1248331 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關包含液滴噴頭之功能液的流路的洗淨方 法及保管方法’以及在基板上配置功能液的液滴而形成膜 圖案之圖案的形成方法及裝置的製造方法，光電裝置及電 子機器。 【先前技術】 以往’具有半導體積體電路等微細的配線圖案（膜圖 案）之裝置的製造方法，大多是採用光蝕刻微影法，但利 用液滴噴出法之裝置的製造方法漸受注目（參照專利文獻 1，2參照）。此液滴噴出法的優點是在於液體材料的浪 費消耗少，可容易進行配置於基板上之液體材料量及位置 的控制。並且，在液滴噴出法中，爲了取得良好的噴出狀 態，最好是定期地洗淨液滴噴頭，以往有各種的洗淨方法 被提案（參照專利文獻3，4 )。 〔專利文獻1〕 特開平1 1 -27467 1號公報 〔專利文獻2〕 特開2000-216330號公報 〔專利文獻3〕 特開平9-3 9260號公報 〔專利文獻4〕 特開平1 〇 - 3 3 7 8 8 2號公報 (2) 1248331 【發明內容】 (發明所欲解決的課題） 但，在規定期間保管製造裝置用的液滴噴出裝置時’ 大多是在液滴噴頭中充塡水溶性保管液的狀態下保管。之 所以爲水溶性保管液，這是基於考量蒸發容易程度°又’ 亦可在不使用保管液來充塡製造裝置的功能液（墨水）之 狀態下保管，但當此功能液爲容易乾燥者或必須冷藏保存 (或冷凍保存）時，因爲不適於保管，所以會使用 用的 保管液來進行保管。又，於再使用（再作動）所保管的液 滴噴頭時，雖可於去除水溶性保管液後充塡功能液’但若 功能液與保管液的相溶性差，則會有可能析出固體部份， 而導致包含液滴噴頭的功能液的流路阻塞’影響液滴噴出 動作或功能液變質等不良情況發生。 本發明是有鑑於上述情事而硏發者，其目的是在提供 一種使利用保管液之保管狀態的液滴噴頭再作動時’不會 影響液滴噴出動作，不會使功能液變質，可順暢地置換成 功能液而良好地進行洗淨之洗淨方法。又，其目的是在於 提供一種在保管液滴噴出動作終了後的液滴噴頭時，可在 抑止固體部份析出等不良情況的狀態下充塡保管液之保管 方法。又，其目的是在於提供一種不會影響液滴噴出動作 ，不會使功能液變質，可使流路順暢地置換成功能液而良 好地形成圖案之圖案的形成方法及裝置的製造方法。又’ 本發明的目的是在於提供一種使用具有所期望的功能的功 能液來根據良好的液滴噴出動作而形成之光電裝置及電子 (3) 1248331 機器。 (用以解決課題的手段） 爲了解決上述課題，本發明之洗淨方法，係包含液滴 噴頭及對該液滴噴頭供給功能液的管部之流路的洗淨方法 ，其特徵係具有= 第1置換過程，其係以純水來置換上述流路；及 第2置換過程，其係以溶解上述純水與上述功能液中 所含的溶劑雙方之溶劑來進行置換；及 第3置換過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來進 行置換。 此情況，在上述第3置換過程之後，最好是以上述功 能液來置換上述流路。 若利用本發明，則包含液滴噴頭的流路在以水溶性保 管液所保管時，首先會以純水來置換流路，其次以能溶解 純水及功能液中所含的溶劑雙方的規定溶劑來進行置換， 再其次以功能液中所含的溶劑來進行置換，因此一方面可 防止固體部份析出及功能液變質等不良情況發生，另一方 面可洗淨流路來順暢地置換成功能液。 又，本發明之洗淨方法，係包含充塡有規定的保管液 的狀態的液滴噴頭及對該液滴噴頭供給功能液的管部之流 路的洗淨方法，其特徵係具有： 第i置換過程，其係以溶解上述保管液的第1溶劑來 置換上述流路；及 -6 - (4) 1248331 第2置換過程，其係以溶解上述第1溶劑與上述功能 液中所含的溶劑雙方之第2溶劑來進行置換；及 第3置換過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來進 行置換。 此情況，在上述第3置換過程之後，最好是以上述功 能液來置換上述流路。 若利用本發明，則即使包含液滴噴頭的流路是以水溶 性保管液以外的規定保管液來保管時，還是首先可以溶解 保管液的第〗溶劑來置換流路，其次以能溶解第1溶劑及 功能液中所含的溶劑雙方的第2溶劑來進行置換，再其次 以功能液中所含的溶劑來進行置換，因此可一方面防止固 體部份的析出及功能液的變質等不良情況的發生，另一方 面可洗淨流路來順暢地置換成功能液。 又，本發明之保管方法，係包含液滴噴頭及對該液滴 噴頭供給功能液的管部之流路的保管方法，其特徵係具有 第1過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來置換包 含噴出上述功能液的液滴噴頭之上述流路；及 第2過程，其係以溶解上述功能液中所含的溶劑與純 水雙方的溶劑來進行置換；及 第3過程，其係以純水來進行置換； 在上述第3過程後，將水溶性保管液充塡至上述流路 若利用本發明，則可在使噴出功能液的液滴之後的液 (5) 1248331 滴噴頭形成保管狀態時，首先以功能液中所含的溶劑來置 換流路，其次以能溶解功能液中所含的溶劑及純水雙方的 規定溶劑來進行置換，其次以純水來進行置換，因此一方 面可防止固體部份的析出之不良情況發生，另一方面可洗 淨流路以水溶性保管液來保管。 又，本發明之保管方法，係具有在包含液滴噴頭及對 該液滴噴頭供給功能液的管部之流路中充塡規定的保管液 之過程的保管方法，其特徵係具有： 第1過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來置換包 含噴出上述功能液的液滴噴頭的上述流路；及 第2過程，其係以溶解上述功能液中所含的溶劑與上 述保管液雙方之第1溶劑來進行置換；及 第3過程，其係以溶解上述保管液的第2溶劑來進行 置換； 在上述第3過程後，以上述保管液來置換上述流路， 而將該保管液充塡至上述流路。 若利用本發明，則即使是以水溶性保管液以外的規定 保管液來保管包含液滴噴頭的流路，還是首先可以功能液 中所含的溶劑來置換流路，其次以能溶解功能液中所含的 溶劑及保管液雙方的第1溶劑來進行置換，再其次以能溶 解保管液的第2溶劑來進行置換，因此一方面可防止固體 部份的析出之不良情況的發生，另一方面可洗淨流路來以 保管液進行保管。 