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TW200900258A - Apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electo-optical apparatus, electo-optical apparatus and electronic equipment - Google Patents

Apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electo-optical apparatus, electo-optical apparatus and electronic equipment Download PDF

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TW200900258A
TW200900258A TW096137578A TW96137578A TW200900258A TW 200900258 A TW200900258 A TW 200900258A TW 096137578 A TW096137578 A TW 096137578A TW 96137578 A TW96137578 A TW 96137578A TW 200900258 A TW200900258 A TW 200900258A
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TW
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droplet
layer
electrode
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Application number
TW096137578A
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TWI353931B (zh
Inventor
Kenji Kojima
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Description

200900258 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 +本發明係關於對於工件，從喷墨方式之功能液滴嘴出頭 噴出功此液來進行描繪之液滴嘴出裝置、光電裝置之製造 方法、光電裝置及電子機器。 、 【先前技術】 以往’據知有-種液滴噴出I置，其係具備：描緣機構 (喷出機構）’其係—面使功能液滴噴出頭相對地移動，一 面從功能液滴噴出頭喷出功能液來進行描繪；及重量測定 f置其係4接於描繪機構而配設，從喷出自功能液滴喷 頭之功此液之重量來測定液滴噴出量；且根據重量測定 、之測疋'、.口果來調整功能液滴喷出頭之驅動電力而進行 描⑽考例如日本特開2〇〇4_im62號公報）。
'、、：'/之液滴噴出裝置係使用者根據測定結果來調 整驅動電力。因此，A 丄 馬了使測定結果反映於驅動電力，需 要由使用者進行調整 寺3 ’無法謀求迅速地對應。而 且’對使用者而言，調整作業甚費事。 【發明内容】 本發明之目的在接徂_ x 種可將液滴噴出量之測定結果迅 速反映於功能液滴噴屮 # ^ w ^ . 員之驅動電力之液滴喷出裝置、光 電裝置之製造方法、光 尤電裝置及電子機器。 本發明之液滴噴出梦 _ ^,. ^ , 、置之特徵為包含：描繪機構，其係 一面使喷墨方式之功铷 -* ^ 液滴喷出頭對於工件相對地移動， 面從功能液滴嗔出海 雙出功能液來進行描繪；重量測定 124885.doc 200900258 構’其係、鄰接於描繪機構而配設，根據從功能液滴喷出 頭喷出之功能液之重量來測定液滴喷出量；及控制機構， 其係根據從重量測定機構輪入之測定結果，來控制功能液 滴喷出頭之驅動電力。 若根據此結構’並非由使用者，而是根據從重量測定機 構輸入之測定結果來控制功能液滴喷出頭之驅動電力。因 此’相較於使用者㈣測定結㈣調整驅動電力之結構，
可將液滴喷出罝之測定結果迅速反映於功能液滴噴 驅動電力》 、 a < 此情況下，描繪機構宜包含：X軸台，其係搭載工件， 並且使該工件往X軸方向移動；及γ軸台，其係搭载功能 液滴喷出帛’並且使功能液滴喷出頭往γ軸方向移動；且 ::步包含：清洗機構，其係配設於γ軸方向之功能液滴 喷出頭之移動執跡上"及引及擦拭功能液滴喷出頭；重量 測定機構宜於功能液㈣_之移動㈣上，配設於 台及清洗機構間。 能液滴喷出 因此，可有 法測定重量 、重量測定 若根據此結構，可於藉由清洗機構來清洗功 頭（之喷出喷嘴）後，使其臨向重量測定機構。 效防止功能液时出頭之噴出不良所造成之益 或重量測定不良。而且，可縮短由吸引/擦拭 及描縿所組成之-連串步驟之產距時間。 拔—今入— "扣队例貞^頭，重量測定機 且…谷益，其係接受從任意-功能液滴噴出頭喷出 之功能液·，電子天平，其係測定容器内之功能液之重量; 124885.doc 200900258 及沖洗盒，其係配設於容器周圍，從一功能液滴 於容器之測定噴出時，蛀Aό甘仙丄 、出頭對 喷出 、時接又來自其他功能液滴噴出頭之棄 若根據此結構，由於設置有複數功能液滴噴出頭 能液滴噴出頭進行測定噴出時，其他功能液滴= 、專待該測疋噴出結束，但可使該「等待」狀態 滴噴出頭進行辛喰屮 ra ,, . .. b液 峡退仃業噴出。因此’噴嘴不會於「等待 期間乾燥，可於「等样贴能$ &丄 心之 夺待」狀I後良好地進行測定喑 獲得適當之測定結果。 又^出’可 此清况下’複數功能液滴喷出頭宜排列於X軸方向而 :::群;宜進-步一―::: 作。 蜀嘴出碩t向重置測定機構之動 此情況下，宜進—牛a人仏π # 步包含防風盍，其係配設於副台之鶼 動轨跡上，藉由電子夭伞、隹—舌曰 曰田电十天千進仃重量測定時， 部空間。 卞復1谷器之上 若根據此結構’於重量測定時，藉由 機構移動至防風蓋下，_ 里利疋 正m曰 藉此電子天平不會受氣流影響，可 正確進订重量測定。 