TW201345817A - 浮起搬送單元 - Google Patents

Abstract

本發明可抑制全體構成的複雜化。本發明之浮起搬送單元具備有：殼體，係組裝複數個，且以頂部壁構成連續的浮起搬送路面，並於內部具有空洞部者；複數的氣體噴出孔，係形成於頂部壁，且與空洞部連通者；連接機構，係設置於殼體之側部，將諸殼體連接，使相鄰的空洞部內之氣體可流通者；第1空氣供給箱及第2空氣供給箱，係設置在位於浮起搬送路面兩端部的殼體，將管所供給之氣體供給至空洞部者。

Description

浮起搬送單元 發明領域

本發明係有關於一種浮起搬送單元。

發明背景

迄今，已知一種技術：如日本特開2008-7319號公報所記載，將個別地連接於空氣供給箱的複數浮起搬送單元朝工作件的搬送方向排列配置，全體構成為浮起搬送單元。

發明概要

然而，若為上述構成，則浮起搬送單元(殼體)的數量有幾個，就須設置幾個空氣供給箱(即氣體供給機構)，因此全體構成會複雜化。

本發明考慮到上述情形，目的在於提供一種可抑制全體構成複雜化的浮起搬送單元。

本發明第1態樣之浮起搬送單元，具備有：殼體，係組裝有複數個，並以頂部壁構成連續的浮起搬送路 面，且於內部具有空洞部者；複數的氣體噴出孔，係形成於前述頂部壁，且與前述空洞部連通者；連接機構，係設置於前述殼體之側部，將前述諸殼體連接，且使相鄰的前述空洞部內之氣體可流通者；及氣體供給機構，係至少設置於1個前述殼體，將氣體供給裝置所供給的氣體供給至前述空洞部者。

根據此構成，若從氣體供給裝置將氣體供給到 至少1個的氣體供給機構，則透過連接機構氣體會被供給至各殼體之空洞部，因此，氣體會從作為連續的浮起搬送路面之各頂部壁的氣體噴出孔噴出，而可將工作件浮起搬送。藉此，無須依殼體之數量來設置氣體供給機構，而可抑制全體構成的複雜化。

本發明第2態樣之浮起搬送單元中，係在第1態 樣中，前述連接機構具有：下側接頭，係從前述殼體之其中一側部下方延伸出，並且具有往前述殼體之寬度方向延伸且朝上方開放的下卡合溝者；及上側接頭，係從前述殼體之另一側部上方延伸出，並且具有往前述殼體之寬度方向延伸且朝下方開放的上卡合溝者，又，前述上側接頭卡合於前述下卡合溝，而前述下側接頭卡合於前述上卡合溝。

另外，上述「殼體之寬度方向」係指與工作件之搬送方向(浮起搬送路面之連續方向)交叉的方向。

根據此構成，藉由在從殼體其中一側部下方延伸出之下側接頭中朝上方開放的下卡合溝，跟在從相鄰的 殼體之另一側部上方延伸出之上側接頭中朝下方開放的上卡合溝的卡合，可連接殼體間。因此，在連接殼體間之時，可正確地規定限制工作件之搬送方向及殼體之高度方向的位置。

本發明第3態樣之浮起搬送單元係在第2態樣 中，前述連接機構具有：凸片，係從前述殼體其中一側部上方往與前述下卡合溝交叉之方向伸出者；及凹部，係凹設於前述殼體之另一側部上方而供前述凸片卡合者。

根據此構成，往與下卡合溝交叉之方向、即工 作件之搬送方向伸出的凸片，與凹部卡合，藉此來連接殼體間。因此，在連接殼體間之時，可正確地規定限制殼體之寬度方向的位置。

在本發明第4態樣之浮起搬送單元中，係在第1 態樣~第3態樣中任1個態樣中，複數之前述殼體包含形狀或大小與其他殼體不同的殼體。

根據此構成，可因應工廠的佈置而自由地調整浮起搬送路面的軌道或大小。

在本發明第5態樣之浮起搬送單元中，係在第1態樣~第4態樣中任1個態樣中，複數之前述殼體包含有俯視呈梯形狀，且在連接前述梯形狀之上底及下底的側邊與其他殼體組裝的殼體。

