1282580 A7 B7 五、發明説明（！） 技術領域 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關顯示胞晝面隔板的形成步驟，具有特徵 的電漿顯示面板的製造方法。 先行技術 電漿顯示面板（PDP)，由於可容易製造大型的面板，視 野廣、自然光型顯示品位高等的理由，相關的平面面板顯 示技術倍受注目。特別是彩色電漿顯示面板，20吋以上的 壁掛電視用的顯示裝置期待成爲將來的主流。 彩色-PDP由氣體放電產生紫外線照射於螢光物可顯示 彩色。而一般相關的彩色-PDP，紅色發光用螢光物位置、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 綠色發發光用螢光物位置及藍色發光用螢光物位置係形成 於基板上，各色的發光顯示胞均勻的構成混合存在於全體 。具體的如由玻璃所成的基板表面，設置由絕緣材料形成 的所謂柵欄的隔板，由此，隔板多數的顯示胞被區隔，該 顯示的內部成爲電漿作用的空間。此處，隔板的高度通常 爲1 00〜200 // m，因此，此電漿作用空間可設置螢光物位 置的同時，於此螢光物位置設置作用電漿的電極，構成各 各顯示胞的顯示單位的電漿顯示器面板。 構成如此電漿顯示器面板的隔板的形成方法，已知於 基板上全面形成含透明玻璃質樹脂層，該含透明玻璃質樹 脂層上以光阻膜的圖案形成顯影用罩膜後，以硏磨材料噴 射蝕刻含透明玻璃質樹脂層，殘留含透明玻璃質樹脂層的 圖案，將其焙燒形成隔板的噴砂方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "' 1282580 A7 B7 五、發明説明（2) (請先盹讀背面之注意事項再填寫本頁) 有關上述噴砂方法，含透明玻璃質樹脂層的形成，通 常爲網版印刷法塗覆含透明玻璃質樹脂組成物所形成，一 次的印刷塗覆所形成的膜爲1 0〜2 0 // m程度，形成所希望 的高度（例如100〜200 // m)的隔板，.通常不得不進行幾次〜 十幾次的多重印刷。 發明揭示 (1) 以網版印刷法重複多次塗覆含透明玻璃質樹脂組 成物的操作（多重印刷），煩雜且作業性差。又塗覆含透明坡 璃質樹脂組成物須確認構成成分的分散狀態，產生透明玻 璃質的沈澱等分散不良時，不得不做再分散處理。因此， 經如此煩雜的塗覆步驟的漀來的含透明玻璃質樹脂層形成 方法，以PDP的製造效率的觀點而言有問題，隨著顯示面 板的大型化成爲特別顯著的問題。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2) 利用網版印刷法多重印刷形成含透明玻璃質樹脂 層時，該含透明玻璃質樹脂層的圖案焙燒不能形成均勻的 隔板高度（例如公差在± 5%以）。此因網版印刷法多重印刷 ，於基板表面均勻塗覆含透明玻璃質樹脂組成物有困難， 塗覆面積（面板大小）愈大，或塗覆次數愈多，含透明玻璃質 樹脂層的膜厚差異的程度愈大。因此，多重印刷的塗覆步 驟所得的具備隔板的面板材料，在此面板內，由隔板高度 的差異爲原因產生放電特性的差異，放電特性的差異爲 PDP顯示缺陷（輝度差異）的原因。因此，膜厚的均勻性不充 分的含透明玻璃質樹脂層所成的隔板，於隔板的上面須要 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 1282580 A7 ________ B7 _ 五、發明説明（3) 研1磨步驟，成爲作業煩雜的問題所在。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明的第一目的爲提供具有新穎的隔板形成方法的 電漿顯示器面板的製造方法。 本發明的第二目的爲提供比向來的製造方法形成隔板 的實質步驟數少，製造效率優的電漿顯示器面板的製造方 法。 本發明的第三目的爲提供可形成高精度尺寸隔板電漿 顯示器面板的製造方法。 本發明的第四目的爲提供適合於新穎的隔板形成步驟 使用的隔板形成用轉印膜。 本發明的電漿顯示器面板的製造方法，其特徵爲含下 述⑴〜（iv)的步驟形成隔板的方法。 (i) 支撐膜上已形成的含透明玻璃質樹脂層以轉印的方 式於基板上形成含透明玻璃質樹脂層，該含透明玻璃質樹 脂層上形成光阻膜的步驟； (ii) 光阻膜曝光-顯影處理後於含透明玻璃質樹脂層上 形成光阻圖案的步驟； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (iii) 含透明玻璃質樹脂層經噴砂處理後對應光阻圖案 形成基板上含透明玻璃質樹脂層的圖案的步驟； (iv) 含透明玻璃質樹脂層圖案的焙燒步驟。 圖面之簡單說明 【圖1】 所示爲有關本發明的製造方法的隔板的形成步驟（轉印 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " ' -6 - 1282580 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4) 步驟-光阻膜的形成步驟-曝光步驟）的一例之槪略剖面圖。 【圖2】 所示爲有關本發明的製造方法的隔板的形成步驟（顯影 步驟-噴砂步驟-焙燒步驟）的一例之槪略剖面圖。 【符號的說明】 11玻璃基板 12電極 .20轉印膜 21含透明玻璃質樹脂層 22支撐膜 2 5含透明玻璃質圖案 25A樹脂層殘留部份 25B樹脂層去除部份 31光阻膜 35光阻圖案 35A光祖膜殘留部份 35B光阻膜去除部份 40隔板 5 0面板材料 Μ曝光用罩膜 ΜΑ光穿透部份 MB遮光部份 本&尺度適财國醉縣（ϋ^Γ21〇Χ297公釐）- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
1282580 A7 B7 五、發明説明（5) 發明之最佳實施形態 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 有關本發明的製造方法理想的實施形態如以下所述。 (a) 支撐膜上已形成的光阻膜以轉印形成光阻膜於含透 明玻璃質樹脂層上。 (b) 於支撐膜上已形成的光阻膜及含透明玻璃質樹脂 層以轉印形成含透明玻璃質樹脂層及光阻膜於基板上。 (c) 由複數的含透明玻璃賢樹脂層所成的層合物以轉印 形成於基板上。 (d) 含透明玻璃質樹脂層爲含鹼不溶性或難溶性的樹 脂成分，光阻膜爲含鹼可溶性的樹脂成分。 (e) 光阻膜及/或含透明玻璃質樹脂層含有黑色顏料。 本發明的隔板形成用轉印膜的理想實施形態如以下所 述。 U)光阻膜及含透明玻璃質樹脂層含有黑色顏料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (b) 支撐膜上形成光阻膜、含黑色顏料的含透明玻璃 質樹脂層或不含黑色顏料的含透明玻璃質樹脂層所成的層 合膜。 (c) 支撐膜上已由光阻膜、含透明玻璃質樹脂層所形成 的轉印膜，該轉印面的含透明玻璃質樹脂層其透明玻璃質 的含量比其他各自的含透明玻璃質樹脂層透明玻璃質的含 量爲小。 【作用】 本紙張尺度適用巾國家標準（CNS )从規格（21Gx297公董）'一—'一 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（6) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 有關本發明的製造方法，含透明玻璃質樹脂層非以含 透明玻璃質膏狀物（含透明玻璃質樹脂組成物）直接塗覆於具 有剛性的支撐膜上所形成，係由塗覆於可繞性支撐膜上而 形成。因此該膏狀組成物的塗覆方法爲採用圓筒塗覆器的 塗覆方法，由此可於支撐膜上形厚的膜厚、且膜厚均勻性 優的含透明玻璃質樹脂層（例如100// m ± 5 // m)。而且，由 此所形成的含透明玻璃質樹脂層以簡單的轉印操作一倂轉 印至基板的表面，該含透明玻璃質樹脂層可確實的形成於 基板上。因此依本發明的製造方法，可謀求含透明玻璃質 樹脂層形成步驟的步驟改善（高效率化），所形成的隔板的品 質可向上（膜厚均勻性）提昇。 以下詳細說明本發明的製造方法。