TW201311524A

TW201311524A - 可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構

Info

Publication number: TW201311524A
Application number: TW100131740A
Authority: TW
Inventors: Tung-Po Liu
Original assignee: Sparking Power Technology Co Ltd
Priority date: 2011-09-02
Filing date: 2011-09-02
Publication date: 2013-03-16
Also published as: TWI435832B

Abstract

一種可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構，包含有一具容置槽之本體及活動件，該本體係於容置槽之周側設有至少一第一Y軸向定位件及至少一第二Y軸向定位件，該活動件係裝配於本體之容置槽內，並於一面設有至少一第一X軸向定位件，另一面則設有至少一第二X軸向定位件，另於活動件與本體之容置槽間設有結合結構，以使活動件與本體於組裝後保持平面，進而活動件之第一X軸向定位件係與本體之第一Y軸向定位件組成第一定位組，以供大尺寸晶圓盒之卡合部嵌合定位，於翻轉活動件後，則使活動件之第二X軸向定位件與本體之第二Y軸向定位件組成第二定位組，以供小尺寸晶圓盒之卡合部嵌合定位；藉此，該承載機構可承置不同大、小尺寸之晶圓盒，不需費時拆卸更換及購置專用承載板，達到提升使用效能之實用效益。

Description

可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構

本發明係提供一種可便利裝配不同大、小尺寸之晶圓盒，進而提升使用效能之承載機構。

在現今，晶圓盒係概分有8吋、12吋等不同大、小尺寸，並配置於各工作站以供取放不同尺寸之晶圓，各工作站則設有承載板，用以承置及定位晶圓盒，由於晶圓盒係為規格品，SEMI(半導體設備及材料研究所)即針對不同大、小尺寸之晶圓盒與專用承載板間之定位方式作一規範，以確保專用承載板精確定位晶圓盒。

請參閱第1圖，係為SEMI規範大尺寸晶圓盒11與承載板12之定位方式示意圖，該大尺寸晶圓盒11之底面係設有一為V型直槽111之卡合部，並設有二為V型斜槽112、113之卡合部，該承載板12係於頂面相對應大尺寸晶圓盒11之V型直槽111位置設有Y軸向定位銷121，並於相對應大尺寸晶圓盒11之二V型斜槽112、113位置設有X軸向定位銷122、123；請參閱第2圖，於裝配大尺寸晶圓盒11時，係將大尺寸晶圓盒11之V型直槽111及V型斜槽112、113分別對位嵌置於承載板12之Y軸向定位銷121及X軸向定位銷122、123上，該承載板12可利用Y軸向定位銷121限制大尺寸晶圓盒11作Y軸向位移，並以X軸向定位銷122、123限制大尺寸晶圓盒11作X軸向位移，使得大尺寸晶圓盒11定位於承載板12上以供取放晶圓。

請參閱第3圖，係為SEMI規範小尺寸晶圓盒13與承載板14之定位方式示意圖，該小尺寸晶圓盒13係於兩側板131、132之底部連結有底板133，該底板133之底面則凸設有一為插塊134之卡合部，該承載板14係於頂面之兩側分別設有複數個Y軸向定位塊141，並於相對應小尺寸晶圓盒13之插塊134位置設有二X軸向定位插座142；請參閱第4圖，於裝配小尺寸晶圓盒13時，可將小尺寸晶圓盒13置放於承載板14兩側之各Y軸向定位塊141間，使小尺寸晶圓盒13之兩側板131、132貼靠於側方之各Y軸向定位塊141，並使小尺寸晶圓盒13之插塊134插置於承載板14之X軸向定位插座142，進而承載板14可利用各Y軸向定位塊141限制小尺寸晶圓盒13作Y軸向位移，並以二X軸向定位插座142限制小尺寸晶圓盒13作X軸向位移，使得小尺寸晶圓盒13定位於承載板14上以供取放晶圓。

惟，不論大、小尺寸之晶圓盒11、13均配置有專用之承載板12、14，導致業者必須購置二種不同定位型態之承載板12、14，方可因應裝配不同尺寸之晶圓盒11、13，又，不同定位型態之承載板12、14的數量繁多時，不僅相當佔空間而不便於收整，若將複數個承載板12、14混合疊置存放，則不便於管理，再者，若工作站目前係裝配複數個承載板12，用以承載大尺寸晶圓盒11而執行取放晶圓作業，當工作站下一批次作業需應用小尺寸晶圓盒13以供取放晶圓時，即必須費時繁瑣將大尺寸晶圓盒11專用之承載板12卸除，並重新裝配小尺寸晶圓盒13專用之承載板14，造成使用不便之缺失。

故，如何設計一種可裝配不同大小尺寸之晶圓盒，以提升使用效能之承載機構，即為業者研發之標的。

本發明之目的一，係提供一種可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構，包含有一具容置槽之本體及活動件，該本體係於容置槽之周側設有至少一第一Y軸向定位件及至少一第二Y軸向定位件，該活動件係裝配於本體之容置槽內，並於一面設有至少一第一X軸向定位件，另一面則設有至少一第二X軸向定位件，進而活動件之第一X軸向定位件係與本體之第一Y軸向定位件組成第一定位組，以供大尺寸晶圓盒之卡合部嵌合定位，於翻轉活動件後，則使活動件之第二X軸向定位件與本體之第二Y軸向定位件組成第二定位組，以供小尺寸晶圓盒之卡合部嵌合定位；藉此，該承載機構可承置不同大、小尺寸之晶圓盒，不需費時拆卸更換專用承載板，達到提升使用效能及便利性之實用效益。

本發明之目的二，係提供一種可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構，該本體之容置槽與活動件之兩端間係設有結合結構，該結合結構係於本體之容置槽兩端分別設有至少一承置部，並於活動件之兩端分別設有至少一跨接部，另於本體之承置部與活動件之跨接部間設有相互配合之定位銷與定位孔，以及相互配合之螺孔及通孔，再以栓具穿置通孔，而螺合於螺孔，使活動件組裝於本體上，且保持於同一平面，達到平穩承置晶圓盒之實用效益。

本發明之目的三，係提供一種可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構，該承載機構之活動件係裝配於本體上而可一併收置，不僅縮減收置空間，並可便於管理，達到提升使用效能之實用效益。

為使　貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解，茲舉一較佳實施例並配合圖式，說明如后：請參閱第5圖，本發明承載機構20包含有本體21及活動件22，該本體21可為面板、座體或架體，用以承置不同大小尺寸之晶圓盒，並設有可置入活動件22之容置槽211，於本實施例中，該本體21係為一框座，並於頂面開設有一可容置活動件22之容置槽211，該容置槽211係於內側面凹設有缺槽，於本實施例中，該容置槽211係於兩側面分別凹設有複數個缺槽212，用以輔助便利取出活動件22，又本體21係於容置槽211之周側設有至少一第一Y軸向定位件及至少一第二Y軸向定位件，於本實施例中，係於容置槽211之後方固設有一為凸柱之第一Y軸向定位件213，並於容置槽211之兩側分別固設有複數個為凸塊之第二Y軸向定位件214，該活動件22係裝配於本體21之容置槽211內，並於一面設有至少一第一X軸向定位件，於另一面設有至少一第二X軸向定位件，於本實施例中，該活動件22係於一面設有二為凸柱之第一X軸向定位件221，並於另一面設有二為定位插座之第二X軸向定位件222，另於活動件22與本體21之容置槽211間設有結合結構，該結合結構係於本體21之容置槽211兩端分別設有至少一承置部，而活動件22之兩端則分別設有至少一跨接部，用以跨置定位於本體21之承置部上，並與本體21保持同一平面，於本實施例中，該結合結構係於本體21之容置槽211兩端分別設有承置部215及嵌合部216，並於活動件22之兩端分別設有第一跨接部223及第二跨接部224，於活動件22之第一跨接部223跨置於本體21之承置部215上時，第二跨接部224則嵌入於本體21之嵌合部216內，使活動件22與本體21相互組裝，並保持同一平面，反之，於翻轉活動件22使第二跨接部224跨置於本體21之承置部215上時，第一跨接部223則嵌入於本體21之嵌合部216內，亦使得活動件22與本體21相互組裝，並保持同一平面，再者，該結合結構更包含於本體21之承置部與活動件22之跨接部間設有相互配合之定位銷與定位孔，以及相互配合之螺孔與通孔，再以栓具穿置通孔，並螺合於螺孔，使活動件22組裝定位於本體21之容置槽211內，於本實施例中，該結合結構係於本體21之承置部215設有定位銷217及螺孔218，於活動件22之第一跨接部223設有第一定位孔225及第一通孔226，以及於第二跨接部224設有第二定位孔227及第二通孔228，活動件22之第一定位孔225或第二定位孔227可套置於本體21之定位銷217，使活動件22精確定位，而第一通孔226或第二通孔228則供栓具23穿置，並螺合於本體21之螺孔218，將活動件22組裝於本體21上。

請參閱第6、7圖，該大尺寸晶圓盒30係為規格品，其係於底面相對應承載機構20本體21之第一Y軸向定位件213位置設有一為V型直槽31之卡合部，並於底面相對應活動件22之第一X軸向定位件221位置設有二為V型斜槽32、33之卡合部，另於大尺寸晶圓盒30之底面凹設有容置空間34，當承載機構20欲裝配大尺寸晶圓盒30時，係先將活動件22之第一X軸向定位件221朝向上方，並以第一跨接部223上之第一定位孔225套置於本體21承置部215之定位銷217上，使第一跨接部223跨置於本體21之承置部215上，而輔助活動件22精確定位，由於第二跨接部224與第一跨接部223具有高低位差，第二跨接部224可嵌入於本體21之嵌合部216內，使活動件22與本體21保持同一平面，再以栓具23穿置活動件22之第一通孔226，並螺合於本體21之螺孔218，進而將活動件22鎖固組裝於本體21上，使活動件22之第一X軸向定位件221與本體21之第一Y軸向定位件213組成第一定位組；請參閱第8、9圖，於裝配大尺寸晶圓盒30時，可將大尺寸晶圓盒30之V型直槽31及V型斜槽32、33分別對位嵌套於承載機構20之本體21的第一Y軸向定位件213及活動件22之第一X軸向定位件221上，由於大尺寸晶圓盒30之底面凹設有容置空間34，使得本體21之各第二Y軸向定位件214可位於大尺寸晶圓盒30之容置空間34，進而承載機構20可利用本體21之第一Y軸向定位件213與大尺寸晶圓盒30之V型直槽31相互卡掣，以防止大尺寸晶圓盒30作Y軸向位移，並以活動件22之第一X軸向定位件221與大尺寸晶圓盒30之V型斜槽32、33相互卡掣，以防止大尺寸晶圓盒30作X軸向位移，使得大尺寸晶圓盒30穩固定位於承載機構20上以供取放晶圓。

