201009946 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用以加熱處理被加熱物之熱處理裝 置。 . 【先前技術】 自先前以來，下述專利文獻1所揭示之熱處理裝置係用 於製作液晶顯示器（LCD，Liquid Crystal Display)、電漿顯 示器（PDP，Plasma Display)、有機 EL(Electroluminescence， • 電致發光）顯示器等之平板顯示器（FPD，Flat Panel Display) 之製作。熱處理裝置係將預先對玻璃板等之基板（被加熱 物）塗佈特定之溶液並加以加熱乾燥而成者收容於加熱室 内，繼而使其曝露於導入至加熱室内之特定溫度之熱風中 而進行熱處理（煅燒）者。 [專利文獻1]日本專利第2971771號說明書 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] Φ 先前技術之熱處理裝置存在用以取出或放入被加熱物之 開口或缝隙等，不會呈完全密閉狀態，且於上述開口或縫 _ 隙之附近容易變為相對較低溫度。因此，伴隨著熱處理、 塗佈於基板上之特定溶液等經氣化而產生之生成氣體將於 m 開口或缝隙之附近冷卻而固化，變為所謂昇華物。昇華物 呈粒子狀或焦油狀，故而存在不僅污染熱處理裝置内部而 使被加熱物之品質下降，而且於被加熱物之取出或放入時 會漏出至熱處理裝置之外部之問題。 139516.doc 201009946 通常，熱處理裝置係設置於潔淨度相對較高之無塵室等 之中。因此，如先前技術之熱處理裝置般昇華物自熱處理 裝置漏出時，存在甚至導致無塵室之潔淨度亦降低之問 題。 鑒於上述問題，於上述專利文獻1中所揭示之熱處理裝 置中，為了防止熱處理裝置内之空氣或生成氣體漏出至外 部’而設為自熱處理裝置之内側向外側排氣，以降低熱處 理裝置内之靜Μ之構成。當設為該構成時，對於昇華物會 自熱處理裝置排出至外部之問題具有一定效果。然而，於 先前技術之熱處理裝置中，熱處理裝置内之靜壓因場所而 不同，因此當設於靜壓未充分降低之位置之開口打開以將 被加熱物取出或放入時，存在可能包含有生成氣體或昇華 物之空氣會自該開口洩漏之問題。 又，當假設存在如上所述靜壓未充分降低之場所，對篇 了抽吸而排出熱處理裝置内之空氣等而設置之排氣機構言《 定較高之排氣能力時，雖可防止由於為了進行被加熱物之 取出或放人而打開開口而導致生成氣體等發线漏，但售 產生熱處理室内之靜㈣度變低之部分的問題。因此，當 設為該構成時’若設於靜壓過度低之部分之開口打開，： 存在外部氣體將藉由該開口而流人至 處理裝置内之溫度分布變得不均勻之問題。 ¥致，、、、 ^ *本發明之目的在於提供一種熱處理裝置，其係不 易，隨著出人α之打開或關閉’而伴隨著熱處理產生之生 成乳體或昇華物等茂漏，或者產生熱處理室内之溫度分布 139516.doc 201009946 不均。 [解決問題之技術手段]
為了解決上述問題而提供之本發明之熱處理裝置之特徵 在於包含：熱處理室’其係可收容被加熱物；複數個出入 其係可對該熱處理室取出放入被加熱物；及排氣機 構八係可變更用以自上述熱處理室之内側向外側抽吸而 排出氣體之排氣能力；於上述出入σ中之任-者變為打開 狀I時’ 上述排氣機構之排氣能力，以便與變為該打 二之出入口相鄰之位置上之上述熱處理室内之靜壓較 使上述出入口成》打開狀態之前低壓（請纟項1)。 本發明之熱處理裝置t，於與設有複數個之出入口之中 變為打開狀態者相鄰之位置，調節排氣機構之排氣能力， 乂便與良為打開狀態之出入口相鄰之位置上的熱處理室内 靜堅較使出人口成為打開狀態之前低I，故而即使進行 被加熱物之取出放入，亦可防止生成氣體或昇華物等洩 漏0 又，上述本發明之熱處理裝置理想的是，於出入口尹之 任一者變為打開狀態時，調節上述排氣機構之排氣能力， 以便與該出入口相鄰之位置上之上述熱處理室内之㈣成 為該熱處理室外側之氣壓以下（請求項2)。 