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TWD225035S - 基板處理裝置用晶舟之部分 - Google Patents

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Publication number
TWD225035S
TWD225035S TW110304575F TW110304575F TWD225035S TW D225035 S TWD225035 S TW D225035S TW 110304575 F TW110304575 F TW 110304575F TW 110304575 F TW110304575 F TW 110304575F TW D225035 S TWD225035 S TW D225035S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate processing
wafer boat
design
case
processing equipment
Prior art date
Application number
TW110304575F
Other languages
English (en)
Inventor
谷口大騎
Original Assignee
日商國際電氣股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商國際電氣股份有限公司 filed Critical 日商國際電氣股份有限公司
Publication of TWD225035S publication Critical patent/TWD225035S/zh

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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種在基板處理裝置的縱型反應室內將複數個基板保持水平的晶舟，基板被載置於形成在左右及後方之柱體的銳角形狀的突起上。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。;圖式中一點鏈線所圍繞者，為界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
TW110304575F 2021-03-15 2021-08-31 基板處理裝置用晶舟之部分 TWD225035S (zh)

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TW110304575F TWD225035S (zh) 2021-03-15 2021-08-31 基板處理裝置用晶舟之部分

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