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TWI290901B - Warehousing conveyor system - Google Patents

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TWI290901B
TWI290901B TW092116936A TW92116936A TWI290901B TW I290901 B TWI290901 B TW I290901B TW 092116936 A TW092116936 A TW 092116936A TW 92116936 A TW92116936 A TW 92116936A TW I290901 B TWI290901 B TW I290901B
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Taiwan
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TW092116936A
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Inventor
Yu-Yen Chang
Hung-Wei Chen
Original Assignee
Au Optronics Corp
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Application filed by Au Optronics Corp filed Critical Au Optronics Corp
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H10P72/3404—

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Description

1290901 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種物料倉儲搬運系統，特別有關一種 利用輸送帶延伸入儲存櫃，以節省儲存櫃外部空間以及搬 運時間之物料倉儲搬運系統。 【先前技術】 隨第五代液晶顯示器（LCD)製造技術之進步，而製程 中之物料倉儲搬運系統為了大尺寸、高產能之需求，發展 出以金屬網卡匣（wire cassette}和利用傳輸帶 (conveyor)進行玻璃基板之枚葉式搬運；第}圖為第一種 習知物料倉儲搬運系統100，其中輸送帶12〇之取放部121 連接至儲存櫃1 1 〇之側邊開口，而從位於預備位置1 11之卡 匣c中將物料G(可以為玻璃基板）移至取放部121，再經傳 輸帶120運離儲存櫃11〇。 僖銳:ϋϋ設傷^作時間（tact time)短的關係，上述 B士、H :本搬運系統1 00 ’當卡匣C内物料已全數被搬出 二Ξΐ ?由預備位置U1卸下，再放上新的裝有物 :將=斷以提供物料搬運1此，輸送帶12。之搬運工 弟 為了改善上述輪送帶為；統2 00，"2圖所不， 中斷之門韻，力為4待卡匣更換時，搬運物料過 中斷之㈣’在輪送帶22{)以及儲存櫃21Q之間設置一緩 1290901
五、發明說明（2) 區230，在缓衝區2 30之第一預備 二預備位置212放有卡EC2 ;將卡 ，有卡gC1 ’第 部221，再以輸送帶22〇傳輸，當卡 勿料^移至取放 ，卡HC1被移至卸除位置213 之物料G用完後 由卡ΙΨΓ? 、n去 ” 4曰 叩工出之弟一預備位置211 卡ic J ί ί : 縮短物料G供給中斷時間，而 卡匣C2和至弟一預備位置211之同時，位於 2 1 4之卡匣C3，則補入第-預偌#班0 、弟一預備位置 壯士仏 幻補八弟一預備位置212 ;另外，再以其他 衣有物料之卡匣（圖中未標示屮彳去 ’ .^ s ' 出）補入第三預備位置214， 而被移至卸除位置213之卡EC1，則被移除之。 =第3圖所示的第三種習知物料倉儲搬運系統3〇()，同 袠在輸达帶32G以及儲存櫃31G之間，設置—緩衝區33〇， 綾衝區33 0具有一第一取放部321以及一第二取放部322， 位於儲存櫃31〇第一預備位置311之卡匣以以及第二預備位 置3+1 2之卡匣c 5内的物料g分別被輪出至第一取放部3 2 i以 及第二取放部32 2 ’當卡匣C4沒有物料後，更換卡匣u期 間仍由卡匿C 5供應物料，以免中斷物料之運輸。 上述第二、第三種物料倉儲搬運系統2〇〇、3〇〇，雖可 _ ^物料搬運過程不被中斷，但是由於是在儲存櫃外部設置籲 緩衝區’因此會佔用額外之空間；而若是以一般半導體製 ^之=作場所而言，無塵室造價昂貴，因此空間之利用更 幵=珍貝’如何在有限空間内，提升更高的產能，實為當今 場務規劃上亟待解決的問題。
