TW201835227A - 感光性組成物、硬化膜、彩色濾光片、顯示元件、固體攝像元件及發光二極體發光體 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及一種感光性組成物,其包含聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑,所涉及的感光性組成物中,所述聚酯醯胺酸是通過使四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物作為必需的原料成分進行反應而獲得,而且,所述具有聚合性雙鍵的化合物包含在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物、及具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物。本發明的感光性組成物可形成不需要極性高的有機溶劑,而透明性、耐熱性、耐溶劑性、密接性、平坦性、及解析性優異的硬化膜。
Description
本發明涉及一種在電子零件中的絕緣材料、半導體裝置中的鈍化膜、緩衝塗膜、層間絕緣膜或平坦化膜,或者顯示元件中的層間絕緣膜或彩色濾光片用保護膜等的形成中所使用的感光性組成物。進而,涉及一種使用所述感光性組成物而形成的透明膜、及具有所述膜的電子零件。
在顯示元件等元件的製造步驟中,有時進行有機溶劑、酸、鹼溶液等各種化學品處理,或者在通過濺射(sputtering)而成膜配線電極時,將表面局部地加熱為高溫。因此,有時為了防止各種元件的表面的劣化、損傷、變質而設置表面保護膜。對於這些保護膜,要求可耐受如上所述的製造步驟中的各種處理的各特性。具體而言,要求耐熱性、耐溶劑性・耐酸性・耐鹼性等耐化學品性、耐水性、對玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐劃傷性、平坦性、耐光性等。另外,在推進顯示元件的高視角化、高速響應化、高精細化、廣色域化等高性能化的現狀下,在用作彩色濾光片保護膜的情況下,期望透明性、耐熱性、耐溶劑性及密接性得到提高的材料。
用以形成這些保護膜的硬化性組成物的種類可大致分為感光性組成物、熱硬化性組成物。在形成膜時通過高溫加熱使熱硬化性組成物完全硬化,因此,即使在其後的步驟中存在有加熱至高溫的情況,產生的揮發成分也少,耐熱性優異。作為具有所述優異特性的熱硬化性的保護膜材料,存在有聚酯醯胺酸組成物(例如,參照專利文獻1)。然而,熱硬化性組成物在製造螢幕分割時無法形成刻線(scribe line)而大量地產生保護膜的細屑,因此在其後需要進行高度的螢幕洗淨步驟。
另一方面,感光性組成物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者單體與光聚合起始劑,且因以紫外線為代表的光的能量而引起化學反應,並進行硬化。感光性組成物例如可容易地形成用於製造螢幕分割時的刻線,因此存在有不產生保護膜的細屑等優點,相反的,與由熱硬化性組成物所形成的保護膜相比,由通常的感光性組成物所形成的保護膜的耐熱性不充分。
近年來,需要耐熱性、耐溶劑性的保護膜的需求逐漸增加,進而需要微細圖案形狀的保護膜的需求也逐漸增加。由此,謀求可形成耐熱性、耐溶劑性優異的保護膜且可形成微細圖案的感光性組成物。
作為可形成具有非常優異的耐熱性的保護膜的感光性組成物,存在有聚醯亞胺前體組成物(例如,參照專利文獻2)、可溶性聚醯亞胺組成物(例如,參照專利文獻3)。然而,在任何感光性組成物中,可使所獲得的聚醯亞胺前體組成物或可溶性聚醯亞胺組成物溶解的有機溶劑均受到限定,均需要極性非常高的有機溶劑。
作為溶解聚醯亞胺前體組成物、可溶性聚醯亞胺組成物等的極性高的有機溶劑,可列舉:吡咯烷酮系、亞碸系、甲醯胺系、乙醯胺系、酚系、四氫呋喃、二噁烷、γ-丁內酯等。
特別是在將這些感光性組成物用作彩色濾光片保護膜的情況下,若含有這些極性高的有機溶劑,則會滲入基底的彩色濾光片層,例如畫素中所含有的顏料或染料等著色材料溶出,因此難以製作高品質的顯示元件。
作為將感光性組成物用於彩色濾光片的保護膜中的例子,存在有專利文獻4,但本發明者等人使用這些專利文獻中所記載的感光性組成物來形成保護膜並對密接性進行了確認,結果密接性並不令人充分滿意,而期望進一步改良。
另外,不論感光性組成物、熱硬化性組成物,都要求這些硬化性組成物在基底基板上的塗布性優異。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-156546 [專利文獻2]日本專利特開昭59-068332 [專利文獻3]日本專利特開2002-003516 [專利文獻4]日本專利特開2011-090275
[發明所欲解決之課題] 本發明的課題在於提供一種不需要極性高的有機溶劑,而透明性、耐熱性、耐溶劑性、密接性、平坦性、及解析性特別優異的硬化膜及提供所述硬化膜的感光性組成物。提供一種由所述感光性組成物形成的硬化膜,進而提供一種具有所述硬化膜的電子零件。 [解決課題之手段]
本發明者等人為了解決所述課題而進行了努力研究,結果發現,利用如下的組成物、及使所述組成物硬化而獲得的硬化膜可達成所述目的,從而完成了本發明:所述組成物包含聚酯醯胺酸、在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物、分子量為1,000以上的具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑,所述聚酯醯胺酸是由包含四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物的化合物的反應而獲得。 本發明包含以下構成。
[1] 一種感光性組成物,其包含聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑,其中 聚酯醯胺酸是通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得,且具有下述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元; 所述具有聚合性雙鍵的化合物包含在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物、及具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物, 相對於具有聚合性雙鍵的化合物的總重量,所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物的重量為1重量%~50重量%; 相對於所述聚酯醯胺酸100重量份,所述具有聚合性雙鍵的化合物的總量為20重量份~300重量份,所述環氧化合物的總量為20重量份~200重量份,所述光聚合起始劑的總量為1重量份~60重量份; 0.2≦Z/Y≦8.0········(1) 0.2≦(Y+Z)/X≦5.0 ···(2)式(3)及式(4)中,R1
為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,R2
為自二胺除去兩個-NH2
而成的殘基,R3
為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基。
[2] 根據[1]所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的原料成分還包含單羥基化合物。
[3] 根據[2]所述的感光性組成物,其中所述單羥基化合物為選自異丙醇、烯丙醇、苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷中的一種以上。
[4] 根據[1]~[3]中任一項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的重量平均分子量為1,000~200,000。
[5] 根據[1]~[4]中任一項所述的感光性組成物,其中所述四羧酸二酐為選自3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)中的一種以上; 所述二胺為選自3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸中的一種以上; 所述多元羥基化合物為選自乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基及異氰脲酸三(2-羥基乙基)酯中的一種以上; 相對於在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物的總重量,所述在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物含有50重量%以上的選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物為大分子單體; 所述光聚合起始劑為選自α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑中的一種以上; 而且,所述環氧硬化劑為選自偏苯三酸酐、六氫偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上。
[6] 根據[2]~[5]中任一項所述的感光性組成物,其中所述四羧酸二酐為選自3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐中的一種以上; 所述二胺為3,3'-二胺基二苯基碸; 所述多元羥基化合物為1,4-丁二醇; 所述單羥基化合物為苄醇; 所述在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物為選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物為甲基丙烯醯基化聚甲基丙烯酸甲酯寡聚物; 相對於光聚合起始劑的總重量,所述光聚合起始劑含有50重量%以上的選自1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)及1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)中的一種以上; 所述環氧硬化劑為選自偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上;而且 還含有選自3-甲氧基丙酸甲酯及丙二醇單甲醚乙酸酯中的一種以上作為溶劑。
[7] 一種硬化膜,其是由根據[1]~[6]中任一項所述的感光性組成物而獲得。
[8] 一種彩色濾光片,其使用根據[7]所述的硬化膜作為保護膜。
[9] 一種顯示元件,其使用根據[8]所述的彩色濾光片。
