[go: up one dir, main page]

SE529051C2 - Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid - Google Patents

Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid

Info

Publication number
SE529051C2
SE529051C2 SE0502115A SE0502115A SE529051C2 SE 529051 C2 SE529051 C2 SE 529051C2 SE 0502115 A SE0502115 A SE 0502115A SE 0502115 A SE0502115 A SE 0502115A SE 529051 C2 SE529051 C2 SE 529051C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
thickness
coating
hkl
al2o3
Prior art date
Application number
SE0502115A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0502115L (sv
Inventor
Sakari Ruppi
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Priority to SE0502115A priority Critical patent/SE529051C2/sv
Priority to BRPI0603957-0A priority patent/BRPI0603957A/pt
Priority to JP2006260821A priority patent/JP2007125686A/ja
Priority to CZ2006-607A priority patent/CZ305851B6/cs
Priority to KR1020060094189A priority patent/KR101314504B1/ko
Priority to US11/527,711 priority patent/US7993742B2/en
Priority to CN2006101595471A priority patent/CN1939715B/zh
Publication of SE0502115L publication Critical patent/SE0502115L/sv
Publication of SE529051C2 publication Critical patent/SE529051C2/sv
Priority to US13/135,339 priority patent/US20120015148A1/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5031—Alumina
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
    • Y10T428/24372—Particulate matter
    • Y10T428/24413—Metal or metal compound
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y10T428/252—Glass or ceramic [i.e., fired or glazed clay, cement, etc.] [porcelain, quartz, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/266—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension of base or substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

35 529 051 2 hov att få fram tekniker för att styra kärnbildningssteget och tillväxttexturen för d-Al2O3.
Känd teknik Styrningen av a-Al2O3-polymorfen i industriell skala åstad- koms i början av 1990-talet med kommersiella produkter baserade på US patent 5,l37,774. Senare modifikationer av detta patent har an- vänts till utfällning av a-Al203 med föredragna texturer. I US 5,654,035 beskrivs ett aluminiumoxidskikt texturerat i riktningen och i US 5,980,988 i riktningen . I US 5,863,640 visas en föredragen tillväxt antingen längs eller eller . US 6,333,l03 beskriver en modifierad metod för att styra kärnbildning och tillväxt av u-Al2O3 längs riktningen - US 6,869,668 beskriver en metod att erhålla en stark <300>-textur i d-Al2O3 med användning av en texturmodifierande agent (ZrCl4). De kända processerna diskuterade ovan använder alla beläggningstempe- raturer av omkring 1000 °C.
US 2004/002895lAl beskriver en teknik att åstadkomma en utta- lad <0l2>-textur. Den kommersiella framgången för detta slag av produkt demonstrerar betydelsen av att förfina CVD-processen för a-Alfih mot helt styrda texturer.
De vanligen observerade diffraktionstopparna från d-Alfib är (0l2), (104), (ll0), (ll3) (116). Diffraktionstoppen (006) saknas alltid i XRD-mönster från kända texturerade a-Alflh-skikt.
Enligt definitionen i International Tables of Crystallo- graphy, hör a-Al2O3 till det trigonala kristallsystemet och har ett rhombohedriskt centrerat hexagonalt gitter, med rumsgruppsymbolen Ršc. Kristallstrukturen för a-Algh är ofta beskriven som samman- satt av syrejoner (A, B) i ett ungefärligt hcp arrangemang ( ABAB ) med aluminiumanjoner som upptar två tredjedelar av de ok- tahedriska mellanrummen. Aluminiumkatjonerna kan inta tre olika lediga platser i syregittret med staplingssekevensen dßyaßy.. Dessa betecknas vanligtvis ca, cß och cl. Enhetscellen för a-Al2O3 omfat- tar sex skikt av O och Al kan beskrivas på följande sätt: Ac"BcßAcÜBc°AcßBcY.
JPDS-kortet, som hänvisas till senare, nala systemet och följaktligen används fyra axlar (hkil) där i=-(h+k). Ofta är index i utelämnat som görs även i detta fall. och använder det hexago- 10 15 20 25 30 35 40 529 051 3 Syfte med och sammanfattning av uppfinningen Det är ett syfte med föreliggande uppfinning är att förelägga ett förbättrat aluminiumoxidskikt där d-Alflh-fasen består av kärn- bildad d-Al2O3 med en stark, helt styrd <001>-tillväxttextur.
Det har överraskande visat sig att en -textur kan depo- neras på ett styrt sätt. Den kännetecknas i röntgendiffraktions- mönstret av en stark (006)-topp. Aluminiumoxidskiktet med stark <001>-textur överglänser känd teknik med slumpvis eller andra styrda texturer. Dessutom kan ökad seghet erhållas.