1290901
【發明内容】 運夺S = r本？明：目的就在於提供-種物料倉儲搬 以；延申入儲存櫃，“節省错存櫃外部空 間浪費以及搬運時間之物料倉儲搬運系統。 為達成上述目的，本發明與祉 ，利用卡匣^月>供—種物料倉儲搬運系統 存櫃，具有-第-預備位置统包括：一儲 輸送帶，延伸入上述弟二預備位置；以及- 一預備位置以及上述第二預備位置之間。 上止弟 根據本毛日月，利帛利肖輸送帶之取放部延伸入健在把 之物料傳送，不需等待=取放錢出物料，目此輸送帶 程流暢度，同時不需緩衝η,運卡匡之時’增加製 費。 欸衝區之故計，減低工廠空間之浪 為了讓本發明之μ、+、 顯易懂，下文特舉較i;t其他目的、特徵和優點能更明 說明如下。 土只施例，並配合所附圖不，作詳細 【實施方式】 第4圖為本發明之物 料倉儲搬運系統400 其中包括有
0632-10106TWf(nl) ； AU91192 ； Rita.ptd 第6頁 1290901 五、發明說明（4) 存樞410以及一輸送帶42〇 ;其中儲存櫃41〇具有第一 ΪΓ立ίΤ以及第二預備位置412，第-預備位置411以 「弟一預備位置41 2上方別放置有第一卡£C6與第二卡匿 =，而輸送帶42 0之取放部421延伸入儲存櫃41〇，並位於 第一預備位置411以及第二預備位置412之間。 在從儲存櫃410搬出物料之過程中，位於該第一預 位置411之第一卡匣C7以及第二預備位置412之第二卡匣口 ，流^物料至取放部421。其中位於第一預備位置4ιι之 弟一卡匣C6將物料移至取放部421，經輸送帶42〇將物料（ 圖中未標示出）移出儲存樞4丨〇，當位於該第一預備位置之 411第一卡匣C6内物料用盡，則由位於第二預備位置412之 第二卡EC7將物料移至421取放部，經輸送帶42〇將物料移 出儲存櫃410，且將位於第一預備位置411之第一卡匣㈡更 換為衣有物料之第二卡匣（圖中未標示出），以便當第二卡 I^C7内物料用盡而須更換為第四卡匣（圖中未標示）時， 續供應取放部4 2 1物料。 、 本發明之物料倉儲搬運系統4〇〇亦適用將物料搬運儲 入儲存櫃410。取放部421將物科輪流放入分別位於第一預 備位置411以及第二預備位置41 2之第--^匣C6以及第二卡 匣C7。其中該輸送帶經該取放部，將物料放入位於該第一 預備位置之第一卡匣儲存，當位於該第一預備位置之第一 卡厘已填充滿物料後，則該輸送帶經該取放部，將物料放 酬
0632-10106TWf(nl); AU91192 ; Rita.ptd 1290901
於該第二預借位置之第二卡匣儲存，且將位於該第一 未斤-之弟一卡Ε更換為未填滿物料之第三卡匣（圖中 第不:出）’以便當第二卡匣C7内已裝滿物料而須更換為 之:„匣（圖中未標示）時，持續提供取放部42 1存放物料 根據本發明， ’以使鄰接兩邊之 之物料傳送，不需 程流暢度，同時不 費。 利用利用輸送帶之取 卡匣可對取放部輸出 等待抽換以及搬運卡 需緩衝區之設計，減 放部延伸入儲存櫃 物料，因此輸送帶 !之時間，增加製 低工廠空間之浪 雖然本發明ρ ν ^ 上’然其並非用以 脫離本發明之精神 因此本發明之保護 為準。 ρρ〜士八/ 又較佳實施例揭^ 限疋本發明，任何孰羽 ._ m 1 j热自此技藝者， 和乾圍内，當可作此 ^ 鉻円者、目从 下二弄之更動與潤^ 摩巳圍§視後附之申嗜直 T明專利範圍所界5
1290901 圖式簡單說明 第1圖為第一種習知物料倉儲搬運系統； 第2圖為第二種習知物料倉儲搬運系統； 第3圖為第三種習知物料倉儲搬運系統； 第4圖為本發明物料倉儲搬運系統。 符號說明 100、2 0 0、3 0 0、40 0〜物料倉儲搬運系統； 110、 210、310、410〜儲存櫃； 111、 211、212、214、311、312、411、41 2〜預備位 置； 120、 22 0、3 2 0、42 0 〜輸送帶·’ 121、 221、321、322、42卜取放部； 2 3 1〜卸除位置； 2 3 0〜緩衝區； C、C1、C1’ 、C2、C3、C4、C5、C6、C7〜+E; G〜物料。
0632-10106TWf(nl) ； AU91192 ； Rita.ptd 第 9 頁