[10] 一種固體攝像元件,其使用根據[8]所述的彩色濾光片。
[11] 一種顯示元件,其使用根據[7]所述的硬化膜作為形成在薄膜電晶體(Thin Film Transistor,TFT)與透明電極之間的透明絕緣膜。
[12] 一種顯示元件,其使用根據[7]所述的硬化膜作為形成在透明電極與配向膜之間的透明絕緣膜。
[13] 一種發光二極體(Light Emitting Diode,LED)發光體,其使用根據[7]所述的硬化膜作為保護膜。 [發明的效果]
本發明的優選實施方式的感光性組成物是不需要極性高的有機溶劑,且可形成在透明性、耐熱性、密接性、平坦性及解析性方面特別優異的硬化膜的材料,在用作彩色顯示元件的彩色濾光片保護膜的情況下,可使顯示品質及可靠性提高。根據以上所述,實用性非常高,特別是有效用作利用染色法、顏料分散法、電沉積法及印刷法而製造的彩色濾光片的保護膜。另外,還可作為各種光學材料的保護膜及透明絕緣膜而使用。
1.感光性組成物 本發明的感光性組成物是包含聚酯醯胺酸、含有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑的組成物。所述聚酯醯胺酸是通過使四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物作為必需的原料成分進行反應而獲得。本發明的感光性組成物的成分比率為:相對於聚酯醯胺酸100重量份,具有聚合性雙鍵的化合物為20重量份~300重量份,環氧化合物為20重量份~200重量份,光聚合起始劑為1重量份~60重量份。另外,具有聚合性雙鍵的化合物包含在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物、及具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物,進而,具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物的重量的特徵在於:相對於含有聚合性雙鍵的化合物的總重量而包含1重量份~50重量份。再者,本發明的感光性組成物還可在獲得本發明的效果的範圍內進一步含有所述以外的其他成分。
1-1.聚酯醯胺酸 本發明的聚酯醯胺酸是通過使四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物作為必需的原料成分進行反應而獲得。更詳細而言,通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得。 0.2≦Z/Y≦8.0········(1) 0.2≦(Y+Z)/X≦5.0 ···(2)
本發明的聚酯醯胺酸具有下述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元。式(3)及式(4)中,R1
為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,優選為碳數2~30的有機基。R2
為自二胺除去兩個-NH2
而成的殘基,優選為碳數2~30的有機基。R3
為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基,優選為碳數2~20的有機基。
本發明的聚酯醯胺酸的合成至少需要溶劑,可使所述溶劑直接殘留而製成考慮到操作性等的液狀或凝膠狀的感光性組成物,也可將所述溶劑除去而製成考慮到搬運性等的固體狀的組成物。另外,聚酯醯胺酸的合成也可視需要包含選自單羥基化合物及苯乙烯-馬來酸酐共聚物中的一種以上的化合物作為原料,其中,優選為包含單羥基化合物。另外,聚酯醯胺酸的合成也可在不損及本發明的目的的範圍內,視需要包含所述以外的其他化合物作為原料。作為此種其他原料的例子,可列舉含矽單胺。
1-1-1.四羧酸二酐 在本發明中,作為用以獲得聚酯醯胺酸的材料,使用四羧酸二酐。關於優選的四羧酸二酐的具體例,可列舉:3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯甲酮四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基碸四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2',3,3'-二苯基醚四羧酸二酐、2,3,3',4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)(商品名:TMEG-100,新日本理化股份有限公司)、環丁烷四羧酸二酐、甲基環丁烷四羧酸二酐、環戊烷四羧酸二酐、環己烷四羧酸二酐、及乙烷四羧酸二酐。可使用這些四羧酸二酐中的一種以上。
這些四羧酸二酐中,更優選對硬化膜賦予良好透明性的3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及TMEG-100,特別優選3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐。
1-1-2.二胺 在本發明中,作為用以獲得聚酯醯胺酸的材料,使用二胺。關於優選的二胺的具體例,可列舉:4,4'-二胺基二苯基碸、3,3'-二胺基二苯基碸、3,4'-二胺基二苯基碸、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、[4-(4-胺基苯氧基)苯基][3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、[4-(3-胺基苯氧基)苯基][3-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、及2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷。可使用這些二胺中的一種以上。
這些二胺中,更優選對硬化膜賦予良好透明性的3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸,特別優選3,3'-二胺基二苯基碸。
1-1-3.多元羥基化合物 在本發明中,作為用以獲得聚酯醯胺酸的材料,使用多元羥基化合物。關於優選的多元羥基化合物的具體例,可列舉:乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、重量平均分子量為1,000以下的聚乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、四丙二醇、重量平均分子量為1,000以下的聚丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、1,2-戊二醇、1,5-戊二醇、2,4-戊二醇、1,2,5-戊三醇、1,2-己二醇、1,6-己二醇、2,5-己二醇、1,2,6-己三醇、1,2-庚二醇、1,7-庚二醇、1,2,7-庚三醇、1,2-辛二醇、1,8-辛二醇、3,6-辛二醇、1,2,8-辛三醇、1,2-壬二醇、1,9-壬二醇、1,2,9-壬三醇、1,2-癸二醇、1,10-癸二醇、1,2,10-癸三醇、1,2-十二烷二醇、1,12-十二烷二醇、甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、異氰脲酸三(2-羥基乙基)酯、雙酚A(2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷)、雙酚S(雙(4-羥基苯基)碸)、雙酚F(雙(4-羥基苯基)甲烷)、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基、二乙醇胺、及三乙醇胺。可使用這些多元羥基化合物中的一種以上。
這些多元羥基化合物中,更優選在反應溶劑中的溶解性良好的乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基、及異氰脲酸三(2-羥基乙基)酯,特別優選1,4-丁二醇、1,5-戊二醇及1,6-己二醇。
1-1-4.單羥基化合物 在本發明中,作為用以獲得聚酯醯胺酸的材料,可使用單羥基化合物。通過使用單羥基化合物,感光性組成物的保存穩定性提高。關於優選的單羥基化合物的具體例,可列舉:苄醇、丙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、甲基丙烯酸羥基乙酯、松油醇(terpineol)、3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷及二甲基苄基甲醇(dimethyl benzyl carbinol)。可使用這些單羥基化合物中的一種以上。
這些單羥基化合物中,更優選苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷。若考慮到將使用這些單羥基化合物而形成的聚酯醯胺酸與含環氧基的聚合物、環氧化合物及環氧硬化劑混合的情況下的相容性,或感光性組成物在彩色濾光片上的塗布性,則單羥基化合物特別優選使用苄醇。
相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份,優選為含有0重量份~300重量份的單羥基化合物而進行反應。更優選為5重量份~200重量份。
1-1-5.苯乙烯-馬來酸酐共聚物 另外,關於本發明中所使用的聚酯醯胺酸,還可在所述原料中添加具有三個以上酸酐基的化合物而合成。若如此,則硬化膜的透明性提高,因此優選。作為具有三個以上酸酐基的化合物的例子,可列舉苯乙烯-馬來酸酐共聚物。關於構成苯乙烯-馬來酸酐共聚物的各成分的比率,苯乙烯/馬來酸酐的莫耳比為0.5~4,優選為1~3。進一步而言,更優選為1或2,特別優選為1。
作為苯乙烯-馬來酸酐共聚物的具體例,可列舉:SMA3000P、SMA2000P、SMA1000P(均為商品名;川原油化股份有限公司)。這些具體例中,特別優選為使硬化膜的耐熱性及耐鹼性變良好的SMA1000P。
優選為相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份而含有0重量份~500重量份的苯乙烯-馬來酸酐共聚物。更優選為10重量份~300重量份。
1-1-6.含矽單胺 聚酯醯胺酸的合成也可在不損及本發明的目的的範圍內,視需要包含所述以外的其他原料作為原料,作為此種其他原料的例子,可列舉含矽單胺。
關於本發明中所使用的優選的含矽單胺的具體例,可列舉:3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-胺基丙基甲基二乙氧基矽烷、4-胺基丁基三甲氧基矽烷、4-胺基丁基三乙氧基矽烷、4-胺基丁基甲基二乙氧基矽烷、對胺基苯基三甲氧基矽烷、對胺基苯基三乙氧基矽烷、對胺基苯基甲基二甲氧基矽烷、對胺基苯基甲基二乙氧基矽烷、間胺基苯基三甲氧基矽烷、及間胺基苯基甲基二乙氧基矽烷。可使用這些含矽單胺中的一種以上。