Beskrivning av bifogade ritningar och figurer Fig la visar en SEM-bild av en typisk ytmorfologi av skiktet enligt denna uppfinning i 15000x.
Fig 1b visar samma skikt i tvärsnitt i 15000x.
Fig 2 visar ett röntgendiffraktionsmönster av ett d-Al¿b- skikt enligt denna uppfinning för 26=20-70°.
Detaljerad beskrivning av uppfinningen Enligt föreliggande uppfinning föreligger ett belagt skär- verktygsskär omfattande ett substrat och en beläggning att använ- das i metallbearbetning.
Substratet omfattar ett hårdmaterial såsom hårdmetall, cer- mets, keramik, snabbstål eller ett superhårt material såsom kubisk bornitrid (CBN) eller diamant företrädesvis hàrdmetall eller CBN.
Med CBN avses häri en skärverktygsmaterial innehållande åtminstone 40 vol-% CBN. I en föredragen utföringsform är substratet en hård- metall med en bindefasanrikad ytzon.
Den hårda och slitstarka beläggningen är väl vidhäftande till substratet och täcker alla funktionella delar därav. Den är sam- mansatt av ett eller flera refraktära skikt av vilka åtminstone ett skikt är en starkt texturerad a-Alflh utfälld på ett bindeskikt av (Ti,Al)(C,O,N) med ökande aluminiuminnehåll mot ytterytan och har en tjocklek av av 5-40 um, företrädesvis 5-25 pm. d-Al2O3-skik- tet med en tjocklek av från omkring 1 till 40 um, företrädesvis från 1 till 20 pm, helst från 1 till 10 um, är sammansatt av ko- lumnära korn med en stark -textur. Längd/bredd-förhållandet för aluminiumoxidkornen är från 2 till 15, företrädesvis 5-10.
Skiktet kännetecknas av en stark (006)-diffraktionstopp, mätt med användning av röntgendiffraktion, och av låg intensitet för (012), (104), (113), (024) (116) och diffraktionstopparna. 10 15 20 25 30 35 529 051 4 Texturkoefficienterna (TC) för a-Alfih-skiktet bestäms på föl- jande sätt: nhki) i nhkl) -l Tcmkl) I 10mm) in Zïomkifl _ där I(hkl) = intensitet för (hkl)-reflexen Io(hkl) = standardintensitet enligt JCPDS kort Nr 46-1212 n = antal reflexer använda i beräkningen använda (hkl)-reflexer är: (012), (104), (110), (006), (113) och (116). Reflexen (024) som är andra ordningens reflex av (012), tas ej med i beräkningen.
Texturen av aluminiumoxidskiktet definieras på följande sätt: TC(006)>1,4, företrädesvis >3,0 och helst >4,0. Detta är en manifestation av en stark -textur. (012), (104), (113), (024) och (116) diffraktionstopparna är mindre än 0,5, företrädesvis mindre än 0,2 och helst mindre än 0,1.
Texturkoefficienter för Mera speciellt omfattar beläggningen ett första skikt närlig- gande substratet av CVD Ti(C,N), CVD TiN, CVD TiC, MTCVD Ti(C,N), MTCVD Zr(C,N), MTCVD Ti(B,C,N), CVD HfN eller kombinationer därav företrädesvis av Ti(C,N) med en tjocklek av från 1 till 20 pm, fö- reträdesvis från 1 till 10 pm. Företrädesvis finns det ett mellan- liggande skikt av TiN mellan substratet och sagda första skikt med en tjocklek av <3 pm, företrädesvis 0,5-2 pm.
I en utföringsform är d-Alfih-skiktet är det översta skiktet.
I en annan utföringsform finns det ett skikt av karbid, nit- rid, karbonitrid eller oxykarbonitrid av en eller flera av Ti, Zr och Hf, med en tjocklek av från omkring 0,5 till 3 pm, företrädes- vis 0,5 till 1,5 pm ovanpå a-A120;-skiktet. Alternativt har detta en tjocklek av från omkring 1 till 20 pm, företrädesvis 2 till 8 pm.
I ytterligare en utföringsform omfattar beläggningen ett skikt av K-Al2O3 och/eller y-Al2O3 företrädesvis ovanpå a-Al2O3 med en tjocklek av från 0,5 till 10, företrädesvis från 1 till 5, pm.