Claims (1)

  1. !29〇9〇1tm mum 六、申請專利範圍 修正本 第一 其 放部， 備叙置 之第二 該儲存 有物料2. 其中位 出物料 h —種物 一儲存櫃 一輸送帶 預備位置 中位於 料倉儲搬 ，具有第 ，延伸入 及該第二 該第一預 經該輸送帶:將物 之第--^匣内物 物料移至 將位於該 卡匣。 專利範圍 卡匣將 櫃，且 之第三 如申請 於該第一預備位 至該取 第 3. —種物 一儲存櫃 一輸送帶 備位置 預 其中該輸 備位置之第一 昆已填充滿物 位於該第二預 備位置之第一 4. 其中該 如申請 取放部 放部。 料倉儲搬 ，具有第 ，延伸入 及該第二 送帶經該 卡匣儲存 料後，則 備位置之 卡匣更換 專利範圍 將物料輪 運系統，包括： 一預備位置及第二預備位置·，以及 該儲存櫃，並具有一取放部位於該 預備位置之間； 備位置之第一卡£將物料移至該取 料移出該儲存櫃，當位於談第一予貝 料用盡’則由位於該第二預備位置 該取放部，經該輸送帶將物料移出 第一預備位置之第一卡匣更換為裳 第1項所述之物料倉儲搬運系統， 置及该第二預備位置之卡匣輪流輪 運糸統，包括： 二預備位置及第二預備位置；以及 該儲存櫃，並具有一取放部位於該 預備位置之間； 取=部，將物料放入位於該第一預 _ ^ 、忒苐—預備位置之第一卡 ^輸^帶經該取放部，將物料放入 儲存，且將位於該第一預 ^未填:、物料之第三… 冷放、入/述之物料倉儲搬運系統， /瓜敌入位於兮 吟弟—預備位置及該第
    0632-10106TWfl(4.5) ； AU91192 ； Nora.ptc 1290901 案號 92116936 年 月 修正 六、申請專利範圍 二預備位置之卡匣。 第11頁 0632-10106TWfl(4.5) ； AU91192 ； Nora.ptc
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Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5024570A (en) * 1988-09-14 1991-06-18 Fujitsu Limited Continuous semiconductor substrate processing system
KR0155158B1 (ko) * 1989-07-25 1998-12-01 카자마 젠쥬 종형 처리 장치 및 처리방법
JPH05275511A (ja) * 1991-03-01 1993-10-22 Tokyo Electron Ltd 被処理体の移載システム及び処理装置
US5527390A (en) * 1993-03-19 1996-06-18 Tokyo Electron Kabushiki Treatment system including a plurality of treatment apparatus
US5474647A (en) * 1993-11-15 1995-12-12 Hughes Aircraft Company Wafer flow architecture for production wafer processing
JPH07245332A (ja) * 1994-03-04 1995-09-19 Hitachi Ltd 半導体製造装置および半導体装置の製造方法ならびに半導体装置
JP3239977B2 (ja) * 1994-05-12 2001-12-17 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
US6203582B1 (en) * 1996-07-15 2001-03-20 Semitool, Inc. Modular semiconductor workpiece processing tool
US6540466B2 (en) * 1996-12-11 2003-04-01 Applied Materials, Inc. Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US6034000A (en) * 1997-07-28 2000-03-07 Applied Materials, Inc. Multiple loadlock system
JPH11121582A (ja) * 1997-10-15 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備
CH714282B1 (de) * 2000-07-06 2019-04-30 Murata Machinery Ltd Lagersystem mit Förderelementen.
US6582182B2 (en) * 2001-06-04 2003-06-24 Intrabay Automation, Inc. Semiconductor wafer storage kiosk
JP2003031647A (ja) * 2001-07-19 2003-01-31 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法
JP3832293B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
CN1608308A (zh) * 2001-11-13 2005-04-20 Fsi国际公司 微型电子基片的自动化加工用的减少占地的工具
US6696367B1 (en) * 2002-09-27 2004-02-24 Asm America, Inc. System for the improved handling of wafers within a process tool

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