TW267186B

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Publication number: TW267186B
Application number: TW083109330A
Authority: TW
Original assignee: Baker J T Inc
Priority date: 1993-10-07
Filing date: 1994-10-07
Publication date: 1996-01-01
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Description

267186 五、發明説明（1 )IOOOL 本發明係關於包含遢原劑的鹸性光阻材料汽提姐成物' 及這種汽提姐成物在從包栝金鼷如鎢以及/或铜和其鋁合金的基Η上剝離光阻材料時用Μ減少或抑制金靨腐蝕以及 /或金矚損失的用途。經濟部中央標準局員工消費合作社印製微雷子產品製造的一個主要部份是使用光阻材料將面罩或標線的围像移轉到所需要的基Η電路層。在完成所需的圖像移轉之後，就要除去光阳材料，也就是說在進行某種隨後製稈步驟前要將該材料自基Η汽提。大約在19 80年開始，醮胺和醣胺與各種共溶劑的混合物平常即被用在這種汽提步驟，請參閲，例如Ward等人的美國專利4,395,479 、4,428,871 K 及 4,401,748 。當光阴材料仍在基Η上時，視所進行的加工處理方式而定，光阳材料聚合物可能會交聯或硬化到某種程度Μ致於醮胺基溶劑不再有效地汽提光阳材料。大約從1985年開始，即使用含有額外驗性成份如有機胺類（請參見Johnson 的美國專利4,592,787 ，Merrem的美國專利4,765,844 ， Sizensky的美國專利 4,617,251 * Turner的 W0 87/05314 W及Thomas等的美國專利4,791,043)或是氫氧化第四銨（參見516口{>3^等的美國專利4,776,892，1|£^的美國專利 4,744,834 ，Mqrtin 的 W0 88/05813 )的胺類混合物 Μ 便利此等硬化光陏材料之去除。 ---------1^-- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -5 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐）經濟部4-央揉準局貝工消費合作社印製 267188 五、發明説明（2 ) 在用於包含金_，特別是鎢或者是網以及_、鋁合金的微雷路上的汽提劑中使用這呰鹼性成份可能會等致金鼷損失。在使用這些驗性汽提劑時，曾發現到各種形式的金臛腐蝕例如腐蝕鬚、金匾線凹痕或針孔。在鎢和銅的情形時由於溶解的氧提供陰橘反應而可能會在加熱之無水有機汽提姐成物混合物中發生腐蝕。因此非常需要能夠提供適合於從含有金顧的基片上汽提交聯或硬化光阴材料聚合物而金靨腐蝕Μ及/或金覊損失減少或受到抑制之含鹼性光阴材料汽提劑姐成物。本發明的進一步目的是提供一種從含金屬基片上汽提交聯或硬化光闲材料方法，其係使用含有化學藥劑Μ減少或抑制金鼷腐蝕或金驅損失的含鹼性光阳材料汽提姐成物。現已發現在含鹼性光阻材料汽提姐成物中加入某些選原酬即會產生可減少/或抑制金鼷腐蝕以及/或金驅損失的光阴材料汽提姐成物，當這棟姐成物用於自含金靨基Η上除去交聯或硬化光阳材料時。適合用在本發明含鐮性光阻材料汽提姐成物的湛原劑有下列各種：抗壊血酸（維生素 C ) 、丁炔二酵、不飽含酮、腺酸、四咪唑、胼和其衍生物包栝阱基甲酸酯（二胺腺酯）、肟、對苯二酚、連苯三酚、五倍子酸、2,4,5三羥基丁醢笨、生育酚（維生素 Ε>、6-羥基-2,5,7,8-四甲基色滿-2-羧酸、丁基化羥基甲笨（ΒΗΤ) 、丁基化羥基苯甲醚（ΒΗΑ) 、2,6 -二-第三- -5 - 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -------^---1^.-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 267186 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印褽五、發明説明（5 ) 丁某-4-珲甲基酚、硫醇、水楊醛、4_羥基笨甲醛和乙二醇醛二烷基縮醛Μ及其混合物。本發明光阻材料汽提姐成物中所用堪原劑的量為能有效減少或抑制金靨腐蝕或金鼷損失的仟何最，而該最一般將在約〇1)Κ到約10¾的範_内，此係Μ光阳材料汽提姐成物的總重量為準。發~5〇5-^钿銳明本發明的改良防金鼷腐蝕光陏材料汽提姐成物包含有機溶劑系統、鐮性成份和至少一種適用的還原劑。本發明光阳材料汽提婼成物中使用的有機溶劑系統通常是一種具有從大約8到約15的溶解度參數的糸統，該參數是由三個 Hansen溶解度參數（分散性，極性，和氫鐽）的平方和開平方所得到的。而該溶劑糸統可以包含一些個別溶劑的任何一棟或者是數種不間溶劑的混合物。這類溶劑可提及的例子，有各棟吡咯烷齲化合物諸如2-吡咯烷酮、1-甲基2 吡咯烷酮、1-乙基2吡咯烷酮、1-丙基2吡咯烷酮、卜羥乙基遇氣化2吡咯烷酮、1-羥丙基2吡咯烷酮、正環己基吡咯焼_等等；三-或二乙二酵單烷基醚，諸如具化學式 HtHCfUCH —bR者其中R是含1至4個碳原子的烷基而x 0 是2或3;含硫氣的化合物諸如具化學式Ri-1-R2之二烷基li 〇礓其中R1及R2為1至4個碳原子的烷基，二甲亞砸；具化學式本紙張歧適用中1|困家橾準（CNS )从魏_ ( 21GX297公羡） (請先聞讀背面之注意事磅再填寫本頁) Γ -裝' 訂 S67186 A7 B7 五、發明説明（4)

