JPH09206568A - エアーフィルター用濾材 - Google Patents
エアーフィルター用濾材Info
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- JPH09206568A JPH09206568A JP8016352A JP1635296A JPH09206568A JP H09206568 A JPH09206568 A JP H09206568A JP 8016352 A JP8016352 A JP 8016352A JP 1635296 A JP1635296 A JP 1635296A JP H09206568 A JPH09206568 A JP H09206568A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure loss
- filter
- air filter
- porous membrane
- ptfe
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- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔
質膜を２層以上積層したことにより、従来の１層だけの
場合と比較して、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低
く、圧力損失のバラツキも緩和され、貫通したピンホー
ルもなくなり、リークレスとなるエアーフィルター用濾
材を提供する。 【解決手段】ＰＴＦＥシートを未焼成の状態で縦横延伸
し、その後、寸法を固定して焼成し、圧力損失及び捕集
効率の異なったＰＴＦＥ多孔質膜１〜３を作製し、ポリ
エステル／ポリエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で
形成されたスパンボンド不織布４〜７と、熱ラミネート
により積層してエアーフィルター濾材を得る。
質膜を２層以上積層したことにより、従来の１層だけの
場合と比較して、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低
く、圧力損失のバラツキも緩和され、貫通したピンホー
ルもなくなり、リークレスとなるエアーフィルター用濾
材を提供する。 【解決手段】ＰＴＦＥシートを未焼成の状態で縦横延伸
し、その後、寸法を固定して焼成し、圧力損失及び捕集
効率の異なったＰＴＦＥ多孔質膜１〜３を作製し、ポリ
エステル／ポリエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で
形成されたスパンボンド不織布４〜７と、熱ラミネート
により積層してエアーフィルター濾材を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリテトラフルオ
ロエチレン（以下「ＰＴＦＥ」という。）多孔質膜を用
いたエアーフィルター用濾材に関し、さらに詳しくは半
導体工業などのクリーンルームで使用される、空気及び
気体中の浮游粒子の捕獲に適し、空気及び気体の圧力損
失の小さい高性能エアーフィルターに用いられる濾材に
関するものである。
ロエチレン（以下「ＰＴＦＥ」という。）多孔質膜を用
いたエアーフィルター用濾材に関し、さらに詳しくは半
導体工業などのクリーンルームで使用される、空気及び
気体中の浮游粒子の捕獲に適し、空気及び気体の圧力損
失の小さい高性能エアーフィルターに用いられる濾材に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルームで使用されるエア
ーフィルターの材料として、ガラス繊維にバインダーを
加えて抄紙した濾材が多く使用されている。しかし、こ
のような濾材にはいくつかの問題がある。例えば、濾材
中の付着小繊維の存在、または加工による折り曲げ時の
自己発塵の発生、または自己発塵を防ぐためにバインダ
ーを増大させると圧力損失が増大することなどである
（特開昭６３−１６０１９号公報参照）。さらに、この
濾材は、フッ酸などのある種の化学薬品と接触するとガ
ラス及びバインダーの劣化により、発塵するという問題
もあった。
ーフィルターの材料として、ガラス繊維にバインダーを
加えて抄紙した濾材が多く使用されている。しかし、こ
のような濾材にはいくつかの問題がある。例えば、濾材
中の付着小繊維の存在、または加工による折り曲げ時の
自己発塵の発生、または自己発塵を防ぐためにバインダ
ーを増大させると圧力損失が増大することなどである
