JP2009149389A - 浮上ユニット及びそれを有する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板等のワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上ユニット及びそれを有する装置を提供する。
【解決手段】浮上ユニットはチャンバー３６を備えている。チャンバー３６の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定され搬送路面Ｆを形成している多孔質板を備えている。そして、浮上ユニットは、気密空間に気体を供給し、通気孔と多孔質板の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。また、多孔質板の搬送路面Ｆには、搬送路サイド側で開口して搬送路の中央ラインまでワーク搬送方向Ｕに徐々に延びる空気案内溝７５が形成されている。従って、ワーク下側の空気から及ぼされる搬送方向への移動力によって、空気案内溝７５内の空気は溝内を移動して搬送路Ｆの中央ライン近傍で流出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、カラーフィルタ等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上ユニット及びそれを有する装置に関する。

ＬＣＤやＰＤＰといったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板は、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。

従来のＦＰＤ製造工程では、ガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。

しかし、特許文献１のような浮上ユニットは、図２０に示すように、浮上ブロック２００の天井壁２０２に形成したエア吹上げ孔２０４からエアを吹上げて、ガラス基板２０６を浮上させる方式を採用しているため、エア吹上げ孔２０４の間でガラス基板２０６に反りが発生する。
特開２００４−３３１２６５号公報

本発明は係る事実を考慮し、ガラス基板等のワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上ユニット及びそれを有する装置を提供することを課題とする。

請求項１に記載の発明は、気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する流体通過孔が形成されているチャンバーと、下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している多孔質体と、前記気密空間に流体を供給し、前記流体通過孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から流体を噴出させる流体供給手段と、を有し、前記多孔質体の前記搬送路には、搬送路サイド側で開口して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向に延びる溝部を少なくとも有する流体案内溝が形成されていることを特徴とする。

請求項１に記載の発明では、流体供給手段でチャンバーの気密空間に流体を供給すると、天井壁に形成された流体通過孔から流体が噴出する。天井壁には多孔質体が固定されているので多孔質体の空隙から流体が噴出する。

つまり、多孔質体の上側、すなわち搬送路側では、全面から流体が噴出して、全面がエアベアリング面となるため、ワークに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。

また、ワークが搬送方向に移動することによって、ワーク下側の空気（以下、ワーク下空気という）が空気の粘性によってワークとともに搬送方向に移動する。従って、多孔質体の搬送路に形成された上記の流体案内溝内の空気には、搬送方向に移動する力がワーク下空気から及ぼされる。

ここで、この流体案内溝は、搬送路サイド側で開口して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向に延びる溝部を少なくとも有する。従って、ワーク下空気から及ぼされる搬送方向への移動力によって、溝部内の空気は搬送路中央側に向けて溝部内を移動する。これに伴い、搬送路サイド側の開口から溝部内に空気が流入する。すなわち、溝部内では搬送路サイド側の開口から空気が流入し、この溝部の搬送路中央側端部で搬送路上に空気が流出する。従って、ワークを浮上させる力を更に発生させることができる。

請求項２に記載の発明は、前記搬送路の中央ラインに対して対称となるように前記流体案内溝が形成されていることを特徴とする。
請求項２に記載の発明では、搬送路の中央ラインの両側で、流体案内溝内の空気流動を同じとすることができ、中央ライン両側での浮力を同じとすることができる。従って、ワークの搬送状態をより安定させることができる。

請求項３に記載の発明は、前記流体案内溝が前記搬送路の中央ラインからサイド側へ直線状に延びた形状にされていることを特徴とする。
請求項３に記載の発明では、流体案内溝内を空気が直線状に流れるので、流体案内溝内での空気の流動抵抗が小さい。

請求項４に記載の発明は、前記流体案内溝には、ワーク搬送方向に突となった溝突部が形成されていることを特徴とする。
請求項４に記載の発明では、ワークの搬送に伴って、上記の溝突部から多量の空気が搬送路上に流出する。従って、ワークを更に浮上させ易い。

請求項５に記載の発明は、前記流体案内溝には、ワーク搬送方向とは逆方向に突となった逆方向溝突部が形成されていることを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、ワークの搬送に伴って、搬送路上の空気が上記の逆方向溝突部に流入する。従って、ワークを搬送路側に引き付けることができ、ワークの搬送状態を更に安定させることができる。

