TWI290067B - Discharge apparatus, material application method, manufacturing method for color filter substrate, manufacturing method for electroluminescence display apparatus, manufacturing method for plasma display apparatus, and wiring manufacturing method - Google Patents

Description

1290067 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關將具有流動性的材 體）的噴出裝置，及材料塗佈方法，特別是有關適合於彩 - 色滤光基板等的製造之噴出裝置’及材料塗佈方法。 【先前技術】 鲁 使用知衫色濃光片’電激發光顯示裝置等的製造之噴 墨裝置爲習知（例如專利文獻1 )。 〔專利文獻1〕特開2002-221616號公報 【發明內容】 (發明所欲解決的課題）

具有流動性的材料或液狀的材料是包含供以對應塗佈 的材料賦予流動性的溶媒。因此，爲了將所望的厚度的材 料（溶液中的溶質，分散於溶媒的物質）設置於被噴出 部，而所必要的液狀材料的體積有時會超過被噴出部所能 接受的體積。此情況，噴墨裝置會縮小在1次的主掃描的 期間内噴出至被噴出部的液狀材料的液滴的體積，且將主 掃描的次數形成複數次，而使液狀的材料不會從被噴出部 溢出。如此一來，在被噴出部中，藉由液狀材料的噴出而 増加之溶媒的每單位時間的體積要比從液狀材料氣化之溶 媒的每單位時間的體積更小。 但，上述方法中，由於對一個被噴出部進行複數次主 (2) 1290067 掃描，因此塗佈工程花時間。 本發明是有鑑於上述課題而硏發者，其目的是在於縮 短塗佈工程的時間。 、 (用以解決課題的手段） 本發明的噴出裝置係具備：

載物台，其係承載被噴出部位於沿著X軸方向的第1 範圍内的基體； 第1噴出噴頭部，其係以複數個第1噴出噴嘴能夠分 布於上述第1範圍中之方式來構成； 第2噴出噴頭部，其係以複數個第2噴出噴嘴能夠分 布於上述第1範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方 向的Y軸方向上，只離開上述第1噴出噴頭部一第1距 離’且位置會針對上述第1噴出噴頭部來予以固定；及 掃描部，其係使上述第1噴出噴頭部及上述第2噴出 噴頭部的一組及承載上述基體的上述載物台的至少一方對 另一方相對移動於上述Y軸方向。 然後，藉由往上述Y軸方向的相對移動，當上述複數 個第1噴出噴嘴的至少一個到達對應於上述被噴出部的區 域時’以具有流動性的材料能夠被塗佈於上述被噴出部之 方式，由上述至少一個第1噴出噴嘴來噴出上述材料的第 1液滴， 藉由往上述Y軸方向的相對移動，當上述複數個第2 噴出噴嘴的至少一個到達對應於上述被噴出部的區域時， -6 - (3) 1290067 以上述材料能夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述至 ^ 個第2噴出噴嘴來噴出上述材料的第2液滴。 藉由上述構成而取得的效果之一，是在1個掃描期間 (例如’往載物台的Y軸方向之〗次的相對移動）中，不 ^ 曰有彳皮被噴出部溢出多餘的液狀材料的情況，可塗佈所必 _ 要的體積的材料（溶質及被分散的物質）。因此，可縮短 塗佈工程所必要的時間。 ^ 本發明的一形態，複數個上述被噴出部會位於上述第 1範圍中’藉由上述相對移動，當上述複數個第1噴出噴 嘴分別到達對應於上述複數個被噴出部的區域時，以上述 材料能夠被塗佈於各個被噴出部之方式，由所對應之第] 噴出噴嘴來噴出上述第1液滴，藉由上述相對移動，當上 述複數個第2噴出噴嘴分別到達對應於上述複數個被噴出 部的區域時，以上述材料能夠被塗佈於各上述複數個被噴 出部之方式，由所對應之上述第2噴出噴嘴來噴出上述第 ：φ 2液滴。 : 藉由上述構成而取得的效果之一，是在1個掃描期間 (例如，往載物台1 06的Υ軸方向之1次的相對移動） 中’可於一個基體（例如，之後形成彩色濾光片基板的基 板）的複數個被噴出部分別塗佈所望量的體積的液狀材 料。 本發明的一形態，上述掃描部係使京載-土嘗基體的上 述載物台移動於上述Υ軸方向的一方向。 藉由上述構成而取得的效果之一，是來自第1噴出噴 (4) 1290067 頭部及第2噴出噴頭部的液狀材料的噴出安定。第1噴出 噴頭部及第2噴出噴頭部不必對噴出裝置移動，因此不會 有對液狀材料的液滴的噴出造成影響的振動產生。 最好上述掃描部係使承載上述基體的上述載物台以大 致等速度移動。 藉由上述構成而取得的效果之一，是可容易控制液狀 材料的噴出時序。 最好上述掃描部係使上述載物台在上述γ軸方向從第 1位置移動至第2位置，當上述載物台位於第丨位置時， 上述基體會承載於上述載物台，至上述載物台到達第2位 置爲止’完成對上述基體的全體的上述被噴出部的上述材 料之塗佈。 藉由上述構成而取得的效果之一，是可直線狀配置複 數個噴出裝置。 本發明的材料塗佈方法，其特徵係包含：

步驟A ’其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第1範 圍内的基體承載於載物台； 步驟B，其係針對第1噴出噴頭部及第2噴出噴頭 部，使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 Y軸方向的一方向，該第1噴出噴頭部係以複數個第1噴 出噴嘴能夠分布於上述第1範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方向的γ軸方 向上’只離開上述第1噴出噴頭部一第1距離，且位置會 冬 (5) 1290067 針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟C，其係上述複數個第1噴出噴嘴的~個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以具有流動性的材料能夠被 塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1噴出噴嘴來 噴出上述材料的第1液滴；及 步驟D，其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以上述材料能夠被塗佈於上

述被噴出部之方式，由上述一個第2噴出噴嘴來噴出上述 材料的第2液滴。 藉由上述構成而取得的效果之一，是在1個掃描期間 (例如’往載物台的γ軸方向之1次的相對移動）中，不 會有從被噴出部溢出多餘的液狀材料的情況，可塗佈所必 要體積的材料（溶質及被分散的物質）。因此，可縮短塗 佈工程所必要的時間。 本發明可以各種的形態來實施，例如可以彩色濾光基 丰反的製造方法’電激發光顯示裝置的製造方法，電漿顯示 裝置的製造方法，或配線製造方法的形態來實施。 【實施方式】 (貫J也形態1 ) 以下’以下記的順序來説明本實施形態。 A·噴出裝置的全體構成 B ·噴頭 c·控制部 (6) 1290067 D·噴出噴頭部 E.塗佈工程 (A.噴出裝置的全體構成） 圖1所不的噴出裝置10〇具備：2個槽l〇iA，101B， 管11〇A ’管110B，及噴出掃描部102。槽101A，101B皆 儲存液狀的材料i i〗。管n〇A，u〇B是分別從槽i〇1 a，

1 0 1 B來供給液狀的材料1 1 1至噴出掃描部1 02。 噴出掃描部1 0 2具備：載物台1 0 6，第1噴出噴頭部 103A ’第2噴出噴頭部1〇3b，掃描部，大規模載物台 G S，及控制部1 1 2。 第1噴出噴頭部〗〇 3 A及第2噴出噴頭部1 0 3 B皆以能 夠朝向載物台1 〇6側噴出液狀的材料n〗的液滴之方式構 成。第1噴出噴頭部103A與第2噴出噴頭部10 3B是互相 於Y軸方向僅離特定的距離Y K。並且，第2噴出噴頭部 103B的位置對第1噴出噴頭部103A的位置而言爲固定。 而且，掃描部是使第1噴出噴頭部1 〇 3 A及第2噴出噴頭 部1 0 3 B的組與載物台的至少一方對他方相對移動於γ軸 方向。 在此，本說明書的 Y軸方向是和第1噴出噴頭部 M3A及第2噴出噴頭部103B與載物台106的其中一方對 另一方相對移動的方向一致。並且，在本說明書中，Z軸 方向是第1噴出噴頭部1 〇 3 A及第2噴出噴頭部1 〇 3 B噴出 液狀材料1 1 1的液滴的方向，在本實施形態中是與地球的 -10 - (7) (7)

1290067 重力加速度的方向一致。χ軸方向是與如此的γ軸方 ζ軸方向皆垂直的方向。又，規定X軸方向，Υ軸方 及Ζ軸方向的ΧΥΖ座標系的假想性原點是被固定於 裝置100的基準部份。 又，本說明書中，X座標，Υ座標，及ζ座標爲 座標系的座標。另外，上述假想的原點並非僅基準部 亦可固定於載物台1 〇 6，或固定於第1噴出噴頭部 或第2噴出噴頭部103Β。 本實施形態中，掃描部具有位置控制裝置1 0 8， 支持構造體ΜΑ，及第2支持構造體14Β。 位置控制裝置1 0 8是使載物台1 〇 6。本實施形態 位置控制裝置1 08是按照來自控制部1 1 2的信號，沿 軸方向來使載物台1 0 6移動。又，位置控制裝置1 〇 8 有使載物台1 〇 6旋轉於與Ζ軸平行的軸的周圍之機能 更具體而言，位置控制裝置〗〇 8具備：延伸於Υ 向的一對線性馬達，延伸於Υ軸方向的一對Υ軸導車 軸空氣滑塊，及Θ台。一對線性馬達及一對γ軸導軌 於大規模載物台GS上。另一方面，γ軸空氣滑塊是 動支持於一對Υ軸導軌。又，Υ軸空氣滑塊是藉由一 性馬達的作動來沿著一對Υ軸導軌而移動於γ軸方 由於Υ軸空氣滑塊是經由Θ台來連結至載物台1 〇 6 面，因此載物台1 06會與Υ軸空氣滑塊一起移動於 方向。Θ台具有馬達，使載物台！ 〇 6旋轉於與ζ軸平 軸的周圍。 向及 向， 噴出 XYZ 份， 1 03 A 第1 中， 著Y 亦具 〇 軸方 L，Y 是位 可移 對線 向。 的背 γ軸 行的 -11 - (8) (8)

1290067 第1支持構造體14A是支持第1噴出噴頭部 更具體而言，第1支持構造體14A是以第1噴出 103A能夠在Z軸方向只離大規模載物台GS特定的 方式，保持第1噴出噴頭部103A。另一方面’第 構造體14B是支持第2噴出噴頭部103B。更具體 第2支持構造體14B是以第2噴出噴頭部103 B能 軸方向只離大規模載物台GS特定的距離之方式， 1噴出噴頭部1 〇 3 A。 第1支持構造體14A及第2支持構造體14B是 有2個支持部，及藉由2個支持部來予以支持的固 2個支持部是以能夠在大規模載物台GS上夾著載物 之方式位置，且分別延伸於Z軸方向。固定部是以 大規模載物台GS取距離來位於Z軸方向之方式， 2個支持部。又，固定部是以第1噴出噴頭部103A 噴出噴頭部1 0 3 B的噴出噴嘴1 1 8 T (圖2 )能夠朝 模載物台GS側之方式，保持第1噴出噴頭部1 〇3 A 噴出噴頭部103 B。 第1支持構造體1 4 A的固定部亦具有使第1噴 部1 0 3 A旋轉於與Z軸方向平行的軸的周圍之自由 自由度是在進行第1噴出噴頭部1 〇 3 A的微調整 用。但，在後述的噴出工程被進行的期間，固定部 1噴出噴頭部1 〇 3 A不會旋轉的方式來固定第〗噴 部103A。第2支持構造體MB的固定部也是與第 構造體I 4 A同樣固定第2噴出噴頭部1 〇 3 B。 1 03 A 〇 噴頭部 距離之 2支持 而言， 夠在Z 保持第 分別具 定部。 丨台106 能夠從 連結至 或第2 向大規 或第2 出噴頭 度。此 時被活 是以第 出噴頭 1支持 -12- (9) 1290067

本實施形態中，第1支持構造體1 4 A及第2支持構造 體14B的位置爲固定於大規模載物台GS (或噴出裝置 100)。因此，第1噴出噴頭部103A的位置及第2噴出噴 頭部1 03B的位置皆爲固定於大規模載物台GS。由於第1 噴出噴頭部103A及第2噴出噴頭部103B皆爲固定於同樣 的基準，因此第1噴出噴頭部1〇3A與第2噴出噴頭部 1 0 3 B的相對位置關係爲一定。所以，第2噴出噴頭部 103B的位置對第1噴出噴頭部i〇3A的位置而言爲固定。 本實施形態中，第1噴出噴頭部1 0 3 A及第2噴出噴 頭部1〇3 B對噴出裝置而言爲固定。另一方面，載物台 1 0 6會移動於Y軸方向。藉此，第1噴出噴頭部1 〇 3 A及 第2噴出噴頭部103B對載物台1〇6的相對位置會變化。 若如此的構成，則只要使第1噴出噴頭部10 3 A，第2噴 出噴頭部1 〇 3 B静止即可，因此後述的噴頭1 1 4可安定地 噴出液狀的材料1 1 1。這是因爲噴頭1 1 1 4不移動，所以不 會因噴頭1 1 4的移動而產生振動，其結果多餘的振動不會 傳達至噴頭11 4内的液狀的材料；[n。 (B ·噴頭） 圖2所示的噴頭114爲第1噴出噴頭部ι〇3Α及第2 噴出噴頭部1 0 3 B所具有的複數個噴頭的一個。圖2是表 示噴頭1 1 4的底面。噴頭丨丨4具有排列於X軸方向的複數 個噴嘴1 1 8。該等複數個噴嘴i i 8是配置成噴頭1 1 4的X 軸方向的噴嘴間距HXP約形成70μιη。在此，「噴頭1 I4 > 13- (10) 1290067 的X軸方向的噴嘴間距HXP」是相當於從與X軸方向正 交的方向來將噴頭π 4的所有噴嘴1 1 8射像於X軸上而取 得的複數個噴嘴像間的間距。

本實施形態中，噴頭1 1 4的複數個噴嘴1 1 8皆是形成 延伸於X軸方向的噴嘴列1 1 6A及噴嘴列1 1 6B。噴嘴列 1 1 6 A與噴嘴列1 1 6 B是相鄰於Y軸方向。而且，分別在噴 嘴列1 1 6A及噴嘴列1 16B中，90個噴嘴1 1 8會以一定間 隔來一列排列於X軸方向。本實施形態中，此一定間隔約 爲140μιη。亦即，噴嘴列1 16A的噴嘴間距LNP及噴嘴列 1 16Β的噴嘴間距LNP皆約140μηι。 噴嘴列1 1 6Β的位置對噴嘴列1 1 6Α的位置而言，僅以 噴嘴間距LNP的一半長度（約7〇μιη )來偏移於X軸方向 的正方向（圖2的右方向）。因此’噴頭1 1 4的X軸方向 的噴嘴間距ΗΧΡ爲噴嘴列1 16Α (或噴嘴列1 16Β )的噴嘴 間距LN Ρ的一半長度（約7 0 μιη )。 因此，噴頭1 14的X軸方向的噴嘴線密度爲噴嘴列 1 16Α (或噴嘴列1 16Β )的噴嘴線密度的2倍。本說明售 中所謂「X軸方向的噴嘴線密度」是相當於從與X軸方向 正交的方向來將複數個噴嘴射像於X軸上而取得的複數個 噴嘴像的每單位長度的數値。 當然，含噴頭1 1 4的噴嘴列的數量並非限於2個。噴 頭1 14亦可含Μ個的噴嘴列。在此，Μ爲1以上的自然 數。當噴頭1 14爲含Μ個的噴嘴列時，分別在Μ個的噴 嘴列中，複數個噴嘴1 1 8是以噴嘴間距ΗΧΡ的Μ倍的長 -14- (11) 1290067 度的間距來排列。當μ爲2以上的自然數時，對Μ個噴 嘴列的其中一個而言，其他的（Μ - 1 )個噴嘴列是僅以噴 嘴間距ΗΧΡ的i倍的長度來無重複偏移於X軸方向。在 此，i爲1〜（M-1 )的自然數。

又，由於噴嘴列1 16A及噴嘴列1 16B是分別由90個 噴嘴1 1 8所構成，因此1個噴頭1 14具有1 8 0個噴嘴 1 1 8。但，噴嘴列1 1 6 A的兩端各5噴嘴爲設定成「休止噴 嘴」。同樣的，噴嘴列1 1 6B的兩端各5噴嘴亦設定成 「休止噴嘴」。不會從該等20個的「休止噴嘴」噴出液 狀的材料1 1 1。因此，在噴頭1 1 4的1 8 0個噴嘴1 1 8中， 160個噴嘴118具有作爲噴出液狀材料111的噴嘴118之 機能。本說明書中，將該等1 60個噴嘴1 1 8 .表記爲「噴出 噴嘴1 1 8 T」。 另外，1個噴頭1 1 4的噴嘴1 1 8的數量並非限於1 8 〇 個。亦可於1個噴頭1 14設置3 6 0個噴嘴。此情況，只要 噴嘴列116A及116B分別由180個噴嘴118構成即可。並 且，在本發明中，噴出噴嘴1 18T的數量並非限於 16〇 個。亦可於1個噴頭1 14中具有P個的噴出噴嘴。在此， P只要是2以上的自然數，噴頭1 14的全噴嘴數以下即 可。 本說明書中，爲了說明噴頭1 1 4間的相對位置關係， 而將各個噴頭1 14的160個噴出噴嘴1丨8T中，X座標最 小的噴出噴嘴118Τ表記爲「第1基準噴嘴M8R1」。同 時將160個噴出噴嘴丨18T中，χ座標最大的噴出噴嘴 -15- (12) 1290067