（特開昭６３−１６０１９号公報参照）。さらに、この
濾材は、フッ酸などのある種の化学薬品と接触するとガ
ラス及びバインダーの劣化により、発塵するという問題
もあった。
【０００３】これらの問題を解決するために合成繊維の
エレクトレット濾材（特開昭５４−５３３６５号公報参
照）を用いることが提案されているが、エレクトレット
の減衰の発生という問題がある。
エレクトレット濾材（特開昭５４−５３３６５号公報参
照）を用いることが提案されているが、エレクトレット
の減衰の発生という問題がある。
【０００４】ＰＴＦＥはクリーンな材料で、耐薬品性も
ある。そこで延伸法により得られるＰＴＦＥ多孔質膜を
高性能エアーフィルターに適用することが種々提案され
ている。例えば国際公開番号ＷＯ９４／１６８０２号、
特開平７−１９６８３１号公報がある。
ある。そこで延伸法により得られるＰＴＦＥ多孔質膜を
高性能エアーフィルターに適用することが種々提案され
ている。例えば国際公開番号ＷＯ９４／１６８０２号、
特開平７−１９６８３１号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記国際公開
番号ＷＯ９４／１６８０２号、特開平７−１９６８３１
号公報に提案されているフィルターは、いずれも捕集効
率を上げるために孔径（平均孔径）を０．５μｍ以下と
極めて小さくしており、又それで圧力損失を小さくする
ために厚さを極めて薄くしているものである。そしてこ
れらはこの様な構造を有しているために次の様な問題が
あった。 （１）厚さと孔径のバラツキが平均値に対して大きく、
結果的に圧力損失のバラツキが大きくなる。 （２）圧力損失の極めて小さな部分又はピンホールに由
来するリークが多く存在する。 （３）絶対的な気孔（空ゲキ）量が小さく、濾材寿命が
短い。 上記（１）〜（３）について詳しく述べると、（１）の
圧力損失のバラツキはフィルターユニットとしてされた
ときの風速分布が大きくなり、層流風が得られなくなる
ものである。（２）は対象としている粒子径以上の粒子
を透過してしまうため、クリーン度を提供できなくなる
ものである。（３）はフィルターの塵あい保持性能に直
接関係するもので、前記のような濾材を使用した場合、
少量の塵あい負荷で、圧力損失が上昇してしまうもので
ある。圧力損失はフィルター運転時のエネルギーコスト
の点で極めて重要である。
番号ＷＯ９４／１６８０２号、特開平７−１９６８３１
号公報に提案されているフィルターは、いずれも捕集効
率を上げるために孔径（平均孔径）を０．５μｍ以下と
極めて小さくしており、又それで圧力損失を小さくする
ために厚さを極めて薄くしているものである。そしてこ
れらはこの様な構造を有しているために次の様な問題が
あった。 （１）厚さと孔径のバラツキが平均値に対して大きく、
結果的に圧力損失のバラツキが大きくなる。 （２）圧力損失の極めて小さな部分又はピンホールに由
来するリークが多く存在する。 （３）絶対的な気孔（空ゲキ）量が小さく、濾材寿命が
短い。 上記（１）〜（３）について詳しく述べると、（１）の
圧力損失のバラツキはフィルターユニットとしてされた
ときの風速分布が大きくなり、層流風が得られなくなる
ものである。（２）は対象としている粒子径以上の粒子
を透過してしまうため、クリーン度を提供できなくなる
ものである。（３）はフィルターの塵あい保持性能に直
接関係するもので、前記のような濾材を使用した場合、
少量の塵あい負荷で、圧力損失が上昇してしまうもので
ある。圧力損失はフィルター運転時のエネルギーコスト
の点で極めて重要である。
【０００６】本発明は、前記従来の問題を解決するた
め、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低く、圧力損失
のバラツキが緩和され、貫通したピンホールもなく、リ
ークレスとなり、かつ気孔量も増大し寿命特性も優れた
エアーフィルター用濾材を提供することを目的とする。
め、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低く、圧力損失
のバラツキが緩和され、貫通したピンホールもなく、リ
ークレスとなり、かつ気孔量も増大し寿命特性も優れた
エアーフィルター用濾材を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のエアーフィルター用濾材は、ＰＴＦＥ多孔
質膜を２層以上積層したという構成を備えたものであ
る。この構成により、従来の１層だけの場合と比較し
