[go: up one dir, main page]

RU2009110263A - Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве - Google Patents

Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве Download PDF

Info

Publication number
RU2009110263A
RU2009110263A RU2009110263/06A RU2009110263A RU2009110263A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A RU 2009110263/06 A RU2009110263/06 A RU 2009110263/06A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A RU 2009110263 A RU2009110263 A RU 2009110263A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
oxygen
pumping device
supply
dust
vacuum pump
Prior art date
Application number
RU2009110263/06A
Other languages
English (en)
Inventor
Уве ЦЁЛЛИГ (DE)
Уве ЦЁЛЛИГ
Томас ДРАЙФЕРТ (DE)
Томас ДРАЙФЕРТ
Original Assignee
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De), Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх filed Critical Ёрликон Лайбольд Вакуум Гмбх (De)
Publication of RU2009110263A publication Critical patent/RU2009110263A/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D3/00—Axial-flow pumps
    • F04D3/02—Axial-flow pumps of screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
    • F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/85978—With pump
    • Y10T137/85986—Pumped fluid control

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

1. Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве сухого хода, отличающийся тем, что во время работы к вакуумному насосному устройству непрерывно, дозированно подают кислород, посредством чего обуславливают окисление пыли (40). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на входе (20) вакуумного насосного устройства или в подводящих трубопроводах вакуумного насоса. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении камеры (24) сжатия вакуумного насосного устройства. ! 4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении по меньшей мере двух камер сжатия или между по меньшей мере двумя камерами сжатия. ! 5. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на выходе (22) или в выпускных трубопроводах вакуумного насосного устройства. ! 6. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит через настраиваемый или же регулируемый дроссельный клапан (28). ! 7. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для очистки насосного устройства, а также подводящих трубопроводов от пыли и для полной нейтрализации пыли заканчивают подачу подлежащего сжатию технологического газа (38), а затем через насосное устройство подают кислородосодержащую газовую смесь, например, воздух. ! 8. Вакуумное насосное устройство сухого хода с по меньшей мере одним приводимым в действие компрессионным органом и корпусом (10) с входным отверстием (20) насоса и выходным отверстием (22) насоса, отличающееся тем, что корпус (10) или один из подключенных к нему трубопроводов имеет по меньшей мере одно впускное отв

Claims (9)

1. Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве сухого хода, отличающийся тем, что во время работы к вакуумному насосному устройству непрерывно, дозированно подают кислород, посредством чего обуславливают окисление пыли (40).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на входе (20) вакуумного насосного устройства или в подводящих трубопроводах вакуумного насоса.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении камеры (24) сжатия вакуумного насосного устройства.
4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на протяжении по меньшей мере двух камер сжатия или между по меньшей мере двумя камерами сжатия.
5. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит на выходе (22) или в выпускных трубопроводах вакуумного насосного устройства.
6. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что подача кислорода происходит через настраиваемый или же регулируемый дроссельный клапан (28).
7. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что для очистки насосного устройства, а также подводящих трубопроводов от пыли и для полной нейтрализации пыли заканчивают подачу подлежащего сжатию технологического газа (38), а затем через насосное устройство подают кислородосодержащую газовую смесь, например, воздух.
8. Вакуумное насосное устройство сухого хода с по меньшей мере одним приводимым в действие компрессионным органом и корпусом (10) с входным отверстием (20) насоса и выходным отверстием (22) насоса, отличающееся тем, что корпус (10) или один из подключенных к нему трубопроводов имеет по меньшей мере одно впускное отверстие (26, 26а, 26b) для газа или же кислорода с дроссельным клапаном (28) для регулировки впускного поперечного сечения.
9. Вакуумное насосное устройство по п.8, отличающееся тем, что предусмотрены устройства для контроля реакции окисления, прежде всего, в форме датчиков температуры или же датчиков давления в том же самом пространстве, в котором происходит окисление.
RU2009110263/06A 2006-08-23 2007-08-07 Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве RU2009110263A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006039529.8 2006-08-23
DE200610039529 DE102006039529A1 (de) 2006-08-23 2006-08-23 Verfahren zur Abreaktion selbstentzündlicher Stäube in einer Vakuumpumpvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009110263A true RU2009110263A (ru) 2010-09-27

Family

ID=38792066

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009110263/06A RU2009110263A (ru) 2006-08-23 2007-08-07 Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20100086883A1 (ru)
EP (1) EP2054626B1 (ru)
JP (1) JP2010501766A (ru)
CN (1) CN101535651B (ru)
DE (1) DE102006039529A1 (ru)
RU (1) RU2009110263A (ru)
WO (1) WO2008022916A1 (ru)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0406748D0 (en) * 2004-03-26 2004-04-28 Boc Group Plc Vacuum pump
DE102007043350B3 (de) * 2007-09-12 2009-05-28 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe sowie Verfahren zur Steuerung einer Gasballastzufuhr zu einer Vakuumpumpe
DE102008030788A1 (de) * 2008-06-28 2009-12-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen von Vakuumpumpen
DE102008053522A1 (de) * 2008-10-28 2010-04-29 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe
DE102011005464B4 (de) * 2011-03-11 2014-07-17 Fmp Technology Gmbh Fluid Measurements & Projects Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks
JP6100038B2 (ja) * 2013-03-14 2017-03-22 株式会社荏原製作所 真空ポンプ
DE102015118022B4 (de) * 2015-10-22 2024-05-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotationsverdrängervakuumpumpe
DE102015121143B4 (de) * 2015-12-04 2023-02-02 Pfeiffer Vacuum Gmbh Mehrwellige Vakuumpumpe
DE202016005209U1 (de) * 2016-08-30 2017-12-01 Leybold Gmbh Schraubenvakuumpumpe
DE102016216279A1 (de) 2016-08-30 2018-03-01 Leybold Gmbh Vakuumpumpen-Schraubenrotor
JP7072417B2 (ja) * 2018-03-27 2022-05-20 株式会社日立産機システム スクリュー圧縮機
CN108775286A (zh) * 2018-08-03 2018-11-09 深圳市石金科技股份有限公司 一种干式真空泵的清洁装置
KR102119071B1 (ko) * 2018-11-22 2020-06-04 (주)엘오티베큠 마모 발생을 방지하는 진공펌프
JP7657540B2 (ja) * 2019-10-07 2025-04-07 株式会社日立産機システム スクリュー圧縮機

