1232355 A7 B7___ 五、發明說明（） 發明之技術領域 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關在基板上曝光識別碼的曝光裝置，尤其是 有關曝光數個識別碼的曝光裝置，其係使用於對液^製= 步驟等使用之玻璃基板等基板的各項處理執行履歷管理及 品質管理。 先前技術 通系在液晶面板的製造步驟中，於玻璃基板上塗佈特定 的樹脂時’係分別以圖案曝光裝置進行電路圖案曝光，以 識別曝光裝置進行基板識別碼及面板識別碼等曝光·，以周 邊曝光裝置進行基板周邊部分不需光阻之部分的曝光，並 於曝光完成後，以顯像裝置進行顯像。 繼續從完成特定處理的一片玻璃基板製作一片或數片液 晶面板。 該玻璃基板50上標示有基板識別，用於識別 所示的基柢’並利用在履歷管理及品質管理等上，以提高 各項處理及整個製造線的成品率。此外，爲求在一片玻璃 基板5 0分割成數片液晶面板5 1後仍然能夠識別，標示有附 加液晶面板5 1之排列號碼等的面板識別碼5丨a，及標示有 用於判定切斷位置的切斷位置識別碼5 〇 b，使用在切斷數 片液晶面板5 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該基板識別碼5 0 a、切斷位置識別碼5 0 b及面板識別碼 51a等多標示在玻璃基板5〇的周圍部。 該基板識別碼5 0 a、切斷位置識別碼5 0 b及面板識別碼 5 1 a的標示僅爲其中一種實施例，其名稱及數量等當然會 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 x 297公釐） 1232355 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明說明（2) 有所改變。 基板識別碼5 0 a、切斷位置識別碼5 0 b及面板識別碼5 1 a 等識別碼的曝光，係在曝光單元固定的狀態下，藉由N C控 制來移動承載玻璃基板的枱，於玻璃基板上的特定位置使 用曝光識別碼的曝光裝置。 此外，曝光玻璃基板50上周邊部分52之不需光阻部分的 周邊曝光裝置，係使用與上述曝光裝置不同之曝光裝置或 是將其組合的曝光裝置，在曝光單元固定的狀態下，藉由 N C控制來移動承載玻璃基板—的枱，於玻璃基板上的特定位 置曝光識別碼。 因此，係使用數個曝光裝置，反覆移動枱及進行曝光操 作，來曝光數個識別碼。 發明所欲解決之課題 上述的曝光裝置，若玻璃基板大型化，欲從一片玻璃基 板製作數；t液晶面板時，會產生面板識別碼的數量增加及 曝光該識別碼費時等的問題，同時，以固定曝光單元，移 動承載玻璃基板的枱來構成時，也會因枱的移動範圍大， 而造成整個裝置過大的問題。 因。而嘗試開發出一種曝光裝置，其係設置標準的固定曝 光早TC30及可移動曝光單元3丨，移動承載玻璃基板之枱來 ^光，及没置數個單元3 2，每一個單元係由用於安裝曝光 單元的^塊及導軌所形成，移動承載玻璃基板之枱來曝 光。 此種曝域置的作業效率雖然比先前的曝光裝置提高若 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準ία^)Α4規格（21^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 297公釐） 1232355 A7 _______ _ B7___ 五、發明說明（）
干’但疋如圖5及圖6所示，久g異水留—A q U /Tf 7F，各曝光早兀的移動範圍（L i， L2)仍有限制，無法達到預期的作業效率。 晴裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，由於係移動承載玻璃基板的枱，因此，A法解決 整個裝置過大的問題。 此外，迷有必須備有用於曝光基板周邊部之不需光阻部 分I周邊曝光裝置與曝光識別碼之曝光裝置的問題。 本發明之目的，在提供一種曝光裝置，可以於短時間内 在特足的位置曝光數個識別碼，而且縮小整個裝置的 積。 — " 課題之解決手段 本發明之曝光裝置的特徵，如申請專利範圍第1項所揭示 的，係分別設置可以移動的數個曝光單元，用於在塗佈有 感光材料的基板上曝光識別碼。 此外，本發明之曝光裝置如申請專利範圍第2項所揭示 的，可以由在基板上設置可以移動，用於周邊曝光的周邊 曝光單元來構成。
