TWI353931B - - Google Patents
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Description
1353931 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於對於工件，從喷黑古4 喷出*噴墨方式之功能液滴喷出頭 此液來進仃描繪之液滴喷出裝置、光電裝置之 方法、光電裝置及電子機器。 【先前技術】 以往’據知有一種液滴噴出裝置，1 Ο, 八係具備.描繪機構
出機構）’其係—面使功能液滴噴出頭相對地移動，一 面從功能液滴噴出頭喷出功能液來進行据繪；及重量列定 裝置，其係鄰接於描繪機構而配設，從噴出自功能液滴噴 出頭之功能液之重量來収液滴噴出^ ;且根據重量測定 裝置之敎結果來調整功能液滴噴出頭之驅動電力而進行 描繪（參考例如日本特開2〇〇4 _177262號公報Ρ 然而’以往之液滴噴出裝置係、使用者根據測定結果來調 整驅動電力。因此’為了使測定結果反映於驅動電力，需 要由使用者進行調整之時間，無法謀求迅速地對應。^ 且，對使用者而言，調整作業甚費事。 【發明内容】 本發明之目的在提供一種可將液滴噴出量之測定結果^ 速反映於功能液滴喷出頭之驅動電力之液㈣出裝置、光 電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器。 本發明之液滴噴出裝置之特徵為包含：描繪機構，其係 -面使喷墨方式之功能液滴喷出頭對於工件相對地移動， -面從功能液滴噴出頭嗔出功能液來進行描繪；重量測定 124885.doc 工353931 機構，其係鄰接於描繪機構而配設，根據從功能液滴喷出 頭噴出之功能液之重量來測定液滴喷出量；及控制機構， 其係根據從重量測定機構輸入之測定結果，來控制功能液 滴嘴出頭之驅動電力。 右根據此結構，並非由使用者，而是根據從重量測定機 構輸入之測定結果來控制功能液滴噴出頭之驅動電力。因 此相較於使用者根據測定結果來調整驅動電力之έ士構，
可將液滴喷出量之測定結果迅速反映於功能液滴喷出頭之 驅動電力。 此情況下，描繪機構宜包含：χ轴台，其係、搭載工件， 並且使該工件往X軸方向移自；及¥軸台，其係搭載功能 液滴喷出帛’並且使功能液滴喷出頭往γ轴方向移動且 進一步包含：冑洗機構’其係配設於丫軸方向之功能液滴 喷出頭之移動軌跡上，0及引及擦拭功能液滴喷出頭.重旦
測定機構宜於功能液滴喷出頭之移動轨跡上，配設於X: σ及洗機構間。 若根據此結構，可於藉由清洗機構來清洗錢液 頭（之喷出嗔嘴）後’使其臨向重量敎機構。因此^ 效防止功能液滴喷出頭之喷出不良所造成之無 或重量測定不良。而且，可缩 里 了縮紐由吸引/擦拭、重 及描繪所組成之一連串步驟之產距時間。 “乂 此情況下，宜設置有複數缺 旎液滴噴出頭；重量測定地 構宜包含：容ϋ，其係接受從㈣—功能㈣=機 之功能液；電子天平，政俜制 > 〜 、出頌噴出 ，、係測定容器内之功能液之重量. 124885.doc 1353931 及:洗盒，其係配設於容器周圍，從一功能液滴喷出 於谷器之測定喷出時，接受來自其他功能液滴噴出頭之睾 噴出。 棄 若根據此結構’由於設置有複數功能液滴噴出頭，因此 於-功能液滴噴出頭進行測定喷出時，其他功能液滴 頭等待該測定喷出結束’但可使該「等待」狀態之功能液 滴噴出頭進行棄喷出。因此，喷嘴不會於「等待」狀熊之 期間乾燥，可於「等待」狀態後良好地進行測定喷出y可 獲得適當之測定結果。 此情況下’複數功能液滴喷出頭宜排列於乂軸方向而構 成喷頭群；宜進-步包含使重量測定機構往χ轴方向移動 之副台。 若根據此結構’於具備複數功能㈣喷出頭之情況時， 可谷易it打使各功能液滴喷出頭臨向重量測定機構之 作。 此情況下，宜進一步包含防風蓋，其係配設於副台之移 動軌跡上，藉由電子天平進行重量測定時，覆蓋容器之上 部空間。 若根據此結構，於重量敎時，藉㈣台來將重量測定 機構移動至防風蓋下’藉此電子天平不會受氣流影響，可 正確進行重量測定。 本發明之光電裝置之製造方法之特徵為··使用上述液滴 噴出裝置，於工件上形成功能液所成之成膜部。 而且，本發明之光電裝置之特徵為：使用上述液滴喷出 124885.doc 裝置，於工件上形成功能液所成之成膜部。 若根據此等結構，賴由使料將液㈣出量之測定結 果迅速地反映於功能液滴喷出頭之藤動電力之液滴喷出裝 置’可有效率地製造高品質之光電裝置。此外，作為光電 裝置(平板顯示器，，可想到彩色渡光器、液晶顯示 裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子放出裝置等。此外， 電子放出裝置係包含所謂FED(Field：場 發射顯示器）或 SED(Surface_c〇nducti〇n mectr〇n_Emiuer
DlsPlay:表面傳導電子發射顯示器）裝置之概念。並且， 作為光電裝置，可想到包含金屬布線形成、透鏡形成、抗 钱劑形成及光擴散體形成等之裝置。 本發明之電子機器之特徵為：搭載有藉由上述光電裝置 之製造方法所t造之光電或上述光電裝置。 ’作為電子機器’除了搭載有所謂平板顯示器 之订動電話、個人電腦以外，各種電器製品亦相當於此。 【實施方式】 乂下’參考附圖來說明有關本發明之一實施型態。有關 本實施型態之液滴喷出裝置係組入平板顯示器之製造線 处】如使用導人有特殊墨水或發光性樹脂液之功能液之 ^月b液滴噴出頭’來形成（藉由喷墨法之印刷）液晶顯示裝 置之彩色據光器或作為有機EL裝置之各像素之發光元件 如圖1及圖2所示 其係搭載有複數功 ’液滴噴出裝置1係具備：描繪裝置2， 能液滴噴出頭17 ;清洗裝置3，其係延 124885.doc 1353931 伸於Y轴方向；重量測定單以，其係'設置於描繪裝置2盘 清洗裝置3間；及控制裝置5(參考圖8)。控制裝^係由例 如PLC構成，其具有CPU或記憶體等。此液滴噴出裝置⑽ 收容於例如可形成乾空氣之氣氛之處理室（省略圖示）。 描繪裝置2係、具有：設置於X軸支持基座1()(石製固定板) 上之X軸台u ;正交於X軸方向之y軸台12;及移動自如地 吊設於Y軸台12之複數（10個）托架13。
