JP4589941B2 - 熱処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、被熱処理物を熱処理する熱処理装置に関するものである。

従来、熱処理装置としては、熱処理部の熱処理室に被熱処理物が収容された状態で、前記熱処理室内の空気を循環させながら加熱することにより前記被熱処理物を熱処理するものが知られている。

このような熱処理装置は、例えばＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）の製造工程におけるフォトレジストや有機物薄膜のプリベーク、ポストベーク工程に用いられることがある。これらの工程では、ガラス基板等からなる被熱処理物が熱処理される際に、フォトレジスト等に含まれる揮発性成分が気化して多量の昇華物が発生し、この昇華物が再結晶化して熱処理装置周辺に飛散したり周辺に付着したりする等の問題があった。

この問題の対策として、例えば特許文献１には、外気を加熱して前記熱処理室内に送り込みつつ前記熱処理室内の空気を導出ダクト内に流出させることにより前記熱処理室内を換気することが記載されている。このように換気することにより、昇華物の再結晶化および周辺への付着を抑制することができる。
特開平１０−１４１８６８号公報

しかしながら、上記特許文献１の熱処理装置においては、熱処理部の外壁と熱処理室との間に、熱処理室の内外へ空気を循環させるための送風機や加熱器を有する気体処理部が設けられているため、熱処理室の内壁などに付着した前記昇華物を洗浄により除去しようとすると、前記気体処理部の送風機や加熱器などの電気機器が、洗浄に用いる洗浄液により故障する虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、送風機や加熱器の故障を防止する状態で熱処理部の熱処理室内を洗浄することができる熱処理装置を提供することを目的とする。

請求項１に係る発明は、熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理部と、前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路を有し、その気体通路に、前記被熱処理物を熱処理する際に当該被熱処理物から発生する昇華物を分解するための触媒と、少なくとも該触媒を加熱する加熱器と、前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く１または２以上の送風機とが設けられた気体処理部とを具備し、前記気体通路は、前記気体導入部に連結手段を介して着脱可能に出側端が連結される導入ダクトと、前記気体導出部に連結手段を介して着脱可能に入側端が連結される導出ダクトとを有することを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の熱処理装置において、前記導入ダクトの入側端と前記導出ダクトの出側端とが気体処理ダクトを介して連結されていて、前記気体処理ダクトに、前記触媒と前記加熱器とが設けられていることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項１に記載の熱処理装置において、前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられ、前記導入ダクトに気体加熱用加熱器が設けられており、前記導出ダクト、前記気体処理ダクトおよび前記導入ダクトのうちの少なくとも一つに前記送風機が設けられていることを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項１に記載の熱処理装置において、前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられるとともに、気体処理ダクトの前記触媒と前記加熱器とが設けられた箇所よりも下流位置と前記導入ダクトの途中が連結ダクトを介して連通連結されていて、導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側に気体加熱用加熱器と前記送風機とが設けられていることを特徴とする。

請求項５に係る発明は、請求項４に記載の熱処理装置において、前記導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側であって前記気体加熱用加熱器および前記送風機よりも上流側の位置と、前記導出ダクトの途中とが第２連結ダクトを介して連通連結されていることを特徴とする。

請求項６に係る発明は、請求項１乃至５のいずれか１つに記載の熱処理装置において、前記熱処理部の前記熱処理室にも別の触媒が設けられていることを特徴とする。

請求項１に係る発明によれば、熱処理部から離れた熱処理部の外側の気体通路に送風機および加熱器が配設されるので、送風機や加熱器の故障を防止する状態で熱処理部の熱処理室内を洗浄することができる。また、気体処理部の導入ダクトと導出ダクトを連結手段により熱処理部から切り離すことが可能となる。この切り離し状態では、送風機や加熱器の故障を確実に防止する状態で熱処理部の熱処理室内を洗浄することができる。また、熱処理部と気体処理部とを切り離すことで、熱処理部だけを交換することや、或いは気体処理部だけを交換することが可能になる。

