TWI892008B

TWI892008B - 適用於多尺寸晶圓的儲運裝置

Info

Publication number: TWI892008B
Application number: TW111115842A
Authority: TW
Inventors: 黃世欽; 陳延方; 蘇淑珍
Original assignee: 鼎洲科技股份有限公司
Priority date: 2022-04-26
Filing date: 2022-04-26
Publication date: 2025-08-01
Also published as: TW202343639A; CN116995004A

Abstract

一種適用於多尺寸晶圓的儲運裝置，適用於容置不同尺寸的晶圓，並包含：一殼體單元，及一支撐單元。該殼體單元包括一外殼，該外殼具有一殼體，及多個連接該殼體的快拆部。該支撐單元包括二支撐板，及多個連接於該等支撐板的快拆件。每一快拆件具有一受力部，及一與對應之快拆部相配合連接的固定部，該受力部可被施力而連動所連接之固定部脫離該快拆部，以使對應之支撐板能相對於該殼體單元移動。透過可拆卸地連接於該外殼的支撐單元，使用者可以因應不同尺寸之晶圓替換不同的該支撐單元，並透過每一快拆件可受壓而脫離快拆孔即可拆卸，不需使用其他的元件，達到適用性佳的功效。

Description

適用於多尺寸晶圓的儲運裝置

本發明是有關於一種運用於半導體設備的儲運盒，特別是指一種適用於多尺寸晶圓的儲運裝置。

近年來，由於科技發展，半導體相關設備廠中，可能會同時存在不同尺寸、厚薄度、製程的晶圓在廠房內儲放或運送，且由於晶圓屬於易碎物品，在儲放或運送時須放在晶圓盒內，以防止其毀損。惟，如針對每一種規格的晶圓都準備一種晶圓盒，開銷成本極大。

因此，本發明之其中一目的，即在提供一種適用性佳的適用於多尺寸晶圓的儲運裝置。

於是，本發明適用於多尺寸晶圓的儲運裝置在一些實施態樣中，適用於容置不同尺寸的晶圓，並包含：一殼體單元，及一支撐單元。

該殼體單元包括一界定出一具有一容置口之容置空間的外殼，該外殼具有一界定出該容置空間的殼體，及多個連接該殼體且位於該容置空間內的快拆部，該等快拆部兩兩左右對稱地設置於該殼體之鄰近該容置口處的兩側。

該支撐單元可拆卸地連接於該外殼，並包括二適用於支撐該等晶圓的支撐板，及多個連接於該等支撐板且對應等該快拆部之位置的快拆件，每一快拆件具有一連接該快拆件的受力部，及一連接該受力部與對應之快拆部相配合連接的固定部，該受力部可被施力而連動所連接之固定部脫離該快拆部，以使對應之支撐板能相對於該殼體單元移動。

在一些實施態樣中，每一支撐板包括一側板部，及多個自該側板部向另一支撐板延伸且沿一上下方向間隔設置的定位片部，該等支撐板的定位片部相配合以共同支撐該等晶圓。

在一些實施態樣中，每一該快拆部具有一沿一左右方向貫穿且用以供對應之固定部穿設的快拆孔，每一快拆件的受力部可受力而撓曲，使對應之該固定部沿該左右方向脫離該快拆孔，以使對應之支撐板沿一前後方向脫離於該外殼。

在一些實施態樣中，該快拆部沿一前後方向延伸，每一快拆件的受力部沿該左右方向延伸，且該固定部為一沿該前後方向貫穿且用以供對應之快拆部穿設並固定的貫孔。

在一些實施態樣中，位於同一側之該等快拆件沿該上下方向間隔排列。

在一些實施態樣中，每一受力部沿該左右方向的長度相關於該等晶圓的尺寸。

在一些實施態樣中，其中，該外殼還具有多個連接於該殼體且位於該容置空間內的卡合部，該等卡合部兩兩左右對稱地設置在該殼體之遠離該容置口處的兩側，該支撐單元還包括多個連接該等支撐板且位置對應於該等卡合部的卡合件，每一卡合件用於穿入該卡合部，以限制對應支撐板沿該上下方向移動。