形成該構成之情形時，可更進—步確實地防止生成氣體 或昇華物等因出入口打開而經由出入口洩漏。 上述本發明之熱處理裝置理想的是，含有用以自熱處理 室内向外側排除氣體之排氣口 ’根據變為打開狀態之出入 139516.doc 201009946 口與上述排氣口之距離’來調節排氣機構之排氣能力（請 求項3) » 藉由該構成，可將與設有複數個之出 狀態者相鄰之位置上之熱處理室内之靜麼調節== -步確實地於被加熱物之取出放人時防止生成氣體等泡漏 之壓力。 上述本發明之熱處理裝置理想的是，含有用以自熱處理 室内向外側排出氣體之排氣口，在靠近上述排氣口之區域 A、以及對上述排氣口較上述區域人更遠離之區域b排列設 置有複數個出入口 ’设於該區域A、B之上述出入口係以 特定之順序而打開或關閉者，以配置於上述區域B之出入 口變為打開狀態之時序作為基準，於特定期間之上述排氣 機構之排乳能力高於以配置於上述區域A之出入口變為打 開狀態之時序作為基準，於特定期間内之上述排氣機構之 排氣能力（請求項4)。 本發明之熱處理裝置中，於靠近排氣口之區域A以及遠 離排氣口之區域B分別部古山、 刀另j *又有出入口，因此使排氣機構以相 同之排氣能力動作眛，^
寻存在區域B附近之靜壓高於區域A 附近之靜壓之傾向0妙 …、而，本發明之熱處理裝置係以配置 ;品域之出入口變為打開狀態之時序作為基帛，於特定 』1内之排氣機構之排氣能力高於以配置於區域A之出入 口變為打開狀態之時序作為基準，於特定期間内之排氣機 構之排孔犯力之方式動作。因此即使設於區域B之出入 變為打開狀態之情形時，亦可使出入口附近之靜壓降低 139516.doc 201009946 至與設於區域A之出入口變為打開狀態時同等程度。因 此’藉由本發明之熱處理装置，即使經由設於區域a、b 中之任纟内之出入口而取出放入被力口熱物，亦可防止生 成氣體或昇華物等洩漏。 •又’於本發明之熱處理裝置中，以配置於區域B之出入 • η變為打開狀態之時序作為基準，於特定期間内排氣機構 之排氣能力增高，因此可防止配置於區域Α内之出入口變 為打開狀態時區域Α附近之靜壓過度降低。因此，於本發 明之熱處理裝置中，可防止於使出入口成為打開狀態時， 外部氣體流入熱處ί里室内而產生熱處理室内之溫度分布不 均。 此處，通常而言，經加熱而變為高溫之氣體存在流向上 方側之傾向。因此，於上述本發明之熱處理裝置中，當形 成區域Β對於區域Α而位於上方之構成時’係假設熱處理 室内變為咼溫之氣體處於容易自區域B侧漏出之傾向。然 • 而，如上所述，本發明之熱處理裝置係以配置於區域B之 出入口變為打開狀態之時序作為基準，於特定期間内，排 氣機構之排氣能力設定得高於以配置於區域A之出入口變 為打開狀態之時序作為基準，於特定期間内之排氣能力。 因此，本發明之熱處理裝置即使形成區域3對於區域八而 位於上方’且排氣口設於熱處理室下方侧之位置之構成， 亦可確實地防止生成氣體等之洩漏（請求項5)。 上述本發明之熱處理裝置更理想的是，排氣機構之排氣 能力之調節係在複數個出入口中之任一者變為打開狀態之 139516.doc 201009946 前完成（請求項6)。 藉由該構成，在久φ λ . 〇α , 啦谷出入口變為打開狀態之前，使與該出 相鄰之位置之靜壓降低，可確實地防止生成氣體或昇 華物等經由出入口而茂漏。 f述本發明之熱處理褒置理想的是，於對構成熱處理室 且設有出入口之壁面鄰接之位置設置有排氣口，藉由排氣 機構，可經由上述排氣σ而使上述熱處理室内之氣體排出 至熱處理室之外部（請求項7)。 