て、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低く、複数層の
多孔質膜が用いられているので、圧力損失のバラツキも
緩和され、貫通したピンホールもなくなり、リークレス
となるものである。またこれと同時に絶対的な気孔量も
増大し寿命特性も優れたものになる。
め、本発明のエアーフィルター用濾材は、ＰＴＦＥ多孔
質膜を２層以上積層したという構成を備えたものであ
る。この構成により、従来の１層だけの場合と比較し
て、塵埃の捕集効率が高く、圧力損失が低く、複数層の
多孔質膜が用いられているので、圧力損失のバラツキも
緩和され、貫通したピンホールもなくなり、リークレス
となるものである。またこれと同時に絶対的な気孔量も
増大し寿命特性も優れたものになる。
【０００８】前記構成においては、ＰＴＦＥ多孔質膜の
積層間に、さらに補強材を介在させたことが好ましい。
また前記構成においては、補強材が不織布であることが
好ましい。
積層間に、さらに補強材を介在させたことが好ましい。
また前記構成においては、補強材が不織布であることが
好ましい。
【０００９】また前記構成においては、不織布を構成す
る繊維が、芯鞘構造の複合繊維であり、芯成分が鞘成分
より相対的に融点が高い合成繊維であることが好まし
い。また前記構成においては、５．３ｃｍ／ｓｅｃの流
速で空気を透過させる時の圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ以
下であることが好ましい。本発明のエアーフィルター濾
材の圧力損失は構成されるＰＴＦＥ多孔質膜、及びその
他構成材料及び積層条件によって自由に変化させる事が
可能であるが、クリーンルーム等のＨＥＰＡ(Hig Effic
iency Particulate Air)フィルター、及びＵＬＰＡ(Ult
ra Low Penetration Air) フィルターとして使用される
には、濾材としての圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ以下であ
ることが好ましい。
る繊維が、芯鞘構造の複合繊維であり、芯成分が鞘成分
より相対的に融点が高い合成繊維であることが好まし
い。また前記構成においては、５．３ｃｍ／ｓｅｃの流
速で空気を透過させる時の圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ以
下であることが好ましい。本発明のエアーフィルター濾
材の圧力損失は構成されるＰＴＦＥ多孔質膜、及びその
他構成材料及び積層条件によって自由に変化させる事が
可能であるが、クリーンルーム等のＨＥＰＡ(Hig Effic
iency Particulate Air)フィルター、及びＵＬＰＡ(Ult
ra Low Penetration Air) フィルターとして使用される
には、濾材としての圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ以下であ
ることが好ましい。
【００１０】また前記構成においては、流体を流したと
きに、上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下流側の
ＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失よりも低いことが好まし
い。すなわち、異なる圧力損失のＰＴＦＥ多孔質膜を重
ねる場合は、上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下
流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失よりも小さくなる様
に積層することがフィルター寿命を長くする点で重要で
ある。上流側に圧力損失の大きい膜を配置した場合、一
般に圧力損失の大きい多孔質膜は捕集効率が高く、細か
い粒子も粗い粒子も捕集してしまい、下流側の圧力損失
の低い多孔質膜の存在の意味がなくなってしまうからで
ある。
きに、上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下流側の
ＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失よりも低いことが好まし
い。すなわち、異なる圧力損失のＰＴＦＥ多孔質膜を重
ねる場合は、上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下
