TW201837603A - 感光性組成物及其應用 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及一種感光性組成物,其包含聚酯醯胺酸(A)、具有聚合性雙鍵的化合物(B)、光聚合起始劑(C)、重量平均分子量為3,000~50,000的具有環氧基的聚合物(D)、在每一分子中包含2個~10個環氧基且重量平均分子量未滿3,000的環氧化合物(E)、環氧硬化劑(F)、及分子量調整劑(G)。本發明的感光性組成物不需要極性高的有機溶劑,可形成透明性、耐熱性、耐化學品性、平坦性、解析性、及耐化學品性優異且可適合用於電子零件的硬化膜。
Description
本發明涉及一種在電子零件中的絕緣材料、半導體裝置中的鈍化膜、緩衝塗膜、層間絕緣膜、或平坦化膜,或者顯示元件中的層間絕緣膜或彩色濾光片用保護膜等的形成中所使用的感光性組成物。進而,本發明涉及一種使用所述感光性組成物而形成的透明膜、以及具有所述膜的電子零件。
在平板顯示器所代表的顯示元件等元件的製造步驟中,有時進行有機溶劑、酸、鹼溶液等各種化學品處理,或者在通過濺射(sputtering)而成膜配線電極時,將表面局部地加熱為高溫。因此,有時出於防止元件的表面的劣化、損傷、變質的目的而設置表面保護膜。對這些保護膜要求可耐受所述般的製造步驟中的各種處理的各特性。具體而言,要求透明性、平坦性、耐光性、耐劃傷性、耐水性、對玻璃等基底基板的密接性、以及所述的耐熱性、耐溶劑性·耐酸性·耐鹼性等耐化學品性等。
另外,近年來在需求增大的觸控面板中進行薄型化、輕量化,伴隨於此,對絕緣材料不僅要求之前所要求的對基板的密接性、透明性、平坦性、耐熱性等各特性,而且要求可在電極間無間隙且準確地形成的顯影性。另外,在經歷一次或多次於絕緣膜上蒸鍍氧化銦錫(Indium Tin Oxide,ITO)且部分地進行蝕刻而形成電極的製造步驟的情況下,也需要對ITO蝕刻液的耐受性。
用以形成這些保護膜或絕緣膜的硬化性組成物的種類可大致區別為感光性組成物、熱硬化性組成物。在形成膜時通過高溫加熱使熱硬化性組成物完全硬化,因此即使在其後的步驟中存在有加熱至高溫的情況,產生的揮發成分也少,耐熱性也優異。具有該優異特性的熱硬化性的保護膜材料存在有聚酯醯胺酸組成物(例如,參照專利文獻1)。然而,熱硬化性組成物在製造面板分割時無法形成劃痕線(scribe line)而大量地產生保護膜的細屑,因此在其後需要進行高度的面板清洗步驟。
另一方面,感光性組成物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者單體與光聚合起始劑,且因以紫外線為代表的光的能量而引起化學反應,並進行硬化。感光性組成物例如可容易地形成用於製造面板分割時的劃痕線,因此存在有不產生保護膜的細屑等優點,另一方面,與由熱硬化性組成物所形成的保護膜相比,由通常的感光性組成物所形成的保護膜的耐熱性不充分。
近年來,需要耐熱性、耐溶劑性、耐化學品性的保護膜的需求逐漸增加,進而需要微細圖案形狀的保護膜的需求也逐漸增加。由此,謀求可形成耐熱性、耐溶劑性、耐化學品性優異的保護膜且可形成微細圖案的感光性組成物。
可形成具有非常優異的耐熱性的保護膜的感光性組成物存在有聚醯亞胺前驅物組成物(例如,參照專利文獻2)、可溶性聚醯亞胺組成物(例如,參照專利文獻3)。然而,即便在任何的感光性組成物中,可使所獲得的聚醯亞胺前驅物組成物或可溶性聚醯亞胺組成物溶解的有機溶劑也被限定,也需要極性非常高的有機溶劑。
溶解聚醯亞胺前驅物組成物、可溶性聚醯亞胺組成物等的極性高的有機溶劑可列舉:吡咯烷酮系、亞碸系、甲醯胺系、乙醯胺系、酚系、四氫呋喃、二噁烷、γ-丁內酯等。
特別是在將這些感光性組成物用作彩色濾光片保護膜的情況下,若包含這些極性高的有機溶劑,則滲入基底的彩色濾光片層,例如畫素中所含的顏料或染料等著色材料溶出,因此難以製作高質量的顯示元件。
將感光性組成物用於彩色濾光片的保護膜中的例子存在有專利文獻4及專利文獻5,但本發明者等人欲使用這些專利文獻中所記載的感光性組成物來形成保護膜,結果所形成的圖案並非令人充分滿意者,而期望進一步改良。
於在多層配線基板中將感光性組成物用於ITO電極的保護膜的情況下,需要對ITO蝕刻液的耐受性,但在專利文獻5中未提及對ITO蝕刻液的耐受性。
另外,不論感光性組成物、熱硬化性組成物,均要求這些硬化性組成物在基底基板上的塗佈性優異。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-156546 [專利文獻2]日本專利特開昭59-068332 [專利文獻3]日本專利特開2002-003516 [專利文獻4]日本專利特開2011-090275 [專利文獻5]日本專利特開2016-103010
[發明所要解決的課題] 本發明的課題在於提供一種不需要極性高的有機溶劑,形成透明性、耐熱性、平坦性、解析性、及耐化學品性優異的硬化膜的感光性組成物。另外,提供一種由所述感光性組成物所形成的硬化膜,進而提供一種具有所述硬化膜的電子零件。 [解決課題的技術手段]
本發明者等人為了解決所述課題而進行了努力研究,結果發現,通過如下的組成物、及使該組成物硬化而獲得的硬化膜可達成所述目的,從而完成了本發明,所述組成物包含聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、環氧硬化劑及分子量調整劑,所述聚酯醯胺酸是由包含四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物的化合物的反應而獲得。 本發明包含以下的構成。
[1] 一種感光性組成物,其包含:聚酯醯胺酸(A)、具有聚合性雙鍵的化合物(B)、光聚合起始劑(C)、具有環氧基的聚合物(D)、環氧化合物(E)、環氧硬化劑(F)、及分子量調整劑(G);所述感光性組成物的特徵在於: 所述聚酯醯胺酸(A)是通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得,且包含下述式(3)所表示的構成單元及下述式(4)所表示的構成單元; 所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)在每一分子中包含兩個以上的聚合性雙鍵; 所述具有環氧基的聚合物(D)的重量平均分子量為3,000~50,000; 所述環氧化合物(E)在每一分子中包含2個~10個環氧基,且重量平均分子量未滿3,000; 相對於所述聚酯醯胺酸(A)100重量份,所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)的總量為20重量份~300重量份,所述具有環氧基的聚合物(D)及所述環氧化合物(E)的總量為20重量份~200重量份; 所述光聚合起始劑(C)的含量多於所述分子量調整劑(G)的含量的5.0倍且未滿30倍; 0.2≤Z/Y≤8.0·······(1) 0.2≤(Y+Z)/X≤5.0···(2)式(3)及式(4)中,R1
為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,R2
為自二胺除去兩個-NH2
而成的殘基,R3
為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基。
[2] 根據[1]項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的原料成分進一步包含單羥基化合物。
[3] 根據[2]項所述的感光性組成物,其中所述單羥基化合物是選自異丙醇、烯丙醇、苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷中的一種以上。
[4] 根據[1]項至[3]項中任一項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸(A)的重量平均分子量為1,000~200,000; 所述四羧酸二酐是選自3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)中的一種以上; 所述二胺是選自3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸中的一種以上; 所述多元羥基化合物是選自乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基及異三聚氰酸三(2-羥基乙基)酯中的一種以上; 相對於所述具有聚合性雙鍵的化合物的總重量,所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)含有50重量%以上的選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述光聚合起始劑(C)是選自α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑中的一種以上; 所述具有環氧基的聚合物(D)是作為來自具有環氧基的自由基聚合性單體(d1)與所述(d1)以外的自由基聚合性單體(d2)的混合物的反應產物的具有環氧基的共聚物;而且 所述環氧硬化劑(F)是選自偏苯三酸酐、六氫偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上。
[5] 根據[4]項所述的感光性組成物,其中所述具有環氧基的自由基聚合性單體(d1)是選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯及(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚中的一種以上; (d1)以外的自由基聚合性單體(d2)包含二官能(甲基)丙烯酸酯的一種以上。
[6] 根據[1]項至[5]項中任一項所述的感光性組成物,其中所述分子量調整劑(G)是選自硫醇(mercaptan)類、黃原酸(xanthogen)類、醌(quinone)類、對苯二酚類、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯中的一種以上。
[7] 根據[5]項所述的感光性組成物,其中所述四羧酸二酐是選自3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐中的一種以上; 所述二胺是3,3'-二胺基二苯基碸; 所述多元羥基化合物是1,4-丁二醇; 所述單羥基化合物是苄醇; 所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)是選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述二官能(甲基)丙烯酸酯是選自乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯中的一種以上; 相對於光聚合起始劑(C)的總重量,所述光聚合起始劑(C)含有50重量%以上的選自1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)及1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)中的一種以上; 所述環氧硬化劑(F)是選自偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上;而且 所述感光性組成物進一步含有選自3-甲氧基丙酸甲酯及丙二醇單甲醚乙酸酯中的一種以上作為溶劑。
