JPH0981629A - 製造情報管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 互いに関連のあるロットについての製造情報
を容易に抽出する。 【解決手段】 記憶装置３上のデータベースの中にロッ
ト番号の変遷を示す履歴テーブルを用意し、１つのロッ
ト番号が与えられたときにはホストコンピュータ２は履
歴テーブルを参照して他のロット番号を取得する。さら
にこのロット番号を用いて関連の製造情報をデータベー
スから取得する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製品の製造におけ
る部品の組立、加工工程等、各種の製造関連情報をシス
テム内にデータベース形態で記憶し、特定の検索条件に
合致する情報を上記データベースから読み出すための製
造情報管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、製品の製造における部品の組
立、加工工程等、各種の製造関連情報を情報処理システ
ム内のデータベース形態で記憶し、特定の検索条件に合
致する情報を上記データベースから読み出すための製造
情報管理システムが知られている。特に半導体製造情報
管理システムでは、ロットを構成する材料の情報、製造
工程の処理記録に関する情報、検査結果に関する情報、
トランジスタの特性に関する情報、歩留まりに関する情
報などを個別のテーブルにまとめて階層構造のデータベ
ースを構築している。データベースを構成するテーブル
の中で根幹をなす情報はロットに対して割り当てる識別
番号（以下ロット番号）であり、ロット番号に各種情報
が関連づけられテーブルを構成するので、ロット番号を
キーワードとしてデータベースを検索するとデータベー
ス上の殆どの情報は取り出すことができる。

【０００３】上述の製造情報管理システムのデータベー
スでは、製造時の関連情報を保管する場合、いくつかの
関連する項目ごとに個別のテーブルにまとめて保管する
のが一般的である。これは、１つのテーブルに全てのデ
ータを保管しようとすると、そのテーブルの容量が大き
くなりすぎ、検索速度が極端に遅くなることや、無駄な
保管領域を必要とする場合がある等の理由から、必然的
に複数のテーブルに分けてデータを保管するようになっ
ている。

【０００４】こういったバラバラに保管されているデー
タを用いて有効なデータ解析を行なうには、同一製品ご
とにデータを編集して取り出す必要がある。しかし、こ
のようにデータの取得を行なうには、それぞれ個別の製
品ごと、工程ごとの特殊性を把握したうえで、さらに実
際のデータベース内部でのデータ構造を理解してから行
なう必要がある。具体的な方法としては、一般的に以下
の２つの方法が可能である。

【０００５】１つ目はデータベースを操作する検索プロ
グラムを検索条件に応じてＳＱＬ言語を用いて作成し、
必要情報をデータベースから抽出する方法である。しか
し複数の製造工程に関するデータを、解析を行ないやす
い形で取得するには数百行のプログラムを作成する必要
があり、多大な時間を要する作業となる。

【０００６】２つ目の方法としては、検索条件を固定化
した検索プログラムを使用してデータベース中の個々の
デーブルの中の所望のテーブルからバラバラにデータを
印刷出力あるいは表示出力する。後から、担当者は印刷
結果を見て製品番号をもとに、製品ごとに必要データを
選択してまとめるという方法である。この方法は検索を
コンピュータ側で行うので、データの抽出自体は比較的
短時間に行なえるが、後からデータをオペレータが印刷
結果あるいは表示出力から結合していくのはオペレータ
にとってかなり煩雑な作業となり、また一部修正を加え
て再度データを取得する必要が生じた場合には、同じ労
力を費やさなければならない。以上のように従来の技術
では、保管されているデータの中から担当者が解析しや
すい形のデータを取得するのにかなりの労力を要してい
る。