根據此構成，藉由改變俯視呈梯形狀之殼體的個數，可更自由地調整浮起搬送路面的軌道。

本發明第6態樣之浮起搬送單元係在第1態樣~ 第5態樣中任1個態樣中，具備有：載置前述殼體的台座；及延伸片，係從與設有前述連接機構之側部不同的前述殼體之側部延伸出，且固定於前述台座者。

根據此構成，由於殼體係透過延伸片固定於台 座，故可抑制殼體間連接時殼體的偏移，而可易於連接殼體間。

在本發明第7態樣之浮起搬送單元中，係在第2 態樣~第6態樣中任1個態樣中，前述氣體供給機構係與前述下側接頭或前述上側接頭卡合的中空部材，且在前述中空部材，具備有：將氣體供給至中空部的氣體供給口、及使前述殼體之前述空洞部與前述中空部連通的連通口。

根據此構成，由於中空部材與下側接頭或上側 接頭卡合，故可將中空部材配置於連續的浮起搬送路面之兩端部。藉此，可使氣體從浮起搬送路面之兩端部遍至中央部之殼體之空洞部，而可抑制在浮起搬送路面之任何端部或中央部來自於氣體噴出孔的氣體噴出量減低。

本發明第8態樣之浮起搬送單元係在第1~7態樣 中任1個態樣中，前述連接機構係分別與形成於相鄰的前述殼體側部的連接口相嵌、且使相鄰的前述空洞部連通的連接管。

根據此構成，由於僅使連接管與相鄰的殼體側部的連接口分別相嵌即可，故可易於製造殼體。

由於本發明為上述構成，故可提供一種可抑制 全體構成複雜化的浮起搬送單元。

10‧‧‧浮起搬送單元

12‧‧‧浮起搬送裝置

14‧‧‧軌道

16‧‧‧橫材

18‧‧‧組裝框架

20‧‧‧柱

22‧‧‧基礎框架

24‧‧‧腳輪

26‧‧‧制動器

28‧‧‧支持板

30‧‧‧壓縮機

32‧‧‧台座

34‧‧‧管

36‧‧‧浮起搬送路面

38‧‧‧搬送裝置

39‧‧‧吸盤

40A、40B、40C‧‧‧殼體

42‧‧‧頂部壁

44‧‧‧空洞部

46‧‧‧蓋

48‧‧‧螺孔

50‧‧‧螺孔

52‧‧‧螺釘

54‧‧‧氣體噴出孔

56A‧‧‧側部

56B‧‧‧側部

58‧‧‧嵌合孔

60‧‧‧嵌合管

61‧‧‧O形環

62‧‧‧連接機構

64‧‧‧下卡合溝

66‧‧‧下側接頭

68‧‧‧上卡合溝

70‧‧‧上側接頭

72‧‧‧凸片

74‧‧‧凹部

76‧‧‧螺孔

78‧‧‧螺孔

80‧‧‧螺釘

82‧‧‧延伸片

84‧‧‧螺孔

86‧‧‧螺釘

88‧‧‧第1空氣供給箱

88A‧‧‧中空部

90‧‧‧螺孔

94‧‧‧氣體供給口

96‧‧‧嵌合管

98‧‧‧凹部

100‧‧‧第2空氣供給箱

100A‧‧‧中空部

102‧‧‧螺孔

104‧‧‧氣體供給口

106‧‧‧嵌合孔

108‧‧‧凸片

110‧‧‧浮起搬送單元

112‧‧‧殼體

112A‧‧‧底壁板

112B‧‧‧氣體供給口

114‧‧‧頂部壁

116‧‧‧空洞部

118‧‧‧氣體噴出孔

119‧‧‧孔板

120‧‧‧側板

122‧‧‧連接口

124‧‧‧連接管

126‧‧‧凸部

128‧‧‧密封構件

130‧‧‧殼體

132‧‧‧連通口

134‧‧‧凹陷部

136‧‧‧連接板

138‧‧‧螺孔

140‧‧‧螺孔

142‧‧‧螺釘

150‧‧‧殼體

151‧‧‧連通口

152‧‧‧突起部

154‧‧‧凹陷部

156‧‧‧凹陷部

158‧‧‧連接板

160‧‧‧螺孔

162‧‧‧螺孔

170‧‧‧殼體

172‧‧‧圓筒部

174‧‧‧開口部

178‧‧‧殼體

182‧‧‧連接口

D‧‧‧搬送方向

P‧‧‧玻璃基板

圖1顯示組裝有第1實施形態之浮起搬送單元的浮起搬送裝置的立體圖。

圖2顯示組裝有第1實施形態之浮起搬送單元的浮起搬送裝置的側面圖。

