JP4049105B2 - ワイピング装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置（描画装置）における液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびこのワイピング装置を備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。

従来のワイピング装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面にワイピングシートを相対的に押しつける押圧部材を搭載した拭取り装置と、押圧部材を経由させてワイピングシートを送るシート送り装置とを備え、ワイピングシートをノズル面に押しつけた状態で、ワイピングシートを送りつつ拭取り装置をシート送り装置と一体にノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、ノズル面をワイピングシートで払拭するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このものでは、ワイピングシートに対向して並設した複数の洗浄液吐出ノズルから機能液の溶剤から成る洗浄液を滴下することで、洗浄液の塗布を行っている。
ここで、効果的に液滴吐出ヘッドの洗浄を行うためには、ワイピングシートへの洗浄液塗着量は塗着領域面内で同一であることが望ましい。さらに、塗着領域面内で同一の塗着量となるように洗浄液を塗布させる方法としては、洗浄液噴霧ノズルを用いて、洗浄液をワイピングシートの塗着領域に向けて噴霧する方法が考えられている。
特開２００１−１７１１３５号公報（第４頁、図２）

しかし、こうした場合、洗浄液噴霧ノズルにより噴霧した洗浄液の一部はワイピングシートに塗着することなく周辺に飛散するので、液滴吐出ヘッド・シート送り装置等、ワイピングシート以外の周辺装置に塗着することになり、洗浄液が無駄に消費されると共に、洗浄液として用いる溶媒の性質によっては装置に悪影響を及ぼすことが考えられる。

そこで、本発明は、洗浄液噴霧手段から噴霧された洗浄液を、ワイピングシートの塗着領域に的確に塗着させることができるワイピング装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することをその課題としている。

本発明のワイピング装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートと、払拭に先立ちワイピングシート表面の塗着領域に洗浄液を噴霧し、塗着させる洗浄液噴霧手段と、を備えた液滴吐出ヘッドのワイピング装置において、洗浄液噴霧手段から噴霧した洗浄液を帯電させる帯電電極と、ワイピングシートの裏面側に配置され、帯電電極に対応する吸着電極と、を更に備えたことを特徴とする。

この構成によれば、帯電電極により帯電した洗浄液は、ワイピングシートの裏面側に配置された吸着電極へ向かって飛翔し、吸着電極に対応するワイピングシート上の塗着領域に吸引されるようにして塗着する。
なお、ワイピングシートの塗着領域に所定の形状が要求される場合には、その形状に対応して吸着電極の平面形状とするとよい。
また、帯電電極が洗浄液噴霧手段と一体となった構成であってもよい。さらに、帯電電極および吸着電極にかける電圧は、必要とされる洗浄液の吸引力に応じて変化させることが好ましい。

この場合、液滴吐出ヘッドのノズル面が帯電しないように、洗浄液を塗着させた前記ワイピングシートの静電気を除電する除電手段を、更に備えたことが好ましい。

この構成によれば、ワイピングシート上に塗着した洗浄液が吸着電極により中和できない場合であっても、除電手段によりワイピングシート上の洗浄液を完全に除電することができる。このため、液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングする時に、静電気を帯びたワイピングシートに含浸した洗浄液により、液滴吐出ヘッドに備わる回路の静電破壊等の不具合を防止することができる。

この場合、吸着電極はワイピングシートのシート幅よりわずかに幅狭に形成されていることが好ましい。

この構成によれば、帯電した洗浄液の一部が、ワイピングシートのシート幅より外側を通ってワイピングシートの裏側領域に廻り込み、吸着電極へ直接吸着することを防ぐことができる。

この場合、個別に電圧を印可可能な複数の部分電極に分割されていることが好ましい。

この構成によれば、部分電極の内のいずれか、又は複数の部分電極を任意に選択すれば、選択した電極形状に対応したワイピングシート上の領域に、帯電した洗浄液が塗着するので、払拭対象の形状に対応させて塗着領域の形状・大きさを選択することができる。例えば、液滴吐出ヘッドの並び方の異なる複数の液滴吐出ヘッドユニットが交換可能になっており、各液滴吐出ヘッドユニットのノズル位置に対応した洗浄液塗着領域を得ようとする場合、あらかじめ配置された複数の電極の内のいずれかを選択しさえすれば、各ノズルの位置に洗浄液の塗着領域を容易に対応させることができる。また、複数配列された液滴吐出ヘッドのいずれかを選択して払拭しようとする場合では、各液滴吐出ヘッドに対応して部分電極を配列していれば、払拭を要する液滴吐出ヘッドに対応したワイピングシート領域に対して選択的に洗浄液を塗布することができる。このとき、払拭に使用されないワイピングシート領域には洗浄液を噴霧・塗着させないようにするので、洗浄液の使用量（噴霧量）が減少すると共に、飛散する洗浄液量も更に少なくすることができる。

この場合、帯電電極は、噴霧した洗浄液を囲むように略リング状の形状を有することが好ましい。

この構成によれば、洗浄液噴霧ノズルより噴霧された洗浄液が略リング状の形状を有する帯電電極の内部を通過するように配置することで、洗浄液を均一かつ効率良く帯電させることができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記したワイピング装置と、ワークに対し機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークを前記液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワイピング装置により、液滴ヘッドのノズル面を汚れのない状態に管理することができるため、安定した機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。また、洗浄液による周辺装置の汚染を防止することができる。

本発明の電気光学装置は、上記液滴吐出装置を用いて、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。

同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記液滴吐出装置を用いて、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。

これらの構成によれば、ワイピング装置により、液滴ヘッドのノズル面を汚れのない状態に管理することができるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電子光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。また、液晶表示装置等の透明電極（ＩＴＯ）形成の装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記電気光学装置または電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピューターの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以上のように、本発明によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートへの洗浄液塗着量を調整し、同一な洗浄液塗着量を有するワイピングシートの各部により液滴吐出ヘッドを払拭することができるので、効果的かつ最適な液滴吐出ヘッドの払拭を行うことが可能となる。

