JP2013122969A - 搬送装置、搬送システム、及び、搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置にて処理装置の稼働効率を高めることの可能な搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法を提供する
【解決手段】搬送装置３０は、第１の工程の処理を行う第１の処理装置１０から第２の工程の処理を行う第２の処理装置２０へ処理の対象物であるパネルＳを搬送する搬送ロボット３２と、パネルＳが収容されるトレイ３０Ｔを保持するトレイ保持部３４，３５と、搬送ロボット３２の動作を制御する搬送制御装置４１とを備えている。第１の処理装置１０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第１処理数とし、第２の処理装置２０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第２処理数とし、第１処理数が第２処理数よりも大きい場合に、搬送制御装置４１が、搬送ロボット３２にパネルＳを第１の処理装置１０からトレイ３０Ｔへ搬送させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、対象物に第１の工程の処理を行う第１の処理装置から対象物に第２の工程の処理を行う第２の処理装置に対象物を搬送する搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法に関する。

液晶表示パネルの製造工程では、液晶表示パネルの基材を処理する２つの処理装置の間にて、前工程に用いられる処理装置から後工程に用いられる処理装置へ基材を搬送する搬送装置が用いられている。

以下、２つの処理装置及び搬送装置からなる搬送システムの概略構成及び動作について図８を参照して説明する。図８に示されるように、例えば、前工程に用いられる第１の処理装置１０１では、半導体チップを搭載する処理であるＣＯＧ処理（Chip On Glass ）が、第１搬入部１０２から搬入されたパネルＳに対して行われ、ＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１０３から搬出される。また、後工程に用いられる第２の処理装置１０４では、フレキシブル基板を貼り付ける処理であるＦＯＧ処理（Film On Glass ）が、第２搬入部１０５から搬入されたパネルＳに対して行われ、ＦＯＧ処理の行われたパネルＳが、第２搬出部１０６から搬出される。

そして、第１の処理装置１０１と第２の処理装置１０４との間に設置された搬送装置１０７では、第１搬出部１０３から搬出されたパネルＳが、例えば特許文献１に記載の水平多関節ロボットである搬送ロボット１０８によって第２搬入部１０５に搬送される。なお、このとき、搬送装置１０７では、搬送ロボット１０８によって搬送されるパネルＳが、搬送装置１０７の撮像部１０９によって撮像され、この撮像結果に基づいて搬送ロボット１０８によるパネルＳの搬送位置が補正される。

特開２０１１−１０４７３３号公報

ところで、上述のような処理装置１０１，１０４と搬送装置１０７とからなる搬送システムでは、例えば、第１搬出部１０３から搬出される単位時間あたりのパネルＳの数量が、第２搬入部１０５に搬入可能な単位時間あたりのパネルの数量を上回ると、たとえ第１の処理装置１０１が稼働可能な状態であっても、第１搬出部１０３からのパネルＳの搬出を抑えるために、第１の処理装置１０１の待機が余儀なくされる。

他方、第１搬出部１０３から搬出される単位時間あたりのパネルＳの数量が、第２搬入部１０５に搬入可能な単位時間あたりのパネルＳの数量を下回ると、たとえ第２の処理装置１０４が稼働可能な状態であっても、第１搬出部１０３からパネルＳが搬出されるまで、第２の処理装置１０４の待機が余儀なくされる。このように、第１の処理装置１０１における処理速度と、第２の処理装置１０４における処理速度とが同じでない限り、第１の処理装置１０１と第２の処理装置１０４とのいずれか一方が待機することになる。なお、こうした問題は、上述の搬送ロボットが水平多関節ロボットである場合に限らず、垂直多関節ロボット等、他の搬送ロボットであっても共通するものである。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置にて処理装置の稼働効率を高めることの可能な搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法を提供することを目的とする。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
本発明における搬送装置の一態様は、第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送する搬送ロボットと、前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第１の処理装置から前記トレイへ搬送させる。

本発明における搬送装置の一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。

本発明における搬送装置の他の態様では、前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第２の処理装置へ搬送させる。

本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回る場合に、トレイから第２の処理装置への対象物の搬送が行われる。そのため、第２の処理装置の処理速度が第１の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。

本発明における搬送装置の他の態様は、前記対象物が収容されているトレイを貯める第１ストッカーと、前記対象物が収容されていないトレイを貯める第２ストッカーと、前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの駆動の態様を制御し、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、前記ストッカー制御部が、前記第１ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第２ストッカーに該第２ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。

本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、トレイ保持部のトレイが第１ストッカーに収容され、第２ストッカーの空トレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合において、トレイ保持部のトレイが対象物で満たされて第１の処理装置から対象物が収容され難くなることを抑えることが可能にもなる。
本発明における搬送装置の他の態様では、前記ストッカー制御部が、前記制御部に含まれる。