[8] 根據[1]項至[7]項中任一項所述的感光性組成物,其中所述分子量調整劑(G)是選自萘醌類及對苯二酚類中的一種以上。
[9] 一種硬化膜,其是由根據[1]項至[8]項中任一項所述的感光性組成物而獲得。
[10] 一種彩色濾光片,其具有根據[9]項所述的硬化膜作為透明保護膜。
[11] 一種顯示元件,其使用根據[10]項所述的彩色濾光片。
[12] 一種固體攝影元件,其使用根據[10]項所述的彩色濾光片。
[13] 一種顯示元件,其使用根據[9]項所述的硬化膜作為形成在薄膜電晶體(Thin Film Transistor,TFT)與透明電極間的透明絕緣膜。
[14] 一種顯示元件,其使用根據[9]項所述的硬化膜作為形成在TFT與配向膜間的透明絕緣膜。
[15] 一種發光二極體(Light Emitting Diode,LED)發光體,其使用根據[9]項所述的硬化膜作為保護膜。
[16] 一種層間絕緣膜,其具有根據[9]項所述的硬化膜作為透明保護膜。 [發明的效果]
本發明的優選實施方式的感光性組成物是不需要極性高的有機溶劑,且可形成在透明性、耐熱性、平坦性、解析性、及耐化學品性中優異的硬化膜的材料,在用作顯示元件的彩色濾光片保護膜的情況下,可使顯示品質及可靠性提高。另外,也可作為各種光學材料的保護膜及透明絕緣膜而使用。
1.感光性組成物 本發明的感光性組成物是包含聚酯醯胺酸(A)、在每一分子中包含兩個以上的聚合性雙鍵的化合物(B)、光聚合起始劑(C)、具有環氧基的聚合物(D)、在每一分子中包含2個~10個環氧基且重量平均分子量未滿3,000的環氧化合物(E)、環氧硬化劑(F)及分子量調整劑(G)的組成物,所述聚酯醯胺酸(A)是通過以四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物為必需的原料成分進行反應而獲得。所述感光性組成物的特徵在於:相對於所述聚酯醯胺酸(A)100重量份,具有聚合性雙鍵的化合物(B)為20重量份~300重量份,具有環氧基的聚合物(D)及環氧化合物(E)的總量為20重量份~200重量份,光聚合起始劑(C)的含量多於分子量調整劑(G)的含量的5.0倍且未滿30倍。另外,本發明的感光性組成物也可在獲得本發明的效果的範圍內進一步含有所述以外的其他成分。
1-1.聚酯醯胺酸(A) 聚酯醯胺酸是通過以四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物為必需的原料成分進行反應而獲得。更詳細而言,通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得。 0.2≤Z/Y≤8.0·······(1) 0.2≤(Y+Z)/X≤5.0···(2)
聚酯醯胺酸具有下述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元。式(3)及式(4)中,R1
為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,優選碳數2~30的有機基。R2
為自二胺除去兩個-NH2
而成的殘基,優選碳數2~30的有機基。R3
為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基,優選碳數2~20的有機基。
聚酯醯胺酸的合成至少需要溶劑,可使該溶劑直接殘留而製成考慮到操作性等的液狀或凝膠狀的感光性組成物,也可將該溶劑去除而製成考慮到搬運性等的固體狀的組成物。另外,聚酯醯胺酸的合成視需要也可包含選自單羥基化合物及苯乙烯-馬來酸酐共聚物中的一種以上的化合物作為原料,其中,優選包含單羥基化合物。另外,聚酯醯胺酸的合成也可在不損及本發明的目的的範圍內,視需要包含所述以外的其他化合物作為原料。此種其他原料的例子可列舉含矽單胺。
1-1-1.四羧酸二酐 在本發明中,用以獲得聚酯醯胺酸的材料是使用四羧酸二酐。優選的四羧酸二酐的具體例可列舉:3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基碸四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基醚四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)(商品名:TMEG-100,新日本理化股份有限公司)、環丁烷四羧酸二酐、甲基環丁烷四羧酸二酐、環戊烷四羧酸二酐、環己烷四羧酸二酐、及乙烷四羧酸二酐。可使用這些中的一種以上。
這些四羧酸二酐中,更優選對硬化膜賦予良好的透明性的3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及TMEG-100,特別優選3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐。
1-1-2.二胺 在本發明中,用以獲得聚酯醯胺酸的材料是使用二胺。優選的二胺的具體例可列舉:4,4'-二胺基二苯基碸、3,3'-二胺基二苯基碸、3,4'-二胺基二苯基碸、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、[4-(4-胺基苯氧基)苯基][3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、[4-(3-胺基苯氧基)苯基][3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、及2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷。可使用這些中的一種以上。
這些二胺中,更優選對硬化膜賦予良好的透明性的3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸,特別優選3,3'-二胺基二苯基碸。
1-1-3.多元羥基化合物 在本發明中,用以獲得聚酯醯胺酸的材料是使用多元羥基化合物。優選的多元羥基化合物的具體例可列舉:乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、重量平均分子量為1,000以下的聚乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、四丙二醇、重量平均分子量為1,000以下的聚丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、1,2-戊二醇、1,5-戊二醇、2,4-戊二醇、1,2,5-戊三醇、1,2-己二醇、1,6-己二醇、2,5-己二醇、1,2,6-己三醇、1,2-庚二醇、1,7-庚二醇、1,2,7-庚三醇、1,2-辛二醇、1,8-辛二醇、3,6-辛二醇、1,2,8-辛三醇、1,2-壬二醇、1,9-壬二醇、1,2,9-壬三醇、1,2-癸二醇、1,10-癸二醇、1,2,10-癸三醇、1,2-十二烷二醇、1,12-十二烷二醇、甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、異三聚氰酸三(2-羥基乙基)酯、雙酚A(2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷)、雙酚S(雙(4-羥基苯基)碸)、雙酚F(雙(4-羥基苯基)甲烷)、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基、二乙醇胺、及三乙醇胺。可使用這些中的一種以上。
這些多元羥基化合物中,更優選在反應溶劑中的溶解性良好的乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基、及異三聚氰酸三(2-羥基乙基)酯,特別優選1,4-丁二醇、1,5-戊二醇及1,6-己二醇。
1-1-4.單羥基化合物 在本發明中,用以獲得聚酯醯胺酸的材料可以使用單羥基化合物。通過使用單羥基化合物,可使感光性組成物的保存穩定性提高。優選的單羥基化合物的具體例可列舉:苄醇、丙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、甲基丙烯酸羥基乙酯、松油醇(terpineol)、3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷及二甲基苄基甲醇(dimethyl benzyl carbinol)。可使用這些中的一種以上。
這些單羥基化合物中更優選苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷。若考慮將使用這些單羥基化合物而形成的聚酯醯胺酸與具有環氧基的聚合物、環氧化合物及環氧硬化劑混合的情況下的相容性,或感光性組成物在彩色濾光片上的塗佈性,則單羥基化合物特別優選使用苄醇。
相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份,優選含有0重量份~300重量份的單羥基化合物而進行反應。更優選5重量份~200重量份。
1-1-5.苯乙烯-馬來酸酐共聚物 另外,本發明中所使用的聚酯醯胺酸也可在所述原料中添加具有三個以上酸酐基的化合物而合成。通過如上所述地進行,可使硬化膜的透明性提高,因此優選。具有三個以上酸酐基的化合物的例子可列舉苯乙烯-馬來酸酐共聚物。關於構成苯乙烯-馬來酸酐共聚物的各成分的比率,苯乙烯/馬來酸酐的莫耳比為0.5~4,優選1~3。進一步而言,更優選1或2,特別優選1。
苯乙烯-馬來酸酐共聚物的具體例可列舉SMA3000P、SMA2000P、SMA1000P(均為商品名;川原油化股份有限公司)。這些市售品中特別優選使硬化膜的耐熱性及耐鹼性變良好的SMA1000P。
相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份,苯乙烯-馬來酸酐共聚物優選含有0重量份~500重量份。更優選10重量份~300重量份。
1-1-6.含矽單胺 在聚酯醯胺酸的合成中,也可在不損及本發明的目的的範圍內,視需要包含所述以外的其他原料作為原料,此種其他原料的例子可列舉含矽單胺。
本發明中所使用的優選的含矽單胺的具體例可列舉:3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-胺基丙基甲基二乙氧基矽烷、4-胺基丁基三甲氧基矽烷、4-胺基丁基三乙氧基矽烷、4-胺基丁基甲基二乙氧基矽烷、對胺基苯基三甲氧基矽烷、對胺基苯基三乙氧基矽烷、對胺基苯基甲基二甲氧基矽烷、對胺基苯基甲基二乙氧基矽烷、間胺基苯基三甲氧基矽烷、及間胺基苯基甲基二乙氧基矽烷。可使用這些中的一種以上。
這些含矽單胺中,更優選使硬化膜的耐酸性變良好的3-胺基丙基三乙氧基矽烷及對胺基苯基三甲氧基矽烷,就耐酸性、相容性的觀點而言,特別優選3-胺基丙基三乙氧基矽烷。