本發明之曝光裝置的基板，如申請專利範圍第3項所揭示 的’可以採用液晶用玻璃基板。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外’如申請專利範圍第4項所揭示之本發明曝光裝置的 周邊曝光單元，可以設置在固定導軌或移動導軌中至少一 個導軌上來構成。 如申請專利範圍第5項所揭示，本發明之曝光裝置的特徵 馬具備：枱，其係承載基板；一對導軌，其係設置在上述 括的上方位置；數個滑塊，其係可以沿著上述導執移動； -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1232355 Α7 Β7 五、發明說明（） 及曝光單元，其係對安裝在個滑塊上的識別碼進行曝光。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 此外，本發明之曝光裝置的構成，可以定子，其係具有 向特定方向延伸的推進用場磁；及磁性資訊磁化組件來形 成申請專利範圍第6項之導軌·，可以設置在活動元件上的 磁頭，其係使具有電樞線圈之活動元件與磁性資訊磁化組 件相對’來形成安裝在上述導執上之滑塊；並將移動導 執’其係使安裝其上之申請專利範圍第7項的曝光單元安 裝用滑塊自由移動；與滑塊一體結合，該滑塊係安裝在配 置成與該移動導軌於水平方佝交叉的固定導執上，且可以 自由移動。 發明之實施形態 圖1爲顯示本發明之曝光裝置構成的概略斜視圖，曝光裝 置係设置成沿著基座（B a s e)(圖上未顯示）上所形成的導執 自由移動’其構成具備：枱1，其係以水平狀態承載玻璃 基板50 ;藤光機構2，其係設置在基座（圖上未顯示）上， 位於該枱1的上方，對基板識別碼5 〇 a、切斷位置識別碼$ 〇 及面板識別碼5 1 a之全部或任一個進行曝光；及周邊曝光 機構3，其係對基板周邊部不必要光阻的部分進行曝光。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 枱1使用承載玻璃基板的面採平面構成，連接減壓源的減 壓吸附用孔採貫穿構成，支撑用銷採凸出的構成者，或是 使用具有固定玻璃基板侧面之機構的構成者，使玻璃基板 5 0處於水平狀態或垂直狀態。 此外，枱1的構成採用在水平方向之前後方向（γ方向）與 左右方向（X方向），或在垂直方向的上下方向（ζ方向）與左 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1232355 A7 B7 五、發明說明（ 右方向（X方向）可以自由移動、旋轉及可以在垂直方向升 降0 才口 1上放置破璃基板5 0的位置偏差時，測定位置偏差 量，旋轉枱1，或是向前後方向（Y方向）與左右方向（X方向） 移動來凋整位置的偏差。此外，在枱i上可設置如L形狀的 定位導板（Guide)將玻璃基板50卡在該導板内加以定位。 曝光機構2包含：固定導軌扣i、4_2，其係以托架（圖上 未顯不）支撑呈水平狀態，該托架在水平方向與基座（圖上 未顯不）距離特定的間隔；滑塊5 _ 1、5 _ 2，其係安裝在該 固定導執4-1、4-2上，沿左右方向（X方向）自由移動；移 動導執6 ’其係以結合組件7 - 1、7 · 2安裝在該滑塊5 - 1、 5 - 2上；滑塊8 - 1、s - 2、8 - 3，其係安裝在該移動導軌6 上’沿前後方向（Υ方向）自由移動；曝光單元9-i、9-2、 9 - 3 ’其係以焦點調整手段丨〇 ·丨、1 〇 · 2、i 〇 _ 3安裝在該滑 塊8-1、8〜2、8-3上，可以沿垂直方向（z方向）移動；及 紫外線光源手段1 1 · 1、1 i · 2、1 ^ 3，其係以光纖等的光 導 12-1、12-2、12-3 結合該曝光單元 9-1、9-2、9-3。 安裝在固定導執4上自由移動的滑塊5及移動導軌6的單 元組件數量，視面板識別碼5 1 a的數量來適切設定，使各 單元組件可以在特定的位置上移動。 此外，安裝在移動導執6上自由移動之滑塊8的數量，也 視面板識別碼的數量來適切設定，使各滑塊8可以在特定 的位置上移動。 上述之固定導執4(4-1、4-2)及移動導軌6，係使用由定 8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· ·