1 1 8 T表記爲「第2基準噴嘴1 1 8 R2」。就圖2的情況而 言，從噴嘴列1 1 6 Α的左邊算起第6個噴嘴1 1 8爲X座標 最小的噴出噴嘴 1 1 8 T，因此該噴嘴爲第 1基準噴嘴 1 1 8 R 1。另一方面，從噴嘴列11 6 B的右邊算起第6個噴嘴 1 1 8爲X座標最大的噴出噴嘴1 1 8 T ’因此該噴嘴爲第2基 準噴嘴118R2。對所有的噴頭114而言，只要「第1基準 噴嘴1 1 8 R 1」與「第2基準噴嘴1 1 8 R2」組的指定方式相 同即可，「第1基準噴嘴118R1」的位置及「第2基準噴 嘴1 1 8R2」的位置亦可不爲上述位置（圖2的位置）。 如圖3(a)及（b)所示，各個噴頭114爲噴墨噴 頭。更具體而言，各個噴頭1 1 4具備振動板1 2 6及噴嘴板 128。在振動板126與噴嘴板128之間設有蓄液池129，從 槽1 0 1 A或槽1 0 1 B (圖1 )經由孔1 3 1來供給的液狀材料 1 1 1會經常被充塡於該蓄液池1 2 9。 並且，在振動板1 2 6與噴嘴板1 2 8之間設有複數個隔 壁1 2 2。而且，由振動板1 2 6，噴嘴板1 2 8及1對的隔壁 122所圍繞的部份爲凹穴120。由於凹穴120是對應於噴 嘴1 1 8來設置，因此凹穴1 2 0的數量與噴嘴1 1 8的數量相 同。在凹穴120中會經由位於1對隔壁122間的供給口 130來從蓄液池129供給液狀的材料1 1 1。 在振動板1 2 6上，對應於各個凹穴1 2 0而設有振動子 124。振動子124包含壓電元件124C，及夾著壓電元件 124C的1對電極124A，124B。在該1對電極124A， 1 2 4 B之間賦予驅動電壓下，從所對應的噴嘴丨丨8來噴出 - 16- (13) 1290067 液狀材料Hi。另外，以能夠從噴嘴118噴出液狀材料 111於Z軸方向的方式，調整噴嘴丨丨8的形狀。 在此，本說明書中所謂「液狀材料n丨」是意指可從 噴嘴噴出具有黏度的材料。此情況，無論材料爲水性或油 性皆可。只要是具備可從噴嘴噴出的流動性（黏度），即 使混入固體物質，全體亦爲流動體即可。

控制部1 1 2 (圖1 )亦可爲分別獨立賦予信號給複數 個振動子1 24的構成。亦即，從噴嘴〗〗8噴出的材料ij 的體積’可按照來自控制部1 1 2的信號，對每個噴嘴i i 8 進行控制。此情況，分別從噴嘴1 1 8噴出的材料」1 i的體 積可改變於〇Pl〜42pl之間。又，控制部U2，如後述， 可設定塗佈掃描之間進行噴出動作的噴嘴1 ][ 8及不進行_ 出動作的噴嘴1 1 8。 本I兌明書中’有時亦將包含1個噴嘴1 1 8，及對應方々 噴嘴1 1 8的凹穴120，以及對應於凹穴120的振動子124 之部份表記爲「噴出部1 27」。按此表記，i個噴頭1 i 4 具有與噴嘴1 1 8的數量相同數量的噴出部1 2 7。噴出部 1 2 7亦可取代壓電元件，而具有電熱變換元件。亦即，噴 出部1 2 7具有利用電熱變換元件的材料的熱膨脹來噴出材 料的構成。 (C ·控制部） 其次，說明控制部1 12的構成。如圖4所示，控制部 1 1 2具備··輸入緩衝記億體200，記憶手段202，處理部 -17- (14) 1290067 2 04，鈿描驅動部2〇6，及噴頭驅動部2〇8。緩衝記憶體 2 02與處理部204可互相通信連接。處理部2〇4與記憶手 段2 02可互相通信連接。處理部2〇4與掃描驅動部2〇6可 互相通連接。處理部2〇4與噴頭驅動部2〇可互相通信 • 連接。又，掃描驅動部2 〇 6可與位置控制裝置1 〇 8互相通 , 彳§連接。同樣的，噴頭驅動部2 0 8可分別與複數個噴頭 1 1 4互相通信連接。 # 輸入緩衝記憶體2 0 0會從外部資訊處理裝置接受供以 進行液狀材料1 1 1的液滴的噴出之噴出資料。噴出資料包 含：顯示基體上的所有被噴出部的相對位置的資料，及顯 不在所有被噴出部將液狀的材料〗i i塗佈至所望的厚度時 所需的噴出次數的資料，及指定休止噴嘴的資料，及指定 噴出噴嘴Π 8T中進行噴出的噴嘴的資料，及指定噴出噴 嘴1 1 8T中不進行噴出的噴嘴的資料。輸入緩衝記憶體 2 0 0會將噴出資料供應給處理部2 〇 4，處理部2 〇 4會將曈 .馨 出資料儲存於記憶手段2 0 2。在圖4中，記憶手段2 〇 2爲 - RAM。 處理部2 0 4是根據記憶手段2 0 2内的噴出資料來賦予 顯不噴嘴1 1 8對被噴出部的相對位置的資料給掃描驅動部 2〇6。掃描驅動部206會將對應於該資料及後述的噴出週 期EP (圖5 )的驅動信號給予位置控制裝置丨〇 8。其結 果，噴頭1 1 4會對被噴出部相對掃描。另一方面，處理部 2 〇4會根據記憶於記憶手段2 02的噴出資料及噴出週期Ep 來將指定各噴出時序的噴嘴1 1 8的開啓關閉的選擇信號 -18- (15) 1290067 S C給予噴頭驅動部2 〇 8。噴頭驅動部2 〇 8會根據選擇信號 sc來將液狀材料丨〗〗的噴出時所需的噴出信號Es給予噴 頭1 1 4。其結果，液狀材料n〗的液滴會從噴頭〗〗*的對 應噴嘴1 1 8噴出。 • 控制部1 12亦可爲含CPU，ROM，RAM，及匯流排的 ， 電腦。此情況，控制部1 1 2的上述機能可藉由電腦所執行 的軟體程式來實現。當然，控制部丨〗2可藉由用的電路 φ (硬體）來實現。 其次’說明控制部1 12之噴頭驅動部208的構成及機 倉b 。 如圖5 ( a )所示，噴頭驅動部2 〇 8具有1個驅動信號 產生部203及複數個類比開關AS。如圖5(b)所示..，驅 動信號產生部203會產生驅動信號DS。驅動信號DS的電 位會針對基準電位L作時間性變化。具體而言，驅動信號 D S包含重複噴出週期EP的複數個噴出波形P。在此，爲 ：φ 了從噴嘴1 1 8來噴出1個液滴，噴出波形Ρ會對應於應該 • 施加於所對應的振動子1 2 4的一對電極間的驅動電壓波 形。 驅動信號DS會被供給至類比開關AS的各個輸入端 子。類比開關AS是分別對應於各噴出部1 27來設置。亦 即，類比開關AS的數量與噴出部1 27的數量（亦即噴嘴 1 1 8的數量）相同。 處理部204會將顯示噴嘴1 1 8的開啓 關閉的選擇信 號SC給予各個類比開關AS。在此，選擇信號SC (圖5 -19- (16) 1290067

的S C 1〜S C 7 )是在每個類比開關A S獨立取得高位準及低 位準的其中一個狀態。另一方面，類比開關A S會按照驅 動信號DS與選擇信號SC來供給噴出信號ES (圖5的 ESI〜ES7 )至振動子124的電極124A。具體而言，當選 捧信號SC爲高位準時，類比開關AS會傳播作爲噴出信 號ES的驅動信號DS至電極124A。另一方面，當選擇信 號SC爲低位準時，類比開關AS所輸出的噴出信號ES的 電位會形成基準電位L。若在振動子124的電極124 A被 賦予驅動信號D S，則會從對應於該振動子1 2 4的噴嘴1 1 8 來噴出液狀的材料1 1 1。並且，在各個振動子1 2 4的電極 124B被賦予基準電位L。 圖5 ( b)所示的例子是分別在2個噴出信號ESI， ES2中能以噴出週期ep的2倍週期2EP出現噴出波形P 的方式，分別於在2個選擇信號SCI，SC2中設定有高位 準的期間及低位準的期間。藉此，分別從所對應的2個噴 嘴11 8以週期2EP來噴出液狀的材料1 1 1。並且，在對應 於該等2個噴嘴1丨8的各個振動子；! 24中，來自共通.的驅 動信號產生部2 03的共通驅動信號DS會被並列地賦予。 因此，液狀的材料1 1 1會大致以相同時序從2個噴嘴1 1 8 噴出。 另一方面，在選擇信號SCI，SC2形成高位準的期 間’圖5 ( b )之選擇信號S C 3的位準依然被維持於低位 準’因此在所對應的噴出信號ES3中不會出現噴出波形 P °具體而言，噴出信號ES3會被維持於基準位準L。因 -20- (17) (17)

1290067 此，即使是在驅動信號D S中出現噴出波形p 是不會從對應於選擇信號S C 3的噴嘴1 1 8來噴 料 1 1 1。 藉由以上的構成，噴出裝置1 00可按照 1 1 2的噴出資料來進行液狀的材料n i的塗佈界 (D .噴出噴頭部） 如圖6所示，第1噴出噴頭部ι〇3Α是在 以特定的距離Y K離開第2噴出噴頭部1 〇 3 B 況，第1噴出噴頭部10 3 A的Y座標是比第2 1 0 3 B的Y座標更大。另外，上述特定的距離 噴出噴頭部1 〇 3 A中具有最大Y座標的噴嘴列 噴頭部1 03B中具有最大Y座標的噴嘴列之間ί 首先，說明第1噴出噴頭部103Α之噴頭 位置關係。 複數個噴頭1 1 4是分別構成延伸於X軸方 頭列HL。3個噴頭列是相鄰於Υ軸方向。在 H L中，同數的噴頭1 1 4會以一定的間隔排列。 爲了便於説明，將圖6的最下側的噴頭列 的複數個噴頭1 1 4，予以從圖6的左側開始依 頭All，噴頭Αι2，噴頭Α13’〜Α1Ν。又’將[ 的噴頭列HL中所含的噴頭1 1 4，予以從圖6 表記成噴頭A21，噴頭Α22，噴頭Α23，〜Α2Ν 6的最上側的噴頭列HL中所含的複數個噴頭1 的時序，還 出液狀的材 賦予控制部 $描。 Y軸方向只 。圖6的情 噴出噴頭部 YK是第1 與第2噴出 J距離。 1 14的相對 向的3個噴 各個噴頭列 HL中所含 次表記成噴 E 6的正中 的左側開始 。又，將圖 1 4，予以從 -21 - (18) 1290067 圖6的左邊開始表記成噴頭A31，噴頭A32，噴頭A33，〜 A3N。在此，N爲正的整數，表示噴頭列中所含的噴頭1 1 4 的數量。

噴頭A21的第1基準噴嘴118R1的位置是由噴頭Au 的第2基準噴嘴118R2的位置起，僅噴嘴間距HXP (大略 70μηι)的長度偏移於X軸方向的正方向（圖 6的右方 向）。噴頭A31的第1基準噴嘴1 1 8R1的位置是由噴頭 A21的第2基準噴嘴118R2的位置起，僅噴嘴間距HXP (大略 70 μπι )的長度偏移於X軸方向的正方向。噴頭 Α12的第1基準噴嘴118R1的位置是由噴頭A31的第2基 準噴嘴1 1 8R2的位置起，僅噴嘴間距HXP (大略70μηι ) 的長度偏移於X軸方向的正方向。 又，第1噴出噴頭部103Α之其他噴頭間的相對位置 關係亦與上述噴頭Ah，噴頭A21，噴頭A31，噴頭Α】2之 間的相對位置關係同樣。 以上，在第1範圍EXT中，噴出噴嘴118Τ是分布成 X軸方向的噴嘴間距爲噴嘴間距HXP。在此所謂的「第1 範圍EXT」是本實施形態中沿著X軸方向的範圍，爲第1 噴出噴頭部103A中位於最外側的2個噴出噴嘴1 18T之間 所規定的範圍。但，第1範圍EXT亦包含位於該等最外 側的2個噴出噴嘴1 18T。 其次，爲了便於説明，將第2噴出噴頭部103B的噴 頭1 14表記爲噴頭】〜B3N。第2噴出噴頭部103B之噴 頭B; !〜B3N的配置圖案是與第1噴出噴頭部103A之噴頭 -22 - (19) (19)

1290067 噴頭A η〜Asn的配置圖案相同。亦即，第2噴出噴 103B的噴出噴嘴118丁的配置圖案與第1噴出噴 103A的噴出噴嘴！ 18Τ的配置圖案相同。 以上，在第2噴出噴頭部103Β中，同樣第1 ΕΧΤ中，噴出噴嘴〗18Τ是分布成X軸方向的噴嘴間 噴嘴間距ΗΧΡ。又，具有共通的X座標的2個噴出 118Τ會各一個位於第1噴出噴頭部103Α與第2噴出 部 1 0 3 Β。 (Ε ·塗佈工程） 一邊參照圖7及圖8，一邊說明本實施形態的塗 程，亦即在條紋狀的被噴出部1 8 L塗佈液狀的材料} 工程。 在本實施形態的噴出裝置1〇〇中，載物台106是 個基體1 〇 L上的被噴出部1 8 L塗佈液狀的材料1 1 1的 (塗佈工程）時，從接受區域往取出區域，1次移動 軸方向。 當載物台1 〇 6位於接受區域時，藉由第1自動裝 叉部，應塗佈液狀材料1 1 1的基體1 0L會被承載於載 106上。此刻，基體10L會對噴出裝置100定位，而 紋狀的被噴出部1 8 L的長度方向能夠一致於X軸方向 基體1 0 L對噴出裝置1 0 0定位之後，載物台1 0 6會從 區域往取出區域’開始移動於Y軸方向。 然後，第1噴出噴頭部1 03 A會通過對應於被噴 頭部 頭部 範圍 距爲 噴嘴 噴頭 佈工 1 1之 在1 工程 於γ 置的 物台 使條 。在 接受 出部 -23- (20) 1290067 18L的區域。在第1噴出噴頭部103A通過對應於被噴出 部HL的區域的期間内’第丨噴出噴頭部1〇3A會分別從 _ 噴出噴嘴U8T來噴出液狀材料ηι的第i = 部I其結果’在第!範圍EXT内，液狀材 * '滴會分別著落於以噴嘴間距HXP所排列的複數個著落位 置。者落後的液滴會分別從各個著落位置擴散。 如此一來，如圖7 ( a )所示，液狀的材料」〗〗會被充 φ 塡於被噴出部18L。從第1噴出噴頭部103 A通過對應於 被噴出部18L的區域之後，到第2噴出噴頭部i〇3B侵入 對應於該被噴出部1 8 L的區域爲止，液狀的材料1〗丨中所 含的溶媒會揮發’而僅所欲塗佈的材料（藉由溶質或溶媒 所被分散的材料）會殘留於被噴出部1 8 L。其結果，姐圖 7 ( b )所示’被噴出部1 8 L之液狀的材料〗〗i的體積會減 少。 第1噴出噴頭部103A通過對應於被噴出部18L的區 ：· 域之後，第2噴出噴頭部103B會通過對應於被噴出部 ； 18L的區域。在第2噴出噴頭部l〇3B通過對應於被噴出 部1 8L的區域的期間内，第2噴出噴頭部} 〇3 b會分別從 噴出噴嘴1 1 8T來噴出液狀的材料〗丨〗的第2液滴至被噴 出部1 8L。其結果，在第1範圍Εχτ内，液狀的材料1 j j 的液滴會分別著落於以噴嘴間距HXP所排列的複數個著 落位置。根據第2噴出噴頭部1 〇 3 B的複數個著落位置是 與根據第1噴出噴頭部1 〇 3 A的複數個著落位置大略相 同。著落後的液滴會分別從各個著落位置擴散。其結果， -24 - (21) 1290067 被噴出部1 8L的全體會被液狀的材料n〗所覆蓋。 其結果，如圖7 ( c )所示，再度，液狀的材料i丨丨會 被充塡於被噴出部18L。然後，使噴出於被噴出部l8L的 液狀的材料1 1 1乾燥，藉由汽化液狀的材料n〗的溶媒， 如圖7 ( d )所不，必要的體積的材料會被塗佈於被噴出部 1 8L。