請求項２に係る発明によれば、熱処理室から導出された気体が、導出ダクト、気体処理ダクトおよび導入ダクトをこの順に経て再び熱処理室に戻る循環経路が構成され、１つの送風機で気体を循環させることができるとともに、加熱器により触媒と気体とを加熱することができる。

請求項３に係る発明によれば、導入ダクトの開放された入側端から吸入された気体が気体加熱用加熱器にて加熱されて熱処理室に導入され、導出ダクトおよび気体処理ダクトを経て導出されるように構成されているので、導入ダクトの入側端から吸気される気体が昇華物の無いものとなる。このため、熱処理室には常時フレッシュな気体が導入されるので、触媒による昇華物の酸化分解反応を低下させ難くすることが可能になる。また、この発明では、導入ダクト、導入ダクトおよび気体処理ダクトのうちの少なくとも一つに送風機を設けることで、熱処理室への気体導入と熱処理室からの気体導出とが可能である。

請求項４に係る発明によれば、導入ダクトの入側端が開放されているので、フレッシュな気体の導入が可能になる。また、熱処理室から導出された気体が、触媒により浄化され、かつ加熱器により加熱されたものとなって連結ダクトを介して導入ダクトに入り、導入ダクトの開放入側端から吸入された気体と混合されて熱処理室に導入されるので、熱損失を少なくすることができる。また、熱処理室に導入される気体が、導入ダクトに設けた気体加熱用加熱器により加熱されるので、その気体加熱用加熱器は熱処理室の温度管理に、気体処理ダクトに設けた加熱器は触媒の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物の加熱温度に左右されずに、触媒を最適な活性温度に設定することができる。

請求項５に係る発明によれば、導入ダクトの入側端が開放され、かつ連結ダクトを介して気体が循環する構成となっているので、請求項５と同様な効果が得られることは勿論のこと、連結ダクトによる循環経路よりも熱処理室により近い循環経路が第２連結ダクトにより形成され、かつ循環経路に設けられた気体加熱用加熱器により加熱する構成となっているので、温度低下が少ない気体を再利用することが可能になる。

請求項６に係る発明によれば、熱処理室の容積や昇華物の発生量に合わせて気体処理部の能力を選定及び選択することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。この熱処理装置１Ａは、例えばＦＰＤの製造工程に用いられるものであり、クリーンルーム内に設置されるいわゆるクリーンオーブンと呼ばれるものである。

熱処理装置１Ａは、被熱処理物（ワークとも言う）Ｗが出し入れ可能に収容される熱処理室１１を有する熱処理部１０と、熱処理部１０の熱処理室１１へ熱処理用気体、例えば加熱エアを導入するとともに熱処理室１１から熱処理済みの気体、例えば熱処理済みエアを導出する気体通路２１Ａを有する気体処理部２０Ａとを備える。

熱処理部１０は、気体処理部２０Ａからの熱処理用気体が導入される気体導入部１２と、熱処理室１１から熱処理済みエアを導出する気体導出部１３とを有し、熱処理室１１の外側が断熱壁１１ａで囲繞されている。

熱処理室１１の内側には、例えば１または２以上の被熱処理物Ｗを所定状態で保持できる保持部材（図示せず）が二点鎖線で示す箇所に設けられている。上記気体導入部１２は、熱処理室１１と連通する管状のものでその入側端に連結用フランジ１４を備える。また、上記気体導出部１３も熱処理室１１と連通する管状のものでその出側端に連結用フランジ１５を備える。