Föreliggande uppfinning även avser en förfinad metod att pro- ducera texturerade a-Al2O3-skikt i ett temperaturintervall av 950- 1000 °C, företrädesvis vid 1000 °C med en styrd <00l>-textur. a- Al2O3-skiktet utfälls på ett bindeskikt av (Ti,Al)(C,O,N) med 10 15 20 25 30 35 529 051 5 ökande aluminiuminnehåll mot ytterytan. Ovanpå detta skikt utfälls ett Ti(C,O)-skikt med styrd O-halt. Ett mycket tunt titanoxidkärn- bildningsskikt erhålls på liknande sätt som används i ALD (Atomla- gerutfällning). Proceduren är enligt följande: (i) exponering av en första förelöpare TiCl4, företrädesvis tillsammans med AlCl@ (ii) rening (N2), (iii) exponering av den andra förelöparen (H20), (iv) rening (N2). Tiden för stegen (i) och (iii) är 1-5 min, före- trädesvis 2 min vardera och av stegen (ii) och (iv) 2-10 min, fö- reträdesvis 5 min vardera. Beläggningen med a-Al2O3 startas med ett relativt långt 30-120 min, företrädesvis 60 min, kärnbildningssteg utan svavel- eller fluor-innehållande föreningar. a-Al2O3 växes till dess önskad tjocklek med användning av svavel-haltiga före- ningar H2S eller SO2, företrädesvis H25, tillsammans med fluorhal- tiga föreningar SF6 eller HF, företrädesvis SF6. När a-Al2O3 är kor- rekt kärnbildad, följd av beläggningsprocess med användning av re- lativt låga mängder av dessa dopmedel tillsammans med CO+CO2 gas- blandning CO=2xCO2 kan en stark -tillväxttextur erhållas på ett styrt sätt. Viktig skillnad jämfört med känd teknik är att texturen är styrd, förutom kärnbildningsproceduren, även under tillväxten av själva d-Al2O2. Den beskrivna texturen kan inte fås om inte både kärnbildning och tillväxt är korrekt styrda. Detta är en möjlig förklaring till det faktum att <0o1>-texturen [(006) diffraktionstopp)] har varit okänd hittills.
Detaljerad beskrivning av kärnbildningsstegen 1. Deponering ett bindeskikt 0,1-l pm tjockt i en gasbland- ning av 2-3 % TiCl4 och AlCl3 ökande från 0,5 till 6 %, 3-10 % CO, 1-3 % CO2, 0,2-1,0 % CH3CN, 0,2-1,0 %, 2-10 % N2 och rest H2 vid omkring 750-1000 °C, företrädesvis vid 800 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar. 2. Rening med N2 i 5 min. 3. Behandling av bindeskiktet i en gasblandning av 5-15 % TiCl4 och 5-20% CO, 0,5-3% CO2 och 10-20% Ar i väte i 5-15, före- trädesvis 10, minuter vid 950-1000 °C, företrädesvis vid 1000 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar. 4. Rening med N2 i 5 min. 5. Behandling av bindeskiktet i en gasblandning av 8-15% TiCl4 och 0,5-2 % AlCl3 i väte i 5-15 min vid 950-1000 °C, företrä- desvis vid 1000 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar. 10 15 20 25 30 35 40 529 051 6 6. Behandling i en gasblandning av 0,05 till 0,5% H20, före- trädesvis 0,01%, rest H2. 7. Rening med N2 i 5 min. 8. Kärnbildning av aluminiumoxidskiktet vid en temperatur av 950-l000°C med önskad tjocklek enligt känd teknik eller depone- ring av ett aluminiumoxidskikt vid 950-lO00°C utan någon katalyse- rande förelöpare. 9. Utfällning av aluminiumoxidskiktet till den önskade tjockleken vid 950-l000°C vid beläggningstryck 50-200 mbar med an- vändning av 0,01-0,05% H2S eller S02, företrädesvis H28 och 0,01- 0,02 % C02 l,0-4,5% används som syredonator tillsammans med CO, med upp- rätthàllande av CO=2xC02.
SF6 eller HF, företrädesvis SF6, som katalyserande agenter.
Exempel l Hårdmetallskär med en sammansättning av 5,9% Co och som rest WC (hårdhet omkring 1600 HV) belades med ett skikt av MTCVD Ti(C,N). Tjockleken av MTCVD-skiktet var omkring 2 um. På detta skikt utfälldes ett a-Al2O3-skikt bestående av omkring 10 um Q-AlzO3 enligt denna uppfinning betecknat Beläggning a). cessdata ges nedan: Detaljerade pro- Steg l: Bindeskikt l Gasblandning TiCl4 = 2,8% CH3CN = 0,7% AlCl3 = ökande från 0,8 till 5,4% CO = 8,8% C02 = 2,2 % N2 = 5% Balans: H2 Tid 40 min Temperatur 1000 °C Tryck 100 mbar Steg 2: N2-rening Steg 3: Bindeskikt 2 Gasblandning TiCl4 = 8 o\° 10 15 20 25 30 35 40 529 051 7 CO =12% C02 = 1,2 % Ar = 5% Balans: H2 Tid 10 min Temperatur 1000 °C Tryck 100 mbar Steg 3: (ALD-steg): a)TiCl4 behandling b) N2-rening C) H20'be' handling d) N2-rening a) TiC14=9% AlCl3=l% H2=balans 5 min c) H2O=O,l% H2= balans 2 min b, d) N2=lOO% 5 min Temperatur 1000°C Tryck 50 mbar Steg 4: Kärnbildningssteg Gasblandning AlCl3 = 1,2 % HCl = 2,0 % C02 = 1,5 % CO = 2,4% Balans H2 Tid 60 min Temperatur lO0O°C Tryck 50 mbar Steg 5: Beläggning Gasblandning AlCl3 = 2,8% HCl = 3 % C02 = 1 8% I 10 15 20 25 529 051 8 CO = 3,6% H23 = 0,01% SF6 = 0,01% Balans: H2 Tid 630 min Temperatur 1000°C Tryck 70 mbar Exemgel 2 Beläggning a) studerades med användning av röntgendiffrak- tion. Texturkoefficienterna för a-Alflh-skiktet bestämdes och pre- senteras i Tabell l. Ett SEM mikrofoto av Beläggning a) i toppvy med <0O1>-textur visas i Fig la och i tvärsnitt i Fig lb. d-Al2O3 skikt var sammansatt av kolumnära korn. Röntgendiffraktogrammet visas i Fig. 2.