第2噴出噴頭部103B通過對應於被噴出部18L的區 域之後，載物台1 0 6會到達取出區域而停止。然後，藉由 第2自動裝置的2個叉部，從載物台1 0 6取出經過塗佈工 程後的基體10L。 其次’更具體顯不圖7的工程。如圖8所不，載物台 1 06會移動於 γ軸方向。如此一來，第1·.噴出噴頭部 1 03 A之第1列的噴頭列HL中所含的複數個噴頭1 14的噴 嘴列116A會到達對應於被噴出部18L的區域。然後，該 等的噴頭114的噴嘴列11 6A會往被噴出部18L噴出液狀 材料Π 1的第1液滴。藉此，如圖8的標記A1的右側所 示，複數個第1液滴會著落於被噴出部1 8L上以噴嘴間距 LNP (約1 4 0μηι )所排列的複數個著落位置SBD。著落後 的液滴會從著落位置SBD擴散。 在此，於圖8的標記A1的右側’只有對應於噴嘴列 116A的兩端的噴出噴嘴118T之著落位置SBD會以黒色實 心圓圈顯示，對應於其他噴出噴嘴1 1 8 T之著落位置S B D 的圖示會被省略。在以下的標記A2〜A12中，同樣的， 只有所對應的噴嘴列的兩端的噴出噴嘴1 1 8 T之著落位置 -25- (22) 1290067 S B D會作爲代表的著落位置S B D而圖示。

其次，第1列的噴頭列HL中所含的複數個噴頭1】4 的噴嘴列1 1 6B會到達對應於被噴出部1 8L的區域。然 後，該等的噴嘴列116B會往被噴出部18L噴出液狀材料 1 1 1的第1液滴。藉此，如圖8的標記A2的右側所示， 在被噴出部18L上以噴嘴間距LNP (約14〇μιη)所排列的 複數個著落位置SBD分別有第1液滴著落。但，噴嘴列 116Α之著落位置SBD與噴嘴列116Β之著落位置SBD會 僅大略偏移 7〇μηι。因此，藉由噴嘴列 1 16Α與噴嘴列 1 1 6Β，在被噴出部1 8L上以噴嘴間距ΗΧΡ的間隔所排列 的複數個著落位置SBD分別有第1液滴著落。 然後，從第2個噴頭列HL中所含的噴頭1 14及第3 個噴頭列中所含的噴頭1 1 4，同樣也會噴出液狀材料1 1 1 的第1液滴。藉此，在被噴出部1 8 L的第1範圍內，以噴 嘴間距HXP所排列的複數個著落位置SBD分別有液狀材 料1 1 1的第1液滴著落（圖8的標記A 3〜A 6 )。 其次，第2噴出噴頭部1 〇 3 B會到達對應於被噴出部 18L的區域。第2噴出噴頭部l〇3B之噴出噴嘴丨18ΊΓ的配 置圖案是與第1噴出噴頭部1 03Α之噴出噴嘴1 1 8Τ的配置 圖案相同。因此，在與對應於第1噴出噴頭部103 Α之著 落位置S B D相同的著落位置LB D上會有液狀材料n〗的 第2液滴著落（圖8的標記A 7〜A 1 2 ) ° 藉由如此的塗佈工程，載物台1 06可僅1次移動於Y 軸方向，在被噴出部1 8 L塗佈所望體積的液狀材料1 1 1。 >26- (23) 1290067 液狀的材料1 1 1是包含溶媒，而能夠取得所望的流動 性。因此，對應於應塗佈於被噴出部1 8L的特定材料（溶 質及藉由溶媒而分散的材料）的體積之液狀材料丨丨丨的體 積會比被噴出部1 8L所能接受的體積更大。此情況，在1 個掃描期間内可噴出於被噴出部的液狀材料1 1〗的體積金 受限。因此，此情況，對被噴出部而言，需要複數個掃描 期間，其結果，塗佈工程更花時間。

若利甩本實施形態，則於1個掃描期間（例如從載物 台1 0 6的始點到終點沿著γ軸方向之i次的相對移動） 中’第1噴出噴頭部1 03 A與第2噴出噴頭部！ 〇 3 b會取時 間間隔來互相重疊於被噴出部1 8 L的相同位置。在此，從 第1噴出噴頭部103A噴出液滴至被噴出部18L的時間點 到第2噴出噴頭部103B噴出液滴至該被噴出部18L的時 間點之間’溶媒會從先著落的液狀材料i丨i氣化，而使得 液狀材料1 1 1的體積會収縮。根據以上構成，即使來自一 個噴頭的液滴體積小，還是可以在1個掃描期間内將更多 的液滴噴出於被噴出部1 8 L的相同位置。而且，在1個掃 描期間内，不會使液狀材料1 1 1從被噴出部1 8 L溢出，可 將必要量的液狀材料1 1 1塗佈於被噴出部〗8 L。 上述條紋狀的被噴出部1 8L的例子之一，是供以在電 子機器中形成金屬配線的部份。因此，本實施形態的噴出 裝置1 0 0可藉由噴出液狀的配線材料來適用於製造電子機 器的金屬配線之配線製造裝置。例如，可適用於在後述的 電漿顯示裝置5 0 (圖2 5〜2 6 )的支持基板5 2上形成位址 -27- (24) 1290067 電極5 4的配線製造裝置。 (實施形態2 )

本實施形態的噴出裝置的構成，除了第1噴出噴頭部 103C之噴出噴嘴118T的配置圖案，及第2噴出噴頭部 1 0 3 D之噴出噴嘴1 1 8 T的配置圖案與實施形態1的配置圖 案不同以外，其餘則與實施形態1的噴出裝置1 〇〇的構成 相同。 如圖9及圖10所示，第1噴出噴頭部103C是在Y軸 方向上只離第2噴出噴頭部103D —特定的距離YK。圖9 的情況，第1噴出噴頭部1 〇 3 C的Y座標是比第2噴出噴 頭部1 03D :的Y座標更大。另外，上述特定的距離YK亦 爲第1噴出噴頭部1 〇 3 C中具有最大的Y座標的噴嘴列與 第2噴出噴頭部1 03 B中具有最大的Y座標的噴嘴列之間 的距離。 以下，首先說明第1噴出噴頭部1 〇3 C之噴頭1 1 4的 相對位置關係。 如圖9所示，第1噴出噴頭部l〇3C具有複數個噴頭 群1 1 4 G。複數個噴頭群1 1 4 G是構成延伸於X軸方向的1 列。 各個噴頭群1 1 4 G是由相鄰於γ軸方向的4個噴頭 1 1 4所構成。又，以噴頭群1 1 4 G的X軸方向的噴嘴間距 GXP能夠形成噴頭1 1 4的X軸方向的噴嘴間距ΗΧΡ的1 /4 倍的長度之方式，在噴頭群1 1 4中配置4個噴頭1 1 4。更 -28- (25) (25)

1290067 具體而言，在噴頭群114G中，對1個噴頭114的 準噴嘴1 1 8 R 1的X座標而言，其他噴頭1 1 4的第1 嘴 U8R1的X座標會僅以噴嘴間距HXP的jM 度，無重複偏置於X軸方向。在此，j爲1〜3的自 因此，噴頭群1 1 4 G的X軸方向的噴嘴間距GXP爲 距HXP的1/4倍。 在本實施形態中，因爲噴頭1 1 4的X軸方向的 距HXP約爲70μπι，所以噴頭群1 14G的X軸方向 間距GXP爲其1/4倍，約1 7·5μιη。在此，「噴頭· 的X軸方向的噴嘴間距GXP」是相當於使噴頭群] 噴嘴1 1 8全體從與X軸方向正交的方向來射像於 而取得的複數個噴嘴像間的間距。 當然，噴頭群114G所含的噴頭114的數量並 4個。噴頭群 1 14 G亦可由Ν個的噴頭 1 14來構 此，Ν爲2以上的自然數。當噴頭群1 14G是由Ν 頭1 1 4所構成時，是以噴嘴間距GXP能夠形成噴 ΗΧΡ的1/Ν倍的長度之方式，在噴頭群1 14G中配 的噴頭1 1 4即可。或，對Ν個噴頭1 1 4的一個第1 嘴1 18R1的X座標而言，其他（Ν-1 )個噴頭Π4 噴嘴 118的 X座標只要以噴嘴間距ΗΧΡ的j/N 度，無重複偏移即可。此情況，j爲1〜（Ν-1 ) 數。 以下，更具體説明本實施形態的噴頭1 1 4的相 關係。 第 1基 基準噴 倍的長 然數。 噴嘴間 噴嘴間 的噴嘴 詳 1 1 4G [1 4G 的 X軸上 非限於 成。在 個的噴 嘴間距 置N個 基準噴 的基準 倍的長 的自然 對位置 -29 - (26) 1290067 首先，爲了便於説明，而將圖9及圖1 〇的最左側的 噴頭群U4G中所含的4個噴頭114由上而下分別表記爲 噴頭1 1 4 1，噴頭1 1 4 2，噴頭1 1 4 3，噴頭1 1 4 4。同樣將圖 9及圖10的左邊第2個噴頭群H4G中所含的4個噴頭 1 1 4由上而下分別表記爲噴頭 1 1 4 5，噴頭 1 1 4 6，噴頭 1147，噴頭 1148° 又，如圖 1 〇所示，將噴頭 1 1 4 1的噴嘴列 1 1 6 A， 1 1 6B表記爲噴嘴列 1A，1B，將噴頭 1 142的噴嘴列 1 16A，1 16B表記爲噴嘴列2A，2B，將噴頭1 143的噴嘴 列1 16A，1 16B表示爲噴嘴列3A，3B，將噴頭1 144的噴 嘴列1 1 6A，1 16B表記爲噴嘴列4A ’ 4B。同樣的，將噴頭 i !45的噴嘴列1 16A，1 16B表記爲墳嘴列5A ’ 5B，將噴 頭1140的噴嘴列116A，116B表記爲噴嘴列6A，6B，將 晴頭1 1 4 7的噴嘴列1 1 6 A，1 1 6 B表g己爲噴嘴列7 A 7 B 將噴頭1148的噴嘴列116A, 116B表記爲噴嘴列8A， 8B ° 該等噴嘴列1A〜8B分別實際由90個噴嘴n8所構 成。又，如上述，分別在噴嘴列1A〜8B中’該等9〇個噴 嘴是排歹m X軸方向。但’在圖10中爲了便於説明’各 噹嘴列1A〜8B會被描繪成由4個噴出噴嘴118T (噴嘴 ;18)所構成。並且，在圖9及圖10中’噴嘴列1Α的最 左的噴嘴1 1 8爲噴頭1 1 4 1的第1基準噴11角1 1 8R 1 ’噴11角 列2A的最左的噴嘴118爲噴頭⑴2的第1基準噴嘴 11SR1，噴嘴列3A的最左的噴嘴118爲噴頭1143的第1 -30- (27) 1290067 基準噴嘴 1 18R1，噴嘴列 4A的最左的噴嘴 1 18爲噴頭 1 144的第 1基準噴嘴1 1 8R1，噴嘴列 5A的最左的噴嘴 118爲噴頭1145的第1基準噴嘴118R1。另外，圖9及圖 10的左方向爲X軸方向的負方向。 噴頭1 1 4 1的第1基準噴嘴1 1 8 R 1的X座標與噴頭 1 142的第1基準噴嘴1 18R1的X座標的差的絶對値是噴 嘴間距LNP的1/4倍的長度，亦即噴嘴間距HXP的1/2 倍的長度。在圖9及圖1 0的例子中，噴頭1 1 4 1的第1基 準噴嘴1 18R1的位置對噴頭1 142的第1基準噴嘴1 18R1 的位置而言，僅噴嘴間距LNP的1 /4倍的長度偏移於X軸 方向的負方向（圖9及圖1〇的左方向）。但，噴頭1141 對噴頭1 1 4 2的偏移方向亦可爲X軸方向的正方向（圖9 及圖1 0的右方向）。

噴頭1143的第1基準噴嘴118R1的X座標與噴頭 1 144的第1基準噴嘴1 1 8R1的X座標的差的絶對値爲噴 嘴間距LNP的1/4倍的長度，亦即噴嘴間距HXP的1/2 倍的長度。在圖9及圖1 0的例子中，噴頭1 1 4 3的第1基 準噴嘴1 18R1的位置對噴頭1 144的第1基準噴嘴1 18R1 的位置而言，僅噴嘴間距LNP的1 /4倍的長度偏移於X軸 方向的負方向（圖9及圖10的左方向）。但，噴頭1143 對噴頭1144的偏移方向亦可爲X軸方向的正方向（圖9 及圖1 0的右方向）。 噴頭1142的第1基準噴嘴U8R1的X座標與噴頭 1 1 4 3的第1基準噴嘴1 1 8 R 1的X座標的差的絶對値爲噴 -31 - (28) (28)

1290067 嘴間距LN P的1 / 8倍或3 / 8倍的長度，亦即噴嘴間 的1 / 4倍或3 /4倍的長度。在圖9及圖1 0的例子中 1 142的第1基準噴嘴} 18R1的位置對噴頭} 143的 準噴嘴118R1的位置而言，僅噴嘴間距LNP的1以 1 7 · 5 μπι偏移於X軸方向的正方向（圖9及圖1 〇 向）。但，噴頭1 1 4 2對噴頭1 1 4 3的偏移方向亦可 方向的負方向（圖9及圖10的左方向）。 在本實施形態中，噴頭 1 1 4 1，1 1 4 2，1 1 4 3，1 依此順序來往Υ軸方向的負方向（圖面的下方向） 但，配列於Υ軸方向的該等4個噴頭1 1 4的順序亦 本實施形態的順序。具體而言，只要噴頭 1141 1 142相鄰於Υ軸方向，且噴頭1 143與噴頭1 144 Υ軸方向即可。 根據上述配置，噴嘴列2 Α的最左的噴嘴1 1 8 I 標，及噴嘴列3 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標，以 列4 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標會位於噴嘴列1 左的噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴列1 B的最左的噴嘴 X座標之間。同樣的，噴嘴列2B的最左的噴嘴1 1 座標，及噴嘴列3 B的最左的噴嘴1 1 8的X座標， 嘴列4B的最左的噴嘴1 1 8的X座標會位於噴嘴歹11 最左的噴嘴Π 8的X座標與噴嘴列1 A的左邊第2 1 1 8的X座標之間。同樣的，在噴嘴列1A的其 1 1 8的X座標與噴嘴列1 B的其他噴嘴1 1 8的X座 亦有噴嘴列2 A (或2 B )的噴嘴1 1 8的X座標， 距HXP ，噴頭 第1基 ;，亦即 的右方 爲X軸 144會 排列。 可非爲 與噴頭 相鄰於 的X座 及噴嘴 A的最 1 1 8的 8的X 以及噴 1B的 個噴嘴 他噴嘴 標之間 噴嘴列 -32- (29) 1290067 3 A (或3 B )的噴嘴1 1 8的X座標，噴嘴列4 A (或4 B ) 的噴嘴1 1 8的X座標位置。 ， 更具體而言，根據上述噴頭的配置，噴嘴列1B的最

左的噴嘴1 1 8的X座標是大致位於噴嘴列1 A的最左的噴 • 嘴1 1 8的X座標與噴嘴列1 A的左邊第2個噴嘴1 1 8的X 座標的中間。又，噴嘴列2 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標 是大致位於噴嘴列1 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴 φ 列1 B的最左的噴嘴1 1 8的X座標的中間。噴嘴列2 B的 最左的噴嘴1 1 8的X座標是大致位於噴嘴列1 A的左邊第 2個噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴列1 B的最左的噴嘴1 1 8的 X座標的中間。噴嘴列3 A的最左的噴嘴1 1 8的X座彳示疋 大致位於噴嘴列1 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴列 2 A的最左的噴嘴1 1 8的X座標的中間。噴嘴列3 B的最左 的噴嘴1 1 8的X座標是大致位於噴嘴列1 B的最左的噴嘴 1 1 8的X座標與噴嘴列2 B的最左的噴嘴1 1 8的X座標的 ；φ 中間。噴嘴列4Α的最左的噴嘴1 1 8的X座標是大致位於 ’ 噴嘴列1 B的最左的噴嘴1 1 8的X座標與噴噠列2 A的最 左的噴嘴1 1 8的X座標的中間。噴嘴列4B的取左的噴口角 118的X座標是大致位於噴嘴列1A的左邊第2個噴嘴 1 1 8的X座標與噴嘴列2B的最左的噴嘴Π 8的X座標的 中間。 圖9及圖1 〇的左邊第2個噴頭群1 14 〇的噴頌 1145 ， 1146 ， 1147 ， 1148 的配置亦與噴頭 1141 ’ 1142 ’ 1 1 4 3，1 1 4 4的配置同樣。 -33- (30) 1290067 其次，根據噴頭1 1 45與噴頭1 1 4 1之間的相對位置關 係來説明相鄰於X軸方向的2個噴頭群1 1 4 G之間的相對 位置關係。