圖3顯示組裝有第1實施形態之浮起搬送單元的浮起搬送裝置的平面圖。

圖4第1實施形態之浮起搬送單元的全體立體圖。

圖5第1實施形態之浮起搬送單元的一部份側截面圖。

圖6(A)、(B)顯示構成第1實施形態之浮起搬送單元的殼體間之連接構造之一例的立體圖。

圖7(A)、(B)顯示構成第1實施形態之浮起搬送單元的殼體間之連接構造之其他例的立體圖。

圖8第2實施形態之浮起搬送單元的一部份側截面圖。

圖9(A)、(B)顯示第1實施形態之浮起搬送單元之變形例的圖。

圖10(A)、(B)顯示第1實施形態之浮起搬送單元之其他變形例的圖。

用以實施發明之形態

以下，一面參照附圖，一面具體說明本發明實施形態之浮起搬送單元。另外，圖中，對於具有同一或對應之機能的構件(構成要素)附加相同符號並省略適當說 明。

<第1實施形態>

圖1~圖3顯示了組裝有本實施形態之浮起搬送單元10的浮起搬送裝置12。

此浮起搬送裝置12具備有組裝框架18，該組裝框架18係由中間部呈曲線狀的2個軌道14、及連繫軌道14之端部間的2個橫材16構成為長框狀。此組裝框架18係以柱20支持於框狀的基礎框架22之上方。在基礎框架22的下部，安裝有腳輪24與制動器26，使浮起搬送裝置12可在作業區域內移動設置。

又，在2個軌道14間架設有支持板28。在支持板28中之橫材16方向的兩端部下方，分別配置有壓縮機30。另一方面，在支持板28之上，沿著軌道14固定有複數的台座32。並且，在各台座32之上，沿著軌道14載置有3列第1實施形態之浮起搬送單元10。關於該等浮起搬送單元10於後會詳述，該等浮起搬送單元10係從壓縮機30透過管34供給正壓的氣體，並將該氣體從各浮起搬送單元10之浮起搬送路面36朝上方噴出而使玻璃基板P浮起者。另外，由壓縮機30供給的氣體，並不限於空氣，亦可為氮或氬、氦等惰性氣體、二氧化碳等氣體。

此外，在2個軌道14中之一的軌道14，搭載有線性式的搬送裝置38。於該搬送裝置38，具備有複數個真空式的吸盤39，且係將浮起於浮起搬送路面36的玻璃基板P之下面夾住，而朝箭號方向D搬送的構成(以下，將箭號方 向D稱為搬送方向D)。被浮起搬送的玻璃基板P，在各浮起搬送單元10的上方維持浮起狀態，而藉由未圖示的曝光機構進行曝光，形成預定的電路圖案。

接著，說明第1實施形態之浮起搬送單元10的具體構成。

如圖4所示，各浮起搬送單元10具備有形狀或大小彼此不同的複數種殼體40A、40B、40C。殼體40A呈俯視正方形狀，殼體40B呈俯視長方形狀，殼體40C呈俯視梯形狀。另外，在本實施形態中，梯形狀之中亦呈上底與下底為圓弧狀而使殼體40C之俯視呈扇形形狀。

各種殼體40A~40C係組裝同種或異種的諸殼體而以各種殼體40A~40C的頂部壁42構成連續的浮起搬送路面36。此時，殼體40C係在連繫梯形狀(扇形形狀)之上底及下底的側邊，與其他殼體40A~40C中之任一者組裝，而可將浮起搬送路面36之軌道改變為右彎或左彎。另外，關於諸殼體的組裝雖未特別限定，但在如圖3之最上部所示的浮起搬送路面36中，係從搬送方向D(浮起搬送路面36之連續方向)的一側開始，依殼體40A、40B、40B、40C、40C、40B、40C、40C、40C、40C、40B的順序來組裝諸殼體。

如圖5所示，各種殼體40A~40C於內部具有空洞部44。構成該空洞部44的各種殼體40A~40C之底壁係呈開放，以平板狀的蓋46來閉塞住。具體而言，在構成空洞部44的各種殼體40A~40C之底壁周圍形成有螺孔48， 在與該螺孔48對向的蓋46上也形成有螺孔50，將螺釘52從下方鑽入該等螺孔48、50，藉此，蓋46可將構成空洞部44的各種殼體40A~40C之底壁開放之處閉塞住。