有關本發明的製造 方法由[1]含透明玻璃質樹脂層的轉印步驟、[2]光阻膜 的形成步驟、[3]光阻膜的曝光步驟、[4]光阻膜的顯影步 驟、[5]含透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟、[6]含透明玻璃 質樹脂層的圖案的焙燒步驟形成隔板於基板的表面。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 <含透明玻璃質樹脂層的轉印步驟> 圖1及圖2所示爲有關本發明的製造方法隔板的形成 步驟的一例之槪略剖面圖。圖1 U)，11玻璃基板、此玻璃 基板上爲產生電漿以等間隔的配列電極12。 本發明的製造方法係使用轉印膜，轉印構成該轉印膜 的含透明玻璃質樹脂層至已固定電極的基板表面爲其特徵 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 1282580 A7 B7 五、發明説明（7) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中，轉印膜係由支撐膜、上述支撐膜上具有已形成 含透明坡璃質樹脂層所成，該透明玻璃質樹脂層上可設置 保護膜層。有關轉印膜的構成於後段再述。 以下所示爲轉印步驟的一例。依必要剝離轉印膜上的 保護層膜後，如圖1 (b)所示，玻璃基板1 1的表面，與轉 印膜20的透明玻璃質樹脂層21的表面重疊接觸，此轉印 膜以加熱圓筒熱壓接合後，由透明玻璃質樹脂層21將支撐 膜22剝離除去。呈現如圖丨（c)所示玻璃基板1的表面由轉 印而密合透明玻璃質樹脂層21的狀態。此處，相關的轉印 條件，可爲加熱圓筒的表面溫度爲50〜200°C，加熱圓筒的 壓力爲0.5〜30 kg/cm，加熱圓筒的移動速度爲〇.1〜1〇.〇m/
分鐘。又，玻璃基板11可先預熱，預熱溫度爲5〇〜200°C 〇 <光阻膜的形成步驟> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關此步驟，如圖1 (d)所示，已轉印的含透明玻璃 質樹脂層2 1的表面形成光阻膜3 1。構成此光阻膜的光阻劑 可爲正型光阻劑或負型光阻劑的任一者，具體的組成物後 述。 光阻膜3 1可由網版印刷法、輥輪塗覆法、旋轉塗覆法 、流動塗覆法、等的種種方法塗覆光阻劑後，將塗膜乾燥 而形成。此塗膜的乾燥溫度通常爲50〜15(TC左右。 又，可由支撐膜上已形成的光阻膜經轉印形成於含透 明玻璃質樹脂層（2 1)的表面。依此形成方法，可減少光阻膜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 1282580 Α7 Β7 五、發明説明（8) 的形成步驟數的同時，所得的光阻膜爲膜厚均勻性優者， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 該光阻膜的顯影處理及隔板形成材料層的蝕刻處理可均勻 的進行，所形成的隔板高度及形狀均勻。 通常光阻膜（31)的膜厚爲0.1〜100// m，理想爲1〜50 /z m 〇 <光阻膜的曝光步驟> 有關此步驟，如圖1 (e)所示，含透明玻璃質樹脂層 (21)的表面所形成的光阻膜31的表面，介以罩膜M，以紫 外線等放射線作選擇性照射（曝光），形成光阻圖案的潛影。 有關同圖的MA及MB各自爲曝光用罩膜Μ的光穿透部份 及遮光部份。 此處，作爲放射裝置上述光鈾法所使用的紫外線裝置 、半導體及液晶顯示裝置製造時所使用的曝光裝置等，無 特別的限制。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，光阻膜由轉印形成時，光阻膜上的支撐膜以不剝 離的狀態下進行曝光，曝光後再剝離支撐膜亦可。以不剝 離支撐膜進行曝光，可提高曝光感度，又，可防止曝光用 罩膜的污染。 〈光阻膜的顯影步驟〉 有關此步驟，由已曝光的光阻膜的顯影處理，將光阻 膜圖案（潛影）顯影化。 此處顯影處理條件，可依光阻膜（31)的種類等，顯影液 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） · -11 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（9) 的種類、組成、濃度、顯影時間、顯影溫度、顯影方法（如 浸漬法、搖動法、淋浴法、噴霧法、表面張力法）、顯影裝 置等作適當選擇。 依此顯影步驟，如圖2 (f)所示係由光阻劑殘留部份 35A，及光阻劑去除部份35B的構成所形成的光阻圖案35( 對應曝光用罩膜Μ的圖案）。 此光阻圖案35，於次一步驟（蝕刻步驟）作爲噴砂罩膜 的作用，光阻劑殘留部份35Μ的構成材料必要比含透明玻 璃質樹脂層的構成材料對噴砂的噴砂速度要小。 <含透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟> 有關此步驟，含透明玻璃質樹脂層經噴砂處理後，對 應光阻圖案形成含透明玻璃質樹脂層圖案， 即，如圖2 (g)所示，含透明玻璃質樹脂層21中，光 阻圖案35的光阻劑去除部份的對應部份以噴砂處理切削而 作選擇性的去.除。此處，圖2(g)所示爲噴砂處理中的狀 態。 然後，更進一步繼續噴砂處理時，如圖2(h)所示， 含透明玻璃質樹脂層21電12週圍部份被去除，此形成樹 脂層殘留部份25 A，及樹脂層去除部份25B所構成的含透 明玻璃質樹脂層圖案25。 有關噴砂處理所使用的硏磨劑，可使用公知的種種硏 磨劑。例如玻璃粒、SiC、Si〇2、Al2〇3、Zr〇等粒徑在2〜 100 μ m程度的微粒子。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 1282580 A7 ______ B7 _ 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 又，噴砂處理後殘留的光阻圖案（35A)，可於其次的焙 燒步驟中燒掉除去。又，除去噴砂處理後的光阻圖案，可 於5 0〜8 0 °C攪拌中的剝離液中浸漬該基板5〜3 0分鐘，將 其剝離除去。此處所使用的剝離液，可列舉如第4級銨鹽 及二甲基亞碼及水的混合溶液。 <含透明玻璃質樹脂層的圖案的焙燒步驟〉 有關此步驟，係將含透明玻璃質樹脂層圖案25焙燒形 成隔板。依此，樹脂層殘留部份25A中的有機物質被燒掉 形成隔板，如圖2 (i)所示，玻璃基板11的表面形成隔板 40，得到面板材料50 。因，此面板材料50，由隔板40 區劃出空間（樹脂層去除部份25B而來的空間）成爲電漿作用 空間。 此處的焙燒處理的溫度，必要能燒掉樹脂殘留份（25A) 中的有機物質的溫度，通常爲400〜600°C。又，焙燒的時 間通常爲10〜6 0分鐘。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 <理想的實施形態> 有關本發明的製造方法，光阻膜及/或含透明玻璃質 樹脂層以含黑色顏料者爲理想。由於光阻膜及/或含透明 玻璃質樹脂層含黑色顏料者，所形成的隔板的頂部呈黑色 ，電漿顯示器面板的顯示對比可提高。更進一步透明玻璃 質樹脂層含黑色顏料時，由複數透明玻璃質樹脂層所成的 層合物之中，僅以形成隔板的頂部的該層（與光阻膜的接觸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 1282580 A7 B7 五、發明説明（彳)| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 層）含黑色顏料爲理想。由於僅有形成隔板頂部的該層含黑 色顏料，可形成僅有白色隔板的頂部黑色化，可提高電漿 顯示器面板的顯示對比的及發光效率的雙重效果。 更且，有關本發明的製造方法，以由對應不同噴砂切 削性的複數含透明玻璃質樹脂層所成的層合物爲理想。由 此可形成所期望的剖面形狀的隔板。 此處，形成複數含透明玻璃質樹脂層所成的層合物於 基板上的方法，以①以複數次轉印於支撐膜上已形成的含 透明玻璃質樹脂層（單層）的方法，②由複數層含透明玻璃質 樹脂層所成的層合物一倂轉印的方法的任一的方法均可， 以轉印步驟的簡略化的觀點而言以②的方法爲理想。 <爲形成隔板的其他方法〉 有關本發明的電漿顯示器面板的製造方法的隔板形成 方法不限定於圖1及圖2所示的方法。 