又，本發明之圖案的形成方法，係於基板上配置功能 -8- (6) 1248331 液的液滴，而來形成膜圖案之圖案的形成方法，其特徵係 具有： 第1置換過程，其係以純水來置換包含可配置上述液 滴的液滴噴頭及對該液滴噴頭供給功能液的管部之流路； 及 第2置換過程’其係以溶解上述純水與上述功能液中 所含的溶劑雙方之溶劑來進行置換；及 第3置換過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來進 行置換；及 表面處理過程’其係於包圍形成上述基板上所設定的 上述膜圖案的圖案形成領域之領域中設置撥液性膜；及 材料配置過程，其係藉由上述液滴噴頭來將上述液滴 配置於上述圖案形成領域。 若利用本發明，則當包含液滴噴頭的流路爲水溶性保 管液所保管時，首先可以純水來置換流路，其次以能溶解 純水及功能液中所含的溶劑雙方的規定溶劑來進行置換， 再其次以功能液中所含的溶劑來進行置換，因此可一方面 防止固體部份的析出及功能液的變質等不良情況的發生， 另一方面可洗淨流路來順暢地置換成功能液。又，以能夠 圍繞形成膜圖案的圖案形成領域之方式來設置撥液性膜， 因此所被噴出的液滴會順暢地配置於圖案形成領域。 又’本發明之圖案的形成方法，係於基板上配置功能 液的液滴，而來形成膜圖案之圖案的形成方法，其特徵係 具有： (7) 1248331 第1置換過程，其係以溶解上述保管液的第1溶劑來 置換包含充塡有規定的保管液的狀態的液滴噴頭及對該液 滴噴頭供給功能液的管部之流路；及 第2置換過程，其係以溶解上述第i溶劑與上述功能 液中所含的溶劑雙方之第2溶劑來進行置換；及 第3置換過程，其係以上述功能液中所含的溶劑來進 行置換；及 表面處理過程，其係於包圍形成上述基板上所設定的 上述膜圖案的圖案形成領域之領域中設置撥液性膜；及 材料配置過程，其係藉由上述液滴噴頭來將上述液滴 配置於上述圖案形成領域。 若利用本發明，則當包含液滴噴頭的流路爲水溶性保 管液以外的規定保管液所保管時，首先可以溶解保管液的 第1溶劑來置換流路，其次以能溶解第1溶劑及功能液中 所含的溶劑雙方的第2溶劑來進行置換，再其次以功能液 Φ所含的溶劑來進行置換，因此可一方面防止固體部份的 丰斤出及功能液的變質等不良情況的發生，另一方面可洗淨 ^路來順暢地置換成功能液。又，以能夠圍繞形成膜圖案 @ ®案形成領域之方式來設置撥液性膜，因此所被噴出的 $滴會順暢地配置於圖案形成領域。 在本發明之圖案的形成方法中，上述撥液性膜爲形成 於上述基板的表面之單分子膜。又，上述單分子膜係由有 平幾分子所構成的自己組織化膜。藉此，可容易形成撥液性 _ °就自己組織化膜而言，例如有由氟烷基矽烷所構成的 -10- (8) 1248331 自己組織化膜。又，上述撥液性膜亦可爲氟化聚合膜。氟 化聚合膜例如可藉由以氟代烴系化合物作爲反應氣體的電 漿處理來容易形成。 又，本發明之圖案的形成方法中，上述功能液係藉由 熱處理或光處理來產生導電性。若利用本發明，則可將薄 膜圖案形成配線圖案，可應用於各種裝置。又，除了有機 銀化合物及導電性微粒子以外，亦可使用有機E L等的發 光兀件形成材料或R · G · B的墨水材料來製造有機e L裝 置或具有彩色濾光片的液晶顯示裝置等。 又’本發明之裝置的製造方法，係具有在基板上形成 膜圖案的過程之裝置的製造方法，其特徵爲：藉由上述記 載之圖案的形成方法，在上述基板上形成膜圖案。 若利用本發明，則可使用防止變質且具有所期望功能 的功能液，根據良好的液滴噴出動作來製造具有形成所期 望的圖案形狀的膜圖案之裝置。 本發明之光電裝置的特徵係具備利上述記載之裝置的 製造方法來製造的裝置。 又，本發明之電子機器的特徵係具備上述記載之光電 裝置。 若利用本發明，則可使用具有所期望功能的功能液， 根據良好的液滴噴出動作來形成具備有利於電性傳導的膜 圖案，因此可提供一種發揮良好的性能之光電裝置及電子 機器。 在此，光電裝置，例如有電漿型顯示裝置，液晶顯示 -11 - (9) 1248331 裝置，及有機電激發光顯示裝置等。 上述液滴噴出裝置（噴墨裝置）的噴出方式，例如有 帶電控制方式，加壓振動方式，電氣機械變換式，電氣熱 變換方式，静電吸引方式等。帶電控制方式是在材料中以 帶電電極來賦予電荷，以偏向電極來控制材料（功能液） 的飛行方向，而從噴嘴噴出者。又，加壓振動方式是對材 料施加*3 0 k g / C m2程度的超高壓，而使材料噴出至噴嘴前 端側者，在不施加控制電壓時，材料會直進而從噴嘴噴出 ，若施加控制電壓，則會在材料間產生静電性的反彈，材 料會飛散，而不會從噴嘴噴出。又，電氣機械變換方式是 利用壓電元件在接受脈衝性的電氣訊號後會變形的性質者 ，利用壓電元件的變形，經由可撓物質來對儲存材料的空 間施加壓力，由此空間來擠出材料，而使從噴嘴噴出者。 又，電氣熱變換方式是藉由設置於儲存材料的空間内的加 熱器’使材料急速氣化而產生氣泡（泡），利用氣泡的壓 力來使空間内的材料噴出者。静電吸引方式是在儲存材料 的空間内施加微小壓力，在噴嘴形成材料的彎月面，於此 狀態下施加静電引力後引出材料者。此外，亦可適用其他 的技術’例如利用電場之流體的黏性變化的方式，或者利 用放電火花來飛行的方式等。此液滴噴出法具有：液體材 料的浪費消耗少，且可確實地將所期望量的材料配置於所 期望的位置之優點。又，藉由液滴噴出法而噴出的功能液 (液體材料）之一滴的量，例如爲1〜3 0 0毫微克。 所μ包含功能液的液體材料是意指具備可由液滴噴頭 -12- (10) 1248331 (噴墨頭）的噴嘴來噴出的黏度之媒體。無論是水性或油 性皆可。只要是具備能夠從噴嘴等來噴出的流動性（黏度 )者即可’就算混入有固體物質，只要全體爲流動體即可 °又’液體材料中所含的材料除了溶劑中作爲微粒子而分 散者以外’亦可爲加熱至融點以上而被溶解者，除了溶劑 以外’亦可爲添加染料或顏料等其他機能性材料。又，基 板除了平面基板以外，亦可爲曲面狀的基板。又，圖案形 成面的硬度並非是必要的，除了玻璃，塑膠，金屬以外， 亦可爲薄膜，紙，橡膠等具有可撓性的表面。 【實施方式】 <圖案的形成方法> 以下’參照圖面來説明本發明之圖案的形成方法。圖 1及圖2是表示本發明之圖案的形成方法的一實施形態的 流程圖。在此，本實施形態是以在玻璃基板上形成導電膜 配線圖案時爲例來進行説明。供以形成導電膜配線圖案的 功能液是使用包含藉由熱處理等來產生導電性的材料之功 能液’具體而言，使用分散劑爲十四烷的銀微粒子。 本實施形態之圖案的形成方法具有：洗淨流路（包含 利用規定的保管液來予以保管的狀態之液滴噴頭及對此液 滴噴頭供給功能液之管部），置換成功能液之洗淨過程， 及利用該被洗淨的液滴噴頭來形成圖案之圖案形成過程。 