噴頭1145的第1基準噴嘴 n8Ri的位置是從噴頭 1 1 4 1的第1基準噴嘴1 1 8 R 1的位置起，僅以噴頭1 1 4的X 軸方向的噴嘴間距HXP與噴頭1 1 4的噴出噴嘴1 1 8 T的數 量的積之長度來偏移於X軸方向的正方向。在本實施形態 中，噴嘴間距HXP約爲70 μπι，且1個噴頭1 14的噴出噴 嘴1 1 8 Τ的數量爲1 6 0個，因此噴頭1 1 4 5的第1基準噴嘴 1 1 8 R 1的位置從噴頭1 1 4 1的第1基準噴嘴1 1 8 R 1的位置 起僅以1 1.2mm ( 70μιηχ 1 60 )的距離來偏移於X軸方向的 正方向。但，在谓 9及圖10中，爲了便於説明，噴頭 1 1 4 1的噴出噴嘴1 1 8 Τ的數量爲8個，因此噴頭1 1 4 5的 第1基準噴嘴1 1 8R1的位置從噴頭1 141的基準噴嘴1 1 41 的位置起僅偏移5 6 0 μ m ( 7 0 μ m X 8 )。 由於噴頭U41與噴頭1 145會如上述那樣配置，因此 噴嘴列1 Α的最右的噴出噴嘴1 1 8 Τ的X座標與噴嘴列5 A 的最左的噴出噴嘴1 1 8 T的X座標是僅偏移噴嘴間距 LNP。所以，2個噴頭群1 14G全體的X軸方向的噴嘴間 距爲噴頭1 1 4的X軸方向的噴嘴間距HXP的1 /4倍。

在第1噴出噴頭部1 03 C中，相鄰於Y軸方向的其他 4個噴頭Π 4間的相對位置關係是與上述4個噴頭1 1 4間 的相對位置關係相同。又，相鄰於X軸方向的其他2個噴 頭群Π 4 G間的相對位置關係亦與上述2個噴頭群1 1 4 G -34- (31) 1290067 間的相對位置關係相同。

根據上述，在第1範圍EXT中，噴出噴嘴U8T是分 布成X軸方向的噴嘴間距爲噴嘴間距HXP的大略1 /4倍 的長度，亦即1 7 · 5 μπι。在此所謂的「第1範圍EXT」是 本實施形態中沿著X軸方向的範圍，爲第1噴出噴頭部 103C中位於最外側的2個噴出噴嘴1 18T之間所規定的範 圍。但，第1範圍EXT亦包含位於該等最外側的2個噴 出噴嘴1 1 8 T。 如圖9所示，第2噴出噴頭部1 0 3 D之噴頭1 1 4的配 置圖案是與第1噴出噴頭部1 03 C之噴頭1 1 4 (圖1 〇中 1 1 4 1〜1 1 4 8 )的配置圖案相同。亦即，第 2噴出噴頭部 103D的噴出.噴嘴 U8T的配置圖案與第 1噴出噴頭部 1 0 3 C的噴出噴嘴1 1 8 T的配置圖案相同。 根據上述，同樣的第2噴出噴頭部103D中，在第1 範圍EXT中，噴出噴嘴1 18T是分布成X軸方向的噴嘴間 距爲噴嘴間距HXP的大略1 /4倍的長度。又，具有共通的 X座標的2個噴出噴嘴1 1 8T會分別位於第〗噴出噴頭部 1 0 3 C與第2噴出噴頭部1 〇 3 D。 本實施形態的塗佈工程爲說明在條紋狀的被噴出部塗 佈液狀的材料1 1 1的工程。 在本貫施形態的噴出裝置1〇〇中，載物台1〇6是在1 個基體上的被噴出部塗佈液狀的材料n〗的工程（塗佈工 程）時’從接受區域往取出區域來1次移動於Y軸方向。 虽載物台1 0 6位於接受區域時，應被塗佈液狀材料的 -35- (32) 1290067 基體會藉由第1自動裝置的叉部來承載至載物台1〇6上。 此刻，基體會針對噴出裝置1 00定位，而使條紋狀的被噴 出部的長度方向能夠一致於X軸方向。在基體對噴出裝置 I 0 0定位之後’載物台1 0 6會從接受區域往取出區域，開 始移動於Y軸方向。

然後，第1噴出噴頭部1 03 C會通過對應於被噴出部 的區域。在第1噴出噴頭部1 〇 3 C通過對應於被噴出部的 區域的期間内’第1噴出噴頭部1 〇 3 C會分別從噴出噴嘴 II 8T來對被噴出部噴出液狀材料的第1液滴。其結果， 在第1範圍EXT内，分別於以噴嘴間距hxp的1/4倍所 排列的複數個者落位置，著落液狀材料的第1液滴。著落 後的第1液滴會分別從各個著落位置擴散。 第1噴出噴頭部103C通過對應於被噴出部的區域之 後’第2噴出噴頭部103D會通過對應於被噴出部的區 域。在第2噴出噴頭部〗〇 3 D通過對應於被噴出部的區域 的期間内，第2噴出噴頭部1 〇 3 D會分別從噴出噴嘴1 1 8 T 對被噴出部噴出液狀材料的第2液滴。其結果，在第1範 圍EXT内，分別於以噴嘴間距Ηχρ的丨/4倍所排列的複 數個著落位置，著落液狀材料的第2液滴。根據第2噴出 噴頭部1 0 3 D的複數個著落位置是與根據第1噴出噴頭部 1 0 3 C的複數個著落位置大略相同。著落後的第2液滴會 分別從各個著落位置擴散。其結果，被噴出部的全體會被 液狀的材料所覆蓋。 在第2噴出噴頭部〗〇 3 D通過對應於被噴出部的區域 - 36- (33) 1290067 之後，載物台106會到達取出區域而停止。然後’經過塗 佈工程後的基體會藉由第2自動裝置的2個叉部來從載物 台106取出。 (實施形態3 )

本實施形態的噴出裝置的構成，除了第1噴出噴頭部 1 03E及第1噴出噴頭部103F之噴出噴嘴1 1 8T的配置圖 案與實施形態2的配置圖案不同以外，其餘則與實施形態 2的噴出裝置的構成相同。 在上述實施形態2的第1噴出噴頭部103E中’複數 個噴頭群1 1 4 G是構成延伸於X軸方向的一個列（圖9及 圖1 0 )。在本實施形態中，如圖1 1及圖1 2所示，複數個 噴頭群1 1 4G是構成分別延伸於X軸方向的複數個列GL (本實施形態中爲3列）。複數個列是相鄰於Y軸方向。 各個噴頭群1 1 4 G之4個噴頭1 1 4的相對位置關係是 與實施形態2所述的相對位置關係同樣。因此，各個噴頭 1 14G的X軸方向的噴嘴間距GXP爲噴嘴間距HXP的大略 1/4倍的長度。 如圖1 1及圖12所示，在第1噴出噴頭部1 03 E中， 上述實施形態2所述的噴頭群1 1 4G會被2次元配列。其 結果，第1噴出噴頭部1 03 E的全體X軸方向的噴嘴間距 爲噴嘴間距GXP，亦即噴嘴間距HXP的大略1/4倍的長 度。 爲了便於説明，將圖1 1的最上側的列中所含的噴頭 -37- (34) 1290067 群n 4G由圖1 1的左側往右側依次表記爲噴頭群Gi;，噴 頭群G〗2，噴頭群G〗3，〜噴頭群G 1 L。又，將圖1 1的中 間列中所含的噴頭群11 4G由圖1 1的左側往右側依次表記 爲噴頭群G21，噴頭群G22，噴頭群G23，〜噴頭群G2L。 又，將圖1 1的最下側的列中所含的噴頭群1 1 4 G由圖1 1 的左側往右側依次表記爲噴頭群G3!，噴頭群G3 2，噴頭 群G33，〜噴頭群G3L。又，L爲正的整數，表示列中所含 的噴頭群1 1 4的數量。圖1 1及圖1 2的左方向是X軸方向 的負方向。 又，各個噴頭群11 4 G中，將具有最小的X座標的噴 出噴嘴1 1 8 T表記爲第3基準噴嘴R3，將具有最大的X座 標的噴出噴嘴Π8Τ表記爲第4基準噴嘴R4。

如圖12所示，中間列的左端的噴頭群G2!之第3基 準噴嘴R3的位置是只離最上側列的左端的噴頭群G η的 第 4基準噴嘴R4位置一噴嘴間距 GXP的長度（大略 1 7 · 5 μ m )，來偏移於X軸方向的正方向。 另一方面，最下列的左端的噴頭群G3!的第3基準噴 嘴R3的位置是只離中間列的左端的噴頭群噴頭群G2 !的 第4基準噴嘴R4的位置一噴嘴間距GXP的長度（大略 1 7.5 μιη )，來偏移於X軸方向的正方向。 同樣的’最上側列的左邊第2個噴頭群G12的第3基 準噴嘴R3的位置是只離最下側列的左端的噴頭群g3 1的 第4基準噴嘴R4的位置一噴嘴間距GXP的長度（大略 17.5μηι )，來偏移於X軸方向的正方向。 - 38- (35) 1290067 第1噴出噴頭部1 03E的其他噴頭群之間的相對位置 關係亦與噴頭群G 1 1，G 2 1 ’ G 3 !，G 1 2的相對位置關係同 樣。因此，第1噴出噴頭部1 03E的全體的X軸方向的噴 嘴間距爲噴嘴間距GXP，亦即噴嘴間距HXP的大略1 /4倍 的長度。

根據上述，在第1範圍EXT中，噴出噴嘴1 18T是分 布成X軸方向的噴嘴間距爲噴嘴間距GXP。在此所謂的 「第1範圍EXT」是本實施形態中沿著X軸方向的範圍， 爲第1噴出噴頭部103E中位於最外側的2個噴出噴嘴 1 18T之間所規定的範圍。但，第1範圍EXT亦包含位於 該等最外側的2個噴出噴嘴1 1 8T。 第2噴出噴頭部1 〇 3 F具有與第1噴出噴頭部1 0 3 E的 噴頭群1 14的數量相同的噴頭群。又，第2噴出噴頭部 103F的複數個噴頭群114G之間的相對位置關係是與第1 噴出噴頭群的複數個噴頭群 H 4G之間的相對位置關係相 同。因此，第1噴出噴頭部103F的噴出噴嘴1 18T的配置 圖案與第1噴出噴頭部1 0 3 E的噴出噴嘴1 1 8 T的配置圖案 相同。 根據上述，具有共通的X座標的2個噴出噴嘴1 1 8 T 會分別位於第1噴出噴頭部103E與第 2噴出噴頭部 103F。並且，在第2噴出噴頭部103F中，亦於第1範圍 EXT中噴出噴嘴1 1 8T會分布成X軸方向的噴嘴間距爲噴 嘴間距GXP。 -39- (36) 1290067 (實施形態4 ) 以下，說明將本發明適用於彩色濾光基板的製造裝置 之例。 圖1 3 ( a )及（b )所示的基體1 0 A是經過後述的製 造裝置1 (圖14 )之處理來形成彩色濾光基板1 〇的基 板。基體1 0 A具有配置成矩陣狀的複數個被噴出部〗8R， 1 8G， 1 8B。

具體而言，基體1 0 A是包含：具有光透過性的支持基 板1 2，及形成於支持基板1 2上的黑矩陣1 4，及形成於黑 矩陣1 4上的間隔壁1 6。黑矩陣1 4是以具有遮光性的材料 來形成。又，黑矩陣14與黑矩陣1 4上的間隔壁1 6是以 能夠在支持基板1 2上規定矩陣狀的複數個光透過部份， 亦即矩陣狀的複數個畫素區域之方式來配置。 在各個畫素區域中’以支持基板12’黑矩陣14，及 間隔壁1 6所規定的凹部是對應於被噴出部1 8R，被噴出 部18G，被噴出部18B。被噴出部18R是應形成有只透過 紅色波長域的光線之濾光片層1 1 1 F R的區域，被噴出部 1 8G是應形成有只透過綠色波長域的光線之濾光片層 111FG的區域，被噴出部18B是應形成有只透過藍色波長 域的光線之濾光片層1 1 1 F B的區域。 圖1 3 ( b )所示的基體1 0 A是位於與X軸方向及Y軸 方向雙方平行的假想平面上。又，形成有複數個被噴出部 1 8 R，1 8 G，1 8 B的矩陣之行方向及列方向是分別與X軸方 向及Y軸方向平行。在基體1 〇 A中，被噴出部1 8R，被噴 -40- (37) 1290067 出部1 8G，及被噴出部1 8B是以此順序來週期性地排列於 Y軸方向。另一方面，被噴出部〗8 R彼此間是取特定的一 定間隔來1列地排列於X軸方向，又，被噴出部丨8 G彼 此間是取特定的一定間隔來1列地排列於X軸方向，又， 被噴出部1 8 B彼此間是取特定的一定間隔來1列地排列於 X軸方向。又，X軸方向及Y軸方向是互相正交。

另外，被噴出部1 8 R，1 8 G，1 8 G所分布於X軸方向 的範圍是限縮於第1範圍EXT内（圖9 ) 〇 被噴出部1 8R彼此間沿著γ軸方向的間隔LRY，亦 即間距是大略5 6 0 μηι。此間隔是與被噴出部〗8 〇彼此間沿 著Υ軸方向的間隔L G Υ相同，且亦與被噴出部〗8 Β彼此 間沿著Υ軸方向的間隔L Β Υ相同。又，被噴出部1 8 R的 平面像爲具有互相正交的長軸方向與短軸方向的形狀。在 本實施形態中，被噴出部1 1 8 R的平面像是以長邊及短邊 所定的大略矩形狀。具體而言，被噴出部〗8 r的γ軸方向 的長度大略ΙΟΟμηι，X軸方向的長度大略3〇〇μηι。被噴出 部1 8 G及被噴出部1 8 Β亦具有與被噴出部丨8 r相同形狀 大小。被噴出部彼此間的上述間隔及被噴出部的上述大小 是在4 0吋程度大小的高解析度電視中對應於同一色所對 應於的畫素區域彼此間的間隔及大小。 圖1 4所示的製造裝置1是分別針對圖1 3的基體1 〇 A 的被噴出部18R，18G，18B噴出所對應的彩色濾光片材 料之裝置。 具體而言，製造裝置1具備： -41 - (38)1290067

在被噴出部 噴出裝置100R 使被噴出部 燥裝置1 50R ; 在被噴出部 噴出裝置100G ; 使被噴出部 燥裝置1 5 0 G ; 在被噴出部 噴出裝置100B ; 使被噴出部 裝置1 5 0 B ; 18R的全體塗 1 8 R上的彩色 1 8 G的全體塗 1 8 G上的彩色 1 8 B的全體塗 1 8 B的彩色濾 佈彩色濾光片 濾光片材料j 佈彩色濾光片 濾光片材料1 佈彩色濾光片 光片材料η 1 才才料1 1 1 R的 11R乾燥的乾 材料1 1 1 G的 11G乾燥的乾 材料1 1 1 B的 B乾燥的乾燥 1 1 1 B再度加熱（後 對彩色濾光片材料1 1 1 R，1 1 1 G 烘烤）的烤爐160 ; 仕恨俊烘；的彩色濾光片材料1 1 1 R，1 i 1 G，1 1 i B的 -# 層的上面設置保護膜20的噴出裝置1〇〇c; ； 使保護膜20乾燥的乾燥裝置1 5 0C ;及 對被乾燥的保護膜20再度加熱，而使硬化的硬化裝 置 1 6 5。 又’製造裝置1亦具備依照噴出裝置100R，乾燥裝 置15〇R’噴出裝置i〇〇G，乾燥裝置U0G，噴出裝置 100B’乾燥裝置150B，噴出裝置1〇〇c，乾燥裝置150C， 硬化裝置1 65的順序來搬送基體1 0A的複數個搬送裝置 1 7 0。複數個搬送裝置丨7 〇分別具備：叉部，使叉部上下 -42- (39) 1290067 移動的驅動部，及自走部。 基本上，圖15的噴出裝置100R的構成是與實施形態 2的噴出裝置的構成相同。但，取代槽1 〇 1 A，1 0 1 B及管 110A ’ 110B，噴出裝置100R具備液狀的彩色濾光片材料 一 111R用的2個槽101R及2個管U0R的點是與噴出裝置 的構成不同。另外，在噴出裝置100R的構成要素 中’對與實施形態1的構成要素或實施形態2的構成要素 Φ 同樣者賦予相同的參照符號，且省略其重複的説明。 噴出裝置100G的構成，噴出裝置100B的構成，及噴 出裝置100C的構成，基本上皆與噴出裝置i〇〇R的構造相 同。但’噴出裝置100G具備彩色濾光片材料i ][ 1G用的 槽及管，來取代噴出裝置l〇〇R的槽101r及管n〇R的這 點’噴出裝置1 〇 〇 G的構成是與噴出裝置1 〇 〇 r的構成相 異。同樣的，噴出裝置1 00B具備彩色濾光片材料n丨b用 的槽及管’米取代槽i 〇 1 R及管1 1 0 R的這點，噴出裝置 -® 100B的構成是與噴出裝置100R的構成相異.。又，噴出裝 ； 置1〇〇C具備保護膜材料用的槽及管，來取代槽101R及管 110R的這點，噴出裝置1〇〇c的構成是與噴出裝置1〇〇r 的構成相異。另外，本實施形態之液狀的彩色濾光片材料 1 1 1 R，1 1 1 G，1 1 1 B乃爲本發明的液狀材料的一例。 其次’說明噴出裝置100R的動作。噴出裝置1〇〇R是 在基體10A上配置成矩陣狀的複數個被噴出部18r噴出同 一材料（亦即彩色濾光片材料！丨】R )。另外，如實施形 態5〜7中所述，基體1 〇 A亦可置換成電激發光顯示裝置 -43- (40) 1290067 用的基板，或置換成電漿顯示裝置用的背面基板，或者置 換成具備電子放出元件的畫像顯示裝置的基板。 圖16的基體10A是以被噴出部18R的長邊方向及短 邊方向能夠分別一致於X軸方向及Y軸方向的方式來保 持於載物台1 0 6。