在與該蓋46對向的各種殼體40A~40C之頂部壁 42，形成有與空洞部44連通的複數氣體噴出孔54。各氣體噴出孔54呈圓柱形狀，均等地配置於頂部壁42全體。

在各種殼體40A~40C中搬送方向D其中一側部 56A，形成有2個與空洞部44連通的嵌合孔58(1個在圖5中並未圖示)。又，在各種殼體40A~40C中搬送方向D另外一側部56B(更具體而言係後述之上側接頭70之側部)，形成有2個與相鄰之別的殼體40A~40C之嵌合孔58相嵌、且與空洞部44連通的嵌合管60(1個在圖5中並未圖示)。另外，在嵌合孔58之孔壁上，設置有直徑稍微比嵌合管60之外徑小的O形環61，以使氣體不會從嵌合管60與嵌合孔58間的嵌合處漏出。

此外，在各種殼體40A~40C中搬送方向D之兩 側部56A、56B，形成有連接機構62，該連接機構62係連接諸殼體，而嵌合管60與嵌合孔58相嵌，藉此，來使相鄰的空洞部44內的氣體可流通。

具體而言，連接機構62係如圖6(A)及圖6(B)以 及圖7(A)及圖7(B)所示，具備有下側接頭66，該下側接頭66係從各種殼體40A~40C中之一的側部56A下方延伸出，並且具有朝各種殼體40A~40C之寬度方向(與搬送方向D直交的方向)延伸且朝上方開放的下卡合溝64者。又，連 接機構62具備有上側接頭70，該上側接頭70係從各種殼體40A~40C中之另一側部56B上方延伸出，並且具有朝各種殼體40A~40C之寬度方向延伸且朝下方開放的上卡合溝68者。

並且，例如使嵌合管60之前端從斜上方與嵌合孔58抵接，一面朝嵌合方向壓入、一面也往下方壓入，上側接頭70與下卡合溝64卡合，下側接頭66與上卡合溝68卡合，藉此，將各種殼體40A~40C連接。

又，連接機構62具備有：凸片72，係從各種殼 體40A~40C中之一側部56A的上方中央部朝與下卡合溝64交叉的方向(搬送方向D)伸出者；及凹部74，係凹設於各種殼體40A~40C中另一側部56B的上方中央部且供凸片72卡合者。

此外，在上側接頭70中之凹部74兩側，形成有 將上側接頭70上下貫通的螺孔76，在與該螺孔76對向的下側接頭66也形成有螺孔78，從上方將螺釘80鑽入該等螺孔76、78，藉此固定諸殼體。

又，在與設有連接機構62之側部56A、56B不同 的各種殼體40A~40C寬度方向上的側部上，設有從該側部延伸出的延伸片82。在延伸片82上，形成上下貫通的螺孔84，與該螺孔84相對向，在載置各種殼體40A~40C的台座32上也形成有未圖示的螺孔，藉由將螺釘86從上方鑽入該等螺孔，延伸片82可固定於台座32。

如圖6A、圖6B所示，在浮起搬送路面36中位於 搬送方向D一端部的殼體40A，設有第1空氣供給箱88，該第1空氣供給箱88係將從壓縮機30透過管34所供給的正壓之氣體供給至殼體40A之空洞部44者。

該第1空氣供給箱88係呈與殼體40A中之下側接 頭66之下卡合溝64相嵌而連接的形狀，並於內部形成有中空部88A。在第1空氣供給箱88中與殼體40A之下側接頭66之螺孔78相對向的地方，形成有將第1空氣供給箱88上下貫通的螺孔90。並且，藉由從上方將螺釘92鑽入螺孔78、90，可連接固定第1空氣供給箱88與殼體40A。

又，在第1空氣供給箱88中之寬度方向的側部， 形成有與管34連接、且將氣體供給至中空部88A的氣體供給口94。此外，在第1空氣供給箱88中之殼體40A側的側部，形成有2個嵌合管96，該等嵌合管96係與殼體40A之嵌合孔58相嵌、且與該殼體40A之空洞部44連通者。在該等嵌合管96之間、且為第1空氣供給箱88的上方中央部，凹設有凹部98，該凹部98係當嵌合管96與嵌合孔58相嵌之際，會與殼體40A的凸片72卡合者。