X轴台U係具有：放置台21，其係搭載基板w; χ轴滑 件22，其係滑動自如地支持放置台21 ;及χ軸移動機構 23(線性馬達），其係使X轴滑件22往又軸方向移動。藉由X 軸移動機構23，可對於功能液滴喷出頭17，使放置台 21(基板W)經由χ軸滑件22而往X軸方向來回移動。 此外，X軸台11係進一步具有維護用滑件24，其係滑動 自如地支持後述之檢查台面43及定期沖洗單元45。χ軸滑 件22及維護用滑件24可個別地移動。
此外，Υ軸台12係由支柱31支持，其跨越χ軸台η及清 洗裝置3而延伸《Υ轴台12係具有：複數（10個）橋板32，其 係吊設各托架13 ; 1對複數組（1 〇組）之γ軸滑件3 3，其係滑 動自如地支持各橋板32之兩端部；及1對γ軸移動機構 34(線性馬達），其係使各γ轴滑件33往Υ軸方向移動。藉由 1對Υ軸移動機構3 4，可經由各組之Υ軸滑件3 3來使複數托 架1 3往Υ軸方向個別地移動。亦即，γ軸台12可使各托架 1 3移動於X轴台11、重量測定單元4及清洗裝置3之各單元 (後述）間。 124885.doc 1353931 如圖3所不，各托架13係經由托架板％來搭載複數（I? 個）功能液滴喷出頭17。12個功能液滴喷出頭17係於γ轴方 向分為2群’構成每6個排列於X軸方向之噴頭群16。然 後’藉由搭載於複數托架之所有功能液滴喷出頭η⑴ 個），來形成連續於γ軸方向之描繪線。此描繪線之長度係 與可搭載於放置台21之最大尺寸之基板W之寬度相對應。 &各功能液滴喷出頭17係從未圖示之功能液包等供給有功 月b液並以噴墨方式（例如壓電元件驅動）來噴出功能液。 然後’藉由從後述之喷頭驅動器38(參考圖8)施加驅動電 力以從複數喷嘴(例如18〇個x2排)喷出功能液。此驅動 電力係藉由控制裝i5，I據從後述之重量測定裝置51輸 入之測定結果來控制（詳細於後面敘述）。 如此構成之描繪裝置2係受到控制裝置5之控制，同時於 基板W上噴出功能液來進行描繪。亦即，描繪裝置2係藉 由乂軸。II，使基板w對於功能液滴喷出頭Η來回移動， 並且與此同步而驅動功能液滴喷出頭17，進行對於基板w 之描繪動作。 如圖1及圖2所示，清洗裝置3係依遠離X轴台11之順序而 具^ :排列於Y軸方向之複數（1〇個）吸引單元41、及i個擦 拭單元42。複數吸引單元41及擦拭單元42係設置於γ軸台 12所造成之功能液滴喷出頭17之移動轨跡上，可使托架u 臨向各單元。 吸引單元41係與複數托架13相對應而設置有複數個。各 吸引單元4 1係經由密封各功能液滴喷出頭1 7之喷嘴面之噴 124885.doc 嘴蓋（省略圖示），從功能液滴喷出頭17之喷嘴吸引功能 液’進行清洗動作或功能液之初始填充。而且，擦拭單元 42係以托架13為單位，使用擦拭片材42a來擦拭由於清洗 動作等而附著有功能液之各功能液滴噴出頭17之喷嘴面。 如上述’於維護用滑塊24支持有檢查台面43及定期沖洗 早元45。檢查台面43係接受用以檢查功能液滴喷出頭I?之 喷出不良有無之檢查喷出。喷出之檢查圖案係由檢查用相 機44拍攝’控制裝置5將其進行圖像辨識，並判斷有無喷 出不良。而且’定期沖洗單元45係於基板1之換載時等， 用以接受為使功能液滴喷出頭17不乾燥所進行之棄喷出。 如圖4及圖5所示，重量測定單元4係具備：複數個）重 量測定裝置51、使複數重量測定裝置51往又軸方向移動之 田J 〇 52、及配设於副台52之移動軌跡上之防風蓋。 副台52係具有：支持架56,其係集中支持複數重量測定 裝置;重量測定用滑件57,其係經由支持㈣，於乂轴 方向滑動自如地支持複數重量測定裝置51;及馬達驅動用 之重量測定用移動機構58 ’其係使重量測定用滑件57往X 軸方向滑動。 測定裝置51並排設置於γ軸方向，_ 裝置Μ對應於㈣頭群16。總言之，藉由相重 置51 ,對每2個托架13進行重量測定。 疋裝 :重量測定裝置51係具有：容器61，其係接 =之6個功能液滴喷出頭”之任意―:喷 心喷出之功能液；電子天平62(參考叫=出 l248S5.doc 1353931 61來測定功能液之重量；沖洗盒63 ’其係配設於容器61之 周圍；及外殼64’其係收容支持此等。於沖洗盒63内功 能液吸收材料65係於其兩長邊部由！對壓板66壓住之狀態 下鋪設。此沖洗盒63係從一功能液滴噴出頭17對於容器^ 進行測定噴出時，接受來自其他5個功能液滴噴出頭17之 棄噴出。 本實施型態中，由於
能液滴喷出頭17進行測定，因此於一功能液滴噴出頭口進 仃測定喷出時，其他5個功能液滴喷出頭17等待該測定喷 出結束’但可使該「等待」狀態之功能液滴喷出頭^進行 棄喷出。因此’噴嘴不會於「等待」I態之期間乾燥，可 於「等待」I態後良好地進行測定噴出，可獲得適當之測 定結果。 ^ 參考圖6及圖7來說明有關重量測定之一連串動作。首
置菫測定裝置51來針對6個功 先’從所有托架13臨向吸引單元41之狀態，使接近重量測 定單元4之2個托㈣往丫軸方向移動’藉由擦拭單元a進 行擦拭，並且使其臨向重量測定單元4。此外，使上述所 有托架13從吸引單元41移動至檢查台㈣並進行檢查喷 出’藉由檢查用相機44確認所有噴嘴之正常噴出後， 2個臨向重量測定單元4亦可。 接著’副台52係使各重量測定裝置51之容器“臨 嘴頭群16之第—個功能液滴噴出頭17a。然後，對於各容 器61，從各喷頭群16之第一個功能液滴喷出頭17a之所有 喷嘴進行敎喷出。此時，各噴頭群16之第二個至第六個 124885.doc 1353931 =滴噴一 17f係對於沖洗盒63進行棄喷出(參考 雄二二52係使各容器61移動至防風蓋53下，狀 '下错由電子天平62進行液滴喷出量之測定(參考圖 卿。若根據此，電子天半在茲“ 』疋(參考圖 (處理… 電子天千係藉由防風蓋”來遮斷氣流 (處理至:成之下沈氣流或乳流)，目此不會受到 響’可正確進行重量測定。 /第一個功能液滴噴出頭17a之液滴喷出量之重量測定 後，使第二個功能液滴喷出頭m臨向容㈣，同樣地進 行測定喷出（參考圖。w 丁 mu, 可® (C))以下，同樣地針對各噴頭群16 之6個功能㈣喷出頭17 ’依序測定液滴喷出量。此外， 於^測定來自各功能液滴噴出頭17之所有噴嘴之液滴喷 出量’但不限定於此’例如以嘴嘴排為單位來測定液滴喷 出量，或進一步以喷嘴為單位來測定液滴喷出量均可。、 圖8係說明根據重量測定裝置5 1之測定結果來控制功能 液滴喷出頭之驅動電力之控制區塊圖。電子天平62係對於 控制裝置5，輸出如上述測定液滴喷出量之測定結果。