在圖1中，構成本實施形態之圖案的形成方法的一部 份之洗淨過程具有： -13- (11) 1248331 第1置換過程（步驟SA1 ) 被充塡有水溶性保1管液的液滴噴 能液的管部之流路；及 第2置換過程（步驟SA2 ) 製造用的功能液中所含的溶劑雙 第3置換過程（步驟S A 3 ) 溶劑來進行置換；及 第4置換過程（步驟SA4) 換。 又，如圖2所示，圖案形成 基板洗淨過程（步驟S 1 ) 來洗淨配置有功能液的液滴之基 撥液化處理過程（步驟S2 撥液性膜而來對基板賦予撥液性 一部份；及 親液化處理過程（S 3 )，其 面中對形成有配線圖案的圖案形 成表面處理過程的一部份；及 材料配置過程（步驟 S4 ) 成領域根據液滴噴出法來配置功 )膜圖案；及 中間乾燥處理過程（步驟 於基板上的功能液的液體成分的 ;及 ’其係以純水來置換包含 頭及對此液滴噴頭供給功 ’其係以溶解純水與裝置 方之溶劑來進行置換；及 ，其係以功能液中所含的 ，其係以功能液來進行置 過程具有： ，其係利用規定的溶劑等 板；及 )，其係於基板表面設置 ，爲構成表面處理過程的 係於撥液化處理的基板表 成領域賦予親液性，爲構 ，其係於基板上的圖案形 能液的液滴而形成（描繪 S5 )，其係包含除去配置 至少一部份之熱 光處理 -14- (12) 1248331 燒成過(步驟S 7 )，其係燒成描繪有規 案的基板。 又，於中間乾燥處理過程之後，判斷規定的 是否終了（步驟S 6 )，若圖案描繪終了，則進 程’另一方面若圖案描繪未終了，則進行材料配 圖3是表示構成本發明之圖案的形成方法所 案形成裝置的一部份之液滴噴出裝置的槪略構成 在圖3中，液滴噴出裝置IJ具備： 液滴噴頭1，其係用以噴出功能液（墨水） 及 載置台2，其係用以支撐基板P，該基板p 從噴頭1噴出的墨水液滴；及 收容部的槽3，其係用以收容墨水；及 管部4 K，其係連接槽3與噴頭1，形成可 之流路4的一部份。 在此，流通墨水的流路4是包含管部4 K及 包含噴頭1的噴出動作之液滴噴出裝置Π的動 控制裝置CONT來控制。並且，包含噴頭1，管 槽3的液滴噴出裝置U全體會被收容於處理室 ，處理室C的内部是藉由温度調整裝置6來進行 。而且，處理室C内部可設定成大氣環境或氮氣 氣體環境。又，處理室C及收容於該處理室C 出裝置Π會被設置於無塵室内，以維持微粒子 的淸潔度。 定的膜圖 圖案描繪 行燒成過 置過程。 使用的圖 圏。 的液滴； 係配置有 流通墨水 噴頭1。 作是藉由 部4K及 C的内部 温度管理 等的惰性 的液滴噴 及化學性 •15- (13) 1248331 在此，於以下的説明中，水平面内的第1方向爲X 軸方向，水平面内與第1方向正交的第2方向爲γ軸方 向，垂直父叉於X軸方向及γ軸方向的方向爲Z軸方向 。並且’ X軸’ γ軸，及z軸的各個軸向爲θχ，θυ，及 ΘΖ方向。 液滴噴出裝置IJ是在基板P的表面上配置墨水的液 滴，藉此來形成由含於墨水中的材料所構成的膜。在此， 本實施形態的墨水是包含例如分散於十四烷等規定的分散 劑之銀微粒子，液滴噴出裝置I】是藉由在基板P上噴出 該墨水來形成裝置的配線圖案（導電膜圖案）。並且，液 滴噴出裝置I】可噴出含液晶顯示裝置用的彩色濾光片形 成用材料之墨水，而來製造彩色濾光片，或製造有機EL 裝置等的裝置。
噴頭1是對支撐於載置台2的基板P來定量地噴出（ 滴下）墨水的液滴者，在噴頭1的噴嘴形成面1P設有用 以噴出液滴的複數個噴嘴。並且，在噴頭1設有可移動支 撐該噴頭1的噴頭移動裝置1 A。噴頭移動裝置1 A可使噴 頭1移動於X軸’ γ軸，及Z軸方向，且微動於ΘΧ，ΘΥ ，及ΘΖ方向。而且，從噴頭1噴出的液滴温度是藉由設 置於噴頭1的温度調整裝置（未圖示）來進行控制，温度 調整裝置會將液滴調整成所期望的黏度。載置台2是用以 支撐基板P，具備真空吸著基板P的吸著保持裝置（未圖 示）。在載置台2設有可移動支撐該載置台2的載置台移 動裝置2A。載置台移動裝置2A可使載置台2移動於X -16- (14) 1248331 軸，Y軸，及ΘΖ方向。 管邰4 Κ是例如由合成樹脂製的軟管所構成，具有可 撓性。藉由管部4 Κ而形成的流路4是將一端部4 Α連接 至噴頭1，另一端部4B連接至槽3。並且，在管部4K的 另一端部4 B設有閥B。閥B的開閉動作是藉由控制裝置 CONT來控制，控制裝置C0NT是藉由控制閥B來進行流 路4之墨水的流通控制。亦即，控制裝置c ONT是利用控 制閥B來由槽3對噴頭1進行墨水的供給及停止。而且， 管部4K是藉由可撓性部材來構成，因此噴頭1之藉由噴 頭移動裝置1 A的移動不會有所阻礙。 槽3爲收容墨水者，在槽3内的墨水會事先被施以脫 氣處理。槽3具有可配置管部4K的穴部3H，在此穴部 3 Η配置有管部4K，藉此槽3會被大致密閉。並且，在槽 3內設有供以調整該槽3的内部空間壓力的槽壓力調整裝 置8。槽壓力調整裝置8的動作會被控制裝置CONT所控 制，控制裝置C ONΤ是經由槽壓力調整裝置8來調整槽3 的内部壓力。又，藉由調整槽3的壓力，流路4的另一端 部4 B的壓力會被調整。又，於槽3內雖未圖示，但實際 上設有安裝於槽3之用以調整槽内的墨水温度之温度調整 裝置，及攪拌槽内的墨水之攪拌裝置。槽内的墨水是使用 温度調整裝置來進行温度調整，而調整成所期望的黏度。 在載置台2中，在載置有基板P以外的位置設有可吸 引噴頭1的墨水之吸引裝置9。此吸引裝置9是具備：密 著於噴頭1中形成有噴嘴的噴嘴形成面1 P，在與噴嘴形 -17- (15) 1248331 成面1 P間形成密閉空間之蓋部9 A，及可升降支撐蓋部 9A的昇降部9D，及在吸引上述密閉空間的氣體下吸引噴 頭1的噴嘴的墨水之泵9B，及收容從噴頭1吸引的墨水 之排液収容部9C。噴嘴形成面1 P與蓋部9 A的XY方向 之對位是根據噴頭移動裝置1 A及載置台移動裝置2 A之 噴頭1與載置台2的相對移動來進行。又，噴頭1的噴嘴 形成面1P與吸引裝置9的蓋部9A是在蓋部9A對噴頭1 上昇之下密著。吸引裝置9的吸引動作會被控制裝置 CONT所控制，控制裝置是經由吸引裝置9來調整上述密 閉空間的壓力。又，藉由調整噴嘴形成面1P與蓋部9 A 所形成的密閉空間的壓力，流路4的一端部4 A之壓力會 被調整。亦即，藉由上述槽壓力調整裝置8及吸引裝置9 來調整流路4的壓力之壓力調整裝置會被構成。 其次，說明有關藉由上述液滴噴出裝置IJ來製造裝 置的方法。在本實施形態中，包含可配置液滴的液滴噴頭 1及供應墨水給該液滴噴頭1的管部4K之流路4是在充 塡水溶性保管液之聚乙二醇水溶液的狀態下被保管，在供 以製造裝置的噴出動作之前，進行流路4的洗淨過程。 在洗淨過程中，首先在管部4 K的另一端部4 B連接 有供以收容純水（第1溶劑）的槽3 A。