Tabell 1 hkl Beläggning a) 012 0,01 104 0,06 110 0,01 006 5,91 113 0,00 116 0,02 Exempel 3 Som referenser utfälldes beläggningar b) och c) med <012>- och -texturer enligt känd teknik (beläggningstjocklek omkring 10 pm). Beläggningarna studerades med användning av röntgendiff- raktion. Texturkoefficienterna för a-Alflh skikt bestämdes och pre- senteras i Tabell 2.
Tabell 2. hkl Beläggning a), Beläggning b) Beläggning c) uppfinning 012 0,03 5,15 0,16 104 0,06 0,13 4,27 110 0,01 0,10 0,08 600 5,88 0,00 0,09 113 0,00 0,18 0,66 10 15 20 25 30 529 051 116 0,02 0,44 0,74 Exempel 4 Beläggning a), b) och c) utfällda på Co-anrikade substrat provades med avseende på seghet i längdsvarvning med intermittenta ingrepp.
Arbetsstycke: Cylindrisk spårad stång SSl672 CNMG120408-M3 Skärhastighet: 140 m/min 0,1, 0,125, 0,16, 0,20, 0,25, 0,315, 0,4, 0,5, 0,63, 0,8 mm/varv gradvis ökad efter 10 mm längd av ingrepp Skärdjup: 2,5 mm Material: Skärtyp: Mätning: Anmärkning: torrsvarvning Livslängdskriterier: Gradvis ökad matning till eggbrott. 10 eggar av vardera varianten provades.
Skären inspekterades efter 2 och 4 minuters användning. Som är klart från Tabell 3 är eggsegheten betydligt förbättrad när skiktet var framställt enligt denna uppfinning.
Tabell 3 Experimentell beläggning Medelmatning vid brott (mm/Varv) Beläggning a (006), enligt upp- 0,50 finningen Beläggning b (012) 0,22 Beläggning c (104) 0,36 Provresultatet visar (Tabell 3) att beläggning enligt uppfin- ningen (Beläggning a) uppvisar klart bättre seghetsbeteende än känd teknik (Beläggningar b och c).
Exempel 5 Beläggningarna a), b) och c) provades med avseende pà eggur- flisning i längdsvarvning i gjutjärn.
Arbetsstycke: Cylindrisk stång Material: SS0130 Skärtyp: SNUN 10 15 20 25 30 529 051 10 Skärhastighet: 400 m/min Mätning: 0,4 mm/varv Skärdjup: 2,0 mm Anmärker: torrsvarvning Skären inspekterades efter 2 och 4 minuters användning. Som är klart från Tabell 4 är eggsegheten av den tidigare kända pro- dukten betydligt förbättrad när beläggningen framställdes enligt denna uppfinning.
Tabell 4 Flagning av egglinjen Flagning av egglinjen (%) efter 2 minuter (%) efter 4 minuter Beläggning a, Uppfin- 0 5 ning Beläggning b O » 18 Beläggning c 5 10 Exempel 6 Skär av kubisk bornitrid poly-kristallin CBN (CBN) (PCBN) belades enligt denna uppfinning och en- ligt känd teknik, beläggning b). Den belagda CBN jämfördes med obelagda CBN-skär vid bearbetning av stål innehållande ferrit. Det är känt att B har en hög affinitet till ferrit och diffusionsför- slitning uppstår vid höga skärhastigheter. innehållande omkring 90 % Arbetsstycke: Cylindrisk stång Material: SS0130 Skärtyp: SNUN Skärhastighet: 800 m/min Mätning: 0,4 mm/varv Skärdjup: 2,5 mm Anmärkning: torrsvarvning Tabell 5 Livslängd (min) Belagd CBN, Uppfinning 23 Belagd CBN, känd teknik, 012 textur 14 Obelagd CBN 9 Som är tydligt av tabell 5 är beläggningen enligt denna upp- finning överlägsen känd teknik. 529 051 11 Exemgel 7 Hårdhet och E-modul för beläggningarna a) - c) tillsammans med K-Al2O3 och äldre känd a-Al2O3 mättes med användning av nanoin- tryck. Resultaten visas i Tabell 6.