這些含矽單胺中,更優選為使硬化膜的耐酸性變良好的3-胺基丙基三乙氧基矽烷及對胺基苯基三甲氧基矽烷,就耐酸性、相容性的觀點而言,特別優選為3-胺基丙基三乙氧基矽烷。
優選為相對於四羧酸二酐、二胺、及多元羥基化合物的合計量100重量份而含有0重量份~300重量份的含矽單胺。更優選為5重量份~200重量份。
1-1-7.聚酯醯胺酸的合成反應中所使用的溶劑 作為用以獲得聚酯醯胺酸的合成反應中所使用的溶劑的具體例,可列舉:二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸乙酯、環己酮。這些具體例中,優選為丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、或二乙二醇甲基乙基醚。
1-1-8.聚酯醯胺酸的合成方法 本發明中所使用的聚酯醯胺酸的合成方法是在所述溶劑中使四羧酸二酐X莫耳、二胺Y莫耳、及多元羥基化合物Z莫耳反應。此時,X、Y及Z優選設定為在這些X、Y及Z之間下述式(1)及式(2)的關係成立的比例。若為所述範圍,則聚酯醯胺酸在溶劑中的溶解性高,因此組成物的塗布性提高,結果可獲得平坦性優異的硬化膜。 0.2≦Z/Y≦8.0········(1) 0.2≦(Y+Z)/X≦5.0 ···(2) 式(1)中,優選為0.7≦Z/Y≦7.0,更優選為1.0≦Z/Y≦5.0。另外,式(2)中,優選為0.5≦(Y+Z)/X≦4.0,更優選為0.6≦(Y+Z)/X≦2.0。
認為本發明中所使用的聚酯醯胺酸在所述反應條件下,相對於Y+Z而過剩使用X的條件下,比在末端具有胺基或羥基的分子更過剩地生成在末端具有酸酐基(-CO-O-CO-)的分子。在以此種單體的構成進行反應的情況下,為了與分子末端的酸酐基反應而對末端進行酯化,可視需要添加所述單羥基化合物。通過添加單羥基化合物進行反應而獲得的聚酯醯胺酸可改善與環氧化合物及環氧硬化劑的相容性,並且可改善包含這些化合物的本發明的感光性組成物的塗布性。
另外,在以所述單體的構成進行反應的情況下,為了與分子末端的酸酐基反應而在末端導入矽烷基,可添加含矽單胺。若使用含有如下聚酯醯胺酸的本發明的感光性組成物,則可改善所獲得的硬化膜的耐酸性:所述聚酯醯胺酸是通過添加含矽單胺進行反應而獲得。進而,在以所述單體的構成進行反應的情況下,還可添加單羥基化合物及含矽單胺兩者並使它們進行反應。
若相對於四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物的合計100重量份而使用100重量份以上的反應溶劑,則反應順利地進行,因此優選。反應以在40℃~200℃下反應0.2小時~20小時為宜。
反應原料在反應系統中的添加順序並無特別限定。即,可使用以下的任意方法:將四羧酸二酐與二胺及多元羥基化合物同時加入至反應溶劑中;使二胺及多元羥基化合物溶解於反應溶劑中之後,添加四羧酸二酐;使四羧酸二酐與多元羥基化合物預先反應後,在其反應產物中添加二胺;或者使四羧酸二酐與二胺預先反應後,在其反應產物中添加多元羥基化合物等。
在使所述含矽單胺反應的情況下,在四羧酸二酐與二胺及多元羥基化合物的反應結束後,將反應液冷卻至40℃以下後,添加含矽單胺,在10℃~40℃下反應0.1小時~6小時為宜。另外,可在反應的任意時間點添加單羥基化合物。
如上所述而合成的聚酯醯胺酸包含所述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元,且其末端為源自作為原料的四羧酸二酐、二胺或多元羥基化合物的酸酐基、胺基或羥基,或者由這些化合物以外的添加物構成其末端。通過包含此種構成,硬化性變良好。
所獲得的聚酯醯胺酸的重量平均分子量優選為1,000~200,000,更優選為3,000~50,000。若處於所述範圍,則平坦性及耐熱性變良好。
本說明書中的重量平均分子量是通過膠體滲透層析(Gel Permeation Chromatography,GPC)法(管柱溫度:35℃,流速:1 ml/min)所求出的聚苯乙烯換算的值。標準的聚苯乙烯可使用分子量為645~132,900的聚苯乙烯(例如安捷倫科技(Agilent Technologies)股份有限公司的聚苯乙烯校準套組(calibration kit)PL2010-0102),管柱可使用PLgel MIXED-D(安捷倫科技股份有限公司),作為流動相可使用四氫呋喃(Tetrahydrofuran,THF)進行測定。再者,本說明書中的市售品的重量平均分子量為目錄登載值。
1-2.具有聚合性雙鍵的化合物 1-2-1.在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量未滿1,000的化合物 本發明中所使用的在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量未滿1,000的化合物只要為滿足於此的化合物,則並無特別限定。若具有聚合性雙鍵的化合物相對於聚酯醯胺酸100重量份而為20重量份~300重量份,則顯影後殘膜率變良好而優選。
作為本發明的感光性組成物中所含有的、在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量未滿1,000的化合物,可列舉:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、甘油(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性甘油三(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化環己基二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、羥基特戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性羥基特戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘油四(甲基)丙烯酸酯、二甘油環氧乙烷改性丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、烷基改性二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、烯丙基化環己基二(甲基)丙烯酸酯、雙[(甲基)丙烯醯氧基新戊二醇]己二酸酯、雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、雙酚S二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚S二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、二環戊基二丙烯酸酯、聚酯二丙烯酸酯、聚酯三丙烯酸酯、聚酯四丙烯酸酯、聚酯五丙烯酸酯、聚酯六丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸三(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性磷酸三(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性鄰苯二甲酸二(甲基)丙烯酸酯、四溴雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、三甘油二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、己內酯改性三[(甲基)丙烯醯氧基乙基]異氰脲酸酯、(甲基)丙烯酸基化異氰脲酸酯、苯基縮水甘油醚丙烯酸酯/六亞甲基二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物、苯基縮水甘油醚丙烯酸酯/甲苯二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯/六亞甲基二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯/甲苯二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物、季戊四醇三丙烯酸酯/異佛爾酮二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物等。
在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量未滿1,000的化合物可單獨使用所述化合物,也可混合使用兩種以上。
就硬化膜的耐熱性、耐溶劑性的觀點而言,在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量未滿1,000的化合物中,優選為使用三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、環氧丙烯酸酯寡聚物或這些的混合物。
作為三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物、異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯、環氧丙烯酸酯寡聚物或這些的混合物,可使用下述之類的市售品。三羥甲基丙烷三丙烯酸酯的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-309(商品名;東亞合成股份有限公司)。季戊四醇三丙烯酸酯及季戊四醇四丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-306(65重量%~70重量%)、M-305(55重量%~63重量%)、及M-450(不足10重量%)(均為商品名;東亞合成股份有限公司,括弧內的含有率為混合物中的季戊四醇三丙烯酸酯的含有率的目錄登載值)。二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-403(50重量%~60重量%)、M-400(40重量%~50重量%)、M-402(30重量%~40重量%)、M-404(30重量%~40重量%)、M-406(25重量%~35重量%)、及M-405(10重量%~20重量%)(均為商品名;東亞合成股份有限公司,括弧內的含有率為混合物中的二季戊四醇五丙烯酸酯的含有率的目錄登載值)。多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-510及亞羅尼斯(Aronix)M-520(均為商品名;東亞合成股份有限公司)。異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-215(商品名;東亞合成股份有限公司)。異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯及異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯的混合物的具體例為亞羅尼斯(Aronix)M-315(3重量%~13重量%)(商品名;東亞合成股份有限公司,括弧內的含有率為混合物中的異氰脲酸環氧乙烷改性二丙烯酸酯的含有率的目錄登載值)。環氧丙烯酸酯寡聚物的具體例為TEA-100(商品名;KSM股份有限公司)。