與以上之第1空氣供給箱88同樣，在浮起搬送路 面36中位於搬送方向D另一端部的殼體40B，如圖4及圖7所示，設有第2空氣供給箱100，該第2空氣供給箱100係將從壓縮機30透過管34所供給的正壓之氣體供給至殼體40B的空洞部44者。

該第2空氣供給箱100呈與殼體40B中之上側接頭 70之上卡合溝68相嵌而連接的形狀(具體而言具有下卡合 溝64與下側接頭66)，並於內部形成有中空部100A。在該第2空氣供給箱100中與殼體40B之上側接頭70之螺孔76相對向的地方，形成有螺孔102。並且，藉由從上方將螺釘80鑽入該等螺孔76、102，可連接固定第2空氣供給箱100與殼體40B。

又，在第2空氣供給箱100中之寬度方向的側部，形成有氣體供給口104，該氣體供給口104係與管34連接、且將氣體供給至第2空氣供給箱100之中空部100A者。此外，在第2空氣供給箱100中之殼體40B側的側部，形成有2個嵌合孔106，該等嵌合孔106係與殼體40B之嵌合管60相嵌，而與該殼體40B之空洞部44相連通者。在該等嵌合孔106之間、且從第2空氣供給箱100的上方中央部，伸出有凸片108，該凸片108係朝與下卡合溝64交叉的方向(搬送方向D)伸出，當嵌合管60與嵌合孔106相嵌之際，會卡合於殼體40B之凹部74者。

接著，說明本發明之第1實施形態之浮起搬送單元10的作用。

從2個壓縮機30，將正壓的氣體(例如0．1~400kPa)供給至第1空氣供給箱88及第2空氣供給箱100的中空部88A、100A。

供給至第1空氣供給箱88之中空部88A的氣體，會透過嵌合管96往殼體40A之空洞部44傳過去，並依序透過連接機構62(上的嵌合管60)往各種殼體40B~40C之空洞部44傳過去。同樣地，供給至第2空氣供給箱100之中空部 100A的氣體，會透過第2空氣供給箱100之嵌合孔106朝殼體40B之空洞部44傳過去，並依序透過連接機構62(上的嵌合管60)朝各種殼體40A~40C之空洞部44傳過去。藉此，氣體會遍行至各種殼體40A~40C之空洞部44，而從各種殼體40A~40C之氣體噴出孔54朝上方噴出。也就是說，由於氣體從浮起搬送路面36的大致全面噴出，故可不使玻璃基板P產生翹曲而浮起，可以與浮起搬送路面36(頂部壁42)非接觸地來進行搬送。該已浮起的玻璃基板P由吸盤39夾住並由搬送裝置38朝搬送方向D搬送。

以上，根據本發明第1實施形態之浮起搬送單元 10，由於若由壓縮機30將氣體供給至2個第1空氣供給箱88及第2空氣供給箱100，氣體即可透過連接機構62被供給至各種殼體40A~40C之空洞部44，故氣體可從作為連續浮起搬送路面36的各頂部壁42之氣體噴出孔54噴出，而可將玻璃基板P浮起搬送。藉此，無須設置各種殼體40A~40C之數量那麼多個的壓縮機30或空氣供給箱88、100，因此可抑制全體構成的複雜化。

又，在各種殼體40A~40C間連接之際，由於上 側接頭70卡合於下卡合溝64，下側接頭66卡合於上卡合溝68，故可在各種殼體40A~40C正確地規定限制搬送方向D的位置。

此外，在各種殼體40A~40C間連接之際，由於凸片72與凹部74卡合，故亦可正確地規定限制與搬送方向D交叉的各種殼體40A~40C寬度方向的位置。

又，由於係以形狀或大小不同的複數種殼體40A ~40C之頂部壁42，來構成玻璃基板P的浮起搬送路面36，故可因應工廠的佈置來自由調整浮起搬送路面36的軌道或大小。

此外，由於複數種殼體40A~40C包含有俯視呈梯形狀、在連接該梯形狀之上底及下底的側邊與其他殼體40A~40C組裝的殼體40C，故藉由改變殼體40C的個數，可更自由地調整浮起搬送路面36的軌道。具體而言，當連接上底及下底的側邊間之角度為例如22．5度時，如圖3所示，當連續連接2個殼體40C時，則可將浮起搬送路面36的軌道改變45度，當連續連接4個殼體40C時，則可將浮起搬送路面36的軌道改變90度。