本発明の電気光学装置、その製造方法および電子機器によれば、液滴吐出ヘッドが清浄に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い高品質の電気光学装置や電子機器を提供することができる。

図１および図２に示すように、描画装置１は、機台２と、液滴吐出ヘッド２１を有し、機台２上の全域に広く載置された液滴吐出装置３と、液滴吐出装置３に接続した機能液供給装置４と、液滴吐出装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、描画装置１には、図外に設けられた制御装置による制御に基づいて、機能液供給装置４により液滴吐出装置３が機能液の供給を受けながら、液滴吐出装置３がワークＷに対する描画動作を行うと共に、液滴吐出ヘッド２１に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。

液滴吐出装置３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１０およびＸ軸テーブル１０に直交するＹ軸テーブル１１から成る移動機構１２と、Ｙ軸テーブル１１に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１３と、メインキャリッジ１３に垂設され、液滴吐出ヘッド２１を搭載したヘッドユニット２０と、を有している。

Ｘ軸テーブル１０は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１４を有し、これに吸着テーブル１５およびθテーブル１６等から成るセットテーブル１７を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１１は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ１９を有し、これにヘッドユニット２０を支持する上記のメインキャリッジ１３をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル１０は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１１は、機台２上に立設した左右の支柱１８に支持されており、Ｘ軸テーブル１０およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している。

ヘッドユニット２０は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド２１と、複数の液滴吐出ヘッド２１を搭載するヘッドプレート２２と、を備えている。ヘッドプレート２２は、支持フレーム２３に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット２０は、支持フレーム２３を介してメインキャリッジ１３に位置決めした状態で搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム２３には、ヘッドユニット２０に並んで、機能液供給装置４のタンクユニット５１が支持されている。（図３参照）

図４に示すように、液滴吐出ヘッド２１は、２連のノズル列３４を有しており、２連の接続針２５を有する機能液導入部２６と、機能液導入部２６に連なり各ノズル列３４に対応する２連のヘッド基板２７と、機能液導入部２６の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体２８と、を備えている。接続針２５は、図外の機能液供給装置に接続され、液滴吐出ヘッド２１のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体２８は、キャビティ３０（ピエゾ圧電素子）と、多数（１８０個）の吐出ノズル３２が開口したノズル面３３を有するノズルプレート３１と、で構成されており、液滴吐出ヘッド２１を吐出駆動すると、キャビティ３０のポンプ作用により、吐出ノズル３２から機能液滴を吐出する。

図３に示すように、ヘッドプレート２２は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート２２には、１２個の液滴吐出ヘッド２１を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、液滴吐出ヘッド２１のノズル列と直交する方向に（ヘッドプレート２２の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の液滴吐出ヘッド２１は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列と直交する方向において、各組の液滴吐出ヘッド２１のノズル列が一部重複するように、階段状に配置されている。

メインキャリッジ１３は、Ｙ軸テーブル１１に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材４０と、吊設部材４０の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット２０の）θ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構４１と、θ回転機構４１の下方に吊設するようにして取り付けたキャリッジ本体４２と、で構成されており、キャリッジ本体４２が、支持フレーム２３を介してヘッドユニット２０を支持するようになっている。（図２参照）。また、図示省略したが、キャリッジ本体４２には、支持フレーム２３を遊嵌するための方形の開口が形成されていると共に、支持フレーム２３を位置決めするための位置決め機構が設けられており、ヘッドユニット２０を位置決めした状態で固定できるようになっている。

機能液供給装置４は、上記の支持フレーム２３にヘッドユニット２０と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク５０から成るタンクユニット５１と、各機能液タンク５０および各液滴吐出ヘッド２１を、圧力調整弁５５から成るバルブユニット５４を介して接続する複数（１２本）の機能液供給チューブ５２と、各機能液供給チューブ５２を各機能液タンク５０および各液滴吐出ヘッド２１に接続するための複数（１２個）の接続具５３と、を有している。

ここで、描画装置１の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッドユニット２０の位置補正が行われた後、吸着テーブル１５にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル１０により主走査（Ｘ軸方向）方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド２１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット２０をＹ軸テーブル１１により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークの主走査方向への往復と液滴吐出ヘッド２１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２０に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２０を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット２０を主走査方向（Ｘ軸方向）および副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる構成であってもよい。

次に、ヘッド保守装置５の各構成ユニットについて説明する。ヘッド保守装置５は、機台２に載置され、Ｘ軸方向に延在する移動テーブル６０と、移動テーブル６０上に載置した、液滴吐出ヘッドの全ノズルから機能液の吸引を行う吸引ユニット７０と、液滴吐出ヘッドのノズル面の払拭を行うワイピングユニット（ワイピング装置）１００と、を備えている。ヘッドユニット２０は、描画作業の休止時に機台２の上方のメンテナンス位置に移動され、この状態で移動テーブル６０を介して、吸引ユニット７０とワイピングユニット１００とを選択的にヘッドユニット２０の直下部に臨ませることにより液滴吐出ヘッド２１の各種メンテナンスを行う。なお、上記の各ユニットに加え、液滴吐出ヘッド２１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、液滴吐出ヘッド２１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、ヘッド保守装置５に搭載することが好ましい。

図１および図２に示すように、吸引ユニット７０は、キャップスタンド７１と、キャップスタンド７１に支持され、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３に密着させる（液滴吐出ヘッド２１の配置に対応した１２個の）キャップ７２と、各キャップ７２を介して（１２個の）液滴吐出ヘッド２１を吸引可能な単一の吸引ポンプ（図示省略）と、各キャップ７２と吸引ポンプとを接続する吸引チューブ（図示省略）と、を有している。また、図示では省略したが、キャップスタンド７１には、各キャップ７２を昇降させるキャップ昇降機構が組み込まれており、保守エリア８０に臨んだヘッドユニット２０の各液滴吐出ヘッド２１に対して、対応するキャップ７２を離接させる。