其他隔板的形成方法可列舉如以下（1)〜（3)的步驟所 成的形成方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1) 支撐膜上形成光阻膜後，該光阻膜上以含透明玻 璃質樹脂層形成層合。此處，形成光阻膜及含透明玻璃質 樹脂層時，可使用輥輪塗覆器等，由，可於支撐膜上形成 優均勻性膜厚的層合膜。 (2) 支撐膜上已形成的光阻膜及含透明玻璃質樹脂層 轉印至基板。此處，轉印條件則與前述『含透明玻璃質樹 脂層的轉印步驟』相關的條件相同。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） ' — ^ -14 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（d (請先閲讀背面之注意事项#:1 填¾1本頁) (3)上述『光阻膜的曝光步驟』、『光阻膜的顯影步 驟』、『含透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟』及『含透明玻 璃質樹脂層的圖案的焙燒步驟』進行同樣的操作。 依以上的方法，含透明玻璃質樹脂層及光阻膜一倂轉 印至基板上，由步驟的簡略化可更提高製造效率。 依本發明的製造方法所形成的隔板，一般面板的顯示 胞（顯示單位）以橫方向作區劃。依隔板區劃的顯示胞[的橫 向間隔的大小，爲0.10〜1.00 mm 。 隔板的剖面形狀、幅、高度、隔板的離間等的尺寸， 因應目的電漿顯示器面板的特性而作適當的選擇。 具體的，有關隔板的剖面形狀的底面的幅爲10〜300 V in，尚度爲10〜500// m，隔板的離間距離爲50〜1000// πί ，該隔板配置的電極的幅爲50〜500 // m。特別典型的一例 ，其隔板的剖面形狀，底幅爲5 0 // m、高度爲1 5 0 // m、隔 板的離間距離爲300 // m，該隔板間所配置的電極幅爲100 "m 〇 以下說明上述有關各步驟所使用的材料，各種條件等 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 <基板〉 電漿引發用的電極爲多數配列的同時，形成隔板的基 板，例如玻璃、矽、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚醯胺、聚 醯亞胺醯胺、聚醯亞胺等的絕緣林料所成的板狀材料。此 板狀材料的表面依必要以矽烷偶合劑等藥品處理；等離子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 1282580 A7 B7 五、發明説明（ 處理；離子鍍金法、潑射法、氣相反應法、真空蒸鍍法等 薄膜形成處理等，施以適當的前處理。 又，有關本發明的基板以使用具有耐熱性的玻璃爲理 想。理想的玻璃基板可例舉如日本旭硝子（株）製PD200。 <轉印膜〉 本發明的製造方法所使用的轉印膜係由支撐膜，及此 支撐膜上已形成的含透明玻璃質樹脂層所成，該含透明玻 璃質樹脂層的表面可設置保護膜層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，本發明的隔板形成用轉印膜係由支撐膜上含有含 鹼可溶性的樹脂成分的光阻膜及含鹼不溶性或難溶性的樹 脂成分含透明玻璃質樹脂層的層合膜所形成。又，上述本 發明的轉印膜爲①光阻膜及/或含透明玻璃質樹脂層含有 黑色顏料者②於支撐膜上形成光阻膜、含黑色顏料的含透 明玻璃質樹脂層或不含黑色顏料的含透明玻璃質樹脂層的 層合膜所成者③支撐膜上已由光阻膜、含透明玻璃質樹脂 層所形成的轉印膜，該轉印面的含透明玻璃質樹脂層其透 明玻璃質的含量比其他各自的含透明玻璃質樹脂層透明玻 璃質的含量爲小者。其中，以③所舉的本發明轉印膜，具 特優的轉印膜可繞性及轉印性，可作爲理想的對象。又， 此等的轉印膜特別適合本發明的製造方法使用。 (1)支撐膜： 構成轉印膜的支撐膜以具有耐熱性及耐溶劑性的同時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16 - 1282580 A 7 —__B7 五、發明説明（j 請 先 閱 讀 背 之 注 意I 事 項 再丨 Φτ\ 寫; 本丨 頁丨 ，具有可繞性的樹脂膜爲理想。由於支撐膜的可繞性，可 用輥輪塗覆器等塗覆膏狀組成物，將含透明玻璃質樹脂層 捲成圓筒狀的形態保存，供給。支撐膜形成的樹脂可列舉 如聚乙撐對苯二甲酸、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯 、聚醯亞胺、聚乙烯醇、聚乙烯、聚氟乙烯等的含氟樹脂 、尼龍、纖維素等。支撐膜的厚度爲20〜100 // m。 (2) 含透明玻璃質樹脂層： 構成轉印膜的含透明玻璃質樹脂層係由含有透明玻璃 質、結合樹脂及溶劑爲必要成分的膏狀組成物（含透明玻璃 質樹脂組成物）塗覆於上述支撐膜上，將塗膜乾燥除去溶劑 的一部份或全部而形成。 (3) 含透明玻璃質樹脂組成物： 轉印膜製作所使用的的含透明玻璃質樹脂組成物，係 由含（a)低溶點透明玻璃質、（b)結合樹脂及（〇溶劑所 成的膏狀的組成物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 構成含透明玻璃質樹脂組成物的低溶點透明玻璃質的 具體例可列舉如 ① 氧化鋅、氧化硼、氧化矽的混合物（Zn〇-B2〇3-Si〇2 系） ② 氧化鉛、氧化硼、氧化矽的混合物（PbO-B2〇3-Si〇2 系） ③ 氧化鉛、氧化硼、氧化矽、氧化鋁的混合物（Pb〇- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格< 21〇Χ297公釐） 17 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（y B2〇3-Si〇2-Al2〇3 系） 請 先 m 讀 背 ®： 之 注 意 事: 項: 再: 填 寫 頁 ④氧化鉛、氧化鋅、氧化硼、氧化矽的混合物”⑽-Zn〇-B2〇3-Si〇2系） 等。又，上述以外另有適合用於形成電漿顯示器隔板的組 成物。 透明玻璃質的軟化點，通常爲400〜600°C的範圍。透 明玻璃質的軟化點低於400c時，對本發明的電漿顯示器面 板的製造方法的焙燒步驟，在含透明玻璃質樹脂層所含的 結合樹脂等的有機物質尙未完全分解除去的階段，透明玻 璃質即已溶融。所形成的隔板中有殘留一部份有機物質的 傾向的同時，隔板的形狀恐不能保持。一方面，透明玻璃 質的軟化點600°C時，爲保持隔板與基板的密合力，必需以 高於600°C焙燒，玻璃基板容易發生變形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 透明玻璃質通常使用的平均粒徑（中數徑）爲0.1〜10 // m者，理想爲〇. 1〜1〇 // m。透明玻璃質的平均粒徑低於 0.1//m時，含透明玻璃質樹脂組成物中容易產生透明玻璃 質凝聚。又透明玻璃質的平均粒徑超過10 // m時，恐有所 形成的隔板圖案精度。以透明玻璃質的平均粒度以0.35〜 3.0 // m爲更理想。此處「透明玻璃質的平均粒度」係由雷 射反射散射法測定的粒子徑所求出的値。 構成含透明玻璃質樹脂組成物的結合樹脂，可使用種 種的樹脂，以丙烯酸樹脂爲理想。由於結合樹脂含有丙烯 酸樹脂，本發明的製造方法使用的理想的轉印膜爲對基板 具有優（加熱）接合性者。因此，將含透明玻璃質樹脂組成物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 1282580 A7 B7 五、發明説明（d 塗覆於支撐膜上製造轉印膜時，所得的轉印膜爲含透明玻 璃質樹脂層的優轉印性（對基板的加熱接合性）者。 (請先閱赛背面之注意事項再填寫本頁) 構成含透明玻璃質樹脂組成物的丙烯酸樹脂，係由具 有適度粘合性可結合低融點透明玻璃質，經焙燒處理（400、 600°C)可完全燒掉去除的（共）聚合物中選擇。 又，上述丙烯酸樹脂以鹼不溶性或難溶性的樹脂者爲 理想。此處所謂「鹼不溶性或難溶性」係指本發明的光阻 膜的顯影條件下，使用丙烯酸樹脂被覆膜代替該含透明玻 璃質樹脂層顯影時，殘存初期膜厚的50%以上，特別理想 爲顯影後殘存90%以上的性質。 相關的丙烯酸樹脂係以下述一般式（1)所示（甲基）丙烯 酸酯化合物的單獨聚合物、下述一般式（1)所示（甲基）丙烯 酸酯化合物的二種以上共聚合、及下述一般式（1)所示（甲基 )丙烯酸酯化合物與共聚合性單體的共聚合物。 R1