本発明における搬送装置の他の態様によれば、搬送ロボットの動作を制御するための制御部と、ストッカーの動作を制御するためのストッカー制御部とが各別に搭載される場合と比べて、制御部の搭載される空間を小さくすることができる。

本発明における搬送装置の他の態様では、前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、前記ストッカー制御部が、前記第２ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第１ストッカーに該第１ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。

本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、トレイ保持部のトレイが第２ストッカーに収容され、第１ストッカーのトレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回る場合において、トレイ保持部のトレイから対象物を第２の処理装置へ搬送できなくなることを抑えることが可能にもなる。

本発明における搬送システムの一態様は、対象物に対して第１の工程の処理を行う第１の処理装置と、前記対象物に対して第２の工程の処理を行う第２の処理装置と、前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置が、上述した態様の搬送装置である。

本発明における搬送システムの一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。

本発明における搬送方法の一態様は、第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送ロボットにより搬送させる搬送方法であって、前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、前記搬送ロボットが前記対象物を前記第１の処理装置からトレイへ搬送する。

本発明における搬送方法の一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。

本発明の搬送装置及び搬送システムを具体化した一実施形態の全体構成を示すブロック図。 搬送システムの電気的構成を示すブロック図。 動作モード選択処理の手順を示すフローチャート。 （ａ）（ｂ）通常搬送モードでのパネルの搬送態様を示す図。 （ａ）（ｂ）（ｃ）パネル回収モードでのパネル及びトレイの搬送態様を示す図。 （ａ）（ｂ）（ｃ）パネル供給モードでのパネル及びトレイの搬送態様を示す図。 変形例における動作モード選択処理の手順を示すフローチャート。 従来の搬送装置及び搬送システムの全体構成を示すブロック図。

本発明の搬送装置、搬送システム、及び搬送方法を具体化した一実施形態について、図１〜図７を参照して説明する。まず、搬送システムの全体構成及び動作について図１を参照して説明する。

［搬送システムの全体構成及び動作］
図１に示されるように、搬送システムは、第１の処理装置１０と、第２の処理装置２０と、搬送装置３０とを有している。第１の処理装置１０を構成する第１処理部１１は、第１搬入部１２から搬入された対象物としてのパネルＳに対して半導体チップを搭載する処理である第１の工程の処理としてのＣＯＧ処理（ＣｈｉｐＯｎＧｌａｓｓ）を行い、ＣＯＧ処理の施されたパネルＳを第１搬出部１３から搬出させる。第１の処理装置１０を構成する第１制御装置１４は、第１処理部１１を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。

第２の処理装置２０を構成する第２処理部２１は、第２搬入部２２から搬入されるパネルＳにフレキシブル基板を貼り付ける処理である第２の工程の処理としてのＦＯＧ処理（ＦｉｌｍＯｎＧｌａｓｓ）を行い、ＦＯＧ処理の施されたパネルＳを第２搬出部２３から搬出させる。第２の処理装置２０を構成する第２制御装置２４は、第２処理部２１を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。

搬送装置３０を構成する搬送部３１は、第１処理部１１と第２処理部２１との間に配置され、また、搬送部３１を構成する搬送ステージ３１Ｓには、第１搬出部１３から搬出されるパネルＳを第２搬入部２２や搬送ステージ３１Ｓ上の各部へ搬送する搬送ロボット３２が搭載されている。

搬送ステージ３１Ｓにおいて搬送ロボット３２よりも第１搬出部１３側には、搬送ロボット３２によって搬送されているパネルＳを撮像する撮像装置３３が搭載されている。また、搬送ステージ３１Ｓにおいて搬送ロボット３２に対する撮像装置３３側とは反対側には、第１トレイ保持部３４、第２トレイ保持部３５、第１ストッカー３６、及び第２ストッカー３７が搭載され、さらに第１搬送機構ＴＲ１、第２搬送機構ＴＲ２、及び第３搬送機構ＴＲ３が搭載されている。搬送装置３０を構成する制御部及びストッカー制御部としての搬送制御装置４１は、搬送部３１を構成するこれらの各部に対し駆動の態様、言い換えれば動作を制御するための制御信号を出力する。

第１トレイ保持部３４は、１枚のトレイ３０Ｔを搬送ステージ３１Ｓ上で保持する部分であって、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔには、搬送ロボット３２による作業が行われる。例えば、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔには、第１搬出部１３から搬出されたパネルＳが搬送ロボット３２によって搬送され、これによりパネルＳがトレイ３０Ｔに回収される。また、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔに対しては、トレイ３０Ｔに収容されたパネルＳが搬送ロボット３２によって搬送され、これにより、第２搬入部２２にパネルＳが供給される。なお、トレイ３０Ｔには、１つのパネルＳを収容するパネル収容部が複数形成されている。