Tabell 6 Hårdhet (GPa) E-modul (GPa) Beläggning a 28,92 444,42 Beläggning b 27,31 419,53 Beläggning c 28,81 441,17 Känd teknik a-Al2O3 25,79 385,45 (ingen textur) k-AlzOg 23,64 339,51 Beläggning a) enligt uppfinningen visar det högsta värdet på hårdhet och E-modul, nära följd av beläggning c).

Claims (9)

10 15 20 25 30 35 529 051 12 Krav
1. Skärverktygsskär bestående av ett substrat åtminstone del- vis belagt med en beläggning med en total tjocklek av 5-40 pm, fö- reträdesvis 5-25 pm, bestående av ett eller flera refraktära skikt av vilka åtminstone ett skikt är ett a-aluminiumoxidskikt k ä n n e t e c k n a t av att aluminiumoxidskiktet, som är ut- fällt på ett bindeskikt av (Ti,Al)(C,O,N) nehåll mot ytterytan och med en tjocklek av från omkring 1 till 40 pm, företrädesvis från 1 till 20 pm, helst från 1 till 10 pm, be- står av kolumnära u-Al2O3-korn med ett längd/bredd-förhållande från 2 till 15, företrädesvis 5 till 10, varvid aluminiumoxidskiktet har en föredragen <001>-tillväxtriktning med texturkoefficienter med ökande aluminiumin- a) TC(006) >1,4, turkoefficienter för företrädesvis >3,0 och helst >4,0 samt tex- (012), (104), (113), (024) (116) företrädesvis mindre än 0,2 och helst och är mindre än 0,5, mindre än 0,1 varvid texturkoefficienten TC(hkl) definieras som I(hkl 1 kl -1 Whkl) = Tämä (5 z%fifi) där I(hkl) = uppmätt intensitet av (hkl)-reflexen Io(hkl) = standardintensitet enligt JCPDS kort nr 46-1212 n = antal reflexer använda i beräkningen (hkl) reflexer som används är: (012), (104), (006), (113) (116).
2. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att substratet omfattar hàrdmetall fö- reträdesvis med en bindefasanrikad ytzon, CBN eller sintrad CBN legering. (110), och
3. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att beläggningen omfattar ett första skikt närliggande kroppen av CVD Ti(C,N), CVD TiN, CVD TiC, MTCVD Ti(C,N), MTCVD Zr(C,N), MTCVD Ti(B,C.N), CVD HfN eller kombinatio- ner därav företrädesvis av Ti(C,N) med en tjocklek av från 1 till 20 pm, företrädesvis från 1 till 10 pm. 10 15 20 25 30 35 40 529 051 13
4. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att a-A12O3-skiktet är det översta skik- tet.
5. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att ett skikt av karbid, nitrid, karbo- nitrid eller oxykarbonitrid av en eller flera av Ti, Zr och Hf, med en tjocklek av från omkring 0,5 till 3 pm, företrädesvis 0,5 till 1,5 pm, ovanpå d-Alfih-skiktet.
6. Skär enligt något av kraven 1-4 k ä n n e t e c k n a t av ett skikt av karbid, nitrid, karbonitrid eller oxykarbonitrid av en eller flera av Ti, Zr och Hf med en tjocklek av från omkring 1 till 20 pm, företrädesvis 2 till 8 pm ovanpå a-Algh-skiktet.
7. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av ett skikt av K-A120; eller y-Al2O3 ovanpå a-Al2O3 med en tjocklek av från 0,5 till 10 pm, företrädesvis från 1 till 5 pm.
8. Skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av ett skikt av TiN mellan substrat och första skikt med en tjocklek av <3 pm, företrädesvis 0,5-2 pm.