請求項６に記載の発明は、前記多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていることを特徴とする。

保護膜を形成する手法としては特に限定しない。例えば塗装、電解メッキ、無電解メッキ、物理気相成長法（ＰＶＤ。真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法など）、化学気相成長法（ＣＶＤ）、イオンプランテーション法等の公知の方法を行うことによって保護膜を形成する。

請求項６に記載の発明では、多孔質体の上側に形成された保護膜によって多孔質体の剥離防止、強度向上が図られている。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の浮上ユニットを有することを特徴とする。
装置としては、例えば、露光装置、検査装置、欠陥修復装置、コータ装置である。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の浮上ユニットによって搬送路の一部が形成され、搬送路の残りは、前記流体案内溝が形成されていない浮上ユニットによって形成されていることを特徴とする。
請求項８に記載の発明では、上記の流体案内溝が形成された浮上ユニットと流体案内溝が形成されていない浮上ユニットとを混在させて配置することができる。

本発明は上記構成としたので、ガラス基板等のワークに反りを与えずに浮上させて搬送できる。

［第１実施形態］
図１〜図３には、第１実施形態に係る浮上ユニットが組み込まれた露光装置１２が示されている。

（基本的な構成）
この露光装置１２は、レール１４と横材１６で長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。

また、レール１４の間には複数本の梁材２８が架け渡されている。チャンバー３６の一方の端部側の梁材２８の上には、第１コンプレッサー３２からチューブ３４を介して負圧と正圧の空気が供給されるエア供給ボックス２９が配置されている。このエア供給ボックス２９の上には、レール１４に沿って第１実施形態に係る浮上ユニット１０が３列セットされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。

なお、エア供給ボックス２９は、第１コンプレッサー３２から供給された加圧空気によって負圧と正圧とを発生させるエジェクタであってもよい。

また、エア供給ボックス２９が配置されていない梁材２８の上には、チャンバー３６の高さ調整をする高さ調整部材３０が配置されている。

浮上ユニット１０のチャンバー３６の底板には、エア供給ボックス２９と接続され、負圧と正圧の空気が供給される３つの供給口（図示省略）が形成されている。

さらに、図１で示すレール１４の右方には、レール１４の間へ支持プレート３８が架け渡されている。この支持プレート３８には、後述の第２実施形態に係る浮上ユニット４０がセットされている。支持プレート３８の下面側からは、第２コンプレッサー４４からチューブ４６を介して負圧と正圧の空気が供給される。そして、浮上ユニット４０のチャンバー８０の底板に形成された３つの供給口（図示省略）へ負圧と正圧の空気が供給される。

さらに、手前側のレール１４には、リニア式の搬送装置５０が搭載されている。この搬送装置５０には、バキューム式の吸盤５２を複数備えており、浮上したガラス基板Ｐの下面をチャックしてワーク搬送方向Ｕに搬送する構成である。なお、搬送装置５０は、ワーク搬送方向Ｕとは逆方向に移動することも可能とされている。

浮上ユニット１０の上方で浮上されたガラス基板Ｐは、搬送装置５０により浮上ユニット４０方向へ浮上搬送される。浮上搬送されたガラス基板Ｐは、浮上ユニット４０の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない露光手段により露光され、所定の回路パターンが形成される。

また、チャンバー３６には、長手方向に沿って、冷却媒体（例えば水）が流れる流路（図示せず）が形成されている。この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材３０よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口が形成されて給水管５５（図１参照）が接続されている。また、この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送下流端側に配置されているエア供給ボックス２９よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管５７（図１参照）が接続されている。これにより、流路のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。

（具体的な構成）
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の具体的な構成を説明する。

図４〜図９に示すように、浮上ユニット１０のチャンバー３６は、断面が長方形状の長い筒体であり、内側に設けられた２枚の隔壁５４で内部空間が、中央の長方形状断面の吸引室５６、長方形状断面の噴出室５８，６０に区画されている。そして、チャンバー３６の端面に側板６２を接合することで、チャンバー３６の吸引室５６、噴出室５８，６０は気密空間となる。