又，由於構成各種殼體40A~40C之空洞部44的 底壁呈開放、並以蓋來閉塞，因此只要形成呈開放的空洞部44即可，故易於製造各種殼體40A~40C。

此外，由於各種殼體40A~40C係透過延伸片82 而固定於台座32，故在殼體間連接之際，可抑制各種殼體40A~40C偏移，藉此可易於連接諸殼體。

又，由於第1空氣供給箱88卡合於下側接頭66、 並且第2空氣供給箱100卡合於上側接頭70，故可將第1空氣供給箱88及第2空氣供給箱100配置於連續的起搬送路面36之兩端部。藉此，可使氣體從浮起搬送路面36之兩端部遍行至位於中央部的殼體40B、40C之空洞部44，可抑制在浮起搬送路面36的任一端部或中央部來自於氣體噴出孔 54的氣體噴出量減少。

<第2實施形態>

接著，說明本發明第2實施形態之浮起搬送單元110。

本發明第2實施形態之浮起搬送單元110如圖8所示，比對第1實施形態，殼體112之構成及殼體112間的連接方法不同。

具體而言，浮起搬送單元110具備形狀及大小相同的複數殼體112，並且該浮起搬送單元110係組裝殼體112，並以各殼體112之頂部壁114來構成連續的浮起搬送路面36。各殼體112係於內部具有空洞部116的矩形平板狀殼體，頂部壁114係以具有氣體噴出孔118的孔板119所構成。

又，各殼體112分別與貫通相鄰的殼體112之側板120板厚方向而形成的連接口122相嵌，並以連通相鄰之空洞部116的連接管124來連接。在該連接管124的外周中間部，形成有凸部126，當以連接管124連接殼體112們時，各殼體112與凸部126抵接而規定限制搬送方向D的位置。又，在連接管124與連接口122之間，設有密封構件128，以使氣體不會從間隙跑出去。

另外，在位於浮起搬送路面36兩端部的殼體112之一側板120，不形成連接口122、或者以蓋等來閉塞，以使氣體不會跑出外部。或者，亦可以封栓塞住連接口122。又，在位於浮起搬送路面36兩端部的殼體112之底壁板112A，形成有連接有管34、且將氣體供給至空洞部116的 氣體供給口112B。另外，在孔板119與側板120之間、或底壁板112A與側板120之間，可以接著劑或螺釘等來固定。又或者，亦可將孔板119與底壁板112A一體地抽製加工而形成。

又，與第1實施形態同樣地，在與設有連接口122之側板120不同的殼體112之寬度方向上的側部，設置有從該側部延伸出的未圖示之延伸片。在延伸片上，形成有上下貫通的螺孔，在與該螺孔相對向、載置殼體的台座32(參照圖1)上也形成有螺孔，藉由從上方將螺釘鑽入該等螺孔，可將延伸片固定於台座。

以上，由於根據本發明第2實施形態之浮起搬送單元110，與第1實施形態同樣地，藉由連接管124與連接口122相嵌來連接殼體112們，故可規定限制殼體112中之寬度方向或高度方向的位置。此外，藉由連接管124的凸部126，可規定限制殼體112中之搬送方向D的位置。另外又由於僅使連接管124分別與相鄰殼體112之側部120之連接口122相嵌即可，故易於製造殼體112。

<變形例>

另外，關於特定之實施形態詳細說明了本發明，但本發明非限定於上述實施形態者，對於熟悉此項技藝者而言，當然可在本發明之範圍內實施其他各種實施形態，例如可將上述複數之實施形態適當地組合實施。又，亦可將以下之變形例適當地組合。

例如，在第1實施形態中，係說明了各浮起搬送 單元10具備形狀或大小互異的複數種殼體40A、40B、40C的情況，但亦可如第2實施形態般，具備形狀或大小彼此相同的複數殼體。

又，在第2實施形態中，係說明了複數殼體112 為形狀及大小相同的情形，但亦可與第1實施形態同樣地包含形狀或大小與其他殼體不同的殼體。又，複數之殼體112亦可與第1實施形態同樣地包含如下之殼體：俯視呈梯形狀，在連接梯形狀之上底及下底的側邊，與其他殼體組裝。