相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份,含矽單胺優選含有0重量份~300重量份。更優選5重量份~200重量份。
1-1-7.聚酯醯胺酸的合成反應中所使用的溶劑 用以獲得聚酯醯胺酸的合成反應中所使用的溶劑的具體例可列舉:二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯、環己酮。這些溶劑中,優選丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、或二乙二醇甲基乙醚。
1-1-8.聚酯醯胺酸的合成方法 本發明中所使用的聚酯醯胺酸的合成方法是在所述溶劑中使四羧酸二酐X莫耳、二胺Y莫耳、及多元羥基化合物Z莫耳反應。此時,X、Y及Z優選設定為在這些X、Y及Z之間下述式(1)及式(2)的關係成立的比例。若為該範圍,則聚酯醯胺酸在溶劑中的溶解性高,因而組成物的塗佈性提高,結果可獲得平坦性優異的硬化膜。 0.2≤Z/Y≤8.0·······(1) 0.2≤(Y+Z)/X≤5.0···(2) 式(1)中,優選0.7≤Z/Y≤7.0,更優選1.0≤Z/Y≤5.0。另外,式(2)中,優選0.5≤(Y+Z)/X≤4.0,更優選0.6≤(Y+Z)/X≤2.0。
可認為本發明中所使用的聚酯醯胺酸是在所述反應條件下,相對於Y+Z而過剩使用X的條件下,比在末端具有胺基或羥基的分子更過剩地生成在末端具有酸酐基(-CO-O-CO-)的分子。在以此種單體的構成進行反應的情況下,為了與分子末端的酸酐基反應而對末端進行酯化,可視需要添加所述的單羥基化合物。通過添加單羥基化合物進行反應而獲得的聚酯醯胺酸可改善與環氧化合物及環氧硬化劑的相容性,並且可改善包含這些化合物的本發明的感光性組成物的塗佈性。
另外,在以所述單體的構成進行反應的情況下,為了與分子末端的酸酐基反應而在末端導入矽烷基,可添加含矽單胺。若使用含有通過添加含矽單胺進行反應而獲得的聚酯醯胺酸的本發明的感光性組成物,則可改善所獲得的硬化膜的耐酸性。進而,在以所述單體的構成進行反應的情況下,也可添加單羥基化合物及含矽單胺此兩者而進行反應。
若相對於四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物的合計100重量份而使用100重量份以上的反應溶劑,則反應順利地進行,因此優選。反應以在40℃~200℃下反應0.2小時~20小時為宜。
反應原料在反應系統中的添加順序並無特別限定。亦即,也可使用以下的任意方法:將四羧酸二酐與二胺及多元羥基化合物同時加入至反應溶劑中;使二胺及多元羥基化合物溶解於反應溶劑中之後,添加四羧酸二酐;使四羧酸二酐與多元羥基化合物預先反應後,在其反應產物中添加二胺;或者使四羧酸二酐與二胺預先反應後,在其反應產物中添加多元羥基化合物等。
在使所述含矽單胺反應的情況下,在四羧酸二酐與二胺及多元羥基化合物的反應結束後,將反應液冷卻至40℃以下後,添加含矽單胺,在10℃~40℃下反應0.1小時~6小時為宜。另外,可以在反應的任意時間點添加單羥基化合物。
以所述方式合成的聚酯醯胺酸包含所述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元,且其末端是源自作為原料的四羧酸二酐、二胺或多元羥基化合物的酸酐基、胺基或羥基,或者這些化合物以外的添加物構成其末端。通過包含此種構成,硬化性變良好。
所獲得的聚酯醯胺酸的重量平均分子量優選1,000~200,000,更優選3,000~50,000。若處於這些範圍,則平坦性及耐熱性變良好。
本說明書中的重量平均分子量是通過凝膠滲透色譜(Gel Permeation Chromatography,GPC)法(管柱溫度:35℃,流速:1 ml/min)而求出的以聚苯乙烯換算計的值。標準的聚苯乙烯使用分子量為645~132,900的聚苯乙烯(例如,安捷倫科技(Agilent Technologies)股份有限公司的聚苯乙烯校準套組(calibration kit)PL2010-0102),管柱使用PLgel MIXED-D(安捷倫科技股份有限公司),可以使用四氫呋喃(Tetrahydrofuran,THF)作為流動相而進行測定。再者,本說明書中的市售品的重量平均分子量為目錄記載值。
1-2.具有聚合性雙鍵的化合物(B) 1-2-1.在每一分子中具有兩個以上的聚合性雙鍵的化合物 本發明中所使用的具有聚合性雙鍵的化合物並無特別限定,優選在每一分子中具有兩個以上的聚合性雙鍵的化合物。若具有聚合性雙鍵的化合物相對於聚酯醯胺酸100重量份而為20重量份~300重量份,則顯影後殘膜率變良好而優選。
本發明的感光性組成物中所含有的在每一分子中具有兩個以上的聚合性雙鍵的化合物可列舉:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、丙三醇(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性丙三醇三(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化環己基二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、羥基三甲基乙酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性羥基三甲基乙酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘油四(甲基)丙烯酸酯、二甘油環氧乙烷改性丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、烯丙基化環己基二(甲基)丙烯酸酯、雙[(甲基)丙烯醯氧基新戊二醇]己二酸酯、雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、雙酚S二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚S二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、二丙烯酸二環戊基酯、聚酯二丙烯酸酯、聚酯三丙烯酸酯、聚酯四丙烯酸酯、聚酯五丙烯酸酯、聚酯六丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性鄰苯二甲酸二(甲基)丙烯酸酯、四溴雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、三丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、己內酯改性三[(甲基)丙烯醯氧基乙基]異三聚氰酸酯、(甲基)丙烯酸化異三聚氰酸酯、苯基縮水甘油醚丙烯酸酯-六亞甲基二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、苯基縮水甘油醚丙烯酸酯-甲苯二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯-六亞甲基二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯-甲苯二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯-異佛爾酮二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、二季戊四醇五丙烯酸酯-六亞甲基二異氰酸酯-胺基甲酸酯預聚物、無黃變型寡聚胺基甲酸酯丙烯酸酯、及含羧酸的胺基甲酸酯丙烯酸酯-寡聚物等。
在每一分子中具有兩個以上的聚合性雙鍵的化合物可單獨使用所述化合物,也可混合兩種以上而使用。
就硬化膜的耐熱性、耐化學品性的觀點而言,在每一分子中具有兩個以上的聚合性雙鍵的化合物中優選使用三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、或這些的混合物。
三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、或這些的混合物可使用下述市售品。三羥甲基丙烷三丙烯酸酯的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-309(商品名;東亞合成股份有限公司)。季戊四醇三丙烯酸酯及季戊四醇四丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-306(65重量%~70重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-305(55重量%~63重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-303(30重量%~60重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-452(25重量%~40重量%)、及亞羅尼斯(Aronix)M-450(未滿10重量%,以下略記為“M-450”)(均為商品名;東亞合成股份有限公司,括號內的含有率是混合物中的季戊四醇三丙烯酸酯的含有率的目錄記載值)。二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-403(50重量%~60重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-400(40重量%~50重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-402(30重量%~40重量%,以下略記為“M-402”)、亞羅尼斯(Aronix)M-404(30重量%~40重量%)、亞羅尼斯(Aronix)M-406(25重量%~35重量%)、及亞羅尼斯(Aronix)M-405(10重量%~20重量%)(均為商品名;東亞合成股份有限公司,括號內的含有率是混合物中的二季戊四醇五丙烯酸酯的含有率的目錄記載值)。多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-510及亞羅尼斯(Aronix)M-520(均為商品名;東亞合成股份有限公司)。異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-215(商品名;東亞合成股份有限公司)。異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯及異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-315(3重量%~13重量%,以下略記為“M-315”)(商品名;東亞合成股份有限公司,括號內的含有率是混合物中的異三聚氰酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯的含有率的目錄記載值)。