在此，槽3 A是與 收容墨水的槽3同等構成，具有槽壓力調整裝置8等。並 且，在槽3 A内的純水會事先被施以脫氣處理。此刻，第 1溶劑之純水爲可溶解保管液之聚乙二醇水溶液的物質， 純水（第〗溶劑）與保管液具有相溶性。若收容純水的槽 -18- (16) 1248331 3 A被連接至管部4K的另一端部4B，則控制裝置c〇NT 會利用作爲壓力調整裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置 9來將流路4的一端部4 A及另一端部4 B設定成規定的壓 力差。 圖4是表示壓力調整裝置8及9進行流路4的一端部 4A及另一端部4B之壓力調整的狀態模式圖。如圖4所示 ，載置台2會移動，而使噴頭1與吸引裝置9的蓋部9 A 會對位於X Y方向，蓋9 A會上昇，藉此蓋部9 A與噴頭1 的噴嘴形成面1 P會密著。又，泵9B會被驅動，形成於 噴頭1的噴嘴形成面1P與蓋部9A的密閉空間會被減壓 ，流路4的一端部4A會被設定成壓力pi。另一方面，槽 壓力調整裝置8會對槽3内進行加壓，藉此流路4的另一 端部4B會被設定成壓力P2。如此一來，控制裝置CONT 會一方面藉由槽壓力調整裝置8來調整槽3内的壓力，一 方面調整吸引裝置9 (泵9B )之每一單位時間的吸引量， 藉此來將流路4的一端部4A與另一端部4B設定成規定 的壓力差（p2 — pi )。在此，控制裝置CONT會將此洗淨 過程的上述壓力差（p 2 - p 1 )設定成比供以製造後過程的 裝置之噴出動作時的壓力差還要大。在此狀態中，閥B會 開啓，吸引裝置9會吸引從噴嘴充塡至流路4的保管液， 且將吸引後的保管液收容於排液収容部9C。又，更藉由 進行槽3A的加壓動作及吸引裝置9的吸引動作，槽3A 内的純水會被充塡於流路4，流路4會被純水所置換。吸 引後的純水（洗淨液）會被收容於排液収容部9C。又’ -19- (17) 1248331 以規定時間來進行此吸引動作，以純水來充分地置換洗淨 流路4 (步驟S A 1 )。 此刻，流路4的一端部4A及另一端部4B會被設定 成規定的壓力差，因此與供以製造後過程的裝置之噴出動 作時相較之下，洗淨液（純水）會高速地流動於流路4。 藉此，可高速且充分地進行洗淨處理。 若以純水來置換了流路4 ’則會在槽壓力調整裝置8 及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4K與槽3A的連 接，且對管部4K的另一端部4B連接收容異丙醇（第2 溶劑）的槽3B。槽3B是具有與上述槽3及槽3A同等的 構成。在此，第2溶劑的異丙醇爲可溶解第1溶劑之純水 及墨水中所含的分散劑之十四烷雙方的溶劑。換言之’第 2溶劑是分別對純水及墨水中所含的溶劑具有相溶性。又 ，槽3 B内的異丙醇會事先被施以脫氣處理。若收容異丙 醇的槽3 B被連接至管部4K的另一端部4B，則與參照圖 4所述的程序同樣的，控制裝置c〇NT會利用作爲壓力調 整裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置9來將流路4的一 端部4A與另一端部4B設定成規定的壓力差’以桌2 ^谷 劑的異丙醇來置換流路4 (步驟S Α 2 ) ° 若以第2溶劑來置換了流路4，則會在槽壓力調整裝 置8及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4Κ與槽3 Β 的連接，且會對管部4 Κ的另一端部4 Β連接收容墨水中 所含的分散劑之十四烷的槽3 C。槽3 C是具有與上述槽3 ，3 A，3 Β同等的構成。在此，十四烷爲可溶解第2溶劑 -20- (18) 1248331 之異丙醇的溶劑，對該異丙醇具有相溶性。並且，十 爲非極性溶劑。槽3 C内的十四烷會事先被施以脫氣 。若收容十四烷的槽3C被連接至管部4K的另一端老 ’則與參照圖4所述的程序同樣的，控制裝置CONT 用作爲壓力調整裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置 將流路4的一端部4A及另一端部4B設定成規定的 差’以墨水中所含的分散劑之十四烷來置換流路4 ( S A3 )。 又’本實施形態之墨水的分散劑爲十四院，但當 爲含複數種類的溶劑時，在步驟S A 3置換的溶劑不 墨水中所含的複數種類的溶劑完全一致，可使用該等 種類的溶劑中任意的溶劑。在此，所使用的任意溶劑 是使用複數種類的溶劑中含量最多的溶劑（主溶劑） 若以十四烷來置換了流路4，則會在槽壓力調整 8及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4K與槽3 C 接，對管部4 K的另一端部4 B連接收容墨水的槽3。 的墨水會事先被施以脫氣處理。若收容墨水的槽3 _ 管部4 K的另一端部4 B，則與參照圖4所述的程序同 ，控制裝置C ONT會利用作爲壓力調整裝置的槽壓力 裝置8及吸引裝置9來將流路4的一端部4A與另一 4 B設定成規定的壓力差，以墨水來置換流路4 (步驟 )° 此刻，一方面可利用對處理室C内部進行温度調 温度調整裝置6及對流路4進行温度調整的温度調整 四烷 處理 B 4B 會利 9來 壓力 步驟 墨水 必與 複數 最好 〇 裝置 的連 槽3 接至 樣的 調整 端部 S A4 整的 裝置 -21 - (19) 1248331 (未圖示）來調整墨水的温度’另一方面可以 流路4。例如因爲墨水加熱，墨水的黏度會降 一方面抑止產生氣泡，另一方面可順暢地進行 又，亦可一邊對含管部4 K的流路4進行超音 邊以墨水來置換流路4。藉此，可由噴頭1側 管部4 K内壁的氣泡或墨水中的氣泡等存在於 泡予以排出至外部。 若洗淨過程終了，則控制裝置CONT會終 9的吸引動作，且終了槽壓力調整裝置8之槽 作。 又，載置台2會移動，將基板P配置於噴 始進行供以製造裝置的噴出動作。在此，控制 會使流路4的一端部4 A與另一端部4 B的壓 設定於洗淨過程的値還要低的値。 又，温度調整裝置6也會將處理室c内部 製造裝置的最適温度。又，供以製造裝置的液 會被執行。 又，本實施形態中，因爲是使用水溶性的 作爲保管液，所以在第1置換過程S A 1中會 洗淨，但當保管液不是水溶性時，可利用本發 程。此情況，就使用於第丨置換過程的第丨溶 要是可溶解保管液的溶劑即可。 以上是說明有關從保管狀態到墨水液滴噴 爲止的洗淨過程。其次，參照圖5來說明有關 墨水來置換 低，所以可 置換動作。 