1-2-2.具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物 就密接性的觀點而言,本發明的感光性組成物優選為含有具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物。關於具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物的含量,相對於具有聚合性雙鍵的化合物的總重量,優選為含有1重量份~50重量份,就解析性的觀點而言,更優選為1重量份~30重量份。
作為本發明的感光性組成物中所含有的、具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物,可列舉:二季戊四醇五丙烯酸酯/六亞甲基二異氰酸酯/胺基甲酸酯預聚物、無黃變型寡聚胺基甲酸酯丙烯酸酯、含羧酸的胺基甲酸酯丙烯酸酯寡聚物、環氧丙烯酸酯寡聚物、大分子單體等。大分子單體為在分子鏈的末端具有可聚合的碳-碳不飽和雙鍵,且數量平均分子量通常為1,000~30,000的反應性的寡聚物或聚合物。
作為可以市售品的形式獲取的大分子單體,可列舉:單末端甲基丙烯醯基化聚甲基丙烯酸甲酯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AA-6,東亞合成化學工業(股)製造)及單末端甲基丙烯醯基化聚丙烯酸正丁酯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AB-6,東亞合成化學工業(股)製造)、單末端甲基丙烯醯基化聚苯乙烯寡聚物(Mn=6,000,商品名:AS-6,東亞合成化學工業(股)製造)。
具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物可單獨使用所述化合物,也可混合使用兩種以上。
1-2-3.在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物 就解析性的觀點而言,本發明的感光性組成物也可進一步含有在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物。若在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物相對於聚酯醯胺酸100重量份而為1重量份~50重量份,則使解析性變良好而優選。
作為此種在每一分子中具有一個聚合性雙鍵且在每一分子中具有至少一個選自-OH及-COOH中的官能基的化合物,例如可列舉:(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸羥基丙酯、(甲基)丙烯酸羥基丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基-3-苯氧基丙酯、琥珀酸-2-(甲基)丙烯醯基氧基乙酯、六氫鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯基氧基乙酯、鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯基氧基乙酯、鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯基氧基乙基-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基苯酯、對羥基(甲基)丙烯酸苯胺、(甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯、1,4-環己烷二甲醇單(甲基)丙烯酸酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸-3-(2-羥基苯基)酯、及(甲基)丙烯酸-β-羧基乙酯。
這些化合物中,鄰苯二甲酸-2-(甲基)丙烯醯基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-4-羥基苯酯及對羥基(甲基)丙烯酸苯胺使解析性變良好而優選。
1-3.光聚合起始劑 本發明的感光性組成物中所含有的光聚合起始劑只要可使含有聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、環氧硬化劑的組成物的聚合開始,則並無特別限定。
作為本發明的感光性組成物中所含有的光聚合起始劑,可列舉:二苯甲酮、米氏酮、4,4'-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、氧雜蒽酮、硫雜蒽酮、異丙基氧雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、2-乙基蒽醌、苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、2-羥基-2-甲基-4'-異丙基苯丙酮、1-羥基環己基苯基酮、異丙基安息香醚、異丁基安息香醚、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、樟腦醌、苯並蒽酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)907,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)369,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、4,4'-二(第三丁基過氧基羰基)二苯甲酮、3,4,4'-三(第三丁基過氧基羰基)二苯甲酮、1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)OXE01,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)(例如,商品名:豔佳固(IRGACURE)OXE02,日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、OXE03(商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、OXE04(商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯基硫]苯基]-2-(O-乙醯基肟)(例如,商品名:艾迪科弧魯茲(Adeka arc Luz)NCI-930,艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、艾迪科弧魯茲(Adeka arc Luz)NCI-831(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、艾迪科奧普托瑪(Adeka Optomer)N-1919(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、2-(4'-甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(3',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2',4'-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2'-甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(4'-戊氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)]-2,6-二(三氯甲基)-均三嗪、1,3-雙(三氯甲基)-5-(2'-氯苯基)-均三嗪、1,3-雙(三氯甲基)-5-(4'-甲氧基苯基)-均三嗪、2-(對二甲基胺基苯乙烯基)苯並噁唑、2-(對二甲基胺基苯乙烯基)苯並噻唑、2-巰基苯並噻唑、3,3'-羰基雙(7-二乙基胺基香豆素)、2-(鄰氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4-二溴苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、2,2'-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,2'-聯咪唑、3-(2-甲基-2-二甲基胺基丙醯基)哢唑、3,6-雙(2-甲基-2-嗎啉代丙醯基)-9-正十二烷基哢唑、1-羥基環己基苯基酮及雙(η5
-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦等。
光聚合起始劑可單獨使用,也可混合使用兩種以上。光聚合起始劑中,就曝光時塗膜的感度及硬化膜的透明性的觀點而言,優選為α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑。再者,在本說明書中,將對利用旋塗、印刷及其他方法而形成於基板上的感光性組成物的薄膜進行預乾燥(預烘烤)而獲得的薄膜稱為「塗膜」。所述塗膜在經過其後的曝光-顯影-清洗-乾燥等步驟後,通過正式煆燒(後烘烤)而形成硬化膜。在本說明書中,將自所述預乾燥至乾燥的步驟中的薄膜均稱為「塗膜」,並通過例如「曝光時的塗膜」、「顯影後的塗膜」等表述來表示是成膜步驟的哪一階段的塗膜。
就塗膜的感度及硬化膜的透明性的觀點而言,在光聚合起始劑中,更優選為1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)或1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯基硫]苯基]-2-(O-乙醯基肟)相對於光聚合起始劑的總重量而為20重量%以上。另外,若為50重量%以上,則進一步優選。光聚合起始劑也可僅包含1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)或1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯基硫]苯基]-2-(O-乙醯基肟)。