控 制裝置5係根據從電子天平62輸入之測定結果，來控制從 噴頭驅動器38施加於功能液滴喷出頭17之驅動電力（電壓 值）。亦即，重量測定結果為目標範圍内之情況時，不變 更電壓值，並進行對於下一基板W之描繪。另一方面，重 量測定結果為目標範圍外之情況時，根據預先求出之施加 電壓值及重量測定值之解析度資料來變更電壓值。然後， 以變更後之電廢值再度進行重量測定。重複進行此重量測 124885.doc -13· 定及電壓值變更’直到重量測定結果成為目標之範圍内。 如以上，若根據本實施型態之液滴噴出裝置1，並非由 使用者，而是根據從重量測定裝置5 1輸入之測定結果來控 制功能液滴喷出頭17之驅動電力。因此，相較於使用者根 據測疋結果來調整驅動電力之結構，可將液滴喷出量之測 疋結果迅速反映於功能液滴噴出頭17之驅動電力。 接著’作為使用本實施型態之液滴喷出裝置1所製造之 光電裝置（平板顯示器），舉例彩色濾光器、液晶顯示裝 置、有機EL裝置、電漿顯示器（PDp裝置）、電子放出裝置 (FED裝置、SED裝置）’進而舉例形成於此等顯示裝置之 主動矩陣基板等為例，來說明有關此等之構造及其製造方 法。此外，主動矩陣基板係指形成有薄膜電晶體、及電性 連接於薄膜電晶體之源極線、資料線之基板。 首先，說明有關組入於液晶顯示裝置或有機£^裝置等之 彩色濾光器之製造方法。圖9係表示彩色濾光器之製造步 驟之流程圖’圖1 0係依製造步驟順序所示之本實施型態之 彩色濾光器500(濾光器基體500A)之模式剖面圖。 首先’於黑矩陣形成步驟（S101)中，如圖i〇(a)所示，於 基板（W)501上形成黑矩陣502 ^黑矩陣5〇2係藉由金屬鉻、 金屬鉻與氧化鉻之疊層體、或樹脂黑等來形成。可利用滅 鍍法或蒸鍍法等來形成由金屬薄膜所組成之黑矩陣5〇2。 而且，形成由樹脂薄膜所組成之黑矩陣5〇2之情況時，可 利用凹版印刷法、光阻法、熱轉印法等。 接著，於岸堤形成步驟（S 102)，在重疊於黑矩陣5〇2上 124885.doc -14· 1353931 之狀態下形成岸堤503 ^亦即，首先如圖1〇(b)所示，以覆 蓋基板501及黑矩陣502之方式來形成負型之透明感光性樹 脂所組成之抗敍劑層504。然後，在以形成矩陣圖案形狀 之遮罩膜505被覆其上面之狀態下，進行曝光處理。 並且，如圖10(c)所示，藉由蝕刻處理抗蝕劑層5〇4之未 曝光部分，將抗蝕劑層504圖案化，形成岸堤5〇3。此外， 精由樹脂黑來形成黑矩陣之情況時，可兼用黑矩陣及岸 堤。 此岸堤503及其下之黑矩陣5〇2係成為劃分各像素區域 5〇7a之劃分壁部5〇7b，於後述之著色層形成步驟中，於藉 由功能液滴喷出頭丨7來形成著色層（成膜部）5〇8R，5〇8g， 508B時規定功能液滴之落下區域。 藉由經過以上之黑矩陣形成步驟及岸堤形成步驟，可獲 得上述濾光器基體50〇Α。 此外’本實施型態中’作為岸堤5〇3之材料係使用塗膜 表面呈疏液（疏水）性之樹脂材#。然後，由於基板（玻璃基 板）501之表面具親液（親水）性，因此於後述之著色層形成 步驟中，〇|"白·» 目動補正液滴對於由岸堤5〇3(劃分壁部5〇7b)所 包圍之各像素區域5〇7a内之落下位置之偏差。 接著於著色層形成步驟（sl〇3)中，如圖1〇⑷所示，藉 由力此液滴噴出頭17喷出功能液滴使其落在由劃分壁部 507b所包匱y备* 各像素區域507a内。此情況下，利用功能液 滴喷出頭17來導 守入R、G、B 3色之功能液（濾光器材料），進 行功能液滴之喑ψ . . 戈出。此外，作為r、〇、Β 3色之排列圖案 124885.doc 15 1353931 有條紋排列、鑲嵌排列及三角排列等。 其後，經過乾燥處理（加熱等處理）來使功能液定著，形 成3色之著色層508R，508G，5〇8Ββ若已形成著色層5〇8^， 5〇8G，508Β，則移至保護膜形成步驟（§1〇4)，如圖1〇(约所 不，以覆蓋基板501、劃分壁部5〇7b及著色層508R，5〇8〇 5 08B之上面之方式來形成保護膜5〇9。 亦即，於基板501之形成有著色層5〇8尺，5〇8(5,5〇86之面 全體，喷出保護膜用塗布液後，經過乾燥處理來形成保護 膜509〇 、° 然後，形成保護膜509後，彩色濾光器5〇〇移轉至下—步 驟之透明電極之ITO(Indium Tin 〇xide:氧化銦錫）等之附 膜步驟。
圖11係表示作為使用上述彩色濾光器5 〇 〇之液晶顯示裝 置之一例之被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之概略結構之 要部剖面圖。藉由於此液晶裝置52〇安裝液晶驅動用圯、 背光、支持體等附帶要素’來獲得作為最終製品之穿透型 液晶顯示裝置。此外，由於彩色濾光器5〇〇與圖1〇所示者 相同，因此於對應部位附上相同符號，並省略其說明。 此液晶裝置520係藉由彩色濾、光器5〇〇、由玻璃基板等所 組成之對向基板521、及夾持於此等間之由 Twisted Nematic ··超扭轉向列）液晶組成物所組成之液晶 層522來概略構成，於圖中上側（觀測者側）配置彩色濾光器 500 。 “ ° 此外，雖未圖*，但於對向基板521及彩色滤光器5〇〇之 124885.doc 16 1353931 外面（與液晶層522側相反側之面）分別配設有偏光板，而且 於位在對向基板5 2 1側之偏光板外側配設背光。 於彩色濾光器500之保護膜509上（液晶層側），圖1丨中於 左右方向’以特定間隔形成複數長條之細長片狀之第一電 極523 ’以覆蓋與此第一電極523之彩色濾光器5〇〇側相反 側之面之方式，形成有第一配向膜524。
另一方面，於對向基板521中與彩色濾光器5〇〇相對向之 面’於與彩色濾光器500之第一電極523呈正交之方向，以 特疋間隔形成複數長條之細長片狀之第二電極526，以覆 蓋此第二電極526之液晶層522側之面之方式，形成有第二 配向膜527。此等第一電極523及第二電極526係藉由IT〇等 透明導電材料來形成。 §又置於液晶層522内之間隔物528係用以將液晶層522之 厚度（胞間距）保持在一定之構件。而且，密封材料529係用 以防止液晶層522内之液晶組成物往外部漏出之構件。此