図６に示すように、チャンバー３６の端面には、ねじ穴１５０が形成された台座部１５２が設けられている。また、側板６２には、取付穴１５４が形成されている。このねじ穴１５０と取付穴１５４は、チャンバー３６の端面に側板６２を重ねたときに、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向した状態で、取付穴１５４とねじ穴１５０にねじ１５６が挿通されることにより、チャンバー３６と側板６２が螺号される。

なお、チャンバー３６と側板６２との接合には、ねじ１５６による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。

しかし、チャンバー３６と側板６２とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー３６と側板６２との接合を前記のようにねじ１５６によって行うことが好ましい。

吸引室５６には、前述した供給口から負圧の空気が供給され、噴出室５８，６０には、正圧の空気が供給される。

また、チャンバー３６の側面には、軽量化を図るため長溝６４が長手方向に沿って形成されている。

一方、チャンバー３６の天井壁３７には、４つの区画に分けられた格子溝部（格子状の溝部）６８が形成されている。なお、区画に分けて格子溝部６８をそれぞれ形成したのは、天井壁３７に接合される多孔質板７６へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、格子溝部６８が形成される区画の数が限定されるものではなく、１つの区画によってチャンバー３６を構成してもよい。

格子溝部６８の溝底には、本発明の流体通過孔である通気孔７４が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔７４は、噴出室６０と連通している。また、格子溝部６８の溝底には吸気孔７０が形成され、吸引室５６に連通している。そして、格子溝部６８の溝底には、本発明の流体通過孔である通気孔７２が形成されている。この通気孔７２は、噴出室５８に連通している。

このように溝部が形成されたチャンバー３６の天井壁３７には、板状に加工された多孔質板７６が接合される。この多孔質板７６は、例えば多孔質グラファイト、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などで構成させることが出来る。

多孔質グラファイトで構成させると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、ガラス基板Ｐと接触してしまった場合に、ガラス基板Ｐの損傷を少なくすることができる。

また、多孔質板の軽量化を図ることができる。また、多孔質板７６の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。

多孔質板７６の通気率が０．２〜６．０ｃｍ^２／ｓの範囲内であると、浮上ユニット１０で搬送されるワーク（ガラス基板Ｐ）を効果的に浮上させることができる。また、多孔質板７６の気孔率が５〜２５ｖｏｌ％であると、ワークを更に効果的に浮上させることができる。

図３、図４に示すように（図５、図６、図８、図９も参照）、多孔質板７６の搬送路Ｆ（搬送路面Ｆ）には、搬送路サイド側で開口７５Ｅを形成して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向Ｕに徐々に延びる空気案内溝７５が形成されている。この空気案内溝７５は、搬送路面Ｆの中央ラインＦＭに対して対称形状であって、開口７５Ｅから中央ラインＦＭまでが直線状とされている。従って、平面視でワーク搬送方向Ｕに突となった溝突部７５Ｔが中央ラインＦＭ上及びその近傍に形成されている。
なお、図１、図３では各多孔質板７６に空気案内溝７５が４つ形成されている例を図示し、図４、図５では各多孔質板７６に空気案内溝７５が５つ形成されている例を図示しているが、本実施形態では、特に空気案内溝７５の本数を限定するものではない。

チャンバー３６と多孔質板７６とが接合された状態で、チャンバー３６に形成された吸気孔７０と、多孔質板７６に形成された吸引孔７８とが互いに対向して連通する。

接合方法としては、定盤の上へ多孔質板７６のエアベアリング面となる面を下にして置き、チャンバー３６の天井壁３７に接着剤を塗布し多孔質板７６に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、格子溝部６８に食み出さないように塗布することが望ましい。

ここで、格子溝部６８を多孔質板７６の裏面に形成せずに、チャンバー３６の天井壁３７に形成したのは、多孔質板７６の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。

特に、ガラス基板Ｐの浮上量のばらつきを少なくして安定して浮上させるためには、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さく（より平坦に）する必要があるが、多孔質板７６の裏面に溝部を形成すると、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さくすることが困難になる。