I H2 C = C —C〇〇R2 (1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [式中所示，R1爲氫原子或甲基]，R2爲一價的有機基。] 上述一般式（1)所示的（甲基）丙烯酸酯化合物的具體例 可列舉如（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙 烯酸酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸異丙酯、（甲基） 丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸異丁酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯、（ 曱基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸異戊酯、（甲基）丙烯酸己酯 、（甲基）丙烯酸庚酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基）丙烯酸異 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 1282580 A7 B7 五、發明説明（d (請先閲讀背*:、5|出意事^!#!4:寫本頁) 辛酯、（甲基）丙烯酸乙己酯、（甲基）丙烯酸壬酯、（甲基）丙 烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸異癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷酯、（ 甲基）丙烯酸十二烷酯、（甲基）丙烯酸十七烷酯、（甲基）丙烯 酸異十七烷酯等的（甲基）丙烯酸烷基酯； 羥基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯 、3-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯 、3-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯、4…羥基丁基（甲基）丙烯酸酯 等的羥基烷基（甲基）丙烯酸酯； 苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基（甲 基）丙烯酸酯等的苯氧基烷基（甲基）丙烯酸酯； 2-甲氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-乙氧基乙基（甲基）丙 烯酸酯、2-丙氧基乙基（甲基)丙烯酸酯、2-丁氧基乙基（甲基 )丙烯酸酯、2-曱氧基丁基（甲基）丙烯酸酯等的烷氧基烷基（ 甲基）丙烯酸酯； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 聚乙二醇單（甲基）丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇甲氧基（ 甲基）丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、苯氧基 聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇（甲基）丙烯 酸酯、聚丙二醇單（甲基）丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇（甲基） 丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇（甲基）丙烯酸酯、壬基苯氧基聚 丙二醇（甲基）丙烯酸酯等的聚烷撐基二醇（曱基）丙烯酸酯； 環己基（甲基）丙烯酸酯、4-丁基環己基（甲基）丙烯酸酯 、二環戊烯基（甲基）丙烯酸酯、冰片基（甲基）丙烯酸酯、異 冰片基（甲基）丙烯酸酯、三環癸烯基（甲基）丙烯酸酯等的環 烷基（甲基）丙烯酸酯； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 1282580 A7 B7 五、發明説明（d 苄基（甲基）丙烯酸酯、四氫糖醇（甲基）丙烯酸酯等。 請 先 閲 讀 背 夯 I 事 項 再 填 馬 本 頁 此類之中，上述一般式（1)中，R2所示之基以含烷基或 烷氧基烷基等爲理想，特別理想的可列舉如（甲基）丙烯酸酯 爲丁基（甲基）丙烯酸酯、乙己基（甲基）丙烯酸酯、月桂基（甲 基）丙烯酸酯、異癸基（甲基）丙烯酸酯及2-乙氧基乙基（甲基 )丙烯酸酯。有關其他共聚合性單體，可與上述（甲基）丙烯 酸酯化合物共聚合的化合即無特別限制，例如（曱基）丙烯酸 、乙烯基苯甲酸酯、馬來酸、乙烯基鄰苯二甲酸等的不飽 和羧酸；乙烯基苄基甲基醚、乙烯基環氧丙基醚、苯乙烯 、α-甲基苯乙烯、丁二烯、異戊二烯等含乙烯基的自由基 聚合性化合物。有關構成含透明玻璃質樹脂組成物的丙烯 酸樹脂，上述一般式（1)所示的（甲基）丙烯酸酯化合物的共 聚合成分來源，通常在70質量％以上，理想爲90質量％以 上。又，上述一般式（1)，R2所示的基爲含烷基或烷氧基的 基的（甲基）丙烯酸酯化合物的共聚合成分來源，通常在50 質量％以上，特別理想爲80質量％以上的丙烯酸樹脂更爲 理想。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 特別理想的丙烯酸樹脂的具體例可列舉如聚甲基丙烯 酸甲酯、聚甲基丙烯酸丁酯、聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯 酸丁酯共聚物等。 有關構成含透明玻璃質樹脂組成物的丙烯酸樹脂的分 子量、依GPC換算聚苯乙烯的重量平均分子量（以下以「
Mw」稱之）以4,000〜300,000爲理想，理想爲〇〇〇〜 200,000 。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -21 1282580 Α7 Β7 五、發明説明（d (請先閲讀背面之故意事货界填寫木頁) 有關構成含透明玻璃質樹脂組成物的結合樹脂的含量 比例，對定融點透明玻璃質100質量份，以1〜50質量份 理想，更理想爲3〜20質量份。結合樹脂的比例過小時， 不能確實保持低融點透明玻璃質的結合，一方面，此比例 過大時，噴砂處理時含透明玻璃質樹脂層的切削，或焙燒 時除去有機成分有困難。 構成含透明玻璃質樹脂組成物的溶劑，係爲賦與該組 成物適當的流動性或可塑性、良好的膜形成性而添加。 有關構成含透明玻璃質樹脂組成物的溶劑，無特別限 制，可舉例如醚類、酯類、醚酯類、酮類、硫化物類、碼 類、烴類、鹵化烴類等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 關聯的溶劑的具體例可列舉如四氫呋喃、苯甲醚、二 噁烷、乙二醇單烷基醚類、二乙二醇二烷基醚類、丙二醇 單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類、醋酸酯類、羥基醋酸酯 類、烷氧基醋酸酯類、丙酸酯類、羥基丙酸酯類、烷氧基 丙酸酯類、乳酸酯類、乙二醇單烷基醚醋酸酯類、丙二醇 單烷基醚醋酸酯類、烷氧基醋酸酯類、環式酮類、非環式 酮類、乙醯醋酸酯類、丙酮酸酯類、Ν,Ν-二烷基甲醯醯胺 類、Ν，Ν-二烷基乙醯醯胺類、Ν-烷基吡咯烷酮類、二烷基 硫化物類、二烷基碼類、蔥品醇、Ν-甲基-2-吡咯烷酮等， 此等可單獨或二種以上組合使用。 有關含透明玻璃質樹脂組成物的溶劑含量比例，以得 到良好膜形成性（流動性或可塑性）的範圍內適宜的選擇使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -22- 1282580 A7 __B7 五、發明説明（3 上述成分以外，含透明玻璃質樹脂組成物，爲提高低 融點透明玻璃質的分散安定性的目的，可含有含矽烷基化 合物。有關該含矽烷基化合物，以下述式（2)所示含矽烷基 化合物[含飽和烷基（烷基）烷氧基矽烷]爲理想。