波加振，一 來將附著於 流路4的氣 了吸引裝置 3的加壓動 頭1下，開 裝置 CONT 力差形成比 調整成供以 滴噴出動作 聚乙二醇來 利用純水來 明的洗淨過 劑而言，只 出可能狀態 墨水液滴噴 -22- (20) 1248331 出動作終了後，使包含液滴噴頭1及管部4K的流路4形 成保管狀態爲止的程序。 若裝置製造用的液滴噴出動作終了，則會指示開始進 行保管處理。首先，管部4 Κ與收容墨水的槽3之連接會 被解除，收容墨水中所含的分散劑之十四烷的槽3 C會被 連接至管部4Κ的另一端部4Β。若收容十四烷的槽3C被 連接至管部4 Κ的另一端部4 Β，則控制裝置C ON Τ會利用 作爲壓力調整裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置9來將 流路4的一端部4A與另一端部4B設定成規定的壓力差 ，以十四烷來置換流路4 (步驟S Β 1 )。 若以十四烷來置換了流路4，則會在槽壓力調整裝置 8及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4K與槽3 C的連 接，且對管部4K的另一端部4B連接收容異丙醇（第i 溶劑）的槽3 B。若收容異丙醇的槽3 B被連接至管部4 K 的另一端部4 B，則控制裝置C ON T會利用作爲壓力調整 裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置9來將流路4的一端 部4A與另一端邰4B設定成規定的壓力差，以第1溶劑 的異丙醇來置換流路4 (步驟S B 2 )。 若以第1溶劑來置換了流路4，則會在槽壓力調整裝 置8及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4 κ與槽3 β 的連接，且對管部4 K的另一端部4 B連接收容純水（第2 溶劑）的槽3 A。若收容純水的槽3 A被連接至管部4 K的 另一端部4B，則控制裝置CONT會利用作爲壓力調整裝 置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置9來將流路4的一端部 -23- (21) 1248331 4A與另一端部4B設定成規定的壓力差，以純水來置換流 路4 (步驟S B 3 )。 若以純水來置換了流路4，則會在槽壓力調整裝置8 及吸引裝置9的驅動停止後，解除管部4K與槽3 A的連 接，且對管部4K的另一端部4B連接收容水溶性保管液 之聚乙二醇水溶液的槽。若收容保管液的槽被連接至管部 4K的另一端部4B，則控制裝置CONT會利用作爲壓力調 整裝置的槽壓力調整裝置8及吸引裝置9來將流路4的一 端部4A與另一端部4B設定成規定的壓力差，以保管液 來置換流路4 (步驟SB4)。藉此保管液會被充塡於流路 4 ’終了保管處理。如以上所述，在保管處理中，亦可在 和洗淨過程相反的程序下來使用洗淨液。 又，同樣的，此情況在使用聚乙二醇等的水溶性保管 液以外的規定保管液來作爲保管液時，在步驟S B 3中置 換的溶劑（第2溶劑），只要是可溶解上述規定的保管液 之溶劑即可。 <實施例1 > 藉由保管液之聚乙二醇1 %水溶液，分別於複數個置 換過程中，利用以下的溶劑（洗淨液）來置換及洗淨保管 狀的流路4。 第1置換過程：純水 第2置換過程：異丙醇 第3置換過程：十四烷 -24· (22) 1248331 然後，利用包含分散劑爲十四院的銀微粒子的墨水（ 功能液）來進行圖案形成動作。在流路4中不會析出固體 部份，而使能夠良好地進行液滴噴出動作。 <實施例2 >
藉由保管液之聚乙二醇1 %水溶液，分別於複數個置 換過程中，利用以下的溶劑（洗淨液）來置換及洗淨保管 狀態的流路4。 第1置換過程：純水 第2置換過程：乙醇 第3置換過程：甘醇二甲醚 然後，利用包含溶劑爲甘醇二甲醚的有機銀化合物的 墨水（功能液）來進行圖案形成動作。在流路4中不會析 出固體部份，而能夠良好地進行液滴噴出動作。 以下，說明有關用以製造裝置的圖案形成過程。
<基板洗淨過程> 首先，利用規定的溶劑等來洗淨基板。藉此在基板上 的有機物殘渣等會被去除。並且，亦可在基板表面照射紫 外光來去除有機物殘渣。 <撥液化處理過程> 其次，進行表面處理過程的一部份，亦即形成配線圖 案的基板表面會被加工成對功能液具有撥液性。具體而言 -25- (23) 1248331 ，以對功能液之規定的接觸角能夠形成60 [deg]以上，最 好是90[deg]以上ll〇[deg]以下之方式來對基板施以表面 處理。賦予撥液性（浸溼性）的方法，可採用在基板表面 設置撥液性膜的方法。在此是在基板表面形成具有撥液性 的自己組織化膜。 自己組織膜形成法是在應形成導電膜配線的基板表面 上形成由有機分子膜等所構成的自己組織化膜。用以處理 基板表面的有機分子膜具備：可結合於基板的功能基，及 於其相反側對基板的表面性進行改質（控制表面能量）之 所謂親液基或撥液基的功能基，及連結該等功能基之碳的 直鏈或部份分歧的碳鏈。結合於基板而自己組織化形成分 子膜，例如單分子膜。 在此，所謂的自己組織化膜（自己組織化單分子膜： SAM ( Self Assembled Monolayer))是由可與基板的底 層等的構成原子反應的結合性功能基及除此以外的直鏈分 子所構成，藉由直鏈分子的相互作用來使具有極高配向性 的化合物配向形成的膜。由於該自己組織化膜是使單分子 配向形成，因此可使膜厚形成極薄，且以分子水準來形成 均一的膜。亦即，相同的分子會位於膜的表面，因此可賦 予膜的表面均一且良好的撥液性或親液性。
具有上述高配向性的化合物，例如可利用氟烷基矽烷 (以下稱爲「F A S」），以氟烷基能夠位於膜的表面之方 式來配向各化合物，而形成自己組織化膜，賦予膜的表面 均一的撥液性。形成如此的自己組織化膜的化合物之FAS -26- (24) 1248331 ，例如可爲十七氟一 1，1，2，2四氫化癸基三乙氧基矽 院，十七氟一 1，1，2，2四氫化癸基三甲氧基矽烷，十 七氟—1’ 1’ 2，2四氫化癸基三氯5夕院，十三氟—1，1 ’ 2 ’ 2四氫化辛基三乙氧基矽烷，十三氟—1，1，2，2 四氫化辛基三甲氧基矽烷，十三氟- 1，1，2，2四氫化 辛基三氯矽烷，三氟丙基三甲氧基矽烷等之氟烷基矽烷等 。該等的化合物可爲單獨使用，或者組合2種以上使用。 又’可利用FAS來取得與基板密著性佳的撥液性。 FAS爲一般的構造式RnSiX(4 — η)所示。在此，η 爲1以上3以下的整數，X爲甲氧基，乙氧基，鹵素原子 等的加水分解基。又，R爲氟烷基，具有 (CF3) (CF2) x(CH2) y的構成（在此x爲0以上10 以下的整數，y爲〇以上4以下的整數），當複數個的R 或X會結合於Si時，R或X可分別爲全體相同或不同。 以X所示的加水分解基是藉由加水分解來形成矽烷醇， 然後與基板（玻璃，矽）的下層氫氧基反應，而以矽氧烷 結合來與基板結合。另一方面，由於r爲表面具有（C f 3 )等的氟代基，因此可將基板的下層表面改質成不沾溼（ 表面能量低）的表面。