【０００７】半導体の製造プロセスは年々複雑・長大に
なっており不良発生原因の特定や、製品の安定的生産に
不可欠な製造工程の変動と製品品質の変動の相関解析を
行なうのが難しくなってきている。この解析を行うため
に上述のように製造時に記録された製造情報をデータベ
ースに保管し、相関を解析する方法が有効である。しか
るに少量多品種生産が一般的になってきた今日では一つ
の工場で多数の品種の製品が製造されるようになり、製
造工程も製品ごとに異なったものになって来ている。さ
らに、ゲートアレイの出現で、製造工程の途中で製品種
別が変化したり、製品番号が変化するということが起こ
るようになった。また通常のデータベースでは、製造時
に収集された各種のデータはデータベースの中で個別の
テーブルに分けて保管されており、製造番号の変遷まで
考慮に入れたうえで、その後の解析が容易になるように
同一製品ごとにデータを編集して取り出すことは容易で
はない。このようなデータの取得を行なうには、それぞ
れの個別の製品ごと、工程ごとの特殊性に関する知識
や、さらには実際のデータベースでのデータ構造、デー
タベースにアクセスするためのプログラミングに関する
多くの知識が必要となる。このような煩雑、多岐にわた
る知識を用いて、必要が生じるたびにデータを抽出する
ためのプログラミングを毎回行なうのは困難であり、ま
た多くの時間と労力を要するという技術的な背景が従来
技術にはある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】製造の対象となるロッ
トは組立られ、加工されるので、ロット番号も工程の進
捗に従って、内容が変わっていく。製造情報管理システ
ムのデータベースに登録されるロット関連製造情報もロ
ット番号を軸に情報が管理されている。このため、ロッ
ト番号が異なると、製造情報管理システムではその番号
が示すロットは異なると判断されてしまう。このため、
一例として、加工前、加工後のロットの双方についての
情報は加工前および加工後の２つのロット番号を使用し
ないと関連情報をデータベースから取り出せない。ま
た、取り出した情報の中から所望の情報を取り出すため
には上述のように手作業あるいは表示画面上でのデータ
選択処理を必要とする。

【０００９】そこで、本発明は、上述の点に鑑みて、相
互の関連のある異なるロット番号の中の１つをキーにし
て他の関連ロット番号をも含む情報をデータベースから
抽出することができる製造情報管理システムを提供する
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明は、製品の製造に関わる製造
情報をロット番号に関連させてデータベースの形態で管
理し、該ロット番号に基き前記製造情報を前記データベ
ースから検索することの可能な製造情報管理システムに
おいて、関連のあるロットについてその関連性をロット
番号の形態で記憶したテーブルを前記データベースの中
に設け、前記データベースの第１のロット番号の集合が
検索のために与えられたときに第１のロット番号に関連
する製造情報を前記データベース中で検索する第１の検
索手段と、当該第１のロット番号に関連する第２のロッ
ト番号を前記テーブルから取得する第２の検索手段と、
当該取得された第２のロット番号に関連する製造情報を
前記データベース中で検索する第３の検索手段と、前記
第１および第３の検索手段により得られた情報を第１お
よび第２のロット番号の関係に基づいて、関連するロッ
トに共通のデータとして編集する第１の編集手段とを具
えたことを特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明に加え
て、前記検索のために与えられる第１のロット番号の集
合および前記第１，第２，第３の検索手段および第１の
編集手段は検索プログラムおよび該検索プログラムを実
行するホストコンピュータで構成され、該検索プログラ
ムを作成する手段をさらに具えたことを特徴とする。

【００１２】請求項３の発明は、請求項１の発明に加え
て、前記第１のロット番号を用いて検索する場合と前記
第２のロット番号を用いて検索する場合とで検索する製
造情報の種類を選択可能とすることを特徴とする。

【００１３】請求項４の発明は、請求項１の発明に加え
て、前記第１および第３の検索手段において、ロット番
号に関連する製造情報の中からさらに特定の項目の製造
情報に限定した検索を可能とすることを特徴とする。

【００１４】請求項５の発明は、請求項１の発明に加え
て、製造工程が複数でロット番号が変遷する場合には前
記第１のロット番号を初期のロット番号、前記第２のロ
ット番号を該ロット番号から変遷する複数のロット番号
とすることを特徴とする。

【００１５】請求項６の発明は、請求項１の発明に加え
て、前記テーブルには前記第１のロット番号および第２
のロット番号に共通する製造関連情報を付加することを
特徴とする。