1-4.環氧化合物 本發明中所使用的環氧化合物只要為含有環氧基的化合物,則並無特別限定。若環氧化合物相對於聚酯醯胺酸而為20重量份~150重量份,則使平坦性變良好而優選。
作為環氧化合物的優選例,可列舉:3,4-環氧環己烷羧酸-3',4'-環氧環己基甲酯(例如,商品名:賽羅西德(Celloxide)2021P,大賽璐(Daicel)股份有限公司)、1-甲基-4-(2-甲基氧雜環丙基)-7-氧雜雙環[4.1.0]庚烷(例如,商品名:賽羅西德(Celloxide)3000,大賽璐(Daicel)股份有限公司)、2-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-雙[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]乙基]苯基]丙烷與1,3-雙[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-[4-[1-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇的混合物(例如,商品名:泰克莫(TECHMORE)VG3101L,普林泰克(Printec)股份有限公司)、2-[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]-2-[4-[1,1-雙[4-(2,3-環氧丙氧基)苯基]乙基]苯基]丙烷、1,1,1-三(4-羥基苯基)乙烷三縮水甘油醚(例如,商品名:jER 1032H60,三菱化學股份有限公司)、1,3-雙(氧雜環丙基甲基)-5-(2-丙烯基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、2,2-雙(羥基甲基)-1-丁醇的1,2-環氧基-4-(2-氧雜環丙基)環己烷加成物(例如,商品名:EHPE3150,大賽璐(Daicel)股份有限公司)、含環氧基的共聚物等。
所述含環氧基的共聚物可通過使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與其他的自由基聚合性單體反應而獲得。使用含環氧基的共聚物的情況使由感光性組成物所獲得的硬化膜的透明性變高,可抑制在紫外線(UV)臭氧處理步驟或紫外線曝光步驟中的透明性降低,因而優選。就平坦性、耐熱性的觀點而言,優選為(甲基)丙烯酸縮水甘油酯在構成含環氧基的共聚物的所有單體中占50重量%~99重量%。
作為其他的自由基聚合性單體,可例示:單官能(甲基)丙烯酸酯、二官能(甲基)丙烯酸酯及三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯。為了提高由感光性組成物所獲得的硬化膜的耐熱性、耐溶劑性,優選為使用三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯,另一方面,為了提高硬化膜的平坦性、與組成物中的聚酯醯胺酸的相容性,優選為使用單官能(甲基)丙烯酸酯。然而,硬化膜的耐熱性、耐溶劑性和硬化膜的平坦性、與組成物中的聚酯醯胺酸的相容性具有折衷(trade-off)的傾向,因此,為了平衡性良好地發揮這些性能,優選為使用二官能(甲基)丙烯酸酯。
作為二官能(甲基)丙烯酸酯的優選例,可列舉:乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯。這些例子由於使通過與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯反應而獲得的含環氧的共聚物的與聚酯醯胺酸的相容性變良好而優選。就平坦性、耐熱性的觀點而言,優選為在構成含環氧基的共聚物的所有單體中,含有1重量%~30重量%的二官能(甲基)丙烯酸酯。
所述環氧化合物也可包含除(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二官能(甲基)丙烯酸酯以外的自由基聚合性單體作為原料成分。就並不損及本發明的效果地表現出所述其他的自由基聚合性單體的特性的觀點而言,優選為含有0重量%~20重量%的此種其他的自由基聚合性單體。作為其他的自由基聚合性單體,可使用所述單官能(甲基)丙烯酸酯及三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯。
單官能(甲基)丙烯酸酯的具體例為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸間苯氧基苄基酯、及(甲基)丙烯酸四氫糠基酯。
三官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的具體例為三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷丙氧基三丙烯酸酯、乙氧基化異氰脲酸三丙烯酸酯、ε-己內酯改性三(2-丙烯醯氧基乙基)異氰脲酸酯、甘油乙氧基三丙烯酸酯、甘油丙氧基三丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯。
使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二官能(甲基)丙烯酸酯作為必需的原料成分進行反應而獲得的含環氧基的共聚物的重量平均分子量優選為3,000~50,000,更優選為3,000~20,000。若分子量處於所述範圍,則可獲得充分的解析性、平坦性、耐熱性。
另外,還可適宜地使用例如作為商品名考特奧斯陸(COATOSIL)MP 200(邁圖高新材料(Momentive Performance Materials)有限責任公司)已知的3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷的聚合物之類的具有環氧基的矽烷化合物。此種化合物在分子內具有烷氧基矽烷基,因此可如後述的「偶合劑」般期待使所形成的硬化膜與基板的密接性提高的效果。
1-5.環氧硬化劑 本發明的感光性組成物中可使用環氧硬化劑以使平坦性、耐熱性、耐溶劑性提高。作為環氧硬化劑,存在有酸酐系硬化劑、胺系硬化劑、酚系硬化劑、咪唑系硬化劑、催化劑型硬化劑、及鋶鹽、苯並噻唑鎓鹽、銨鹽、鏻鹽等感熱性酸產生劑等,就避免硬化膜的著色及硬化膜的耐熱性的觀點而言,優選酸酐系硬化劑或咪唑系硬化劑。
作為酸酐系硬化劑的具體例,可列舉:脂肪族二羧酸酐,例如馬來酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基六氫鄰苯二甲酸酐、六氫偏苯三酸酐等,芳香族多元羧酸酐,例如鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐等。這些酸酐系硬化劑中,特別優選為可使硬化膜的耐熱性提高且不會有損感光性組成物相對於溶劑的溶解性的偏苯三酸酐及六氫偏苯三酸酐。
作為咪唑系硬化劑的具體例,可列舉:2-十一烷基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、2,3-二氫-1H-吡咯並[1,2-a]苯並咪唑、1-氰基乙基-2-十一烷基咪唑鎓偏苯三酸鹽。這些咪唑系硬化劑中,特別優選為可使硬化膜的硬化性提高且不會有損感光性組成物相對於溶劑的溶解性的2-十一烷基咪唑。
1-6.聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑的比例 在本發明的感光性組成物中,相對於聚酯醯胺酸100重量份,具有聚合性雙鍵的化合物的比例為20重量份~300重量份。若具有聚合性雙鍵的化合物的比例為所述範圍,則耐熱性、平坦性、耐化學品性、顯影後殘膜率的平衡良好。若具有聚合性雙鍵的化合物為50重量份~200重量份的範圍,則進一步優選。
相對於聚酯醯胺酸100重量份,光聚合起始劑的比例為1重量份~60重量份。就曝光時的塗膜的感度的觀點而言,優選為光聚合起始劑的比例為所述範圍。另外,就曝光時的塗膜的感度及硬化膜的透明性的觀點而言,在光聚合起始劑中,若1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)或1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)相對於光聚合起始劑的總重量而為20重量%以上,則更優選。另外,若為50重量%以上,則進一步優選。
在本發明的感光性組成物中,相對於聚酯醯胺酸100重量份,環氧化合物的比例為20重量份~200重量份。若環氧化合物的比例為所述範圍,則耐熱性、平坦性的平衡良好。若環氧化合物為20重量份~150重量份的範圍,則進一步優選。
環氧硬化劑相對於環氧化合物的比例是相對於環氧化合物100重量份,環氧硬化劑為0.1重量份~60重量份。例如,關於環氧硬化劑為酸酐系硬化劑的情況下的添加量,更詳細而言,優選以相對於環氧基而言,環氧硬化劑中的羧酸酐基或羧基成為0.1倍當量~1.5倍當量的方式進行添加。此時,羧酸酐基以二價進行計算。若以羧酸酐基或羧基成為0.15倍當量~0.8倍當量的方式進行添加,則耐溶劑性進一步提高,因此進一步優選。
1-7.其他成分 本發明的感光性組成物中,可添加各種添加劑以提高解析性、塗布均勻性、黏接性。添加劑主要可列舉:溶劑,分子量調整劑,光酸產生劑,陰離子系、陽離子系、非離子系、氟系或矽系的表面活性劑,矽烷偶合劑等偶合劑,受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化劑。
1-7-1.溶劑 本發明的感光性組成物中也可添加溶劑。本發明的感光性組成物中所任意添加的溶劑優選為可溶解聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、環氧化合物、環氧硬化劑等的溶劑。所述溶劑的具體例為乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸丙酯、丙酸丁酯、乳酸乙酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、3-氧基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、1,4-丁二醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、環己酮、環戊酮、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、及二乙二醇甲基乙基醚。溶劑可為這些具體例的一種,也可為這些具體例的兩種以上的混合物。