これに対して、本発明では、多孔質板の裏面に溝部が形成されていないことから、多孔質板のベアリング面の平坦度を小さくすることが可能となるため、ガラス基板Ｐの浮上量にばらつきを少なくして安定して浮上させることができる。

ここで、多孔質板７６の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。

多孔質板７６には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。格子溝部６８から噴出された空気は、格子溝部６８と多孔質板７６の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板７６の空隙を通過し、多孔質板７６のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。

次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の作用を説明する。

第１コンプレッサー３２から、正圧の空気（例えば５０〜４００ｋＰａ）を噴出室５８，６０へ供給し、負圧の空気（例えば０〜-５０ｋＰａ）を吸引室５６へ供給（吸引室５６から空気を吸引）する。

噴出室５８，６０へ供給された空気は、通気孔７２，７４から噴出し、多孔質板７６の下面と格子溝部６８とで形成された空気通路を伝って、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。

つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、多孔質板７６と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤５２がチャックして矢印方向に搬送装置５０が搬送する。

また、吸引室５６に供給された負圧の空気は吸気孔７０を介して多孔質板７６に形成された吸引孔７８にガラス基板Ｐを吸引する力を発生させる。この吸気孔７０によって発生した吸引力は、多孔質板７６から噴出した空気によって浮上したガラス基板Ｐの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、ガラス基板Ｐの浮上量を制御することが可能となる。

また、ガラス基板Ｐがワーク搬送方向Ｕに移動することによって、ガラス基板下側の空気（以下、ワーク下空気Ｌ（図８参照）という）の一部が空気の粘性によってガラス基板Ｐとともに搬送方向に移動する。従って、空気案内溝７５内の空気には、ワーク搬送方向Ｕに移動する力がワーク下空気Ｌから及ぼされる。

ここで、この空気案内溝７５は、上述したように、搬送路サイド側で開口して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向Ｕに徐々に延びている。従って、ワーク下空気Ｌから及ぼされるワーク搬送方向Ｕへの移動力によって、空気案内溝７５内の空気は溝内を中央ラインＦＭに向けて矢印Ｓ方向に移動する。これに伴い、開口７５Ｅから空気案内溝７５内に空気が流入する。すなわち、空気案内溝７５内では、低圧となった開口７５Ｅから空気が流入し、高圧となった溝突部７５Ｔ及びその近傍で搬送路面Ｆ上に空気が流出する。
従って、溝突部７５Ｔ及びその近傍でガラス基板Ｐを浮上させる力を更に発生させることができる。そして、開口７５Ｅ及びその近傍では低圧となっているので、ガラス基板Ｐを搬送路面Ｆ側に引き付けることができ、ガラス基板Ｐが安定して搬送される。

なお、本実施形態では全ての多孔質板７６に空気案内溝７５が形成されている例で説明したが、本発明はこれに限らず、空気案内溝７５が形成されていない多孔質板が少なくとも一部に配置されていてもよい。

例えば図１０に示すように、３本の各チャンバーで、空気案内溝７５が形成されている多孔質板７６と、空気案内溝７５が形成されていない多孔質板７７とを交互に配置してもよい。これにより、装置としてのコストダウンを図ることができる。

更には、図１１に示すように、空気案内溝７５が形成されている多孔質板７６の配置位置を隣り合うチャンバーで互い違いとなるように千鳥状に配置してもよい。このような配置にしても、装置としてのコストダウンを図ることができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る浮上ユニット４０を説明する。

浮上ユニット４０の基本的な構成は、第１実施形態の浮上ユニット１０と同一であるので、図１２及び図１３に示すチャンバー８０の溝部の構成と、多孔質板８２の構成、形状について説明する。

チャンバー８０の天井壁には、長手方向に４本の縦溝部９７と幅方向に複数の横溝部１０２が形成されており、縦溝部９７と横溝部１０２で複数の離島８６が所定の間隔で形成されている。横溝部１０２の溝底には通気孔９２が形成されている。この通気孔９２は、図示しない噴出室に連通している。また、離島８６には、吸引室と連通する吸気孔９０が形成されている。

一方、多孔質板８２には、チャンバー８０の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔９０と対応する位置に吸引孔９６が形成されている。また、多孔質板８２の両側には、貫通孔１０１が形成されており、チャンバー８０に形成された取付孔９４へビスを挿入して、多孔質板８２をチャンバー８０に固定できるようになっている。