【００１６】請求項１の発明では関連するロット番号を
データベースに記憶させておくので、これにより関連の
製造情報をも検索抽出できる。

【００１７】請求項２の発明では、検索プログラムを検
索毎に策することにより多種の情報検索に対応する。

【００１８】請求項３の発明では、検索対象の情報の種
類を選択（検索条件の設定）することにより必要な情報
を的確にデータベースから取り出すことができる。

【００１９】請求項４の発明では、検索対象の情報を必
要な項目に限定して取得することができる。

【００２０】請求項５の発明では、多数のロット番号の
変遷を記憶することができる。

【００２１】請求項６の発明では、ロット番号に共通の
情報を付加することによりデータベースの記憶容量を節
約できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を詳細に説明する。

【００２３】本発明を適用した半導体製造情報管理シス
テムのシステム構成を図１に示す。

【００２４】図１において、複数の端末１が製造工程の
各所に配置されている。複数の端末１は信号線４に接続
されており、ホストコンピュータ２との間でＬＡＮを形
成している。端末１は自己の製造工程に関する各種の製
造関連情報を入力する。また、後述のデータベースに登
録された製造関連情報の検索の指示をホストコンピュー
タ２に与えると共に検索の結果得られる製造関連情報を
表示させる。

【００２５】ホストコンピュータ２には記憶装置３が接
続されている。記憶装置３上に本発明に関わる製造関連
情報のデータベースが構築されている。ホストコンピュ
ータ２は端末１から入力された製造関連情報を上記デー
タベースに対して登録する。また、端末１から与えられ
た検索条件に基づきデータベースを検索するための検索
プログラムを自動作成する。また、この検索プログラム
の実行の指示があったときには検索プログラムを実行
し、上記検索条件に合致する製造関連情報を記憶装置３
のデータベースから抽出し、端末１に送信する。

【００２６】本発明に関わるデータベースの構成の一例
を図２に示す。図２において、テーブルＡは本発明の特
徴をなす履歴テーブルであり、ロット番号の変遷（履
歴）を記載する欄に加え、本実施例では製品名、日時、
ロットタイプを記載する欄が設けられている。図２の１
番目の記載欄の例では最初のロットＡがＤに変化するこ
とを示している。

【００２７】テーブルＢはロットの材料関連の情報を記
載するテーブルであり、ロット番号に関連させて材料情
報を記載している。テーブルＣ、Ｄには製造工程の処理
に関する各種情報をロット番号に関連させて記載する。
テーブルＥにはトランジスタ特性をロット番号に関連さ
せて記載する。テーブルＦには歩留まり情報をロット番
号に関連させて記載する。

【００２８】本実施例では以上の材料情報、製造工程の
処理内容を示す処理情報各種、測定結果としてのトラン
ジスタ特性情報、歩留まり情報等の中から所望の情報を
選択的にデータベースが取り出すことができるが、特筆
すべきはロット番号が異なってもそのロット番号を１つ
与えれば関連のあるロット番号の情報をも取得すること
ができる点にある。

【００２９】このような、検索処理を実行するための処
理プログラムの内容を図４および図５に示す。図４は所
望の検索条件でデータ検索するためのプログラムを自動
作成する処理内容を示す。図５は作成された検索プログ
ラムの処理内容を示す。これら処理内容はホストコンピ
ュータ２の処理可能なプログラム言語、本実施例ではＳ
ＱＬ言語で記載され、ホストコンピュータ２内に保存さ
れる。プログラム言語は本発明を実現できるものを使用
すればよく、ＳＱＬ言語に限定されることはない。

【００３０】以下、図１のシステム動作および本発明に
関わる検索処理について説明する。なお、記憶装置３上
のデータベースには従来通り、製造関連情報が格納され
ているものとする。端末１のオペレータはホストコンピ
ュータ２に対して端末１を介して検索条件を指定して、
例えば、ロット投入日時の範囲を指定してこの検索条件
でデータベースから例えば、歩留り情報と処理情報を検
索するプログラムを自動作成するよう指示する。次に検
索の実行を指示する。このプログラムの自動作成自体は
周知の方法を使用することができるので、詳細な説明を
省略する。ただし、この作成プログラムの中に図２の履
歴テーブルＡを参照して、関連のあるロット番号を抽出
する処理が含まれている点が本発明と関連する処理とな
る。