1-7-2.分子量調整劑 本發明的感光性組成物中可添加分子量調整劑,以抑制因聚合而分子量變高,且表現出優異的解析性。作為分子量調整劑,可列舉:硫醇類、黃原酸類、醌類、氫醌類、酚類、兒茶酚類、甲酚類、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、吩噻嗪等。
作為分子量調整劑的具體例,可列舉:1,4-萘醌、2-羥基-1,4-萘醌、1,2-苯醌、1,4-苯醌、甲基-對苯醌、蒽醌、氫醌、甲基氫醌、第三丁基氫醌、2,5-二-第三丁基氫醌、2,5-二-第三戊基氫醌、1,4-二羥基萘、3,6-二羥基苯並降冰片烷、4-甲氧基苯酚、2,2',6,6'-四-第三丁基-4,4'-二羥基聯苯、3-(3,5-二-第三丁基-4-羥基苯基)丙酸硬脂酸酯、2,2'-亞甲基雙(6-第三丁基-4-乙基苯酚)、2,4,6-三(3',5'-二-第三丁基-4'-羥基苄基)均三甲苯、季戊四醇四[3-(3,5-二-第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、4-第三丁基鄰苯二酚、正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二基硫醇、第三十二基硫醇、硫代乙醇酸、硫化二甲基黃原酸酯、二硫化二異丙基黃原酸酯、2,6-二-第三丁基對甲酚、4,4'-亞丁基雙(6-第三丁基間甲酚)、4,4'-硫代雙(6-第三丁基間甲酚)、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、吩噻嗪。
1-7-3.光酸產生劑 本發明的感光性組成物中可添加光酸產生劑,以表現出優異的解析性。作為光酸產生劑,可列舉1,2-醌二疊氮化合物。
1,2-醌二疊氮化合物的具體例為2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯(例如,商品名:NT-200,東洋合成化學工業)、2,4,6-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,4,6-三羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,4-二羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;三(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、三(對羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺二茚-5,6,7,5',6',7'-己醇-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺二茚-5,6,7,5',6',7'-己醇-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯;2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-4-磺酸酯、及2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷-1,2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯。
1-7-4.表面活性劑 本發明的感光性組成物中可添加表面活性劑以提高塗布均勻性。關於表面活性劑的具體例,可列舉:波利弗洛(Polyflow)No.75、波利弗洛(Polyflow)No.90、波利弗洛(Polyflow)No.95(均為商品名;共榮社化學股份有限公司)、迪斯帕畢克(Disperbyk)161、迪斯帕畢克(Disperbyk)162、迪斯帕畢克(Disperbyk)163、迪斯帕畢克(Disperbyk)164、迪斯帕畢克(Disperbyk)166、迪斯帕畢克(Disperbyk)170、迪斯帕畢克(Disperbyk)180、迪斯帕畢克(Disperbyk)181、迪斯帕畢克(Disperbyk)182、畢克(BYK)300、畢克(BYK)306、畢克(BYK)310、畢克(BYK)320、畢克(BYK)330、畢克(BYK)342、畢克(BYK)346、畢克(BYK)361N、畢克(BYK)-UV3500、畢克(BYK)-UV3570(均為商品名;日本畢克化學(BYK Chemie Japan)股份有限公司)、KP-341、KP-368、KF-96-50CS、KF-50-100CS(均為商品名;信越化學工業股份有限公司)、沙福隆(Surflon)S611(商品名;AGC清美化學(AGC Seimi Chemical)股份有限公司)、福吉特(Ftergent)222F、福吉特(Ftergent)208G、福吉特(Ftergent)251、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)650A、、FTX-218(均為商品名;尼奧斯(Neos)股份有限公司)、美佳法(Megafac)F-410、美佳法(Megafac)F-430、美佳法(Megafac)F-444、美佳法(Megafac)F-472SF、美佳法(Megafac)F-475、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-552、美佳法(Megafac)F-553、美佳法(Megafac)F-554、美佳法(Megafac)F-555、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-558、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)R-94、美佳法(Megafac)RS-75、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)RS-76-NS、美佳法(Megafac)DS-21(均為商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司)、迪高屯(TEGO Twin)4000、迪高屯(TEGO Twin)4100、迪高弗洛(TEGO Flow)370、迪高格萊德(TEGO Glide)440、迪高格萊德(TEGO Glide)450、迪高拉德(TEGO Rad)2200N(均為商品名;日本贏創(Evonik Japan)股份有限公司)、氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基碘化銨、氟烷基甜菜鹼、氟烷基磺酸鹽、二甘油四(氟烷基聚氧乙烯醚)、氟烷基三甲基銨鹽、氟烷基胺基磺酸鹽、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯十三烷基醚、聚氧乙烯鯨蠟基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯月桂酸酯、聚氧乙烯油酸酯、聚氧乙烯硬脂酸酯、聚氧乙烯月桂基胺、山梨醇酐月桂酸酯、山梨醇酐棕櫚酸酯、山梨醇酐硬脂酸酯、山梨醇酐油酸酯、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐月桂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐棕櫚酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐油酸酯、聚氧乙烯萘基醚、烷基苯磺酸鹽、及烷基二苯基醚二磺酸鹽。優選為使用選自這些表面活性劑中的至少一種。
這些表面活性劑中,若為選自畢克(BYK)306、畢克(BYK)342、畢克(BYK)346、KP-341、KP-368、沙福隆(Surflon)S611、福吉特(Ftergent)710FL、福吉特(Ftergent)710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Ftergent)601AD、福吉特(Ftergent)650A、美佳法(Megafac)F-477、美佳法(Megafac)F-556、美佳法(Megafac)F-559、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)DS-21、迪高屯(TEGO Twin)4000、氟烷基苯磺酸鹽、氟烷基羧酸鹽、氟烷基聚氧乙烯醚、氟烷基磺酸鹽、氟烷基三甲基銨鹽、及氟烷基胺基磺酸鹽中的至少一種,則感光性組成物的塗布均勻性變高,因此優選。
本發明的感光性組成物中的表面活性劑的含量相對於感光性組成物全量而優選為0.01重量%~10重量%。
1-7-5.偶合劑 就使所形成的硬化膜與基板的密接性進一步提高的觀點而言,本發明的感光性組成物還可進一步含有偶合劑。
作為此種偶合劑,例如可使用矽烷系、鋁系或鈦酸酯系的偶合劑。具體而言,可列舉:3-縮水甘油氧基丙基二甲基乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:薩拉艾斯(Sila-Ace)S510,捷恩智(JNC)股份有限公司)、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:薩拉艾斯(Sila-Ace)S530,捷恩智(JNC)股份有限公司)、3-巰基丙基三甲氧基矽烷(例如,商品名:薩拉艾斯(Sila-Ace)S810,捷恩智(JNC)股份有限公司)等矽烷系偶合劑,乙醯烷氧基二異丙醇鋁等鋁系偶合劑、及四異丙基雙(二辛基亞磷酸酯)鈦酸酯等鈦酸酯系偶合劑。再者,考特奧斯陸(COATOSIL)MP 200雖然在上文中作為環氧化合物而敘述,但其可歸於具有環氧基的矽烷系偶合劑的分類下,與所述偶合劑同樣地使用。
這些偶合劑中,3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷使密接性提高的效果大,因此優選。
偶合劑的含量相對於感光性組成物全量而為0.01重量%以上、10重量%以下的情況會提高所形成的硬化膜與基板的密接性,因此優選。
1-7-6.抗氧化劑 就提高透明性、防止硬化膜暴露在高溫的情況下的黃變的觀點而言,本發明的感光性組成物還可進一步含有抗氧化劑。