流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失よりも小さくなる様
に積層することがフィルター寿命を長くする点で重要で
ある。上流側に圧力損失の大きい膜を配置した場合、一
般に圧力損失の大きい多孔質膜は捕集効率が高く、細か
い粒子も粗い粒子も捕集してしまい、下流側の圧力損失
の低い多孔質膜の存在の意味がなくなってしまうからで
ある。
【００１１】本発明でのＰＴＦＥ多孔質膜を重ねる方法
は特に限定されるものではなく、接着剤を用いる方法、
熱可塑性の多孔質材料（不織布又はネットなど）を介し
て熱で積層する方法などが挙げられる。一般にはＰＴＦ
Ｅ多孔質膜だけでは折り込み加工性や強度に劣るため補
強材が用いられる。
は特に限定されるものではなく、接着剤を用いる方法、
熱可塑性の多孔質材料（不織布又はネットなど）を介し
て熱で積層する方法などが挙げられる。一般にはＰＴＦ
Ｅ多孔質膜だけでは折り込み加工性や強度に劣るため補
強材が用いられる。
【００１２】補強材としては、不織布、織布、メッシ
ュ、その他の多孔膜が使用できる。補強材の材質として
は、ポリオレフィン（たとえば、ポリエチレン、ポリプ
ロピレンなど）、ナイロン、ポリエステル、アラミド
（芳香族系ポリアミド）、又はこれらを複合したもの
（たとえば、芯／鞘構造の繊維から成る不織布、低融点
材料と高融点材料の２層不織布など）、更にフッ素系多
孔膜（たとえば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン／パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ
（テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン
共重合体）、ＰＴＦＥの多孔質膜など）が例示できる。
ュ、その他の多孔膜が使用できる。補強材の材質として
は、ポリオレフィン（たとえば、ポリエチレン、ポリプ
ロピレンなど）、ナイロン、ポリエステル、アラミド
（芳香族系ポリアミド）、又はこれらを複合したもの
（たとえば、芯／鞘構造の繊維から成る不織布、低融点
材料と高融点材料の２層不織布など）、更にフッ素系多
孔膜（たとえば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン／パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＦＥＰ
（テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン
共重合体）、ＰＴＦＥの多孔質膜など）が例示できる。
【００１３】とりわけ芯鞘構造の複合繊維（鞘成分のほ
うが低融点ポリマー）から成る不織布、低融点材料と高
融点材料の２層不織布などが好ましい。このような補強
材は、ラミネート時に収縮しない。また、このような補
強材とのラミネート膜は、ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰ
Ａフィルターとして加工しやすく、フィルターエレメン
トにする際に折り込みピッチが増やせる。
うが低融点ポリマー）から成る不織布、低融点材料と高
融点材料の２層不織布などが好ましい。このような補強
材は、ラミネート時に収縮しない。また、このような補
強材とのラミネート膜は、ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰ
Ａフィルターとして加工しやすく、フィルターエレメン
トにする際に折り込みピッチが増やせる。
【００１４】本発明に用いられるＰＴＦＥ多孔質膜の製
造方法は特に限定されるものでなく、従来より提案され
ている様々な方法を使用できるものである。
造方法は特に限定されるものでなく、従来より提案され
ている様々な方法を使用できるものである。
【００１５】
【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
する。なお、以下の実施例での各測定方法は次の通りで
ある。
する。なお、以下の実施例での各測定方法は次の通りで
ある。
【００１６】（圧力損失）濾材を有効面積１００ｃｍ2
の円形のホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差
を与え、濾材の透過流速を流量計で５．３ｃｍ／ｓｅｃ
に調整したときの圧力損失を圧力計（マノメーター）で
測定した。５０箇所のサンプルを測定し、その平均値を