R3 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製之 1 , 1 二其中R3是播和乙基甲蓽甲醯成物窜最本發明構形式。 --氮取代和pKa值可K 一提、1 -胺某酵、2- < 1 - ( 2 -胺是它的親用最是從 30% ° 本發明氧有效的氧化-四氫嗶盼的化合物氧、甲基或乙基例如四亞甲基通、甲四亞甲基砸；K及聚乙二酵、二甲基胺。本發明汽提劑姐成物中之瑢劑部的約50¾:至約98¾，較佳為約70至90重可Μ使用的鹸性汽提姐成物也涵蓋廣它們的離解常數M PKa的數值表示，胺的約9至11，至第二胺嗎福啉和羥略低的羥基胺衍生物。在可以使用的及的有親核性胺類，較佳實例如卜胺 -3-丙酵、2-< 2 -胺乙氧基）乙酵、 2-胺乙胺基）乙醇、2-(2-胺乙胺基乙* )六氧吡畊等等。比胺實際PKa 核件必需很高。本發明汽提組成物中紺成物電最的約U到約50« ，較佳為基四亞甲基乙豳胺或二份通常占姐最％。大種類的結自/3 -氧或基胺的8 . 3 鹼性成份中基-2-丙酵 2-胺基-乙 )乙胺、值更重要的胺成份的使約10¾至約改良光陌材料姐成物中可用作為堪原劑而對清除逋原劑有下列各種：本紙張尺度逋用中國國家搮準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 267186 A7 B7 五、發明説明（含反應性多鍵的化合物，即，抗壞血酸（維生素c)*腯酸，丁炔二醇，不飽和酮類諸如環己烯基丙酮和3 -壬烯 -2-酮、Μ及四咪呻；肼和其衍生物，即，具化學式R4-NH-NH2的化合物，其中1是氣或有機基，較佳是氣原子，甲醮基，烷基，氧碳酸某，鞸烷基，烷羧基或芳基例如苯基；肟類：可輕易氧化的芳香族酚，連苯三酚，五倍子 E>，6-羥某-2,5,7,8-四甲基色滿（p兔《) -2-羧酸，丁基化羥蓽甲 -4 -經蓽化學式化合物和氧化抑制劑，即，對苯二酸和它的烷酯類，生育酚（維生素苯、丁基化羥基甲醚Μ及2,6 -二-第三-丁基甲基酚： RBSH的碕酵類其中Re是有機基諸如雜環基，羧芳經濟部中央榡準局貝工消費合作社印製基，二羧其中1?8和醛及其二烷基縮的烷某一子，更样本發明生素C )， -2-網， R7是烷基；和衍生物，即，薛，特別是乙般是1至12個為1至4個碳原汽提組成物中腺酸，2-丁炔 2,3, 5,6-四氫 0 羧烷基或者化學式Re-〇-i-R7-的基水楊醛，4-羥基苯甲醛和乙二酵醛二醇醛二乙基縮醛。前述還原劑中碳原子之烷基，較佳為1至6涸碳原子之烷基。使用的特佳堪原劑有抗壞血酸（維 -1,4二酵，1-環己烯丙酮，3-壬烯 -6-笨咪唑基[2,Ι-b]噻唑和其氫

(CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

267186 A7 £7_ 五、發明説明（6 ) (請先闖讀背面之注$項再填寫本頁) 氛化物，阱，對-甲苯磺醣基醸肼，甲酸醣肼，願丁烯二胼，肼水合物，羥乙基胼，苯阱，阱基甲酸第三丁基酯，阱蓽甲酸乙酯，水楊醛眄，丙酮肟，連笨三酚，五倍子酸，2,4,5三羥萆T醣苯，3,5-二-第三-丁基-4-羥基甲苯，3-第三-丁基-4-羥基笨甲醚，2,6-二-第三-丁基 -4-羥甲基酚，生育酚（維生素E)，6-羥基-2,5,7,8四甲某色滿（〇兔> -2-羧酸，2-氫硫基_4[3H]1,3-二-氮雜萘，+二烷氧碲基丙酸酯，硫水楊酸，氫碲基丁二酸，半胱氨酸，2 -氫硫箪苯並嗶啤，水楊醛，4 -羥苯醛和乙二酵醛二乙蓽縮醛。本發明遢原劑在含鹼性汽提姐成物中的使用量應能有效減少或抑制金靨腐蝕或金驅損失，且一般是在組合物總重最的約0· 1¾到約10¾ ，較佳自約0. IX到5¾，更佳約0. 15K到 3X，而最佳約U到3¾之範圍内。本發明的汽提姐成物可有效的汽提很多各種不同的光阻材料，特別是正光阳材料。大部份的光阻材料都是由鄰萘醞《氮磺酸酯或醮胺感光劑或光活性成份，加上酚醛樹腊，可溶酚醛樹脂，聚丙烯醯胺或丙烯酸聚合物種類的结合劑或樹_所驵成。這些光阻材料都是此類技藝中已熟知者。此類光阳材料和感光劑在下列的美國專利中都有說明：經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 3,046,118; 3,046·121; 3,106,465; 3,201,239; 3,538,137; 3,666,473; 3,934,057; 3,984,582和 4,007,047 。本發明汽提組成物可用之光阻材料姐成物可