本發明之光電襄置之製造方法 噴出裝置，於工也便用上逃液滴 &工件上形成功能液所成之成膜部。 而且’本發明之光雷 裝置之特欲為：使用上述液滴噴出 124885.doc 200900258 裝置，於工件上形成功能液所成之成膜部。 f 若根據此等結構，則藉由使用可將液滴喷出量之測定結 果迅速地反映於功能液滴喷出頭之驅動電力之液滴噴出= 置，可有效率地製造高品質之光電裝置。此外，作為光電 裝置(平板顯示器：FPD) ’可想到彩色濾光器、液晶顯示 裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子放出裝置等。此外， 電子放出裂置係包含所謂FED(FieM Emission Display :場 發射顯示器）或SED(Surf咖晴ducti〇n則…舰·如 ㈣吻’表面傳導電子發射顯示器)裝置之概念。並且， 作為光電裝置，可想到包含金屬布線形成、透鏡形成、抗 蝕劑形成及光擴散體形成等之裝置。 本發明之電子機器之特徵為：搭載有藉由上述光電裝置 之製造方法所製造之光電裝置或上述光電裝置。 卜^ 作為電子機器，除了搭載有所謂平板顯示器 之4亍動笔話、個人雷π<α ,» 【實施方式】 ⑽外，各種電器製品亦相當於此。 本==考附圖來說明有關本發明之-實施型態。有關 中例如：之液滴噴出褒置係組入平板顯示器之製造線 中，例如使用導入右 功能液滴喷出帛，切成「水或發光性樹脂液之功能液之 置之彩色渡光器或作為由喷墨法之印刷）液晶顯示裝 等。 "、有機EL裝置之各像素之發光元件 如圖1及圖2所千、各 不’液滴噴出裝置1係具 其係搭載有複數功能m ϋ繪裝置2， 滴噴出頭1 7 ;清洗裝置3，其係延 124885.doc 200900258 伸於Y轴方向，重量測定單兀4，其係設置於描繪裝置2與 清洗裝置3間；及控制裝置5(參考圖8)。控制裝置5係由例 如PLC構成，其具有cpu或記憶體等。此液滴喷出裝置1係 收容於例如可形成乾空氣之氣氛之處理室（省略圖示）。 描繪裝置2係具有：設置於x軸支持基座1〇(石製固定板） 上之X軸台11 ;正交於X轴方向之丫軸台12;及移動自如地 吊6又於Y軸台12之複數（1 〇個）托架13。 X軸台11係具有：放置台21，其係搭載基板w; χ軸滑 件22 ’其係滑動自如地支持放置台21 ;及χ轴移動機構 23(線性馬達），其係使χ軸滑件22往χ軸方向移動。藉由X 軸移動機構23，可對於功能液滴喷出頭17，使放置台 21(基板W)經由X軸滑件22而往X軸方向來回移動。 此外，X軸台11係進一步具有維護用滑件24，其係滑動 自如地支持後述之檢查台面43及定期沖洗單元45 ^ χ軸滑 件22及維護用滑件24可個別地移動。 此外，Υ軸台12係由支柱31支持，其跨越又軸台u及清 洗裝置3而延伸。γ軸台12係具有：複數（1〇個）橋板32，其 係吊設各托架13 ; }對複數組（1〇組）之γ軸滑件33，其係滑 動自如地支持各橋板32之兩端部；及1對γ軸移動機構 34(線性馬達）’其係使各γ軸滑件33往γ軸方向移動。藉由 1對Y軸移動機構34，可經由各組之γ軸滑件33來使複數托 架13往Y軸方向個別地移動。亦即，γ軸台丨2可使各托架 13移動於X軸台11、重量測定單元4及清洗裝置3之各單元 (後述）間。 124885.doc 200900258 f 如圖3所示，各托架13係經由托架板36來搭载複數（i2 個=力能液滴噴出頭17。12個功能液滴喷出頭Η係於Y轴方 ::、、、群構成母6個排列於X轴方向之噴頭群丨6。然 後’藉由搭載於複數托架之所有功能液滴喷出頭17(12川 個）’來形成連續於丫軸方向之描繪線。此描繪線之長度係 、°載於放置台21之最大尺寸之基板〜之寬度相對應。 处各功能液滴喷出頭17係從未圖示之功能液包等供給有功 肊液，：以嘴墨方式(例如壓電元件驅動)來噴出功能液。 然後’错由從後述之喷頭驅動器38(參考圖8)施加驅動電 力’ Μ複數噴嘴（例如18(H@X2排）喷出功能液。此驅動 電力係错由控制農置5，根據從後述之重量測定裝置51輸 入之測定結果來控制（詳細於後面敘述）。 如此構成之描繪裝置2係受到控制裝置5之控制，同時於 基板^噴出功能液來進行描繪。亦#，描繪裝置2係藉 由x軸台11 ’使基板w對於功能液滴噴出頭17來回移動， 並且與此同步而驅動功能液滴噴出頭17， 之描繪動作。 慨 如圖1及圖2所不’清洗裝置3係依遠離又軸台η之順序而 具=排列於γ軸方向之複數陶）吸引單元41、及i個擦 "= 複數吸引單元41及擦拭單元42係設置於γ軸台 12所造成之功能液滴噴出頭17之移動軌 σ 臨向各單元。 Η文托朱13 吸::單元4i係與複數托架13相對應而設置有複數個。各 吸引早Ml係經由密封各功能液滴噴出和之喷嘴面之喷 124885.doc •10· 200900258 嘴蓋（省略圖示）’從功能液滴噴出頭丨7之喷嘴吸引功能 液’進行清洗動作或功能液之初始填充。而且，擦拭單元 42係以托架13為單位，使用擦拭片材42a來擦拭由於清洗 動作等而附著有功能液之各功能液滴喷出頭17之喷嘴面。 。如上述，於維護用滑塊24支持有檢查台面43及定期沖洗 早兀45。檢查台面43係接受用以檢查功能液滴喷出頭η之 喷出不良有無之檢查喷出。喷出之檢查圖案係由檢查用相 機44拍攝，控制裝置5將其進行圖像辨識，並判斷有無喷 出不良。而且，定期沖洗單元45係於基板霄之換载時等，、 用以接受為使功能液滴喷出頭17不乾燥所進行之棄噴出。 旦如圖4及圖5所示，重量測定單元4係具備：複數⑷固）重 ^則定裝置51、使複數重量敎裝置51往⑽方向移動之 田J 口 52及配设於副台52之移動執跡上之防風蓋。 田1J σ 5 2係具有：支持架5 6 ’其係 ，、侏第中支持複數重量測定 破置51，·重量測定用滑件57，其係經由支持架％，於㈣ 方向滑動自如地支持複數重量測定裝置5ι;及馬達驅動用 之重置測定用移動機構58，其係使重量測定用滑件 軸方向滑動。 複數重量測定裝置51並排設置於γ轴方向，i個重 裝置5 1對應於丨個喷頭群〗6。 、 〜5之，猎由4個重量測定奘 置51，對每2個托架13進行重量測定。 、 各重量測定裝置51係具有：容考 -盗61 ’其係接受從構成喑 頭群16之6個功能液滴噴出 成喷 ^ . , 任意一功能液滴喑屮 頭17喷出之功能液；電子天 、出 十2(參考圖6) ’其係經由容器 124885.doc 200900258 61來測定功能液之重量；沖洗盒63，其係配設於容器^之 周圍；及外殼64,其係、收容支持此等。於沖洗盒μ内功 能液吸收材料65係於其兩長邊部由}對壓板66壓住之狀態