液滴吐出ヘッド２１の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構７５を駆動して、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３にキャップ７２を密着させると共に、吸引ポンプ７３を駆動する。これにより、キャップ７２を介して液滴吐出ヘッド２１に吸引力を作用させることができ、液滴吐出ヘッド２１から機能液が強制的に吸引される。この機能液の吸引は、液滴吐出ヘッド２１の目詰まりを解消／防止するために行われる他、描画装置１を新設した場合や、液滴吐出ヘッド２１のヘッドを交換する場合などに、機能液タンク５０から液滴吐出ヘッド２１に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。

なお、キャップ７２は、液滴吐出ヘッド２１の捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングの機能液を受けるようになっている。この捨て吐出（フラッシング動作）では、キャップ昇降機構７５は、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３からキャップ７２（の上面）を僅かに離間する位置に移動させる。

また、吸引ユニット７０は、描画装置１の非稼動時に、液滴吐出ヘッド２１を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア８０にヘッドユニット２０を臨ませ、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３にキャップ７２を密着させる。これにより、ノズル面３３が封止され、液滴吐出ヘッド２１（吐出ノズル３２）の乾燥を防いで、吐出ノズル３２のノズル詰まりを防止できるようになっている。

図５ないし図９に示す、ワイピングユニット１００は、液滴吐出ヘッド２１の機能液の吸引等により機能液が付着して汚れた液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３を、洗浄液の塗着したワイピングシート１０１を密着させながら繰り出すことにより払拭し、ノズル面３３に付着した汚れを除去するものである。なお、以下については、説明の便宜のため、図５における正面方向をワイピングユニット１００の前方向とし、同様に背面方向をワイピングユニット１００の後方向、左右方向をそれぞれワイピングユニット１００の左右方向としている。

ワイピングユニット１００は、ワイピングシート１０１の繰出し・巻取りを行うシート送り機構１０２と、繰出したワイピングシート１０１を液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３に接触させこれを払拭する拭取り部１０３と、ノズル面３３を払拭する前のワイピングシート１０１に機能液の溶剤から成る洗浄液を噴霧・塗着させる洗浄液噴霧ユニット１０４と、洗浄液を帯電させ、周辺装置への飛散を積極的に防止する静電塗着ユニット２００と、これらのワイピングユニット１００の主構成部材を支持するユニットフレーム１０５と、から構成されている。また、ワイピングユニット１００の外部には、洗浄液噴霧ユニット１０４に洗浄液を供給する洗浄液供給装置（図示省略）と、洗浄液噴霧ユニット１０４および拭取り部１０３に圧縮エアーを供給するエアー供給装置（図示省略）と、が並設され、制御装置によりそれらの動作を制御するようにしている。
以下、ワイピングユニット１００の各構成について説明する。

ユニットフレーム１０５は、描画装置１の移動テーブル６０上に載置したベースフレーム１１０と、ベースフレーム１１０の左右両端部に立設した、一対のサイドフレーム１１１と、を備えている。また、ユニットフレーム１０５は、シート送り機構１０２の周辺を覆って洗浄液の飛散を防止する洗浄液飛散防止カバー１１２と、シート送り機構１０２および洗浄液噴霧ユニット１０４の周辺を覆う安全カバー１１３と、を有している。

左右一対として配設されたサイドフレーム１１１の側面には、片側につき５つのエアー排気口１２０を有しており、洗浄液の噴霧によりユニットフレーム１０５内部の洗浄液が浮遊するエアーを、エアー排気口１２０に接続された排気チューブを通じてワイピングユニット１００外部の排気処理設備（図示なし）に排出されるようにしている。

洗浄液飛散防止カバー１１２は、洗浄液噴霧ヘッド１６１により噴霧された洗浄液が左右サイドフレーム１１１間の開口部から飛散しワイピングユニット１００外部の周辺装置に塗着することを防止するように、両サイドフレーム１１１間に渡されて固定される板状のフレームであり、サイドフレーム１１１間の上側開口部を覆う上面側カバー１２３と、サイドフレーム１１１間の後側開口部を覆う背面側カバー１２４と、拭取り部１０３とから送り出されるワイピングシートを覆うようにワイピングユニット内部に傾斜して延在する内部カバー１２１と、内部カバー１２１の下側で後側の領域を覆うように配設され、洗浄液パンとしての機能を合わせもつ底部カバー１２２と、を有している。なお、詳細は後述するが、本実施形態では静電塗着ユニット２００により洗浄液の飛散防止を図っているが，より確実に周辺装置を保護するため洗浄液飛散防止カバー１１２を併設するようにしている。

安全カバー１１３は、ワイピング動作にあたって機械的動作を伴う洗浄液噴霧ユニット１０４およびシート送り機構１０２に、指定部材以外のものが巻き込まれることを防止するものであり、洗浄液噴霧ユニット１０４全体を覆うようにサイドフレーム１１１の上面前部に配設される箱状のユニット安全カバー１２５と、シート送り機構を覆うように、サイドフレーム１１１の前側面に配設した機構安全カバー１２６と、を有している。機構安全カバー１２６は略方形状の板状フレームであり、その下辺に左右一対にして備わる蝶番１２７によりユニットフレーム１０５の前面側下部に回転自在にして支持されていて、サイドフレーム１１１の前側開口部に対して開閉自在な構造になっている。また、機構安全カバー１２６は、サイドフレーム１１１の前面側上部に配設された、左右一対のマグネットキャッチャ１２８により閉じた状態を保持できるようにしている。以上で述べたように、洗浄液飛散防止カバー１１２および安全カバー１１３を備えたユニットフレーム１０５は、ユニットフレーム１０５内部で噴霧された洗浄液が周辺装置に飛散することを防止するボックス状の外殻を構成している。