【００３１】ホストコンピュータ２は検索プログラムの
作成の指示を受けると、図４の処理手順に移行し、履歴
テーブルＡの履歴情報をホストコンピュータ２内に取り
込み、この履歴情報から関連ロット番号を抽出するプロ
グラムを作成する。より具体的には、レコード（テーブ
ルの１行分を構成する複数の情報１組）を順次に呼び出
し、レコードの中の日時欄を参照し、与えられたロット
投入日時の範囲を満たしているかを判定し、合致判定が
得られたときにレコードの中の関連する他のロット番号
を取り出す処理を規定したプログラムを作成する（ステ
ップＳ１０〜Ｓ２０）。

【００３２】次に、ホストコンピュータ２は指定された
検索情報、この場合、歩留り情報と処理情報を先述のス
テップ（ステップＳ１０〜Ｓ２０）で取得したロット番
号のロットについて検索する検索プログラムをそれぞれ
作成する。ここで、注目すべきは、本実施例では検索範
囲（対称ロット）の指定は検索対称データ（この場合、
歩留り情報と処理情報）の種類に依存していないので、
個々のプログラム作成処理は互いに独立しているという
ことである。したがって、ユーザが複数の検索条件を自
由に組み合わせてホストコンピュータ２に指示した結果
に基づいて検索プログラムを各々独立に作成できる。こ
の例では歩留り情報、処理情報の２種類のデータを検索
するためのプログラムが作成される（ステップＳ３
０）。この後、各種類ごとに検索されたデータを結合す
るためのプログラムが作成され、オペレータからの指示
でこれら一連のプログラムが実行される（ステップＳ５
０）。

【００３３】すなわち、ホストコンピュータ２は検索条
件の詳細、この場合、ロットの投入日の検索範囲の日時
情報を受け付け、上記検索プログラムに従って、データ
ベースを検索する。検索条件である投入範囲に合致する
ロット番号についてデータベースのテーブルＡを検索し
関連のロット番号を取得する。指定されたロット番号お
よび関連のロット番号はホストコンピュータ２内のメモ
リに図３の３０１および３０２のようにリストアップさ
れる（ステップＳ１００）。次に個別情報の検索プログ
ラムが実行され、図３の３０１，３０２にリストされた
ロット番号のロットについて歩留り情報と処理情報につ
いてのレコード（テーブルＡ〜Ｆ１行分の情報、図３の
３０３および３０４参照）がデータベースから取り出さ
れる（ステップＳ１１０）。

【００３４】ここで注目すべきは、検索対象として指定
されたロット番号（本発明の第１のロット番号）につい
てそのロット番号を有する製造関連情報が抽出されるだ
けでなく、テーブルＡの履歴情報から関連のロット番号
（本発明の第２のロット番号）についての製造関連情報
も抽出され、この製造関連情報も図３のように第１のロ
ット番号のデータと第２のロット番号のデータが対応ず
けられた形でリストアップされる点である。従来は、関
連のロット番号についての製造関連情報は抽出できなか
ったので、ユーザはそのロット番号および／または製造
関連情報の種類を検索条件として与えなければならなか
った（図６参照）のに対して本実施例では関連のロット
番号を意識することなく関連のロット番号および付随す
る製造関連情報を抽出、印刷（図３参照）することがで
きる。また、関連のロット番号が出力されるので、相互
の関連性をも知ることができる。

【００３５】以下、作成された検索プログラムが順次に
実行され、データベースから情報が検出されると、図３
に示すように検索結果がリスト（一覧表）の形態でホス
トコンピュータ内のメモリに蓄えられ、端末１に表示さ
れる。また、必要に応じて不図示のプリンタから印刷出
力される（ステップＳ１３０）。

【００３６】本実施例の他に次の例を実施できる。

【００３７】１）本実施例ではデータベースを構築する
情報の種類が多いので、検索用プログラムを分割して作
成する例を示したが情報の種類が少ない場合には、１本
の検索プログラムの中で情報の種類選択や検索条件の指
定を行うようにしてもよい。