圖6是表示在基板P上形成由F A S所構成的自己組 織化膜（F A S膜）的F A S處理裝置4 0的槪略構成圖。 FAS處理裝置40是在基板P上形成由fas所構成的自己 組織化膜，且賦予撥液性。如圖6所示，F A S處理裝置 4 〇具備·處理室4 1，及設置於處理室4 1内，保持基板P •27- (25) 1248331 的基板保持具42，及收容液相狀態的FAS (液體FAS ) 的容器4 3。又，在室温環境下，事先於處理室4丨内放置 基板P與收容液體FAS的容器43，藉此容器43内的液體 FAS會從容器43的開口部43a至處理室41形成氣相而被 放出’例如2〜3日左右，在基板p上形成由ρ a S所構成 的自己組織化膜。並且，將處理室1全體維持於1 〇 〇 〇c左 右’藉此以3小時左右在基板P上形成自己組織化膜。 又，在此雖是說明來自氣相的形成法，但亦可由液相 來形成自己組織化膜。例如，在含原料化合物的溶液中浸 泡基板，在洗淨，乾燥下，於基板上形成自己組織化膜。 又，撥液性膜可爲藉由電漿處理法來形成的氟化聚合 膜。電漿處理法是在常壓或真空中對基板進行電漿照射。 利用於電漿處理的氣體種類可在考量應形成配線圖案的基 板P的表面材質等之下來予以選擇各種類。就處理氣體而 言，例如可爲4氟化甲烷，全氟己烷，全氟癸烷等。 又，將基板表面加工成撥液性的處理，亦可在基板表 面貼著具有所期望的撥液性之薄膜，例如被4氟化乙烯加 工的聚醯亞胺薄膜等。又，亦可使用撥液性高的聚醯亞胺 薄膜來作爲基板。 <親液化處理過程> 對基板P施以F A S處理後’進行表面處理過程的一 部份，亦即對基板表面中形成配線圖案的圖案形成領域賦 予親液性之親液化處理。就賦予親液性的處理而言，例如 -28- (26) 1248331 有波長170〜400nm程度的紫外線（uv )照射處理。僅以 規定時間來對基板P的圖案形成領域照射規定功率的紫外 光’錯此被施以F A S處理的基板的圖案形成領域的撥液 性會降低，圖案形成領域會具有所期望的親液性。 圖7是表示針對被施以F A S處理的基板p照射紫外 光之紫外線照射裝置44的模式圖。如圖7所示，紫外線 照射裝置44具備：可射出具有規定波長的紫外光（uV ) 的紫外線射出邰4 5，及支撐基板p的載置台4 6，及使支 撐基板P的載置台46掃描於規定方向的載置台驅動部47 。紫外線照射裝置44是一方面在規定方向上掃描基板p ’另一方面從紫外線射出部45射出紫外光，藉此來對基 板P照射紫外光。當基板P較小時，亦可不掃描基板p來 照射紫外光。當然，亦可一方面移動紫外線射出部45， 另一方面對基板P照射紫外光。藉由照射紫外光，在基板 P上的FAS膜會被破壊，基板P中被照射紫外光的領域會 被親液化（撥液性降低化）。 在此，紫外線照射裝置44是隔著光罩Μ (具有對應 於基板上的圖案形成領域的圖案）來對基板Ρ照射紫外光 。藉此會選擇性地破壊FAS膜，而使得基板Ρ的圖案形 成領域會被親液化。如此一來，FAS膜會被設置於包圍圖 案形成領域的領域中。本實施形態是在光罩Μ的下面設 有氧化鈦層4 8，在接觸此氧化鈦層4 8與基板ρ表面的狀 態下照射紫外光。在接觸氧化鈦的狀態下對F A S膜照射 紫外光，可利用氧化鈦的光觸媒效果來以短時間進行親液 -29- (27) 1248331 化（F A S fl吴的破壊）。此外，即使在光罩M的下面不設 置氧化鈦層4 8 ’還是可以使基板的圖案形成領域親液化 ，或者即使在分離光罩Μ與基板Ρ的狀態下照射紫外光 ’還是可以使基板的圖案形成領域親液化。 紫外線照射裝置44的照射動作是藉由未圖示的控制 裝置來進行控制。控制裝置會設定紫外線照射條件，根據 此設定條件來控制紫外線照射裝置44的照射動作。在此 ，設定可能的紫外線照射條件是對基板Ρ之紫外光的照射 時間，對基板Ρ之每一單位面積的照射量（光量），及所 照射之紫外光的波長的其中至少1個，控制裝置會根據該 等條件的其中至少1個來控制照射動作。藉此，基板Ρ的 圖案形成領域具有所期望的親液性（對功能液的接觸角） 〇 又，在此，親液化處理雖是進行紫外線照射處理，但 亦可使基板暴露於臭氧環境，藉此來使基板的撥液性降低 <材料配置過程> 其次，針對本實施形態的材料配置過程來進行説明。 材料配置過程是藉由液滴噴出裝置Π的液滴噴頭1來噴 出包含配線圖案形成用材料的功能液的液滴3 0，而配置 於圖案形成領域，藉此於基板ρ上形成線狀的膜圖案（配 線圖案）。在本實施形態中，功能液是含分散劑爲十四烷 的銀微粒子。 -30- (28) 1248331 在此，以能夠圍繞圖案形成領域之方式來形成撥液領 域之FAS膜領域（撥液性膜領域）’医I此可阻止配置於 圖案形成領域的液滴擴散至規定位置以外。又，即使所被 噴出的液滴的一部份陷入撥液領域’還是會因爲形成撥液 性，所以會從撥液領域彈出，配置於圖案形成領域。又， 由於基板p的圖案形成領域會被賦予親液性’因此所被噴 出的液滴會更容易擴散於圖案形成領域’藉此功能液會在 規定位置内均一配置。 圖8是表示形成配線圖案時之液滴配置程序的一例模 式圖。 首先，如圖8 ( a )所示，從液滴噴頭1噴出的液滴 L 1 ( 3 0 )會取規定的間隔來依次配置於基板P上的圖案形 成領域3 4。亦即，液滴噴頭1會以液滴L1彼此不會重疊 於基板P上之方式來配置。在本例中，液滴L 1的配置間 距P 1是以能夠比配置於基板P上之後的液滴L 1的直徑 更大之方式來設定。藉此配置於基板P上之後的液滴L 1 彼此不會重疊（不接觸），可防止液滴L 1彼此合體而浸 溼擴散於基板P上。又，液滴L 1的配置間距P 1是以能 夠形成配置於基板P上之後的液滴L 1的直徑的2倍以下 之方式來設定。在此，將液滴L 1配置於基板P上之後， 爲了進行溶劑的去除，可因應所需進行中間乾燥處理（步 驟 S 5 )。 其次，如圖8 ( b )所示，上述液滴的配置動作會重 複進行。亦即與圖8 ( a )所示之前次同樣的，功能液會 -31 - (29) 1248331 作爲液滴L2來從液滴噴頭1噴出’該液滴L2會各 定距離來配置於基板P上的圖案形成領域3 4 °此刻 滴L2的體積（每一液滴之功能液的量）’及其配置 P 2是與前次的液滴L1相同。