シート送り機構１０２は、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３を払拭するワイピングシート１０１を拭取り部１０３へ繰り出すように供給すると共に、拭き取り後のワイピングシート１０１を巻き取るようにして回収するものである。
図８に示すように、シート送り機構１０２は、ユニットフレーム１０５内部の前部から後側上部にかけて配設され、その前部にはワイピングシート１０１を供給する繰出しリール１３０と、繰出しリール１３０より下側に配接された、ワイピングシートを巻き取り・回収する巻取りリール１３１と、を備えており、これらの軸体は左右一対に立設されたサイドフレーム１１１に両持ち状態で回転自在かつ着脱自在に軸支されている。また、繰出しリール１３０の軸端部にはその回転を制動し一定トルクで回転するトルクリミッタ１３２が設けられ、また巻取りリール１３１には、タイミングベルト１３７を介してこれを回転させる巻取りモータ１３３が連結されている。一方、ユニットフレーム１０５の前部から後側上部にかけては、ワイピングシート１０１の送り速度を検出する速度検出ローラ１３４と、繰り出されるワイピングシート１０１が速度検出ローラ１３４および底部カバー１２２への干渉を防いでワイピングシート１０１を案内する第１ガイドローラ１３５および第２ガイドローラ１３６と、が配設されている。また、ワイピングシート１０１がこれら複数の軸体を周回するようにしてワイピングシート１０１のシート送り経路が構成されている。

繰出しリール１３０から送り出されたワイピングシート１０１は、速度検出ローラ１３４を経て、拭取り部１０３に送り込まれる。そして、拭取り部１０３を周回し液滴吐出ヘッド２１のノズル面の払拭に使用されたワイピングシート１０１は、速度検出ローラ１３４の下方に配設された第１ガイドローラ１３５および第２ガイドローラ１３６を経て、巻取りリール１３１により巻き取られる。

巻取りリール１３１は、巻取りモータ１３３との間にタイミングベルト１３７が掛け渡されており、巻取りモータ１３３を駆動することにより巻取りリール１３１が回転してワイピングシート１０１の巻取りを行っている。そして、巻き取りモータ１３３は、後述する速度検出ローラ１３４の軸端に設けた速度検出器１３８の検出結果に基づいて、速度制御されている。

繰出しリール１３０にはロール状のワイピングシート１０１が挿填されており、巻取りリール１３１がワイピングシート１０１を巻き取ることにより、新しいワイピングシート１０１が繰出しリール１３０から引き出されて、ワイピングシート１０１の繰出しが行われる。また、繰出しリール１３０にはトルクリミッタ１３２が設けられており、巻取りモータ１３３によるシート巻取りに抗するように制動回転し、ワイピングシート１０１に常に一定の張力をかけ続けることにより弛みが生じないようにしている。

また、巻取りリール１３１および繰出しリール１３０は共にその軸端をサイドフレーム１１１に軸支されているが、その左側の軸端にはサイドフレーム１１１を挟み着脱自在な巻取りリール押え１３９および繰出しリール押え１４０が設けられている。すなわち、繰出しリール１３０に新しいワイピングシート１０１を補充すると共に巻取りリール１３１に巻取られたワイピングシート１０１を装置外部に回収する場合には、巻取りリール押え１３９および繰出しリール押え１４０を軸端より外して、両リール１３９、１４０をワイピングユニット１００より取り外して行なう。

速度検出ローラ１３４は自由回転する上下２つのローラからなるグリップローラであり、一方のローラに設けた速度検出器１３８によりワイピングシート１０１の送り速度の検出を行っている。また、繰出しリール１３０と速度検出ローラ１３４との間のシート送り経路には光反射式のフォトセンサを用いたシート検出器１４１を配置し、これに対峙するワイピングシート１０１の有無を検出することによりシートの端末が通過することを検知している。なお、これらの検出結果は制御装置６へ出力され、ワイピングユニット１００の動作制御に用いられている。

拭取り部１０３は、シート送り機構１０２に繰り出されるワイピングシート１０１により液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３を払拭するものであり、左右両サイドフレーム１１１の側面上部の外側に上下方向にスライド自在に設けた左右一対の軸受けフレーム１５１と、両軸受けフレーム１５１に回転自在に軸支され、ワイピングシート１０１が周回する押圧ローラ１５２と、両サイドフレーム１１１に固定され、両軸受けフレーム１５１を介して押圧ローラ１５２を昇降動作させる押圧ローラ昇降部１５０と、を備えている。

押圧ローラ１５２は、ワイピングシート１０１の幅寸法に対応した軸方向長さを有すると共に、払拭により液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３を損傷することのないように、軸部の外周にゴム等の弾性体を装着した弾性ローラで構成されている。

押圧ローラ昇降部１５０は、左右一対のサイドフレーム１１１の外側面の上部に一対にして固定されるサブフレーム１５５と、各サブフレーム１５５に上向きに固定される左右一対の押圧ローラ昇降シリンダ１５６と、で構成されている。押圧ローラ昇降シリンダ１５６はエアー駆動の復動シリンダであり、そのピストンロッド１５７先端には上記の軸受けフレーム１５１が連結されている。したがって、一対の押圧ローラ昇降シリンダ１５６を同時に駆動すると、押圧ローラ１５２を周回して走行するワイピングシート１０１が上昇し、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３に当接する。

サブフレーム１５５は「Ｌ」状の断面形状を有しており、その底辺部の上面には押圧ローラ昇降シリンダ１５６のフレームが固定されている。また、サブフレーム１５５の内側側面には、軸受けフレーム１５１に係合しその昇降動作を案内する左右一対のガイド部１５８が設けられている。（図５参照）

なお、押圧ローラ昇降部１５０は、軸受けフレーム１５１の昇降動作範囲を規制する、上昇端規制部材１５９および下降端規制部材１６０を有している。上昇端規制部材１５９は、軸受けフレーム１５１配設位置の上部でサイドフレーム１１１に固定されており、上昇する軸受けフレーム１５１が度当りすることにより押圧ローラ１５２の昇降動作範囲の上昇端位置を規定している。このとき、押圧ローラ１５２を周回するワイピングシート１０１の液滴吐出ヘッド２１への接触面が、液滴吐出ヘッド２１のノズル面よりわずかに高い位置まで上昇するように設定されている。下降端規制部材１６０は押圧ローラ昇降部１５０の下部でサイドフレーム１１１に固定されており、下降する軸受けフレーム１５１が度当りすることにより、押圧ローラ１５２の下降端位置を規定している。