第２トレイ保持部３５は、これもまた１枚のトレイ３０Ｔを搬送ステージ３１Ｓ上で保持する部分であって、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔに対する搬送ロボット３２による作業が行われない。そして、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔとは異なり、第２トレイ保持部３５に保持されるトレイ３０Ｔには、パネルＳが収容されない。

第１ストッカー３６は、搬送ステージ３１Ｓ上において複数のトレイ３０Ｔを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ３０Ｔを１枚ずつ搬出することで、第１トレイ保持部３４へトレイ３０Ｔを供給する。また、第１ストッカー３６は、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを１枚ずつ収容し、これにより、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔを回収する。

第２ストッカー３７は、搬送ステージ３１Ｓ上において複数のトレイ３０Ｔを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ３０Ｔを１枚ずつ搬出することで第２トレイ保持部３５にトレイ３０Ｔを供給する。また、第２ストッカー３７は、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを１枚ずつ収容し、これにより第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔを回収する。

第１搬送機構ＴＲ１は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを第２トレイ保持部３５に搬入し、また第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを第１トレイ保持部３４に搬入する。

第２搬送機構ＴＲ２は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第１ストッカー３６に貯められたトレイ３０Ｔを第１トレイ保持部３４に搬送することで、第１トレイ保持部３４に対するトレイ３０Ｔの供給を行う。また、第２搬送機構ＴＲ２は、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを第１ストッカー３６に搬送することで、第１ストッカー３６へのトレイ３０Ｔの回収を行う。

第３搬送機構ＴＲ３は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第２ストッカー３７に貯められたトレイ３０Ｔを第２トレイ保持部３５に搬送することで、第２トレイ保持部３５に対するトレイ３０Ｔの供給を行う。また、第２搬送機構ＴＲ２は、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを第２ストッカー３７に搬送することで、第２ストッカー３７へのトレイ３０Ｔの回収を行う。

［搬送システムの電気的構成］
以下、上述した搬送システムの電気的構成について、図２を参照して説明する。搬送システムに備えられた第１制御装置１４、第２制御装置２４、及び搬送制御装置４１の各々は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。
このうち搬送制御装置４１は、主制御部４２、副制御部４３、記憶部４４、モーター駆動用入出力部４５、及び通信用入出力部４６を有している。

主制御部４２は、記憶部４４に記憶された搬送プログラムを解釈し、搬送プログラムに基づく搬送ロボット３２の軌道を生成する。また、主制御部４２は、各モーターに対する位置指令を生成し、この位置指令を副制御部４３に出力する。

副制御部４３は、主制御部４２から入力された位置指令と、各モーターに接続された回転検出器からのフィードバック信号とに基づいて電流指令を生成し、この電流指令に基づくＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部４５に出力する。

記憶部４４には、搬送装置３０を駆動するための搬送プログラムが記憶され、搬送プログラムには、例えば、搬送ロボット３２のエンドエフェクターを駆動するためのピックプログラム、及び搬送ロボット３２のアームを駆動するためのアーチプログラム等が含まれる。また、搬送プログラムには、例えば、第１搬送機構ＴＲ１を駆動するためのモーター、第２搬送機構ＴＲ２を駆動するためのモーター、第３搬送機構ＴＲ３を駆動するためのモーターの各々を所定の順序で駆動するためのトレイ搬送プログラムが含まれている。さらに、搬送プログラムには、搬送装置３０にて行われる動作のモードを選択するためのモード選択プログラムが含まれている。

また、記憶部４４は、パネル数量データ記憶部４４Ａ及びトレイ数量データ記憶部４４Ｂを有している。パネル数量データ記憶部４４Ａには、トレイ３０Ｔに収容されているパネルＳの数量に関するデータがトレイ３０Ｔごとに記憶され、他方、トレイ数量データ記憶部４４Ｂには、空きトレイ３０Ｔの数量に関するデータが記憶されている。

モーター駆動用入出力部４５には、各モーターを回転駆動させるモーター駆動部５１〜５４が接続されている。モーター駆動部５１〜５４の各々には、搬送ロボット３２を駆動するロボットモーター３２Ｍ、第１搬送機構ＴＲ１を駆動するモーター、第２搬送機構ＴＲ２を駆動するモーター、及び第３搬送機構ＴＲ３を駆動するモーターが、一対一で順に接続されている。モーター駆動用入出力部４５は、副制御部４３から入力されたＰＷＭ信号を各モーター駆動部５１〜５４に出力し、各モーター駆動部５１〜５４は、入力されたＰＷＭ信号に基づいて各モーターの駆動電流を生成して各モーターに供給する。また、モーター駆動用入出力部４５には、各モーターの回転検出器が接続され、この回転検出器からのフィードバック信号が入力される。