下鋪設。此沖洗盒63係從一功能液滴噴出頭丨了對於容器Q 進行測定喷出時，接受來自其他5個功能液滴喷出頭^之 棄喷出。 本實施型態中，由於以一重量測定裝置51來針對6個功 能液滴喷出頭進行測定，因此於一功能液滴嘴出頭_ 行測定喷出時，其他5個功能液滴喷出頭17等待該測定喷 出結束，但可使該「等待」狀態之功能液滴喷出頭口進行 棄噴出。因此，噴嘴不會於「等待」狀態之期間乾燥，可 於「等待」狀態後良好地進行測定喷出，可獲得適當 定結果。 參考圖6及圖7來說明有關重量測定之一連串動作。首 I攸所有托架13臨向吸引單元41之狀態，使接近重量測 疋早;^4之2個托架13往¥軸方向移動，藉由擦拭單元A)進 =察拭，並且使其臨向重量測定單元4。此外，使上述所 ^托心從吸引單元41移動至檢查台面43並進行檢查喷 错由檢查用相機44確認所有喷嘴之正常喷出後 2個臨向重量測定單元4亦可。 ^者’副台52係使各重量測定裝置51之容器61 器61，…弟一個功能液滴噴出頭17a。然後，對於各容 攸各嘴頭群16之第一個功能液滴喷出頭17a之所有 嘴進行測定喷出。此時，各嘴頭群16之第二個至第六個 124885.doc 12- 200900258 功能液滴噴出頭17b〜l7f係對於沖洗各63 圖7(a))。 -63進订棄賀出（參考 接者田丨台52係使各容器6〗移動至防 Μ ητ , M M ^ 砂初芏防風盍53下。於此狀 知下错由電子天平62進行液滴喰屮Θ ππ、、 4 我/同货出置之測定（參考圖 7(b))。右根據此，電子天平孫益士仏 i£ m ^ ^ ^ "藉由防風蓋53來遮斷氣流 (處理至k成之下沈氣流或 塑，丌τ 士 ;因此不會受到氣流影 響，可正確進行重量測定。 第一個功能液滴噴出頭17 接，梯笛心欣屑嘴出置之重量測定 後使第二個功能液滴喷出頭171?臨 一-a，丨—+ , A 月/Dfcw向谷器61，同樣地進 仃測疋賀出（參考圖7(c))。以 同樣地針對各噴頭群1 6 之ό個功能液滴喷出頭〗7， ^ 依序測疋液滴噴出量。此外， 於此雖測定來自各功能液滴 山曰， 山只1/之所有噴嘴之液滴噴 出董，但不限定於此，例如以 戈嘴排為卓位來測定液滴喷 出里，或進-步以噴嘴為單位來敎液滴噴出量均可。 圖8係說明根據重量_ &冑胃ς 7 % 之測定結果來控制功能 液滴贺出頭之驅動電力之批岳丨p 刀之控制區塊圖。電子天平62係對於 控制裝置5，輸出如上沭喷丨中 述測疋液滴噴出量之測定結果。控 制裝置5係根據從電子天平6 + 'J之測定結果，來控制從 嘴頭驅動器38施加於功能液 貝饵頭17之驅動電力（電壓 值)。亦即’重量測定結果為目標範圍内之情況時，不變 ，電壓值，並進行對於下一基板W之摇緣。另-方面，重 量測定結果為目標範圍外之棒 曰 祀固外之凊况時，根據預先求出之施加 電壓值及重罝測定值之解批择-忽 值（解析度身料來變更電壓值。缺後， 以變更後之電壓值再度進行重 ” 里里列疋。重複進行此重量測 124885.doc '13- 200900258 定及電壓值變更，直到重量測定結果成為目標之範圍内。 如以上’若根據本實施型態之液滴喷出裝置1，並非由 使用者，而是根據從重量測定裝置51輸入之測定結果來控 制功能液滴噴出頭17之驅動電力。因此，相較於使用者根 據測定結果來調整驅動電力之結#，可冑液滴f出量之測 定結果迅速反映於功能液滴喷出頭17之驅動電力。 接著，作為使用本實施型態之液滴噴出裝置1所製造之 光電裝置（平板顯示器），舉例彩色濾光器、液晶顯示裝 置、有機EL裳置、電漿顯示器（pDp裝置）、電子放出裝置 (FED哀置、SED裝置）’進而舉例形成於此等顯示裝置之 主動矩陣基板等為例，來說明有關此等之構造及其製造方 法。此外，主動矩陣基板係指形成有薄膜電晶體、及電性 連接於薄膜電晶體之源極線、資料線之基板。 百先，說明有關組入於液晶顯示裝置或有機EL裝置等之 彩色渡光器之製造方法。圖9係表示彩线光器之製造步 驟之流程圖，圖10係依製造步驟順序所示之本實施型態之 杉色濾光器500(濾光器基體5〇〇A)之模式剖面圖。 首先，於黑矩陣形成步驟（81〇1)中，如圖1〇(a)所示，於 基板（W)5G1上形成黑矩陣5()2。黑矩陣如係藉由金屬絡、 金屬鉻與氧化鉻之疊層體、或樹脂黑等來形成。可利用濺 鑛法或蒸鍍法等來形成由金屬薄膜所組成之黑矩陣5〇2。 而且，形成由樹脂薄膜所組成之黑矩陣5〇2之情況時，可 利用凹版印刷法、光阻法、熱轉印法等。 接著於岸钕形成步驟（S 102)，在重疊於黑矩陣5〇2上 124885.doc -14- 200900258 之狀態下形成岸堤503。亦即，首先如圖i〇(b)所示，以覆 蓋基板501及黑矩陣502之方式來形成負型之透明感光性樹 脂所組成之抗蝕劑層504。然後，在以形成矩陣圖案形狀 之遮罩膜505被覆其上面之狀態下，進行曝光處理。 並且，如圖10(c)所示，藉由融刻處理抗触劑層5⑼之未 曝光部分，將抗蝕劑層504圖案化，形成岸堤5〇3。此外， 藉由樹脂黑來形成黑矩陣之情況時，可兼用黑矩陣及岸 堤。 此岸堤503及其下之黑矩陣5〇2係成為劃分各像素區域 5〇7a之劃分壁部5〇7b，於後述之著色層形成步驟中，於藉 由功能液滴噴出頭17來形成著色層（成膜部）5〇8R，5〇8G, 5〇8B時規定功能液滴之落下區域。 藉由、”里ϋ以上之黑&陣形《步驟及岸堤开）成步驟，可獲 得上述濾光器基體500Α。 此外，本實施型態中，作為岸堤5〇3之材料係使用塗膜 呈疏液（疏水）性之樹脂材料。然後，由於基板（玻璃基 板）501之表面具親液（親水）性，因此於後述之著色層形成 7驟中，可自動補正液滴對於由岸堤5〇3(劃分壁部5〇7b)所 包圍之各像素區域5073内之落下位置之偏差。 =’於著色層形成步驟（S1〇3)中，如圖1〇⑷所示，藉 力犯液滴噴出頭1 7噴出功能液滴，使其落在由劃分壁部 5 0 7 b戶斤句阁 之各像素區域5〇7a内。