外’第一電極523之一端部係作為牵繞布線5233而延伸至 密封材料529之外侧。 然後’第一電極523與第二電極526交又之部分為像素， 構成為彩色濾光器500之著色層5〇8R, 5〇8G，5〇8β位在此像 素之部分。 於通常之製造步驟中，於彩色濾光器500，進行第—電 極523之圖案化及第一配向膜524之塗布，製作彩色濾光器 500側之部分’並且有別於此而另外於對向基板521，進行 第二電極526之圖案化及第二配向膜527之塗布，製作對向 124885.doc 17 1353931 基板521側之部分。其後，於對向基板521側之部分製入 間隔物528及密封材料529，於此狀態下，貼合彩色濾光器 八口’注入構成 疊層兩偏光板及
實施型態U㈣My係於例如塗布構成上述胞間 距之間隔物材料（功能液），並且於對向基板521側之部分貼 合彩色濾光器500側之部分前，可於密封材料529所包圍之 區域，均句地塗布液晶（功能液）。而且，亦可由功能液滴 喷出頭17來進行上述密封材料529之印刷。並且，亦可由 功能液滴噴出頭17來進行第一、第二兩配向膜524, 527之 塗布。 圖12係表示使用本實施型態所製造之彩色濾光器5〇〇之 液aH裝置之第一例之概略結構之要部剖面圖。
500側之部分。接著，從密封材料529之注 液晶層522之液晶並封閉注入口。其後， 背光。 此液晶裝置530與上述液晶裝置52〇大幅不同之點為，彩 色濾光器500配置於圖中下側（與觀測者側相反側）之點。 此液晶裝置530係於由彩色濾光器5〇〇與玻璃基板等所組 成之對向基板531間，夾持由STN液晶所組成之液晶層532 來概略構成。此外，雖未圖示，但於對向基板53丨及彩色 遽光器5 0 0之外面，分別配設有偏光板等。 於衫色濾光器500之保護膜5〇9上（液晶層532側），於圖 中縱深方向，以特定間隔形成複數長條之細長片狀之第一 電極533 ’以覆蓋與此第一電極533之液晶層532侧之面之 方式’形成有第一配向膜534。 124885.doc -18- 1353931 於對向基板531之與彩色濾光器5〇〇相對向之面上，以特 定間隔形成延伸在與彩色濾光器5〇〇側之第—電極呈正 交之方向之複數細長片狀之第二電極536，並以覆蓋此第 二電極536之液晶層532側之面之方式，形成有第二配向膜 537 〇 '
於液晶層532設置有：用以將液晶層532之厚度保持在一 定之間隔物538、及用以防止液晶層532内之液晶組成物往 外部漏出之密封片材539。 然後，與上述液晶裝置520相同，第一電極533與第二電 極536交又之部分為像素，構成為彩色濾光器5〇〇之著色層 5 08R，508G，5 08B位在此像素之部分。 圖13係表不使用適用本發明之彩色濾光器5〇〇來構成液 晶裝置之第三例，其為表示穿透型之TFT(Thin Fib Transistor :薄膜電晶體）型液晶裝置之概略結構之分解立 體圖。
此液晶裝置550之彩色濾光器5〇〇配置於圖中上側（觀測 者側）。 此液晶裝置550係於由彩色濾光器5〇〇、配置為與其相對 向之對向基板55 1、夾持於其等間之未圖示之液晶層、配 置於彩色濾光器500之上面側（觀測者侧）之偏光板555、及 配置於對向基板551之下面侧之偏光板（未圖示）來概略構 成。 於彩色濾光器500之保護膜509之表面（對向基板551侧之 面），形成有液晶驅動用之電極556。此電極556係由IT0等 124E85.doc -19- 1353931 透明導電材料所組成’成為覆蓋形成有後述之像素電極 560之區域全體之整面電極。而且，於覆蓋此電極556之像 素電極560之相反側之面之狀態下設置有配向膜557。 在與對向基板551之彩色濾光器500相對向之面，形成有 絕緣層558 ’於此絕緣層558上，掃描線561及信號線兄之係 於互相呈正交之狀態下形成。然後，於此等掃描線561及 信號線562所包圍之區域内’形成有像素電極56〇。此外，
於實際之液晶裝置中，於像素電極56〇上設置有配向膜， 但省略圖示。 而且，於像素電極56〇由缺口部、掃描線561及信號線 5 62所包圍之部分，組入具備源極電極、汲極電極、半導 體及閘極電極之薄膜電晶體563而構成。.然後，構成為藉 由施加對於掃描線561及信號線562之信號，來開啟、關閉 薄膜電晶體563 ’可進行對於像素電極56〇之通電控制。
此外’上述各例之液晶裝置52〇，53〇，550為穿透型結 構，但設置反射層或半穿透反射層而製成反射型之液晶裝 置或半穿透反射型之液晶裝置亦可。 接著’圖14係表示有機el裝置之顯示區域（以下僅稱為 顯示裝置600)之要部剖面圖。 此顯示裝置600係於在基板（w)601上，疊層有電路元件 部602、發光元件部603及陰極604之狀態下來概略構成。 於此顯示裝置600 ’從發光元件部603往基板601側發出 之光係穿透電路元件部602及基板601並往觀測者側射出， 並且從發光元件部603往基板60 1之相反側發出之光係由陰 124885.doc •20· 1353931 極604反射後，穿透電路元件部602及基板601並往觀測者 側射出。
於電路元件部602與基板601間，形成有矽氧化膜所組成 之基底保護膜606 ’於此基底保護膜606上（發光元件部603 侧），形成多結晶矽所組成之島狀之半導體膜607。於此半 導體膜607之左右區域，藉由打入高濃度陽離子來分別形 成源極區域607a及汲極區域607b。然後，未打入陽離子之 中央部成為通道區域607c。 而且，於電路元件部602，形成覆蓋基底保護層6〇6及半 導體膜607之透明之閘極絕緣膜608，在此閘極絕緣膜608 上與半導體膜607之通道區域607c相對應之位置，形成例 如由A卜Mo、Ta、Ti、W等所構成之閘極電極609。於此 閘極電極609及閘極絕緣膜608上，形成透明之第一層間絕 緣膜611a及第二層間絕緣膜6iib。而且，貫通第一、第二 層間絕緣臈61 la，61 lb而形成分別連通於半導體膜607之源