藉由該構成，可更進一步確實地防止生成氣體等經由出 入口而茂漏。 上述本發明之熱處理裝置理想的是，於出入口與熱處理 至之間°又有較熱處理室之内側以及外侧之氣壓更低壓之 低壓區域（請求項8)。 藉由該構成，可更進一步確實地防止於為了被加熱物之 取出放入而打開出入口時，氣體自熱處理室之内側向外侧 洩漏。因此，藉由上述構成，可更進一步確實地防止包含 生成氣體之氣體汽漏至熱處理室之外部。 又，根據上述構成，亦可防止外部氣體因出入口打開而 經由該出入口流入熱處理室内。因此，藉由上述構成可 更進一步確實地防止因低溫之空氣等自熱處理室之外側流 入内側而熱處理室内之溫度分布紊亂。 此處’於上述熱處理裝置中’當設有複數個之出入口均 為關閉狀態時’會使排氣機構處於停止狀態，或者即便使 其以必要最小限度之排氣能力排氣’生成氣體或昇華物等 139516.doc 201009946 亦不會自出入口浅漏。X，若如上所述調節排氣機構 作狀態，則可將因排氣機構之動作而消耗之能量 要最小限度。
基於上述觀點，上述本發明之熱處理裝置理想的是，於 所有出入Π均為_狀態時，調節排氣機構之動作狀態，、 以便排氣機構變為排氣流量為特定最小流量之狀態、：揮 各出入口打開時可調節之排氣能力中之最小排氣能力：狀 癌、或者停止狀態令之任一狀態（請求項9)。 上述本發明之熱處理裝置理想的是，排氣機構包含鼓風 機及變流n(invener)，可藉由變流器控制來調節排氣能力 (請求項10)。 本發明之熱處理裝置中，排氣機構包含鼓錢，藉此可 向熱處理室之外❹吸存在於熱處理室内之空氣等而進行 排氣。X，排氣機構包含變流器，藉此控制變流器，並可 適當採用可調節排氣能力者。 [發明之效果] 根據本發明，可提供—種不易伴隨著出人口之打開或關 閉’而伴隨著熱處理產生之生成氣體或昇華物等產生洩漏 之熱處理裝置。 【實施方式】 繼而，一面參照圖式，一面對本發明之一實施形態之熱 處理裝置1進行詳細說明。再者，於以下說明中，關於上 下或別後之位置關係’凡未作特別聲明，均係以本實施形 態之熱處理裝置的通常之使用狀態作為基準來進行說明。 139516.doc 201009946 亦即，於以下說明中，上下係指高度方向之位置關係。 又，於以下說明中，所謂「近前」以及「前面」，係指將 被加熱物即基板w(板狀體）取出或放入至熱處理裝置或支 架（rack)上時所使用之移載裝置側之位置，即熱處理裝置 或支架之正面侧。又’將「近前」以及「前面」之相反侧 (熱處理裝置或支架之背面侧）之位置稱為「裏面」或「後 面」。又’於以下說明中，「左右」之位置關係係以自正面 側觀察熱處理裝置或支架之姿勢作為基準。 如圖1所示，熱處理裝置1係藉由熱處理裝置本體1〇而構 成主要部分。又，如圖2所示，熱處理裝置丨包含用以自熱 處理裝置本體10排氣之排氣裝(排氣機構”如圖2或圖 3所示，熱處理裝置本體1〇設為如下構成：包含由具有隔 熱挫之壁面所圍成之空間，且於該空間之内部設有調溫部 (溫度調節部）12、熱處理室13。 調皿邛1 2於内部包含加熱器丨6及鼓風機丨7 ^調溫部12經 由過濾器14而與熱處理室13相_，並與熱處理室13連通。 調溫部12藉由使加熱器16與鼓風機17作動，而將加熱後之 空乳經由過濾器14送入至熱處理室13，從而可將熱處理室 13之室内溫度加熱至特定溫度為止。 處理室13係可配置被加熱物即基板w之空間。熱處理 室13於正面13b(壁面）側、即圖2中之左侧、圖3中之下侧， 具有用以將基板w取出或放人之出人口18。出人_位於 =迷調溫部12對向之位置，且設於自調溫部12吹出之空 氣々_<·之下游側之位置。 139516.doc 201009946 出入口 18如圖1或圖2所示，相對於熱處理室13而朝上下 方向以相等間隔設有複數個（本實施形態中為四個）。