首先，在掃描期間開始前，控制部1 1 2會按照噴出資 料，以幾個噴嘴1 1 8的X座標能夠位於被噴出部1 8R的X 座標範圍之方式，使第1噴出噴頭部103C及第2噴出噴 頭部103D，或噴頭群1 14G對基體10A相對移動於X軸 方向。所謂被噴出部1 8R的X座標範圍是以被噴出部1 8R 的兩端的X座標所定的範圍。在本實施形態中，被噴出部 1 8 R的長邊的長度約爲3 0 0 μηι，噴頭群1 1 4 G的X軸方向 的噴嘴間距GXP爲1 7·5μηι。因此，噴頭群1 14G的16個 或1 7個噴嘴1 1 8可進入1個被噴出部1 8 R的X座標範 圜。掃描期間内不會有彩色濾光片材料11 1 R從X座標範 圔外的噴嘴1 1 8噴出。 本實施形態中所謂的「掃描期間」，如圖3 3所示， 是意指第1噴出噴頭部103Ε的一邊沿著Υ軸方向從掃描 範圜134的一端Ε1 (或另一端Ε2 )到另一端Ε2 (或一端 Ε1 )，對載物台1 06進行1次相對移動的期間。所謂「掃 描範圍134」是意指爲了在基體10Α上全體的被噴出部 1 8 R塗佈材料，而第1噴出噴頭部1 〇 3 C及第2噴出噴頭 部1 0 3 D的組群對載物台1 〇 6相對移動的範圍，根據掃描 範圍1 3 4來覆蓋所有的被噴出部1 8 R。在本實施形態中， -44- (41) (41)

1290067 第1噴出噴頭部l〇3c及第2噴出噴頭部103D是在1 描期間内移動掃描範圍1 3 4。 另外，依情況，有時「掃描範圍」亦意指對載 1 〇 6相對移動1個噴嘴丨丨8 (圖2 )的範圍，或1個噴 1 16A ( 1 16B )(圖2 )相對移動的範圍，或者1個 1 1 4 (圖2 )相對移動的範圍。 又，所謂第1噴出噴頭部1 〇 3 C，第2噴出噴 103D，噴頭群114G (圖9)，噴頭114(圖2)，或 1 1 8 (圖 2 )相對移動是意指該等對載物台i 06， 1 〇A，或被噴出部1 8R的相對位置改變。因此，在本 書中，即使第 1噴出噴頭部 1 0 3 C，第 2噴出噴 1 0 3 D，噴.頭群1 1 4 G，噴頭1 1 4 '，或噴嘴1 1 8對噴出 10 0R静止，而僅載物台106移動時，依然表記成第 出噴頭部103C，第2噴出噴頭部103D，噴頭群114G 頭U 4，或噴嘴1 1 8對載物台1 0 6，基體1 0 A，或被 部1 8R相對移動。又，有時會將相對掃描或相對移動 料噴出的組合表記爲「塗佈掃描」。 控制部1 1 2是依每個噴出週期EP (圖5 ( b )) 數倍的時間間隔，以1個噴嘴1 1 8與排列於Y輪方向 噴出部1 8 R能夠重疊之方式來決定第1噴出噴頭部 及第2噴出噴頭部103D對載物台106之相對移動 度。如此一來，包含該1個噴嘴1 1 8的噴嘴列的其他 1 1 8也是依每個噴出週期E P的整數倍的時間間隔， 個被噴出部1 8R重疊。在本實施形態中，由於被噴 個掃 物台 嘴列 噴頭 頭部 噴嘴 基體 說明 頭部 裝置 1噴 ，噴 噴出 與材 的整 的被 1 03C 的速 噴嘴 與各 出部 -45- (42) 1290067 1 8 R的Y軸方向的間距爲Lr γ (圖1 3 ( b ))，因此若對 載物台106之第1噴出噴頭部l〇3C (或第2噴出噴頭部 103D )的相對移動速度爲 V，貝IJ V = LRY/ ( k EP )。在 此，k爲整數。又，因爲噴出週期EP大略一定，所以相 對移動的速度V爲等速。

若掃描期間開始，則從掃描範圍1 3 4的一端E1起往 Y軸方向的正方向（圖16的紙面上方向），載物台1〇6 會開始相對移動。如此一來，邊參照圖1 0邊説明的噴嘴 列 1A，IB，2A，2B，3A，3B，4A，4B會以此順序來侵 入對應於被噴出部1 8R的區域。另外，在掃描期間之間， 噴頭群11 4 G的X座標不會變化。 圖1 6所示例的情況，若噴嘴列1 a侵入對應於某1個 被噴出部1 8 R的區域，則會從噴嘴列1 a的左邊第2個噴 嘴11 8及左邊第3個噴嘴丨丨8來噴出彩色濾光片材料 1 11。又，若噴嘴列i B侵入對應於該1個被噴出部1 8 R的 區域，則會從噴嘴列1 B的最左噴嘴〗丨8及左邊第2個噴 嘴來噴出彩色濾光片材料1 1 1R。 然後，若噴嘴列2A侵入對應於該i個被噴出部1 8R 的區域，則會從噴嘴列2 A的最左噴嘴丨；! 8及左邊第2個 噴嘴1 1 8來噴出彩色濾光片材料n 1 r。其次，若噴嘴列 2 B侵入對應於該1個被噴出部〗8 R的區域，則會從噴嘴 列2 B的最左噴嘴1 1 8及左邊第2個噴嘴1 1 8來噴出彩色 濾光片材料1 1 1 R。 又，若噴嘴列3 A侵入對應於該1個被噴出部丨8 r的 '46- (43) 1290067 區域，則會從噴嘴列3 A的最左噴嘴2丨8及左邊第2個噴 嘴1 1 8來噴出彩色濾光片材料1〗丨r。其次，若噴嘴列3 B 侵入對應於該1個被噴出部1 8 R的區域，則會從噴嘴列 3 B的最左噴嘴.1 1 8及左邊第2個噴嘴丨^ 8•來噴出彩色濾 光片材料1 1 1 R。 又’右噴嘴列4 A fe入對應於該1個被噴出部丨8 r的 區域，則會從噴嘴列4 A的最左噴嘴^ 8及左邊第2個噴 Π角118來噴出彩色滤;Λ:片材料iiir。其次，若唷嘴列4B 侵入對應於該1個被噴出部1 8R的區域，則會從噴嘴列 4B的最左噴嘴118及左邊第2個噴嘴來噴出彩色濾 光片材料1 1 1 R。 根據本實施形態’噴頭群1 1 4G的X軸方向的噴嘴間 距GXP爲1個噴頭1 1 4的X軸方向的噴嘴間距Ηχρ的大 略1 /4，因此，在1個掃描期間内，更多的噴嘴〗〗8會重 疊於1個被噴出部。 在被噴出部18R内彩色濾光片材料U1R所著落的位 置順序，若爲圖16的左邊起以PI，p6，P4，p8，p3， P7，P5，P9，P2所排列的位置的其中，則侖依 ρι (P2 ) ’ P3，P4 ’ P5 ’ P6，P7 ’ P8 ’ P9 的順序著落。另 外，在P 1與P2會大略同時有彩色濾光片材料丨】】r的液 滴著落。 亦即，若利用本實施形態，則彩色濾光片料μ t ^

/ 1 U 料 1 1 1 R 的液滴會著落於已經被液滴所覆蓋的2個位窿 ^直的中間位 置。因此，之後著落的液滴會在對本身的著落位奢 ^ ® ITD曰爲 -47- (44) (44)1290067 對稱的2個位置，與先著落的2個液滴接觸。因此，在之 後著落的液滴會有往相反的2個方向的力量作用，其結 果’之後著落的液滴會從該著落位置來擴散成對稱的形 狀。基於該理由，若利用本實施形態的塗佈工程，則彩色 爐光片材料1 1 1 R的塗佈斑紋會難以產生。 另一方面，如圖1 6所示，在掃描期間内，噴嘴列1 A 之最左側的噴嘴1 1 8，噴嘴列2 A之右邊第2個噴嘴1 1 8， 噴嘴列3 A之右邊第2個噴嘴〗！ 8，噴嘴列4 A之右邊第2 個噴嘴1 1 8，一次也不會重疊於被噴出部丨8 R。因此，不 會從該等的噴嘴來進行任何彩色濾光片材料1 1 1 R的噴 出。 以I：是說明在被噴出部 1 8R塗佈彩色濾光片材料 1 1 1 R的工程。 以下是說明藉由製造裝置1來取得彩色濾光基板i 〇 爲止的一連串工程。 首先’按照以下的程序來作成圖1 3的基體1 0 A。首 先’藉由濺鍍法或蒸著法在支持基板1 2上形成金屬薄 膜。然後’利用光學蝕刻微影工程，由該金屬薄膜來形成 格子狀的黑矩陣1 4。黑矩陣1 4的材料，例如爲金屬鉻或 氧化絡。另外’支持基板1 2爲對可視光具有光透過性的 基板’例如玻璃基板。接著，以能夠覆蓋支持基板1 2及 黑矩陣1 4的方式’塗佈由負片型的感光性樹脂組成物所 構成的光阻劑層。又，一邊使形成矩陣圖案形狀的光罩薄 膜密著於該光阻劑層上，一邊使該光阻劑層曝光。然後， -48- (45) 1290067 以蝕刻處理來去除光阻劑層的未曝光部份，而取得間隔壁 1 6。藉由以上的工程來取得基體1 〇 A。 另外，亦可取代間隔壁1 6，而使用由樹脂黑所構成間 隔壁。此情況，不需要金屬薄膜（黑矩陣1 4 )，間隔壁層 只形成1層。 其次，藉由大氣壓下的氧氣電漿處理來使基體10A親 液化。藉此處理’以支持基板1 2，黑矩陣1 4及間隔壁1 6 B 所規定的各個凹部（畫素區域的一部份）之支持基板1 2 的表面，黑矩陣1 4的表面及間隔壁1 6的表面會呈現親液 性。然後，對基體1 0 A進行以4氟化甲烷爲處理氣體的電 漿處理。藉由使用4氟化甲烷的電漿處理，各個凹部之間 隔壁1 6的表面會被氟化處理（撥液性處理)，藉此，間 隔壁1 6的表面會呈現撥液性。另外，藉由使用4氟化甲 烷的電漿處理，雖然先前被賦予親液性的支持基板1 2的 表面及黑矩陣1 4的表面會若干喪失親液性，但即使如此 φ 該等表面還是會維持親液性。如此，在由支持基板1 2，黑 矩陣1 4及間隔壁1 6所規定的凹部的表面施以特定的表面 處理下，凹部的表面會形成被噴出部1 8 R，1 8 G，1 8 B。 另外，按支持基板12的材質，黑矩陣1 4的材質，及 間隔壁1 6的材質，即使不進行上述那樣的表面處理，亦 有可能取得呈現所望的親液性及撥液性的表面。此情況是 即使不實施上述表面處理，由支持基板1 2，黑矩陣1 4及 間隔壁1 6所規定的凹部的表面仍然爲被噴出部1 8R， 1 8G，18B。 -49- (46) 1290067 形成有被噴出部18R，i8G，18B的基體l〇A是藉由 搬送裝置170來搬運至噴出裝置1〇〇R的載物台ι〇6。 又’如圖1 7 ( a )所示，噴出裝置1 〇 〇 r是從噴頭丨丨* (圖 9 )來噴出彩色濾光片材料n i r，而使於被噴出部丨8R的 全體能夠形成有彩色濾光片材料1 iR的層。 具體而言’首先第1噴出噴頭部103C會位在對應於 某被噴出部1 8 R的區域。如此一來，噴出裝置〇 r會從 • 第1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴η 8 τ來往該被噴出 部1 8 R噴出彩色濾光片材料n丨r的第1液滴。接續於第 1噴出噴頭部1 〇 3 C，第2噴出噴頭部」〇 3 d會位在對應於 該被噴出部1 8 R的區域。然後，從第2噴出噴頭部1 〇 3 〇 來往該被噴出邰1 8 R噴出彩色濾光片材料n i r的第2液 滴。 本實施形態是在Y軸方向對載物台〗〇 6進行1次相對 移動的期間中，所望量的液狀彩色濾光片材料〗R會被 Φ 塗佈於被噴出部1 8 R的全體。這是因爲被噴出部1 8 R的全 體分布於第1範圍EXT内。 又’第1噴出噴頭部1 0 3 C的噴出噴嘴1 1 8 T及第2噴 出噴頭部1 〇 3 D所對應的噴出噴嘴η 8 τ會在1次的掃描期 間中互相重疊於被噴出部1 8 R内的相同位置，因此來自一 個噴出噴嘴11 8 T的彩色濾光片材料n〗r的液滴的體積即 使小’速是能夠使1次的掃描期間中塗佈於被噴出部1 8 R 的彩色濾光片材料Π 1 r的體積增加。 當彩色濾光片材料1 1 1 R的層被形成於基體〗〇 A的被 -50 - (47) 1290067 噴出部18R的全體時，搬送裝置170會使基體10A位 燥裝置1 5 OR内。然後，使被噴出部丨8 R上的彩色濾 • 材料1 1 1 R完全乾燥，藉此於被噴出部1 8 R上取得濾 層 1 1 1 FR。 • 其次，搬送裝置170會使基體i〇A位於噴出 1 0 0 G的載物台1 〇 6。然後，如圖丨7 ( ^ )所示，噴出

•L 100G會從噴頭114 (圖9)來噴出彩色濾光片 φ 1 1 1 G ’而使彩色濾光片材料1 Π G的層能夠形成於被 部1 8 G的全體。 具體而言’首先第1噴出噴頭部1 〇 3 C會位在對 某被噴出部18G的區域。如此一來，噴出裝置1〇〇(} 第1噴出噴頭部103 C的各個噴出噴嘴！ 18T來往該被 部1 8 G噴出彩色濾光片材料η丨〇的第1液滴。接續 1噴出噴頭部103C，第2噴出噴頭部i〇3D會位在對 1¾被噴出部1 8 G的區域。然後，從第2噴出噴頭部 ® 來往該被噴出部1 8 G噴出彩色濾光片材料1 1 1 G的第 ； 滴。 當彩色濾光片材料111(3的層被形成於基體1〇A 噴出部18G的全體時，搬送裝置17〇會使基體1〇A 乾燥裝置150G内。然後，使在被噴出部18G上的彩 光片材料1 1 1 G完全乾燥，藉此於被噴出部i 8 〇上取 光片層1 1 1 FG。 其次’搬送裝置丨7 〇會使基體丨〇 A位於噴出 1 〇〇B的載物台1 06。然後，如圖1 7 ( c )所示，噴出 於乾 光片 光片 裝置 裝置 材料 噴出 應於 會從 噴出 於第 應於 i 03D 2液 的被 位於 色濾 得濾 裝置 裝置 -51 - (48) 1290067 1 〇 〇 B會以夠在被噴出部〗8 B的全體形成彩色濾光片材 料1 1 1 B的層之方式，從噴頭i丨4 (圖9 )來噴出彩色濾光 片材料1 1 1 B。 具體而曰，首先第1噴出噴頭部1〇3C會位在對應於 某被噴出郃18B的區域。如此一來，噴出裝置i〇〇b會從 第1噴出噴頭部〗03C的各個噴出噴嘴η8Τ來往該被噴出 郃1 8 Β噴出衫色濾光片材料i η Β的第丨液滴。接續於第 1噴出噴頭部103C，第2噴出噴頭部1〇3D會位在對應於 β被噴出部1 8 B的區域。然後，從第2噴出噴頭部1 〇 3 d 末往被噴出部1 8 Β噴出彩色濾光片材料1 1〗β的第2液 滴。 虽衫色1濾光片材料1 1 1 B的層被形成於基體丨〇 A的被 噴出部18B的全體時，搬送裝置17〇會使基體1〇A位於乾 燥裝置150B内。然後，使被噴出部18B上的彩色濾光片 材料】i 1 B完全乾燥，藉此於被噴出部} 8B上取得濾光片 層 1 1 1 FB。 其次’搬送裝置170會使基體10A位於烤爐160内。 然後，烤爐160會將濾光片層〗丨1FR，丨丨1FG，；[丨1FB再 加熱（後烘烤）。 其次’搬送裝置1 7 0會使基體1 〇 A位於噴出裝置 100C的載物台1〇6。然後，噴出裝置i〇〇c會噴出液狀的 保護膜材料，而使能夠覆蓋濾光片層1 1 1FR，1 1 1FG， 1 1 1 FB ’及間隔壁〗6來形成保護膜20。在形成覆蓋濾光 片層1 1 1FR ’ 1 1 1FG，1 1 1FB，及間隔壁16的保護膜20之 -52- (49) 1290067 後，搬送裝置170會使基體l〇A位於烤爐150C内。然 後，在烤爐1 5 0 C使保護膜2 〇完全乾燥後，硬化裝置} 6 5 會對保護膜2 0加熱而使完全硬化，使基體〗〇 a形成彩色 濾光基板1 〇。 (實施形態4的變形例） 圖1 4所示的製造裝置1可更具有檢查裝置及修繕用 φ 噴出裝置。例如，在對1個基體10A之乾燥裝置150B的 工程終了後到噴出裝置1 〇 〇 C的工程開始之間，可以該基 體1 0 A能夠依次接受檢查裝置的工程及修繕用噴出裝置的 工程之方式來構成製造裝置1。在此，所謂的檢查裝置是 在於檢查彩色濾光片材料1 1 1 r，1丨〗〇，1丨〗B是否被適當 地塗佈於被噴出部18R，i8G，18B的全體之裝置。又， 所謂的修繕用噴出裝置是按照檢查裝置的檢查結果來針對 未被適當塗佈的被噴出部18R，18G，18B再度噴出所對 -· 應的彩色濾光片材料之裝置。製造裝置1可藉由更包含如 ： 此的2個裝置來更爲提升彩色濾光基板的良品率。 檢查裝置的工程與修繕用噴出裝置的工程所被進行的 時序’最好是烤爐1 6 0之後烘烤的前段。但，若爲噴出裝 置1 60C之保護膜20的塗佈前，則檢查裝置的工程與修繕 用B貝出裝置的工程，無論是被插入哪個段階皆可實施。 又’例如亦可分別於噴出裝置1 0 0 R的工程，噴出裝置 1 〇 〇 G的工程，及噴出裝置i 〇 〇 B的工程之後，分別插入〜 對檢查裝置的工程與修繕用噴出裝置的工程。 -53 - (50) 1290067 (實施形態5 ) 其次’說明將本發明適用於電激發光顯示裝置的製造 裝置之例。

