^吸乱S。上述導出管具有用來將從上述熱處理部流出的 空氣直接排放至外料排氣f和從此排氣管分支出來連接 至=述吸氣管、透過上述吸氣管將從上述熱處理部流出的 空氣再度送至熱處理部内的回流管。上述觸媒設置於相對 ^述排氣f之㈣f所分支出來的位置為上游的部分或 回流管上。於是，從熱處理部流出的空氣和觸媒接觸之後， 透過回流管及吸氣管再度被送至處理部内，所以，從熱處 ，部流出的空氣被再利帛。藉此’可使吸人至吸氣管的外 部空氣的吸氣量及從排氣管排放至外部的排氣量均能變 少’於是得以節省能源。 (3)在本實施型態的熱處理裝置中，上述觸媒設置於相 對於上述排氣管之回流管所分支出來的位置為上游的部 分。另外，包括的熱交換器，對流過上述吸氣管的外部空 氣和流過相對於上述排氣管之回流管所分支出來之位置為 下游部分的空氣進行熱交換。於是，藉由熱交換器，可利 用從熱處理部流出的空氣的熱對外部空氣加熱，所以，得 2014-8933-PF；Ahddub 14 以節省能源。並且，由熱交換 空氣為和館'和外部空氣進行熱交換的 孔為和觸媒接觸之後的空氣， 後的办备 _ 疋昇華物已經被分解之

俊的工虱，所以，即使上述 畔I 阻止戽筮私+ 、因.，，、乂換而被冷卻，也可 阻止汁華物在熱交換器内堆積^ 瞢斜户拍老 了错由回流管及吸氣 熱處理部流出的空氣進行再利用，所以，得以節： “、又卜部導入的吸氣量被減少，所以，可有效妯 藉由熱交換器來進行熱交換。 / (4)在本實施型態的熱 介名从Τ 包括用來吸入外部 二孔的吸氣管和對流過上述 ^ ......, 風s的外部空氣和流過相對 於上述導出管中之觸媒被設 广舳^ & 置為下游部分的空氣進 仃…父換的熱交換器。於是， 一 未^、ά , 韁由熱父換器，可利用從埶 處理。Ρ奴出的空氣的熱能對外 、 名n ^ 1孔體加熱，所以，得以節 二。、且’藉由熱交換器和外部空氣進行熱交換的空 觸媒接觸、已經使昇華物分解的空氣，所以，即使 上述空氣因熱交換而被冷卻， 也了阻止昇華物在熱交換器 内堆積。 (5)在本實施型態的妖虚搜社$ ^ 们熱慝理裝置中，空調部將外部空氣 送入熱處理部内，藉此，可尤丈+ 在不使熱處理部内的空氣流回 空調部的情況下，使之流至導出管 ▼ 。換5之，藉由此構 造，不使誠料㈣Μ循環，使其全部流至導出管内。 在此種構造中也是-樣，可藉由在導出管上設置觸媒阻 止昇華物在導出管内堆積。並且，從熱處理部流至導出管 内的空氣全部排放至外部，所以，和觸媒接觸之後的空氣 不會再被送至熱處理部内。因此，即使觸媒劣化，熱處理 2014-8933-PP；Ahddub 15 1354761 部内的昇華物濃度也不會上升。 【圖式簡單說明】 第1圖為本發明第1實施型態之熱處理裝置的概略構 造圖。 第2圖為本發明第2實施型態之熱處理裝置的概略構 造圖。 第3圖為本發明第3實施型態之熱處理裝置的概略構 造圖。 第4圖為本發明第4實施型態之熱處理裝置的概略構 造圖。 主要元件符號說明】

1A，1B，1C，ID〜熱處理裝置； 2〜裝置本體； 4 ~吸氣管； 5〜導出管； 6〜觸媒； 7〜吹風機； 9〜熱交換器； 10〜加熱裝置； 20〜隔熱室； 21〜熱處理部； 2 2〜工作物支持部； 2 3 ~空調部； 24〜隔板； 25〜通風口； 31〜過濾器； 32~加熱器； 33〜送風機； 51~排氣管； 5 2〜回流管； W〜工作物。 2014-8933-PF;Ahddub 16

Claims (1)

1354761 第 096122108 號，^、申請專利範圍：

曰更)正替換頁100年9月5曰修正替換頁 1. 一種熱處理裝置，包括： 隔熱室，具有被處理物被收納的熱處理部、加熱器被 設置的空調部、以及連通上述熱處理部和上述空調部的?連 通路輕，藉由一邊使空氣經過該連通路徑而在上述教處理 部和上述空調部之間被循環、一邊進行加熱，對上述被處 理物進行熱處理； 吸氣管’用來吸入外部空氣至上述隔熱室内； …導出管’藉由使上述熱處理部内的空氣流出，進行上 述隔熱室内的換氣；以及 觸媒，被設置於上述導出管， J刀解對上述破處理物 進仃熱處理時從該被處理物產生的昇華物； 其中上述導出管具有將從上述熱處理部流出的空氣直 接排放至外部的排氣管及從上述排氣管分支出來連接至上 上述吸氣管將從上述熱處理部流出的空氣 冉度达進熱處理部内的回流管， 上述觸媒設置於相對於上述排 、 乩徘上的回流管所分支 來的位置為上游的部分或回流管。 2.如申請專利範圍第1項之熱處理裝置，1中，上.f 觸媒設置於相對於上述排氣管上的回流管所八…^ W & 々丨L s所分支出來的位 置為上游的。P分’其又進一步 在上诚明洛其+ + 乂換益，該熱交換器 的…：：Γ外部空氣和在相對於上述排氣管中 所分支出來的位置為下游的部分流動的空氣之門 進行熱交換。 利日7工轧之間 2014-8933-PF2 17 丄乃4761 曰修正替換頁 其中，進__ 第096122108號〇曰气爹(更)^替換頁| 1。0年9月5 •如申請專利範圍第1項之熱處理裝置， 步包括： 、熱父換器，在上述吸氣管内流動的外部空氣和在相對 於上述導出管中的觸媒所設置的&置為下游的部分流動的 空氣之間進行熱交換。 4_ —種熱處理裝置，包括： 熱處理部’可將被處理物收納於内部； 導出管’連接至上述熱處理部；及 空調部’加熱外部空氣並將其送入上述熱處理部内以 對上述備處理部進行熱處理， 其特徵在於： 上述空調部可藉由將外部空氣送入上述熱處理部内， 在不將上述熱處理部内的空氣送回該空調部的情況下，使 其流至上述導出管内’上述導出管具有將從上述熱處理部 流出的空氣全部排放至外部的構造，此導出管上設有觸 媒’其可分解對上述被處理物進行熱處理時從該被處理物 產生的昇華物。 2014-8933-PF2 18