此情況下，利用功能液 r τ处員17來導入R、G、B 3色之功能液（濾光器材料），進 b液滴之噴出。此外，作為R、〇、B 3色之排列圖案 124885.doc -15- 200900258 有條紋排列、鑲嵌排列及三角排列等。 其後，經過乾燥處理（加熱等處理）來使功能液定著，形 成3色之著色層508R，5〇8G，5〇8β。若已形成著色層5峨， G, 508B則移至保護膜形成步驟（S104),如圖i〇(e)所 不，以覆蓋基板501、劃分壁部5〇几及著色層5〇叹，5〇8g， 508B之上面之方式來形成保護膜5〇9。 亦即，於基板501之形成有著色層5〇8R，5〇8G, 5〇8B之面 王體，噴出保護膜用塗布液後，經過乾燥處理來形成保護 膜 509。 然後，形成保護膜509後，彩色濾光器5〇〇移轉至下一步 驟之透明電極之ITO(Indium Tin Oxide:氧化銦錫）等之附 膜步驟。 圖11係表示作為使用上述彩色濾光器500之液晶顯示裝 置之一例之被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之概略結構之 要部剖面圖。藉由於此液晶裝置520安裝液晶驅動用IC、 背光、支持體等附帶要素，來獲得作為最終製品之穿透型 液晶顯不裝置。此外，由於彩色濾光器500與圖10所示者 相同，因此於對應部位附上相同符號，並省略其說明。 此液晶裝置520係藉由彩色濾光器5〇〇、由玻璃基板等所 組成之對向基板521、及夾持於此等間之由STN(Super
Twisted Nematic :超扭轉向列）液晶組成物所組成之液晶 層522來概略構成，於圖中上側（觀測者側）配置彩色濾光器 500 ° 此外’雖未圖示’但於對向基板52丨及彩色濾光器500之 124885.doc -16- 200900258 外面（與液晶層522側相反侧之面）分別配設有偏光板，而且 於位在對向基板52 1側之偏光板外側配設背光。 於彩色濾光器500之保護膜509上（液晶層側），圖丨丨中於 左右方向’以特定間隔形成複數長條之細長片狀之第一電 極523，以覆蓋與此第一電極523之彩色濾光器5〇〇側相反 側之面之方式，形成有第一配向膜524。 另一方面，於對向基板521中與彩色濾光器5〇〇相對向之 面’於與彩色濾光器500之第一電極523呈正交之方向，以 特定間隔形成複數長條之細長片狀之第二電極526，以覆 盍此第二電極526之液晶層522側之面之方式，形成有第二 配向膜527。此等第一電極523及第二電極526係藉由ιτ〇等 透明導電材料來形成。 設置於液晶層522内之間隔物528係用以將液晶層522之 厚度（胞間距）保持在一定之構件。而且，密封材料529係用 以防止液晶層522内之液晶組成物往外部漏出之構件。此 外，第一電極523之一端部係作為牵繞布線52“而延伸至 密封材料529之外側。 然後，第一電極523與第二電極526交又之部分為像素， 構成為彩色濾光器500之著色層508R，5〇8G, 5〇8Β位在此像 素之部分。 於通常之製造步驟中，於彩色濾光器5〇〇，進行第—電 極523之圖案化及第一配向膜524之塗布，製作彩色濾光器 500侧之部分，並且有別於此而另外於對向基板52ι，進行 第一電極526之圖案化及第二配向膜527之塗布，製作對向 124885.doc -17- 200900258 基板5 2 1側之部分。其後 、傻於對向基板521側之部分，萝入 間隔物528及密封材料529， 表 , \ 於此狀悲下，貼合彩色濾光器 500側之部分。接著，炝金 者從街封材料之注入口，注入構成 液晶層522之液晶並封閉注入口。 欣 , 具後，疊層兩偏光板及 背光。 實施型態之液滴嘖屮駐& 、置係於例如塗布構成上述胞間 距之間隔物材料（功能液）’ ^ ; 1且於對向基板521側之部分貼 合彩色爐光^§ 5 0 〇側之都八^
J之邠刀則，可於密封材料529所包圍之 區域’均Μ塗布Μ㈣能液）。而且’亦可由功能液滴 喷出頭17來進行上述密封材料529之印刷。並且，亦可由 功能液滴噴出頭17來進行第一、筮_ a ^^ 丁乐 第一兩配向膜524，527之 塗布。 圖12係表示制本實施㈣所製造之彩色濾光器则之 液晶裝置之第二例之概略結構之要部刮面圖。 此液晶裝置530與上述液晶裝置52〇大幅不同之點為，彩 色濾光器500配置於圖中下側(與觀測者側相反側)之點。 此液晶裝置530係於由彩色遽光器5〇〇與玻璃基板等所組 成之對向基板531間，夾持由STN液晶所組成之液晶層532 來概略構成。此外，雖未圖示，但於對向基板53丨及彩色 濾光器500之外面’分別配設有偏光板等。 於彩色濾光器500之保護膜509上（液晶層532側），於圖 中縱深方向，以特定間隔形成複數長條之細長片狀之第一 電極533，以覆蓋與此第一電極533之液晶層532側之面之 方式’形成有第一配向膜534。 124885.doc 18 200900258 於對向基板531之與彩色濾光器5〇〇相對向之面上，以特 定間隔形成延伸在與彩色濾光器5〇〇側之第一電極533呈正 交之方向之複數細長片狀之第二電極536，並以覆蓋此第 一電極536之液晶層532側之面之方式，形成有第二配向膜 537 ° 於液晶層532設置有：用以將液晶層532之厚度保持在一 定之間隔物538、及用以防止液晶層532内之液晶組成物往 外部漏出之密封片材5 3 9。 然後，與上述液晶裝置52〇相同，第一電極533與第二電 極536父叉之部分為像素，構成為彩色濾光器500之著色層 508R，508G，508B位在此像素之部分。 圖13係表示使用適用本發明之彩色濾光器5〇〇來構成液 曰日裝置之第二例’其為表示穿透型之TFT(Thin Fiim