更詳 細而言’假定一個虛擬平面p，該虛擬平面p於熱處理室13 之内部空間，如圖2中以兩點鏈線所示，相對於熱處理室 13之底面13a大致平行地通過熱處理室13之高度之大致一 半之位置。並且，以該虛擬平面p為分界，於上下假定有 區域XI、X2(分別相當於區域a、B)時，在位於底面13 a側 之區域XI内，於上下排列而存在兩個出入口 18(以下亦分 別稱為出入口 18a、18b)。又’在相對於區域X1而位於上 方之區域X2内，亦於上下排列而存在兩個出入口 18(以下 亦分別稱為出入口 1 8c、18d)。 於上述出入口 18a〜18d上’以能夠各自單獨作動之方式而 安裝有擋閘（shutter)Sn(n=l〜4之自然數;）。出入口 i8a~18d 呈如下狀態.藉由打開播閘§n，而可使用先前公知之包含 機械手（robot hand)等之移載裝置（未圖示）將基板賈自熱處 理室13取出或放入至熱處理室13。 於熱處理室13之大致中央部，設有用以配置基板w之支 架30。支架3 0設為於上下方向上以每隔特定間隔而排列之 方式配置有多個搁板40之構成。於支架3〇之底部，安裝有 昇降裝置（未圖示）之昇降轴36’藉由昇降軸36之伸縮，支 架30於熱處理室13内上下移動，從而可調節各出入口丨8與 各擱板40之位置關係。 於熱處理室13之底面13a設有排氣口 21。排氣口21設於 熱處理室13之正面13b側，即與出入口丨8側相鄰之位置。 139516.doc -11· 201009946 °排氣裝置 於排氣口 21上經由配管22而連接有排氣裝置i i 11包含先前公知之鼓風機或泵與變流器等，可向熱處理室 13之外側抽吸存在於熱處理室13内之空氣等而進行排氣。 於配管22之中途設有閥23。
本實施形態之熱處理裝置1係採用所謂流水作業 system)者，即，使用機械手等之移載裝置（未圖示），更換 配置在設於熱處理室13内之支架30之擱板40上且煅燒結束 後之基板W、與位於熱處理室13之外部之未煅燒狀態之基 板W ’藉此來連續地實施基板w之煅燒。以下，—昭 圖式，一面對本實施形態之熱處理裝置丨之動作進行詳細 說明。 熱處理裝置1在基板W之煅燒（熱處理）前，藉由未圖示之 控制裝置使加熱器16或鼓風機17作動而將熱風送入至熱處 理室13,以將熱處理室13内之溫度調節為特定之熱處理溫 度。當熱處理室13内之環境溫度達到特定之熱處理溫度 (本實施形態中為230。(：〜250。〔:）時，熱處理裝置！變為可煅 燒基板W之狀態。 ❹ 當如上所述熱處理室13之環境溫度達到熱處理溫度時， 如圖4所示，熱處理裝置丨之控制裝置（未圖示）為了基板| 之取出或放入，而自位於下方者開始依次打開或關閉“ 口 18a〜l8d之擋閘_=1〜4之自然數）。又，控制機構在_ · 閉最上方之擋閘S4之後，以與上述同樣之方式自最下方之 擋閘S1開始依次打開或關閉各擋閘Sn。又，控制裝置於至 各擔間％進行作動之時序之前，使支架30上下移動，以使 139516.doc -12- 201009946 應取出或放入基板W之搁板40到達相當於出入口 18a〜18d 之中變為打開狀態之出入口的位置。 熱處理裝置1可經由出入口 18a〜18d之中藉由擋閘Sn之作 動而變為打開狀態之出入口取出或放入基板1。出入口 18a 18d於為了基板w之取出或放入而分配之時間經過 時，擋閘Sn再次進行作動而變為關閉狀態。其後，下一個 撞閉Sn進打作動，而變為能夠以與上述同樣之方式於整個 特定時間内取出或放入基板贾之狀態。 此處如上所述，於本實施形態之熱處理裝置丨中，各 出入口 18a〜18d係自位於下方者開始依次打開或關閉。