極區域607a、汲極區域6〇7b之接觸孔洞612a，612b。 然後’於第二層間絕緣膜61 lb上，由IT〇等所組成之透 明之像素電極6 1 3係被圖案化為特定形狀而形成，此像素 電極613係經由接觸孔洞612a而連接於源極區域6〇7&。 而且，於第一層間絕緣膜611&上配設有電源線614，此 電源線6 14係經由接觸孔洞6丨2b而連接於汲極區域6〇7b。 如此，於電路元件部602分別形成連接於各像素電極613 之驅動用之薄膜電晶體6 1 5。 上述發光元件部603係藉由疊層於複數像素電極613上之 124885.doc 1353931 各個之功此層617、及於各像素電極613及功能層6i7間所 . 具備之劃分各功能層617之岸堤部618來概略構成。 ' 藉由此等像素電極613、功能層617及配設於功能層617 上之陰極604 ’來構成發光元件。此外，像素電極㈠3係被 • ®案化為平面看來約略矩形而形成，於各像素電極613間 形成有岸堤部61 8。 ,岸堤部618係藉由例如由Si〇、Si〇2、Ti〇2等無機材料所 _ 形成之無機物岸堤層618a(第一岸堤層），及疊層於此無機 物岸堤層618a上，由丙烯酸樹脂、㈣亞胺樹脂等財熱 11耐’合劑性良好之抗蝕劑所形成之剖面梯形之有機物岸 堤層618b(第二岸堤層）來構成。此岸堤層618之一部分係於 抬升於像素電極6 1 3之周緣部上之狀態下形成。 然後，於各岸堤部618間，形成對於像素電極613往上方 逐漸擴開之開口部6 1 9。 上述功能層617係藉由在開口部619内，於像素電極613 0 上以疊層狀態形成之電洞注入/輸送層617a，及形成於此 電洞注入/輸送層617a上之發光層617b來構成。此外，鄰 接於此發光層61几，亦可進一步形成具有其他功能之其他 功能層。例如亦可形成電子輸送層。 電洞注入/輸送層617a係具有從像素電極613側輸送電洞 並注入於發光層617b之功能。此電洞注入/輸送層617&係 藉由噴出含電洞注入/輸送層形成材料之第一組成物（功能 液）來形成。作為電洞注入/輸送層形成材料係使用習知之 材料。 124885.doc -22- 1353931 發光層6171)係發出紅色（11)、綠色（(})或藍色（8)之任一 光，其藉由噴出含發光層形成材料（發光材料）之第二組成 物（功能物）來形成。作為第二組成物之溶劑（非極性溶 劑），宜使用對於電洞注入/輸送層61 7a不溶之習知之材 料，藉由於發光層617b之第二組成物使用此種非極性溶 劑，以不使電洞注入/輸送層617a再溶解即可形成發光層 617b。 曰 然後，發光層617b係構成為，從電洞注入/輸送層6na 注入之電洞與從陰極6〇4注入之電子會於發光層再結合而 發光。 口 陰極604係以覆蓋發光元件部6〇3之整面之狀態下形成， 與像素電極613成對而發揮於功能層617流入電流之作用。 此外，於此陰極604之上部，配置有未圖示之密封構件。 接著，參考圖15〜圖23來說明上述顯示裝置000之製造步 驟。 7 如圖15所示，此顯示裝置6〇〇係經過岸堤部形成步驟 (sm)、表面處理步驟（S112)、電洞注入/輸送層形成步驟 (sii3)、發光層形成步驟（SU4)及對向電極形成步驟 (S115)而製造。此外，製造步驟不限於例示者，亦有因應 需要而排除其他步驟之情況或追加之情況。 首先，如圖16所示，於岸堤部形成步驟（S1U)中於第 二層間絕緣膜611b上形成無機物岸堤層618ae此無機物岸 土疋層618a係藉由於形成位置形成無機物膜後，藉由光微影 技術等，將此無機物膜進行圖案化而形成。此時，無機物 124885.doc -23- 岸堤層618a之一部公总ώ 主& , 丨刀係與像素電極613之周緣部重疊形 成。 山若已形成無機物岸堤層618a，則如圖17所示，於無機物 厗堤層618a上形成有機物岸堤層6181^此有機物岸堤層 61 8b亦與無機物岸堤層6心相同，藉由光微影技術等來進 行圖案化而形成。 如此形成有岸堤部618。而且，伴隨於此，於各岸堤部 618間，形成對於像素電極613往上方開口之開口部HQ。 此開口部6 19係規定像素區域。 於表面處理步驟（SU2)中，進行親液化處理及撥液化處 理。施加親液化處理之區域為無機物岸堤層618&之第一疊 層部618aa及像素電極613之電極面613&，此等區域係藉由 例如將氧作為處理氣體之電漿處理，以將表面處理為親液 性。此電漿處理亦兼做像素電極613之ITO之洗淨等。 此外，撥液化處理係於有機物岸堤層618b之壁面618§及 有機物岸堤層618b之上面618t施加，藉由例如以四氣化碳 作為處理氣體之電漿處理，將表面予以氟化處理（處理為 撥液性）。 藉由進行此表面處理步驟，於使用功能液滴喷出頭丨7形 成功能層617時’可使功能液滴更確實地落在像素區域， 而且可防止落在像素區域之功能液滴從開口部6 1 9溢出。 然後，藉由經過以上步驟可獲得顯示裝置基體600A。此 裝置基體600A載置於圖2所示之液滴喷出裝置1之放置台 21 ’並進行以下之電洞注入/輸送層形成步驟（S113)及發光 124885.doc •24· 1353931 層形成步驟（S114)。 如圖18所示，於電洞注入/輸送層形成步驟（S113)中，從 功能液滴噴出頭1 7，將含電洞注入/輸送層形成材料之第 一組成物對於像素區域之各開口部619内喷出。其後，如 圖19所示，進行乾燥處理及熱處理，蒸發第一組成物所含 之極性溶劑，於像素電極（電極面613a)613上形成電洞注入/ 輸送層617a。
接著，說明有關發光層形成步驟（S 114)。於此發光層形 成步驟中，如上述為了防止電洞注入/輸送層617a再溶 解’作為發光層形成時所使用之第二組成物之溶劑而使用 對於電洞注入/輸送層61 7a不溶之非極性溶劑。 然而，其另一方面，由於電洞注入/輸送層6〗7a對於非 極性溶劑之親和性低’因此即使於電洞注入/輸送層617a 上喷出含非極性溶劑之第二組成物，仍唯恐無法使電洞注
入/輸送層617a與發光層617b密接，或無法均勻地塗布發 光層617b。 因此’為了提高電洞注入/輸送層61 7&對於非極性溶劑 及發光層形成材料之表面親和性，宜於發光層形成前進行 表面處理（表面改質處理）。此表面處理係將與發光層形成 時所使用之第二組成物之非極性溶劑相同之溶劑、或類似 其之/今劑之表面改質材料，塗布於電洞注入/輸送層61 h 上，並使其乾燥來進行。 藉由施加此處理，電洞注入/輸送層6丨7a之表面容易與 非極性溶劑結合，於其後之步驟中，可於電洞注入/輸送 124885.doc •25- 1353931 層61 7a均勻地塗布含發光層形成材料之第二* 然後，接著，如圖20所示，將含有對應於=:二 色(圖2。之例中為藍色⑽之發光層形成材料之第 ： 作為功能液滴，以於像素區域（開口部619)内打〜 打入於像素區域内之第二組成物係於電祠注入/二 617a上擴散並充滿開口部619内。