圖1 8 ( a )及（b )所示的基體30A是藉由後述的製 造裝置2 (圖1 9 )之處理來形成電激發光顯示裝置3 0 (例 如有機EL顯示裝置）的基板。基體30A具有配置成矩陣 狀的複數個被噴出部38R，38G，38B。 具體而言，基體30A具有：支持基板32，形成於支 持基板3 2上的電路元件層3 4，形成於電路元件層3 4上的 複數個畫素電極3 6，及形成於複數個畫素電極3 6之間的 間隔壁4 0。支持基板是對可視光具有光透過性的基板，例 如玻璃基板。複數個畫素電極3 6是分別對可視光具有光 透過性的電極，例如，ITO ( Indium-Tin Oxide )電極。 又，複數個畫素電極3 6是在電路元件層3 4上配置成矩陣 狀，分別規定畫素區域。又，間隔壁40具有格子狀的形 狀，分別圍繞複數個畫素電極3 6。又，間隔壁4 0是由形 成於電路元件層3 4上的無機物間隔壁4 0 A，及位於無機 物間隔壁4 0 A上的有機物間隔壁4 0 B所構成。 電路元件層3 4具有z 在支持基板32上延伸於特定方向的複數個掃描電 極， 形成覆蓋複數個掃描電極的絶縁膜42， 位於絶縁膜4 2上，且延伸於與複數個掃描電極所延 -54- (51) 1290067 伸的方向正交的方向之複數個信號電極； 位於掃描電極及信號電極的交點附近的複數個開關元 件44 ;及 形成覆蓋複數個開關元件4 4的聚醯亞胺等的層間絶 縁膜45。

又’各個開關兀件4 4的閘極電極4 4 G及源極電極 44S是分別與對應的掃描電極及對應的信號電極電性連 接。複數個畫素電極3 6會於層間絶縁膜4 5上。在層間絶 縁膜4 5中，對應於各開關元件4 4的汲極電極4 4 D的部位 設有貫通孔4 4 V，經由此貫通孔4 4 V來形成開關元件4 4 與對應的畫素電極3 6之間的電性連接。並且，各個開關 元件4 4會位在對應於間隔壁4 0的位置。亦即，若由與圖 1 8 ( b )的紙面垂直的方向來觀察，則複數個開關元件44 是分別位置成被間隔壁40所覆蓋。 出碁體3 0 A的畫素電極3 6與間隔壁4 0所規定的凹部 (畫素區域的一部份）是對應於被噴出部3 8 R，被噴出部 3 8 G，被噴出部3 8 B。被噴出部3 8 R是應形成有發出紅色 波長域的光線之螢光層21 1FR的區域，被噴出部38G是 應形成有發出綠色波長域的光線之螢光層2 1 1 F G的區域， 被噴出部3 8B是應形成有發出藍色波長域的光線之螢光層 2 1 1FB的區域。 圖1 8 ( b )所示的基體3 0 A是位於與X軸方向及Y軸 方向雙方平行的假想平面上。又，形成有複數個被噴出部 3 8 R，3 8 G，3 8 B的矩陣之行方向及列方向是分別與X軸方 -55 - (52) 1290067 向及Y軸方向平行。在基體30A中，被噴出部38R，被噴 出部3 8 G，及被噴出部3 8 Β是以此順序來週期性地排列於 Υ軸方向。另一方面，被噴出部3 8 R彼此間是取特定的一 定間隔來1列地排列於X軸方向，又，被噴出部3 8 G彼 此間是取特定的一定間隔來1列地排列於X軸方向，又， 被噴出部3 8 Β彼此間是取特定的一定間隔來1列地排列於 X軸方向。又，X軸方向及Υ軸方向是互相正交。

另外，被噴出部3 8 R，3 8 G，3 8 G所分布於X軸方向 的範圍是限縮於第1範圍EXT内（圖9 )。 被噴出部3 8R彼此間沿著Y軸方向的間隔LRY，亦 即間距是大略5 60μιη。此間隔是與被噴出部38G彼此間沿 著Υ軸方向的間隔LGΥ相同，且亦與被噴出部3 8Β彼.，毋 間沿著Υ軸方向的間隔LBY相同。又，被噴出部38R白^ 平面像是以長邊及短邊所定的矩形狀。具體而言，被噴出 部3 8R的Υ軸方向的長度大略ΙΟΟμηι，X軸方向的長度大 略3 00 μπι。被噴出部38G及被噴出部38Β亦具有與被噴出 部3 8 R相同形狀大小。被噴出部彼此間的上述間隔及被 噴出部的上述大小是在40吋程度大小的高解析度電視中 對應於同一色所對應於的畫素區域彼此間的間隔及大小。 圖1 9所示的製造裝置2是分別針對圖1 8的基體3 0 A 的被噴出部38R，38G，38B來噴出所對應的發光材料之 裝置。 製造裝置2具備： 在被噴出部3 8 R的全體塗佈發光材料2 1 1 R的噴出裝 -56 - (53) 1290067 置 2 00R'; 使被卩貴出部38R _h的發光材料211R乾燥的乾燥裝置 2 5 0R ； 在被噴出部38G的全體塗佈發光材料2iiG的噴出裝 置 200G ; 使被噴出部38G上的發光材料211〇乾燥的乾燥裝置 25 0G ；

在被噴出部38B的全體塗佈發光材料si 1β的噴出裝 置 200B ; 使被噴出部3 8 B上的發光材料β乾燥的乾燥裝置 25 0B。 又’製造裝置2亦具備依照噴出裝置2〇〇R，乾燥裝 置250R，噴出裝置200G，乾燥裝置25〇G，噴出裝置 200B ’乾燥裝置25 0B的順序來搬送基體3〇a的複數個搬 送裝置2 7 0。複數個搬送裝置2 7 0分別具備··叉部，使叉 部上下移動的驅動部，及自走部。 圖2 0所示的噴出裝置2 0 0 R具備··保持液狀的發光材 料211R的2個槽201R，2個管210R，及經由2個管 2 1 0R來從2個槽201 R供給發光材料211R的噴出掃描部 1 02。噴出掃描部1 02的構成是與實施形態2的噴出掃描 部的構成相同。另外，在噴出裝置200中，針對與實施形 態1的構成要素或實施形態2的構成要素同樣的構成要素 賦卞同一參照符號，且省略其重複説明。又，噴出裝置 2 0 0 G的構成與噴出裝置2 0 0 B的構成，基本上皆與噴出裝 -57- (54) 1290067

置200R的構造相同。但，噴出裝置2〇〇G具備發光材料 2 1 1 G用的槽及管，來取代槽2 〇丨R及管2丨〇 R的這點，噴 出裝置200G的構成是與噴出裝置2〇〇R的構成相異。同様 的，噴出裝置·200Β具備發光材料2〇1B用的槽及管，來取 代槽201R及管210R的這點，噴出裝置2〇〇B的構成是與 噴出裝置20 0R的構成相異。另外，本實施形態之液狀的 發光材料2 1 1 R，2 1 1 B，2 1 1 G乃爲本發明的液狀材料的一 例。 以下’說明使甩製造裝置2之電激發光顯示裝置3 〇 的製造方法。首先’利用以往的製膜技術及圖案化技術來 製造圖18所示的基體30A。 其次，藉由大氣壓下的氧氣電漿處理來使基體30A親 液化。藉此處理，由畫素電極3 6及間隔壁4 0所規定的各 個凹部（畫素區域的一部份）之畫素電極36的表面，無 機物間隔壁4 0 A的表面，及有機物間隔壁4 0 B的表面會呈 現親液性。然後，對基體3 0 A進行以4氟化甲烷爲處理氣 體的電漿處理。藉由使用4氟化甲烷的電漿處理，各個凹 部之有機物間隔壁40B的表面會被氟化處理（撥液性處 理），藉此，有機物間隔壁40B的表面會呈現撥液性。另 外，藉由使用4氟化甲烷的電漿處理，雖然先前被賦予親 液性的畫素電極36的表面及無機物間隔壁40A的表面會 若干喪失親液性，但即使如此還是會維持親液性。如此， 在由畫素電極3 6及間隔壁40所規定的凹部的表面施以特 定的表面處理下，凹部的表面會形成被噴出部 3 8 R， -58- (55) 1290067 3 8G，3 8B。 另外，按畫素電極36的材質，無機物間隔壁40 A的 材質，及有機物間隔壁40B的材質，即使不進行上述那樣 的表面處理，亦有可能取得呈現所望的親液性及撥液性的 表面。此情況是即使不實施上述表面處理，由畫素電極3 6 及間隔壁4〇所規定的凹部的表面仍然爲被噴出部3 8R， 3 8G，3 8B。

在此，亦可分別於被施以表面處理的複數個畫素電極 36上形成對應的正孔輸送層37R，37G，37B (圖21)。 右正孔輸送層37R，37G，37B位於畫素電極36與後述的 發光層21 1RF，21 1GF，21 1BF之間，則電激發光顯示裝 置的發光效率會變高。分別在複數個畫素電極3 6上設置 正孔輸送層37R，37G，37B時，藉由正孔輸送層37R， 3 7G，3 7B及間隔壁40所規定的凹部會對應於被噴出部 38R，38G，3 8B。 另外’亦可藉由噴墨法來形成正孔輸送層37r， 3 7 G ’ 3 7 B (圖2 1 )。此情況，是在各畫素區域特定量塗 佈含供以形成正孔輸送層 3 7 R，3 7 G，3 7 B的材料之溶 液’然後使乾燥，藉此來形成正孔輸送層。 形成有被噴出部38R，38G，38B的基體30A是藉由 搬送裝置270來搬運至噴出裝置2〇〇r的載物台1〇6。然 後，如圖2 1 ( a )所示，噴出裝置2 0 0 R會從噴頭1 1 4 (圖 9 )來噴出發光材料2〗丨R，而使發光材料2 i丨r的層能夠 形成於被噴出部3 8 R的全體。 - 59- (56) 1290067 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會位在對應於 某被噴出部38R的區域。如此一來，噴出裝置200R會從 第1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴1 1 8 T來往該被噴出 部3 8R噴出發光材料2丨丨r的第1液滴。接續於第1噴出 噴頭部103C ’第2噴出噴頭部i〇3d會位在對應於該被噴 出部3 8 R的區域。然後，從第2噴出噴頭部1 〇 3 〇來往該 被噴出部38R噴出發光材料211r的第2液滴。 # 本實施形態是在Y軸方向對載物台1 06進行1次相對 移動的期間中，所望量的液狀發光材料2 1 1 R會被塗佈於 被噴出部38R的全體。這是因爲被噴出部38R的全體分布 於第1範圍EXT内。

又’第1噴出噴頭部1 0 3 C的噴出噴嘴1 1 8 T及第2噴 出噴頭部1 〇 3 D所對應的噴出噴嘴1 1 8 T會在1次的掃描期 間中互相重疊於被噴出部3 8 R内的相同位置，因此來自一 個噴出噴嘴i 1 8 T的發光材料2 1 1 R的液滴的體積即使小， 途是#夠使1次的掃描期間中塗佈於被噴出部3 8 R的發光 材料2 1 1 R的體積增加。 當發光材料2 1 1 R的層被形成於基體3 0 A的被噴出部 3 8R時，搬送裝置270會使基體30A位於乾燥裝置25 0R 内。然後，使被噴出部3 8R上的發光材料2 1 1 R完全乾 燥，藉此於被噴出部38R上取得發光層21 1FR。 其次，搬送裝置270會使基體30A位於噴出裝置 2 0 0 G的載物台1〇6。然後，如圖21 ( b )所示，噴出裝置 2 0 0 G會從噴頭1 1 4 (圖9 )來噴出發光材料2 1 1 G，而使 -60- (57) (57)1290067 發光材料2 11 G的層能夠形成於被噴出部3 8 G的全體。 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會位在對應於 某被噴出部38G的區域。如此一來，噴出裝置200G會從 第1噴出噴頭部103C的各個噴出噴嘴118T來往該被噴出 部3 8 G噴出發光材料2 1 1 G的第1液滴。接續於第1噴出 噴頭部103C，第2噴出噴頭部103D會位在對應於該被噴 出部3 8 G的區域。然後，從第2噴出噴頭部1 〇 3 D來往該 被噴出部38G噴出發光材料21 1G的第2液滴。 當發光材料2 1 1 G的層被形成於基體3 0 A的被噴出部 3 8G的全體時，搬送裝置270會使基體30A位於乾燥裝置 250G内。然後，使被噴出部38G上的發光材料G完全乾 燥’藉此於被噴出部38G上取得發光層21 1FG。 其次’搬送裝置270會使基體30A位於噴出裝置 2 0 0 B的載物台1 〇 6。然後，如圖2 1 ( c )所示，噴出裝置 2 0 0 B會從噴頭1 1 4 (圖9 )來噴出發光材料2 11 B，而使發 光材料2 1 1 B的層能夠形成於被噴出部3 8 b的全體。 具體而言’首先第1噴出噴頭部1 〇 3 C會位在對應於 某被噴出部3 8 B的區域。如此一來，噴出裝置2 〇 〇 b會從 第1噴出噴頭部103C的各個噴出噴嘴n8T來往該被噴出 部3 8Β噴出發光材料21 1Β的第1液滴。接續於第1噴出 噴頭部103C，第2噴出噴頭部10 3ΕΙ會位在對應於該被噴 出部38Β的區域。然後，從第2噴出噴頭部1〇3D來往該 被噴出部3 8 B噴出發光材料2 ；[丨b的第2液滴。 虽發光材料2 1 1 B的層被形成於基體3 〇 a的被噴出部 -61 - (58) 1290067 38B的全體時，搬送裝置270會使基體30A位於乾 2 5 0 B内。然後，使被噴出部3 8 b上的發光材料2 i 乾燥，藉此於被噴出部38B上取得發光層21 1FB。 如圖 21 ( d ·)所示，其次，以能夠覆蓋 211FR，211FG，211FB，及間隔壁40之方式來該 電極4 6。對向電極4 6具有作爲陰極的機能。 然後，在彼此的周邊部接合密封基板 48 3 0 A，而來取得圖2 1 ( d )所示的電激發光顯示裝 另外，在密封基板4 8與基體3 0 A之間封入惰性氣| 在電激發光顯示裝置 30中，從發光層2 211FG，21 1FB所發出的光是經由畫素電極36，fl 層3 4，及支持基板3 2來射出。如此經由電路元件 射出光的電激發光顯示裝置是被稱爲底部發光（ Emission)型的顯示裝置。 (實施形態6 ) 說明將本發明適用於電漿顯示裝置的背面基 裝置之例。 圖22(a)及（b)所示的基體50A是藉由 造裝置3 (圖23 )之處理來形成電漿顯示裝置的 5 0B的基板。基體50A是具有配置成矩陣狀的複 出咅P 58R，58G，58B。 具體而言，基體50A是包含： 支持基板5 2 ; ί燥裝置 1Β完全 發光層 ΐ置對向 與基體 置 3 0。 豊49 〇 :1 1 FR， i路元件 層34來 Bottom 的製造 述的製 面基板 個被噴 -62- (59) 1290067 條紋狀形成於支持基板52上的複數個位址電極54 ; 以能夠覆蓋位址電極5 4的方式來形成的介電質玻璃 層56 ;及 具有格子狀的形狀，且規定複數個畫素區域的隔壁 60 °

又，複數個畫素區域是位置成矩陣狀，形成有複數個 畫素區域的矩陣的各列是分別對應於複數個位址電極54。 如此的基體5 0 A是以習知的網版印刷技術來形成。 在基體 50 A的各個畫素區域中，藉由介電質玻璃層 5 6及隔壁60所規定的凹部會對應於被噴出部5 8R，被噴 出部58G，被噴出部58B。被噴出部58R是應形成有發出 紅色波長域的光線之螢光層3 1 1 F R的區域，被噴出部5 8 G 是應形成有發出綠色波長域的光線之螢光層3 1 1 FG的區 域，被噴出部5 8 B是應形成有發出藍色波長域的光線之螢 光層3 i 1 F B的區域。 圖22 ( b )所示的基體50A是位於與X軸方向及Y軸 方向雙方平行的假想平面上。又，形成有複數個被噴出部 5 8 R，5 8 G，5 8 B的矩陣之行方向及列方向是分別與X軸方 向及Y軸方向平行。在基體50A中，被噴出部58R，被噴 出部58G，及被噴出部58B是以此順序來週期性地排列於 Y軸方向。另一方面，被噴出部5 8R彼此間是取特定的一 定間隔來1列地排列於X軸方向，又，被噴出部5 8 G彼 此間是取特定的一定間隔來〗列地排列於X軸方向，又， 被噴出部5 8 B彼此間是取特定的一定間隔來1列地排列於 - 63- (60) 1290067 X軸方向。又，X軸方向及Y軸方向是互相正交。 另外，被噴出部5 8 R，5 8 G，5 8 G所分布於X軸方向 的範圍是限縮於第1範圍EXT内（圖9 )。

被噴出部5 8R彼此間沿著Y軸方向的間隔LRY，亦 即間距是大略5 60 μιη。此間隔是與被噴出部58G彼此間沿 著Υ軸方向的間隔LGY相同，且亦與被噴出部5 8Β彼此 間沿著Υ軸方向的間隔LBY相同。又，被噴出部58R的 平面像是以長邊及短邊所定的矩形狀。具體而言，被噴出 部5 8 R的Υ軸方向的長度大略1 〇 〇 μΐΏ，X軸方向的長度大 略3 00μηι。被噴出部58G及被噴出部58Β亦具有與被噴出 部5 8 R相同形狀大小。被噴出部彼此間的上述間隔及被 噴出部的上述大小是在4 0吋程度大小的高解析度電視中 對應於同一色所對應於的畫素區域彼此間的間隔及大小。 圖2 3所示的製造裝置3是分別針對圖2 2的基體5 0 A 的被噴出部58R，58G，58B噴出所對應的螢光材料之裝 置。 製造裝置3具備： 在被噴出部58R的全體塗佈螢光材料3UR的噴出裝 置 300R ; 使被噴出部5 8R上的螢光材料3 !丨R乾燥的乾燥裝置 3 5 0R ； 在被噴出部5 8 G的全體塗佈螢光材料3 1 1 G的噴出裝 置 300G ; 使被噴出部5 8 G上的螢光材料3 1 1 G乾燥的乾燥裝置 ~ 64 - (61) 1290067 3 5 0G ； 在被噴出部5 8B的全體塗佈螢光材料3 1 1 B的噴出裝 ' 置300B ;及 使被噴出部58B上的螢光材料31 1B乾燥的乾燥裝置 3 5 0B。 又，製造裝置3亦具備依照噴出裝置3 0 0R，乾燥裝 置 3 5 0R，噴出裝置 3 00G，乾燥裝置 3 5 0G，噴出裝置 φ 300B，乾燥裝置3 5 0B的順序來搬送基體50A的複數個搬 送裝置3 7 0。複數個搬送裝置3 7 0分別具備叉部，使叉部 上下移動的驅動部，及自走部。 圖24的噴出裝置3 00R具備：用以保持液狀的螢光材 料3 1 1 R之2個槽3 0 1 R，及2個管3 1 0 R，以及經由2個 管3 1 0 R來從槽3 0 1 R供給螢光材料3 1 1 R之噴出掃描部 1 02。基本上，〇噴出掃描部！ 02的構成是與實施形態2的 噴出掃描部相同。另外，在噴出裝置3 〇 〇 R中，對與實施 ^ ® 形態1的構成要素或實施形態2的構成要素同樣的構成要 / 素賦予同一參照符號，且省略其重複的説明。 噴出裝置300G的構成與噴出裝置300B的構成，基本 上白與噴出裝置300R的構造相同。但，噴出裝置3〇〇G具 備營光材料3 1 1 G用的槽及管，來取代槽3 〇丨r及管3丨〇 r 的這點，噴出裝置3 00G的構成是與噴出裝置3⑽r的構成 相異。同樣的，噴出裝置3 00B具備螢光材料31 1B用的槽 及管’來取代槽301R及管310R的這點，噴出裝置3〇〇b 的構成是與噴出裝置3 0 0R的構成相異。另外，本實施形 -65- (62) (62)

1290067 態之液狀的螢光材料3 1 1 R，3 1 1 B，3 1 1 G爲 種，對應於本發明的液狀材料。 以下，說明使用製造裝置3之電漿顯示 法。首先，藉由以往的螢幕印刷技術，在支持 形成複數個位址電極5 4，介電質玻璃層5 6， 而取得如圖2 2所不的基體5 0 A。 其次，藉由大氣壓下的氧氣電漿處理，使 液化。藉此處理，由隔壁60及介電質玻璃層 各個凹部（畫素區域的一部份）的隔壁6 0的 質玻璃層5 6的表面會呈親液性，該等的表面 出部58R，58G，58B。另外，按材質，即使不 樣的表面處理，亦有可能取得呈現所望親液性 情況是即使不實施上述表面處理，由隔壁6 0 璃層5 6所規定的凹部的表面仍然爲被噴出部 58B。 形成有被噴出部 58R，5 8G，58B的基體 搬送裝置3 70來搬運至噴出裝置 3 00R的載 又，如圖25(a)所示，噴出裝置30 0R是由Π| 9 )來噴出螢光材料3 1 1 R，而使被噴出部5 8 R 形成螢光材料3 1 1 R的層。 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會 某被噴出部5 8 R的區域。如此一來，噴出裝置 第1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴1 1 8 Τ來 出部5 8 R噴出螢光材料3 1 1 R的第1液滴。接 :光材料的一 丨置的製造方 基板5 2上 及隔壁6 0， 基體5 0 Α親 5 6所規定的 表面，介電 會形成被噴 :進行上述那 的表面。此 及介電質玻 5 8 R，5 8 G， 50A是藉由 物台 1 0 6。 f頭1 1 4 (圖 的全體能夠 位在對應於 ί 3 0 0 R會從 朝向該被噴 續於第1噴 -66 - (63) 1290067 出噴頭部1 〇3 C，第2噴出噴頭部1 03 D會位在對應於該被 噴出部58R的區域。然後，從第2噴出噴頭部103D來朝 向該被噴出部5 8 R噴出螢光材料3 1 1 R的第2液滴。 本實施形態是在Y軸方向對載物台1 0 6進行1次相對 移動的期間中，所望量的液狀螢光材料3 1 1 R會被塗佈於 被噴出部58R的全體。這是因爲被噴出部58R的全體分布 於第1範圍EXT内。

又，第1噴出噴頭部103C的噴出噴嘴118T及第2噴 出噴頭部103D所對應的噴出噴嘴1 18T會在1次的掃描期 間中互相重疊於被噴出部5 8 R内的相同位置，因此來自一 個噴出噴嘴1 1 8 T的螢光材料3 1 1 R的液滴的體積即使小， 還是能夠使1次的掃描期間中塗佈於被噴出部5 8R的發光 材料3 1 1 R的體積增加。 當螢光材料.3 1 1 R的層被形成於基體5 0 A的被噴出部 58R的全體時，搬送裝置37〇會使基體5〇a位於乾燥裝置 350R内。然後，使被噴出部58R上的螢光材料311R完全 乾燥’藉此於被噴出部58R上取得螢光層3 1 1FR。 其次’搬送裝置3 70會使基體50A位於噴出裝置 300G的載物台106。然後，如圖25(b)所示，噴出裝置 3 0 0G會從噴頭〗μ (圖9 )來噴出螢光材料3丨1G，而使 營光材料3 1 1 G的層能夠形成於被噴出部5 8 G的全體。 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會位在對應於 某被噴出部5 8 G的區域。如此一來，噴出裝置3 0 0 G會從 第1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴1 1 8 T來往該被噴出 - 67- (64) (64)

1290067 部5 8 G噴出螢光材料3 n G的第1液滴。接續於第1 噴頭部103C，第2噴出噴頭部103D會位在對應於該 出部5 8 G的區域。然後，從第2噴出噴頭部丨〇 3 D來 被噴出部58G噴出螢光材料311G的第2液滴。 當螢光材料3 1 1 G的層被形成於基體5 0 A的被噴 5 8 G的全體時，搬送裝置3 7 〇會使基體5 0 A位於乾燥 3 5 0 G内。然後，使被噴出部5 8 G上的螢光材料3 1 1 G 乾燥，藉此於被噴出部5 8 G上取得螢光層3 1 1 F G。 其次，搬送裝置 3 7 0會使基體 5 0 A位於噴出 300B的載物台106。然後，如圖25(c)所示，噴出 300B會從噴頭114(圖9)來噴出螢光材料311B，而 光材料3 1 1 B的層能夠形成於被噴出部5 8B的全體。 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會位在對 某被噴出部58B的區域。如此一來，噴出裝置3 00B 第1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴U 8 T來往該被 部5 8B噴出螢光材料3 1 1 B的第1液滴。接續於第1 噴頭部103C，第2噴出噴頭部103D會位在對應於該 出部5 8 B的區域。然後，從第2噴出噴頭部1 〇 3 D來 被噴出部5 8B噴出螢光材料3 1 1 B的第2液滴。 當螢光材料B的層被形成於基體5 0 A的被噴出部 的全體時，搬送裝置370會使基體50A位於乾燥 3 5 0 B内。然後，使被噴出部5 8 B上的螢光材料3 1 1 B 乾燥，藉此於被噴出部5 8B上取得螢光層3 1 1 FB。 藉由以上的工程，基體5 0 A會形成電漿顯示裝置 噴出 被噴 往該 出部 裝置 完全 裝置 裝置 使螢 應於 會從 噴出 噴出 被噴 往該 5 8B 裝置 完全 的背 -68- (65) 1290067 面基板50B。 其次，如圖2 6所示，藉由習知的方法來使背面基板 50B與前面基板50C貼合，而取得電漿顯示裝置50。 前面基板50C具有： .玻璃基板6 8 ;及 在玻璃基板68上互相平行圖案化的顯示電極66A及 顯示掃描電極6 6 B ; φ 以能夠覆蓋顯示電極66A及顯示掃描電極66B之方式 來形成的介電質玻璃層64 ;及 形成於介電質玻璃層64上的MgO保護層62。 背面基板50B與前面基板50C是以背面基板5.0B的 位址電極5 4與前面基板5 0 C的顯示電極6 6 A 顯示掃描 電極66B能夠互相正交之方式來對位。由各隔壁60所圍 繞的單元（畫素區域）中，以特定的壓力來封入放電氣體 69 〇 w (實施形態7 ) 其次，說明將本發明適用於具備電子放出元件的畫像 顯示裝置的製造裝置之例。 圖27 ( a)及（b )所示的基體70A是藉由後述的製 造裝置4 (圖2 8 )之處理來形成畫像顯示裝置的電子源基 板7 0B的基板。基體70A具有配置成矩陣狀的複數個被噴 出部7 8。 具體而言，基體70A具備：基體72，位於基體72上 -69- (66) 1290067 的鈉擴散防止層74，位於鈉擴散防止層74上的複數個元 件電極76A，76B，位於複數個元件電極76A上的複數條 * 金屬配線79A，及位於複數個元件電極76B上的複數條金 屬配線79B。複數條金屬配線79A分別具有延伸於Y軸方 向的形狀。另一方面，複數條金屬配線79B分別具有延伸 於X軸方向的形狀。在金屬配線79A與金屬配線79B之 間形成有絶縁膜75，因此金屬配線79A與金屬配線79B φ 會被電性絶縁。 包含1對的元件電極76A及元件電極76B的部份是對 應於1個畫素區域。 1對的元件電極76A及元件電極76B是互相只以特定 的間隔來分離對向於鈉擴散防止層74上。對應於某畫素 區域的元件電極76A是與所對應的金屬配線79A電性連 接。又，對應於該畫素區域的元件電極76B是與所對應的 金屬配線79B電性連接。另外，在本說明書中，有時會將 合倂基體72與鈉擴散防止層74的部份表記成支持基板。 ； 在基體 70A的各個畫素區域中，元件電極 76A的一 部份，元件電極7 6 B的一部份，及露出於元件電極7 6 A與 元件電極76B之間的鈉擴散防止層74會對應於被噴出部 78。更具體而言，被噴出部78是應形成有導電性薄膜 4 1 1 F (圖3 1 )的區域，導電性薄膜4 1 1 F是形成覆蓋元件 電極76A的一部份，元件電極76B的一部份，及元件電極 76A，76B之間的間隙。如圖27 ( b )中的點線所示，本實 施形態之被噴出部7 8的平面形狀爲圓形。如此，本發明 - 70- (67) (67)

1290067 之被噴出部的平面形狀可爲χ座標範圍及γ座標® 定的圓形。 圖27 ( b )所示的基體70A是位於與X軸方向及 方向雙方平行的假想平面上。又，形成有複數個被嗔 7 8的矩陣的行方向及列方向是分別與X軸方向及Y 向平行。亦即，在基體70A中，複數個被噴出部78 列於X軸方向及Y軸方向。並且，X軸方向及Y載 是互相正交。 另外，被噴出部7 8所分布於X軸方向的範圍是 於第1範圍EXT内（圖9)。 被噴出部7 8彼此間沿著γ軸方向的間隔lry， 間距是大略190μιη。又，被噴出部78R的X軸方向纪 (X座標範圍的長度）是大略ΙΟΟμη，γ軸方向的 座標範圍的長度）也是大略1〇〇μ1Ώ。被噴出部 此間的上述間隔及被噴出部的上述大小是在4 〇吋程 小的高解析度電視中對應於畫素區域彼此間的間隔 小。 Η 28所不的製造裝置4是分別針對圖27的基儷 的被噴出ηβ 7 8來噴出導電性薄膜材料4 1 1的裝置。 而言，製造裝置4具備：在被噴出部78的全體塗伟 性薄膜材料411的噴出裝置4〇〇，及使被噴出部78上 電性溥膜材料41 1乾燥的乾燥裝置45〇。又，製造寒 亦具備按照噴出裝置4 〇 0，乾燥裝置4 5 〇的順序來掷 體7〇Α的搬送裝置47〇。搬送裝置47〇具備：叉部， 3圍所 .Υ軸 I出部 軸方 是排 &方向 Ε限縮 亦即 ;]長度 丨長度 78彼 【度大 ί及大 I 70Α 具體 ί導電 :的導 ，置4 丨送基 使叉 -71 - (68) (68)