気体通路２１Ａは、気体導入部１２に連結される導入ダクト２２と、気体導出部１３に連結される導出ダクト２３と、導入ダクト２２と導出ダクト２３の間に設けられた気体処理ダクト２４とを有する。導入ダクト２２の出側端には、気体導入部１２の連結用フランジ１４に連結される連結用フランジ２５が設けられ、導出ダクト２３の入側端には、気体導出部１３の連結用フランジ１５に連結される連結用フランジ２６が設けられている。そして、導入ダクト２２の連結用フランジ２５と、気体導入部１２の連結用フランジ１４とを締結手段、例えばボルトおよびナットにより連結し、導出ダクト２３の連結用フランジ２６と、気体導出部１３の連結用フランジ１５とを締結手段、例えばボルトおよびナットにより連結すると、熱処理部１０の熱処理室１１と気体処理部２０Ａの気体通路２１Ａとが連通連結されて循環通路が形成される。なお、気体通路２１Ａには、適所に風量調整用のダンパー（図示せず）が設けられる。

また、上記気体処理ダクト２４には、触媒３０と加熱器３１と送風機３２と前処理剤３３とが設けられている。送風機３２は、上記循環通路をエアが循環して流れるようにするためのものであり、加熱器３１は触媒３０およびエアを加熱するものである。この加熱器３１により加熱されたエアは、導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで被熱処理物Ｗを加熱して熱処理を行う。この熱処理に際し、被熱処理物Ｗから昇華物が発生する。熱処理済みエアは、上記昇華物を含んだものであって、上記気体導出部１３および上記導出ダクト２３を経て触媒３０へ与えられる。

触媒３０は、熱処理済みエアに含まれる昇華物の酸化分解反応を促進するためのものであり、例えば白金（Ｐｔ）やパラジウム（Ｐｄ）等の貴金属や、これらの貴金属の合金などの活性金属が採用される。このような触媒３０は、約１５０〜３５０℃程度の温度雰囲気下において触媒活性を示す。よって、本実施形態においては、触媒３０の前側（循環通路をエアが流れる方向の触媒３０よりも上流側）に加熱器３１を配置している。また、昇華物に、触媒毒といわれる物質、例えばＳｉ、Ｐ、Ｓ等を含む有機化合物が入っていて、触媒３０が被毒することがある場合には、その防止のために前処理剤３３を触媒３０の前側に配設させることが好ましい。

したがって、このように構成された第１実施形態に係る熱処理装置１Ａによる場合には、熱処理部１０から離れた熱処理部１０の外側の気体通路２１Ａに送風機３２および加熱器３１が配設されるので、送風機３２や加熱器３１の故障を防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。加えて、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナットから構成される連結手段を介して気体通路２１Ａが着脱可能に連結されるので、その気体通路２１Ａに設けた送風機３２および加熱器３１を、気体処理部２０Ａを熱処理部１０から切り離すことで熱処理部１０から分離させ得、これにより送風機３２や加熱器３１の故障を確実に防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。また、熱処理室１１から導出された気体が、導出ダクト２３、気体処理ダクト２４および導入ダクト２２をこの順に経て再び熱処理室１１に戻る循環経路が構成されているので、１つの送風機３２で気体を循環させることができるとともに、加熱器３１により触媒３０と気体とを加熱することができる。更に、熱処理部１０と気体処理部２０Ａとを切り離すことで、熱処理部１０だけを交換することや、或いは気体処理部２０Ａだけを交換することが可能になる。

（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図１と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｄは、第１実施形態の気体処理部２０Ａとは異なる気体処理部２０Ｄを有する。即ち、導入ダクト２２の入側に開放端２２ａが、気体処理ダクト２４の出側に開放端２４ａが設けられた気体通路２１Ｄを有し、気体処理部２０Ｄは気体処理ダクト２４に触媒３０と加熱器３１とが設けられ、導入ダクト２２に送風機３４と加熱器３５とが設けられている。なお、図２では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。

このように構成された熱処理装置１Ｄのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、気体処理ダクト２４に導かれて触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出される。なお、図２中の１６は、エアが熱処理室１１の内部で還流することなく、気体導入部１２から気体導出部１３へ流れるようにするための邪魔板であり、熱処理室１１の気体導入部１２とは反対側に通路１６ａが形成されるように設けられる。