此 曰 從像素區域偏離而落在岸堤部618之上面 :二於此上面618t如上述施加有撥液處理，因此第二組 成物谷易滾入開口部6 1 9内。 、其後’藉由進行乾燥步驟等’將喷出後之第二組成物予 以乾燥處理，蒸發第二組成物所含之非極性溶劑，如圖h 所不’於電洞注入/輸送層6m上形成發光層。此圖 之凊况下，形成對應於藍色（B)之發光層6 1 7b。 同樣地’使用功能液滴喷出頭丨7，如圖22所示，依序進 订與對應於上述藍色（B)之發光層6171?之情況相同之步 驟形成對應於其他色（紅色（R)及綠色（G))之發光層 。此外’發光層61 7b之形成順序不限於例示之順序， 以任何順序形成均可。例如亦可因應發光層形成材料來決 定开/成順序。而且’作為R、G、B 3色之排列圖案有條紋 排列、鑲嵌排列及三角排列等。 如以上而於像素電極613上形成功能層017，亦即形成電 /同主入/輪送層617a及發光層617b。然後，移轉至對向電 極形成步驟（S115)。 於對向電極形成步驟（S11 5)中，如圖23所示，於發光層 124885.doc -26 · 1353931 6 17b及有機物岸堤層61 8b之整面，藉由例如蒸鍍法、濺鍍 法、CVD法等來形成陰極604(對向電極）。於本實施型態 中，此陰極604係疊層有例如約層及銘層而構成。 於此陰極604之上部，適當設置有作為電極之A1膜、Ag 膜，或其氧化防止用之Si02、SiN等之保護層。 如此形成陰極604後，施加藉由密封構件來密封此陰極 604之上部之密封處理或布線處理等其他處理等，藉此來 獲得顯示裝置600。
接著，圖24為電漿型顯示裝置（PDP裝置：以下僅稱為顯 示裝置700)之要部分解立體圖。此外，同圖中，顯示裝置 700係以下切其一部分之狀態來表示。
此顯示裝置700係包含互相對向配置之第一基板70 1、第 二基板702，及形成於此等間之放電顯示部703來概略構 成。放電顯示部703係由複數放電室705所構成。配置成此 等複數放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室 705G、藍色放電室705B之3個放電室705成為一組來構成1 個像素。 於第一基板701之上面，以特定間隔條紋狀地形成有位 址電極706，並以覆蓋此位址電極706及第一基板701之上 面之方式，形成有介電體層707。於介電體層707上，以位 在各位址電極706間且沿著各位址電極706之方式，立設有 隔牆708。此隔牆708係包含：如圖示延伸於位址電極706 之寬度方向兩側者、及延伸於與位址電極706呈正交之方 向之未圖示者。 124885.doc -27- 1353931 然後，由此隔牆708所區隔之區域成為放電室705。 於放電室705内配置有螢光體709。螢光體709係發出紅 (R)、綠（G)、藍（B)之任一色之登光，分別於紅色放電室 705R之底部配置紅色螢光體7〇9R，於綠色放電室7〇5g之 底部配置綠色螢光體709G ’於藍色放電室705B之底部配 置藍色螢光體709B。
於第二基板702之圖中下侧之面，在與上述位址電極7〇6 呈正父之方向，以特定間隔條紋狀地形成有複數顯示電極 711。然後，覆蓋此等而形成介電體層712、&Mg〇等所組 成之保護膜7 1 3。 第基板701及第二基板702係使位址電極706與顯示電 極711於相互呈正交之狀態下對向貼合。此外，上述位址 電極706與顯示電極71丨係連接於未圖示之交流電源。 然後 藉由於各電極7〇6、711通電，螢光體7〇9於放電
顯示部703進行激發發光而可進行彩色顯示。 本實施型態中，可利用圖2所示之液滴喷出裝 上述位址電極706、顯示電極711及螢光體7〇9。 示第一基板701之位址電極7〇6之形成步驟。 置1來形成 以下，例 裝置1之放置 此情況下，於第一基板701載置於液滴喷出 台21之狀態下，進行以下步驟。 :先’！！由功能液滴喷出頭17，使含有導電膜布線 用材料之液體材料（功能游彳七 ,F ^ 為功此液滴而落在位址電極 =域。此液體材料係作為導電膜布 分散介質中分散有金屬等之導電性微粒子。作為此導電性 124885.doc •28- 1353931 微粒子，可使用含有金、銀、銅、纪或錄等之金屬微粒 子、或導電性聚合物等。 若針對作為補充對象之所有位址電極形成區域均結束液 體材料之補充，則將噴出後之液體材料予以乾燥處理，蒸 發液體材料所含之分散介質，藉此形成位址電極706。 然而，於上述雖例示位址電極7〇6之形成，但關於上述 顯示電極711及螢光體709均可藉由經過上述各步驟來形 成。 形成顯示電極71 1之情況時，與位址電極7〇6之情況相 同，使含有導電膜布線形成用材料之液體材料（功能液）作 為功能液滴而落在顯示電極形成區域。 而且，於形成螢光體7〇9之情況時，從功能液滴喷出頭 17，將含對應於各色（R、G、B)之螢光材料之液體材料（功 能液）作為液滴喷出，使其落在對應色之放電室7〇5内。 接著’圖25為電子放出裝置（亦稱為FED裝置或SED裝 置.以下僅稱為顯示裝置8〇〇)之要部剖面圖。此外，同圖 中將顯示裝置800之一部分作為剖面來表示。 此顯示裝置800係包含互相對向配置之第一基板8〇1、第 二基板802 ’及形成於此等間之電場放出顯示部8〇3來概略 構成。電場放出顯示部803係由配置為矩陣狀之複數電子 放出部805所構成。 於第一基板801之上面’構成陰極電極806之第一元件電 極806a及第二元件電極806b係互相呈正交而形成。而且， 於第一元件電極806a及第二元件電極8〇61)所區隔之部分’ I24885.doc •29· 1353931 形成有導電性膜807,其係形成有間距808。亦即，由第_ . 元件電極806a、第二元件電極806b及導電性膜8〇7來構成 • 複數電子放出部805。導電性膜8〇7係由例如氧化鈀（pd〇) 等來構成，而且間距808係於導電性膜807成膜後，以成型 等來形成。 & 於第二基板802之下面，形成與陰極電極8〇6對峙之陽極 電極809 ^於陽極電極809之下面，形成格子狀之岸堤部 φ 811，於此岸堤部811所包圍之朝下之各開口部812，對應 於電子放出部805而配置有螢光體813。螢光體813係發出 紅（R)、綠（G)、藍（B)之任一色之螢光’於各開口部“之， 紅色螢光體813R、綠色螢光體813G及藍色螢光體8138係 以上述特定圖案來配置。 