濾材の圧力損失とした。また、バラツキはその最大値と
最小値を示した。
の円形のホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差
を与え、濾材の透過流速を流量計で５．３ｃｍ／ｓｅｃ
に調整したときの圧力損失を圧力計（マノメーター）で
測定した。５０箇所のサンプルを測定し、その平均値を
濾材の圧力損失とした。また、バラツキはその最大値と
最小値を示した。
【００１７】（捕集効率）圧力損失測定と同一の装置を
用い、濾材の透過流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃにして、上
流側に多分散ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を０．１
μｍ〜０．１５μｍの粒子が約１０7 ／リットルになる
ように流し、これを下流側の濃度をパーティクルカウン
ターで測定し、以下の式で捕集効率を求めた。 捕集効率＝｛１−（下流濃度／上流濃度）｝×１００％ （ただし、対象粒子は０．１〜０．１５μｍの範囲のも
のである。また、バラツキはその最大値と最小値で示し
た。） （リーク性能）捕集効率の測定において、０．３μｍ以
上の粒子が下流側でカウントされたサンプル数を示し
た。
用い、濾材の透過流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃにして、上
流側に多分散ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を０．１
μｍ〜０．１５μｍの粒子が約１０7 ／リットルになる
ように流し、これを下流側の濃度をパーティクルカウン
ターで測定し、以下の式で捕集効率を求めた。 捕集効率＝｛１−（下流濃度／上流濃度）｝×１００％ （ただし、対象粒子は０．１〜０．１５μｍの範囲のも
のである。また、バラツキはその最大値と最小値で示し
た。） （リーク性能）捕集効率の測定において、０．３μｍ以
上の粒子が下流側でカウントされたサンプル数を示し
た。
【００１８】（圧力損失の上昇性）捕集効率測定と同一
の条件で、５分間ＤＯＰ粒子の負荷を与えた時の圧力損
失から初期の圧力損失を減じた値を示した。
の条件で、５分間ＤＯＰ粒子の負荷を与えた時の圧力損
失から初期の圧力損失を減じた値を示した。
【００１９】
【実施例１】ＰＴＦＥファインパウダー（商品名「ポリ
フロンＦ−１０４」、ダイキン工業製）１００重量部に
対して液状潤滑剤として炭化水素油の商品名「アイソパ
ーＭ」（エッソ石油社製）を２５重量部を均一に混合し
た混和物を圧力２０ｋｇ／ｃｍ2 で圧縮予備成形し、次
にこれをロッド状に押出成形し、更にこのロッド状物を
１対の金属製圧延ロール間に通し、厚さ０．２ｍｍ、幅
１５０ｍｍの長尺フィルムを得た。
フロンＦ−１０４」、ダイキン工業製）１００重量部に
対して液状潤滑剤として炭化水素油の商品名「アイソパ
ーＭ」（エッソ石油社製）を２５重量部を均一に混合し
た混和物を圧力２０ｋｇ／ｃｍ2 で圧縮予備成形し、次
にこれをロッド状に押出成形し、更にこのロッド状物を
１対の金属製圧延ロール間に通し、厚さ０．２ｍｍ、幅
１５０ｍｍの長尺フィルムを得た。
【００２０】次いでこの成形物を２２０℃に加熱して液
状潤滑剤を除去して管状芯体にロール状に巻回した。次
いでこのシートを未焼成の状態で縦横延伸し、その後、
寸法を固定して焼成し、表１に示す各ＰＴＦＥ多孔質膜
を作製した。尚、圧力損失、捕集効率の変化は延伸温
度、倍率、焼成温度を変化させることで調整した。
状潤滑剤を除去して管状芯体にロール状に巻回した。次
いでこのシートを未焼成の状態で縦横延伸し、その後、
寸法を固定して焼成し、表１に示す各ＰＴＦＥ多孔質膜
を作製した。尚、圧力損失、捕集効率の変化は延伸温
度、倍率、焼成温度を変化させることで調整した。
【００２１】
【表１】
【００２２】次に、これらのＰＴＦＥ多孔質膜とポリエ
ステル／ポリエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で形
成されたスパンボンド不織布（商品名「エルベス」、ユ
ニチカ製）を用い、熱ラミネートにより図１の様なエア
ーフィルター濾材を作成した。図１において、１は表１
のＮｏ．１のＰＴＦＥ多孔質膜、２は表１のＮｏ．２の
ＰＴＦＥ多孔質膜、３は表１のＮｏ．３のＰＴＦＥ多孔
質膜である。また４は目付：４０g/mm2 の前記スパンボ
ンド不織布、５は目付：１５g/mm2 の前記スパンボンド
不織布、６は目付：１５g/mm2 の前記スパンボンド不織