1-2-2.在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物 就解析性的觀點而言,本發明的感光性組成物中也可進一步含有在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物。若在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物相對於聚酯醯胺酸100重量份而為1重量份~50重量份,則解析性變良好而優選。
此種在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物例如可列舉:(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸羥基丙酯、(甲基)丙烯酸羥基丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、丁二酸-2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、六氫鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯氧基乙基-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基苯基酯、對羥基(甲基)丙烯酸苯胺化物、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、1,4-環己烷二甲醇單(甲基)丙烯酸酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸-3-(2-羥基苯基)酯、及(甲基)丙烯酸β-羧基乙酯。
這些化合物中,(甲基)丙烯酸-4-羥基苯基酯及對羥基(甲基)丙烯酸苯胺化物的解析性變良好而優選。
1-3.光聚合起始劑(C) 本發明的感光性組成物中所含有的光聚合起始劑只要為可使如下組成物的聚合開始者,則並無特別限定,所述組成物含有聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、環氧硬化劑、分子量調整劑。
本發明的感光性組成物中所含有的光聚合起始劑可列舉:二苯甲酮、米氏酮、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、氧雜蒽酮、硫雜蒽酮、異丙基氧雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、2-乙基蒽醌、苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、2-羥基-2-甲基-4'-異丙基苯丙酮、1-羥基環己基苯基酮、異丙基安息香醚、異丁基安息香醚、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、樟腦醌、苯并蒽酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(4-嗎啉基)-1-丙酮(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)907,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、2-(二甲基胺基)-1-(4-(4-嗎啉代)苯基)-2-(苯基甲基)-1-丁酮(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)369,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、4,4'-二(叔丁基過氧基羰基)二苯甲酮、3,4,4'-三(叔丁基過氧基羰基)二苯甲酮、1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)OXE01,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)OXE02,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、豔佳固(IRGACURE)OXE03(商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、豔佳固(IRGACURE)OXE04(商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)(例如,商品名:艾迪科亞庫魯茲(Adeka Arkls)NCI-930,艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、艾迪科亞庫魯茲(Adeka Arkls)NCI-831(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、艾迪科奧普托瑪(Adeka Optomer)N-1919(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、2-(4'-甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(3',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2'-甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(4'-戊氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)]-2,6-二(三氯甲基)-均三嗪、1,3-雙(三氯甲基)-5-(2'-氯苯基)-均三嗪、1,3-雙(三氯甲基)-5-(4'-甲氧基苯基)-均三嗪、2-(對二甲基胺基苯乙烯基)苯并噁唑、2-(對二甲基胺基苯乙烯基)苯并噻唑、2-巰基苯并噻唑、3,3'-羰基雙(7-二乙基胺基香豆素)、2-(鄰氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4-二溴苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、3-(2-甲基-2-二甲基胺基丙醯基)咔唑、3,6-雙(2-甲基-2-嗎啉代丙醯基)-9-正十二烷基咔唑、1-羥基環己基苯基酮、及雙(η5
-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦等。
光聚合起始劑可單獨使用,也可混合兩種以上而使用。光聚合起始劑中,就曝光時的塗膜的感度及硬化膜的透明性的觀點而言,優選α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑。再者,在本說明書中,將對利用旋塗、印刷及其他方法而形成於基板上的感光性組成物的薄膜進行預乾燥(預烘烤)而獲得的薄膜稱為“塗膜”。所述塗膜在經過其後的曝光-顯影-清洗-乾燥等步驟後,通過正式煆燒(後烘烤)而成為硬化膜。在本說明書中,將自所述預加熱起至乾燥的步驟中的薄膜均稱為“塗膜”,例如,通過表述為“曝光時的塗膜”、“顯影後的塗膜”來表示成膜步驟的何種階段的塗膜。
就塗膜的感度及硬化膜的透明性的觀點而言,在光聚合起始劑中,更優選1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)或1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)相對於光聚合起始劑的總重量而為20重量%以上。另外,若為50重量%以上,則進一步優選。光聚合起始劑也可僅包含1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)或1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)。
1-4.具有環氧基的聚合物(D) 本發明中所使用的具有環氧基的聚合物的重量平均分子量為3,000以上。通過在本發明的感光性組成物中添加環氧化合物,可提高硬化膜的耐熱性、耐溶劑性、耐化學品性。
具有環氧基的聚合物可通過使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與其他自由基聚合性單體反應而獲得。使用此種具有環氧基的共聚物使由感光性組成物所獲得的硬化膜的透明性變高,可抑制在UV臭氧處理步驟或紫外線曝光步驟中的透明性降低,因此優選。就平坦性、耐熱性、耐溶劑性的觀點而言,優選(甲基)丙烯酸縮水甘油酯在構成具有環氧基的共聚物的所有單體中占50重量%~99重量%。
其他自由基聚合性單體可例示單官能(甲基)丙烯酸酯、二官能(甲基)丙烯酸酯及三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯。為了提高由感光性組成物所獲得的硬化膜的耐熱性、耐化學品性,優選使用三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯,另一方面,為了提高硬化膜的平坦性、與組成物中的聚酯醯胺酸的相容性,優選使用單官能(甲基)丙烯酸酯。然而,硬化膜的耐熱性、耐溶劑性與硬化膜的平坦性、與組成物中的聚酯醯胺酸的相容性存在折衷的傾向,因此為了平衡性良好地發揮這些性能,優選使用二官能(甲基)丙烯酸酯。
二官能(甲基)丙烯酸酯的優選例可列舉:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯。這些例子由於通過與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應而獲得的具有環氧基的聚合物的與聚酯醯胺酸的相容性變良好而優選。就平坦性、耐熱性、耐化學品性的觀點而言,優選在成為具有環氧基的聚合物的原料的所有單體中含有1重量份~30重量份的二官能(甲基)丙烯酸酯。
所述具有環氧基的聚合物也可包含(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二官能(甲基)丙烯酸酯以外的自由基聚合性單體作為原料成分。就不損及本發明的效果地表現出所述其他自由基聚合性單體的特性的觀點而言,優選含有0重量%~20重量%的此種其他自由基聚合性單體。其他自由基聚合性單體可使用所述的單官能(甲基)丙烯酸酯及三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯。
單官能(甲基)丙烯酸酯的具體例為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、丙三醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸間苯氧基苄基酯、及(甲基)丙烯酸四氫糠基酯。