CpH2p+1 十 OCmH2m+1) a ( 2 ) (CnH2n+l) 3.a (式中，P爲3〜20的整數、ml〜3的整數、1〜3的整數， 而a爲1〜3的整數。） 上述一般式（2)所示飽和烷基的碳數p爲3〜20的整數 ，理想爲4〜1 6的整數。 P低於3時，雖含有含飽和烷基的（烷基）烷氧基矽烷， 所得的含透明玻璃質樹脂層沒有充分的可繞性。一方面p 値超過20，含飽和烷基的（烷基）烷氧基矽烷分解溫度過高 ，於本發明的製造方法的焙燒步驟，有機物質（上述矽烷衍 生物）不能完全分解去除，所形成的隔板中殘留一部份的有 機物質的情況。 上述一般式所示含有甲矽烷基化合物的具體例可列舉 如η-丙基二甲基甲氧基矽烷、η-丁基二曱基甲氧基矽烷、n-癸基二甲基甲氧基Ϊ夕院、η -十六院基二甲基甲氧基砂院、η-廿院基二甲基甲氧基Ϊ夕院等的飽和院基二甲基甲氧基砂院 類（a = 1，m = 1，η = 1) li -丙基一乙基甲氧基砂院、η -丁基二乙基甲氧基砂院、 η·癸基二乙基甲氧基矽烷、η-十六烷基二乙基甲氧基矽烷、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -23- 1282580 A7 B7 五、發明説明（ η-廿烷基二乙基甲氧基矽烷等的飽和烷基二乙基甲氧基矽 院類（a=l，m=l，η = 2) 請 先 η 讀 背 之 注 意| 事: 項: 再 η-丁基二丙基甲氧基矽烷、η-癸基二丙基甲氧基矽烷、 η-十六烷基二丙基甲氧基矽烷、η-廿烷基二丙基甲氧基矽烷 等的飽和烷基二丙基甲氧基矽烷類（a=l，m=l，η = 3) η-丙基二甲基乙氧基矽烷、η-丁基二甲基乙氧基矽烷、 η-癸基二甲基乙氧基矽烷、η-十六烷基二甲基乙氧基矽烷、 η-廿烷基二甲基乙氧基矽烷等的飽和烷基二甲基乙氧基矽 院類（a=l，m = 2，η=1) η-丙基二乙基乙氧基矽烷、η-丁基二乙基乙氧基矽烷、 η-癸基二乙基乙氧基矽烷、η-十六烷基二乙基乙氧基矽烷、 η -廿院基—^乙基乙氧基砂院等的飽和院基—^乙基乙氧基石夕 焼類（a= 1，m = 2，η = 2) η-丁基二丙基乙氧基矽烷、η-癸基二丙基乙氧基矽烷、 η-十六烷基二丙基乙氧基矽烷、η-廿烷基二丙基乙氧基矽烷 等的飽和烷基二丙基乙氧基矽烷類（a=l，m = 2，η = 3) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 η-丙基二甲基丙氧基矽烷、η-丁基二甲基丙氧基矽烷、 η-癸基二甲基丙氧基矽烷、η-十六烷基二甲基丙氧基矽烷、 η-廿烷基二甲基丙氧基矽烷等的飽和烷基二甲基丙氧基矽 院類（a=l，m = 3，η=1) η-丙基二乙基丙氧基矽烷、η-丁基二乙基丙氧基矽烷、 η-癸基二乙基丙氧基矽烷、η-十六烷基二乙基丙氧基矽烷、 η-廿烷基二乙基丙氧基矽烷等的飽和烷基二乙基丙氧基矽 院類（a=l，m = 3，η = 2) 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -24- 1282580 Α7 Β7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注^^#:41^1^:1:) η-丁基二丙基丙氧基矽烷、η-癸基二丙基丙氧基矽烷、 η-十六烷基二丙基丙氧基矽烷、η-廿烷基二丙基丙氧基矽烷 等的飽和烷基二丙基丙氧基矽烷類（a=l，m = 3，η二3) η-丙基甲基二甲氧基矽烷、η-丁基甲基二甲氧基矽烷、 η-癸基甲基二甲氧基矽烷、η-十六烷基甲基二甲氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二甲氧基矽烷等的飽和烷基甲基二甲氧基矽 院類（a = 2，m=l，η=1) η-丙基乙基二甲氧基矽院、η-丁基乙基二甲氧基矽烷、 η-癸基乙基二曱氧基矽烷、η-十六烷基乙基二甲氧基矽烷、 η-廿烷基乙基二甲氧基矽烷等的飽和烷基乙基二甲氧基矽 院類（a = 2，m=l，η = 2) η-丁基丙基二甲氧基矽烷、η-癸基丙基二甲氧基矽烷、 η-十六烷基丙基二甲氧基矽烷、η-廿烷基丙基二甲氧基矽烷 等的飽和烷基丙基二甲氧基矽烷類（a = 2，m=l，η = 3) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 η-丙基甲基二乙氧基矽烷、η-丁基甲基二乙氧基矽烷、 η-癸基甲基二乙氧基矽烷、η-十六烷基甲基二乙氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二乙氧基矽烷等的飽和烷基甲基二乙氧基矽 院類（a = 2，m = 2，η=1) η-丙基乙基二乙氧基矽烷、η-丁基乙基二乙氧基矽烷、 η-癸基乙基二乙氧基矽烷、η-十六烷基乙基二乙氧基矽烷、 η-廿烷基乙基二乙氧基矽烷等的飽和烷基乙基二乙氧基矽 院類（a = 2，m = 2，η = 2) η-丁基丙基二乙氧基矽烷、η-癸基丙基二乙氧基矽烷、 η-十六烷基丙基二乙氧基矽烷、η-廿烷基丙基二乙氧基矽烷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 1282580 A7 B7 五、發明説明（d 等的飽和烷基丙基二乙氧基矽烷類（a = 2，m = 2，n = 3) 請丨 先丨 閲: 讀 背丨 ίι 之 注 意 項 再 填 寫 本 頁 η-丙基甲基二丙氧基矽烷、η-丁基曱基二丙氧基矽烷、 η-癸基甲基二丙氧基矽烷、η-十六烷基曱基二丙氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二丙氧基矽烷等的飽和烷基甲基二丙氧基矽 院類（a = 2，m = 3，η=1) η-丙基乙基二丙氧基矽烷、η-丁基乙基二丙氧基矽烷、 η-癸基乙基二丙氧基矽烷、η-十六烷基乙基二丙氧基矽烷、 η·廿烷基乙基二丙氧基矽烷等的飽和烷基乙基二丙氧基矽 院類（a = 2，m = 3，η = 2) η-丁基丙基二丙氧基矽烷、η-癸基丙基二丙氧基矽烷、 η-十六烷基丙基二丙氧基矽烷、η-廿烷基丙基二丙氧基矽烷 等的飽和烷基丙基二丙氧基矽烷類（a = 2，m = 3，η = 3) η-丙基三甲氧基矽烷、η-丁基三甲氧基矽烷、η-癸基三 甲氧基矽烷、η_十六烷基三甲氧基矽烷、η-廿烷基三甲氧基 石夕院等的飽和院基三甲氧基砂院類（a = 3，m = 1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 η-丙基三乙氧基矽烷、η-丁基三乙氧基矽烷、η-癸基三 乙氧基矽烷、η-十六烷基三乙氧基矽烷、η-廿烷基三乙氧基 矽烷等的飽和烷基三乙氧基矽烷類（a = 3，m = 2) η-丙基三丙氧基矽烷、η-丁基三丙氧基矽烷、η-癸基三 丙氧基矽烷、η-十六烷基三丙氧基矽烷、η-廿烷基三丙氧基 矽烷等的飽和烷基三丙氧基矽烷類（a = 3，m = 3)等，此等可單 獨或二種以上組合使用。 此等中，以η-丁基三曱氧基矽烷、η-癸基三甲氧基矽 烷、η-十六烷基三甲氧基矽烷、η-癸基二甲基甲氧基矽烷、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 1282580 Α7 Β7 五、發明説明（ η-十六烷基二甲基甲氧基矽烷、η-丁基三乙氧基矽烷、η-癸 基三乙氧基矽烷、η-十六烷基三乙氧基矽烷、η_癸基乙基二 乙氧基矽烷、η-十六烷基乙基二乙氧基矽烷、η_丁基三丙氧 基矽烷、η-癸基三丙氧基矽烷、η-十六烷基三丙氧基矽烷等 特別理想。 有關含透明玻璃質樹脂組成物的含矽烷基化合物的含 量比例，以100質量份低融點透明玻璃質，含5質量份以 下爲理想，更理想爲1質量份以下。含矽烷基化合物的含 量比例過大，所得的第一含透明玻璃質樹脂組成物保存時 ，粘度依時間經歷而上昇，含矽烷基化合物引起反應，成 爲焙燒後有機物質殘留的原因。 又，有關含透明玻璃質樹脂組成物，爲啓發所形成含 透明玻璃質樹脂層的可繞性及燃燒性，可含有可塑劑，有 關可塑劑以下述一般式（3)或（4)所示化合物所成的可塑劑爲 理想。 (請先閲讀背面之注意事咬界^!寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R3—^0-