通信用入出力部４６には、上述の第１の処理装置１０に搭載された第１制御装置１４と、同じく上述の第２の処理装置２０に搭載された第２制御装置２４とが接続されている。このうち、第１制御装置１４は、第１搬出部１３に回収されるべきパネルＳがあるときに、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。また、第１制御装置１４は、第１処理部１１におけるＣＯＧ処理が停止したときに、ＣＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。他方、第２制御装置２４は、第２の処理装置２０の第２搬入部２２に部品を供給する必要があるときに、供給開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。また、第２制御装置２４は、第２処理部２１におけるＦＯＧ処理が停止したときに、ＦＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。通信用入出力部４６は、第１制御装置１４及び第２制御装置２４から入力された各種の信号に処理を行って処理結果を出力し、主制御部４２がその処理結果を取得する。

［動作モード選択処理］
次に、上述した搬送装置３０にて行われる動作のモードを選択するときに、主制御部４２にて行われる動作モード選択処理の手順について、図３を参照して説明する。なお、動作モード選択処理とは、第１の処理装置１０からのＣＯＧ処理停止信号、及び第２の処理装置２０からのＦＯＧ処理停止信号のいずれかが、通信用入出力部４６を介して主制御部４２に入力されたときに行われる割り込み処理である。そして、動作モード選択処理では、搬送制御装置４１によって搬送装置３０の動作モードとして、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかが選択される。また、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０の両方が稼働しているときには、搬送制御装置４１は、通常搬送モードでの動作を継続して選択している。

通信用入出力部４６から上述の停止信号のいずれかが入力されると、主制御部４２は搬送装置データの読み出しを行う（ステップＳ１１）。このステップＳ１１では、主制御部４２が、搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに収容されているパネルＳの数量をパネル数量データ記憶部４４Ａから読み出し、また、搬送ステージ３１Ｓ上の空きトレイ３０Ｔの数量をトレイ数量データ記憶部４４Ｂから読み出す。なお、搬送装置データとは、こうしたパネルＳの数量に関するデータ及びトレイ３０Ｔの数量に関するデータであり、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかによって処理が行われるごとに更新されるデータである。

そして、主制御部４２は、第２の処理装置２０と第１の処理装置１０とのいずれが停止しているのかを通信用入出力部４６に入力された停止信号から判断する（ステップＳ１２、ステップＳ１３）。そして、主制御部４２が、第２の処理装置２０と第１の処理装置１０との両方が停止していると判断すると（ステップＳ１２：ＹＥＳ、ステップＳ１３：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０とが稼働することで通常搬送モードが選択される場合には、第１の処理装置１０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第１処理数とし、第２の処理装置２０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第２処理数とするとき、第１処理数と第２処理数とが略同一である。つまり、第１の処理装置１０の処理速度と第２の処理装置２０の処理速度とが略同一である。

また、主制御部４２は、第１の処理装置１０が停止し、且つ、第２の処理装置２０が稼働していると判断すると（ステップＳ１２：ＹＥＳ、ステップＳ１３：ＮＯ）、主制御部４２は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに回収されたパネルＳがあるか否かを判断する（ステップＳ１４）。ここで、回収されたパネルＳがない場合には（ステップＳ１４：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルＳがある場合には（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更する（ステップＳ１５）。このように、パネル供給モードが選択されるときには、第２の処理装置２０での第２処理数が、第１の処理装置１０での第１処理数よりも大きい。つまり、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理速度よりも大きい。

そして、主制御部４２は、第１の処理装置１０が稼働していると判断すると（ステップＳ１２：ＮＯ）、主制御部４２は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上に空きトレイ３０Ｔがあるか否かを判断する（ステップＳ１６）。ここで、空きトレイ３０Ｔがない場合には（ステップＳ１６：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ３０Ｔがある場合には（ステップＳ１６：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更する（ステップＳ１７）。なお、空きトレイ３０Ｔとは、トレイ３０Ｔに形成されたパネル収容部にパネルＳが収容されていないトレイ３０Ｔのことである。このように、パネル回収モードが選択されるときには、第１の処理装置１０での第１処理数が、第２の処理装置２０での第２処理数よりも大きい。つまり、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度よりも大きい。

［搬送システムの作用］
次に、搬送システムにて行われるパネルＳ及びトレイ３０Ｔの搬送態様について図４〜図６を参照して説明する。なお、以下では、搬送装置３０の動作モードが上述した通常搬送モードである場合、パネル回収モードである場合、及び、パネル供給モードである場合の搬送態様について順に説明する。