以上に述べたように、押圧ローラ１５２を支持する軸受けフレーム１５１は、サイドフレーム１１１に対して昇降可能に構成されており、ワイピングユニット１００外部のエアー供給装置（図示省略）により押圧ローラ昇降シリンダ１５６に圧縮エアーを供給すると、押圧ローラ１５２が上昇端位置まで上昇する。これによりワイピングシート１０１は液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３に当接し、ワイピングシート１０１の送りと相まって、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３の拭き取りが行われる。ノズル面３３の払拭が完了すると、押圧ローラ昇降シリンダ１５６の復動側にエアーが供給され、押圧ローラ１５２は下降端位置まで下降して、ワイピングシート１０１は液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３より離間する。

図１０ないし図１３に示したように、洗浄液噴霧ユニット１０４は、ワイピングシート１０１に向かって噴霧・塗着させる洗浄液噴霧ヘッド１６１と、洗浄液噴霧ヘッド１６１を左右方向に走査する走査テーブル（ヘッド走査機構）１６２と、洗浄液噴霧ヘッド１６１に接続される洗浄液供給チューブおよびエアー供給チューブを担持するケーブルベア（登録商標）１６３と、走査テーブル１６２およびケーブルベア１６３を支持する走査テーブル支持フレーム１６４と、を備えており、上記の両サイドフレーム１１１の前側上部に掛け渡すようにしてワイピングユニット１００に配接されている。

走査テーブル支持フレーム１６４は、走査テーブル１６２を載置した走査テーブルメインフレーム１６５と、ケーブルベア１６３を載置した走査テーブルサブフレーム１６６とから成り、これら走査テーブルメインフレーム１６５および走査テーブルサブフレーム１６６は、相互に平行に延在している。走査テーブルメインフレーム１６５は、両サイドフレーム１１１に掛け渡されるようにして支持され、走査テーブルサブフレーム１６６は、走査テーブルメインフレーム１６５の前面に並設されるように支持されており、両サイドフレーム１１１から前方に突出している。

そして、走査テーブルメインフレーム１６５および走査テーブルサブフレーム１６６を底板として、洗浄液噴霧ユニット１０４を覆う上記のユニット安全カバー１２５が設けられている。すなわち、洗浄液噴霧ユニット１０４は、上板、前板および両側板から成るユニット安全カバー１２５と、底板となる走査テーブル支持フレーム１６４と、後板１６７とにより構成される噴霧部ボックス１６８内に収容されている。また、ユニット安全カバー１２５と後板１６７の間隙で構成されるスリット開口１６９には、後述するヘッドキャリア１７２が臨むようになっている。

走査テーブル１６２は、洗浄液噴霧ヘッド１６１をワイピングシート１０１の幅に対応して左右方向に往復動（走査）させるエアー駆動のスライダ機構１７０と、スライダ機構１７０に平行に並設されスライダ機構１７０のスライド移動（往復動）を案内するスライドガイド１７１と、先端側で洗浄液噴霧ヘッド１６１を支持すると共に基端側ではスライダ機構１７０に支持されているヘッドキャリア１７２と、ヘッドキャリア１７２と洗浄液噴霧ヘッド１６１との間に介設したヘッド位置調整機構１７３と、を備えている。

スライダ機構１７０は、速度コントローラ付きのロッドレスシリンダ１７４と、ロッドレスシリンダ１７４により左右方向（Ｙ軸方向）に往復動するスライドブロック１７５と、を有している。ロッドレスシリンダ１７４は、左右方向に延在するシリンダチューブ１７６と、シリンダチューブ１７６上をスライドするスライダ１７７とから成り、このスライダ１７７の上面には、上記のスライドガイド１７１に案内されてスライドするスライドブロック１７５が固定されている。

走査テーブルサブフレーム１６６上には、ロッドレスシリンダ１７４の速度コントローラとなる一対の流量調整バルブ１７８が設けられており、この一対の流量調整バルブ１７８のうち、往動用の流量調整バルブ１７８はシリンダチューブ１７６の右端部１８０に接続され、復動用の流量調整バルブ１７８はシリンダチューブ１７６の左端部１８１に接続されている。また、一対の流量調整バルブ１７８に接続される往動側エアーチューブおよび復動側エアーチューブ（いずれも図示省略）は、上記のエアー供給装置に個別に接続されている。この場合、一対の流量調整バルブ（速度コントローラ）１７８は、スライダ１７７の往動速度および復動速度を個別に調整可能に構成されており、洗浄液噴霧ヘッド１６１が洗浄液を噴霧する往動時の速度は、ワイピングシート１０１への洗浄液の必要塗着量に基づいて調整される。

ヘッドキャリア１７２は、上記のスライドブロック１７５の右端面に当接したスペーサ１８２と、スペーサ１８２を挟んでスライドブロック１７５の右端面に固定したキャリアアーム１８３と、で構成されている。キャリアアーム１８３の先端部は、上記のスリット開口１６８を通過して後方に延在しており、速度検出ローラ１３４および押圧ローラ１５２間のシート送り経路に位置するワイピングシート１０１に対峙するようにしている（図８参照）。

ヘッド位置調整機構１７３は、ワイピングシート１０１に対する洗浄液噴霧ヘッド１６１の噴霧角度を調整する噴霧角度調整機構１８４と、ワイピングシート１０１に対する洗浄液噴霧ヘッド１６１の離間位置およびシート送り方向に噴霧位置を調整する噴霧位置調整機構１８５と、で構成されている。

噴霧角度調整機構１８４は、キャリアアーム１８３の先端部に固定した短尺の円形シャフト１８６と、基端部で円形シャフト１８６に締結され先端側で洗浄液噴霧ヘッド１６１を支持する角度調整アーム１８７と、を有している。角度調整アーム１８７の基端部は、円形シャフトの外周面に対し相補的形状の円形内周面を有すると共に、円形内周面に連なる割りスリット１８８を有している。そして、割りスリット１８８に直交するように締付けねじが螺合している。すなわち、締付けねじを緩めることで円形シャフト１８６に対し角度調整アーム１８７が角度変更可能になり、変更後、締付けねじを締めることにより角度調整アーム１８７の基端部が円形シャフト１８６を挟持するようにして、固定される。これにより、ワイピングシート１０１に対する洗浄液噴霧ヘッド１６１の噴霧角度が調整可能となっている。