提及的例子如次：0CG微雷子材料糸列^^-6，HiPR -9 - 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 267186 五、發明説明（7 ) 6500, HPR500, OCG 825, OCG 895, OCG 897 和OiR 32的光阳材料，Hoechst Celanese糸列 AZ 1500, 6100, 6200B, 7500, 7500T, DX, P4000 和 PF 500的光阻材料； Shipley 公司的Megaposit S1400, S1800, S3800, SPR2. SPR500-A 和 SPRT500-A 光姐材料；Morton 電子材料的EL-，H0VAW及0FPR-系列光阻材料；Toray工業的 EBR-9;還有I丨CB-JSR雷子的PFR-系列光姐材料。本發明汽提姐成物的改良性質將在下列各實例中說明。在實例中，已加人本發明《原劑的含驗性溶劑糸統汽提劑钼成物是下列A到0的姐成物： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ο 11 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS > A4规格（2丨0><297公釐） 267186 五、發明説明（8 ) 組成—物成ja—1重1份丄 ______— ή 二甲苺甲釀胺（90) + 2-胺基乙酵（10) Β 二甲基乙醢胺（90) + 2-胺基乙酵（10) C 二甲苺乙醢胺（90)+1-胺基-3-丙酵（10) D 二甲*乙醢胺（90) + 1-胺基-2-丙醇（10) E 二甲基乙釀胺（60) + 1-胺基-2-丙酵（10) +四亞甲基砸（30> F 正-甲基遇氫化吡咯瑁_(60) +卜胺基-2-丙酵 (10> +正-環己基吡咯烷酮（30) G TF.-甲基吡咯烷嗣（70) + 1-胺基-2-丙醇（30) Η 正_甲基吡咯烷酮（90) + 2-(2 -胺乙胺基）乙酵 (10) I 二甲基亞通（90)+1-( 2 -胺乙基六氫吡畊）（10> j 正-.甲基吡咯烷酮（80) + 2- ( 2 -胺乙胺基）乙酵 (1 0 ) + ΪΗ - ( 2 -羥乙基）吡咯烷酮（1 0 > K 7F -甲*吡咯烷酮（70)+2-( 2 -胺乙胺基）乙酵 (10) +三乙二酵單甲基醚（20) L TF-甲基吡咯烷酮（60)+2-( 2 -胺乙胺基）乙酵 (10) +二乙二酵單乙基醚（3〇) M 二甲*亞碾（70) +卜胺基-2-丙酵（30> 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Ν 正-甲基吡咯烷酮（50)+2-( 2 -胺乙氧基）乙酵 (+40)+四亞甲基躐（1〇) 〇正-甲蓽吡咯垸酮（60) +卜胺基-2-丙酵（10) + 四亞甲基磲（30> 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210x297公釐）經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 267186 a? ._____B7 五、發明説明（9 ) W上含鏡性汽提劑組成物的腐蝕速率係以加和不加堪原商丨谁行澜最*然後計算本發明汽提組成物的腐蝕抑制百分比。腐蝕速率係使用了下列三種方法測最：方法 1 : 將超遇99.9%鎢的試料（〇.〇5x12x50毫米）放在丙酮中清洗’乾燦後秤電。然後將試料放在加入及不加入遨原劑的上述一棟驗件测試姐成物（加上u水來加重腐蝕）中加熱。存8 5 t下浸沒於測試姐成物中4小時後取出試料，以丙_清洗，乾燥並秤爾。將電最的損失轉換成腐蝕速率，最後梅算成所用遇原劑的抑制百分比。方法2 : 和方法1相同除了試料是超遇99 98!(；的铜（0 〇25χ12χ 50毫米）方法 3 : 將網試料（0.05 x 10 x 30毫米}放在異丙醇中清洗、乾煉然後在10毫升汽提組成物中在8〇Ί〇下加熱1小時。飼然後 Μ原子吸收光謅測最澜試溶液吸收之銅量並換算成所用堪原酬的抑制百分比。使用上述三個方法測最的汽提姐成物Α到〇 (無本發明堪原劑 > 的腐蝕速率Μ每小時埃表示列示於下。结果如下： -12 - 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) Α4规格（210Χ297公羞） ' 一— -- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. *11 267186 五、發明説明（10) A7 B7 組―成―物 A B C D E F G Η I J K L Μ N 0 方後— 1 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 2 2 3 3 埃/小時鏞 38 120 58 110 100 埃/小時緬 390 450 590 170 260 230 150 730 430 860 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製然後將本發明的遇原劑加到上述汽提組成物中，並Μ上述三揷方法之一來進行測最腐蝕損失。然後根據下列公式計算腐蝕損失的抑制百分比：使用遒原劑的腐蝕速率抑制百分比=1 0 0 ( 1 不使用邐原劑的腐蝕速率 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 267186 A7 B7五、發明説明（11 ) S 例上述含鹼性汽提姐成物A到0中加人本發明通原劑即產生下列抑制结果：經濟部中央標準局貝工消费合作社印製測試汽提遒原劑 (加入的金羼損失抑方法絹成物窜最百分，% ) 制丙 ^ hh . 1 A 抗壊血酸 (維生素 C) (1) 100 1 B 2- 丁炔 -1 ,4- 二醇 (2) 79 1 B 腺酸 (3) 94 1 B 1 - 環己烯基丙_ (5) 92 2 F 抗壊血酸 (維生素 C ) (2) 90 2 Η 抗壞血酸 (維生素 C) (2) 100 2 Η 3- 壬烯 -2 _ _ (10) 93 2 I 抗壊血酸 (維生素 C) (2) 62 2 J 抗壞血酸 (維生素 C) (2) 67 2 K 抗壊血酸 (維生素 C) (2) 72 2 L 抗壞血酸 (維生素 C) (2) 57 3 0 抗壞血酸 (維生素 C ) (0.1) 91 3 0 抗壞血酸 (維生素 C) (0.5) 98 3 0 抗壞血酸 (維生素 C) (1) 97 3 N 抗壊血酸 (維生素 C) (0.1) 92 3 H 抗壞血酸 (維生素 C) (1 ) 92 3 0 四咪唑鹽酸鹽 (1) 91 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 A7 B7 五、發明説明（12 ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製測試汽提還原劑（加入的金鼷損失抑方法姐成物電最百分比 %) 制苒分hh 3 0 *四咪啤 (1 ) 63 1 Β 對 - 甲笨 m 基 m 肼 (2) 75 1 A 甲酸醯肼 ⑴ 100 1 C 阱 (0 .5) 100 1 D 阱 (0 .1 ) 64 1 D 胼 (2) 87 1 B 順丁烯醸肼 (2) 62 3 0 阱水合物 (1) 99 3 0 肼水合物 (0 .1 ) 98 3 0 η 乙基阱 (1) 99 3 0 苯肼 (1) 98 3 0 肼基甲酸第三丁基酯 (1 ) 97 3 0 甲酸醯胼 (1) 96 3 0 肼基甲酸乙酯 (1 ) 97 3 0 對甲笨砸基醸胼 (1 ) 98 3 N 胼水合物 (1 ) 96 1 B 水楊醛肟 (5) 87 1 B 丙酮肟 (5) 78 1 B 對苯二酚 (1 ) 100 1 E 對苯二酚 (1 ) 82 2 F 連笨三酚 (1 ) 63 -15 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