在一些實施態樣中，還包含一用以封閉該容置口的門板單元，該門板單元還包括一外框件，該外框件具有一形成在外周緣且形狀配合於該外殼之容置口的防呆缺口。

在一些實施態樣中，還包含一配件單元，該配件單元包括多個辨識件，該殼體單元還包括連接於該外殼之底部的底座，該底座具有多個用於供前述辨識件可拆卸地安裝的配件孔。

在一些實施態樣中，每一辨識件是無線射頻辨識標籤。

本發明至少具有以下功效：透過可拆卸地連接於該外殼的支撐單元，使用者可以因應不同尺寸之晶圓替換不同的該支撐單元，並透過每一快拆件可受壓而脫離快拆孔即可拆卸，不需使用其他的元件，而達到方便拆卸的作用，達到適用性佳的功效。

1:殼體單元

11:外殼

110:容置空間

111:容置口

112:殼體

113:第一快拆部

114:快拆孔

115:第二快拆部

116:卡合部

117:工作空間

12:把手

13:底座

131:配件孔

2:支撐單元

21:支撐板

211:側板部

212:定位片部

213:凸起

22:第一快拆件

221:第一受力部

222:第一固定部

23:第二快拆件

231:第二受力部

232:第二固定部

24:卡合件

3:門板單元

31:外框件

311:防呆缺口

4:配件單元

41:辨識件

5:晶圓

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是本發明適用於多尺寸晶圓的儲運裝置的一實施例的一立體圖；圖2是該實施例移除一門板單元後的一立體示意圖；圖3是該實施例之一不完整的剖視圖；圖4是該實施例之不完整的一立體剖面圖；圖5是該實施例容置小尺寸晶圓的不完整的立體圖；圖6是該實施例容置大尺寸晶圓的不完整的立體圖；及圖7是該實施例的仰視圖。

參閱圖1、圖2與圖3，本發明適用於多尺寸晶圓5的儲運裝置之一實施例，適用於容置不同尺寸的晶圓5，並包含一殼體單元1、一支撐單元2，及一門板單元3。

該殼體單元1包括一界定出一具有一容置口111之容置空間110的外殼11，該外殼11具有一界定出該容置空間110的殼體112，及多個連接該殼體112且位於該容置空間110內的第一快拆部113與第二快拆部115，第一快拆部113與第二快拆部115兩兩左右對稱地設置於該殼體112之鄰近該容置口111處的兩側。

參閱圖2、圖3與圖4，該支撐單元2可拆卸地連接於該外殼11，並包括二適用於支撐該等晶圓5的支撐板21，及連接於該等支撐板21且分別對應等該第一快拆部113與該等第二快拆部115之位置的多個第一快拆件22與多個第二快拆件23。

具體來說，每一支撐板21包括一側板部211，及多個自該側板部211向另一支撐板21延伸且沿一上下方向間隔設置的定位片部212。該等支撐板21的定位片部212相配合以共同支撐該等晶圓5。補充說明的是，在本實施例的其中一實施態樣中，每一支撐板21還包括多個形成在每一定位片部212且用以接觸並支撐對應之晶圓5的凸起213。由於每一凸起213與對應之晶圓5的接觸面積縮小，因此可以減少因摩擦產生的微粒(particle)。

每一第一快拆件22包括一連接該支撐板21的第一受力部221，及一連接該第一受力部221與對應之第一快拆部113相配合連接的第一固定部222，該第一受力部221可被施力而連動所連接之第一固定部222脫離該第一快拆部113，以使對應之支撐板21能相對於該殼體單元1移動。

具體來說，每一該第一快拆部113具有一沿一左右方向貫穿且用以供對應之第一快拆件22之固定部穿設的快拆孔114。因此，當每一第一快拆件22的受力部可受力而撓曲時，可使對應之該第一固定部222沿該左右方向脫離該快拆孔114，以使對應之支撐板21能卸離於該殼體單元1。

參閱圖4、圖5與圖6，每一第二快拆件23同樣具有一連接該支撐板21的第二受力部231，及一連接該第二受力部231的第二固定部232。該第二快拆部115沿一前後方向延伸，每一第二快拆件23的第二受力部231沿該左右方向延伸，且該第二固定部232為一沿該前後方向貫穿且用以供對應之第二快拆部115穿設並固定的貫孔。在本實施例的其中一實施態樣中，位於同一側之第二快拆件23沿該上下方向間隔排列，因此，使用者可以將手伸入相鄰二第二快拆件23之間的空隙，以施力於該等第二受力部231並將該等支撐板21向遠離該殼體112之方向拉出。更進一步說明的是，每一第二受力部231沿該左右方向的長度相關於該等晶圓5的尺寸，當該等晶圓5的尺寸越大時，每一第二受力部231沿該左右方向的長度越小，例如：圖5的晶圓5尺寸較圖6的晶圓5尺寸較小，因此每一第二受力部231沿該左右方向的長度較圖6的大。