9. Sätt utfälla ett d-Algh-skikt i ett temperaturintervall av 950-1000°C vid framställning av ett belagt skärverktygsskär enligt krav 1 k ä n n e t e c k n a t av följande steg - utfällning av ett 0,1-1 pm tjockt bindeskikt i en gasbland- ning av 2-3 % TiCl4 och AlCl3 ökande från 0,5 till 6 %, 3-10 % CO, 1-3 % CO2, 0,2-1,0% CH3CN, 2-10 % N2 och rest H2 vid omkring 750- 1000 °C, företrädesvis vid 800 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar, - rening med N2 i 5 min, - behandling av bindeskiktet i en gasblandning av 5-15 TiCl4 och 5-20% CO, 0,5-3% C02 och 10-20% Ar i väte i 5-15, före- trädesvis 10, minuter vid 950-1000 °C, företrädesvis vid 1000 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar, - rening med N2 i 5 min, - behandling av bindeskiktet i en gasblandning av 8-15% TiC14 och 0,5-2 % A1Cl3 i väte i 5-15 min vid 950-1000 °C, företrädesvis vid 1000 °C och vid ett tryck av 50-200 mbar, - behandling i en gasblandning av 0,05 till 0,5% H20, företrä- desvis 0,01%, rest H2, o\° - rening med N2 i 5 min, - kärnbildning av aluminiumoxidskiktet vid en temperatur av 950-l000°C med önskad tjocklek enligt känd teknik eller deponering 529 051 14 av ett aluminiumoxidskikt vid 950-lOOO°C utan någon katalyserande förelöpare samt, - utfällning av aluminiumoxidskiktet vid en temperatur av 950-lO0O°C till den önskade tjockleken vid 950-l0OO°C vid belägg- ningstryck 50-200 mbar med användning av 0,01-0,05% H28 eller S02, företrädesvis H28 och 0,0l-0,02 % SFS eller HF, företrädesvis SF6 som katalyserande agenter. C02 1,0-4,5% används som syredonator tillsammans med CO, med upprätthållande av CO=2xCO2.
SE0502115A 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid SE529051C2 (sv)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0502115A SE529051C2 (sv) 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid
BRPI0603957-0A BRPI0603957A (pt) 2005-09-27 2006-09-25 camada de alumina com textura aperfeiçoada
JP2006260821A JP2007125686A (ja) 2005-09-27 2006-09-26 強化組織を有するアルミナ層
CZ2006-607A CZ305851B6 (cs) 2005-09-27 2006-09-27 Aluminová vrstva se zlepšenou texturou
KR1020060094189A KR101314504B1 (ko) 2005-09-27 2006-09-27 α-알루미나 층을 포함하는 절삭 공구 인서트 및 α-알루미나 층의 제조 방법
US11/527,711 US7993742B2 (en) 2005-09-27 2006-09-27 Alumina layer with enhanced texture
CN2006101595471A CN1939715B (zh) 2005-09-27 2006-09-27 具有加强织构的氧化铝层
US13/135,339 US20120015148A1 (en) 2005-09-27 2011-07-01 Alumina layer with enhanced texture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0502115A SE529051C2 (sv) 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0502115L SE0502115L (sv) 2007-03-28
SE529051C2 true SE529051C2 (sv) 2007-04-17

Family

ID=37930325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0502115A SE529051C2 (sv) 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7993742B2 (sv)
JP (1) JP2007125686A (sv)
KR (1) KR101314504B1 (sv)
CN (1) CN1939715B (sv)
BR (1) BRPI0603957A (sv)
CZ (1) CZ305851B6 (sv)
SE (1) SE529051C2 (sv)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2570511B2 (en) † 2011-09-16 2025-08-06 Walter AG Grain boundary engineered alpha-alumina coated cutting tool

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4946333B2 (ja) * 2006-10-10 2012-06-06 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
SE531929C2 (sv) * 2007-07-13 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för svarvning av stål eller rostfritt stål
SE531938C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-15 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för fin till medelgrov svarvning av rostfria stål
SE531670C2 (sv) * 2007-02-01 2009-06-30 Seco Tools Ab Texturerat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE532023C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-29 Seco Tools Ab Texturhärdat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE531930C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för medelgrov till grov svarvn ing av rostfria stål och varmhållfasta legeringar
SE532020C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532021C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab CVD belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532043C2 (sv) * 2007-10-10 2009-10-06 Seco Tools Ab CVD-belagt skär för fräsning samt tillverkningsmetod
GB2455993B (en) * 2007-12-28 2012-09-05 Hauzer Techno Coating Bv A corrosion resistant coated article
WO2009107648A1 (ja) * 2008-02-27 2009-09-03 京セラ株式会社 表面被覆部材および切削工具
SE532047C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av gjutjärn
SE532050C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532048C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532049C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE533154C2 (sv) * 2008-12-18 2010-07-06 Seco Tools Ab Förbättrat belagt skär för grov svarvning