1290067 部上下移動的驅動部，及自走部。 圖29的噴出裝置400具備：用以保持液 薄膜材料411之2個槽401，及2個管410, 個管4 1 〇來從2個槽40 1供給導電性薄膜材料 掃描部1 02。基本上，噴出掃描部丨〇2的構成 態2的噴出掃描部的構成相同。另外，在噴出 構成要素中，對與實施形態1的構成要素或實 構成要素同樣的構成要素賦予相同的參照符號 説明。 在本實施形態中，液狀的導電性薄膜材料 鈀溶液。又’本實施形態之液狀的導電性薄膜 爲本發明的液狀材料之一例。 以下，說明使用製造裝置4之畫像顯示裝 法。首先，在由鈉玻璃等所形成的基體72上; 爲主成分的鈉擴散防止層7 4。具體而言，利用 體72上形成厚度Ιμηι的Si02膜，藉此來取得 層74。其次，在鈉擴散防止層74上，藉由濺 蒸著法來形成厚度5 nm的鈦層。又，利用光學 術及蝕刻技術，由該鈦層來形成複數對互相僅 離之1對的元件電極76A及元件電極76B。 然後，利用螢幕印刷技術，在鈉擴散防止 數個元件電極76A上塗佈Ag糊劑後予以燒成 成延伸於Y軸方向的複數條金屬配線7 9 A。其 幕印刷技術，在各金屬配線79A的一部份塗佈 狀的導電性 以及經由2 4 1 1之噴出 是與實施形 裝置400的 施形態2的 ，且省略其 4 1 1爲有機 材料4 1 1乃 置的製造方 形成以S i Ο 2 濺鍍法在基 鈉擴散防止 鍍法或真空 蝕刻微影技 離特定的距 層74及複 ，藉此來形 次，利用螢 玻璃糊劑後 - 72- (69) 1290067 予以燒成，藉此來形成絶縁膜7 5。又，利用螢幕 術，在鈉擴散防止層7 4及複數個元件電極7 6 B上| ~ 糊劑後予以燒成，藉此來形成延伸於X軸方向的複 屬配線79B。另外，在製作金屬配線79B時，是以 線79B能夠經由絶縁膜75來與金屬配線79A交叉 塗佈Ag糊劑。藉由以上那樣的工程來取得圖27所 體 70A 〇 Φ 其次，藉由大氣壓下的氧氣電漿處理來使基體 液化。藉此處理，元件電極7 6 A的表面的一部份， 極7 6B的表面的一部份，及元件電極76A與元件電 之間露出的支持基板的表面會被親液化。然後，該 面會形成被噴出部78。另外，按材質，即使不進行 樣的表面處理，亦有可能取得呈現所望的親液性的 此情況是即使不實施上述表面處理，元件電極7 6 A 的一部份，元件電極 76B的表面的一部份，及元 • 76A與元件電極76B之間露出的鈉擴散防止層74 ’仍然形成被噴出部7 8。 形成有被噴出部78的基體70A是藉由搬送裝 來搬運至噴出裝置400的載物台106。然後，如圖 示，噴出裝置400會從噴頭114(圖9)來噴出導 膜材料4 1 1，而使導電性薄膜4 1 1 F能夠形成於被 7 8的全體。 具體而言，首先第1噴出噴頭部103C會位在 某被噴出部7 8的區域。如此一來，噴出裝置4 008 印刷技 I佈Ag 數條金 金屬配 之方式 不的基 70A親 元件電 極7 6 B 等的表 上述那 表面。 的表面 件電極 的表面 置470 30所 電性薄 噴出部 對應於 會從第 -73- (70) 1290067 1噴出噴頭部1 0 3 C的各個噴出噴嘴η 8 τ來往該被噴出部 7 8噴出導電性薄膜材料4 1 1的第丨液滴。接續於第1噴出 噴頭部103C，第2噴出噴頭部i〇3D會位在對應於該被噴 出部78的區域。然後，從第2噴出噴頭部i〇3D來往該被 噴出部7 8噴出導電性薄膜材料4丨丨的第2液滴。 本實施形態是在Y軸方向對載物台〗〇 6進行1次相對 移動的期間中，所望量的液狀導電性薄膜材料4 1 1會被塗 佈於被噴出部78的全體。這是因爲被噴出部78的全體分 布於第1範圍EXT内。 又，第1噴出噴頭部103C的噴出噴嘴118T及第2噴 出噴.頭部1 〇 3 D所對應的噴出噴嘴1 1 8 丁會在1次的掃描期 間中互相重疊於被噴出部7 8内的相同位置，因此來自一 個噴出噴嘴1 1 8T的導電性薄膜材料4丨〗的液滴的體積即 使小，還是能夠使1次的掃描期間中塗佈於被噴出部7 8 的導電性薄膜材料4 1 1的體積增加。

在本實施形態中，控制部1 1 2會對噴頭n 4賦予信 號，而使著落於被噴出部7 8上的導電性薄膜材料4丨〗的 液滴直徑能夠形成6 0 μηι〜8 0 μπι的範圍。當導電性薄膜材 料41 1的層被形成於基體70Α的被噴出部78的全體時， 搬送裝置470會使基體70Α位於乾燥裝置45 0内。然後， 使被噴出部7 8上的導電性薄膜材料4 1 1完全，藉此於被 噴出部7 8上取得以氧化鈀爲主成分的導電性薄膜4 1 1 F。 如此，在各個畫素區域中形成導電性薄膜4 1 1 F，其係覆 蓋元件電極7 6 Α的一部份，元件電極7 6 Β的一部份，及元 -74- (71) 1290067 件電極76A與元件電極76B之間露出的鈉’擴散防止層 74 ° • 其次，在元件電極76A及元件電極76B之間，施以脈 衝狀的特定電壓，藉此於導電性薄膜4 1 1 F的一部份形成 電子放出部4 1 1 D。又，最好在有機物環境下及真空條件 下分別進行元件電極7 6 A及元件電極7 6 B之間的電壓施 加。因此，來自電子放出部4 11 D的電子放出效率會形成 φ 更高。元件電極76A，及對應的元件電極76B，以及設有 電子放出部4 1 1 D的導電性薄膜4 1 1 F爲電子放出元件。並 且，各個電子放出元件是對應於各個畫素區域。 藉由以上的工程，如圖31所示，基體70A會形成電 子源基板70B。

其次，如圖3 2所示，藉由習知的方法來使電子源基 板70B與前面基板70C貼合，而取得畫像表裝置70。前 面基板70C具有：玻璃基板82，矩陣狀位於玻璃基板82 [φ 上的複數個螢光部84，及覆蓋複數個螢光部84的金屬板 ， 8 6。金屬板8 6是具有作爲供以加速來自電子放出部4 1 1 D 的電子束之電極的機能。電子源基板70Β與前面基板70C 是以複數個電子放出元件能夠分別對向於各個複數個螢光 部84的方式來對位。並且，在電子源基板70Β與前面基 板70C之間會保持真空狀態。 另外，具備上述電子放出元件的畫像顯示裝置7 0亦 被稱爲 SED ( Surface-Conduction Electron- Emitter Display)或 FED (Field Emission Display) 。又，本說明 -75- (72) 1290067 書中有時也會將液晶顯示裝置，電激發光顯示裝置，電漿 顯示裝置，及利用電子放出元件的畫像顯示裝置等表記爲 「光電裝置」。在此，本說明書中所謂的「光電裝置」並 非限於利用複折射性的變化，旋光性的變化或光散亂性的 變化等光學特性的變化（所謂光電效果）之裝置，意指對 應於信號電壓的施加來使光射出，透過，或反射的全部裝 置。 【圖式簡單說明】 圖1是表示實施形態1的噴出裝置的模式圖。 圖2是表示實施形態1〜7的噴出裝置之噴頭的底面 模式圖。 圖3(a)及（b)是表示實施形態1〜7的噴出裝置之 噴頭的構造模式圖。 圖4是表示實施形態1〜7的噴出裝置之控制部的機

圖5 ( a )及（b )是表示實施形態1〜7的噴出裝置之 噴頭驅動部的模式圖。 圖6是表示實施形態〗的2個噴出噴頭部的模式圖。 圖7是表示實施形態1的塗佈工程的模式圖。 圖8是表示實施形態〗的塗佈工程的模式圖。 圖9是表示實施形態2的2個噴出噴頭部的模式圖。 圖1 〇是表示實施形態2的噴頭群的模式圖。 圖】1是表示實施形態3的2個噴出噴頭部的其中一 -76- (73) 1290067 個的模式圖。 圖1 2是表示實施形態3的噴頭群的模式圖。 k 圖1 3 ( a )是表示實施形態4的基體的剖面的模式 圖，（b )是表示實施形態4的基體的上面的模式圖。 圖1 4是表示實施形態4的彩色濾光片製造裝置的模 式圖。 圖1 5是表示實施形態4的噴出裝置的模式圖。 • 圖1 6是表示實施形態4的塗佈工程的模式圖。 圖1 7是表示實施形態4的彩色濾光基板的製造方法 的模式圖。 圖1 8 ( a )是表示實施形態5的基體的剖面的模式 圖，（b )是表示實施形態5的基體的平面的模式圖。 圖1 9是表示實施形態5的電激發光顯示裝置的模式 圖。 圖2 0是表示實施形態5的噴出裝置的模式圖。 ^ 圖2 1 ( a )〜（d )是表示實施形態5的電激發光顯示 裝置的製造方法的模式圖。 圖22 ( a )是表示實施形態6的基體的剖面的模式 圖，（b )是表示實施形態6的基體的平面的模式圖。 圖23是表示實施形態6的電漿顯示裝置的一部份的 模式圖。 圖2 4是表示實施形態6的噴出裝置的模式圖。 圖2 5 ( a )〜（c )是表示實施形態6的電漿顯示裝竃 的製造方法的一部份的模式圖。 -77- (74) (74)1290067 圖26是表示藉由實施形態6的製造方法所製造的電 發顯不裝置的剖面的模式圖。 圖2 7 ( a )是表示實施形態7的基體的剖面的模式 圖，（b )是表示實施形態7的基體的平面的模式圖。 圖2 8是表示實施形態7的畫像顯示裝置的製造裝置 的模式圖。 圖29是表示實施形態7的噴出裝置的模式圖。 圖3 0是表示實施形態7的畫像顯示裝置的製造方法 的模式圖。 圖3 1是表示實施形態7的畫像顯示裝置的製造方法 的模式圖。 圖3 2是表示實施形態7的畫像顯示裝置的製造方法 的模式圖。 圖3 3是表示基體上的被噴出部與掃描範圍的關係模 式圖。

【主要元件符號說明】 1，2，3，4…製造裝置，；! A〜8 B…噴嘴歹！J，1 0…彩色 濾光基板，l〇A，l〇L…基體，GS…大規模載物台，14A... 第1支持構造體，14B···第2支持構造體，18L··.被噴出 部，1 8R，1 8G，1 8B …被噴出部，1 〇〇，1 〇〇r，1 〇〇g， 100B·.·噴出裝置’ loiA，101B…槽，1〇2…噴出掃描部， 1〇6.··載物台，103A，l〇3C , 103E…第1噴出噴頭部， 103B，103D，103F.·.第2噴出噴頭部，1〇8…位置控制裝 -78- (75) (75)

1290067 置，1 1 0A，1 1 0B…管，；111…液狀材料， 111B…彩色濾光片材料，111FR，111FG， 層，112…控制部，114.··噴頭，114G..·噴1 嘴歹 ij ，116B···噴嘴歹U，118...噴嘴，118111 嘴，118R2..·第 2基準噴嘴，118T...噴出噴 子，124A，124B.··電極，124C···壓電元{ 板，127…噴出部，128…噴嘴板，129··· 1 孔，20 0R，200G，200B···噴出裝置，2 211B …發光材料，3 00R，3 0 0G，3 00B 311R，311G，311B.··螢光材料，311FR，3 螢光層，411…噴出裝置。 1 1 1R，1 11G， 1 1 1FB...濾光片 丨群，1 16A...噴 ...第1基準噴 嘴，124…振動 ΐ，126…振動 f 液池，13 1 ... 1 1 R，2 1 1 G， .噴出裝置， :1 FG，3 1 1 FB ... -79^

Claims (1)

1290067

十、申請專利範圍 1 · 一種噴出裝置，係具備： 載物台’其係承載被噴出部位於沿著X軸方向的第1 範圍内的基體； 第1噴出噴頭部，其係以複數個第1噴出噴嘴能夠分 布於上述第1範圍中之方式來構成； 第2噴出噴頭部，其係以複數個第2噴出噴嘴能夠分 布於上述第1範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方 向的Y軸方向上，只離開上述第1噴出噴頭部一第1距 離’且位置會針對上述第1噴出噴頭部來予以固定；及 掃描部，其係使上述第1噴出噴頭部及上述第2噴出 噴頭部的一組及承載上述基體的上述載物台的至少一方對 另一方相對移動於上述Y軸方向， 其特徵爲： 藉由往上述Y軸方向的相對移動，當上述複數個第1 噴出噴嘴的至少一個到達對應於上述被噴出部的區域時， 以具有流動性的材料能夠被塗佈於上述被噴出部之方式， 由上述至少一個第1噴出噴嘴來噴出上述材料的第1液 滴， 錯由往上述Y軸方向的相對移動，當上述複數個第2 噴出噴嘴的至少一個到達對應於上述被噴出部的區域時， 以上述材料能夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述至 少一個第2噴出噴嘴來噴出上述材料的第2液滴。 2 .如申請專利範圍第！項之噴出裝置，其中複數個上 -80- (2) 1290067 述被噴出部會位於上述第1範圍中， 藉由上述相對移動，當上述複數個第1噴出噴嘴分giJ 到達對應於上述複數個被噴出部的區域時，以上述材料能 夠被塗佈於各個被噴出部之方式，由所對應之第1噴出噴 嘴來噴出上述第1液滴， 藉由上述相對移動，當上述複數個第2噴出噴嘴分別 到達對應於上述複數個被噴出部的區域時，以上述材料能 夠被塗佈於各上述複數個被噴出部之方式，由所對應之上 述第2噴出噴嘴來噴出上述第2液滴。 3 ·如申請專利範圍第1項之噴出裝置，其中上述掃描 部係使承載上述基體的上述載物台移動於上述γ軸方向的 一方向。 4 .如申請專利範圍第1項之噴出裝置，其中上述掃描 部係使承載上述基體的上述載物台以大致等速度移動。

5 .如申請專利範圍第3項之噴出裝置，其中上述掃描 部係使上述載物台在上述Y軸方向從第丨位置移動至第2 位置，當上述載物台位於第1位置時，上述基體會承載於 上述載物台，至上述載物台到達第2位置爲止，完成上述 基體之全部對上述被噴出部的上述材料之塗佈。 6 · —種材料塗佈方法，其特徵係包含： 步驟A，其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第1範 圍内的基體承載於載物台； 步驟B ’其係針對第〗噴出噴頭部及第2噴出噴頭 邰，使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 -81 - (3) (3)

4 1290067 Y軸方向的一方向，該第1噴出噴頭部係以複數個第1噴 出噴嘴能夠分布於上述第1範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方向的γ軸方 向上，只離開上述第1噴出噴頭部一第丨距離，且位置會 針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟C，其係上述複數個第1噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時’以具有流動性的材料能夠被 塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1噴出噴嘴來 噴出上述材料的第1液滴；及 步驟D，其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以上述材料能夠被塗佈於上 述被噴出部之方式，由上述一個第2噴出噴嘴來噴出上述 材料的第2液滴。 7 . —種彩色濾光基板的製造方法，其特徵係包含： 步驟A ’其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第丨範 圍内的基體承載於載物台； 步驟B，其係針對第1噴出噴頭部及第2噴出噴頭 部’使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 Y軸方向的一方向，該第1噴出噴頭部係以複數個第1噴 出噴嘴能夠分布於上述第1範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 fc圍中之方式來構成，在正交於上述χ軸方向的γ軸方 向上’只離開上述第1噴出噴頭部一第1距離，且位置會 -82 - 1290067

針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟C，其係上述複數個第1噴出噴嘴的〜個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以具有流動性的彩色濾光片 材料能夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1 D貝出噴嘴來噴出上述彩色濾光片材料的第1液滴；及 步驟D ’其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以上述彩色濾光片材料能夠 被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第2噴出噴嘴 來噴出上述彩色濾光片材料的第2液滴。 8 · —種電激發光顯示裝置的製造方法，其特徵係包 含： 步驟A，其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第〗範 圍内的基體承載於載物台；

步驟B，其係針對第1噴出噴頭部及第2噴出噴頭 部’使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 γ軸方向的一方向，該第1噴出噴頭部係以複數個第1噴 出噴嘴能夠分布於上述第1範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方向的γ軸方 向上，只離開上述第1噴出噴頭部一第1距離，且位置會 針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟C ’其係上述複數個第1噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以具有流動性的發光材料能 夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1噴出噴 -83- (5) 1290067 嘴來噴出上述發光材料的第1液滴；及 步驟D，其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以上述發光材料能夠被塗佈 於上述被噴出部之方式，由上述〜個第2噴出噴嘴來噴出 上述發光材料的第2液滴。 9 · 一種電漿顯示裝置的製造方法，其特徵係包含： 步驟A ’其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第1範 • 圍内的基體承載於載物台； 步驟B，其係針對第1噴出噴頭部及第2噴出噴頭 部’使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 Y軸方向的一方向，該第】噴出噴頭部係以複數個第I噴 出噴嘴能夠分布於上述第〗範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 範圍中之方式來構成’在正交於上述χ軸方向的γ軸方 向上’只離開上述第i噴出噴頭部一第1距離，且位置會 Φ 針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟c ’其係上述複數個第1噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以具有流動性的螢光材料能 夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1噴出噴 嘴來噴出上述螢光材料的第1液滴；及 步驟D ’其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以上述螢光材料能夠被塗佈 於上述被卩貝出部之方式，由上述一個第2噴出噴嘴來噴出 上述螢光材料的第2液滴。 -84- (6) 1290067 1 0 · —種配線製造方法，其特徵係包含： 步騾A，其係使被噴出部位於沿著X軸方向的第1範 圍内的基體承載於載物台；

步驟B，其係針對第1噴出噴頭部及第2噴出噴頭 部，使承載上述基體的上述載物台的相對位置變化於上述 Y軸方向的一方向，該第1噴出噴頭部係以複數個第〗噴 出噴嘴能夠分布於上述第1範圍中之方式來構成，該第2 噴出噴頭部係以複數個第2噴出噴嘴能夠分布於上述第1 範圍中之方式來構成，在正交於上述X軸方向的γ軸方 向上，只離開上述第1噴出噴頭部一第1距離，且位置會 針對上述第1噴出噴頭部來予以固定； 步驟C，其係上述複數個第1噴出噴嘴的一個到達對 應於上述被噴出部的區域時，以具有流動性的導電性材料 能夠被塗佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第1噴出 噴嘴來噴出上述導電性材料的第1液滴；及 步驟D ’其係上述複數個第2噴出噴嘴的一個到達¥寸 應於上述被噴出部的區域時，以上述導電性材料能夠被塗 佈於上述被噴出部之方式，由上述一個第2噴出墳嘴來噴 出上述導電性材料的第2液滴。 -85-