三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的具體例為三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷丙氧基三丙烯酸酯、乙氧基化異三聚氰酸三丙烯酸酯、ε-己內酯改性三-(2-丙烯醯氧基乙基)異三聚氰酸酯、甘油乙氧基三丙烯酸酯、甘油丙氧基三丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯。
其他自由基聚合性單體可為一種也可為兩種以上。
通過以(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二官能(甲基)丙烯酸酯為必需的原料成分進行反應而獲得的具有環氧基的聚合物的重量平均分子量優選3,000~50,000,更優選3,000~20,000。若分子量處於這些範圍,則可獲得充分的解析性、平坦性、耐熱性、耐化學品性。
1-4-1.具有環氧基的聚合物的合成反應中使用的溶劑 通過以(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二官能(甲基)丙烯酸酯為必需的原料成分進行反應而獲得的具有環氧基的聚合物的合成至少需要溶劑。
用以獲得具有環氧基的聚合物的聚合反應中使用的溶劑的具體例可列舉:二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯、環己酮、N-甲基-2-吡咯烷酮、及N,N-二甲基乙醯胺。這些溶劑中優選丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯及二乙二醇甲基乙醚。
這些溶劑可單獨使用,或者以兩種以上的混合溶劑的形式使用。另外,若相對於溶劑的總量而為30重量%以下的比例,則也可混合使用除所述溶劑以外的其他溶劑。
1-4-2.具有環氧基的聚合物的合成方法 具有環氧基的聚合物的合成方法並無特別限制,但優選使用溶劑的溶液中的自由基聚合。若相對於(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、二官能(甲基)丙烯酸酯、及視需要而使用的其他自由基聚合性單體的合計100重量份而使用100重量份以上的反應溶劑,則反應順利地進行,因此優選。聚合溫度只要為自所使用的聚合起始劑充分地產生自由基的溫度,則並無特別限定,通常為50℃~150℃的範圍。聚合時間也無特別限定,通常為1小時~24小時的範圍。另外,該聚合也可在加壓、減壓或大氣壓的任意壓力下進行。
具有環氧基的聚合物的合成可使用公知的聚合起始劑。聚合起始劑可列舉由熱而產生自由基的化合物、偶氮雙異丁腈等偶氮系起始劑、及過氧化苯甲醯等過氧化物系起始劑。在自由基聚合反應中,為了調節所生成的共聚物的分子量,也可適量添加巰基乙酸(thioglycolic acid)等鏈轉移劑。
具有環氧基的聚合物可使合成中所使用的溶劑直接殘留而製成考慮到操作性等的環氧化合物溶液,也可將該溶劑去除而製成考慮到搬運性等的固體狀的環氧化合物。
1-5.環氧化合物(E) 本發明中所使用的環氧化合物在每一分子中包含2個~10個環氧基,且重量平均分子量未滿3,000。通過在本發明的感光性組成物中添加環氧化合物,可提高硬化膜的耐熱性。
環氧化合物的優選例可列舉:3,4-環氧環己烷羧酸-3',4'-環氧環己基甲酯(例如,商品名:賽羅西德(Celloxide)2021P,大賽璐(Daicel)股份有限公司)、1-甲基-4-(2-甲基氧雜環丙基)-7-氧雜雙環[4.1.0]庚烷(例如,商品名:賽羅西德(Celloxide)3000,大賽璐(Daicel)股份有限公司)、2-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-雙[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]乙基]苯基]丙烷與1,3-雙[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇的混合物(例如,商品名:泰克莫(TECHMORE)VG3101L,普林泰克(Printec)股份有限公司)、2-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-雙[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]乙基]苯基]丙烷、1,1,1-三(4-羥基苯基)乙烷三縮水甘油醚(例如,商品名:jER 1032H60,三菱化學股份有限公司)、1,3-雙(氧雜環丙基甲基)-5-(2-丙烯基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、2,2-雙(羥基甲基)-1-丁醇的1,2-環氧基-4-(2-氧雜環丙基)環己烷加成物(例如,商品名:EHPE3150,大賽璐(Daicel)股份有限公司)等。
若具有環氧基的聚合物(D)及環氧化合物(E)的總量相對於聚酯醯胺酸(A)100重量份而為20重量份~200重量份,則平坦性變良好而優選。
1-6.環氧硬化劑(F) 在本發明的感光性組成物中,為了使平坦性、耐化學品性、耐溶劑性提高而使用環氧硬化劑。環氧硬化劑存在有酸酐系硬化劑、胺系硬化劑、酚系硬化劑、咪唑系硬化劑、催化劑型硬化劑、及鋶鹽、苯并噻唑鎓鹽、銨鹽、鏻鹽等感熱性酸產生劑等,就避免硬化膜的著色及硬化膜的耐熱性的觀點而言,優選酸酐系硬化劑或咪唑系硬化劑。
酸酐系硬化劑的具體例可列舉:脂肪族二羧酸酐,例如馬來酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基六氫鄰苯二甲酸酐、六氫偏苯三酸酐等,芳香族多元羧酸酐,例如鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐等。這些酸酐系硬化劑中,特別優選可提高硬化膜的耐熱性而不損及感光性組成物的對溶劑的溶解性的偏苯三酸酐及六氫偏苯三酸酐。
咪唑系硬化劑的具體例可列舉:2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、2,3-二氫-1H-吡咯並[1,2-a]苯并咪唑、1-氰基乙基-2-十一烷基咪唑鎓偏苯三酸鹽。這些咪唑系硬化劑中,特別優選可提高硬化膜的硬化性而不損及感光性組成物的對溶劑的溶解性的2-十一烷基咪唑。
1-7.分子量調整劑(G) 為了抑制因聚合而導致分子量變高、且表現優異的解析性,本發明的感光性組成物中使用分子量調整劑。分子量調整劑可列舉:硫醇類、黃原酸類、醌類、對苯二酚類、酚類、兒茶酚類、甲酚類、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯及吩噻嗪等。
分子量調整劑的具體例可列舉:1,4-萘醌、2-羥基-1,4-萘醌、1,2-苯醌、1,4-苯醌、甲基-對苯醌、蒽醌、對苯二酚、甲基對苯二酚、叔丁基對苯二酚、2,5-二-叔丁基對苯二酚、2,5-二-叔戊基對苯二酚、1,4-二羥基萘、3,6-二羥基苯并降冰片烷、4-甲氧基苯酚、2,2',6,6'-四-叔丁基-4,4'-二羥基聯苯、3-(3,5-二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸硬脂酯、2,2'-亞甲基雙(6-叔丁基-4-乙基苯酚)、2,4,6-三(3',5'-二-叔丁基-4'-羥基苄基)均三甲苯、季戊四醇四[3-(3,5-二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、4-叔丁基鄰苯二酚、正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔-十二烷基硫醇、巰基乙酸、二甲基黃原酸硫醚、二異丙基黃原酸二硫醚、2,6-二-叔丁基-對甲酚、4,4'-亞丁基雙(6-叔丁基-間甲酚)、4,4'-硫代雙(6-叔丁基-間甲酚)、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、吩噻嗪等。
分子量調整劑可單獨使用,也可組合兩種以上而使用。分子量調整劑中,若為萘醌系分子量調整劑,則就表現優異的解析性的方面而言優選。
分子量調整劑中,若為具有酚性羥基的2-羥基-1,4-萘醌,則就解析性的觀點而言更優選。另外,就解析性的觀點而言,優選以光聚合起始劑的含量多於分子量調整劑的含量的5.0倍且未滿30倍的方式含有分子量調整劑,更優選以光聚合起始劑的含量多於分子量調整劑的含量的5.1倍且為20倍以下的方式含有分子量調整劑。進而優選以光聚合起始劑的含量多於分子量調整劑的含量的5.2倍且為10倍以下的方式含有分子量調整劑。
1-8.聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、具有環氧基的聚合物、環氧化合物、環氧硬化劑及分子量調整劑的比例 本發明的感光性組成物中,相對於聚酯醯胺酸100重量份,具有聚合性雙鍵的化合物的比例為20重量份~300重量份。若具有聚合性雙鍵的化合物的比例為該範圍,則耐熱性、平坦性、耐化學品性、顯影後殘膜率的平衡良好。若具有聚合性雙鍵的化合物為100重量份~300重量份的範圍,則進而優選。
相對於聚酯醯胺酸100重量份,光聚合起始劑的比例為2重量份~60重量份。就曝光時的塗膜的感度的觀點而言,優選光聚合起始劑的比例為所述範圍。
本發明的感光性組成物中,相對於聚酯醯胺酸100重量份,具有環氧基的聚合物與環氧化合物的合計量的比例為20重量份~200重量份。若具有環氧基的聚合物與環氧化合物的合計量的比例為該範圍,則耐熱性、平坦性的平衡良好。若具有環氧基的聚合物與環氧化合物的合計量為20重量份~150重量份的範圍,則進而優選。
環氧硬化劑相對於具有環氧基的聚合物與環氧化合物的合計量的比例是相對於具有環氧基的聚合物與環氧化合物的合計量100重量份,環氧硬化劑為0.1重量份~60重量份。例如,關於環氧硬化劑為酸酐系硬化劑的情況下的添加量,更詳細而言,優選以相對於環氧基而環氧硬化劑中的羧酸酐基或羧基成為0.1倍當量~1.5倍當量的方式進行添加。此時,羧酸酐基以2價進行計算。若以羧酸酐基或羧基成為0.15倍當量~0.8倍當量的方式進行添加,則耐化學品性進一步提高,因此進而優選。
1-9.其他成分 本發明的感光性組成物中,可添加各種添加劑以提高塗佈均勻性、黏接性。添加劑主要可列舉:溶劑,光酸產生劑,陰離子系、陽離子系、非離子系、氟系或矽系的界面活性劑,密接性提升劑,受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化劑。
1-9-1.溶劑 本發明的感光性組成物中也可添加溶劑。本發明的感光性組成物中所任意添加的溶劑優選可溶解聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、環氧化合物、環氧硬化劑等的溶劑。該溶劑的具體例為乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-氧基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、1,4-丁二醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、環己酮、環戊酮、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、及二乙二醇甲基乙醚。溶劑可為這些溶劑的一種,也可為這些溶劑的兩種以上的混合物。