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1232355 A7 B7 五、發明說明（6 ) 子，其係具有向特定方向延伸的推進用場磁（沿長度方向， N極與S極等間距時交互磁化的磁鐵）；及磁性資訊磁化组 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 件（編碼圖）所形成者，滑塊”5」、夂2)與滑塊8(84、8_2 、8-3)使用由磁頭，其係可以形成、刪除、讀取設置在活 動元件内的磁性資訊（位置檢測、速度控制等編碼資訊/， 使具有電樞線圈的活動元件與磁性資訊磁化部相對所形成 者。 滑塊5、8可以藉由螺旋進給機構（其構成與焦點調整機構 10相同），其具備螺軸及旋入該螺軸上的螺帽來移動，取 代以上述的線性馬達機構來移動，當然並不限定於這些移 動機構。 曝光單元9，如圖2所示，在端部上具有光導12的連接 4，其構成係容納：聚光鏡1 4，其係使光線在安裝於焦點 调整手段1 0内之曝光箱（C a s e ) 1 3内成概略平行狀態；滤 光器1 5，唭係衰減不需要之波長的光線；射入光偏光板 1 6 ’其係使特定光線穿透；光罩（Reticie) 1 7，其係顯示任 思的文4*及圖形；射出光偏光板1 8，其係使特定的光線穿 透；半透明反射鏡、棱鏡等的分光鏡1 9 ;及投影鏡2 〇等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該曝光單元9内設有CCD相機2 1，其係自分光鏡1 9取得 圖像’自玻璃基板5 0或枱1之表面反射的光線係自投影鏡 20射入，並以分光鏡1 9改變角度，射入CCD相機2 1，該 圖像顯示在電視機（圖上未顯示）上。並與預先設定的資料 比對，進行焦點調整及光罩的位置調整等，將圖像資料自 該CCD相機2 1送至控制裝置（圖上未顯示）。 度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1232355 Α7 Β7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明說明（） 此外’顯示在電視機上的圖像，可以由作業人員觀察， 並以人工操作來進行焦點調整及光罩的位置調整等。 不需要確認焦點及曝光位置，不需要進行焦點及光罩的 位置調整等時，可以省略CCD相機2 1。 該曝光單元9的構成並不限定於此，其構成還可以設置遮 光罩’其係用於限制以光導元件1 2傳送之光線的照射範 圍；也可以將紫外線的光源手段i丨一體設置在曝光單元9 内0 焦點調整手段1 〇 ( 1 〇 · 1、-丨〇 _ 2、1 0 _ 3 )包含：活動組 件，其係用於安裝曝光單元9的曝光箱，該曝光單元9係沿 著形成在滑塊8上之導軌做垂直移動，·螺軸，其係驅動用 的脈衝馬達與端部結合，以托架呈垂直狀態安裝在滑塊 8(8-1、8·2、8-3)上自由旋轉；及螺帽，其係旋入該螺軸 上，同時安裝在曝光單元安裝用組件上。 也可以使用以球狀螺軸及旋入球狀螺軸之螺帽所構成者 來取代該螺軸及螺帽。 其構成可以採用不設置該焦點調整手段1 〇，直接將曝光 單元9安裝在滑塊8上，也可以藉由多關節機構，將曝光單 元9安裝在滑塊8上。 此外，當然也可以採用不設置焦點調整手段1 〇，使（骨塊 5可以垂直移動的構成，使固定導軌4可以垂直（Ζ方向）移 動的構成，使枱1可以垂直移動的構成。 周邊曝光機構3包含：滑塊22(22-1、22-2)，其係安裝 在固定導軌4(4-1、4-2)上，可以自由移動；活動台 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ---- -裝---- (請先閱讀背面之注意事頊存填寫本買〕