又，液滴L 2的配置位 從前次的液滴L 1位移1 / 2間距，在配置於基板P上 次的液滴L 1彼此之中間位置配置有此次的液滴L 2。 述，基板P上之液滴L1的配置間距P 1是比配置於基 上之後的液滴L1的直徑還要大，且爲該直徑的2倍 。因此，液滴L2會被配置於液滴L1的中間位置， 液滴L2會部份重疊於液滴L 1，塡埋液滴L 1彼此間 隙。此刻，此次的液滴L2與前次的液滴L1雖會接 但因爲前次的液滴L 1已經完全或某程度除去溶劑， 兩者合體而擴散於基板P上情況少。在將液滴L2配 基板P上之後，爲了進行溶劑的去除，與前次同樣的 應所需進行中間乾燥處理。 藉由複數次重複進行如此一連串的液滴配置動作 置於基板P上之液滴彼此的間隙會被塡埋，如圖8 ( 所示，線狀的連續配線圖案3 3會被形成於基板p上 情況，藉由增加液滴配置動作的重複次數，液滴會依 ®於基板P上’配線圖条3 3的膜厚會増加。 又，就液滴噴出的條件而言，例如可爲墨水重量 /dot ’墨水速度（噴出速度）5〜7m/sec。又，噴! 滴的環境最好是設定成温度6 〇它以下，溼度8 〇 %以 藉此，液滴噴頭1 〇的噴嘴不會阻塞，可進行安定的 以一 ，液 間距 置是 之前 如前 板p 以下 藉此 的間 觸， 所以 置於 ，因 ，配 :C) 。此 次重 4ng 出液 下。 液滴 -32- (30) 1248331 噴出。 <中間乾燥過程> 在對基板P噴出液滴後，爲了除去溶劑（分散劑）及 確保膜厚，可因應所需來進行乾燥處理。乾燥處理除了通 常藉由對基板P加熱的熱板及電爐等的處理以外，還可利 用燈退火來進行。使用於燈退火的光源並無特別加以限定 ，例如可使用紅外線燈，氙燈，YAG雷射，氬雷射，二 氧化碳雷射，XeF，XeCl，XeBr，KrF，KrCM，ArF，ArCl 等的準分子雷射。該等的光源，一般是使用輸出10W以 上5 0 0 0 W以下的範圍者，但在本實施形態例中爲1 〇 〇 w以 上1 000W以下的範圍。又，藉由重複進行該中間乾燥過 程與上述材料配置過程，功能液的液滴會被積層複數層， 形成膜厚較厚的配線圖案（膜圖案）。 <燒成過程> 噴出過程後的導電性材料，例如爲有機銀化合物時， 爲了取得導電性，必須進行熱處理，去除有機銀化合物的 有機部份，使銀粒子殘存。因此，會在噴出過程後的基板 施以熱處理及/或光處理。通常熱處理及/或光處理是在 大氣中進行，但亦可因應所需在氮，氬，氦等的惰性氣體 環境中進行。熱處理及/或光處理的處理温度是在考量分 散劑的沸點（蒸汽壓），環境氣體的種類或壓力，微粒子 的分散性或有機銀化合物，氧化性等的熱舉動，或塗層材 -33- (31) 1248331 的有無’或基材的耐熱温度等來適當地決定。例如爲了去 除有機銀化合物的有機物，而必須以約2 0 0 °C來燒成。此 外’在使用塑膠等的基板時，最好是在室温以上1 〇 〇 〇C以 下來進行。根據以上的過程，噴出過程後的導電性材料（ 有機銀化合物）會藉銀粒子的殘留，而如圖8 ( c )所示 ，變換成導電性膜（配線圖案）3 3。 又’上述實施形態中，導電膜配線用的基板可使用玻 璃，石英玻璃，S i晶圓，塑膠薄膜，金屬板等。此外， 還包含在該等各種素材基板的表面形成以半導體膜，金屬 膜，介電質膜，有機膜等作爲底層者。 導電膜配線用的液體材料，在本實施形態中雖是將包 含有機銀化合物的導電性材料溶解於溶劑中，但亦可使用 將導電性微粒子分散於分散劑中的分散液，無論是水性或 油性皆可。在此所被使用的導電性微粒子，除了含有金， 銀，銅，鈀，及鎳的其中之一的金屬微粒子以外，還可使 用導電性聚合物或超電導體的微粒子等。該等的導電性微 粒子爲了提高分散性，可於表面塗佈有機物等。 導電性微粒子的粒徑最好爲5 nm以上0. 1 // m以下。 若大於0 · 1 // m，則上述液滴噴頭的噴嘴會有產生阻塞之 虞。又，若小於5 nm，則對導電性微粒子之塗層劑的體積 比會變大，所取得的膜中的有機物比例會過多。 含有導電性微粒子的液體的分散劑，最好爲室温的蒸 汽壓爲O.OOlmmHg以上200mmHg以下（約0.133Pa以上 2 6600Pa以下）者。當蒸汽壓爲高於200mmHg時，配置 -34- (32) 1248331 後分散劑會急速蒸發，難以形成良好的膜。又，更理想的 分散劑的蒸汽壓爲〇.〇〇lmmHg以上50mmHg以下（約 0.133Pa以上665 0Pa以下）。當蒸汽壓高於50mmHg時， 在以噴墨法來配置液滴時容易產生乾燥所引起的噴嘴阻塞 。另一方面，當室温的蒸汽壓低於◦•OOlmmHg時，乾燥 慢’分散劑容易殘留於膜中，在後過程的熱光處理後難 以取得良質的導電膜。 就上述分散劑而言，只要是可分散上述導電性微粒子 者，不會產生凝集者即可，並無特別加以限定。例如，除 了水以外，例如可爲甲醇，乙醇，丙醇，丁醇等的醇類， η —庚烷，η —辛烷，癸烷，甲苯，二甲苯，甲基異丙基苯 ，暗煤，茚，雙戊烯，四氫化奈，十氫化奈，環己基苯等 的碳氫系化合物，或乙二醇二甲醚，乙二醇二乙醚，乙二 醇甲基乙醚，二乙二醇二甲醚，二乙二醇二乙醚，二乙二 醇甲基乙醚，1，2—二甲氧基乙烷，雙（2—甲氧基乙基 )醚，Ρ -二噁烷等的醚系化合物，或者丙烯碳酸酯，r 一丁內酯，N—甲基一 2 —吡咯烷酮，二甲基甲醯胺，二 甲亞颯，環己酮等的極性化合物。其中，基於微粒子的分 散性及分散液的安定性，以及對噴墨法的適用容易度，最 好爲水，醇類，炭化水素系化合物，醚系化合物，又，更 理想的分散劑，例如可爲水，炭化水素系化合物。該等分 散劑可單獨使用，或使用兩種以上的混合物。 將上述導電性微粒子分散於分散劑時的分散質濃度爲 1質量％以上8 0質量％以下，只要按照所期望的導電膜 -35- (33) 1248331 的膜厚來δϋ整即可。又’若超過8 0質量％，則會容易產 生凝集，難以取得均一的膜。 上述導電性微粒子的分散液的表面張力最好爲〇.〇 2Ν / m以上0 · 〇 7 N / m以下的範圍内。在使用噴墨法來配置 液體時，若表面張力爲未滿0.0 2N/ m，則由於墨水組成 物對噴嘴面的浸溼性會増大，因此容易形成飛行彎曲，若 超過〇 . 〇 7N / m，則由於噴嘴前端之彎月面的形狀不安定 ，因此會難以控制配置量或配置時序。 爲了調整表面張力，可在不使與基板的接觸角大幅度 降低的範圍內，於上述分散液中微量添加氟系，矽系，非 離子系等的表面張力調節劑。非離子系表面張力調節劑是 在於提商液體對基板的浸淫性，改良膜的平整性，有助於 防止膜發生微細的凹凸。上述分散液亦可因應所需含醇， 醚，酯，酮等的有機化合物。 