1-9-2.光酸產生劑 本發明的感光性組成物為了表現出優異的解析性,可添加光酸產生劑。光酸產生劑可列舉1,2-醌二疊氮化合物。
1,2-醌二疊氮化合物的具體例為2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯(例如,商品名:NT-200,東洋合成化學工業)、2,4,6-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,4-二羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;三(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、三(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺二茚-5,6,7,5',6',7'-己醇-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺二茚-5,6,7,5',6',7'-己醇-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、及2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯。
1-9-3.界面活性劑 本發明的感光性組成物中也可添加界面活性劑以提高塗佈均勻性。界面活性劑的具體例可列舉:波利弗洛(Polyflow)No.75、波利弗洛(Polyflow)No.90、波利弗洛(Polyflow)No.95(均為商品名;共榮社化學股份有限公司)、迪斯帕畢克(Disperbyk)-161、迪斯帕畢克(Disperbyk)-162、迪斯帕畢克(Disperbyk)-163、迪斯帕畢克(Disperbyk)-164、迪斯帕畢克(Disperbyk)-166、迪斯帕畢克(Disperbyk)-170、迪斯帕畢克(Disperbyk)-180、迪斯帕畢克(Disperbyk)-181、迪斯帕畢克(Disperbyk)-182、BYK-300、BYK-306、BYK-310、BYK-320、BYK-330、BYK-342、BYK-346、BYK-361N、BYK-UV3500、BYK-UV3570(均為商品名;日本畢克化學(BYK Chemie Japan)股份有限公司)、KP-341、KP-368、KF-96-50CS、KF-50-100CS(均為商品名;信越化學工業股份有限公司)、沙福隆(Surflon)S611(商品名;AGC清美化學(AGC Seimi Chemical)股份有限公司)、福吉特(Ftergent)222F、福吉特(Ftergent)208G、福吉特(Ftergent)251、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)650A、FTX-218(均為商品名;尼奧斯(Neos)股份有限公司)、美佳法(Megafac)F-410、美佳法(Megafac)F-430、美佳法(Megafac)F-444、美佳法(Megafac)F-472SF、美佳法(Megafac)F-475、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-552、美佳法(Megafac)F-553、美佳法(Megafac)F-554、美佳法(Megafac)F-555、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-558、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)R-94、美佳法(Megafac)RS-75、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)RS-76-NS、美佳法(Megafac)DS-21(均為商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司)、迪高屯(TEGO Twin)4000、迪高屯(TEGO Twin)4100、迪高弗洛(TEGO Flow)370、迪高格萊德(TEGO Glide)440、迪高格萊德(TEGO Glide)450、迪高拉德(TEGO Rad)2200N(均為商品名;日本贏創德固賽(Evonik-Degussa Japan)股份有限公司)、氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化銨、氟烷基甜菜鹼、氟烷基磺酸鹽、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基三甲基銨鹽、氟烷基胺基磺酸鹽、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯十三烷基醚、聚氧乙烯鯨蠟基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯月桂酸酯、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月桂基胺、山梨醇酐月桂酸酯、山梨醇酐棕櫚酸酯、山梨醇酐硬脂酸酯、山梨醇酐油酸酯、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐月桂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐棕櫚酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐油酸酯、聚氧乙烯萘基醚、烷基苯磺酸鹽、及烷基二苯基醚二磺酸鹽。優選使用選自這些化合物中的至少一種。
這些界面活性劑中,若為選自BYK-306、BYK-342、BYK-346、KP-341、KP-368、沙福隆(Surflon)S611、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)650A、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)DS-21、迪高屯(TEGO Twin)4000、氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基磺酸鹽、氟烷基三甲基銨鹽、及氟烷基胺基磺酸鹽中的至少一種,則感光性組成物的塗佈均勻性變高,因此優選。
相對於感光性組成物總量,本發明的感光性組成物中的界面活性劑的含量優選0.01重量%~10重量%。
1-9-4.密接性提升劑 就使所形成的硬化膜與基板的密接性進一步提高的觀點而言,本發明的感光性組成物也可進一步含有密接性提升劑。密接性提升劑可列舉偶合劑。
此種偶合劑例如可使用矽烷系、鋁系或鈦酸酯系的偶合劑。具體而言,可列舉:3-縮水甘油氧基丙基二甲基乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:塞拉艾斯(Sila-Ace)S510,捷恩智(JNC)股份有限公司)、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:塞拉艾斯(Sila-Ace)S530,捷恩智(JNC)股份有限公司)、3-巰基丙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:塞拉艾斯(Sila-Ace)S810,捷恩智(JNC)股份有限公司)、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷的聚合物(例如,商品名:考特奧斯陸(COATOSIL)MP 200,邁圖高新材料(Momentive Performance Materials)合同股份有限公司)等矽烷系偶合劑,乙醯烷氧基二異丙醇鋁等鋁系偶合劑及四異丙基雙(二辛基亞磷酸酯)鈦酸酯等鈦酸酯系偶合劑。
這些密接性提升劑中,3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷的提升密接性的效果大,因此優選。
偶合劑的含量相對於感光性組成物總量而為0.01重量%以上、10重量%以下,會提高所形成的硬化膜與基板的密接性,故優選。
1-9-5.具有聚合性雙鍵的巨單體 就前項中敘述的密接性的觀點而言,本發明的感光性組成物也可進一步含有具有聚合性雙鍵的巨單體。
具有聚合性雙鍵的巨單體為在分子鏈的末端具有可聚合的碳-碳不飽和雙鍵的數量平均分子量為1,000~30,000的反應性的寡聚物或聚合物。
可作為市售品獲取的此種巨單體可列舉:片末端經甲基丙烯醯基化的聚甲基丙烯酸甲酯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AA-6,東亞合成(股)製造)及片末端經甲基丙烯醯基化的聚丙烯酸正丁酯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AB-6,東亞合成(股)製造)、片末端經甲基丙烯醯基化的聚苯乙烯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AS-6,東亞合成(股)製造)。
1-9-6.抗氧化劑 就提高透明性、防止硬化膜暴露在高溫的情況下的黃變的觀點而言,本發明的感光性組成物也可進一步含有抗氧化劑。
本發明的感光性組成物中也可添加受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化劑。其中,就耐候性的觀點而言,優選受阻酚系。具體例可列舉:易璐佳諾斯(Irganox)1010、易璐佳諾斯(Irganox)FF、易璐佳諾斯(Irganox)1035、易璐佳諾斯(Irganox)1035FF、易璐佳諾斯(Irganox)1076、易璐佳諾斯(Irganox)1076FD、易璐佳諾斯(Irganox)1076DWJ、易璐佳諾斯(Irganox)1098、易璐佳諾斯(Irganox)1135、易璐佳諾斯(Irganox)1330、易璐佳諾斯(Irganox)1726、易璐佳諾斯(Irganox)1425WL、易璐佳諾斯(Irganox)1520L、易璐佳諾斯(Irganox)245、易璐佳諾斯(Irganox)245FF、易璐佳諾斯(Irganox)245DWJ、易璐佳諾斯(Irganox)259、易璐佳諾斯(Irganox)3114、易璐佳諾斯(Irganox)565、易璐佳諾斯(Irganox)565DD、易璐佳諾斯(Irganox)295(均為商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-20、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-30、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-50、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-80(均為商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)。其中,更優選易璐佳諾斯(Irganox)1010、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60。