また、多孔質板８２の搬送路面Ｆには、搬送路サイド側で開口８５Ｅを形成して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向Ｕに徐々に延びる空気案内溝８５が形成されている。この空気案内溝８５は、第１実施形態と同様、搬送路面Ｆの中央ラインＦＭに対して対称形状であって、開口８５Ｅから中央ラインＦＭまでが直線状とされている。従って、平面視でワーク搬送方向Ｕに突となった溝突部８５Ｔが中央ラインＦＭ上及びその近傍に形成されている。

以上の構成の浮上ユニット４０では、多孔質板８２の表面に貫通孔１０１を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板８２に溝加工しないので、多孔質板８２の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、ガラス基板Ｐの浮上量をバランスよく規制することができる。

また、ワーク（ガラス基板Ｐ）がワーク搬送方向Ｕに移動することによって、ワーク下空気の一部が空気の粘性によってワークとともにワーク搬送方向Ｕに移動する。従って、空気案内溝８５内の空気には、ワーク搬送方向Ｕに移動する力がワーク下空気から及ぼされる。従って、第１実施形態と同様、ワークの搬送に伴い、空気案内溝８５内の空気は溝内を中央ラインＦＭに向けて矢印Ｓ方向に移動する。この結果、開口８５Ｅから空気案内溝８５内に空気が流入する。すなわち、低圧となった開口８５Ｅから空気案内溝８５に空気が流入し、高圧となった溝突部８５Ｔ及びその近傍で空気案内溝８５から搬送路面Ｆ上に空気が流出する。従って、溝突部８５Ｔ及びその近傍でワークを浮上させる力を更に発生させることができる。そして、開口８５Ｅ及びその近傍では低圧となっているので、ワークを搬送路面Ｆ側に引き付けることができ、ワークが安定して搬送される。

なお、図１〜図１１に示す実施形態では、浮上ユニット１０がチャンバー３６の天井壁に４枚の多孔質板７６が接合されて構成されている。また、図１２及び図１３に示す実施形態では、浮上ユニット４０が、チャンバー８０の天井壁に１枚の多孔質板８２が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。また、多孔質板に限らず、上面側に搬送路を形成することができる限り、一般的な多孔質体であってもよい。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。図１４に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、多孔質板７６に代えて、搬送路面側に保護膜１１４が形成されている多孔質板１１６が設けられている。

多孔質板１１６の上面側は、多孔質板１１６の剥離を防ぐとともに強度向上を図るために保護膜１１４（図６参照）によって被覆されている。剥離によるパーティクル発生を抑制できる為、クリーンルーム内での使用に適する。保護膜１１４は、多孔質板１１６の上面に開口している空隙を塞がないように形成されている。そして、多孔質板１１６と保護膜１１４とによって搬送路面Ｆが形成されている。

保護膜１１４は、例えば樹脂で構成されている。これにより、保護膜の軽量化を図ることができるとともに、保護膜の形成が容易になる。この場合、樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、フッ素樹脂、ナイロンから選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されていてもよい。

また、保護膜１１４は、金属又は金属化合物で構成されている。これにより、保護膜１１４の強度向上を図ることができる。また、保護膜１１４が導電性となるので、静電気アースの機能を保護膜１１４に付加することができる。この場合、金属又は金属化合物が、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｆｅ、Ｓｎ、Ｍｇから選ばれる少なくとも１種の元素を含んでいてもよい。また、この金属又は金属化合物によって、保護膜１１４として黒色メッキ膜又は針状メッキ膜が形成されていてもよい。これにより、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに適した浮上ユニットとすることができる。

また、保護膜１１４が、ガラス状炭素又はダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくとも１種で構成されていてもよい。これにより、保護膜１１４が導電性となることにより静電気アースの機能が付加される。また、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに更に適した浮上ユニットとすることができる。また、保護膜１１４は、例えばガラス等の二酸化ケイ素を含む物質で構成されていてもよい。これにより、保護膜の化学的安定性を図ることができる。