噴霧位置調整機構１８５は、洗浄液噴霧ヘッド１６１を直接支持するヘッド支持アーム１８９と、ヘッド支持アーム１８９と上記の角度調整アーム１８７とを連結する連結ブロック１９０と、を有している。角度調整アーム１８７には、延在方向に延びる一対の長孔１９３が形成されており、この長孔１９３を挿通して連結ブロック１９０に螺合する一対の固定ねじにより、角度調整アーム１８７の延在方向の任意の位置に連結ブロック１９０を固定できるようになっている。すなわち、一対の固定ねじを緩めることにより、連結ブロックを介して洗浄液噴霧ヘッド１６１のワイピングシート１０１に対する離間位置が調整される。

同様に、ヘッド支持アーム１８９の基端側半部には、延在方向に延びる一対の長孔１９４が形成されており、この長孔１９４を挿通して連結ブロック１９０に螺合する一対の固定ねじにより、角度調整アーム１８７の延在方向の任意の位置に連結ブロックを固定できるようになっている。すなわち、一対の固定ねじを緩めることにより、ヘッド支持アーム１８９を介して洗浄液噴霧ヘッド１６１のワイピングシート１０１に対するシート送り方向の位置が調整される。ヘッド支持アーム１８９の先端側には、洗浄液噴霧ヘッド１６１が支持されている。また、詳細は後述するが、ヘッド支持アーム１８９には絶縁部材２０５を介して帯電電極２０３が支持されている。

以上に述べたように、噴霧角度調整機構１８４および噴霧位置調整機構１８５により、速度検出ローラ１３４および押圧ローラ１５２間のシート送り経路に位置するワイピングシート１０１に対して、所望の位置と角度を持って、洗浄液の噴霧・塗着を行なう。

洗浄液噴霧ヘッド１６１は、洗浄液を噴霧する噴霧ノズル１９１と、噴霧ノズル１９１を保持しながらヘッド支持アーム１８９に固定するノズルホルダ１９２と、を有している。噴霧ノズル１９１には、摘み操作により洗浄液の噴霧量を調整する調整機構が組み込まれている。また，噴霧ノズル１９１には、洗浄液を楕円形（長円形）領域に噴霧する形式のものを用いており、その噴霧領域の長径方向がワイピングシート１０１のシート送り方向に沿うようにし、これをシート幅方向に走査することにより、ワイピングシート１０１の幅方向端部にごく近い領域から洗浄液が均一に塗着するようにしている。もっとも、噴霧ノズル１９１として円形領域に噴霧する形式のものを用いてもよい。

なお、本実施形態では、噴霧ノズル１９１を含む洗浄液噴霧ヘッド１６１はワイピングシート１０１に対し垂直になるように固定しているが、洗浄液噴霧ヘッド１６１をワイピングシート１０１に対し傾けて配置していてもよい。

ところで、本実施形態では機能液として、液晶表示装置の液晶材料、またはスペーサ材料として紫外線硬化樹脂および熱硬化樹脂、並びに有機ＥＬ装置の発光材料、または正孔輸送層材料としてＰＥＤＯＴ（Poly Ethylenedioxy Thiophene）などが用いられている。洗浄液としてはそれぞれの機能液に対応して、キシレンまたはエタノールなどの揮発性を有する溶剤が用いられている。

また、ワイピングシート１０１は、洗浄液たる溶剤による溶出の影響が比較的少ないポリエステル１００％またはポリプロピレン１００％のワイパー材（布材）で構成されている。

ここで、図１４に示すように、静電塗着ユニット２００は、洗浄液の噴霧をワイピングシート上に吸引する帯電部２０１と、ワイピングシート１０１を除電するシート除電部２０２と、を備えている。

帯電部２０１は、シート表面側に配置された帯電電極２０３と、帯電電極２０３に対向してワイピングシート１０１の裏面側に配置された吸着電極２０４と、これらの電極に電圧を供給する電源装置２０６と、を備えている。（図８および１４参照）

帯電電極２０３は、略リング状の形状を有した電極であり、洗浄液噴霧ヘッド１６１の左右方向（Ｙ軸方向）の走査に追随するように、絶縁部材２０５を介して走査テーブル１６２のヘッド支持アーム１８９に支持されながら、帯電電極２０３のリング中心軸方向を洗浄液噴霧ヘッド１６１の噴霧方向に合わせるようにしてワイピングシート１０１の表面に対峙して配置されている。また、帯電電極２０３は、電源装置２０６により電荷を供給されながら洗浄液の噴霧中は常に帯電状態を保ち続けるようにしている。すなわち、洗浄液噴霧ヘッド１６１から噴霧した洗浄液は、その噴霧方向の先に位置するリング状の帯電電極２０３内部を通過することにより常に帯電した状態で、噴霧走査を行なうようにしている。なお、本実施形態では帯電電極２０３の形状を略リング状としているが、本願発明の帯電電極２０３は、この形状に限られず洗浄液を帯電させる構成であればよく、帯電電極２０３および噴霧ノズル１９１が一体となった構成であってもよい。

吸着電極２０４は、ワイピングシート１０１の幅方向両端部よりわずかに内側領域のシート裏面側に配設されたシート状の電極であって、ワイピングシート１０１より若干離間するようにしてシートと平行にして配置され、電源装置２０６により帯電電極２０３と逆電圧が印加されるようにしている。また、ワイピングシート１０１幅方向の両端部より内側に吸着電極２０４を配設しているので，噴霧された洗浄液がワイピングシート１０１を回り込むようにして吸着電極２０４またはワイピングシート１０１の裏面に塗着することを防止している。なお、本実施形態では吸着電極２０４として方形状のシート電極を用いているが、この形状に限らず要求される塗着領域の形状に合わせて任意の電極形状であればよく、吸着電極２０４の位置についてもワイピングシート１０１の裏面側に位置していれば、ワイピングシート１０１の裏面に接触していてもよい。