H 0 H •R^V〇—C-hC-
(式中，R'及R6所示，各自爲同一或相異的碳數1〜30的 院基，R4及R5所示各自爲同一或相異的甲撐基或碳數2〜 30的院撐基，s爲0〜5的數，t爲1〜1〇的數。） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） f -27- 1282580 Α7 Β7 五、發明説明（y Η Η (4) H3C C—C—Ο—C-R7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 (式中，R7所示爲碳數1〜30的烷基或烷烯基。） 特別是，上述一般式（3)或（4)所示化合物所成的可塑劑 ，由於以熱可容易分解去除，不會給該含透明玻璃質樹脂 層焙燒所得的隔板不良影響。 有關上述一般式（3)，R3或R6所示烷基，及^及以所 示烷烯基，不論其爲直鏈狀或分枝狀，又，爲飽和基或不 飽和基均宜。 R3及R6所示的烷基爲碳數1〜30，理想爲2〜20，更 理想爲4〜10。 該烷基的碳數超過30時，可塑劑對溶劑的溶解性降低 ，不能得到良好的可繞性。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述構造式（3)所示化合物的具體例可列舉如二丁基己 二酸酯、二異丁基己二酸酯、二-2-乙基己基己二酸酯、二_ 2-乙基己基壬二酸酯、二丁基癸二酸酯、二丁基二乙二醇 己二酸酯等。理想以η爲2〜6所示的化合物。 有關上述一般式（4)所示化合物，R7所示爲碳數1〜30 的烷基或烷烯基，不論其爲直鏈狀或分枝狀，又，爲飽和 基或不飽和基均宜。 R7所示烷基或烷烯基的碳數爲1〜30，理想爲2〜20, 更理想爲10〜1 8。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） -28- 1282580 A7 B7 五、發明説明（g 上述一般式（4)所示化合物的具體例可列舉如丙二醇單 月桂酸酯，丙二醇單油酸酯等。 又，含透明玻璃質樹脂層可含矽、氧化鋁、二氧化鈦 等的塡充物或白色顏料。更進一步，亦可含作爲黑色顏料 的 Ni、Ti、Cu、Mn、Fe、Cr、Co 等的金屬，Cu-Cr、Cu-Fe-Mn、Cu-Cr-Mn、Co-Cr-Fe、Co-Fe-Fe 等的複合金屬氧化物 ο 含透明玻璃質樹脂組成物，除了上述的成分以外，亦 可含有任意成分的粘合性賦與劑、表面張力調整劑、安定 劑、消泡劑、分散劑等的各種添加劑。作爲分散劑以脂肪 酸爲理想。特別是以碳數8〜30的脂肪酸爲理想。上述脂 肪酸的理想具體例如辛酸、i--烷酸、月桂酸、肉豆蔻酸 、棕櫚酸、十五碳酸、硬脂酸、花生酸等的飽和酸；反油 酸、油酸、亞油酸、亞麻油、花生浸烯酸、羧基聚己內酯 (n = 2)單丙烯酸酯等的不飽和脂肪酸等。此等可單獨或二種 以上組合使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 含透明玻璃質樹脂組成物相關分散劑的含量比例，以 100質量份低融點透明玻璃質，含5質量份以下爲理想， 更理想爲1質量份以下。 含透明玻璃質樹脂組成物，通常由上述（a)低融點透明 玻璃質、（b)結合樹脂、（c)溶劑及其他的任意成分，可使用 輥輪混練機、混合機、均質機、砂混機等混練-分散機而混 練調製。含透明玻璃質樹脂組成物的粘度以500〜50000 m P a · s _1爲理想。 ^^^用中國國家標準（〇泌）八4規格（210/297公釐） -29- 1282580 A7 B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫束頁) 含透明玻璃質樹脂組成物塗覆於支撐膜的方法，以可 形成膜厚均一性優' 高膜厚（例如30 // m以上）的塗膜爲必 要，具體的如輥輪機的塗覆方法、括板機的塗覆方法、膜 塗覆機的塗覆方法、簾幕塗覆機的塗覆方法、繞線塗覆機 的塗覆方法等理想方法。 又，塗覆含透明玻璃質樹脂組成物支撐膜的表面以施 予離型處理者爲理想。由此，上述的轉印步驟由支撐膜的 剝離操作可容易進行。 塗膜的乾燥條件爲50〜150°C，0.5〜30分鐘程度，乾 燥後所形成的含透明玻璃質樹脂層溶劑的殘留比例通常爲2 質量％以下。 如上述於支撐膜上所形成的含透明玻璃質樹脂層的厚 度，依玻璃粉末的含量、面板的種類或尺寸等而有所不同 ，例如10〜500 // m，理想爲50〜200 // m。 又，含透明玻璃質樹脂層的表面設置的保護膜層可列 舉如聚苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯膜、聚乙烯醇系膜等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 <光阻膜（光阻組成物）> 爲形成光阻膜所使用的光阻組成物，可列舉示例如鹼 性顯影型感放射線性光阻組成物、有機溶劑顯影型感放射 線性光阻組成物、水性顯影型感放射線性光阻組成物等， 理想的可使用鹼性顯影型感放射線性光阻組成物。又，「 感放射線性」含可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X 線等。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -30- 1282580 A7 B7 五、發明説明（g 鹼性顯影型光阻組成物，以含有鹼可溶性樹脂及感放 身寸線性成分爲必要成分。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 構成鹼性顯影型光阻組成物的鹼可溶性樹脂，可列舉 如（甲基）丙烯酸系樹脂、羥基苯乙烯樹脂、酚醛淸漆型樹脂 、聚酯樹脂等。 此等鹼可溶性樹脂中，特別理想者，可舉例如下述單體 (a)及單體（b)的共聚合物，單體（a)、單體（c)及單體（d)的共 聚合物等的丙烯酸樹脂。 單體（a):含羧基單體類 丙烯酸、（甲基）丙烯酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸、甲 叉丁二酸、檸康酸、中康酸、肉桂酸、琥珀酸單（2_(甲基） 丙烯醯乙羥酯、ω -羧基-聚己內酯（單）（甲基）丙烯酸等。 單體（c):含OH單體類 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (甲基）丙烯酸2-羥基乙酯、（甲基）丙烯酸2-羥基丙酯、 (甲基）丙烯酸3-羥丙酯等的含羥基單體；〇-羥基苯乙烯、m 羥基苯乙烯、p-羥基苯乙烯等的含酚基性羥基單體類等 單體（d):其他可能共聚合的單體類 (甲基）丙烯酸甲酯、(甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸 丁酯、（甲基）丙烯酸乙基己酯、（甲基）丙燒酸n _月桂酯、（ 甲基）丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸環氧丙酯、（甲基）丙烯酸二 環戊燒酯等的單體（a)以外的（甲基）丙烯酸酯類；苯乙烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 31 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫t頁) ^ -甲基苯乙烯等的芳香族乙烯系單體類、丁二烯、異戊二 烯、等的共軛二烯類；聚苯乙烯、聚（甲基）丙烯酸甲酯、聚 (甲基）丙烯酸乙酯、聚（甲基）丙烯酸苄酯等的聚合物鏈的一 末端具有（甲基）丙烯醯基等的聚合性不飽和基的大單體類等 〇 上述單體（a)及單體（b)的共聚合物、或單體（a)、單體⑷ 及單體（d)的共聚合物，由於共聚合成分的來源有單體（a)存 在，成爲鹼可溶性。