上述分散液的黏度最好爲ImPa· s以上50mPa· s以 下。在利用噴墨法來配置液體材料的液滴時，當黏度小於 ImPa · s時，噴嘴周邊部會因爲墨水流出而容易污染，且 當黏度大於5 0 m P a · s時，噴嘴孔阻塞的機率會變高，難 以形成順暢的液滴配置。 <光電裝置> 其次，說明有關本發明之光電裝置的一例的電漿型顯 示裝置。圖9是表示本實施形態之電漿型顯示裝置5 00的 分解立體圖。電漿型顯示裝置500是包含互相對向配置的 -36- (34) 1248331 基板5 01，5 02，及形成該等基板間的放電顯示部: 電顯示部5 1 0爲集合複數個放電室5 1 6者。在複數 室5 1 6中，紅色放電室5 1 6 ( R )，綠色放電室5 1 及藍色放電室5 1 6 ( B )的3個放電室5 1 6會成對 畫素。 在基板5 0 1的上面，地址電極5 1 1會以規定的 形成條紋狀，以能夠覆蓋地址電極5 1 1與基板5 0 1 之方式來形成介電質層519。在介電質層519上， 位於地址電極5 1 1，5 1 1間且沿著各地址電極5 1 1 來形成隔壁5 1 5。隔壁5 1 5是含：鄰接於地址電極 寬度方向左右兩側之隔壁，及延伸於與地址電極5 的方向之隔壁。又，對應於藉由隔壁5 1 5而區隔的 狀區域來形成放電室5 1 6。又，於藉由隔壁5 1 5而 長方形狀區域的内側配置有螢光體5 1 7。螢光體5 紅，綠，藍的其中任一螢光發光者，分別在紅色 5 1 6 ( R )的底部配置紅色螢光體5 ；[ 7 ( R )，在綠 室5 1 6 ( G )的底部配置綠色螢光體5 1 7 ( G )，在 電室516(B)的底部配置藍色螢光體517(B)。 另一方面，在基板5 02中，在與先前的地址電 正交的方向上，複數個顯示電極5 1 2會以規定的間 成條紋狀。又，以能夠覆蓋之方式，形成有由介 513及MgO等所構成的保護fe 514。基板501與基 是以使上述地址電極5 1 1…與顯示電極5 1 2……能 正交之方式來使互相對向貼合。上述地址電極5 1 1 5 1 0。放 :個放電 6(G) ί構成] 間隔來 的上面 以能夠 之方式 5 1 1的 1 1正交 長方形 區畫的 17爲使 放電室 色放電 藍色放 :極 5 11 隔來形 電質層 ^ 板 5 0 2 夠彼此 與顯示 -37- (35) 1248331 電極5 1 2會被連接至圖示略的交流電源。藉由對各 電，在放電顯示部5 1 0中，螢光體5 1 7會激勵發光 夠形成彩色顯不。 在本實施形態中，上述地址電極 5 1 1，及顯 5 1 2會分別利用本發明的圖案形成方法來形成。 其次，說明有關本發明之光電裝置的其他例的 置。圖1 0是表示本實施形態之液晶裝置的第1基 訊號電極等的平面佈局。本實施形態的液晶裝置是 1基板，及設有掃描電極等的第2基板（未圖示） 入第1基板與第2基板之間的液晶（未圖示）所槪 〇 如圖1 〇所示，在第1基板3 0 0上的畫素區域 ，複數個訊號電極3 1 0......會被設成多重矩陣狀。 各訊號電極3 1 0……是由：對應於各畫素而設置的 畫素電極部份3 1 Oa……及予以連接成多重矩陣狀 配線部份310b……所構成，且延伸於Y方向。又 3 5 0爲單晶片構造的液晶驅動電路，該液晶驅動電 與訊號配線部份310b……的一端側（圖中下側） 第1引繞配線331……來連接。又，符號3 40 ...... 導通端子，該上下導通端子3 40……與設置於未圖 2基板上的端子會藉由上下導通材3 4 1 ···…來連接 上下導通端子3 4 0 ......與液晶驅動電路3 5 0會經由 繞配線3 3 2……來連接。 在本實施形態例中，設置於上述第1基板3 00 電極通 ，而能 不電極 液晶裝 板上的 由：第 ，及封 略構成 3 0 3中 特別是 複數個 的訊號 ，符號 路 3 5 0 會經由 爲上下 示的第 。又， 第2引 上的訊 -38- (36) 1248331 號配線部份3 1 0 b......，第1引繞配線3 3 1......，及第2引 繞配線3 3 2……是分別利用本發明的形成方法來形成。即 使是適用於大型化的液晶用基板的製造時，還是可以有效 率地使用配線用材料，謀求低成本化。又，本發明所能適 用的裝置並非限於該等的光電裝置，例如亦可適用於形成 有導電膜配線的電路基板，半導體的安裝配線等的其他的 裝置製造。 <電子機器> 其次，說明有關本發明的電子機器例。圖1 7是表示 具備上述實施形態的顯示裝置之攜帶型個人電腦（資訊處 理裝置）的構成立體圖。在該圖中，個人電腦1100是由 具備具有鍵盤1102的本體部1104及具有上述光電裝置 1106的顯示裝置單元所構成。因此，可提供一種具備發 光效率高且明亮的顯示部之電子機器。 又’除了上述例以外，還有行動電話，手錶型電子機 器’液晶電視，取景器型或監視器直視型的攝影機，汽車 衛星導航裝置，呼叫器，電子記事本，計算機，打字機， 工作站’電視電話，P0S終端機，電子紙，具備觸控面板 的機器等。本發明的光電裝置可適用於如此的電子機器的 顯'示部。又’本實施形態的電子機器可爲具備液晶裝置， 有機電激發光顯示裝置，電漿型顯示裝置等光電裝置的電 子機器。 以上’雖是參照圖面來說明有關本發明之合適的實施 -39 - (37) 1248331 形態例’但本發明並非只限於該例。上述例中所示之各構 成部材的諸形狀或組合等爲一例，只要不脫離本發明的主 旨範圍’亦可根據設計要求等來進行各種的變更。 【圖式簡單說明】 圖1是表示構成本發明之裝置的製造方法的一部份之 洗淨過程的一實施形態的流程圖。 圖2是表不本發明之圖案的形成方法的一實施形態的 流程圖。 圖3是表示本發明之圖案形成裝置的一實施形態的模 式圖。 圖4是表示利用本發明之圖案形成裝置來進行洗淨動 作的狀態模式圖。 圖5是表示本發明之保管處理過程的一例流程圖。 圖6是表示本發明之圖案的形成程序的一例模式圖。 圖7是表示本發明之圖案的形成程序的一例模式圖。 Η 8疋表不本發明之圖案的形成程序的—^例模式圖。 圖9是表示本發明之光電裝置的一例圖，亦即電漿型 顯示裝置的模式圖。 圖1 0是表示本發明之光電裝置的一例圖，亦即液晶 顯示裝置的模式圖。 圖11是表示本發明之電子機器的具體例圖。 〔符號之說明〕 -40- (38) 1248331 1……液滴噴頭（液滴噴出裝置） 4……流路 4K……管部 30··，…液滴（功能液） 3 3…··。配線圖案（膜圖案） 34……圖案形成領域 U……液滴噴出裝置（圖案形成裝置） P......基板 -41 -