電源装置２０６は、ワイピングユニット１００の外部に備わる直流電圧安定化電源装置であり、導電ケーブルを介してそのプラス側出力端子を帯電電極２０３、マイナス側出力端子を吸着電極２０４に接続されている。また、本実施形態では両電極２０３，２０４間に４００ボルトの電圧を供給しているが、必要とされる洗浄液の吸引力に応じてこの供給電圧を調整することが好ましい。

シート除電部２０２は、ワイピングユニット１０１の帯電電極２０３より下流側、液滴吐出ヘッド２１より上流側のシート走行路上に配設され、ワイピングシート１０１の裏面に接触し、除電を行う導電性の除電ブラシ２０７と、除電ブラシ２０７をアースに接地させる導電ケーブル２０８と、これらを支持しながらユニットフレーム１０５に配設されるシート除電ブロック２０９と、を備えている。このように、ワイピングシート１０１を除電することにより、ワイピングシート１０１が液滴吐出ヘッド２１の払拭を行なう時に液滴吐出ヘッド２１に備わる回路の静電破壊等を防止することができる。なお、本実施形態のシート除電部２０２は除電ブラシ２０７を用いた構成としたが、イオナイザー等を用いた構成としてもよい。

以下、本実施形態のワイピングユニット１００による洗浄液噴霧および液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３払拭の動作手順について説明する。
液滴吐出ヘッド２１の吸引ユニット７０による機能液の吸引が完了すると、移動テーブル６０（Ｘ軸移動テーブル）を作動させて、保守エリア８０内に在するヘッドユニット２０の液滴吐出ヘッド２１の直下に向けてワイピングユニット１００を往動させ、ヘッドユニット２０に対応する位置をオーバーランして、その後方まで押圧ローラ１５２を移動させる。

次に、ワイピングシート１０１のシート送りを停止させた状態で、洗浄液噴霧ユニット１０４による洗浄液の噴霧を開始する。すなわち、洗浄液噴霧ヘッド１６１から洗浄液を噴霧させながら、走査テーブル１６２により洗浄液噴霧ヘッド１６１をワイピングシート１０１の幅方向（Ｙ軸方向）に等速度で往動走査させる。洗浄液噴霧ヘッド１６１の往動が終了すると同時に洗浄液噴霧ヘッド１６１からの噴霧を停止させる。

洗浄液の塗着が終了すると、押圧ローラ昇降シリンダ１５６を動作させ、押圧ローラ１５２を所定の上昇端位置まで上昇させると共に、巻取りモータ１３３を駆動してワイピングシート１０１の送りを開始すると共に、これに同期して移動テーブル６０を駆動して、ワイピングユニット１００全体を前方向（Ｘ軸方向）に移動させる。すなわち、ワイピングシート１０１をシート送り方向（液滴吐出ヘッド２１に対して後方向）に送りながら、ワイピングユニット１００を前方向に移動させることにより、液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３に対するワイピングシート１０１の速度を増すようにしている。

次に、ワイピングシート１０１の塗着領域が押圧ローラ１５２の位置に達するタイミングで、ヘッドユニット２０のノズル面３３がワイピングシート１０１に接触を開始し、ヘッドユニット２０（１２個の液滴吐出ヘッド２１）の最後方のノズル面３３からその前方に隣接するノズル面３３の拭取りが順次行われる。すなわち、繰出されているワイピングシート１０１に対してヘッドユニット２０の複数のノズル面３３が順に摺動していくため、全ての液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３をワイピングシート１０１の塗着領域により払拭することができる。好ましくは、押圧ローラ１５２が隣接するノズル面３３の間を移動している時はワイピングシート１０１の送りを停止し、他方のノズル列３４が押圧ローラ１５２の位置に達する直前に再度ワイピングシート１０１の送りを開始するようにし、ワイピングシート１０１の有効利用をはかるようにする。なお、ワイピングシート１０１の送り速度および液滴吐出ヘッド２１の移動速度は、機能液や洗浄液の種類に対応して任意に設定を行う。また、払拭に必要とされる払拭領域が噴霧ノズル１９１の噴霧領域よりシート送り方向に長い場合には、洗浄液噴霧ヘッド１６１の往動および復動動作を繰り返しながら噴霧することによりワイピングシート１０１への洗浄液の噴霧・塗着を行なうようにしてもよい。

液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３の払拭が完了すると、移動テーブル６０および巻取りモータ１３３の駆動を停止させ、液滴吐出ヘッド２１に臨んだ状態でワイピングシート１０１の送りが停止される。そして、押圧ローラ昇降シリンダ１５６の復動側に圧縮エアーを供給し、拭取り部１０３を下降させ、ワイピングシート１０１を液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３より離間させる。

以下、本実施形態のワイピングユニット１００による洗浄液の噴霧・塗着および飛散防止効果について説明する。
図１４は、本実施形態に係る静電塗着ユニットの構成を示す側面図（ａ）および静電塗着ユニットを洗浄液噴霧ヘッド側より見た構成を示す図（ｂ）である。
洗浄液噴霧ヘッド１６１より噴霧された洗浄液は、リング状の帯電電極２０３内部を通過することによりプラス電荷が帯電する。帯電した洗浄液は、マイナス電荷の帯電する吸着電極２０４に向かって吸引されるが、吸着電極２０４の直前に位置するワイピングシート１０１に衝突するようにして塗着する。このとき、ワイピングシート１０１に衝突した洗浄液の一部は、ワイピングシート１０１に塗着することなくワイピングシート１０１に跳ね返されるようにして周辺に飛散する。このようにして洗浄液が周辺に飛散した場合でも、洗浄液自体が帯電しているために吸着電極２０４へ向かって吸引され続け、ワイピングシート１０１の吸着電極２０４に対峙する領域に塗着する。したがって、周辺装置への洗浄液の飛散を防止することができる。次に、ワイピングシート１０１に塗着した洗浄液は、帯電した状態を保ちながらシート除電部２０２に到達し、その除電ブラシ２０７がシート裏面に接触することにより中和される。さらにワイピングシート１０１を送りこむことにより液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３の払拭を行う。