［通常搬送モード］
搬送装置３０での動作モードが通常搬送モードに選択されている場合、第１の処理装置１０にてＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１３における搬送ロボット３２の動作範囲に進入すると、第１制御装置１４が、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、通信用入出力部４６が、回収開始信号に基づき生成した回収すべきパネルＳがあることを示す信号を主制御部４２に出力する。これにより、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して副制御部４３に出力し、副制御部４３が位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部４５に出力する。次いで、モーター駆動用入出力部４５がモーター駆動部５１にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部５１がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成してロボットモーター３２Ｍに出力する。

これにより、ロボットモーター３２Ｍが駆動され、図４（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１搬出部１３のパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。

また、第２搬入部２２に対するパネルＳの搬入が必要になると、第２制御装置２４が、供給開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、通信用入出力部４６が、供給開始信号に基づき生成したパネルＳの供給を開始すべきことを示す信号を主制御部４２に出力し、これにより、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。

その結果、図４（ｂ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。

こうした通常搬送モードでは、搬送ロボット３２による第１搬出部１３から第２搬入部２２へのパネルＳの搬送が繰り返し行われる。なお、通常搬送モードにて第１搬出部１３から第２搬入部２２へのパネルＳの搬送にかかる時間は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０にてパネルＳの処理にかかる時間と比べて、無視できる程度に小さい。そのため、搬送システムにおいて、第１の処理装置１０での処理、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間での搬送、及び第２の処理装置２０での処理にかかる時間は、各処理装置１０，２０にて処理にかかる時間の和と見なすことができる。

［パネル回収モード］
搬送装置３０での動作モードがパネル回収モードに選択されている場合、第２の処理装置２０にて処理エラーが発生し、第２の処理装置２０が停止している。そのため、第２制御装置２４が、ＦＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力し、第２の処理装置２０が停止していることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力されている。

ここで、第１の処理装置１０にてＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１３における搬送ロボット３２の動作範囲に進入すると、第１制御装置１４が、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、回収するべきパネルＳがあることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力され、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。

これにより、図５（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１搬出部１３のパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ上に移動し、パネルＳの保持を解除してトレイ３０ＴにパネルＳを載置する。こうした第１搬出部１３からトレイ３０ＴへのパネルＳの搬送が、トレイ３０Ｔに形成されたパネル収容部の全てにパネルＳが収容されるまで繰り返し行われる。

そして、トレイ３０Ｔのパネル収容部の全てにパネルＳが収容されると、主制御部４２は第２搬送機構ＴＲ２のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５３がこの位置指令に基づいて第２搬送機構ＴＲ２のモーターを駆動する。

これにより、図５（ｂ）に示されるように、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔが、第１ストッカー３６に回収される。このとき、新たに第１ストッカー３６に貯められるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目となるように回収される。

こうしてトレイ３０Ｔの回収が行われると、主制御部４２は第１搬送機構ＴＲ１のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５２がこの位置指令に基づいて第１搬送機構ＴＲ１のモーターを駆動する。これにより、図５（ｃ）に示されるように、第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔが、第１トレイ保持部３４に搬送される。

そして、主制御部４２は第３搬送機構ＴＲ３のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５４がこの位置指令に基づいて第３搬送機構ＴＲ３のモーターを駆動する。これにより、図５（ｃ）に示されるように、第２ストッカー３７のトレイ３０Ｔが、第２トレイ保持部３５に供給される。このとき、第２トレイ保持部３５に供給されるトレイ３０Ｔは、第２ストッカー３７に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目のトレイ３０Ｔである。

パネル回収モードでは、こうした一連の処理が、第２の処理装置２０での処理が再開されるまで、あるいは、第１搬送部１３からのパネルＳの搬出が終了するまで、またあるいは、全てのトレイ３０ＴにパネルＳが収容されるまで繰り返される。そして、第２の処理装置２０での処理が再開されると、パネルＳの収容されたトレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に貯められた状態で通常搬送モードでのパネルＳの搬送が行われる。

［パネル供給モード］
搬送装置３０での動作モードがパネル供給モードに選択されている場合、第２の処理装置２０での処理が再開され、第１の処理装置１０がパネルＳの供給待ちの状態になっている、あるいは、第１の処理装置１０での処理が停止している。そのため、第１制御装置１４は供給待ち信号若しくはＣＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力し、供給待ちの状態になっている若しくはＣＯＧ処理が停止していることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力されている。

これにより、主制御部４２はロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。その結果、図６（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ上に移動し、トレイ３０Ｔ上のパネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。

そして、主制御部４２は第３搬送機構ＴＲ３のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５４がこの位置指令に基づいて第３搬送機構ＴＲ３のモーターを駆動する。

これにより、図６（ａ）に示されるように、第２トレイ保持部３５に保持されている空きトレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に回収される。このとき、新たに第１ストッカー３６に貯められるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目となるように回収される。