相對於感光性組成物總量,可添加0.1重量份~10重量份的抗氧化劑而使用。
1-10.感光性組成物的保存 本發明的感光性組成物若在-30℃~25℃的範圍內保存,則組成物的經時穩定性變良好而優選。若保存溫度為-20℃~10℃,則並無析出物而更優選。
2.由感光性組成物所獲得的硬化膜 本發明的感光性組成物可通過如下方式而獲得:將聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、具有環氧基的聚合物、環氧化合物、環氧硬化劑及分子量調整劑加以混合,根據目標特性,進一步視需要而選擇添加溶劑、偶合劑、界面活性劑、及其他添加劑,將這些化合物均勻地混合溶解。
若將以所述方式製備的感光性組成物(在並無溶劑的固體狀態的情況下,溶解於溶劑中後)塗佈於基體表面,通過例如加熱等而將溶劑去除,則可形成塗膜。在基體表面上塗佈感光性組成物可使用旋塗法、輥塗法、浸漬法、柔版印刷法、噴霧法、及狹縫塗佈法等現有公知的方法。繼而,利用加熱板或烘箱等對該塗膜進行加熱(預烘烤)。加熱條件因各成分的種類及調配比例而異,通常是70℃~150℃,若為烘箱則為5分鐘~15分鐘,若為加熱板則為1分鐘~5分鐘。
其後,介隔所期望的圖案形狀的罩幕對塗膜照射紫外線。適當的是紫外線照射量以i射線計為5 mJ/cm2
~1000 mJ/cm2
。經紫外線照射的感光性組成物通過具有聚合性雙鍵的化合物的聚合而成為三維交聯體,變得對鹼性顯影液不溶。
繼而,通過噴淋顯影、噴霧顯影、覆液顯影、浸漬顯影等而將塗膜浸漬於鹼性顯影液中,將不需要的部分溶解去除。鹼性顯影液的具體例為碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀等無機鹼類的水溶液,以及氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨等有機鹼類的水溶液。另外,也可在所述鹼性顯影液中添加適量的甲醇、乙醇、及界面活性劑等而使用。
最後,為了使塗膜完全硬化,可通過加熱處理而獲得硬化膜,所述加熱處理為在180℃~250℃、優選200℃~250℃下,若為烘箱則進行30分鐘~90分鐘,若為加熱板則進行5分鐘~30分鐘。
以所述方式獲得的硬化膜在加熱時,進而1)聚酯醯胺酸的聚醯胺酸部分脫水環化而形成醯亞胺鍵,2)聚酯醯胺酸的羧酸與具有環氧基的聚合物反應而進行高分子量化,因此非常強韌,且透明性、耐熱性、耐化學品性、平坦性、密接性、耐光性及耐濺射性優異。因而,本發明的硬化膜若用作彩色濾光片用的保護膜則有效,可使用該彩色濾光片來製造液晶顯示元件或固體攝影元件。另外,除了彩色濾光片用的保護膜以外,本發明的硬化膜若用作形成在TFT與透明電極間的透明絕緣膜或形成在透明電極與配向膜間的透明絕緣膜則有效。進而,本發明的硬化膜即便用作LED發光體的保護膜也有效。 [實施例]
其次,通過合成例、實施例、及比較例對本發明加以具體說明,但本發明並不受這些實施例任何限定。再者,以下說明表1~表2中的各種材料的簡稱。M-402為具有聚合性雙鍵的化合物亞羅尼斯(Aronix)M-402(商品名;東亞合成股份有限公司),NCI-930為光聚合起始劑艾迪科亞庫魯茲(ADEKA Arkls)NCI-930(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司),VG3101L為環氧化合物泰克莫(TECHMORE)VG3101L(商品名;普林泰克(Printec)股份有限公司),EHPE3150為環氧化合物EHPE3150(商品名;大賽璐(Daicel)股份有限公司),TMA為環氧硬化劑偏苯三酸酐,S510為密接性提升劑塞拉艾斯(Sila-Ace)S510(商品名;捷恩智(JNC)股份有限公司),MP 200為偶合劑考特奧斯陸(COATOSIL)MP 200(商品名;邁圖高新材料(Momentive Performance Materials)合同公司),AO-60為抗氧化劑艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司),F-556為界面活性劑美佳法(Megafac)F-556(商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司),MMP為溶劑3-甲氧基丙酸甲酯,PGMEA為溶劑丙二醇單甲醚乙酸酯,而且,EDM為溶劑二乙二醇乙基甲醚。
再者,VG3101L為2-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-雙[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]乙基]苯基]丙烷(分子量=593)90重量%及1,3-雙[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇(分子量=1,129)10重量%的混合物,EHPE3150為分子式C126
H194
O33
所表示的化合物,分子量為2,237(均參照製品的安全數據表)。
首先,如下所示地合成包含四羧酸二酐、二胺、多元羥基化合物等反應產物的聚酯醯胺酸(A)的溶液、及具有環氧基的聚合物(D)的溶液(合成例1及合成例2)。
[合成例1]聚酯醯胺酸(A)溶液的合成 在帶有攪拌機的四口燒瓶中,以下述重量依序裝入進行了脫水純化的PGMEA、BT-100、SMA1000P(商品名;苯乙烯·馬來酸酐共聚物,川原油化股份有限公司)、1,4-丁二醇、苄醇,在乾燥氮氣流下、125℃下進行3小時攪拌。 PGMEA 481.37 g BT-100 34.47 g SMA1000P 164.11 g 1,4-丁二醇 10.45 g 苄醇 50.17 g
其後,將反應液冷卻至25℃,以下述重量投入3,3'-二胺基二苯基碸(以下略記為DDS(diamino diphenyl sulfone))、PGMEA,在20℃~30℃下進行2小時攪拌後,在125℃下進行2小時攪拌。 DDS 10.80 g PGMEA 148.63 g [Z/Y=2.7、(Y+Z)/X=0.9]
將溶液冷卻至室溫,獲得淡黃色透明的聚酯醯胺酸(A)的30重量%溶液。對溶液的一部分進行取樣,通過GPC分析(聚苯乙烯標準)測定重量平均分子量。其結果,所獲得的聚酯醯胺酸(A)的重量平均分子量為10,000。
[合成例2]具有環氧基的聚合物(D)溶液的合成 在帶有攪拌器的四口燒瓶中,以下述重量裝入作為聚合溶劑的進行了脫水純化的MMP、作為具有環氧基的自由基聚合性化合物(a1)的甲基丙烯酸縮水甘油酯,作為其他聚合性化合物(a2)的二乙二醇二甲基丙烯酸酯(NK酯(NK Ester)2G;商品名;新中村化學工業股份有限公司),進而以下述重量裝入作為聚合起始劑的二甲基-2,2'-偶氮雙(2-甲基丙酸酯)(V-601;商品名;和光純藥工業股份有限公司),在乾燥氮氣流下、110℃下進行2小時攪拌。 MMP 31.50 g 甲基丙烯酸縮水甘油酯 12.15 g 二乙二醇二甲基丙烯酸酯 1.35 g V-601 2.03 g
將溶液冷卻至室溫,獲得具有環氧基的聚合物(D)的30.0重量%溶液。對溶液的一部分進行取樣,通過GPC分析(聚苯乙烯標準)測定重量平均分子量。其結果,所獲得的具有環氧基的聚合物(D)的重量平均分子量為4,000。
[實施例1] 對帶有攪拌翼的1000 ml的可分離式燒瓶進行氮氣置換,在該燒瓶中裝入40.00 g的合成例1中獲得的聚酯醯胺酸(A)溶液、60.00 g的作為具有聚合性雙鍵的化合物的M-402、0.06 g的作為分子量調整劑的2-羥基-1,4-萘醌、1.2 g的作為光聚合起始劑的NCI-930、12.00 g的具有環氧基的聚合物(D)溶液、1.2 g的作為環氧化合物的EHPE3150、2.0 g的作為環氧硬化劑的偏苯三酸酐(以下略記為“TMA”)、1.92 g的作為添加劑的3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷的聚合物(商品名:考特奧斯陸(COATOSIL)MP 200,邁圖高新材料(Momentive Performance Materials)合同公司)、0.64 g的NT-200(商品名;東洋合成工業股份有限公司)、及0.06 g的艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、4.1 g的作為溶劑的進行了脫水純化的MMP、及22.0 g的PGMEA,在室溫下進行3小時攪拌,使其均勻地溶解。繼而,投入0.02 g的美佳法(Megafac)F-556(商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司),在室溫下進行1小時攪拌,利用膜濾器(0.2 μm)進行過濾而製備感光性組成物。
[實施例2~實施例4] 依據實施例1的方法,以表1中記載的比例(單位:g)將各成分混合溶解而獲得感光性組成物。
表1
[比較例1~比較例4] 依據實施例1的方法,以表2的比例(單位:g)將各成分混合溶解而獲得感光性組成物。 表2
以550 rpm歷時10秒鐘分別將所述獲得的感光性組成物旋塗於玻璃基板上,在100℃的加熱板上進行80秒鐘預烘烤。其次,在空氣中,使用接近式曝光機TME-150PRC(商品名;拓普康(Topcon)股份有限公司),並進行曝光。曝光量是利用累計光量計UIT-102(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)、光接收器UVD-365PD(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)進行測定而設為30 mJ/cm2
。使用27℃的碳酸鈉·碳酸氫鈉的緩衝液對曝光後的塗膜進行40秒鐘的顯影後,利用純水對塗膜進行清洗20秒鐘後,利用100℃的加熱板進行2分鐘乾燥。進而在230℃下進行30分鐘後烘烤,獲得膜厚3.0 μm的帶有硬化膜的玻璃基板(1)。
除將所述玻璃基板替換為帶有ITO的玻璃基板以外,依據所述的帶有硬化膜的玻璃基板(1)的製作方法,由各個感光性組成物獲得帶有硬化膜的玻璃基板(2)。
利用以下說明的方法,並使用所述的帶有硬化膜的玻璃基板(1)評價顯影後殘膜率、密接性、及耐化學品性、耐熱性、透明性,使用帶有硬化膜的玻璃基板(2)評價密接性及耐化學品性。
[顯影後殘膜率的評價方法] 使用階差·表面粗糙度·微細形狀測定裝置(商品名:P-16,科磊(KLA TENCOR)股份有限公司)測定所述帶有硬化膜的玻璃基板(1)的顯影前的膜厚及顯影後的膜厚,並利用下述計算式算出顯影後殘膜率。將顯影後殘膜率為80%以上的情況評價為○,將顯影後殘膜率未滿80%的情況評價為×。 顯影後殘膜率=(顯影後的膜厚/顯影前的膜厚)×100