本發明的感光性組成物中可添加受阻酚系、受阻胺系、磷系、硫系化合物等抗氧化劑。其中,就耐候性的觀點而言,優選為受阻酚系。作為具體例,可列舉:易璐佳諾斯(Irganox)1010、易璐佳諾斯(Irganox)1010FF、易璐佳諾斯(Irganox)1035、易璐佳諾斯(Irganox)1035FF、易璐佳諾斯(Irganox)1076、易璐佳諾斯(Irganox)1076FD、易璐佳諾斯(Irganox)1098、易璐佳諾斯(Irganox)1135、易璐佳諾斯(Irganox)1330、易璐佳諾斯(Irganox)1726、易璐佳諾斯(Irganox)1425 WL、易璐佳諾斯(Irganox)1520L、易璐佳諾斯(Irganox)245、易璐佳諾斯(Irganox)245FF、易璐佳諾斯(Irganox)259、易璐佳諾斯(Irganox)3114、易璐佳諾斯(Irganox)565(均為商品名;日本巴斯夫(BASF Japan)股份有限公司)、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-20、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-30、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-50、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-80(均為商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)。其中,更優選為易璐佳諾斯(Irganox)1010、艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60。
相對於感光性組成物全量,添加0.1重量份~10重量份的抗氧化劑而使用。
相對於感光性組成物全量,添加0.1重量份~20重量份的其他添加劑而使用。
1-8.感光性組成物的保存 本發明的感光性組成物若在-30℃~25℃的範圍內保存,則使組成物的經時穩定性變良好而優選。若保存溫度為-20℃~10℃,則也不會具有析出物而更優選。
2.由感光性組成物所獲得的硬化膜 本發明的感光性組成物可通過如下方式而獲得:將聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、環氧化合物、環氧硬化劑及分子量調整劑加以混合,根據目標特性,進一步視需要而選擇性添加溶劑、偶合劑、表面活性劑、及其他添加劑,將這些化合物均勻地混合溶解。
若將如上所述而製備的感光性組成物(並無溶劑的固體狀態的情況下,溶解在溶劑中之後)塗布在基體表面上,通過例如加熱等而將溶劑除去,則可形成塗膜。在基體表面塗布感光性組成物可使用旋塗法、輥塗法、浸漬法、柔版印刷法、噴霧法、及狹縫塗布法等現有公知的方法。接著,利用加熱板(hot plate)或烘箱(oven)等對所述塗膜進行加熱(預烘烤)。加熱條件因各成分的種類及調配比例而異,通常為70℃~150℃,若是烘箱則為5分鐘~15分鐘,若是加熱板則為1分鐘~5分鐘。
其後,隔著所期望的圖案形狀的罩幕對塗膜照射紫外線。紫外線照射量以i射線計適宜為5 mJ/cm2
~1000 mJ/cm2
。經紫外線照射的感光性組成物通過具有聚合性雙鍵的化合物的聚合而成為三維交聯體,在鹼性顯影液中不溶化。
接著,通過噴淋顯影、噴霧顯影、覆液顯影、浸漬顯影等而將塗膜浸漬於鹼性顯影液中,將不需要的部分溶解除去。鹼性顯影液的具體例為碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀等無機鹼類的水溶液,以及氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨等有機鹼類的水溶液。另外,也可在所述鹼性顯影液中添加適當量的甲醇、乙醇、及表面活性劑等而使用。
最後,為了使塗膜完全硬化,可通過加熱處理而獲得硬化膜,所述加熱處理是在180℃~250℃、優選為200℃~250℃下,若為烘箱則進行30分鐘~90分鐘,若為加熱板則進行5分鐘~30分鐘。
如上所述而獲得的硬化膜在加熱時,進而1)聚酯醯胺酸的聚醯胺酸部分脫水環化而形成醯亞胺鍵,及2)聚酯醯胺酸的羧酸與含環氧基的聚合物反應而高分子量化,因此非常強韌,且透明性、耐熱性、耐化學品性、平坦性、密接性、耐光性、及耐濺射性優異。因此,本發明的硬化膜若用作彩色濾光片用的保護膜則有效,可使用所述彩色濾光片來製造液晶顯示元件或固體攝像元件。另外,除了彩色濾光片用的保護膜以外,本發明的硬化膜若用作形成在TFT與透明電極之間的透明絕緣膜或形成在透明電極與配向膜之間的透明絕緣膜則也有效。進而,本發明的硬化膜用作LED發光體的保護膜也有效。 [實施例]
繼而,通過合成例、參考例、實施例、及比較例對本發明加以具體的說明,但本發明並不受這些實施例任何限定。再者,關於表1~表2中的化合物的簡稱,M-520為具有聚合性雙鍵的化合物亞羅尼斯(Aronix)M-520(商品名;東亞合成股份有限公司),AA-6為具有聚合性雙鍵的化合物AA-6(商品名;東亞合成股份有限公司),NCI-930為光聚合起始劑艾迪科弧魯茲(Adeka arc Luz)NCI-930(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司),EHPE3150為環氧化合物EHPE3150(商品名;大賽璐(Daicel)股份有限公司),VG3101L為環氧化合物泰克莫(TECHMORE)VG3101L(商品名;普林泰克(Printec)股份有限公司),TMA為環氧硬化劑偏苯三甲酸酐,S510為偶合劑薩拉艾斯(Sila-Ace)S510(商品名;捷恩智(JNC)股份有限公司),AO-60為抗氧化劑艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司),F-556為表面活性劑美佳法(Megafac)F-556(商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司),MMP為溶劑3-甲氧基丙酸甲酯,EDM為溶劑二乙二醇乙基甲基醚,PGMEA為溶劑丙二醇單甲醚乙酸酯,MBA為溶劑3-甲氧基乙酸丁酯。
首先,如下所示地合成包含四羧酸二酐、二胺、多元羥基化合物等的反應產物的聚酯醯胺酸溶液(合成例1)。
[合成例1]聚酯醯胺酸(A)溶液的合成 在帶有攪拌機的四口燒瓶中,以下述重量依序裝入進行了脫水純化的PGMEA、二乙二醇乙基甲基醚(以下簡稱為「EDM」)、4,4'-二苯基醚四羧酸二酐(以下簡稱為「ODPA」)、SMA1000P、1,4-丁二醇、苄醇,在乾燥氮氣流下、120℃下進行3小時攪拌。 PGMEA 504.00 g EDM 96.32 g ODPA 47.70 g SMA1000P 144.97 g 1,4-丁二醇 9.23 g 苄醇 55.40 g
其後,將反應液冷卻至25℃,以下述重量投入3,3'-二胺基二苯基碸(以下簡稱為DDS)、EDM,在20℃~30℃下進行2小時攪拌後,在120℃下進行2小時攪拌。 DDS 12.72 g EDM 29.68 g [Z/Y=2.0、(Y+Z)/X=1.0]
將溶液冷卻至室溫,獲得淡黃色透明的聚酯醯胺酸(A)的30重量%溶液。對溶液的一部分進行取樣,通過GPC分析(聚苯乙烯標準)測定重量平均分子量。其結果,所獲得的聚酯醯胺酸(A)的重量平均分子量為21,000。
[合成例2]含環氧基的共聚物(B)溶液的合成 在帶有攪拌器的四口燒瓶中,以下述重量裝入作為聚合溶劑的進行了脫水純化的MMP、甲基丙烯酸縮水甘油酯、作為其他聚合性化合物的二乙二醇二甲基丙烯酸酯(NK酯(NK Ester)2G;商品名;新中村化學工業股份有限公司),進而以下述重量裝入作為聚合起始劑的2,2'-偶氮雙(2-甲基丙酸)二甲酯(V-601;商品名;和光純藥工業股份有限公司),在乾燥氮氣流下、110℃下進行2小時攪拌。 MMP 31.50 g 甲基丙烯酸縮水甘油酯 12.15 g 二乙二醇二甲基丙烯酸酯 1.35 g V-601 2.03 g
將溶液冷卻至室溫,獲得含環氧基的共聚物(B)的30 wt%溶液。對溶液的一部分進行取樣,通過GPC分析(聚苯乙烯標準)測定重量平均分子量。其結果,所獲得的含環氧基的共聚物(B)的重量平均分子量為4,000。
[實施例1] 對帶有攪拌翼的1000 ml的可分離式燒瓶進行氮氣置換,在所述燒瓶中裝入40.00 g的合成例1中所獲得的聚酯醯胺酸(A)溶液,作為具有聚合性雙鍵的化合物的M-520 12.00 g、AA-6 1.2 g,0.96 g的作為光聚合起始劑的NCI-930,12.00 g的作為環氧化合物的EHPE3150,3.24 g的作為環氧硬化劑的偏苯三酸酐(以下簡稱為「TMA」),作為添加劑的3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷(商品名:薩拉艾斯(Sila-Ace)S510,捷恩智(JNC)股份有限公司)1.92 g、NT-200(商品名;東洋合成工業股份有限公司)0.12 g、及艾迪科斯塔波(ADK STAB)AO-60(商品名;艾迪科(ADEKA)股份有限公司)0.20 g,作為溶劑的進行了脫水純化的MMP 55.2 g、及MBA 20.8 g,在室溫下進行3 hr攪拌,使其均勻地溶解。接著,投入0.05 g的美佳法(Megafac)F-556(商品名;迪愛生(DIC)股份有限公司),在室溫下進行1小時攪拌,利用膜濾器(0.2 μm)進行過濾而製備感光性組成物。
以900 rpm歷時10秒將所述感光性組成物旋塗於玻璃基板上,在90℃的加熱板上進行2分鐘預烘烤。繼而,在空氣中,使用接近式曝光機TME-150PRC(商品名;拓普康(Topcon)股份有限公司)進行曝光。曝光量是利用累計光量計UIT-102(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)、光接收器UVD-365PD(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)進行測定而設為30 mJ/cm2
。利用25℃的氫氧化鉀水溶液,對曝光後的塗膜進行1分鐘覆液顯影後,利用純水對塗膜進行20秒清洗後,利用100℃的加熱板進行2分鐘乾燥。進而以230℃進行30分鐘後烘烤,獲得膜厚為1.5 μm的帶有硬化膜的玻璃基板。
關於如上所述而獲得的硬化膜,針對顯影後殘膜率、耐熱性、透明性、密接性、解析性、及平坦性而評價特性。
[顯影後殘膜率的評價方法] 使用階差・表面粗糙度・微細形狀測定裝置(商品名:P-16,科磊(KLA TENCOR)股份有限公司),測定所述帶有硬化膜的玻璃基板的顯影前的膜厚及顯影後的膜厚,並利用下述計算式算出顯影後殘膜率。將顯影後殘膜率為80%以上的情況設為○,將顯影後殘膜率不足80%的情況設為×。 顯影後殘膜率=(顯影後的膜厚/顯影前的膜厚)×100
[耐熱性的評價方法] 將所獲得的帶有硬化膜的玻璃基板在230℃下進行1小時再加熱後,測定加熱前的膜厚及加熱後的膜厚,並利用下述計算式算出殘膜率來評價耐熱性。膜厚的測定使用P-16。將加熱後的殘膜率為95%以上的情況設為○,將加熱後的殘膜率不足95%的情況設為×。 加熱後的殘膜率=(加熱後的膜厚/加熱前的膜厚)×100