C 裝·

、1T 本紙張尺度速用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作社印製 267ΐ8β 五、發明説明（15 ) 測試汽提 « 原劑 (加入的金鼷損失抑方法組肢物霞最百分 hh - %) 制百分比， 2 G 五倍子 m (3 ) 68 3 0 對苯二 m (0 .1 ) 95 3 0 對笨二 m (0 .5) 95 3 0 對苯二酚 (1 ) 96 3 N 對苯二酚 (1) 87 1 B ΒΗΤ (3) 77 1 B 維生素 E (生育酚> (1) 54 1 B «e Τ Γ 0 1 〇 X (1) 72 1 C 2- 氫硫基 -4 (3H) 1， 3- 二氮雜萘 (3) 86 1 D 十二烷氫硫基丙酸酯 (5) 100 2 G 硫水楊酸 (3) 91 2 G 氫硫基丁二酸 (3) 72 2 Μ 半胱氛酸 (3) 68 3 0 2- m 硫基 -4 [ 3 Η ] 1 , 3- 二氮雜萘 (1 ) 86 3 0 2- m 硫基 -4 [3Η] 1 , 3- 二氮雜萘 (5) 89 3 0 2- 氫碕基 -苯駢晖唑 (5) 95 3 Ν 2- 氣硫基 -4 [3Η]1, 3- —. 氮萘 (1 ) 88 -16 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 267186 A7 B7 五、發明説明（u ) 測試汽提方法_組_虛_物1

遒原劑（加入的重畺百分hh，SO 金屬損失抑制百分hh，％ 1 D 水楊醛 (5) 62 1 Β 乙二醇醛二乙基縮醛 (5) 81 1 Β 4 -釋基- 苯甲醛 (5 ) 61 * ”四咪啤"=2,3,5,6 -四氣-6-笨咪唑基[2, Pb]噻唑。 ** ” BHT” =3,5 -二_ 第三-丁基-4-羥甲苯。 *** ”1>〇丨（^”=6-羥基-2,5,7,8四甲基色滿-2-羧酸。從Μ上本發明的說明，熟諸此藝者將明白本發明可作各棟修IF.而不偏離其精神。因此•本發明的範圍並無意僅限於所列舉及說明的特定實例。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

C -裝·

,1T

•-Q 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 17 本紙張尺度逍用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X297公釐〉