したがって、この熱処理装置１Ｄにあっても、熱処理部１０から離れた熱処理部１０の外側の気体通路２１Ｄに送風機３４および加熱器３１、３５が配設されるので、送風機３４や加熱器３１、３５の故障を防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。加えて、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナットから構成される連結手段を介して気体通路２１Ｄが着脱可能に連結されるので、その気体通路２１Ｄに設けた送風機３４および加熱器３１、３５を、気体処理部２０Ｄを熱処理部１０から切り離すことで熱処理部１０から分離させ得、これにより送風機３４や加熱器３１、３５の故障を確実に防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。また、熱処理部１０と気体処理部２０Ｄとを切り離すことで、熱処理部１０だけを交換することや、或いは気体処理部２０Ｄだけを交換することが可能になる。更に、導入ダクト２２の入側開放端２２ａから吸入されたエアが加熱器３５にて加熱されて熱処理室１１に導入され、導出ダクト２３および気体処理ダクト２４を経て導出されるように構成されているので、導入ダクト２２の開放端２２ａから吸気されるエアが昇華物の無いものとなる。このため、熱処理室１１には常時フレッシュなエアが導入されるので、触媒３０による昇華物の酸化分解反応を低下させ難くすることが可能になる。また、この熱処理装置１Ｄでは、導入ダクト２２に送風機３４を設けることで、熱処理室１１への気体導入と熱処理室１１からの気体導出とが可能である。

なお、この第２実施形態では、送風機３４を導入ダクト２２に設けているが、これに限らない。例えば、導出ダクト２３や気体処理ダクト２４に設けても、或いは導入ダクト２２、気体処理ダクト２４および導出ダクト２３のうちの少なくとも１つに送風機を設けてもよい。

（第３実施形態）
図３は、本発明の第３実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図２と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｃは、第２実施形態の気体処理部２０Ｄとは異なる気体処理部２０Ｃを有する。即ち、気体処理ダクト２４の触媒３０、加熱器３１および送風機３２が設けられた箇所と出側端２４ａとの間と、導入ダクト２２の途中とが、連結ダクト２８を介して連通連結された気体通路２１Ｃを有し、気体処理部２０Ｃは、導入ダクト２２の連結ダクト２８の合流点よりも下流位置に加熱器３５と送風機３４が設けられた構成となっている。なお、図３では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。また、上記送風機３２は省略することができる。

このように構成された熱処理装置１Ｃのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、気体処理ダクト２４に導かれて触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出されるか、または連結ダクト２８および導入ダクト２２を介して熱処理室１１に戻される。なお、図３中の１６は、第２実施形態と同様の邪魔板である。

したがって、この第３実施形態に係る熱処理装置１Ｃにあっても、熱処理部１０から離れた熱処理部１０の外側の気体通路２１Ｃに送風機３２、３４および加熱器３１、３５が配設されるので、送風機３２、３４や加熱器３１、３５の故障を防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。加えて、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナットから構成される連結手段を介して気体通路２１Ｃが着脱可能に連結されるので、その気体通路２１Ｃに設けた送風機３２、３４および加熱器３１、３５を、気体処理部２０Ｃを熱処理部１０から切り離すことで熱処理部１０から分離させ得、これにより送風機３２、３４や加熱器３１、３５の故障を確実に防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができるとともに、熱処理部１０だけを交換することや或いは気体処理部２０Ｃだけを交換することが可能になる。

また、熱処理装置１Ｃにおいて、導入ダクト２２の入側端２２ａが開放されているので、フレッシュなエアの導入が可能になる。また、熱処理室１１から導出されたエアが、触媒３０により浄化され、かつ加熱器３１により加熱されたものとなって連結ダクト２８を介して導入ダクト２２に入り、導入ダクト２２の開放入側端２２ａから吸入されたエアと混合されて熱処理室１１に導入されるので、熱損失を少なくすることができる。更に、熱処理室１１に導入されるエアが、導入ダクト２２に設けた気体加熱用加熱器３５により加熱されるので、その気体加熱用加熱器３５は熱処理室１１の温度管理に、気体処理ダクト２４に設けた加熱器３１は触媒３０の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物Ｗの加熱温度に左右されずに、触媒３０を最適な活性温度に設定することができる。