然後，如此構成之第一基板801及第二基板8〇2係存在有 微小間隙而貼合。於此顯示裝置8〇〇中，經由導電性膜（間 距808)807而使從陰極之第一元件電極8〇6a或第二元件電 Φ 極8〇讣飛出之電子，接觸到形成於陽極之陽極電極809之 螢光體813而激發發光，從而可進行彩色顯示。 此情況下亦與其他實施型態相同，可利用液滴喷出裝置 1來形成第一元件電極806a、第二元件電極806b、導電性 . 膜807及陽極電極809 ,並且可利用液滴噴出裝置i來形成 各色螢光體813R，813G，813B。 第一元件電極806a、第二元件電極8〇6b及導電性膜8〇7 係具有圖26(a)所示之平面形狀，將此等成膜之情況時，如 圖26(b)所示，預先留下要製入第一元件電極8〇6a、第二元 124885.doc •30· 1353931 件电極806b及導電性膜807之部分而形成岸堤部bb(光微影 法）。接者’於藉由序堤部BB所構成之溝槽部分，形成第 一元件電極806a及第二元件電極8〇6b(藉由液滴喷出裝置i 之喷墨法），乾燥其溶劑以進行成臈後，形成導電性膜 8〇7(藉由液滴喷出裝置喷墨法卜然後，將導電性膜8〇7 成膜後，除去岸堤部BB(灰化剝離處理），並移轉至上述成 型處理。此外，與上述有機EL裝置之情況相同，宜進行對
於第基板801及第二基板8 02之親液化處理、或對於岸堤 部811，BB之撥液化處理。 而且，作為其他光電裝置可想到金屬布線形成、透鏡形 成、抗蝕劑形成及光擴散體形成等之裝置。藉由將上述液 滴噴出裝置1利用於各種光電裝置（元件）之製造，可有效率 地製造各種光電裝置。 【圖式簡單說明】 圖1係表示有關實施型態之液滴喷出裝置之平面圖。
圖2為液滴噴出裝置之側面圖。 圖3係構成噴頭群之功能液滴喷出頭之圖。 圖4為重量測定單元之俯視圖。 圖5為重量測定單元之正面圖。 圖6為液滴喷出裝置之正面模式圖。 圖7(a)〜⑷係說明液滴喷出裝置之重量測定之一連串動 圖8係說明根攄番|丨 、#為h 據重里，則疋裝置之測定結果來控制功能液 滴喷出頭之驅動電力之控制區塊圖。 124885.doc 1353931 圖9係說明彩色濾光器製造步驟之流程圖。 圖1〇⑷〜⑷係依製造步驟順 式剖面圖。 心色濾先益之模 圖11係表示使用適用本”之彩色濾光器之液晶裝 概略結構之要部剖面圖。 圖12係表示使用適用本發明之彩色據光器之第二例之液 晶裝置之概略結構之要部剖面圖。
圖13係表示使用適用本發明之彩色it光器之第三例之液 曰日裝置之概略結構之要部剖面圖。 圖14為有機EL裝置之顯示裝置之要部剖面圖。 圖15係說明有機紅裝置之顯示裝置之製造步驟之 圖。 圖16係說明無機物岸堤層之形成之步驟圖。 圖17係說明有機物岸堤層之形成之步驟圖。 圖1 8係說明形成電洞注入/輸送層之過程之步驟圖。
圖19係說明形成有電洞注入/輸送層之狀態之步驟圖。 圖20係說明形成藍色發光層之過程之步驟圖。 圖21係說明形成有藍色發光層之狀態之步驟圖。 圖22係說明开）成有各色發光層之狀態之步驟圖。 圖23係說明陰極之形成之步驟圖。 圖24為電漿型顯示裝置（PDP裝置）之顯示裝置之要部分 解立體圖。 圖25為電子放出裝置（FED裝置）之顯示裝置之要部剖面 圖。 124885.doc -32- 為顯示裝置之電子放出部附近之平面圖（a)及表示其 ^成方法之平面圖（b)。 【主要元件符號說明】
1 液滴噴出裝置 2 描繪裝置 3 清洗裝置 4 重量測定單元 5 控制裝置 10 X軸支持基座 11 X轴台 12 Y轴台 13 托架 16 喷頭群 17 功能液滴喷出頭 17a 第一個功能液滴噴出頭 17b 第二個功能液滴噴出頭 17f 第六個功能•液滴噴出頭 21 放置台 22 X轴滑件 23 χ軸移動機構 24 維護用滑件 31 支柱 32 橋板 33 γ軸滑件 124885.doc -33- 1353931
34 Y軸移動機構 36 托架板 38 喷頭驅動器 41 吸引單元 42 擦拭單元 42a 擦拭片材 43 檢查台面 44 檢查用相機 45 定期沖洗單元 5 1 重量測定裝置、重量測定機構 52 副台 53 防風蓋 56 支持架 57 重量測定用滑件 58 重量測定用移動機構 61 容器 62 電子天平 63 沖洗盒 64 外殼 65 功能液吸收材料 66 壓板 500 彩色濾光器 500A 濾光器基體 501 基板（W) 124885.doc -34- 1353931
502 黑矩陣 503 岸堤 504 抗#劑層 505 遮罩膜 507a 像素區域 507b 劃分壁部 508B, 508G, 508R 著色層（成膜部） 509, 713 保護膜 520, 530, 550 液晶裝置 521, 53 1, 551 對向基板 522, 532 液晶層 523, 533 第一電極 523a 牽繞布線 524, 534 第一配向膜 526, 536 第二電極 527, 537 第二配向膜 528, 538 間隔物 529 密封材料 539 密封片材 555 偏光板 556 電極 557 配向膜 558 絕緣層 561 掃描線 124885.doc -35- 1353931
562 560, 613 563, 615 600, 700, 800 601 602 603 604 606 607 607a 607b 607c 608 609 611a 611b 612a, 612b 613a 614 617 617a 617b 618, 81 1, BB 信號線 像素電極 薄膜電晶體 顯示裝置 基板（W) 電路元件部 發光元件部 陰極 基底保護膜 半導體膜 源極區域 汲極區域 通道區域 閘極絕緣膜 閘極電極 第一層間絕緣膜 第二層間絕緣膜 接觸孔洞 電極面 電源線 功能層 電洞注入/輸送層 發光層 岸堤部 124885.doc -36- 1353931
618a 618b 6 1 8aa 618s 618t 619, 812 701， 801 702, 802 703 705 705B 705G 705R 706 707 708 709, 813 709B, 813B 709G, 813G 709R, 813R 711 712 803 805 124885.doc 無機物岸堤層 有機物岸堤層 第一疊層部 壁面 上面 開口部 第一基板 第二基板 放電顯示部 放電室 藍色放電室 綠色放電室 紅色放電室 位址電極 介電體層 隔牆 螢光體 藍色螢光體 綠色螢光體 紅色螢光體 顯示電極 介電體層 電場放出顯不部 電子放出部 -37- 1353931 806 陰極電極 806a 第一元件電極 806b 第二元件電極 807 導電性膜 808 間距 809 陽極電極 W 基板