因 此，以各出入口 18a〜18d之中存在於區域幻之出入口18&、 ⑽變為打開狀態之時序作為基準而狀之期間a、與以存 在於區域X2之出入〇18c、18d變為打開狀態之時序作為基 準而設;t之期間b係隨著時間之經過而交替到來。於熱處 理裝置1中’係於上述期間a與期間b，切換排氣裝置^之 輸出。 具體而言，於本實施形態中，如圖4所示，於各出入口 中之個變為打開狀態之時序、與於該時序之緊 接著j面其他出人α i 8d變為關閉狀態之時序之間， 設有短暫的待機時間t。又，於本實施形態巾，熱處理裝 置1啟動後，將自相斟於θ曰， 對於取早出入口 18a打開之時序僅提前 上述待機時間t之時鬼扭 s& 序起、至區域XI之出入口 18b變為關閉 狀態為止之期間設宗氐 足為/月間a。同樣地，將自相對於設於 區域X1之出入口 1 g & 8a變為打開狀態之時序僅提前上述待機 139516.doc -13- 201009946 時間t之時序、即設於區域X2之出入口 18d已變為關閉狀態 之時序起、至區域XI之出入口 l8b變為關閉狀態為止之期 間亦設定為期間a。又，相對於設於區域又2之出入口丨8c變 為打開狀態之時序僅提前上述待機時間t之時序、即設於 區域XI之出入口 18b已變為關閉狀態之時序起、至區域幻 之出入口 18d變為關閉狀態為止之期間設定為期間卜。
如圖4所示，熱處理裝置丨於期間a内將排氣裝置n之輸 出設定為…而進行作動。藉此，如圖5所示，於熱處理室 13内之區域乂丨内，靠近出入口 18a、18b之位置之靜壓與熱 處理室13之外部氣壓Po相等或者為外部氣壓p〇以下。'因 此，即使為了基板W之取出或放入而使出入口 i8a、工扑變 為打開狀態，含有生成氣體等之空氣亦不會自熱處理室i3 之内侧向外側汽漏。又，於期間3内，設有出入口…、 18d之區域X2之靜壓高於外部氣壓p〇，出人口心、⑻處 於關閉狀態。因此’於出入口 18c、18d内，不會產生含有 生成氣體等之空氣之洩漏或外部氣體之流入。 万面，熱處理裝置1在期間
力 • 脾併虱哀置i i之 出設定為大於上述pl〇2而進行作動。藉此，如圖5 不僅於熱處理室13内之區咖，而且於區域X2内 靠近出入口 18c、 拉 8d之位置之靜壓亦與熱處理室13之外 ::P。相等或者為外部氣壓p〇以下。因此，即使在則 内為了基板W之取出或放人而使出人〇18。、咖變為打 狀態’含有生成氣體等之空氣亦不會自熱處理室13之内 °卜側以於期間b内’於區域XI内與出入口 18a 139516.doc -14- 201009946 18b相鄰之部分之靜壓低於熱處理室13之外部氣壓Po，出 入口 18a、18b呈關閉狀態。因此，於期間5内，外部氣體 不會自出入口 18a、18b流入至熱處理室13之内側，從而不 會產生熱處理室13内之溫度分布變得不均勻、或者在無法 • 預期之場所產生或附著昇華物等之不良狀況。 • 上述實施形態中，係以使設有變為打開狀態之出入口18 之區域XI、X2之靜壓與外部氣壓Po相等或者為外部氣壓 • Po以下之方式來調節排氣裝置11之輸出，但本發明並不限 定於此。具體而言，當除了區域XI、X2内之靜壓之調節 以外’亦實施有防止生成氣體洩漏之方法，即使區域χι、 X2内之靜壓為稍高於外部氣壓Po之氣壓P1，亦可防止含 有生成氣體等之空氣自熱處理室13洩漏之情形時，亦可以 使設有變為打開狀態之出入口 18之區域XI、幻之靜麼與 氣壓P1相等或者為氣壓？丨以下之方式，來調節排氣裝置u 之輸出。 φ 又’上述熱處理裝置1藉由根據變為打開狀態之出入口 18與排氣口 21之距離而調節排氣裝置^之排氣能力，來防 止含有生成氣體之空氣自熱處理室13洩漏、或者外部氣體 •經由出入口 1 8而流入至熱處理室丨3，除此以外，亦可採用 ，如圖6所不之構成’來作為防止生成氣體之洩漏或外部氣 體之流入之方法。