1232355 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7__— - _ 五、發明說明（） 2 3 (2 3 - 1、23-2)，其係設有導軌及滑塊，並安裝在滑塊 22(22-1、22-2)上；及曝光單元 24(24-1、24-2)，其係 安裝在活動台23(23-1、23_2)上。 滑塊22的構成與滑塊5相同。 圖1中所示的滑塊5與滑塊2 2雖是分別獨立的，不過有時 也結合在一起。 活動台2 3之導軌的構成與固定導軌4相同，滑塊的構成 與滑塊5相同。 曝光單元2 4係採用與曝光-單元9相同的組件來形成，不 過其構成也可以使紫外線避開固定導軌4來照射。 此外’曝光單元2 4係以焦點調整手段（圖上未顯示）做垂 直移動。 玻璃基板識別碼5 0 a位於周圍之兩端部以外的位置（概略 中央部），以上述的周邊曝光機構3不易曝光時，則設置另 一種周邊曝光機構，其包含：移動導執，其係安裝在固定 導執4上，可以沿X方向自由移動；滑塊，其係安裝在該移 動導執上，可以沿γ方向自由移動；及曝光單元，其係以 焦點碉整手段安裝在該滑塊上，在沒有枱丨的移動操作等 下，仍可以有效進行曝光。 上述的各滑塊5、8、2 2等，係藉由相位同步控制等的 N C控制來移動。 上述光源手段1 1之紫外線的發光時間、發光間隔，滑塊 5 8、2 2的移動速度、移動量，及焦點調整手段丨〇之步 進馬達的旋轉量，係藉由具備輸入功能、記憶功能、比較 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
In I 裝
-11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 297公釐） 1232355
五、發明說明（ ，算功能及操作指令功能等功能的電㈣㈣裝上未 頭示）來控制。 將坡璃I板50放進上述括，及將完成曝光之玻璃基 50,出的操作，係由作業人員利用破璃基板搬移機器 人、梭式搬移機構及滾筒輸送機等進行人工作業。 玻璃基板50放在上述曝光裝置的以上就定位後，曝光 機構2的滑塊5按照控制裝置（圖上未顯示）的輸出信號，向 X方向的特定位置移動，同時，滑塊8-1、8_2、8_3分別 向Y方向的特定位置移動，曝光單元9]、9_2、Μ移動 至面板識別碼50a的曝光位置時，焦點調整手段㈠的脈衝 馬達裕知'控制裝置（圖上未顯示）的輸出信號操作，曝光單 元9移動至特定照射高度的位置。此時，光源手段"小 H-2、11-3按照控制裝置（圖上未顯示）的輸出信號操作， 發射紫外線以形成特定的文字㈣像。該紫外線照射在玻 璃基板50上，該反射光射aCCD相機21時，確認該面板識 別碼5 la的焦點狀態及曝光位置，當曝光單元9的焦點有偏 差時，所對應之焦點調整手段1〇的脈衝馬達即正轉或逆轉 來升降曝光單元9，以進行對焦，當曝光單元9的曝光位置 偏差時，所對應的滑塊8則移動來修正曝光位置。各曝光 單元9-1、9-2、9-3藉由這些操作完成設定後，光源手段 1 1 - 1、1 1 - 2、1 1 - 3操作，進行面板識別碼5 i a、切斷位置 識別碼5 1 b及基板識別碼5 〇 a等的曝光。 上述滑塊5開始移動的同時，或是曝光單元9進行曝光操 作後，滑塊2 2向X方向的特定位置（玻璃基板5〇的端部）移 -12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 一SJI· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1232355 A7 B7 10 五、發明說明（） 動，同時活動台2 3的滑塊向Y方向移動，曝光單元2 4 - 1、 24-2移動至玻璃基板50周邊部不需光阻部52的曝光位 置。此時，爲使光源手段（圖上未顯示）按照控制裝置（圖上 未顯示）的輸出信號操作，以形成特定的圖像，與上述曝光 單元9同樣的進行對焦及定位操作後，對周邊不需光阻部 52(玻璃基板50的兩端部）進行曝光。進行該玻璃基板5〇兩 端部的曝光時，枱1旋轉9 0。，對剩餘之周邊不需光阻部·-5 2進行曝光。 該周邊曝光機構3的曝光單元24-1、24-2與曝光機構2 的曝光單元9同樣的係向X方向與Y方向移動來構成時，才台 1處於固定狀態，曝光單元2 4 · 1、2 4 - 2則向X方向與Y方 向移動，對玻璃基板50的周邊部進行曝光。 對圖4所示的玻璃基板50設置三個曝光單元9-1、9-2、 9 - 3時，於第一行的面板識別碼5 1 a進行曝光時，則移動枱 1或滑塊5 ★依序進行第二行及第三行面板識別碼5 1 a的曝 光。 該曝光單元9對應所有面板識別碼5 1 a設置時，則幾乎同 時進行全部的曝光。 如圖3所示，上述之曝光單元9_1、9-2、9-3的移動範圍 (L1〜L3)，比先前之曝光裝置的移動範圍（L1，L2)大，同 時可以快速移動曝光位置，縮短曝光時間。 上述的實施例係説明液晶用之玻璃基板的曝光，不過本 發明的曝光裝置也適用於需要曝光識別碼的基板，且材 質、形狀等並無特別限制。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 !232355 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（ 發明之效果 由於本發明〈曝光裝置的構成，係如申請專利額第1項 所述，分別設置可以移動的數個曝光單a，用於在塗佈有 感光材料的基板上曝光識別碼，因此可以在短時間内於玻 璃基板的任何位置上對識別碼進行曝光，同時可以縮小整 個裝置的體積。 '如本發明心曝光裝置的構成，如申請專利範圍第2項所 述，係設置可以移動之周邊曝光單元，對基板周邊部不需 光阻4刀進仃曝光時，可以不需要設置用於周邊曝光的曝 光裝置，並可以同時對識別碼與基板周邊部進行曝光，以 提高作業效率。 如本發明之曝光裝置的基板爲申請專利範圍第3項之液晶 用玻璃基板時，可以在短時間内於玻璃基板上對基板識別 碼、面板識別碼等識別碼進行曝光，若在固定導執或移動 導執之至少一個導軌上設置如申請專利範圍第4項的周邊 曝光單元來構成時，可以確實達到申請專利範圍第2項的 效果，同時可以縮小整個裝置的體積。 此外，由於本發明之曝光裝置，如申請專利範圍第5項所 述，具備··枱，其係承載基板；一對導軌，其係設置在上 述枱的上方位置；數個滑塊，其係可以沿著上述導軌移 動；及曝光單元，其係用於對安裝在個滑塊上的識別碼進 行曝光，因此可以確實達到申請專利範圍第丨項的效果。 此外，本發明之曝光裝置的構成，係以定子，其係具有 向特定方向延伸的推進用場磁；及磁性資訊磁化組件來形 14- 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1232355 A7 B7 五、發明説明（12 成申請專利範圍第6項之導軌；係以設置在活動元件上的磁 頭’其係使具有電樞線圈之活動元件與磁性資訊磁化組件 相對，來形成安裝在上述導軌上之滑塊時，可以確實且於 短時間内使曝光單元移動至特定位置；並將移動導軌，其 係使安裝其上之申請專利範圍第7項的曝光單元安裝用滑塊 自由移動；與滑塊一體結合，該滑塊係安裝在配置成與該 移動導軌於水平方向交叉的固定導軌上，且可以自由移動 時，可以使曝光單元同時向水平方向的前後方向及左右方 向移動，可以在短時間内移動曝光單元。 圖式之簡要說明 圖1為本發明之曝光裝置構成之一種實施例的概略斜視 圖。 圖2為圖1中之曝光單元部分的概略剖面圖。 圖3為本發明之曝光裝置中之曝光單元移動範圍的簡圖。 圖4為以本發明之曝光裝置進行曝光之玻璃基板一種實施 例的簡圖。 圖5為先前曝光裝置之曝光單元的移動範圍簡圖。 圖6為先如之其他曝光裝置之曝光單元的移動範圍簡圖。 符號說明 1 括 2 曝光機構 3 周邊曝光機構 4、 4-1、4-2 固定導軌 5、 5-1、5-2、8、8-1、8-2、8·3、22、22-1、22-2 滑塊 6 移動導軌 尺度適 1Γ中國Α4 規格(210^^------ 1232355 A7 B7 五、發明說明（ 13 -1 -2 結合組件 9、 9-1、 9-2、 9-3 10、 10-1、 10-2、 10-3 1 1、1 1 - 1、11-2、1 1 -3 12 、 12_1 、 12_2 、 12_3 13 曝光箱 14 聚光鏡 15 遽光鏡 16、18 偏光板 17 光罩 19 分光鏡 20 投影鏡 2 1 CCD相機 2 3 活動台 50 玻璃基板 5 1 液晶面板 50a 基板識別碼 5 0b 切斷位置識別碼 5 1 a 面板識別碼 5 2 周邊曝光邵分 24、24 - 1、24-2 曝光單元 焦點調整手段 光源手段 光導 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
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