Transistor . ’專膜電晶體）型液晶裝置之概略結構之分解立 體圖。 此液曰曰裝置550之彩色濾光器5〇〇配置於圖中上側（觀測 者側）。 此液晶裝置550係於由彩色濾光器5〇〇、配置為與其相對 向之對向基板55 1、夹持於其等間之未圖示之液晶層、配 置於彩色濾光器500之上面側（觀測者側）之偏光板555、及 配置於對向基板551之下面側之偏光板（未圖示）來概略構 成。 於彩色濾光器500之保護膜5〇9之表面（對向基板551側之 面）’形成有液晶驅動用之電極556。此電極556係由IT〇等 124885.doc •19- 200900258 材料所組成’成為覆蓋形成有後述之像素電極 〇之區域全體之整面電極。而且，於覆蓋此電極556之像 素電極560之相反側之面之狀態下設置有配向膜 在與對向基板55!之彩色濾、光器5〇〇相對向之面形成有 絕緣層⑸，於此絕㈣558上，掃描線561及信號線如係 :互相呈正交之狀態下形成。然&，於此等掃描線561及 指號線562所包圍之區域内’形成有像素電極56〇。此外， 於實際之液晶裝置t ’於像素電極56〇上設置有配向膜， 但省略圖示。 而且，於像素電極560由缺口部、掃描線561及信號線 562所包圍之部分’組人具備源極電極、沒極電極、半導 體及閘極電極之薄膜電晶體563而構成。然後，構成為藉 由施加對於掃描線561及信號線562之信號，來開啟、關閉 薄膜電晶體563，可進行對於像素電極56〇之通電控制。 此外，上述各例之液晶裝置52〇, 53〇, 55〇為穿透型結 構，但設置反射層或半穿透反射層而製成反射型之液晶裝 置或半穿透反射型之液晶裝置亦可。 接著’圖14係表示有機el裝置之顯示區域（以下僅稱為 顯示裝置600)之要部剖面圖。 此顯示裝置600係於在基板（W)6〇1上，疊層有電路元件 部602、發光元件部603及陰極604之狀態下來概略構成。 於此顯示裝置600 ’從發光元件部603往基板601側發出 之光係穿透電路元件部602及基板601並往觀測者側射出， 並且從發光元件部603往基板601之相反側發出之光係由陰 124885.doc -20- 200900258 極604反射後，穿透電路元件部6〇2及基板6〇1並往觀測者 側射出。 於電路元件部602與基板601間，形成有矽氧化膜所組成 之基底保護膜606，於此基底保護膜6〇6上（發光元件部6〇3 側）’形成多結晶矽所組成之島狀之半導體膜6〇7。於此半 導體膜607之左右區域，藉由打入高濃度陽離子來分別形 成源極區域607a及汲極區域6〇7b。然後，未打入陽離子之 中央部成為通道區域6 0 7 c。 而且，於電路元件部602，形成覆蓋基底保護層6〇6及半 導體膜607之透明之閘極絕緣臈6〇8，在此閘極絕緣膜6〇8 上與半導體膜607之通道區域6〇7c相對應之位置，形成例 如由A卜Mo、Ta、Ti、W等所構成之閘極電極6〇9。於此 閘極電極609及閘極絕緣膜6〇8上，形成透明之第一層間絕 緣膜611a及弟一層間絕緣膜611b。而且，貫通第一、第二 層間絕緣膜6 1 1 a，6 11 b而形成分別連通於半導體膜6〇7之源 極區域607a、汲極區域6〇7b之接觸孔洞612a，612b。 然後，於第二層間絕緣膜611b上，由IT〇等所組成之透 明之像素電極613係被圖案化為特定形狀而形成，此像素 电極61 3係經由接觸孔洞612a而連接於源極區域6〇7a。 而且，於第一層間絕緣膜6丨】a上配設有電源線6丨4，此 電源線614係經由接觸孔洞6121)而連接於汲極區域6〇7b。 如此，於電路元件部602分別形成連接於各像素電極613 之驅動用之薄膜電晶體61 5。 上述發光元件部603係藉由疊層於複數像素電極61 3上之 124885.doc -21 - 200900258 各個之功旎層61 7、及於各像素電極ό 13及功能層6 1 7間所 具備之劃分各功能層617之岸堤部618來概略構成。 藉由此等像素電極613、功能層617及配設於功能層617 上之陰極604，來構成發光元件，此外，像素電極613係被 圖案化為平面看來約略矩形而形成’於各像素電極613間 形成有岸堤部6丨8。 岸堤部618係藉由例如由Si〇、Si〇2、Ti〇2等無機材料所 形成之無機物岸堤層618a(第一岸堤層），及疊層於此無機 物岸堤層618a上，由丙烯酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等耐熱 性、耐溶劑性良好之抗蝕劑所形成之剖面梯形之有機物岸 堤層61 8b(第二岸堤層）來構成。此岸堤層618之一部分係於 抬升於像素電極613之周緣部上之狀態下形成。 然後，於各岸堤部618間，形成對於像素電極613往上方 逐漸擴開之開口部6 19。 上述功能層617係藉由在開口部619内，於像素電極613 上以疊層狀態形成之電洞注入/輸送層617a，及形成於此 電洞注入/輸送層617a上之發光層617b來構成。此外，鄰 接於此發光層617b，亦可進一步形成具有其他功能之其他 功能層。例如亦可形成電子輸送層。 電洞注入/輸送層617a係具有從像素電極613側輸送電洞 並注入於發光層617b之功冑卜此電洞注人/輸送層㈣係 藉由喷出含電洞注人/輸送層形成材料之第—組成物（功能 液）來形成。作為電洞注人/輸送層形成材料係使用習知之 材料。 124885.doc •22· 200900258 發光層6 1 7b係發出紅色（R)、綠色（G)或藍色（B)之任一 光，其藉由噴出含發光層形成材料（發光材料）之第二組成 物（功能物）來形成。作為第二組成物之溶劑（非極性溶 劑），宜使用對於電洞注入/輸送層617a不溶之習知之材 料，藉由於發光層617b之第二組成物使用此種非極性溶 劑，以不使電洞注入/輸送層617a再溶解即可形成發光層 617b。