【００３８】２）本発明に関わるロット番号の履歴情報
は単独のテーブルにしてもよいし、双方のロット番号が
ともに有する情報たとえば、完成品の製品の番号（製品
番号）、その製品の納期等の情報を付加して、１つのテ
ーブルにまとめてもよい。

【００３９】３）検索条件については従来から知られて
いるようにアンドやオアを組み合わせた論理式で構成す
ることも可能である。

【００４０】４）本実施例では説明のために関連のある
ロット番号は２種しか示さなかったが２種以上設けても
よいこと勿論である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は関連するロット番号をデータベースに記憶させておく
ので、これにより関連の製造情報をも検索抽出できる。

【００４２】請求項２の発明では、検索プログラムを検
索毎に策することにより多種の情報検索に対応する。

【００４３】請求項３の発明では、検索対象の情報の種
類を選択（検索条件の設定）することにより必要な情報
を的確にデータベースから取り出すことができる。

【００４４】請求項４の発明では、検索対象の情報を必
要な項目に限定して取得することができる。

【００４５】請求項５の発明では、多数のロット番号の
変遷を記憶することができる。

【００４６】請求項６の発明では、ロット番号に共通の
情報を付加することによりデータベースの記憶容量を節
約できる。

【００４７】また、これらの発明により互いに関連のあ
るロット番号の製造情報をオペレータの操作を必要とす
ることなく抽出できるので検索処理時間の短縮化に寄与
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した製造情報管理システムのシス
テム構成を示すブロック図である。

【図２】データベースの構成を示す説明図である。

【図３】検索結果を示す説明図である。

【図４】検索プログラム作成手順を示すフローチャート
である。

【図５】検索処理手順を示すフローチャートである。

【図６】従来の検索結果を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ 端末 ２ ホストコンピュータ ３ 記憶装置 ４ 信号線

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製品の製造に関わる製造情報をロット番
   号に関連させてデータベースの形態で管理し、該ロット
   番号に基き前記製造情報を前記データベースから検索す
   ることの可能な製造情報管理システムにおいて、 関連のあるロットについてその関連性をロット番号の形
   態で記憶したテーブルを前記データベースの中に設け、 前記データベースの第１のロット番号の集合が検索のた
   めに与えられたときに第１のロット番号に関連する製造
   情報を前記データベース中で検索する第１の検索手段
   と、 当該第１のロット番号に関連する第２のロット番号を前
   記テーブルから取得する第２の検索手段と、 当該取得された第２のロット番号に関連する製造情報を
   前記データベース中で検索する第３の検索手段と、 前記第１および第３の検索手段により得られた情報を第
   １および第２のロット番号の関係に基づいて、関連する
   ロットに共通のデータとして編集する第１の編集手段と
   を具えたことを特徴とする製造情報管理システム。
2. 【請求項２】 前記検索のために与えられる第１のロッ
   ト番号の集合および前記第１，第２，第３の検索手段お
   よび第１の編集手段は検索プログラムおよび該検索プロ
   グラムを実行するホストコンピュータで構成され、該検
   索プログラムを作成する手段をさらに具えたことを特徴
   とする請求項１に記載の製造情報管理システム。
3. 【請求項３】 前記第１のロット番号を用いて検索する
   場合と前記第２のロット番号を用いて検索する場合とで
   検索する製造情報の種類を選択可能とすることを特徴と
   する請求項１に記載の製造情報管理システム。
4. 【請求項４】 前記第１および第３の検索手段におい
   て、ロット番号に関連する製造情報の中からさらに特定
   の項目の製造情報に限定した検索を可能とすることを特
   徴とする請求項１に記載の製造情報管理システム。
5. 【請求項５】 製造工程が複数でロット番号が変遷する
   場合には前記第１のロット番号を初期のロット番号、前
   記第２のロット番号を該ロット番号から変遷する複数の
   ロット番号とすることを特徴とする請求項１に記載の製
   造情報管理システム。
6. 【請求項６】 前記テーブルには前記第１のロット番号
   および第２のロット番号に共通する製造関連情報を付加
   することを特徴とする請求項１に記載の製造情報管理シ
   ステム。