又，殼體的構成，除了已在第1實施形態及第2 實施形態說明的構成之外，亦可構成為如圖9(A)所示之殼體130。具體而言，殼體130於內部具有空洞部44，從與該空洞部44連通且形成於頂部壁的未圖示之氣體噴出孔將氣體噴出。在該殼體130上，設有連通口132，當與其他殼體130連接時，可使相鄰的空洞部44內的氣體流通。又，在殼體130兩端部的頂部壁及底壁，設有凹陷部134。並且，在相鄰殼體130之凹陷部134，有一片連接板136，將螺釘142鑽入形成在連接板136的一對螺孔138、以及形成於與該等螺孔138相對向之凹陷部134的一對螺孔140，藉此，可連接相鄰的殼體130們。

此外，在至少1個殼體130，例如位於在浮起搬送路面36中搬送方向D之一端部(參照圖1)的殼體130，設有未圖示的空氣供給箱，可將從壓縮機30透過管34所供給的正壓之氣體供給至殼體130之空洞部44。

又，殼體的構成，亦可如圖9(B)所示之殼體150的構成。具體而言，殼體150於內部具有空洞部44，從與該空洞部44連通、且形成於頂部壁的未圖示之氣體噴出孔將氣體噴出。在該殼體150上，設有連通口151，當與其他殼體150連接時，可使相鄰的空洞部44內之氣體流通。又，殼體150具有：突起部152，係從該殼體150一側部之頂部壁部分，朝搬送方向D側突起者；及凹陷部154，係形成於另一側部之頂部壁部分，可供相鄰的其他殼體150之突起部152相嵌者。又，在殼體150兩端部的底壁，設有凹陷部156。並且，在相鄰的殼體150之凹陷部156，有一片連接板158，將螺釘164鑽入形成在連接板158的一對螺孔160、以及形成在與該等螺孔160相對向之凹陷部156上的一對螺孔162，藉此，可連接相鄰的殼體150們。

此外，在至少1個殼體150，例如位於在浮起搬送路面36中之搬送方向D之一端部(參照圖1)的殼體150，設有未圖示之空氣供給箱，可將從壓縮機30透過管34所供給的正壓之氣體，供給至殼體150之空洞部44。

又，殼體的構成，亦可如圖10(A)及圖10(B)所示之殼體170的構成。具體而言，殼體170於內部具有空洞部44，從與該空洞部44連通、且形成於頂部壁的未圖示之氣體噴出孔將氣體噴出。又，殼體170具有：設置於該殼體170一側部的圓筒部172；及開口部174，係設置於該殼體170之另一側部，並且，與空洞部44連通，相鄰的其他殼體170之圓筒部172可相嵌者。而且，藉由該等圓筒部 172與開口部174的嵌合，空洞部44彼此連通而使氣體可流通，並且，可連接相鄰的殼體170們。又，該圓筒部172亦與位於浮起搬送路面36端部的殼體178之開口部174相嵌，透過連接有管34的殼體178之連接口182而供給至空洞部44的氣體，可傳至各殼體170之空洞部44。

又，在第1實施形態中，已說明了將第1空氣供 給箱88及第2空氣供給箱100，配置於連續的浮起搬送路面36之兩端部(設於位在兩端部的殼體40A、40B)的情形，但亦可將第1空氣供給箱88或第2空氣供給箱100設在至少1個殼體。例如，可僅將第1空氣供給箱88配置在連續的浮起搬送路面36之一端部，亦可僅將第1空氣供給箱88配置在浮起搬送路面36之中間部。

又，已說明了連接機構62形成在各種殼體40A~ 40C中之搬送方向D的兩側部56A、56B的情形，但亦可也設在各種殼體40A~40C中之寬度方向的兩側部。具體而言，也可在各種殼體40A~40C中之寬度方向之一側部，設置上述之下側接頭66與凸片72，且在各種殼體40A~40C中之寬度方向之另一側部，設置上述之上側接頭70與凹部74。

又，為了使連接機構62之連接較為容易，亦可以橡膠等彈性體來構成嵌合管60。

又，在第1實施形態中，浮起搬送單元10係組裝於包含了曝光機構的浮起搬送裝置12者，但亦可組裝於不包含曝光機構的浮起搬送裝置12。

又，在第1實施形態中，已舉玻璃基板P作為藉 由浮起搬送單元10所搬送之被搬送體為例來進行了說明，但本發明並不限定於此，例如，亦可為搬送樹脂板或金屬板等、玻璃基板P以外之被搬送體(工作件)者。