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2835260A1 (de) * 1978-08-11 1980-02-14 Pfeiffer Vakuumtechnik Verfahren und einrichtung zum schutz der vakuumpumpe gegen reaktionsprodukte beim lpcvd-verfahren
DD143172A1 (de) * 1979-05-17 1980-08-06 Rainer Moeller Verfahren zum abpumpen von hochreaktiven oder toxischen gasen oder daempfen mittels drehschiebervakuumpumpen
DE3865012D1 (de) * 1988-06-01 1991-10-24 Leybold Ag Pumpsystem fuer ein lecksuchgeraet.
NL9200076A (nl) * 1992-01-16 1993-08-16 Leybold B V Werkwijze, droge meertrapspomp en plasmascrubber voor het omvormen van reactieve gassen.
JP3402039B2 (ja) * 1995-12-25 2003-04-28 信越半導体株式会社 単結晶製造装置
JP3603578B2 (ja) * 1997-12-27 2004-12-22 信越半導体株式会社 単結晶引上げ装置の不活性ガス回収装置
FR2783883B1 (fr) * 1998-09-10 2000-11-10 Cit Alcatel Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux
DE19854235A1 (de) * 1998-11-24 2000-05-25 Wacker Siltronic Halbleitermat Oxidationsvorrichtung und Verfahren zur Passivierung von Stäuben
DE29904411U1 (de) * 1999-03-10 2000-07-20 GHH-RAND Schraubenkompressoren GmbH & Co. KG, 46145 Oberhausen Schraubenkompressor
JP2002316889A (ja) * 2001-04-18 2002-10-31 Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp 排ガス配管内付着物の除去方法、及び単結晶引き上げ装置
US6685803B2 (en) * 2001-06-22 2004-02-03 Applied Materials, Inc. Plasma treatment of processing gases
EP1552152B1 (en) * 2002-10-14 2013-03-20 Edwards Limited Rotary piston vacuum pump with washing installation
CN1871436A (zh) 2003-10-21 2006-11-29 纳博特斯克株式会社 旋转式干式真空泵
FR2863103B1 (fr) * 2003-12-01 2006-07-14 Cit Alcatel Systeme de traitement des gaz par plasma integre dans une pompe a vide
GB0406748D0 (en) * 2004-03-26 2004-04-28 Boc Group Plc Vacuum pump
DE102004063058A1 (de) * 2004-12-22 2006-07-13 Leybold Vacuum Gmbh Verfahren zum Reinigen einer Vakuum-Schraubenpumpe
GB0525136D0 (en) * 2005-12-09 2006-01-18 Boc Group Plc Method of inhibiting a deflagration in a vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
EP2054626A1 (de) 2009-05-06
WO2008022916A1 (de) 2008-02-28
EP2054626B1 (de) 2012-12-05
DE102006039529A1 (de) 2008-03-06
JP2010501766A (ja) 2010-01-21
US20100086883A1 (en) 2010-04-08
CN101535651A (zh) 2009-09-16
CN101535651B (zh) 2014-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009110263A (ru) Способ нейтрализации самовоспламеняющейся пыли в вакуумном насосном устройстве
TW200719945A (en) Method of treating gas
WO2008036260A3 (en) Pressure washer with heat transfer unit for hot water discharge
RU2009110165A (ru) Компрессор, содержащий поршень с газовым подшипником
TWD203444S (zh) 基板處理裝置用氣體導入管
WO2012145395A3 (en) Fluid pump and method of pumping a fluid
WO2009037564A8 (en) Improved device for transporting powders along pipes
DE602004026594D1 (de) Adsorptionsverfahren zur erzeugung von wasserstoff
RU2011108222A (ru) Способ определения совокупной утечки вакуумной установки, а также вакуумная установка
CN106492592A (zh) 一种氟利昂蒸汽净化装置及其工作方法
TW200632240A (en) Apparatus including 4-way valve for fabricating semiconductor device, method of controlling valve, and method of fabricating semiconductor device using the apparatus
CN203778902U (zh) 汽车空调压缩机缸体的清洗装置
WO2007011247A3 (en) Refrigeration compressor with flexible discharge conduit
CN203803248U (zh) 一种燃气调压站过滤器清扫装置
CN203516052U (zh) 真空泵检测装置
CN207727033U (zh) 一种煤富氧气化供氧装置
TW200707587A (en) Apparatus and method for maintaining a near-atmospheric pressure inside a process chamber
RU2016141339A (ru) Способ откачки в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов
CN206276199U (zh) 一种鼓泡式氟利昂蒸汽净化装置
CN209145876U (zh) 一种新型水环式真空泵压缩机
CN203852997U (zh) 一种在生产氯甲烷中利用文丘里管的防污染装置
CN219272603U (zh) 一种便捷组合式空气净化装置
CN202575974U (zh) 臭氧化反应尾气处理装置
CN209918461U (zh) 膜管清洗机
CN106474872A (zh) 一种鼓泡式氟利昂蒸汽净化装置及其工作方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA94 Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees)

Effective date: 20130513