然後，發光層617b係構成為，從電洞注入/輸送層617& 注入之電洞與從陰極604注入之電子會於發光層再結合而 發光。 陰極604係以覆蓋發光元件部6〇3之整面之狀態下形成， 與像素電極613成對而發揮於功能層617流入電流之作用。 此外，+於此陰極604之上部，配置有未圖示之密封構件。 接著，參考圖15〜圖23來說明上述顯示裝置6〇〇之製造步 如圖15所示，此顯示裝置_係經過岸堤部形成步驟 (siu)、表面處理步驟（S112)、電洞注人/輸送層形成步驟 ⑻⑺、纟光層形成步驟(SU4)及對向電極形成步驟 (S115)而製造。此外，製造步驟不限於例示者，亦有因應 需要而排除其他步驟之情況或追加之情況。 、 —，如圖16所示，於岸堤部形成步驟（S1U)中，於第 =間絕緣膜611b上形成無機物岸堤層6i8a。此無機物岸 係精由於形成位置形成無機物膜後’藉由光微影 打m無機物膜進行圖案化而形成。此時，無機物 124885.doc -23- 200900258 岸堤層618a之一部分係與像素電極613之周緣部重疊形 成。 若已形成無機物岸堤層618&，則如圖17所示， 山θ Α無機物 厗堤層618a上形成有機物岸堤層6m。此有機物岸堤層 618b亦與無機物岸堤層618a相同，藉由光微影技術等 行圖案化而形成。 如此形成有岸堤部618。而且，伴隨於此，於各岸堤部 ( 618間’形成對於像素電極613往上方開口之開口部619。 此開口部619係規定像素區域。 於表面處理步驟（SU2)中，進行親液化處理及撥液化處 理。施加親液化處理之區域為無機物岸堤層618&之第一聂 層部618aa及像素電極613之電極面““，此等區域係藉: 例如將氧作為處理氣體之電漿處理，以將表面處理為親液 性。此電漿處理亦兼做像素電極6丨3之IT〇之洗淨等。 此外，撥液化處理係於有機物岸堤層618b之壁面61以及 C 有機物岸堤層618b之上面618t施加，藉由例如以四氟化碳 作為處理氣體之電漿處理，將表面予以氟化處理（處理為 撥液性）。 藉由進行此表面處理步驟，於使用功能液滴喷出頭17形 • 成功能層617時，可使功能液滴更確實地落在像素區域， 而且可防止落在像素區域之功能液滴從開口部619溢出。 然後，藉由經過以上步驟可獲得顯示裝置基體6〇〇A。此 裝置基體600A載置於圖2所示之液滴喷出裝置】之放置台 2 1，並進行以下之電洞注入/輸送層形成步驟（s丨13)及發光 124885.doc -24- 200900258 層形成步驟（SI 14)。 如圖18所示，於電洞注入/輸送層形成步驟（8113)中，從 功能液滴喷出頭17，將含電洞注入/輸送層形成材料之第 一組成物對於像素區域之各開口部619内喷出。其後，如 圖19所示’進行乾燥處理及熱處理，蒸發第一組成物所含 之極性洛劑，於像素電極（電極面613&)613上形成電洞注入/ 輸送層617a。 、接著，說明有關發光層形成步驟（S1 14)。於此發光層形 成步驟中，如上述為了防止電洞注入/輸送層6i7a再溶 解’作為發光層形成時所使用之第：組成物之溶劑而使用 對於電洞注入/輸送層617a不溶之非極性溶劑。 …、而，其另一方面，由於電洞注入/輸送層617a對於非 極I·生冷劑之親和性低’因此即使於電洞注人/輸送層617a 、_ §非極丨生溶劑之第二組成物，仍唯恐無法使電洞注 入/輸送層617a與發光層6171)密接，或無法均勻地塗布發 光層617b。 此為了提尚電洞注入/輸送層61 7a對於非極性溶劑 及發光層形成材料之表面親和性’宜於發光層形成前進行 表面處理（表面改質處理）。此表面處理係將與發光層形成 夺所使用之第—組成物之非極性溶劑相同之溶劑、或類似 其之/夺劑之表面改質材肖’塗布於電洞注人/輸送層617a 上，並使其乾燥來進行。 精由施加此處理’電洞注入/輸送層617a之表面容易與 非極性溶劑結合，於其後之步驟中，可於電洞注入/輸送 124885.doc -25· 200900258 層_均勾地塗布含發光層形成材料之第：組成物。 ::後，接著，如圖20所示’將含有對應於各色中之任— 之例中為藍色（B))之發光層形成材料之第二組成物 作為紅液滴，以於像素區域（開口部㈣）内打人特定量。 :像素區域内之第二組成物係於電洞注入/輸送層 ㈣上擴散並充滿開口部619内。此外m且成物 從像素區域偏離而落在岸堤部618之上面仙上之情況 下’由於此上面618咏上述施加有撥液處理，因此第二組 成物容易滾入開口部6 1 9内。 後藉由進行乾燥步驟等，將喷出後之第二組成物予 乂乾燥處理’ 4發第：組成物所含之非極性溶劑，如圖2! 所不，於電洞注入/輸送層617a上形成發光層61几。此圖 之情況下，形成對應於藍色印）之發光層6i7b。 同樣地，使用功能液滴喷出頭丨7，如圖22所示，依序進 盯與對應於上述藍色（B)之發光層61几之情況相同之步 驟’形成對應於其他色（紅色（R)及綠色（G))之發光層 617b。此外，發光層6丨7b之形成順序不限於例示之順序， 以任何順序形成均可。例如亦可因應發光層形成材料來決 定形成順序。而且’作為r、G、b 3色之排列圖案有條紋 排列、鑲嵌排列及三角排列等。 如以上而於像素電極613上形成功能層617，亦即形成電 洞注入/輸送層617a及發光層617b。然後，移轉至對向電 極形成步驟（S 11 5)。 於對向電極形成步驟（S115)中，如圖23所示，於發光層 124885.doc -26 · 200900258 617b及有機物岸堤層618b之整面，藉由例如蒸鍍法、濺鍍 法、CVD法等來形成陰極604(對向電極）。於本實施型態 中，此陰極604係疊層有例如岛層及鋁層而構成。 於此陰極604之上部，適當設置有作為電極之AI膜、Ag 膜，或其氧化防止用之Si〇2、SiN等之保護層。 如此形成陰極604後，施加藉由密封構件來密封此陰極 604之上部之密封處理或布線處理等其他處理等，藉此來 獲得顯示裝置600。
接著，圖24為電漿型顯示裝置（PDP裝置：以下僅稱為顯 示叙置700)之要部分解立體圖。此外，同圖中，顯示裝置 700係以下切其一部分之狀態來表示。 此顯示裝置700係包含互相對向配置之第—基板7〇 i、第 二基板702，及形成於此等間之放電顯示部7〇3來概略構 成。放電顯示部703係由複數放電室7〇5所構成。配置成此 等複數放電室705中，紅色放電室7〇5R '綠色放電室 7〇5G、藍色放電室705B之3個放電室7〇5成為一組來構成五 個像素。 於第一基板701之上面，以特定間隔條紋狀地形成有位 址電極706，並以覆蓋此位址電極7〇6及第—基板7〇1之上 面之方式，形成有介電體層707。於介電體層7〇7上以位 在各位址電極706間且沿著各位址電極7〇6之方式，立設有 隔= 708。此隔牆708係包含：如圖示延伸於位址電極 之見度方向兩側者、及延伸於與位址電極7〇6呈正交之方 向之未圖示者。 124885.doc -27- 200900258 然後’由此隔牆708所區隔之區域成為放電室7〇5。 於放電室705内配置有螢光體7〇9。螢光體709係發出紅 (R)、綠（G)、藍（B)之任一色之螢光，分別於紅色放電室 705R之底部配置紅色螢光體7〇9R，於綠色放電室7〇5g之 底部配置綠色螢光體709G，於藍色放電室705B之底部配 置藍色螢光體709B。 於第二基板702之圖中下側之面，在與上述位址電極7〇6
呈正父之方向，以特定間隔條紋狀地形成有複數顯示電極 711。然後，覆蓋此等而形成介電體層7丨2、及Mg〇等所組 成之保護膜713。 第一基板701及第二基板7〇2係使位址電極7〇6與顯示電 極71 1於相互呈正交之狀態下對向貼合。此外，上述位址 電極706與顯示電極711係連接於未圖示之交流電源。 然後，藉由於各電極706、711通電，螢光體709於放電 顯示部703進行激發發光而可進行彩色顯示。
本實施型態中 可利用圖2所示之液滴喷出裝置1來形成 上述位址電極706、顯示電極711及螢光體7〇9 ‘ 示第-基板7(H之位址電極鳩之形成步驟。 此情況下’於第-基板7〇1載置於液滴噴出裝 台21之狀態下，進行以下步驟。 以下，例 置1之放置 首先’藉由功能液滴喷出頭1 項口使含有導電膜布線形成 用材料之液體材料（功能该1於&丄 , (力W)作為功能液滴而落在位址電極 =成區域。此㈣㈣係料導電膜布線 分散介質中分散有金屬等之導广於 电「王儆粒子。作為此導電性 124885.doc -28- 200900258 微粒子，可使用含有金、銀、銅、把或鏡等之金屬微粒 子、或導電性聚合物等。 若針對作為補充對象之所有位址電極形成區域均結束液 體材料之補充，則將噴出後之液體材料予以乾燥處理，蒸 發液體材料所含之分散介質，藉此形成位址電極706。 然而，於上述雖例示位址電極7〇6之形成，但關於上述 顯示電極7U及螢光體7〇9均可藉由經過上述各步驟來形 成。 形成顯示電極711之情況時，與位址電極706之情況相 同’使含有導電膜布線形成用材料之液體材料（功能液）作 為功能液滴而落在顯示電極形成區域。 而且，於形成螢光體709之情況時，從功能液滴噴出頭 π，將含對應於各色（R、G、B)之螢光材料之液體材料（功 能液）作為液滴喷出，使其落在對應色之放電室705内。 接著’圖25為電子放出裝置（亦稱為fed裝置或咖襄 置.以下僅稱為顯示裝置800)之要部剖面圖。此外，同圖 中將顯示裝置800之一部分作為剖面來表示。 此顯禾裝置_係包含互相對向配置之第一基板8〇ι、第 一基㈣2’及形成於此等間之電場放出顯示部8〇3來概略 :成。電場放出顯示部803係由配置為矩陣狀之 放出部805所構成。 于 於弟基板801之上面，構成陰極電極_之第一元件電 極806a及第二元件電極肋⑼係 , 你互相呈正交而形成。而且， 於第-凡件電極购及第二元件電極8〇_區隔之部分， 124885.doc -29- 200900258 形成有導電性膜807,其係形成有間距8〇8。亦即由第一 元件電極8〇6a、第二元件電極8〇6b及導電性膜8〇7來構成 複數電子放出部805。導電性膜8〇7係由例如氧化把（pd〇) 等來構成，而且間距808係於導電性膜8〇7成膜後，以成型 專來形成。 於第二基板802之下面，形成與陰極電極8〇6對峙之陽極 電極809。於陽極電極，之下面，形成格子狀之岸堤部 8Π ’於此岸堤部811所包圍之朝下之各開口部η〗，對應 於電子放出部805而配置有螢光體⑴。螢光體813係發出 紅（R)、綠（G)、藍（B)之任一色之螢光，於各開口部Μ， 紅色勞光體813R、！亲色螢光體813〇及冑色發光體⑴㈣ 以上述特定圖案來配置。 然後，如此構成之第-基板8〇1及第二基板8〇2係存在有 微小間隙而貼合。於此顯示裝置8〇〇中，經由導電性臈⑺ 距_)8〇7而使從陰極之第一元件電極8〇6a或第二元件電 極嶋飛出之電子’接觸到形成於陽極之陽極電極8〇9之 蝥光體813而激發發光，從而可進行彩色顯示。 此情況下亦與其他實施型態相同，可利用液滴噴出裝置 1來形成第-元件電極806a、第二元件電極嶋、導： 膜807及陽極電極809 ’並且可利用液滴喷出裝置丨來： 各色螢光體 813R，813G，813B。 ^ 第-元件電極崎、第二元件電極嶋及導電性膜8〇7 係具有圖26⑷所示之平面形狀，將此等成膜之情況時，如 圖释)所示，預先留下要製入第一元件電極购、第二元 124885.doc •30- 200900258 件電極嶋及導電性膜，之部分而形成岸堤部郎 法）。接著，於藉由岸堤部BB所構成之溝槽部分，步成= 一兀件電極806a及第二元件電極8_(藉由液滴喷出裝L 之喷墨法），乾燥其溶劑以進行成膜後，形成導電性膜 術⑽由液滴噴出裝置r噴墨法）。，然後，將導電性膜_ 成^後，除去岸堤部呵灰㈣離處理），並移轉至上述成 I處理。此外，與上述有機肛裝置之情況㈣，宜進 於第-基板8(H及第二基板8〇2之親液化處理、或對於岸堤 部811，BB之撥液化處理。 而且，作為其他光電裝置可想到金屬布線形成、透❹ 成、抗㈣|形成及光擴散體形成等之裝置。藉由將上述液 滴噴出裝置1利用於各種光電裝置（元件）之製造，可有效率 地製造各種光電裝置。 【圖式簡單說明】 圖1係表示有關實施型態之液滴噴出裝置之平面圖。 圖2為液滴嘴出裝置之側面圖。 圖3係構成噴頭群之功能液滴喷出頭之圖。 圖4為重量測定單元之俯視圖。 圖5為重量測定單元之正面圖。 圖6為液滴噴出裝置之正面模式圖。 圖7(a)〜(c)係說明液滴噴出裝置之重量測定之一連串動 作之圖。 圖8係說明根據重量測定裝置之測定結果來控制功能液 滴噴出頭之驅動電力之控制區塊圖。 124885.doc 200900258 圖9係說明彩色濾光器製造步驟之流程圖。 式剖面圖 圖叫⑷係依製造步驟順序所表示之彩色遽光器之模 圖11係表示㈣適用本發明之彩色濾Μ之液晶裝置之 概略結構之要部剖面圖。 圖12係表示使用適用本發明之彩色濾光器之第二例 晶裝置之概略結構之要部剖面圖。