其中，以鹼顯影液的溶解性觀點而言 以單體（a)、單體（c)及單體（d)的共聚合物爲理想。有關共聚 合成分的來源有單體（a)的含量以5〜60質量％爲理想，更 理想爲10〜40質量％，共聚合成分的來源有單體（b)的含 量以1〜50質量％爲理想，更理想爲5〜30質量％。 上述鹼可溶性樹脂的分子量Mw以5，000〜5，000,000者 爲理想，更理想爲1 0，0 0 0〜3 0 0，0 0 0。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 構成鹼性顯影型光阻組成物的成分，例如（a)多官能性 單體及光聚合引發劑的組合、（b)三聚腈氨樹脂與由放射線 照射形成酸的光酸引發劑的組合、（c)由放射線照射鹼難溶 性物成爲鹼可溶性的化合物等的示例，上述（a)的組合中， 以多官能性（曱基）丙烯酸酯與光聚合引發劑的組合特別理想 〇 構成多官能性（甲基）丙烯酸酯的具體例可列舉如乙二醇 、丙二醇等的烷撐基甘醇的二（甲基）丙烯酸酯類；聚乙二醇 、聚丙二醇等的聚烷撐基甘醇的二（甲基）丙烯酸酯類；兩末 端羥基聚丁二烯、兩末端羥聚異戊二烯、兩末端羥基聚己 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -32- 1282580 A7 B7 五、發明説明（3¾ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 內酯等的兩末端羥基化聚合物的二（甲基）丙烯酸酯類；甘油 、1，2，4 - 丁三醇、三甲醇烴、四甲醇烴、季戊四醇、二季戊 四醇等的三價以上的多價醇的聚（甲基）丙烯酸酯類；三價以 上的多價醇的聚烷撐甘醇加成物的聚（甲基）丙烯酸酯類； 1，4 -環己院二醇、1，4 -苯一醇類等的環式聚醇的聚（甲基）丙 烯酸酯類；聚酯（甲基）丙烯酸酯、環氧（甲基）丙烯酸酯、氨 基甲酸（甲基）丙烯酸酯、醇酸樹脂（甲基）丙烯酸酯、矽樹脂（ 甲基）丙烯酸酯、螺烷樹脂（甲基）丙烯酸酯等的低聚物（甲基） 丙烯酸酯類；等，此等可單獨或二種以上組合使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，構成感放射線性成分的光引發劑的具體例可列舉 如、苯偶因、二苯甲酮、樟腦醌、2 -經基-2 -甲基-1 -苯基丙 基-1-酮、1-羥基環己基苯基酮、2,2-二羥基-2-嗎啉代-1-丙 酮、2-苄基-2-二甲基氨-1-(4-嗎啉代苯基丁烷-1-酮等的羰 基化合物；偶氮異丁腈、4-迭氮基苯甲醛、等的偶氮化合 物或迭氮基化合物；锍醇二化物等的有機硫化物；苯醯過 氧化物、二-叔-丁基過氧化物、叔-丁基氫過氧化物、枯烯 氫過氧化物、對甲烷氫過氧化物等的有機過氧化物；1，3-雙 (三氯甲基氯苯基）-1，3,5-三嗪、2-[2-(2-呋喃基）乙烯 基]-4,6-(三氯甲基）-1，3,5-三嗪等的三鹵甲烷類；2,2乂雙（2-氯苯基）4,5,4’，5^四苯基1，2’ -二咪唑二聚物等。此等可單 獨或二種以上組合使用。 此鹼性顯影型光阻組成物的感放射線性成分的含量， 以100重量份鹼可溶性樹脂，通常爲1〜200重量份，理 想爲5〜1 0 0重量份。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33- 1282580 A7 B7 五、發明説明（ (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) 又，有關鹼性顯影型感放射性光阻組成物，爲賦予良 好的膜形成性，含有適宜的溶劑。有關的溶劑，可列舉如 構成含透明玻璃質樹脂組成物所例示的溶劑。 關於本發明使用的光阻組成物的任意成分，可含有如 上述含透明玻璃質樹脂組成物所例示的黑色顏料、顯影促 進劑、接合助劑、光暈防止劑、保存安定劑、消泡劑、抗 氧化劑、紫外線吸收劑、塡充劑、螢光物、顏料、染料等 的各種添加劑。 <曝光用罩膜> 光阻膜的曝光步驟所使用的曝光用罩膜（M)的曝光圖案 ，依所期望的形成電漿作用空間的觀點，以30〜500 // m 的條紋爲理想，典型的一例爲70 // m的條紋。 〈顯影液〉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 光阻膜的顯影步驟所使用的顯影液，依光組膜（光阻組 成物）的種類作適宜的選擇。具體的說，鹼性顯影型感放射 線性光阻組成物的光阻膜可以使用鹼性顯影液，有機溶劑 顯影型感放射線性光阻組成物的光阻膜可以使用有機溶劑 型顯影液，水性顯影型感放射線性光阻組成物的光阻膜可 以使用水性顯影液。 鹼性顯影液的有效成分，可列舉如氫氧化鋰、氫氧化 鈉、氫氧化鉀、磷酸氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸氫二鉀、磷 酸氫二鈉、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、磷酸二氫鈉、矽酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X297公釐） -34- 1282580 A7 B7 五、發明説明（ (請先閲讀背卸之注意事項#;填寫本頁) 鋰、矽酸、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、 硼酸鋰、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等的無機鹼性化合物；四甲 基銨氫氧化物、三甲基羥基乙基銨氫氧化物、單甲基胺、 二甲基胺、三曱基胺、單乙基胺、.二乙基胺；三乙基胺、 單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等的有機鹼性化合物。 光阻膜的顯影步驟所使用的顯影液，可用一種或二種 以上的上述鹼性化合物以水等溶解而調製。此處，鹼性顯 影液的相關濃度，通常爲0.001〜10量％，理想爲〇.〇1〜5 重量％。 又，以鹼性顯影液顯影處長後，通常施以水洗處理。 實施例 以下說明本發明的的實施例，本發明不限定於此實施 例。又，以下的「份」及「％」所示各自爲「重量份」及「 重量％」。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，重量平均分子量（Mw)係依滲透色譜儀（GPC)「HLC-802A」（日本東曹株式會社製）所測定聚苯乙烯換算的平均分 子量。 [合成例1 ] 於具備攪拌器的反應容器，投入5 · 5份甲苯撐二異氰酸 酯、42.0份四氫呋喃與甲基四氫呋喃的開環共聚合物（數平 均分子量2000)、及0.01份作爲添加劑的聚合抑制劑2,6-二-叔-丁基-對-甲酚。將此等邊攪拌邊冰冷至液溫爲1〇。〇以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -35- 1282580 A7 B7 五、發明説明（g 請 閲 讀 背: έ： 意 事丨 m 再: 4： 下。液溫降至10°C以下時，添加0.04份二月桂酸二錫，控 制液溫於20〜30°C攪拌2小時。其後，添加2.5份羥基乙 基丙烯酸酯，於液溫50〜60°C繼續攪拌4小時，殘留的異 氰酸酯在0.01%以下時終止反應，合成氨基甲酸二丙烯酸酯 (A) 〇 <實施例1> (1) 含透明玻璃質樹脂組成物的調製： 100份作爲（a)低融點透明玻璃質的PbO-B2〇3-Si〇2系透 明玻璃質（軟化點570°C，平均粒徑1.5/z m)，7份作爲（b)結 合樹脂的η-丁基甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯/ 2-羥基丙 基甲基丙烯酸酯 =60質量％/30質量％/ 10質量％共聚合 物（重量平均分子量：100,000)，20份作爲（c)溶劑的丙二醇 單甲基醚、20份作爲塡充劑的鋁粉及1份作爲可塑劑的丙 二醇單油酸酯，使用分散機混練，調製成粘度爲1〇,〇〇〇 mPa ·，的含透明玻璃質樹脂組成物（1)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 1282580 A7 B7 五、發明説明（3) 的丙二醇單甲基醚醋酸酯，以混練方式調製成鹼顯影型感 放射線性光阻組成物（1)(以下以「光阻組成物（1)」稱之）。 (請先閲讀背面之注意事货和^:寫本頁) (3) 轉印膜的製造： 上述（1)所調製的含透明玻璃質樹脂組成物（1)，於預先 脫膜處理的PET膜所成的支撐膜（幅200mm，長30m，厚38 //m)上使用輥輪塗覆機塗覆，塗膜以10(TC乾燥15分鐘完 全除去溶劑，於支撐膜上形成厚200 // m的含透明玻璃質樹 脂層（以下以「轉印膜（1)」稱之）。 同樣的，以上述（2)所調製的光阻組成物（1)，於預先脫 膜處理的PET膜所成的支撐膜（幅200mm，長30m，厚38 //m)上使用輥輪塗覆機塗覆，塗膜以100°C乾燥15分鐘完 全除去溶劑，於支撐膜上形成厚30 // m的光膜（以下以「轉 印膜（2)」稱之）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1282580 A7 __B7 五、發明説明（ 熱輕輪的表面溫度爲100°c，輪壓爲5 kg/cm，加熱輥輪的 移動速度爲〇.5m/分鐘。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (5)光阻膜的曝光步驟： 對含透明玻璃質樹脂層上所形成的光阻膜，介以曝光 用罩膜（7 0 // m幅的條紋圖案），由支撐膜上以超高壓水銀燈 照射I線（波長265 nm的紫外線）。其照射量爲4〇〇 mJi/cm2 (6)光阻膜的顯影步驟： 支撐膜由光阻膜剝離後，曝光處理的光阻膜，以0.6質 量％的碳酸鈉溶液（3 0 °C )作爲顯影液進行淋浴法的顯影處理 及超純水的淸洗處理，由此，將未經紫外線照射的未硬化 的光阻膜除去，在含透明玻璃質樹脂層上得到光阻圖案。 (7) 透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以威影處理後的含透明玻璃質樹脂層的圖案作爲罩膜 ，對含透明玻璃質樹脂層使用氧化鋁作爲硏磨劑，以噴砂 壓力3kg/cm2，進行噴砂處理，由此將對應光阻膜除去部份 的含透明玻璃質樹脂層除去，得到含透明玻璃質樹脂層的 圖案。 (8) 焙燒步驟： 形成含透明玻璃質樹脂層圖案的玻璃基板，於590°C焙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- A7 1282580 B7 五、發明説明（- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 燒爐的溫度環境下進行30分鐘的焙燒處理。由此將光阻膜 圖案及含透明玻璃質樹脂層圖案中的有機成分除去，得到 玻璃基板的表面形成圖案幅7 〇 # m，高5 0 /z m的隔板的面 板材料。 <實施例2〉 實施例1中（2)關於鹼顯影型放射線性光阻組成物的 調製，除了添加10份作爲黑色顏料的Cr-Cu複合氧化物（ 平均粒徑1.0 // m)及5份作爲低融點的透明玻璃質的Pb〇-B2〇3-Si〇2系透明玻璃質（軟化點爲570t：，平均粒徑爲1.5 // m)外，與實施例1同樣，調製鹼顯影型放射線性光阻組 成物（2)，（以下以「光阻組成物（2)」稱之）。 相關實施例1中（3)轉印膜的製造，以上述（2)所調製的 光阻組成物（1)，於預先脫膜處理的PET膜所成的支撐膜（幅 200mm，長30m，厚38// m)上使用逆輥輪塗覆機塗覆，塗 膜以10CTC乾燥5分鐘完全除去溶劑，於支撐膜上形成厚 30// m的光阻膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，實施例1所調製的含透明玻璃質樹脂組成物（1) 以括板塗覆機塗覆於光阻膜上，以100°C乾燥15分鐘完全 除去溶劑，於光阻膜上形成厚200 // m的含透明玻璃質樹脂 層（以下以「轉印膜（3)」稱之）。 實施例1中，有關（4)膜的轉步驟，於6吋面板用的玻 璃基板的表面，重疊轉印膜（3)與含透明玻璃質樹脂層的表 面緊接，此轉印膜（3)以加熱輥輪熱壓，壓合條件爲加熱輥 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)~" -39 - 1282580 A7 B7 五、發明説明（ 輪的表面溫度爲150°C，輪壓爲1〇 kg/cm，加熱輥輪的移動 速度爲0.5m/分鐘。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 與實施例1同樣，進行光阻膜的曝光、顯影步驟，含 透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟及焙燒步驟。由此，得到玻 璃基板的表面形成頂端呈黑色的幅70 /z m，高50 // m的隔 板的面板材料。 <實施例3> 實施例1中（1)關於含透明玻璃質樹脂組成物的調製 ，除了添加40份作爲黑色顏料的Cr-Cu複合氧化物（平均 粒徑1.0 // m)外，與實施例1同樣，調製含透明玻璃質樹 脂組成物（2)。 實施例1中（1)關於含透明玻璃質樹脂組成物的調製 ，使用14份作爲（b)結合樹脂的η-丁基甲基丙烯酸酯/甲基 甲基丙烯酸酯/2-羥基丙基甲基丙烯酸酯=60質量％/30 /10的共聚合物（重量平均分子量：100,000)外，與實施例 1同樣，調製含透明玻璃質樹脂組成物（3)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 相關實施例1中（3)轉印膜的製造，以上述（2)所調製的 光阻組成物（1)，於預先脫膜處理的PET膜所成的支撐膜（幅 200mm，長30m，厚38//m)上使用逆輥輪塗覆機塗覆，塗 膜以100°C乾燥5分鐘完全除去溶劑，於支撐膜上形成厚 30// m的光阻膜。 其次，上述含透明玻璃質樹脂組成物（2)以輥輪塗覆 機塗覆於光阻膜上，以l〇〇°C乾燥5分鐘完全除去溶劑，於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） "" -40- 1282580 A7 B7 五、發明説明（d 光阻膜上形成厚30 // m的含透明玻璃質樹脂層。 更進一步，覆實施例1所調製的含透明玻璃質樹脂組 成物（1)及上述含透明玻璃質樹脂組成物（3)，依順序以括板 塗覆機塗，乾燥之，得到支撐膜上光阻膜及複數含透明玻 璃質樹脂層所成的層合膜的本發明的轉印膜（4)(以下以「轉 印膜（4)」稱之）。此處，含透明玻璃質樹脂組成物（1)以 100°C乾燥15分鐘完全除去溶劑，形成150// m厚度，含透 明玻璃質樹脂組成物（3)的塗膜以1〇〇°C乾燥5分鐘完全除 去溶劑，形成3 0 // m厚度。 實施例1中，有關（4)膜的轉步驟，於6吋面板用的玻 璃基板的表面，重疊轉印膜（4)與含透明玻璃質樹脂層的表 面緊接，此轉印膜（4)以加熱輥輪熱壓，壓合條件爲加熱輥 輪的表面溫度爲120°C，輪壓爲5 kg/cm，加熱輥輪的移動 速度爲0.5m/分鐘。 與實施例1同樣，進行光阻膜的曝光、顯影步驟，含 透明玻璃質樹脂層的噴砂步驟及焙燒步驟。由此，得到玻 璃基板的表面形成頂端呈黑色的幅70 // m，高50 // m的隔 板的面板材料。 商業上之利用領域 依本發明的製造方法，有下列的效果。 (1) 與向來的製造方法比較，實質上隔板的形成步驟 數較少，電漿顯示器面板的製造效率可提高。 (2) 依本發明的製造方法所得的電漿顯示器面板的隔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' -41 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i^w.
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1282580 A7 B7 五、發明説明（3¾ 板，具有高尺寸精度。 (3) 依本發明的製造方法所得的電漿顯示器面板的隔 板，顯示的對比及發光效率高。 (4) 本發明的隔板形成用轉膜.，適於本發明的製造方 法相關的隔板形成步驟使用。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42-