（第４実施形態）
図４は、本発明の第４実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図３と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｂは、導入ダクト２２の連結ダクト２８との合流点よりも下流側であって気体加熱用加熱器３５と送風機３４とが設けられている位置よりも上流側の位置と、導出ダクト２３の途中とが、第２連結ダクト２７を介して連通連結された気体通路２１Ｂを有する。

気体処理部２０Ｂは、以下のように構成されている。即ち、気体処理ダクト２４には、触媒３０と加熱器３１と送風機３２とが設けられ、導入ダクト２２の途中であって第２連結ダクト２７の合流点よりも下流位置には、上述したように送風機３４と加熱器３５とが設けられている。加熱器３５は、熱処理室１１に導入されるエアを加熱する目的で設けられている。また、熱処理室１１の内部には、前記邪魔板１６が設けられている。なお、図４では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。

このように構成された熱処理装置１Ｂのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、第２連結ダクト２７と気体処理ダクト２４とに向けて分岐し、第２連結ダクト２７に導かれたエアは再度加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に戻る。つまり、熱処理室１１と第２連結ダクト２７との間を循環する。一方、気体処理ダクト２４に向けて導かれた昇華物を含む熱処理済みエアは、触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出されるか、または連結ダクト２８および導入ダクト２２を介して熱処理室１１に戻される。

したがって、この熱処理装置１Ｂにあっても、熱処理部１０から離れた熱処理部１０の外側の気体通路２１Ｂに送風機３２、３４および加熱器３１、３５が配設されるので、送風機３２、３４や加熱器３１、３５の故障を防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができる。加えて、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナットから構成される連結手段を介して気体通路２１Ｂが着脱可能に連結されるので、その気体通路２１Ｂに設けた送風機３２、３４および加熱器３１、３５を、気体処理部２０Ｂを熱処理部１０から切り離すことで熱処理部１０から分離させ得、これにより送風機３２、３４や加熱器３１、３５の故障を確実に防止する状態で熱処理室１１の内部を洗浄することができるとともに、熱処理部１０だけを交換することや或いは気体処理部２０Ｂだけを交換することが可能になる。

また、この熱処理装置１Ｂにおいては、導入ダクト２２の入側端２２ａが開放され、かつ連結ダクト２８を介してエアが循環する構成となっているので、第３実施形態と同様な効果が得られることは勿論のこと、連結ダクト２８による循環経路よりも熱処理室１１により近い循環経路が第２連結ダクト２７により形成され、かつ第２連結ダクト２７を含む循環経路に設けられた気体加熱用加熱器３５により加熱する構成となっているので、温度低下が少ないエアを再利用することが可能になる。

なお、上述した第１〜第４実施形態では熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３と、気体通路（２１Ａ〜２１Ｄ）とを連結する手段として、連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナットから構成されるものを用いているが、本発明はこれに限らない。例えば、雄ねじと雌ねじを組み合わせた連結手段や、他の機構であってもよい。

また、上述した第１〜第４実施形態では熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３と、気体通路（２１Ａ〜２１Ｄ）とを連結手段（連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナット）で着脱可能に連結する構成としているが、本発明はこれに限らず、気体導入部１２と導入ダクト２２を溶接等で連結し、気体導出部１３と導出ダクト２３を溶接等で連結した構成としてもよい。この構成とした場合にも、熱処理部１０から離れた熱処理部１０外側の気体通路（２１Ａ〜２１Ｄ）に送風機３２等および加熱器３１等が配設されるので、送風機３２等および加熱器３１等へ洗浄液等が到達し難くなって、送風機および加熱器の故障を防止する状態で熱処理室１１の洗浄をすることが可能となり、本発明の目的を達成することができる。