圖13係表示使用適用本發明之彩色遽光器Μ三 晶裝置之概略結構之要部剖面圖。 之 圖14為有機EL裝置之顯示裝置之要部剖面圖。 圖15係說明有機EL裝置之顯示裝置之製造步 m Λ ；IL ^ 圖16係說明無機物岸堤層之形成之步驟圖。 圖17係說明有機物岸堤層之形成之步驟圖。 圖18係說明形成電洞注入/輸送層之過程之步驟圖。 圖19係說明形成有電洞注人/輸送層之狀態之步驟圖。 圖係說月开;ί成監色發光層之過程之步驟圖。 圖21係„兒明开’成有藍色發光層之狀態之步驟圖。 圖係》兒月形成有各色發光層之狀態之步驟圖。 圖23係說明陰極之形成之步驟圖。 圖24為電漿型顯示裝置(pDP裝置)之顯示裝置之要 立體圖。 $ 4分 圖25為電子放出裝置（fed裝置）之顯示裝置之要部剖面 124885.doc -32- 200900258 【主要元件符號說明】 圖26為Μ員示裝置之電子放出部附近之平面圖（a)及表示其 形成方法之平面圖（b)。 1 液滴喷出裝置 2 描繪裝置 3 清洗裝置 4 重量測定單元 5 控制裝置 10 X轴支持基座 11 X軸台 12 Y軸台 13 托架 16 喷頭群 17 功能液滴喷出頭 17a 第—個功能液滴喷出 17b 第二個功能液滴噴出 17f 第’、個功能液滴噴出 21 放置台 22 X軸滑件 23 X軸移動機構 24 維遵用滑件 31 支枝 32 橋板 33 γ轴滑件 124885.doc '33 - 200900258 34 Y軸移動機構 36 托架板 38 喷頭驅動器 41 吸引單元 42 擦拭單元 42a 擦拭片材 43 檢查台面 44 檢查用相機 45 定期沖洗單元 51 重量測定裝置、重量測定機構 52 副台 53 防風蓋 56 支持架 57 重量測定用滑件 58 重量測定用移動機構 61 容器 62 電子天平 63 沖洗盒 64 外殼 65 功能液吸收材料 66 壓板 500 彩色濾光器 500A 渡光器基體 501 基板（W) 124885.doc - 34 - 200900258 502 黑矩陣 503 岸堤 504 抗#劑層 505 遮罩膜 507a 像素區域 507b 劃分壁部 508B, 508G, 508R 著色層（成膜部） 509, 713 保護膜 520, 530, 550 液晶裝置 521, 53 1, 55 1 對向基板 522, 532 液晶層 523, 533 第一電極 523a 牽繞布線 524, 534 第一配向膜 526, 536 第二電極 527, 537 第二配向膜 528, 538 間隔物 529 密封材料 539 密封片材 555 偏光板 556 電極 557 配向膜 558 絕緣層 561 掃描線 124885.doc -35- 200900258 f 562 信號線 560, 613 像素電極 563, 615 薄膜電晶體 600, 700, 800 顯示裝置 601 基板（W) 602 電路元件部 603 發光元件部 604 陰極 606 基底保護膜 607 半導體膜 607a 源極區域 607b 汲極區域 607c 通道區域 608 閘極絕緣膜 609 閘極電極 611a 第一層間絕緣膜 611b 第二層間絕緣膜 612a, 612b 接觸孔洞 613a 電極面 614 電源線 617 功能層 617a 電洞注入/輸送層 617b 發光層 618, 81 1, BB 岸堤部 124885.doc -36- 200900258 618a 無機物岸堤層 618b 有機物岸堤層 6 1 8aa 第一疊層部 618s 壁面 618t 上面 619, 812 開口部 701, 801 第一基板 702, 802 第二基板 703 放電顯示部 705 放電室 705B 藍色放電室 705G 綠色放電室 705R 紅色放電室 706 位址電極 707 介電體層 708 隔牆 709, 813 螢光體 709B, 813B 藍色螢光體 709G, 813G 綠色螢光體 709R, 813R 紅色螢光體 711 顯示電極 712 介電體層 803 電場放出顯示部 805 電子放出部 124885.doc -37- 200900258 806 陰極電極 806a 第一元件電極 806b 第二元件電極 807 導電性膜 808 間距 809 陽極電極 W 基板 124885.doc -38-

Claims (1)

  1. 200900258 、申請專利範圍 1. -種液滴喷出裝置’其特徵為包含： 描繪機構，其係—面使 於工件相對地移動，：式之功能液滴噴出頭對 能液來進行描緣；面從可述功能液滴噴出頭喷出功 重量測定機構，复後物& 據從前述功能液滴噴出機構而配設’根 滴喷出量，·及 冑出之魏液之重量來測定液 控制機構，其係根據旦 2 控制前述—…K 2.如明求項〗之液滴噴出梦 軸二，、置，其中前述描繪機構包含：χ 其係搭载前述工件，並且使 X 動；及㈣台’其係搭載前述功能液时㈣=向移 前蝴液滴噴出頭往Υ轴方向移動；:喷:_: ^ 清洗機構’其係配設於前述㈣方向之進步包：·· 喷出頭之移動執跡上剛述功犯液滴 頭； ^丨及擦拭前述功能液滴嘴出 前述重量測定機構係於前述功能 3 ::求:設於前述X軸台及前述清洗機構間。移動軌 3.如明求項丨或2之液滴 能液滴喷出頭； 丨裝置’其令設置有複數前述功 前述重量測定機構包含：容器 述功能液滴噴出頭噴出之功能液；…、焚從任意-前 電子天平’其係測定前述容器内之功能液之重量;及 124885.doc 200900258 6又於珂逑 滴喷出頭對於俞 、， j 、則述容器之挪 定喷出時，接受來自其他前 述功能液滴嘴屮 戈出碩之棄噴出。 4. 如請求項3之液滴噴出 出頭係排列於<、+、 、置，/、中複數前述功能液滴噴 前述重量到!/x轴方向而構成喷頭群； 里/貝】弋機構進—半 副台。 步包含在前述X軸方向移動之 5. 如請求項4之液滴 其係配設於前述副^ 其中進一步包含防風蓋’ 平進行重量測定時，V移動軌跡上’於藉由前述電子天 6. 一種光電裝復盍前述容器之上部空間。 电衣置之製造方 、 至5中任—項 '，/、特徵為··使用如請求項j 夂液滴噴ψ壯Μ 液所成之成骐部。 、置，於前述工件上形成功能 7· —種光電裝置，其 之液滴噴出I置，於^ :.使用如睛求項1至5中任一項 部。 、别述工件上形成功能液所成之成膜 8. —種電子機器，豆 電裝置之制、4 /、、攻為：搭載有藉由如过* 电扃置之製造方法 田如巧未項6之光 電裝置。 ""之光電裝置或如請求項7之光 124885.doc
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