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。図１５に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、吸気孔７０及び吸引孔７８が中央ラインＦＭに沿って第１実施形態よりも多数（例えば各空気案内溝７５の間に１つずつ）形成されている。これにより、ワーク（ガラス基板Ｐ）をより安定させた状態で搬送することができる。
なお、吸気孔７０の位置は、ワーク搬送方向に等間隔で配置されていることが、負圧を均等に作用できるため好ましい。この場合、ワーク搬送方向Ｕに隣り合う空気案内溝の間とされていることが、負圧と正圧とを均等に作用させることができるため、ワークを安定した状態で搬送する観点でより好ましい。

［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。図１６、図１７に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、吸気孔７０（図７参照）及び吸引孔７８が形成されていない多孔質板１２６が多孔質板７６に代えて設けられている。

本実施形態では、ワーク（ガラス基板Ｐ）の搬送に伴い、各搬送路の空気案内溝７５では矢印Ｓ方向に空気が流れており、開口７５Ｅから空気案内溝７５内に空気吸引されて搬送路面Ｆの中央ラインＦＭで空気案内溝７５から空気が噴き出している。従って、開口７５Ｅ及びその近傍では低圧となっているので、ガラス基板Ｐを搬送路面側に引き付けることができ、ガラス基板Ｐが安定して搬送される。このため、特に吸気孔が形成されていなくても、ワークをワーク搬送方向Ｕに安定して搬送することが可能である。

この構成により、図１７に示すように、隔壁部５４（図８参照）を除去しチャンバー内を全て噴出室５８とすることができる。従って、本実施形態により、構成が簡素な浮上ユニットとすることができる。

［第６実施形態］
次に、第６実施形態について説明する。図１８に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第５実施形態に比べ、空気案内溝の形状が異なる多孔質板１３６が多孔質板１２６（図１６参照）に代えて設けられている。

多孔質板１３６の搬送路面側に形成された空気案内溝１３５は、搬送路面Ｆの中央ラインＦＭに対して対称形状とされた平面視Ｗ形状とされている。
従って、空気案内溝１３５の中央ラインＦＭの両側には、平面視でワーク搬送方向Ｕに突となった溝突部１３５ＴＡ、１３５ＴＢがそれぞれ形成されている。そして、中央ラインＦＭ及びその近傍には、平面視でワーク搬送方向Ｕとは逆方向に突となった逆方向溝突部１３５ＴＺが形成されている。
この構成により、中央ラインＦＭの片側では、搬送路サイド側に開口して溝突部１３５ＴＡまで直線状に延びる外側溝部１３５Ｊと、溝突部１３５ＴＡから逆方向溝突部１３５ＴＺまで直線状に延びる内側溝部１３５Ｅと、が空気案内溝１３５には形成されている。中央ラインのもう片側でも同様の溝形状となっている。
本実施形態では、ワーク（ガラス基板Ｐ）をワーク搬送方向Ｕに搬送することによって空気案内溝１３５内を矢印Ｓ方向に空気が流れ、２つの溝突部１３５ＴＡ、１３５ＴＢからそれぞれ空気が搬送路面上に流出する。従って、２つの溝突部１３５ＴＡ、１３５ＴＢ及びこれらの近傍で、ワークを浮上させる力を更に発生させることができる。
これにより、より安定した状態でワークを搬送することができる。

また、逆方向溝突部１３５ＴＺ及びその近傍では、ワークの搬送に伴い、搬送路面上の空気が内側溝部１３５Ｅに流入する。そして、流入したこの空気は溝突部１３５ＴＡ、１３５ＴＢから流出する。従って、逆方向溝突部１３５ＴＺ及びその近傍では２つの溝突部１３５ＴＡ、１３５ＴＢと比較すると低圧となるので、ワークを搬送路面側に引き付けることができ、ワークが更に安定して搬送される。

［第７実施形態］
次に、第７実施形態について説明する。図１９に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、空気案内溝の形状が異なる多孔質板１４６が多孔質板７６に代えて設けられている。

多孔質板１４６の搬送路面側に形成された空気案内溝１４５は、第１実施形態に比べ、中央ラインＦＭの両側で、ワーク搬送方向Ｕに隣り合う溝同士の間隔の１／２だけ溝位置がずらして配置されている。