続いて、主制御部４２は第１搬送機構ＴＲ１のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５２がこの位置指令に基づいて第１搬送機構ＴＲ１のモーターを駆動する。これにより、図６（ｂ）に示されるように、第１トレイ保持部３４に保持されている空きトレイ３０Ｔが第２トレイ保持部３５に搬入される。

そして、主制御部４２は第２搬送機構ＴＲ２のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５３がこの位置指令に基づいて第２搬送機構ＴＲ２のモーターを駆動する。

これにより、図６（ｂ）に示されるように、パネルＳが収容された状態で第１ストッカー３６に貯められたトレイ３０Ｔが、第１トレイ保持部３４に搬入される。このとき、第１トレイ保持部３４に搬入されるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目のトレイ３０Ｔである。

そして、主制御部４２はロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。これにより、図６（ｃ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔに収容されたパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。

そして、上述したパネル回収モードによって第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ及び第１ストッカー３６のトレイ３０Ｔに収容された全てのパネルＳが第２搬入部２２に搬入されると、搬送装置３０は、第１搬出部１３から新たなパネルＳが搬出されるまで待機する。なお、第１搬出部１３からパネルＳが搬出されたときには、搬送装置３０は、上述した通常搬送モードにてパネルＳの搬送を行う。

以上説明した実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）第２の処理装置２０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回る場合に、主制御部４２がパネル回収モードを選択し、これにより、搬送ロボット３２が第１の処理装置１０からトレイ３０ＴへのパネルＳの搬送を行うことで、トレイ３０ＴへのパネルＳの回収が行われる。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第１の処理装置１０から搬出されるパネルＳを第２の処理装置２０へ搬送する搬送装置３０によって処理装置１０，２０の稼働効率を高めることが可能となる。

（２）第１の処理装置１０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回る場合に、主制御部４２がパネル供給モードを選択し、搬送ロボット３２が、トレイ３０Ｔから第２の処理装置２０へのパネルＳの搬送を行うことによって、第２の処理装置２０へのパネルＳの供給が行われる。そのため、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第１の処理装置１０から搬出されるパネルＳを第２の処理装置２０へ搬送する搬送装置３０によって処理装置１０，２０の稼働効率を高めることが可能となる。

（３）第２の処理装置２０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回り、且つ第１トレイ保持部３４のトレイ３０ＴにパネルＳが収容された場合に、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に収容されることで、トレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に回収される。加えて、第２ストッカー３７の空きトレイ３０Ｔが、第２トレイ保持部３５を介して第１トレイ保持部３４に搬出されることで、第１トレイ保持部３４にトレイ３０Ｔが供給される。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回る場合において、第１トレイ保持部３４のトレイ３０ＴがパネルＳで満たされることで第１の処理装置１０からパネルＳが回収され難くなることを抑えられる。

（４）第１の処理装置１０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回り、且つ第２トレイ保持部３５のトレイ３０ＴにパネルＳが収容されていない場合に、第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に収容されることで、トレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に回収される。加えて、第１ストッカー３６のトレイ３０Ｔが第１トレイ保持部３４に搬出されることで、第１トレイ保持部３４にトレイ３０Ｔが供給される。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回る場合において、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔから第２の処理装置２０へパネルＳを供給できなくなることを抑えられる。

（５）搬送ロボット３２の動作の制御と、第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の動作の制御との両方が単一の搬送制御装置４１によって制御される。そのため、搬送ロボット３２の動作を制御するための制御装置と、ストッカー３６，３７の動作を制御するための制御装置とが各別に搭載される場合と比べて、制御装置の搭載される空間を小さくすることができる。

なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・上述の実施形態は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０のいずれかが停止することによって、稼働中の処理装置における処理速度が相対的に大きくなる場合に、動作モードが変更される構成であって、動作モード選択処理は、いずれかの処理装置１０，２０の停止時に行われる割り込み処理としている。こうした構成に限らず、稼働中の処理装置１０，２０における単位時間あたりの処理速度に基づいて動作モードが変更される構成であってもよく、この場合、動作モード選択処理は、所定の周期で行うようにすればよい。以下、こうした動作モード選択処理の手順について図７を参照して説明する。

図７に示されるように、主制御部４２は、まず、搬送装置データの読み出しを行う（ステップＳ２１）。このステップＳ２１では、主制御部４２が、上述したパネルＳの数量に関するデータとトレイ３０Ｔの数量に関するデータとに加えて、第１の処理装置１０において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量である処理数Ｎ１と、第２の処理装置２０において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量である処理数Ｎ２とを記憶部４４から読み出す。