[解析性評價用基板的製作] 其次,以550 rpm歷時10秒鐘將感光性組成物旋塗於玻璃基板上,在100℃的加熱板上進行80秒鐘預烘烤。而且,在空氣中,介隔寬為30 μm的具有孔及線圖案的罩幕,使用接近式曝光機TME-150PRC以曝光間隙100 μm進行曝光。曝光量是利用累計光量計UIT-102、光接收器UVD-365PD進行測定而設為30 mJ/cm2
。使用27℃的碳酸鈉·碳酸氫鈉的緩衝液對曝光後的塗膜進行40秒鐘的顯影後,利用純水對塗膜進行清洗20秒鐘後,利用100℃的加熱板進行2分鐘乾燥。進而在烘箱中以230℃進行30分鐘後烘烤,獲得膜厚3.0 μm的帶有硬化膜的玻璃基板(3)。
對以所述方式獲得的硬化膜評價解析性。
[解析性的評價方法] 利用1,000倍的光學顯微鏡對所獲得的帶有圖案狀硬化膜的玻璃基板(3)進行觀察,並評價與罩幕尺寸30 μm寬相對應的孔及線圖案的解析性。將孔及線圖案經解析的情況評價為“○”,將未解析的情況評價為“×”。
[耐熱性的評價方法] 將所述獲得的帶有硬化膜的玻璃基板(1)在230℃下進行1小時再加熱後,測定加熱前的膜厚及加熱後的膜厚,由下述計算式算出加熱後殘膜率,並評價耐熱性。膜厚的測定是使用P-16。將加熱後殘膜率為95%以上的情況評價為○,將加熱後殘膜率未滿95%的情況評價為×。 加熱後殘膜率=(加熱後的膜厚/加熱前的膜厚)×100
[透明性的評價方法] 在所述獲得的帶有硬化膜的玻璃基板(1)中,利用紫外可見近紅外分光光度計(商品名:V-670,日本分光股份有限公司)測定僅僅硬化膜的波長為400 nm下的透射率,並評價透明性。將透射率為95%以上的情況評價為○,將未滿95%的情況評價為×。
[密接性的評價方法] 依據JIS K 5600-5-6(交叉切割試驗)來評價密接性。即,進行如下的膠帶剝離試驗:對所述獲得的帶有硬化膜的玻璃基板(1)及(2)以形成100個1 mm×1 mm的正方形的方格的方式切入切口,在方格上貼附玻璃紙膠帶(3M製造,思高(Scotch)(注冊商標)玻璃紙膠帶No.610)後並加以剝離。將方格中的硬化膜完全未剝離的情況評價為○,將剝離方格中的未滿硬化膜的三分之一的情況評價為△,將剝離三分之一以上的情況評價為×。
[耐化學品性的評價方法] 將所述獲得的帶有硬化膜的玻璃基板(1)及(2)在25℃的ITO蝕刻液(商品名:ITO-301,關東化學製造)中浸漬6分鐘後,利用純水進行清洗並拂去水分。進而進行如下的膠帶剝離試驗:以形成100個1 mm×1 mm的正方形的方格的方式切入切口,在方格上貼附玻璃紙膠帶(3M製造,思高(Scotch)(注冊商標)玻璃紙膠帶No.610)後加以剝離,來評價耐化學品性。將方格中的硬化膜完全未剝離的情況評價為○,將剝離方格中的未滿硬化膜的三分之一的情況評價為△,將剝離三分之一以上的情況評價為×。
以下,將實施例1~實施例4的硬化膜的評價結果記載於表3中,將比較例1~比較例4的硬化膜的評價結果記載於表4中。 表3
表4
由表3所示的結果明確得知,實施例1~實施例4的硬化膜的顯影後殘膜率、解析性、耐熱性、透明性、密接性、及耐化學品性優異。另一方面,比較例1~比較例4的硬化膜的所有的各評價項目並非為“○”。如上所述,在使用通過以四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物為必需的原料成分進行反應而獲得的聚酯醯胺酸,且環氧化合物的分子量為本發明的範圍內的情況下,可滿足所有特性。 [產業上的可利用性]
由本發明的感光性組成物獲得的硬化膜的透明性、耐熱性、平坦性、解析性及耐化學品性等作為光學材料的特性均優異,就所述方面而言,可用作彩色濾光片、LED發光元件及光接收元件等的各種光學材料等的保護膜、以及形成在TFT與透明電極間及透明電極與配向膜間的透明絕緣膜。
無
Claims (16)
- 一種感光性組成物,其包含:聚酯醯胺酸(A)、具有聚合性雙鍵的化合物(B)、光聚合起始劑(C)、具有環氧基的聚合物(D)、環氧化合物(E)、環氧硬化劑(F)、及分子量調整劑(G);所述感光性組成物的特徵在於: 所述聚酯醯胺酸(A)是通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得,且包含下述式(3)所表示的構成單元及下述式(4)所表示的構成單元; 所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)在每一分子中包含兩個以上的聚合性雙鍵; 所述具有環氧基的聚合物(D)的重量平均分子量為3,000~50,000; 所述環氧化合物(E)在每一分子中包含2個~10個環氧基,且重量平均分子量未滿3,000; 相對於所述聚酯醯胺酸(A)100重量份,所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)的總量為20重量份~300重量份,所述具有環氧基的聚合物(D)及所述環氧化合物(E)的總量為20重量份~200重量份; 所述光聚合起始劑(C)的含量多於所述分子量調整劑(G)的含量的5.0倍且未滿30倍; 0.2≤Z/Y≤8.0·······(1) 0.2≤(Y+Z)/X≤5.0···(2)式(3)及式(4)中,R1 為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,R2 為自二胺除去兩個-NH2 而成的殘基,R3 為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的原料成分還包含單羥基化合物。
- 如申請專利範圍第2項所述的感光性組成物,其中所述單羥基化合物是選自異丙醇、烯丙醇、苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷中的一種以上。
- 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的感光性組成物,其中 所述聚酯醯胺酸(A)的重量平均分子量為1,000~200,000; 所述四羧酸二酐是選自3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)中的一種以上; 所述二胺是選自3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸中的一種以上; 所述多元羥基化合物是選自乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基及異三聚氰酸三(2-羥基乙基)酯中的一種以上; 相對於所述具有聚合性雙鍵的化合物的總重量,所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)含有50重量%以上的選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、異三聚氰酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述光聚合起始劑(C)是選自α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑中的一種以上; 所述具有環氧基的聚合物(D)是作為來自具有環氧基的自由基聚合性單體(d1)與所述(d1)以外的自由基聚合性單體(d2)的混合物的反應產物的具有環氧基的共聚物;而且 所述環氧硬化劑(F)是選自偏苯三酸酐、六氫偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上。
- 如申請專利範圍第4項所述的感光性組成物,其中所述具有環氧基的自由基聚合性單體(d1)是選自(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯及(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚中的一種以上; (d1)以外的自由基聚合性單體(d2)包含二官能(甲基)丙烯酸酯的一種以上。
- 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的感光性組成物,其中所述分子量調整劑(G)是選自硫醇類、黃原酸類、醌類、對苯二酚類、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯中的一種以上。
- 如申請專利範圍第5項所述的感光性組成物,其中 所述四羧酸二酐是選自3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐中的一種以上; 所述二胺是3,3'-二胺基二苯基碸; 所述多元羥基化合物是1,4-丁二醇; 所述單羥基化合物是苄醇; 所述具有聚合性雙鍵的化合物(B)是選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述二官能(甲基)丙烯酸酯是選自乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯中的一種以上; 相對於光聚合起始劑(C)的總重量,所述光聚合起始劑(C)含有50重量%以上的選自1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)及1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)中的一種以上; 所述環氧硬化劑(F)是選自偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上;而且 所述感光性組成物還含有選自3-甲氧基丙酸甲酯及丙二醇單甲醚乙酸酯中的一種以上作為溶劑。
- 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的感光性組成物,其中所述分子量調整劑(G)是選自萘醌類及對苯二酚類中的一種以上。
- 一種硬化膜,其是由如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的感光性組成物而獲得。
- 一種彩色濾光片,其具有如申請專利範圍第9項所述的硬化膜作為透明保護膜。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第10項所述的彩色濾光片。
- 一種固體攝影元件,其使用如申請專利範圍第10項所述的彩色濾光片。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第9項所述的硬化膜作為形成在薄膜電晶體與透明電極間的透明絕緣膜。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第9項所述的硬化膜作為形成在薄膜電晶體與配向膜間的透明絕緣膜。
- 一種發光二極體發光體,其使用如申請專利範圍第9項所述的硬化膜作為保護膜。
- 一種層間絕緣膜,其具有如申請專利範圍第9項所述的硬化膜作為透明保護膜。
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