SE533972C2 (sv) * 2009-07-27 2011-03-15 Seco Tools Ab Finkornigt belagt hårdmetallskärverktygsskär för svarvning i härdat stål och verktygsstål
KR101808572B1 (ko) * 2009-11-20 2017-12-13 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 단결정 사파이어 제조용 α-알루미나
JP5555835B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
JP5555834B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたミーリング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
EP2395126A1 (en) 2010-06-08 2011-12-14 Seco Tools AB Textured alumina layer
EP2446988A1 (en) * 2010-10-29 2012-05-02 Seco Tools AB Cutting tool insert with an alpha-alumina layer having a multi-components texture
WO2012079769A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Seco Tools Ab Coated cubic boron nitride tool for machining applications
US8507082B2 (en) 2011-03-25 2013-08-13 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
DE102011053705A1 (de) * 2011-09-16 2013-03-21 Walter Ag Schneideinsatz und Verfahren zu dessen Herstellung
ES2567039T5 (es) * 2011-09-16 2019-07-03 Walter Ag Herramienta de corte revestida con alúmina alfa que contiene azufre
EP2604720A1 (en) 2011-12-14 2013-06-19 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool and method of manufacturing the same
CN103173761B (zh) * 2011-12-23 2015-08-19 株洲钻石切削刀具股份有限公司 改善涂层结构的切削刀具及其制备方法
JP5757232B2 (ja) * 2011-12-26 2015-07-29 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP5783061B2 (ja) * 2012-01-23 2015-09-24 三菱マテリアル株式会社 高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
PL2628822T3 (pl) * 2012-02-15 2016-04-29 Picosun Oy Elementy łożysk i łożyska izolowane elektrycznie
BR102014015836B1 (pt) 2013-06-27 2022-01-25 Sandvik Intellectual Property Ab Ferramenta de corte revestida
ES2586479T3 (es) 2014-01-30 2016-10-14 Walter Ag Herramienta de corte recubierta con alúmina con límites de grano de alúmina en zigzag
WO2015114049A1 (en) 2014-01-30 2015-08-06 Sandvik Intellectual Property Ab Alumina coated cutting tool
RU2704949C2 (ru) * 2014-12-19 2019-10-31 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Режущий инструмент с хогф-покрытием
WO2017037798A1 (ja) * 2015-08-28 2017-03-09 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
CN106856660B (zh) * 2015-10-09 2019-05-28 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
JP6047268B1 (ja) * 2015-10-09 2016-12-21 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
WO2017061059A1 (ja) 2015-10-09 2017-04-13 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
KR102107879B1 (ko) * 2015-10-09 2020-05-07 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구
WO2017141797A1 (ja) * 2016-02-18 2017-08-24 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
EP3263743A1 (en) 2016-06-29 2018-01-03 Sandvik Intellectual Property AB Cvd coated cutting tool
CN107557755B (zh) * 2016-07-01 2020-05-01 山特维克知识产权股份有限公司 具有{0 0 1}织构化κ-Al2O3层的CVD涂层切削工具
KR101687142B1 (ko) 2016-07-20 2016-12-15 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP6635340B2 (ja) * 2016-08-24 2020-01-22 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6210346B1 (ja) * 2016-11-02 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210347B1 (ja) 2016-11-04 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210348B1 (ja) * 2016-11-08 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
KR102531798B1 (ko) * 2017-01-26 2023-05-11 발터 악티엔게젤샤프트 피복 절삭 공구
US10865476B2 (en) * 2017-03-23 2020-12-15 Kennametal Inc. Control and characterization of texture in CVD α-Al2O3 coatings
JP6999383B2 (ja) * 2017-11-29 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN108411279B (zh) * 2018-03-30 2019-07-09 华中科技大学 一种高速钢刀具保护涂层的制备方法
KR102728353B1 (ko) * 2018-06-28 2024-11-08 에이비 산드빅 코로만트 피복 절삭 공구
JP6999585B2 (ja) * 2019-01-18 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP7055761B2 (ja) 2019-02-15 2022-04-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6876278B2 (ja) * 2019-05-14 2021-05-26 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN113840948A (zh) 2019-05-21 2021-12-24 肯纳金属公司 定量织构化多晶涂层
CN110541102A (zh) * 2019-08-30 2019-12-06 广东技术师范大学 一种直接涂覆cbn涂层的涂层梯度硬质合金刀具及其制备方法
EP3848484A3 (en) 2020-01-10 2021-09-15 Sakari Ruppi Improved alumina layer deposited at low temperature
EP3848485A1 (en) 2020-01-10 2021-07-14 Sakari Ruppi Improved alpha alumina layer deposited with controlled textures
CN117836464A (zh) 2021-08-30 2024-04-05 肯纳金属公司 表面涂覆的切削工具
CN114289745B (zh) * 2021-12-29 2023-08-08 厦门钨业股份有限公司 一种切削工具
KR102425215B1 (ko) 2022-03-08 2022-07-27 주식회사 와이지-원 피복 절삭공구 및 그 코팅층 형성방법

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69007885T2 (de) * 1989-07-13 1994-07-28 Seco Tools Ab Mit mehreren Oxiden beschichteter Karbidkörper und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE4110005A1 (de) * 1991-03-27 1992-10-01 Krupp Widia Gmbh Verbundkoerper, verwendung des verbundkoerpers und verfahren zu seiner herstellung