本実施形態により、ワークをワーク搬送方向Ｕに搬送することに伴って、ワーク下空気の粘性により、各空気案内溝１４５では矢印Ｓ方向に空気が流れる。すなわち、搬送路サイド側に形成された開口１４５Ｅから空気が流入し、搬送路中央側の溝端部１４５Ｍで、すなわち中央ラインＦＭ及びその近傍で空気が搬送路面上に流出する。
これにより、他の実施形態と同様に、より安定した状態でワークを搬送することができる。

なお、図１〜図１９に示す実施形態では、本発明の浮上ユニット１０、４０が露光装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、露光装置以外に、例えば検査装置、欠陥修復装置、コータ装置等、ガラス基板を搬送するための装置に使用できるものである。

さらに、図１〜図１９に示す実施形態では、浮上ユニット１０、４０により搬送される被搬送体としてガラス基板を例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂板や金属板等、ガラス基板以外の被搬送体を搬送するものであってもよい。

第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す側面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す平面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの分解斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの側板の取付構造を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニット及びチャンバーの拡大平面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置の変形例を示す斜視図である。 第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置の変形例を示す斜視図である。 第２実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーの平面図である。 第２実施形態に係る浮上ユニットの多孔質板の平面図である。 第３実施形態に係る浮上ユニットで多孔質板に保護膜が形成されていることを示す斜視図である。 第４実施形態に係る浮上ユニットを構成する多孔質板の平面図である。 第５実施形態に係る浮上ユニットを構成する多孔質板の平面図である。 第５実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。 第６実施形態に係る浮上ユニットを構成する多孔質板の平面図である。 第７実施形態に係る浮上ユニットを構成する多孔質板の平面図である。 従来の浮上ユニットを示す斜視図である。

符号の説明

１０ 浮上ユニット
３２ 第１コンプレッサー（気体供給手段）
３６ チャンバー
３７ 天井壁
４０ 浮上ユニット
４４ 第２コンプレッサー（気体供給手段）
７２ 通気孔
７４ 通気孔
７５ 空気案内溝（気体案内溝）
７５Ｔ 溝突部
７６ 多孔質板（多孔質体）
８０ チャンバー
８５ 空気案内溝（気体案内溝）
８５Ｔ 溝突部
１１４ 保護膜
１１６ 多孔質板（多孔質体）
１２６ 多孔質板（多孔質体）
１３５ 空気案内溝（気体案内溝）
１３５Ｊ 外側溝部（溝部）
１３５ＴＡ 溝突部
１３５ＴＢ 溝突部
１３５ＴＺ 逆方向溝突部
１３６ 多孔質板（多孔質体）
１４６ 多孔質板（多孔質体）
１４５ 空気案内溝（気体案内溝）
Ｆ 搬送路面（搬送路）
ＦＭ 中央ライン
Ｐ ガラス基板（ワーク）
Ｕ ワーク搬送方向

Claims (8)

1. 気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する流体通過孔が形成されているチャンバーと、
   下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している多孔質体と、
   前記気密空間に流体を供給し、前記流体通過孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から流体を噴出させる流体供給手段と、
   を有し、
   前記多孔質体の前記搬送路には、搬送路サイド側で開口して搬送路中央側になるに従いワーク搬送方向に延びる溝部を少なくとも有する流体案内溝が形成されていることを特徴とする浮上ユニット。
2. 前記搬送路の中央ラインに対して対称となるように前記流体案内溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の浮上ユニット。
3. 前記流体案内溝が前記搬送路の中央ラインからサイド側へ直線状に延びた形状にされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の浮上ユニット。
4. 前記流体案内溝には、ワーク搬送方向に突となった溝突部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の浮上ユニット。
5. 前記流体案内溝には、ワーク搬送方向とは逆方向に突となった逆方向溝突部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の浮上ユニット。
6. 前記多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項に記載の浮上ユニット。
7. 請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の浮上ユニットを有することを特徴とする装置。
8. 請求項１〜６のうちのいずれか１項に記載の浮上ユニットによって搬送路の一部が形成され、
   搬送路の残りは、前記流体案内溝が形成されていない浮上ユニットによって形成されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。

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