なお、処理数Ｎ１，Ｎ２は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０の各々において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量が計測されたものであってもよいし、各処理装置１０，２０での処理条件から推定されたものであってもよい。また、第１制御装置１４及び第２制御装置２４は、処理数Ｎ１，Ｎ２を所定の周期で算出して搬送制御装置４１の通信用入出力部４６に算出結果を出力し、主制御部４２は、通信用入出力部４６から取得した処理数Ｎ１，Ｎ２を記憶部４４に出力する。

そして、主制御部４２は、処理数Ｎ１から処理数Ｎ２を引いた差と所定の閾値Ｎａ，Ｎｂとの関係を判断する（ステップＳ２２、ステップＳ２３）。上述した差が閾値Ｎａ以下であり（ステップＳ２２：ＮＯ）、且つ、閾値Ｎｂ以上であるときには（ステップＳ２３：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第１搬出部１３から第２搬入部２２までの１つのパネルＳの搬送にかかる時間は、一般に、第１の処理装置１０で１つのパネルＳの処理に要する時間や第２の処理装置２０で１つのパネルＳの処理に要する時間と比べて十分に短いため、閾値Ｎａ及び閾値Ｎｂはそれぞれ「０」に設定される。

他方、主制御部４２は、上述の差が閾値Ｎａ以下、且つ閾値Ｎｂより小さい、つまり、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理速度を上回っていると判断すると（ステップＳ２２：ＮＯ、ステップＳ２３：ＹＥＳ）、主制御部４２は、搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに回収されたパネルＳがあるか否かを判断する（ステップＳ２４）。ここで、回収されたパネルＳがない場合には（ステップＳ２４：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルＳがある場合には（ステップＳ２４：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更し（ステップＳ２５）、動作モード選択処理を終了する。

そして、主制御部４２は、上述の差が閾値Ｎａよりも大きい、つまり、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回っていると判断すると（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、主制御部４２は、搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上に空きトレイ３０Ｔがあるか否かを判断する（ステップＳ２６）。ここで、空きトレイ３０Ｔがない場合には（ステップＳ２６：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ３０Ｔがある場合には（ステップＳ２６：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更し（ステップＳ２７）、動作モード選択処理を終了する。

・上述の搬送システムでは、搬送ロボット３２によって、第１搬出部１３からパネルＳが搬出されないと第１の処理装置１０が待機状態となり、他方、第２搬入部２２にパネルＳが搬入されないと第２の処理装置２０が待機状態となる。ここで、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間での単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を処理数Ｎｔとする。また、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間で１つのパネルＳの搬送にかかる時間が、各処理装置１０，２０で１つのパネルＳの処理にかかる時間と比べて無視できない程度の長さであるとする。

この場合、第１速度Ｖ１が、搬送速度Ｖｔと第２速度Ｖ２との和よりも大きくなると、第１の処理装置１０での処理の終了時に第１搬出部１３からパネルＳが搬出されなくなり、第１の処理装置１０に待機時間が発生することになる。他方、第２速度Ｖ２が、第１速度Ｖ１と搬送速度Ｖｔとの和よりも大きくなると、第２の処理装置２０での処理が開始できるときに第２搬入部２２にパネルＳが搬入されなくなり、第２の処理装置２０に待機時間が発生することになる。

そこで、上述した通常搬送モードにてパネルＳの搬送が行われるためには、第１速度Ｖ１、第２速度Ｖ２、及び搬送速度Ｖｔの間に以下の関係が成り立つことが必要とされる。
Ｖ２−Ｖｔ≦Ｖ１≦Ｖ２＋Ｖｔ

したがって、搬送時間が無視できない程度に長い場合には、図７に示される閾値ＮａをＶｔとし、第１速度Ｖ１から第２速度Ｖ２を引いた差が、搬送速度Ｖｔよりも大きいときには、動作モードをパネル回収モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。また、閾値Ｎｂを−Ｖｔとし、第１速度Ｖ１から第２速度Ｖ２を引いた差が、−Ｖｔよりも小さいときには、動作モードをパネル供給モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。

・主制御部４２は、通信用入出力部４６を介して上述の処理数Ｎ１及び処理数Ｎ２を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Ｎａよりも大きいときに、図７に示されるステップ２４及びステップＳ２５の処理、つまり、パネル回収モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。

・主制御部４２は、通信用入出力部４６を介して上述の処理数Ｎ１及び処理数Ｎ２を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Ｎｂよりも小さいときに、図７に示されるステップ２６及びステップＳ２７の処理、つまり、パネル供給モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。

・第２の処理装置２０での処理速度が、第１の処理装置１０での処理速度を上回り、且つ、トレイ３０ＴにパネルＳが収容されていても、トレイ３０Ｔから第２搬入部２２へのパネルＳの搬入を行わなくともよい。こうした構成であっても、上記（１）、（３）、及び（４）に準じた効果を得ることができる。