US5275882A (en) * 1992-02-03 1994-01-04 General Electric Company Method for improving adhesion of aluminum layers to thermoplastics and article
SE501527C2 (sv) * 1992-12-18 1995-03-06 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE502174C2 (sv) * 1993-12-23 1995-09-04 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE504968C2 (sv) * 1994-11-15 1997-06-02 Sandvik Ab Metod att belägga ett skärverktyg med ett skikt av alfa-Al2O3
SE514181C2 (sv) * 1995-04-05 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn
SE509560C2 (sv) * 1996-09-06 1999-02-08 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär för bearbetning av gjutjärn
JP3678924B2 (ja) * 1998-11-05 2005-08-03 日立ツール株式会社 酸化アルミニウム被覆工具
US6139922A (en) * 1999-05-18 2000-10-31 Gelest, Inc. Tantalum and tantalum-based films formed using fluorine-containing source precursors and methods of making the same
SE519339C2 (sv) * 2000-11-22 2003-02-18 Sandvik Ab Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och sätt att tillverka detsamma
SE522736C2 (sv) * 2001-02-16 2004-03-02 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg och metod för att framställa detsamma
US6733874B2 (en) * 2001-08-31 2004-05-11 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated carbide alloy cutting tool
SE525581C2 (sv) * 2002-05-08 2005-03-15 Seco Tools Ab Skär belagt med aluminiumoxid framställt med CVD
JP2004188500A (ja) * 2002-06-28 2004-07-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
US7531212B2 (en) * 2002-08-08 2009-05-12 Kobe Steel, Ltd. Process for producing an alumina coating comprised mainly of α crystal structure
JP2004284003A (ja) * 2003-02-28 2004-10-14 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
SE526526C3 (sv) * 2003-04-01 2005-10-26 Sandvik Intellectual Property Sätt att belägga skär med A1203 samt ett med A1203 belagt skärverktyg
JP2004299021A (ja) * 2003-04-01 2004-10-28 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
EP1477581A1 (en) * 2003-05-10 2004-11-17 Seco Tools Ab Enhanced alumina layer produced by CVD
SE526602C2 (sv) * 2003-10-27 2005-10-18 Seco Tools Ab Belagt skär för grovsvarvning
JP2005238437A (ja) * 2004-01-27 2005-09-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2005313242A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2570511B2 (en) † 2011-09-16 2025-08-06 Walter AG Grain boundary engineered alpha-alumina coated cutting tool

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070035454A (ko) 2007-03-30
CN1939715A (zh) 2007-04-04
KR101314504B1 (ko) 2013-10-07
CN1939715B (zh) 2010-06-23
US7993742B2 (en) 2011-08-09
SE0502115L (sv) 2007-03-28
CZ2006607A3 (cs) 2008-02-27
CZ305851B6 (cs) 2016-04-13
BRPI0603957A (pt) 2007-08-21
JP2007125686A (ja) 2007-05-24
US20070104945A1 (en) 2007-05-10
US20120015148A1 (en) 2012-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE529051C2 (sv) Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid
US5705263A (en) Coated cutting tool
EP1905870A2 (en) Alumina layer with enhanced texture
US5915162A (en) Coated cutting tool and a process for the production of the same
US7163735B2 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
US6869668B2 (en) α-alumina coated cutting tool
US5766782A (en) Aluminum oxide coated cutting tool and method of manufacturing thereof
SE528430C2 (sv) Med aluminiumoxid belagt skärverktygsskär samt metod att framställa detta
US6713172B2 (en) Oxide coated cutting tool
SE528431C2 (sv) Med aluminiumoxid belagt skärverktygsskär samt metod att framställa detta
KR101104493B1 (ko) 절삭공구 또는 내마모성 공구용 표면 피복 박막
IL182344A (en) Cutting with a ceramic coating
IL160911A (en) Oxide coated cutting tool and method for the preparation thereof
KR20110083633A (ko) 코팅된 공구 및 코팅된 공구의 제조 방법
SE528432C2 (sv) Med aluminiumoxid belagt skärverktygsskär samt metod för att framställa detta
SE531670C2 (sv) Texturerat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
EP3607110A1 (en) Coated cutting tool
WO2014153324A1 (en) COATED BODY WHEREIN THE COATING SCHEME INCLUDES A COATING OF LAYER OF TiAL2O3 AND METHOD OF MAKING THE SAME
KR100600573B1 (ko) 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재
Haubner et al. Novel high-performance CVD coatings for machining applications
IL149884A (en) Oxide coated cutting tool
EP1477581A1 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
KR100587965B1 (ko) 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 부재용 박막
KR100832868B1 (ko) 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 부재용 박막
KR20240110940A (ko) 중온 cvd 알파 알루미나 코팅

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed