RU2011108222A - Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка - Google Patents
Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011108222A RU2011108222A RU2011108222/28A RU2011108222A RU2011108222A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A RU 2011108222/28 A RU2011108222/28 A RU 2011108222/28A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A RU 2011108222 A RU2011108222 A RU 2011108222A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- content
- total leakage
- process chamber
- measured
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 56
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims abstract 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract 28
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract 11
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims abstract 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 abstract 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
1. Способ определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами: ! - прекращение подачи технологического газа к технологической камере (10), ! - подача несущего газа в технологическую камеру (10), перекачивание несущего газа и газа утечки посредством насосного устройства (16), ! - измерение содержания газового компонента перекачиваемого газа и ! - определение совокупной утечки вакуумной установки на основании измеренного содержания газового компонента. ! 2. Способ по п.1, в котором несущий газ подают в технологическую камеру (10) с постоянным известным расходом. ! 3. Способ по п.1, в котором содержание газового компонента измеряют в об.%. ! 4. Способ по п.1, в котором в качестве несущего газа используют инертный газ и/или измеряют содержание кислорода. ! 5. Способ по п.1, в котором в зависимости от установленного верхнего предела совокупной утечки не происходит запуск установки для производства при превышении верхнего предела. ! 6. Способ по п.5, в котором при установке верхнего предела совокупной утечки или при определении совокупной утечки учитывают составные части технологического газа и/или выделяющиеся при процессе газы. ! 7. Способ по п.6, в котором учтенные технологические газы являются кислородом и/или горючими газами. ! 8. Способ по п.1, в котором способ выполняют с регулярными интервалами и/или, прежде всего, перед каждым стартом процесса. ! 9. Способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами: ! -
Claims (18)
1. Способ определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- прекращение подачи технологического газа к технологической камере (10),
- подача несущего газа в технологическую камеру (10), перекачивание несущего газа и газа утечки посредством насосного устройства (16),
- измерение содержания газового компонента перекачиваемого газа и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основании измеренного содержания газового компонента.
2. Способ по п.1, в котором несущий газ подают в технологическую камеру (10) с постоянным известным расходом.
3. Способ по п.1, в котором содержание газового компонента измеряют в об.%.
4. Способ по п.1, в котором в качестве несущего газа используют инертный газ и/или измеряют содержание кислорода.
5. Способ по п.1, в котором в зависимости от установленного верхнего предела совокупной утечки не происходит запуск установки для производства при превышении верхнего предела.
6. Способ по п.5, в котором при установке верхнего предела совокупной утечки или при определении совокупной утечки учитывают составные части технологического газа и/или выделяющиеся при процессе газы.
7. Способ по п.6, в котором учтенные технологические газы являются кислородом и/или горючими газами.
8. Способ по п.1, в котором способ выполняют с регулярными интервалами и/или, прежде всего, перед каждым стартом процесса.
9. Способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- измерение содержания газового компонента во время рабочего процесса и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основе измеренного содержания газового компонента и расхода технологического газа.
10. Способ по п.9, в котором измеряют газовый компонент кислород и/или содержание водорода в технологическом газе известно.
11. Способ по п.9, в котором содержание кислорода измеряют в об.% и/или содержание водорода измеряют в об.%.
12. Способ по п.9, в котором при превышении первого предельного значения генерируют предупредительный сигнал и/или при превышении второго предельного значения происходит автоматическое выключение вакуумной установки.
13. Способ по п.9, в котором содержание газового компонента определяют за насосным устройством (16) по направлению потока.
14. Способ цикличного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.1-8, в котором во время производственного процесса дополнительно выполняют способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.9-13.
15. Вакуумная установка, в которой предусмотрена возможность выполнения способа по одному из пп.1-14, с
- технологической камерой (10),
- соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16).
- расположенным после технологической камеры (10) по направлению потока датчиком (22) для определения содержания газового компонента и
- соединенным с датчиком (22) анализирующим устройством (26) для определения совокупной утечки (16).
16. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся тем, что датчик расположен в отводе (20), прежде всего в байпасе соединенного с выпуском насосного устройства (16) трубопровода (18).
17. Вакуумная установка по п.15 или 16, отличающаяся расположенным за насосным устройством (16) по направлению потока устройством (19) очистки отходящих газов, перед которым установлен датчик (22).
18. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся соединенным с насосной камерой устройством (28, 30) подачи несущего газа.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102008037058.4 | 2008-08-08 | ||
| DE102008037058A DE102008037058A1 (de) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage sowie eine Vakuumanlage |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011108222A true RU2011108222A (ru) | 2012-09-20 |
Family
ID=41262295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011108222/28A RU2011108222A (ru) | 2008-08-08 | 2009-08-05 | Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110197659A1 (ru) |
| EP (1) | EP2310823A1 (ru) |
| JP (1) | JP2011530693A (ru) |
| KR (1) | KR20110038736A (ru) |
| CN (1) | CN102105770A (ru) |
| DE (1) | DE102008037058A1 (ru) |
| RU (1) | RU2011108222A (ru) |
| TW (1) | TW201011272A (ru) |
| WO (1) | WO2010015663A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2969287B1 (fr) * | 2010-12-17 | 2013-10-25 | Alcatel Lucent | Dispositif de detection de fuite utilisant l'hydrogene comme gaz traceur |
| CN103512708A (zh) * | 2012-06-25 | 2014-01-15 | 威格高纯气体设备科技（苏州工业园区）有限公司 | 一种手套箱泄漏检测装置 |
| KR101446029B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2014-10-01 | 주식회사 포스코 | 휴대용 부압 안전밸브 테스트 장치 |
| US10067027B2 (en) | 2016-03-04 | 2018-09-04 | Robert Bosch Gmbh | Test methodology to reduce false rejections and increase number of containers tested for tightness |
| DE102019006343A1 (de) * | 2018-09-24 | 2020-03-26 | Merck Patent Gmbh | Messkammer und Messstand |
| KR102169200B1 (ko) * | 2020-06-03 | 2020-10-22 | 주식회사 아이이씨티 | 챔버 내부 누출률 계산 방법 |
| DE102020134370A1 (de) * | 2020-12-21 | 2022-06-23 | Inficon Gmbh | Gaslecksuchvorrichtung und Gaslecksuchverfahren zur Erkennung eines Gaslecks in einem Prüfling |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4754638A (en) * | 1986-05-23 | 1988-07-05 | Antares Engineering, Inc. | Apparatus and method for leak testing automotive wheel rims |
| US5009835A (en) * | 1989-01-25 | 1991-04-23 | Westinghouse Electric Corp. | Nuclear fuel rod helium leak inspection apparatus and method |
| JP3138827B2 (ja) * | 1991-04-25 | 2001-02-26 | 富士通株式会社 | プロセスチャンバーの異常解析装置 |
| DE4140366A1 (de) | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen |
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
| JPH07176515A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-14 | Nec Kyushu Ltd | プラズマ真空処理装置 |
| FR2728072B1 (fr) * | 1994-12-07 | 1997-01-10 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite |
| US5553483A (en) * | 1995-08-15 | 1996-09-10 | Pilot Industries, Inc. | Leak detection system |
| US5979225A (en) * | 1997-08-26 | 1999-11-09 | Applied Materials, Inc. | Diagnosis process of vacuum failure in a vacuum chamber |
| US6286362B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Dual mode leak detector |
| JP2001126994A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-11 | Applied Materials Inc | 基板処理装置及びガス漏洩検知方法 |
| DE19960174A1 (de) * | 1999-12-14 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen |
| US6530264B1 (en) * | 2000-11-16 | 2003-03-11 | Autoliv Asp, Inc. | Detection systems and methods |
| US6964187B2 (en) * | 2001-03-20 | 2005-11-15 | Mykrolis Corporation | Vacuum sensor |
| GB2376744A (en) * | 2001-06-21 | 2002-12-24 | Stephen Daniel Hoath | Air leak detection in a vacuum system |
| DK175691B1 (da) * | 2002-09-11 | 2005-01-17 | Bactoforce As | Fremgangsmåde til at undersøge en varmeveksler for lækage |
| US7197914B2 (en) * | 2003-10-06 | 2007-04-03 | Vista Engineering Technologies | Method and apparatus for detecting and locating leak holes in a pipeline using tracers |
| KR100549946B1 (ko) * | 2003-10-20 | 2006-02-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 진공누설 검출장치 |
| EP1709412B1 (en) * | 2003-12-05 | 2008-04-16 | Adixen Sensistor AB | System and method for determining the leakproofness of an object |
| DE602004008869T2 (de) * | 2004-01-13 | 2008-06-12 | Varian S.P.A., Leini | Leckdetektor |
| DE102004045803A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Inficon Gmbh | Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung |
| DE102004050762A1 (de) * | 2004-10-16 | 2006-04-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Lecksuche |
| US7174772B2 (en) * | 2005-02-12 | 2007-02-13 | Giuseppe Sacca | System and method for leak detection |
| JP4475224B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2010-06-09 | 株式会社デンソー | 気密漏れ検査装置 |
| DE102005055746A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der hydraulischen Leckrate von flüssigkeitsführenden Teilen, insbesondere Einspritzventilen für Brennkraftmaschinen |
| DE102006017958A1 (de) * | 2006-04-13 | 2007-10-25 | Volker Dahm | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dichtigkeit eines Prüfobjektes |
| JP4909929B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2012-04-04 | パナソニック株式会社 | 分圧測定方法および分圧測定装置 |
| US7707871B2 (en) * | 2007-09-24 | 2010-05-04 | Raytheon Company | Leak detection system with controlled differential pressure |
| US8201438B1 (en) * | 2008-04-18 | 2012-06-19 | Sandia Corporation | Detection of gas leakage |
| US8555704B2 (en) * | 2008-10-20 | 2013-10-15 | Agilent Technologies, Inc. | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection |
-
2008
- 2008-08-08 DE DE102008037058A patent/DE102008037058A1/de not_active Withdrawn
-
2009
- 2009-08-05 US US13/057,774 patent/US20110197659A1/en not_active Abandoned
- 2009-08-05 KR KR1020117005470A patent/KR20110038736A/ko not_active Withdrawn
- 2009-08-05 EP EP09781528A patent/EP2310823A1/de not_active Withdrawn
- 2009-08-05 RU RU2011108222/28A patent/RU2011108222A/ru not_active Application Discontinuation
- 2009-08-05 CN CN2009801295568A patent/CN102105770A/zh active Pending
- 2009-08-05 JP JP2011521573A patent/JP2011530693A/ja active Pending
- 2009-08-05 WO PCT/EP2009/060169 patent/WO2010015663A1/de not_active Ceased
- 2009-08-06 TW TW098126512A patent/TW201011272A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2010015663A1 (de) | 2010-02-11 |
| KR20110038736A (ko) | 2011-04-14 |
| TW201011272A (en) | 2010-03-16 |
| CN102105770A (zh) | 2011-06-22 |
| US20110197659A1 (en) | 2011-08-18 |
| JP2011530693A (ja) | 2011-12-22 |
| DE102008037058A1 (de) | 2010-02-11 |
| EP2310823A1 (de) | 2011-04-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2011108222A (ru) | Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка | |
| RU2009104915A (ru) | Система улавливания диоксида углерода из отработанного газа | |
| TW200611320A (en) | Film formation apparatus and method of using the same | |
| MY163654A (en) | Apparatus and method for analysis of a fluid sample | |
| FR2808098B1 (fr) | Procede et dispositif de conditionnement de l'atmosphere dans une chambre de procedes | |
| NO20080586L (no) | Et system og fremgangsmate for a optimalisere en gass-/vaeskeseparasjonsprosess | |
| TW200746294A (en) | Processing apparatus and processing method | |
| EA201071026A1 (ru) | Способ измерения частиц и устройство | |
| WO2007147097A3 (en) | Fluid treatment using plasma technology | |
| RU2009110263A (ru) | Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве | |
| RU2012153250A (ru) | Система создания вакуума | |
| ATE531090T1 (de) | Brennstoffzellensystem und verfahren zum betreiben des brennstoffzellensystems | |
| ATE555843T1 (de) | Verfahren zum behandeln eines gasstroms | |
| DK1485649T3 (da) | Styresystem til et affaldsbehandlingsanlæg | |
| DE602004005579D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur leistungsmessung eines kompressors | |
| CN203081579U (zh) | 具有震动侦测防护功能的除碳装置 | |
| FR3036698B1 (fr) | Procede et dispositif d'epuration d'eaux domestiques ou industrielles. | |
| CN103175887A (zh) | 一种外接气源与离子迁移谱联用的系统 | |
| TW200637629A (en) | Apparatus for inhibiting the propagation of a flame front | |
| PL2054129T3 (pl) | Ulepszony sposób i aparatura do zawracania do obiegu atmosfery ochronnej | |
| DE602007013520D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Schnellerkennung von Leckagen | |
| ATE499718T1 (de) | Brennstoffzellensystem und steuerverfahren dafür | |
| CN222545315U (zh) | 有限空间多种可燃有毒有害气体的抽取式在线监测系统 | |
| CN216696059U (zh) | 一种可生物降解红外气体检测系统 | |
| CN204582975U (zh) | 一种检测甲烷和硫化氢气体膜组件性能的装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20121001 |