值得一提的是，參閱圖5與圖6，圖5的該支撐單元2包括該等第二快拆件23，而圖6的該支撐單元2則包含該第一快拆件22與該等第二快拆件23，使用者可以根據自身需求設計該支撐單元2的快拆結構與數量，不以本實施例的圖式為限。

在本實施例的其中一實施態樣中，該外殼11還具有多個連接於該殼體112且位於該容置空間110內的卡合部116，該等卡合部116兩兩左右對稱地設置在該殼體112之遠離該容置口111處的兩側，該支撐單元2還包括多個連接該等支撐板21且位置對應於該等卡合部116的卡合件24，每一卡合件24用於穿入該卡合部116，以限制對應支撐板21沿該上下方向移動。藉此，本實施例除了該等第一快拆件22與該等第二快拆件23與該殼體單元1的結合外，還進一步透過該等卡合件24與該等卡合部116提升該支撐單元2與該殼體單元1的連結強度。

該門板單元3可拆卸地安裝於該外殼11並用於封閉該容置口111，並包括一外框件31，該外框件31具有形成在外周緣且形狀配合於該外殼11之容置口111的防呆缺口311。由於該防呆缺口311使該外框件31的外周緣不對稱，因此，使用者只有一種安裝方式使該門板單元3安裝於該外殼11，減少安裝方向錯誤的發生。

補充說明的是，根據前述的說明，本實施例可以裝有不同規格(圓形/方形)的晶圓5，為了防止現場工作人員誤認，於本實施例中，該殼體單元1還具有二可拆卸地安裝於該外殼11的把手12，較佳的是，該等把手12可以根據不同晶圓5之規格而有不同顏色、花紋或是材質的變化，而可以讓現場工作人員直接透過肉眼觀察該等把手12，就可以了解到該殼體單元1內的晶圓5規格。

參閱圖5與圖7，再進一步說明的是，即使是相同形狀的晶圓5，也可能有製程上之差異，因此，在本發明的其中一實施態樣中，還包含一配件單元4。該配件單元4包括多個辨識件41，該殼體單元1還包括連接於該外殼11之底部的底座13，該底座13具有多個用於供前述辨識件41可拆卸地安裝的配件孔131。具體來說，每一辨識件41是無線射頻辨識(RFID)標籤。藉此，可以透過該等辨識件41來讓現場工作人員了解到該殼體單元1內的晶圓5規格。判斷方式列舉但不限於如下。

判斷方式1：

透過拆除或安裝特定數量的辨識件41，讓現場工作人員了解到該殼體單元1內的晶圓5規格。例如，在本實施例中有三個辨識件41與三個配件孔131，且該等配件孔131分別位於該底座13之左、右與後側。當廠房中的RFID偵測設備(圖未示)偵測到三個辨識件41，即為規格1，當廠房中的RFID偵測設備(圖未示)僅偵測到位於左、右兩側的辨識件41，即為規格2，以此類推，最多可以產生8種不同規格的組合，此方式的好處在於每一個辨識件41都是相同的，不需要因應不同規格而準備不同的辨識件41。

判斷方式2：

每一配件孔131是用於供對應晶圓5的不同規格訊息的辨識件41安裝，例如，同樣有三個辨識件41與三個配件孔131，位於左側的配件孔131內的辨識件41具有尺寸訊息、位於右側的配件孔131內的辨識件41具有厚薄度訊息、位於上側的配件孔131內的辨識件41是具有製程訊息。當廠房中的RFID偵測設備(圖未示)偵測到三個辨識件41時，即可以透過讀取該等辨識件41內的訊息了解到該殼體單元1內的晶圓5規格。此方式的好處在於，只要有足夠多種類的辨識件41，就可以囊括在廠房中各種不同規格的晶圓5，適用性佳。

綜上所述，本發明適用於多尺寸晶圓5的儲運裝置，透過可拆卸地連接於該外殼11的支撐單元2，使用者可以因應不同尺寸之晶圓5替換不同的該支撐單元2，並透過每一快拆件可受壓而脫離快拆孔114即可拆卸，不需使用其他的元件，而達到方便拆卸的作用，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。