・第１ストッカー３６、及び第２ストッカー３７を割愛してもよい。こうした構成であっても、上記（１）、（２）、及び（４）に準じた効果を得ることができる。
・パネル回収モードでは、トレイ３０Ｔに対するパネルＳの収容、パネルＳが収容されたトレイ３０Ｔの回収、及び空トレイ３０Ｔの供給が行われるようにしたが、トレイ３０Ｔに対するパネルＳの収容のみを行い、トレイ３０Ｔの回収と空トレイ３０Ｔの供給とはパネル回収モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記（１）、（２）、及び（４）に準じた効果が得られるとともに、１回のパネル回収モードでの搬送によって１枚のトレイ３０Ｔに対してパネルＳが収容できる分だけ、処理装置１０，２０の稼働効率を高めることは可能である。

・パネル供給モードでは、トレイ３０ＴからのパネルＳの供給、空トレイ３０Ｔの回収、及びパネルＳを保持したトレイ３０Ｔの供給が行われるようにしたが、トレイ３０Ｔからのパネルの供給のみを行い、空トレイ３０Ｔの回収、及びトレイ３０Ｔの供給とはパネル供給モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記（１）、〜（３）に準じた効果が得られるとともに、１回のパネル供給モードでの搬送によって１枚のトレイ３０Ｔに収容されたパネルＳを供給できる分だけ、処理装置１０，２０の稼働効率を高めることは可能である。

・搬送ロボット３２の動作を制御する制御部と、第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の動作を制御するストッカー制御部とを単一の搬送制御装置４１として具体化したが、制御部とストッカー制御部とを互いに異なる２つの制御装置として具体化してもよい。

・第１の処理装置１０にて行われる処理と、第２の処理装置２０にて行われる処理とは、ＣＯＧ処理とＦＯＧ処理とに限らない。要は、対象物であるパネルＳに対して所定の処理を行う装置であって、第１の処理装置１０にて前工程の処理が行われ、且つ、第２の処理装置にて後工程の処理が行われれば、各処理装置１０にて行われる処理の種類は任意に変更可能である。

・第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０は、パネルＳに対して同一の処理を行う処理装置であってもよい。
・第１トレイ保持部３４及び第２トレイ保持部３５のいずれかが割愛された構成であってもよい。

・第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の少なくとも１つが割愛された構成であってもよい。
・搬送システムでの搬送対象は、上述したパネルＳに限らず、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間に配置された搬送装置３０によって搬送される対象物であればよい。

１０…第１の処理装置、１１…第１処理部、１２…第１搬入部、１３…第１搬出部、１４…第１制御装置、２０…第２の処理装置、２１…第２処理部、２２…第２搬入部、２３…第２搬出部、２４…第２制御装置、３０…搬送装置、３０Ｔ…トレイ、３１…搬送部、３１Ｓ…搬送ステージ、３２…搬送ロボット、３２Ｍ…ロボットモーター、３３…撮像装置、３４…第１トレイ保持部、３５…第２トレイ保持部、３６…第１ストッカー、３７…第２ストッカー、４１…搬送制御装置、４２…主制御部、４３…副制御部、４４…記憶部、４４Ａ…パネル数量データ記憶部、４４Ｂ…トレイ数量データ記憶部、４５…モーター用入出力部、４６…通信用入出力部、Ｓ…パネル、ＴＲ１…第１搬送機構、ＴＲ２…第２搬送機構、ＴＲ３…第３搬送機構。

Claims (7)

1. 第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送する搬送ロボットと、
   前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、
   前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、
   前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、
   前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、
   前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、
   前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第１の処理装置から前記トレイへ搬送させることを特徴とする搬送装置。
2. 前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きい場合に、
   前記制御部が、
   前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第２の処理装置へ搬送させる
   請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記対象物が収容されているトレイを貯める第１ストッカーと、
   前記対象物が収容されていないトレイを貯める第２ストッカーと、
   前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、
   前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、
   前記ストッカー制御部が、
   前記第１ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、
   前記第２ストッカーに該第２ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる
   請求項１又は２に記載の搬送装置。
4. 前記ストッカー制御部は、前記制御部に含まれる
   請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、
   前記ストッカー制御部が、
   前記第２ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、
   前記第１ストッカーに該第１ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる
   請求項３又は４に記載の搬送装置。
6. 対象物に対して第１の工程の処理を行う第１の処理装置と、
   前記対象物に対して第２の工程の処理を行う第２の処理装置と、
   前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、
   前記搬送装置が、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置である
   ことを特徴とする搬送システム。
7. 第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送ロボットにより搬送させる搬送方法であって、
   前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、
   前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、
   前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、
   前記搬送ロボットが前記対象物を前記第１の処理装置からトレイへ搬送する
   ことを特徴とする搬送方法。