具體而言，於圖6所示之示例中，於出 入口 18與熱處理室13之間，形成有靜壓低於熱處理室门之 内側以及外側之氣壓之低壓區域5〇。更詳細而言，於圖6 所示之示例中’在相對於出入口丨8於上方及下方相鄰之位 139516.doc 201009946 置上設有管狀之低壓區域5〇。在構成低壓區域5〇之壁面、 即與經由出入口〗8而出入之基板w對向之面51 ' 52^，設 有狹縫狀之開口 53、55。因此’當設為如圖6所示之構^ 時，即使為了基板w之取出或放入而打開出入口 18，欲自 熱處理室13向外側洩漏之氣體亦會經由開口 53、乃加以回 收，而不會茂漏至外部。又，自出入口 18向熱處理室⑶則 流動之氣體，亦係於到達至熱處理室13以前吸入至開口 5一3、55 ’而不會滲入至熱處理室13。因此，若除了如上述 實施形態中所說明之排氣機構"之排氣能力之調節以外，· 亦採用如圖6所示之構成，則可更進—步確實地防止含有 生成氣體之氣體自熱處理室13茂漏至外部、或者外部氣體 自外部流入至熱處理室13内而使熱處理室13内之溫度分布 發生紊亂等之不良狀況。 上述實施形態中，係根據自排氣口 21算起之距離而將熱 處理室13内之區域劃分為區域χι、χ2之兩個區域，並且 以設於各區域X1、乂2之出入口 18變為打開狀態之時序作 為基準而設定期間a、b，分別於各期間a、b内調節排氣裝 @ 置U之輸出，但本發明並不限定於此。具體而言，亦可將 熱處理室13内之區域進一步劃分為多個區域χη(η=3以上之 自然數），且對排氣裝置丨丨之輸出進行調節，以使設於多 _ 個區域Χη中之-個區域（區域Α)的出入口18打開時之排I . 裝置11之排氣能力，低於位於較該區域Χη(區域Α)更遠離 排氣口 21之位置的其他區域Χη(區域Β)之出入口 18打開時 之排氣裝置11之排氣能力。當設為該構成時，根據出入口 139516.doc -16- 201009946 18與排氣口 21之距離，排氣裝置丨丨之輸出將分更多階段來 進行切換’從而可對各區域χη之靜壓進行調節，以達到用 以防止含有生成氣體等之空氣自熱處理室13洩漏之最佳狀 態。 如上所述，於熱處理裝置1中，係於熱處理裝置本體1〇 之正面13b s又有出入口 18，且在相對於該出入口 a而相鄰 之位置設有排氣口 21之構成，因此可將欲經由出入口 18而 茂漏至外部之生成氣體等抽吸至排氣口 21侧，從而可確實 地防止生成氣體等之洩漏。再者，排氣口 21理想的是，如 上所述設於與正面13b相鄰之位置，但亦可設於例如熱處 理室13之底面13a之中央部、較其更稍偏靠正面13b側之位 置、調溫部I2内、或偏靠調溫部12側之位置、熱處理室13 之周壁等之適當位置。又，當將排氣口 21設於遠離正面 13b之位置時’亦可設為於靠近正面i3b之位置設置排氣取 入口’且藉由管等而將該排氣取入口與排氣口 21加以連接 之構成。 如上述實施形態中所揭示，於熱處理裝置1中，各出入 口 18以及區域XI、Χ2係於上下方向上排列，且於熱處理 室13之底面13a侧設有排氣口 21，因此存在上方侧之區域 X2内之靜壓高於下方侧之區域X1之傾向。於熱處理室13 内’空氣或生成氣體經加熱而變為高溫，故而處於流向上 方側之傾向，因此當區域X2之靜壓高於外部氣壓p〇時，有 可能防止出入口 18c、18d變為打開狀態時生成氣體產生浪 漏，或者熱能隨著高溫之空氣而洩漏。然而，於本實施形 139516.doc -17· 201009946 態之熱處理裝置1中’係設為位於上方側之區域A之出入口 18打開時，與區域B之出入口 18打開時相比，提高排氣裝 置11之排氣能力。因此，如上所述，可確實地防止含有生 成氣體之空氣自出入口18或區域χι、χ2洩漏。 