請參閱第10、11圖，該小尺寸晶圓盒40係為規格品，並於兩側板41、42之底部連結有底板43，該底板43之底面則凸設有一為插塊44之卡合部，當承載機構20欲裝配小尺寸晶圓盒40時，可先將活動件22上之栓具23卸除，並翻轉活動件22，使活動件22之第二X軸向定位件222朝向上方，並以第二跨接部224上之第二定位孔227套置於本體21之定位銷217上，使第二跨接部224跨置於本體21之承置部215上，以輔助活動件22精確定位，由於第二跨接部224與第一跨接部223具有高低位差，第一跨接部223可嵌入於本體21之嵌合部216內，使活動件22與本體21保持同一平面，再以栓具23穿置活動件22之第二通孔228，並螺合於本體21之螺孔218，進而將活動件22鎖固組裝於本體21上，使活動件22之第二X軸向定位件222與本體21之第二Y軸向定位件214組成第二定位組；請參閱第12、13圖，於裝配小尺寸晶圓盒40時，可將小尺寸晶圓盒40置放於本體21之各第二Y軸向定位塊214間，使小尺寸晶圓盒40之兩側板41、42貼靠於側方之各第二Y軸向定位塊214，並以小尺寸晶圓盒40之插塊44插置於活動件22之第二X軸向定位件222，進而承載機構20可利用本體21之第二Y軸向定位塊214卡掣於小尺寸晶圓盒40之兩側板41、42，以防止小尺寸晶圓盒40作Y軸向位移，並以活動件22之第二X軸向定位件222與小尺寸晶圓盒40之插塊44相互卡掣，以防止小尺寸晶圓盒40作X軸向位移，使得小尺寸晶圓盒40穩固定位於承載機構20上以供取放晶圓。

據此，本發明承載機構可裝配不同尺寸之晶圓盒，而提升使用效能，實為一深具實用性及進步性之設計，然未見有相同之產品及刊物公開，從而允符發明專利申請要件，爰依法提出申請。

[習知]

11．．．大尺寸晶圓盒

111．．．V型直槽

112、113．．．V型斜槽

12．．．承載板

121．．．Y軸向定位銷

122、123．．．X軸向定位銷

13．．．小尺寸晶圓盒

131、132．．．側板

133．．．底板

134．．．插塊

14．．．承載板

141．．．Y軸向定位塊

142．．．X軸向定位插座

[本發明]

20．．．承載機構

21．．．本體

211．．．容置槽

212．．．缺槽

213．．．第一Y軸向定位件

214．．．第二Y軸向定位件

215．．．承置部

216．．．嵌合部

217．．．定位銷

218．．．螺孔

22．．．活動件

221．．．第一X軸向定位件

222．．．第二X軸向定位件

223．．．第一跨接部

224．．．第二跨接部

225．．．第一定位孔

226．．．第一通孔

227．．．第二定位孔

228．．．第二通孔

23．．．栓具

30．．．大尺寸晶圓盒

31．．．V型直槽

32、33．．．V型斜槽

34．．．容置空間

40．．．小尺寸晶圓盒

41、42．．．側板

43．．．底板

44．．．插塊

第1圖：習式大尺寸晶圓盒與專用承載板之示意圖。

第2圖：習式大尺寸晶圓盒與專用承載板之組裝示意圖。

第3圖：習式小尺寸晶圓盒與專用承載板之示意圖。

第4圖：習式小尺寸晶圓盒與專用承載板之組裝示意圖。

第5圖：本發明承載機構之零件分解圖。

第6圖：本發明承載機構與大尺寸晶圓盒之示意圖。

第7圖：本發明承載機構之局部剖視圖。

第8圖：本發明承載機構裝配大尺寸晶圓盒之組裝示意圖。

第9圖：本發明承載機構裝配大尺寸晶圓盒之平面示意圖。

第10圖：本發明承載機構與小尺寸晶圓盒之示意圖。

第11圖：本發明承載機構之局部剖視圖。

第12圖：本發明承載機構裝配小尺寸晶圓盒之組裝示意圖。

第13圖：本發明承載機構裝配小尺寸晶圓盒之平面示意圖。