Claims

公告本第83109330號專利申請案，AQ Qi Q A« 中文申請專利範圍修正本（84^^^ __ D8 六、申請專利範圍 267186 1 · 一種含鹼性光阻材料汽提姐成物，其包含50¾至98重量％具溶解度參數8至15之汽提溶劑* 1¾至50重量％的親核性胺和堪原劑，其量懕在該汽提組成物用K自含金臛的基片上剝除硬化或交聯光阻材料時能有效抑制或減少金羼腐蝕，該還原劑選自抗壞血酸（維生素 C)，不飽和_，脲酸和四咪哇，阱和其衍生物（選自化學式R4-NH-NH2者，其中R4是氫或選自甲藤基，烷基，氧羰基，羥烷基，烷羧基或芳基的有機基），肟 (選自水楊醛肟和丙酮肟）、2,3,5,6-四氫-6-苯眯唑基[2,1-b]噻唑和其氫氯化物（鹽酸鹽），對苯二酚、五倍子酸，2,4,5-三-羥基丁醯苯，3,5 -二-第三 -丁基-4-羥基甲苯，3-第三-丁基-4-羥苯甲醚， 2,6-二-第三-丁基-4-羥基甲酚，生育酚（雄生素 E) * 6 -羥基-2, 5 ,7,8-四甲基色滿（。龟）-2-羧酸、硫醇（選_自具化學式RSSH的化合物，其中Rs是選自雜環，羧芳基，二羧烷基，胺基取代羧烷基或 0 II 具化學SRe-〇-C-R7-的基（其中ΚΙΟΙΤ是烷基}之有 ------------「訂 d丨線 (請先間讀背面之注意事項再塡寫衣頁) 烴濟部中夾饽爭曷員工消費合作社印製 2 } 乙基和機薛其及 0 醛酵 >物甲-合苯提基Μ 羥所述 4-上 > 中醛其楊及水Μ ΓΓΠ » 選醛Μ縮 Μ基生烷桁:fc 基。烷進之基子為原量碳重個的 12物 1 到成第 1姐圍有提範具汽利是M專基皆請垸比申的分據中百根量重中其成組提汽料材阻光性 0 含的項藤及基酮碾丙苯基甲烯- 己對環， 1-肼白白選選係係劑劑原原還還酮肼和 * 飽 _ 不-中-2 其烯 *壬物3- 裎濟.91·φ,央準局KX工消費合作社印¾ 267186 as8 C8 _ D8 _六、申請專利範圍肼，甲藤肼，順丁基二酸醸肼，肼水合物，羥乙基肼，苯肼，肼基甲酸第三丁基酯及肼基甲酸乙酯，硫酵還原劑係選自2 -氫碲基-4[3H]晻唑啉，十二烷氫硫基丙酸酯，硫水楊酸，氫硫基丁二酸，半胱氨酸及2 -氫硫基苯駢晖哩。 3. 根據申請專利範園第1項的含鹼性光阻材料汽提組成物’其中堪原劑的存在量是占汽提姐成物的0.1»：到 1 0重最％。 4. 根據申請專利範圍第3項的含鹼性光阻材料汽提組成物’其中汽提溶劑包含一或多種溶劑*其選自；過氫化2-吡咯烷爾，1-甲基2-吡咯烷酮，卜乙基2-吡咯烷酮* 1-丙基2-吡咯烷酮，1-羥乙基2-吡咯烷酮，1-羥丙基2-吡咯烷酮、正-環己基吡咯烷酮，具化學式 H〇(CH2CH2-〇-)xR (其中R是具1到4個碳原子的烷基而X是2或3)之三或二乙二醇單烷基醚，含硫氧化物的化 0 合物，其選自具化學式ri-Lr2 (其中R1和R2為1至4© I 碳原子的烷基）之二烷基in，二甲亞颯；具化學式 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 装 *vs 線 R3 本..氏張&度適用㈣國家$準（CNS)A.I死格（210 X 297公梦） 267186 六、申請專利範圍

(其中R3是氫•甲基或乙基）之1,1-二氧化四氫噻吩化合物，四亞甲基砸*甲基四亞甲基δ風和乙基四亞甲基磾，聚乙二酵，二甲基乙醯胺或二甲基甲醢肢；胺類是選自親核性胺類* 1-胺基-2-丙酵，卜胺基- 3-丙酵，2-( 2-胺乙氧基）乙醇，2-胺基-乙酵，2-( 2-胺乙胺基）乙醇，2-(2-胺乙胺基）乙胺和卜（ 2 -胺乙基六氫吡哄）。 5. 根據申請專利範圍第3項的含鹸性光阻材料汽提姐成物，其中溶劑包含卜甲基2-吡咯烷嗣，胺包含1-胺基 -2-丙酵或2-胺基乙醇，而堪原劑包含硫水楊酸或抗壊血酸（維生素C )。 6. —種從含金厲之基片上汽提交聯或硬化光阻材料樹脂的方法，其改良之處包括使用根據申請專利範圍第1 到5項中任何一項的光阻材料汽提組成物做為該光阻材料汽提組成物。 ------------装-------1—訂-------「線 (請先閉讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央5£準局員工消費合作社印纪本纸唯尺度適用中®國家標準（CNS)A4規格（2丨0 X 29/公坌）