更に、上述した第１〜第４実施形態では、１つの熱処理部１０に対して１つの気体処理部（２０Ａ〜２０Ｄ）を配設する構成としているが、本発明はこれに限らず、１つの熱処理部１０に対して２以上の気体処理部を配設する構成としてもよい。例えば、１つの熱処理部１０に対して２つの気体処理部を配設する場合を例に挙げて図５に基づき説明する。
図５に示すように熱処理部１０に、１組の気体導入部１２と気体導出部１３の他に、もう１組の気体導入部１２ａと気体導出部１３ａを設けておき、気体導入部１２と気体導出部１３に気体処理部２０Ａの気体通路２１Ａを連通連結させ、気体導入部１２ａと気体導出部１３ａに、同様の気体処理部２０Ａの気体通路２１Ａを連通連結させる構成としてもよい。なお、この構成において、１組の気体導入部１２と気体導出部１３しか使用しないときは、図６に示すように気体導入部１２ａと気体導出部１３ａに対し、蓋１８を取付けておけばよい。

更にまた、上述した実施形態では触媒３０を気体処理ダクト２４にのみ配設する構成としているが、本発明はこれに限らない。例えば図７に示すように、熱処理室１１の内部にも別の触媒１７を配設する構成としてもよい。このとき、熱処理室１１の内部には、邪魔板１６を設けていても設けてなくても構わない。このような構成とすることで、２つの触媒３０、１７により昇華物の酸化分解反応を高効率で行わせることが可能になる。

本発明の第１実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第２実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第３実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第４実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の他の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の更に他の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の更に他の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。

符号の説明

１Ａ〜１Ｄ 熱処理装置
１０ 熱処理部
１１ 熱処理室
１２ 気体導入部
１３ 気体導出部
１４、１５、２５、２６ 連結用フランジ（連結手段）
２０Ａ〜２０Ｄ 気体処理部
２１Ａ〜２１Ｄ 気体通路
２２ 導入ダクト
２３ 導出ダクト
２７ 第２連結ダクト
２８ 連結ダクト
３０ 触媒
３１、３５ 加熱器
３２、３４ 送風機

Claims (6)

1. 熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理部と、
   前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路を有し、その気体通路に、前記被熱処理物を熱処理する際に当該被熱処理物から発生する昇華物を分解するための触媒と、少なくとも該触媒を加熱する加熱器と、前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く１または２以上の送風機とが設けられた気体処理部とを具備し、
   前記気体通路は、前記気体導入部に連結手段を介して着脱可能に出側端が連結される導入ダクトと、前記気体導出部に連結手段を介して着脱可能に入側端が連結される導出ダクトとを有することを特徴とする熱処理装置。
2. 請求項１に記載の熱処理装置において、
   前記導入ダクトの入側端と前記導出ダクトの出側端とが気体処理ダクトを介して連結されていて、前記気体処理ダクトに、前記触媒と前記加熱器とが設けられていることを特徴とする熱処理装置。
3. 請求項１に記載の熱処理装置において、
   前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられ、前記導入ダクトに気体加熱用加熱器が設けられており、前記導出ダクト、前記気体処理ダクトおよび前記導入ダクトのうちの少なくとも一つに前記送風機が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
4. 請求項１に記載の熱処理装置において、
   前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられるとともに、気体処理ダクトの前記触媒と前記加熱器とが設けられた箇所よりも下流位置と前記導入ダクトの途中が連結ダクトを介して連通連結されていて、導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側に気体加熱用加熱器と前記送風機とが設けられていることを特徴とする熱処理装置。
5. 請求項４に記載の熱処理装置において、
   前記導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側であって前記気体加熱用加熱器および前記送風機よりも上流側の位置と、前記導出ダクトの途中とが第２連結ダクトを介して連通連結されていることを特徴とする熱処理装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか１つに記載の熱処理装置において、
   前記熱処理部の前記熱処理室にも別の触媒が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
   

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