10‧‧‧浮起搬送單元

34‧‧‧管

36‧‧‧浮起搬送路面

40A、40B、40C‧‧‧殼體

42‧‧‧頂部壁

54‧‧‧氣體噴出孔

62‧‧‧連接機構

88‧‧‧第1空氣供給箱

100‧‧‧第2空氣供給箱

D‧‧‧搬送方向

Claims (16)

1. 一種浮起搬送單元，具備有：殼體，係組裝複數個，並以頂部壁構成連續的浮起搬送路面，且於內部具有空洞部；複數的氣體噴出孔，係形成於前述頂部壁，且與前述空洞部連通；連接機構，係設置於前述殼體之側部，將前述諸殼體連接，且使相鄰的前述空洞部內之氣體可流通；及氣體供給機構，係至少設置於1個前述殼體，將氣體供給裝置所供給的氣體供給至前述空洞部。
2. 如申請專利範圍第1項之浮起搬送單元，其中前述連接機構具有：下側接頭，係從前述殼體之其中一側部下方延伸出，並且具有往前述殼體之寬度方向延伸且朝上方開放的下卡合溝；及上側接頭，係從前述殼體之另一側部上方延伸出，並且具有往前述殼體之寬度方向延伸且朝下方開放的上卡合溝，又，前述上側接頭卡合於前述下卡合溝，而前述下側接頭卡合於前述上卡合溝。
3. 如申請專利範圍第2項之浮起搬送單元，其中前述連接機構具有：凸片，係從前述殼體其中一側部上方往與前述下卡 合溝交叉之方向伸出；及凹部，係凹設於前述殼體之另一側部上方而供前述凸片卡合者。
4. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之浮起搬送單元，其中前述殼體包含形狀或大小彼此不同的複數殼體。
5. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之浮起搬送單元，其中複數之前述殼體包含有俯視呈梯形狀，且在連接前述梯形狀之上底及下底的側邊與其他殼體組裝的殼體。
6. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之浮起搬送單元，具備有：載置前述殼體的台座；及延伸片，係從與設有前述連接機構之側部不同的前述殼體之側部延伸出，且固定於前述台座。
7. 如申請專利範圍第1~3項中任1項之浮起搬送單元，其中前述連接機構具有連接管，該連接管係分別與形成於相鄰的前述殼體側部的連接口相嵌，且使相鄰的前述空洞部連通。
8. 如申請專利範圍第2或3項之浮起搬送單元，其中前述氣體供給機構係與前述下側接頭或前述上側接頭連接的中空部材，且在前述中空部材，具備有：將氣體供給至中空部的氣體供給口、及使前述殼體之前述空洞部與前述中空部連通的連通口。
9. 如申請專利範圍第5項之浮起搬送單元，其中前述氣體供給機構係與前述下側接頭或前述上側接頭連接的中空部材，且在前述中空部材，具備有：將氣體供給至中 空部的氣體供給口、及使前述殼體之前述空洞部與前述中空部連通的連通口。
10. 如申請專利範圍第7項之浮起搬送單元，其中前述氣體供給機構係與前述下側接頭或前述上側接頭連接的中空部材，且在前述中空部材，具備有：將氣體供給至中空部的氣體供給口、及使前述殼體之前述空洞部與前述中空部連通的連通口。
11. 如申請專利範圍第5項之浮起搬送單元，其中前述連接機構具有連接管，該連接管係分別與形成於相鄰的前述殼體側部的連接口相嵌，且使相鄰的前述空洞部連通。
12. 如申請專利範圍第8項之浮起搬送單元，其中前述連接機構具有連接管，該連接管係分別與形成於相鄰的前述殼體側部的連接口相嵌，且使相鄰的前述空洞部連通。
13. 如申請專利範圍第7項之浮起搬送單元，其中前述殼體包含形狀或大小彼此不同的複數殼體。
14. 如申請專利範圍第8項之浮起搬送單元，其中前述殼體包含形狀或大小彼此不同的複數殼體。
15. 如申請專利範圍第7項之浮起搬送單元，具備有：載置前述殼體的台座；及延伸片，係從與設有前述連接機構之側部不同的前述殼體之側部延伸出，且固定於前述台座。
16. 如申請專利範圍第8項之浮起搬送單元，具備有：載置前述殼體的台座；及延伸片，係從與設有前述連接機構之側部不同的前 述殼體之側部延伸出，且固定於前述台座。