以上に述べた本実施形態のワイピングユニット１００によれば、周辺装置への洗浄液の飛散を有効に防止することができると同時に、噴霧した洗浄液が確実にワイピングシート１０１に塗着するので洗浄液の無駄な消費を抑制することができる。

なお、図１５に示すように、吸着電極２０４を複数の分割吸着電極２１０で構成し、帯電させる分割吸着電極２１０を任意に選択可能な構成としてもよい。この場合の静電塗着ユニット２００の帯電部２０１は，帯電電極２０３と、ワイピングシート１０１裏面に配設された複数の分割吸着電極２１０と、各分割吸着電極２１０に選択的に電圧を印加する電源装置２０６と、を有している。分割吸着電極２１０はそれぞれ長方形の形状を有した短冊状の電極であり、その長辺方向をワイピングシート１０１の送り方向に沿うようにしながら、液滴吐出ヘッド２１の位置に対応してシート幅方向に複数並設するようにしている。電源装置２０６は各分割吸着電極２１０に対して別途に電圧を供給し、制御装置の制御によって分割吸着電極２１０ごとに供給電圧を個別に選択することができる。したがって、液滴吐出ヘッド２１の並び方の異なる複数のヘッドユニット２０が交換可能になっており、各ヘッドユニット２０のノズル位置に対応した洗浄液塗布領域を得ようとする場合であっても、あらかじめ配置された複数の分割吸着電極２１０の内いずれかを選択することにより、各ヘッドユニット２０のノズル位置に対応した洗浄液の塗着領域を容易に得られる。また、汚れの付着した液滴吐出ヘッド２１にのみ選択的に払拭を行なおうとする場合では、複数の分割吸着電極２１０の内いずれかを選択することにより、払拭の必要のある液滴吐出ヘッド２１にのみ対応した塗着領域を得られる。この場合は、払拭の必要のある噴霧ノズル１９１を含む液滴吐出ヘッド２１のノズル面３３が押圧ローラ１５２の位置に達する直前に押圧ローラ１５２を上昇端まで上昇させ、払拭の必要のあるノズル面３３の払拭が終了すると押圧ローラ１５２を下降端まで下降させることが好ましい。このように、洗浄液に電荷を加えることにより洗浄液の飛散を防止すると共に、必要な分割吸着電極２１０にのみ洗浄液を噴霧すればよいので、洗浄液の噴霧量自体が減ることから飛散量をさらに減少させる効果が得られる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置３を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１７（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド２１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１７（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド２１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置３は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド２１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド２１で行うことも可能である。

図１９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図２０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２２〜図３０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド２１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１および２に示した液滴吐出装置３のセットテーブル１７に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、液滴吐出ヘッド２１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２６に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２７に示すように、各色のうちの何れか（図２７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、液滴吐出ヘッド２１を用い、図２９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３０に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１および２に示した液滴吐出装置３を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置３のセットテーブル１７に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド２１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド２１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置３を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置３を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置３によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置３によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置３を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る描画装置の平面模式図である。 実施形態に係る描画装置の正面模式図である。 実施形態に係るヘッドユニットの構成を説明する図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 実施形態に係るワイピングユニットの外観斜視図である。 実施形態に係るワイピングユニットの外観正面図である。 実施形態に係るワイピングユニットの外観上面図である。 実施形態に係るワイピングユニットの内部構成を説明する図である。 実施形態に係るフレームユニットの外観斜視図である。 実施形態に係る走査テーブルの外観斜視図である。 実施形態に係るワイピングユニットの外観正面図である。 実施形態に係るワイピングユニットの外観上面図である。 実施形態に係るワイピングユニットの右側面図である。 実施形態に係る静電塗着ユニットの構成を説明する模式図であり、静電塗着ユニットの構成（ａ）および洗浄液噴霧ヘッド側より臨んだ静電塗着ユニットの構成（ｂ）を示している。 第２の実施形態を説明する模式図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１ 描画装置 ３ 液滴吐出装置
２０ ヘッドユニット ２１ 液滴吐出ヘッド
３２ 吐出ノズル ３３ ノズル面
３４ ノズル列 １００ ワイピングユニット
１０１ ワイピングシート １０２ シート送り機構
１０３ 拭取り部 １０４ 洗浄液噴霧ユニット
１０５ ユニットフレーム １５２ 押圧ローラ
１６１ 洗浄液噴霧ヘッド ２００ 静電塗着ユニット
２０３ 帯電電極 ２０４ 吸着電極
２０７ 除電ブラシ ワーク Ｗ

Claims (9)

1. 液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングシートと、
   前記払拭に先立ち前記ワイピングシート表面の塗着領域に洗浄液を噴霧し、塗着させる洗浄液噴霧手段と、
   前記洗浄液噴霧手段から噴霧した洗浄液を帯電させる帯電電極と、
   前記ワイピングシートの裏面側に配置され、前記帯電電極に対応する吸着電極と、を備えたことを特徴とするワイピング装置。
2. 前記液滴吐出ヘッドのノズル面が帯電しないように、洗浄液を塗着させた前記ワイピングシートの静電気を除電する除電手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置。
3. 前記吸着電極は、前記ワイピングシートのシート幅よりわずかに幅狭に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のワイピング装置。
4. 前記吸着電極は、個別に電圧を印可可能な複数の部分電極に分割されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のワイピング装置。
5. 前記帯電電極は、噴霧した洗浄液を囲むように略リング状の形状を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のワイピング装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載のワイピング装置と、
   ワークに対し機能液滴を吐出する前記液滴吐出ヘッドと、
   ワークを前記液滴吐出ヘッドに対しＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用いて、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
8. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用いて、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
9. 請求項７に記載の電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。

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