124885.doc -38-
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1353931 啥1月丨粕修⑽正替換頁 第096137578號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(100年7月;) 十、申請專利範園： 1. 一種液滴喷出裝置，其特徵為包含： 描繪機構，其係一面使喷墨方式之功能液滴噴出頭對 於工件相對地移動，—面從前述功能液滴噴出頭噴出功 能液來進行描繪； 重量測定機構，其係鄰接於前述描繞機構而配設，根 據從前述功能液时出㈣出之功能液之重量㈣ 滴喷出量；及 控制機構，其係根據從前述重量測定機構輸入之 結^來控制前述功能液滴噴出頭之驅動電力； 前述功能液滴噴出頭設置有複數個； 前述重量敎機構包含：容器，其係接受從㈣ 述功能液滴噴出頭喷出之功能液； 電子天平，其係測定前述容器内之功能液之重量；及 啥中：盒，其係配設於前述容器周圍，從前述 滴喷f頭對於前述容器之測定噴出時，接受來自其他： 述功旎液滴噴出頭之棄噴出。 、則 2. -種液滴喷出裝置，其特徵為包含： 描繪機構，其係一面使嘴 於工件相對地^ 、墨方式之功能㈣噴出頭_ 能液來進行描:面從前述功能液滴—力 ==機構’其係鄰接於前述描_ 據……力能液滴喷出頭嘴 根 滴噴出量；及 刀此及之重里來測定液 124885-1000714.doc ~ 1月I作修(¾)正雜頁 控制機構，其係根據從前 結果，來抻制A + k重里測定機構輸入之測定 來控制别述功能液滴喷出 且::崎機構包含，台，d 能液主x轴方向移動；及¥輪台，其係搭載前述功 移動Ί 並且使前述功能液滴噴出頭往γ軸方向 ，且刚述液滴喷出裝置進—步包含·· /月洗機構’其係配設於 -φ -5 又γ别迷¥軸方向之前述功能液滴 頭；㈣軌跡上’吸引及擦拭前述功能液滴喷出 :述重量测定機構係於前述功能液滴喷出頭之移動軌 /、配設於前述χ軸台及前述清洗機構間。 3·如明求項2之液滴喷出梦罟 ㈣^裝置，其中設置有複數前述功能 十刖边重量測定機構包含：容器，其係接受從任意-前 述功能液滴噴出頭噴出之功能液； 電子=平’其係測定前述容器内之功能液之重量及 ^洗盒’其係配設於前述容器周圍，從前述-功能液 肩喷，頭對於則述容器之測定噴出時，接受來自其他前 述功能液滴嘴出頭之棄噴出。 4·如請求項1或3之液滴嘴出裝置，其中複數前述功能液滴 喷^頭係排列於Χ轴方向而構成嗔頭群； 月1述重里測之機構進_步包含往前述X軸方向移動之 副台。 5.如請求項4之液滴嗜山# 赁出裝置，其中進一步包含防風蓋， 124885-l〇〇〇714doc 1353931 其係配設於前述副〜 平進行"測定時，復蓋移:軌跡上 6. 復盍前述容器之上部空 一種光電裝置之製造方 至5中任-項之液滴噴出特:為：*用如請求们 液所成之賴部。 、件上形成功能
7· —種光電裝置， 之液滴噴出裝置 部。 其特徵為 ’於前述 :使用如請求項1至5中任一項 工件上形成功能液所成之成膜 8· —種電子機器， 電裝置之製造方 電裝置。 一種液滴喷出裝置’其特徵為包含： 第1功能液滴嗔出頭； 第2功能液滴喷出頭； 重量測定機構，苴係制令ώ 1
其特徵為：搭載有藉由如 法所製造之光電裝置或如 5月求項6之光 請求項7之光 /、係測疋自前述第丨功能液 所喷出之第1功能液的重量；及 噴出頭 控制手& ’其係、根據前述重量測定機構之測定 控制前述第1功能液滴嗔出頭之驅動電力； ，〇 前述重量測定機構係包含： 容器，其係接受自前述第】功能液滴喷 前述第1功能液，· 叉出之 屮電子天平，其係測定由前述第1功能液滴喷出頭所喷 出之别述容器内之前述第“力能液的重量；及 沖洗盒（fiushing b〇x)，其係於自前述第1功能液㈣ 124885-100Q7i4.doc
出頭對前述容器嗔Ψ从 收自1 、别述第1功能液之測定喷出時，接 收自削述第2功能液滴 伐 10 噴出碩噴出之第2功能液。 月未項9之液滴噴出裝置，其中 u如咬^力⑥液與Μ述第2功能液為同種類之功能液。 月未項9之液滴噴出裝置，苴中 液前述第1功能液與前述第^力能液為不同種類之功能 12. 如請求項9之液滴噴出裝置，其中進而包含： 防風盖，其传於、+、*3^ ”、| 34電子天平進行重量測定時， 前述容器之上部空間。 13. —種光電裝置之锄 製&方法，其特徵為：使用如請求項i 之液滴噴出裝置，切, 邛。 ；土板上形成由機能液所成之成瞑 14. 一種光電裝置，其特 倣马.使用如凊求項1之液滴噴出 、置’於基板上形成有由機能液所成之成膜部。 15. -種電子機器’其特徵為：搭載有藉由如請求項η之光 电裝置之製造方法所製造之光電裝置。 16. 一種光電裝置之製造方法，該光電裝置係、使用液滴喷出 裝置喷出功能液而於基板進行成膜而獲得者，該液滴喷 出裝置包含第1功能液滴噴出頭、第2功能液滴喷出頭、 及包括容器、電子天平及沖洗盒之重量測定機構；該光 電裝置之製造方法之特徵在於包含下列步驟： 進打自自前述第1功能液滴嗔出頭對上述容器嗔出第】 功能液之測定嘴出； 124885-I000714.doc 丄 年Ί月A日修(i)正替換頁 於進仃上述測定噴出之期間，自前述第2功能液滴噴 出頭對卞述沖洗盒喷出第2功能液； &上述電子天平测定由前述第1功能液滴喷出頭嘴出 至刖述容器内之前述第1功能液的重量，· 根據則述電子天平的測定結果，控制前述第1功能液 滴喷出頭之驅動電力；及 乂 叫π叫貝®碩工驅動電力後，自
控制了前述第1功能液滴喷出頭之驅動電 17 力能液滴嗔出頭對基板噴出前述第1功能液。 Μ求項Μ之光電裝置之製造方法，其t 功能液與前述第2功能液為_類之功能液。 月求項16之光電裝置之製造方法，其中 刚述第1功能液與前述第2功 液。 夜為不同種類之功能
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