[透明性的評價方法] 在所獲得的帶有硬化膜的玻璃基板中,利用紫外可見近紅外分光光度計(商品名:V-670,日本分光股份有限公司),測定僅僅硬化膜的波長為400 nm的光下的透射率來評價透明性。將透射率為95%以上的情況設為○,將不足95%的情況設為×。
[密接性的評價方法] 密接性的評價使用帶有硬化膜的氧化銦錫(Indium Tin Oxide,ITO)基板。ITO基板為在玻璃上對ITO進行製膜而成的基板。密接性是利用依照日本工業標準(Japanese Industrial Standards,JIS)K 5600-5-6的交叉切割法進行評價。膠帶使用No.56(商品名;3M股份有限公司)。利用顯微鏡進行觀察,將為分類0~分類1的情況設為○,將為分類2~分類5的情況設為×。
[解析性評價用基板的製作] 繼而,以900 rpm歷時10秒將感光性組成物旋塗於玻璃基板上,在80℃的加熱板上進行2分鐘預烘烤。然後,在空氣中,隔著50 μm寬的具有孔及線圖案的罩幕,使用接近式曝光機TME-150PRC以曝光間隙100 μm進行曝光。曝光量是利用累計光量計UIT-102、光接收器UVD-365PD進行測定而設為30 mJ/cm2
。使用氫氧化鉀水溶液在25℃下對曝光後的塗膜進行1分鐘覆液顯影,將未曝光部除去。利用純水對顯影後的塗膜進行20秒清洗後,利用100℃的加熱板進行2分鐘乾燥。進而在烘箱中以230℃進行30分鐘後烘烤,獲得膜厚為1.5 μm的帶有圖案狀硬化膜的玻璃基板。
關於如上所述而獲得的硬化膜,針對解析性而評價特性。
[解析性的評價方法] 利用1,000倍的光學顯微鏡對所獲得的帶有圖案狀硬化膜的玻璃基板進行觀察,並評價與罩幕尺寸50 μm寬相對應的孔及線圖案的解析性。將孔及線圖案經解析的情況設為「○」,將未解析的情況設為「×」。
[平坦性評價用基板的製作] 繼而,以900 rpm歷時10秒將感光性組成物旋塗於使用最大階差約0.8 μm的樹脂黑色矩陣的顏料分散彩色濾光片(以下簡稱為CF)基板上,在80℃的加熱板上進行2分鐘預烘烤。繼而,使用接近式曝光機TME-150PRC(商品名;拓普康(Topcon)股份有限公司)進行曝光。曝光量是利用累計光量計UIT-102(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)、光接收器UVD-365PD(商品名;牛尾(USHIO)股份有限公司)進行測定而設為30 mJ/cm2
。利用氫氧化鉀水溶液,以25℃對曝光後的塗膜進行1分鐘覆液顯影後,利用純水對塗膜進行20秒清洗後,利用100℃的加熱板進行2分鐘乾燥。進而在烘箱中以230℃進行30分鐘後烘烤,獲得膜厚為1.5 μm的帶有硬化膜的CF。
關於如上所述而獲得的硬化膜,針對平坦性而評價特性。
[平坦性的評價方法] 使用階差・表面粗糙度・微細形狀測定裝置(商品名:P-16,科磊(KLA TENCOR)股份有限公司)測定所獲得的帶有硬化膜的彩色濾光片基板的硬化膜表面的階差。將包含黑色矩陣的R、G、B畫素間的階差的最大值(以下簡稱為最大階差)不足0.16 μm的情況設為○,將0.16 μm以上的情況設為×。
[實施例2~實施例5] 依據實施例1的方法,以表1中記載的比例(單位:g)將各成分混合溶解而獲得感光性組成物。
[表1] 表1
單位:g
[比較例1~比較例2] 依據實施例1的方法,以表2的比例(單位:g)將各成分混合溶解而獲得感光性組成物。
[表2] 表2
單位:g
以下,將實施例1~實施例5的硬化膜的評價結果匯總記載於表3中,將比較例1~比較例2的硬化膜的評價結果匯總記載於表4中。
[表3] 表3
[表4]
根據表3~表4所示的結果可知:實施例1~實施例5的硬化膜的耐熱性、透明性、密接性、平坦性優異,進而在包含顯影後殘膜率及解析性的所有方面取得了平衡。另一方面,比較例1~比較例2的硬化膜的各評價項目均未成為「○」。如上所述,使用通過使四羧酸二酐、二胺及多元羥基化合物作為必需的原料成分進行反應而獲得的聚酯醯胺酸,且具有聚合性雙鍵的化合物為本發明的範圍內的情況下,可滿足所有特性。 [產業上的可利用性]
由本發明的感光性組成物所獲得的硬化膜的密接性、耐熱性、透明性、平坦性及解析性等作為光學材料的特性均優異,就此方面而言,可用作彩色濾光片、LED發光元件及光接收元件等的各種光學材料等的保護膜、以及形成在TFT與透明電極之間及透明電極與配向膜之間的透明絕緣膜。
無
無
Claims (13)
- 一種感光性組成物,其是包含聚酯醯胺酸、具有聚合性雙鍵的化合物、光聚合起始劑、環氧化合物、及環氧硬化劑的組成物,所述感光性組成物的特徵在於: 所述聚酯醯胺酸是通過使X莫耳的四羧酸二酐、Y莫耳的二胺及Z莫耳的多元羥基化合物以下述式(1)及式(2)的關係成立的比率進行反應而獲得,且具有下述式(3)所表示的構成單元及式(4)所表示的構成單元; 所述具有聚合性雙鍵的化合物包含在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物、及具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物, 相對於具有聚合性雙鍵的化合物的總重量,所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物的重量為1重量%~50重量%; 相對於所述聚酯醯胺酸100重量份,所述具有聚合性雙鍵的化合物的總量為20重量份~300重量份,所述環氧化合物的總量為20重量份~200重量份,所述光聚合起始劑的總量為1重量份~60重量份, 0.2≦Z/Y≦8.0········(1) 0.2≦(Y+Z)/X≦5.0 ···(2)式(3)及式(4)中,R1 為自四羧酸二酐除去兩個-CO-O-CO-而成的殘基,R2 為自二胺除去兩個-NH2 而成的殘基,R3 為自多元羥基化合物除去兩個-OH而成的殘基。
- 如申請專利範圍第1項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的原料成分還包含單羥基化合物。
- 如申請專利範圍第2項所述的感光性組成物,其中所述單羥基化合物為選自異丙醇、烯丙醇、苄醇、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙二醇單乙醚、及3-乙基-3-羥基甲基氧雜環丁烷中的一種以上。
- 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的感光性組成物,其中所述聚酯醯胺酸的重量平均分子量為1,000~200,000。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的感光性組成物,其中所述四羧酸二酐為選自3,3',4,4'-二苯基碸四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐、2,2-[雙(3,4-二羧基苯基)]六氟丙烷二酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、及乙二醇雙(脫水偏苯三酸酯)中的一種以上; 所述二胺為選自3,3'-二胺基二苯基碸及雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸中的一種以上; 所述多元羥基化合物為選自乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,5-戊二醇、1,6-己二醇、1,7-庚二醇、1,8-辛二醇、2,2-雙(4-羥基環己基)丙烷、4,4'-二羥基二環己基及異氰脲酸三(2-羥基乙基)酯中的一種以上; 相對於在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物的總重量,所述在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物含有50重量%以上的選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、異氰脲酸環氧乙烷改性三丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物為大分子單體; 所述光聚合起始劑為選自α-胺基苯烷基酮系、醯基氧化膦系、肟酯系光聚合起始劑中的一種以上; 而且,所述環氧硬化劑為選自偏苯三酸酐、六氫偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上。
- 如申請專利範圍第2項至第5項中任一項所述的感光性組成物,其中所述四羧酸二酐為選自3,3',4,4'-二苯基醚四羧酸二酐及1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐中的一種以上; 所述二胺為3,3'-二胺基二苯基碸; 所述多元羥基化合物為1,4-丁二醇; 所述單羥基化合物為苄醇; 所述在每一分子中含有兩個以上的聚合性雙鍵且分子量不足1,000的化合物為選自二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及多元酸改性(甲基)丙烯酸寡聚物中的一種以上; 所述具有聚合性雙鍵且分子量為1,000以上的化合物為甲基丙烯醯基化聚甲基丙烯酸甲酯寡聚物; 相對於光聚合起始劑的總重量,所述光聚合起始劑含有50重量%以上的選自1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)苯基]-,2-(O-苯甲醯基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)及1,2-丙二酮,1-[4-[4-(2-羥基乙氧基)苯硫基]苯基]-2-(O-乙醯基肟)中的一種以上; 所述環氧硬化劑為選自偏苯三酸酐及2-十一烷基咪唑中的一種以上;而且 還含有選自3-甲氧基丙酸甲酯及丙二醇單甲醚乙酸酯中的一種以上作為溶劑。
- 一種硬化膜,其是由如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的感光性組成物而獲得。
- 一種彩色濾光片,其使用如申請專利範圍第7項所述的硬化膜作為保護膜。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第8項所述的彩色濾光片。
- 一種固體攝像元件,其使用如申請專利範圍第8項所述的彩色濾光片。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第7項所述的硬化膜作為形成在薄膜電晶體與透明電極之間的透明絕緣膜。
- 一種顯示元件,其使用如申請專利範圍第7項所述的硬化膜作為形成在透明電極與配向膜之間的透明絕緣膜。
- 一種發光二極體發光體,其使用如申請專利範圍第7項所述的硬化膜作為保護膜。
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