再者，於上述實施形態中，例示有於左右方向（寬度方 向）上展開之各出入口 18在上下方向（高度方向）上排列之構 成，但本發明並不限定於此，亦可為例如將各出入口 18形 成為在上下方向（高度方向）上展開，且分別在左右方向（寬 度方向）上排列之構成。關於在寬度方向上排列而配置有 各出入口 18之情形時，亦可與上述實施形態中所說明者相 同，設為在各出入口 18排列之方向之一端侧設有排氣口Μ 之構成，並且設為根據自排氣口21算起之距離而假定區域 XI、Χ2，當區域Χ2之出入口 18打開時，與區域幻之出入 口 18打開時相比，提高排氣裝£11之排氣能力。藉由該構 成，於設有開口區域在高度方向上展開之各出入口Η時， 亦可防止含有生成氣體之空氣茂漏至熱處理室！ 3之外側。 上述實施形態中’當各出入口18依次打開或關閉時，於 自先呈打開狀態之出入口 18變為閉止狀態開始、至下一個 出入口㈣為打開狀態為止期間，設置特定之待機時間 卜並且，使成為用以切換排氣襄置u之排氣能力之基準 之期間a、b，相對於區域χι、χ2内出入〇i8a、…變為打 開狀態之時序，提前僅待機時間…時長。因&，於熱處 理裝置1中’可將區域X1、父2内最早打開之出入口…、 18c變為打開狀態為止之期間用於區域幻、χ2之靜壓調 139516.doc -18· 201009946 節。再者，於上述實施形態中，於出入口 j8a〜丨8d中之任 一者變為打開狀態時，待機時間t皆為均等，但本發明並 不限定於此，而亦可設為例如根據需要而適當加以變更， 或者不設置待機時間t之構成。 又，上述實施形態中，係將待機時間t用於進行靜壓調 節，但本發明並不限定於此，而亦可設為在區域 之靜壓達到特定值之前各出入口 18a〜18d不會變為打開狀
態之構成。藉由該構成，可更進一步確實地防止含有生成 氣體等之空氣經由出入口 18而洩漏。 上述實施形態中，係舉出在與排氣裝置丨丨連接之配管22 上設有閥23之示例，但本發明並不限定於此，而亦可不設 置閥23。又，上述排氣裝置^亦可為能夠以任一方法來調 節排氣能力者，可適當採用能夠藉由控制變流器來調節排 氣能力者。 於上述熱處理裝置1中，當設有複數個之出入口 18均為 關閉狀態時，即便使排氣裝置u為停止狀態，生成氣鱧或 昇華物等亦不會自各出入口 18洩漏。又，當各出入口 18均 為關閉狀態時，即使將排氣裝置丨丨之排氣能力調節為進行 冷卻換氣等所必需之最小限度之排氣能力，生成氣體或昇 華物等亦不會自各出入口 18洩漏。同樣地，當各出入口 18 均為關閉狀態時，亦可對排氣裝置丨丨之排氣能力進行調 節，以達到使各出入口 18為打開狀態時之排氣裝置丨丨之排 氣能力中之最小排氣能力（上述實施形態中，區域χι之出 入口 18變為打開狀態時之輸出？1)、或者與其同等程度之 139516.doc -19- 201009946 排氣能力。若如上所述來調節排氣裝置u之輸出，則可將 因排氣機構之動作而消耗 【圖式簡單說明】 量抑制在必要最小限度。 圖圖1係表示本發明之-實施形態之熱處理裝置的立體 圖2係圖1之a — a剖面圖； 圖3係圖1之B- B刮面圖； 圖4係表示圖1所示之熱處理裝置之動作之時序圖 圖5係表示熱處理室内之位置與靜壓 _ 關係之圖表；及 圖ό係表示圖丨所示之熱處理裝置 ^ ^ Λ 茭心例之出入口附近 之構造的放大剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 熱處理裝置 11 排氣裝置（排氣機構） 13 熱處理室 13a 底面 13b 正面（壁面） 21 排氣口 a，b 期間 χ1 區域（區域A) χ2 區域（區域Β) Χη 區域（區域A、Β) 139536.doc -20·