布、７は目付：２０g/mm2 の前記スパンボンド不織布で
ある。
ステル／ポリエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で形
成されたスパンボンド不織布（商品名「エルベス」、ユ
ニチカ製）を用い、熱ラミネートにより図１の様なエア
ーフィルター濾材を作成した。図１において、１は表１
のＮｏ．１のＰＴＦＥ多孔質膜、２は表１のＮｏ．２の
ＰＴＦＥ多孔質膜、３は表１のＮｏ．３のＰＴＦＥ多孔
質膜である。また４は目付：４０g/mm2 の前記スパンボ
ンド不織布、５は目付：１５g/mm2 の前記スパンボンド
不織布、６は目付：１５g/mm2 の前記スパンボンド不織
布、７は目付：２０g/mm2 の前記スパンボンド不織布で
ある。
【００２３】得られたエアーフィルター濾材の特性は、
後の表３にまとめて示す。
後の表３にまとめて示す。
【００２４】
【比較例１】国際公開番号ＷＯ９４／１６８０２号の実
施例より成る多孔質膜（横方向延伸倍率４０倍）を作成
した。この多孔質膜の圧力損失と捕集効率は表２に示す
ようであった。
施例より成る多孔質膜（横方向延伸倍率４０倍）を作成
した。この多孔質膜の圧力損失と捕集効率は表２に示す
ようであった。
【００２５】
【表２】
【００２６】このＰＴＦＥ多孔質膜とポリエステル／ポ
リエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で形成されたス
パンボンド不織布（エルベスユニチカ製）を用い、熱ラ
ミネートにより図２の様なエアーフィルター濾材を作成
した。尚、使用不織布の総秤量は実施例と合わせた。図
２において、１１はＰＴＦＥ多孔質膜、１２は目付：７
０g/mm2 の前記スパンボンド不織布、１３は目付：２０
g/mm2 の前記スパンボンド不織布である。
リエチレンの芯鞘構造を有する複合繊維で形成されたス
パンボンド不織布（エルベスユニチカ製）を用い、熱ラ
ミネートにより図２の様なエアーフィルター濾材を作成
した。尚、使用不織布の総秤量は実施例と合わせた。図
２において、１１はＰＴＦＥ多孔質膜、１２は目付：７
０g/mm2 の前記スパンボンド不織布、１３は目付：２０
g/mm2 の前記スパンボンド不織布である。
【００２７】前記実施例１と比較例１のエアーフィルタ
ー濾材の圧力損失、圧力損失のバラツキ、捕集効率、捕
集効率のバラツキ、リーク性能、圧力損失の上昇性につ
いてテストした。その結果を表３に示した。
ー濾材の圧力損失、圧力損失のバラツキ、捕集効率、捕
集効率のバラツキ、リーク性能、圧力損失の上昇性につ
いてテストした。その結果を表３に示した。
【００２８】
【表３】
【００２９】表３から明らかな通り、実施例１の濾材
が、圧力損失のバラツキ、捕集効率のバラツキ、リーク
性能、圧力損失の上昇性において優れていることが確認
できた。
が、圧力損失のバラツキ、捕集効率のバラツキ、リーク
性能、圧力損失の上昇性において優れていることが確認
できた。
【００３０】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、ＰＴ
ＦＥ多孔質膜を２層以上積層したことにより、従来の１
層だけの場合と比較して、圧力損失のバラツキが緩和さ
れ、貫通したピンホールもなくなり、リークレスとなる
エアーフィルター用濾材を提供することができる。また
絶対的な気孔量も増大し寿命特性も優れたものになる。
ＦＥ多孔質膜を２層以上積層したことにより、従来の１
層だけの場合と比較して、圧力損失のバラツキが緩和さ
れ、貫通したピンホールもなくなり、リークレスとなる
エアーフィルター用濾材を提供することができる。また
絶対的な気孔量も増大し寿命特性も優れたものになる。
【００３１】前記において、ＰＴＦＥ多孔質膜の積層間
に、さらに補強材を介在させたという好ましい構成によ
れば、折り込み加工性や強度が向上する。また前記にお
いて、補強材が繊維不織布であると、ラミネート時に収
縮せず、また、このような補強材とのラミネート膜は、
ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルターとして加工し
やすく、フィルターエレメントにする際に折り込みピッ
チが増やせるという利点がある。
に、さらに補強材を介在させたという好ましい構成によ
れば、折り込み加工性や強度が向上する。また前記にお
いて、補強材が繊維不織布であると、ラミネート時に収
縮せず、また、このような補強材とのラミネート膜は、
ＨＥＰＡフィルターやＵＬＰＡフィルターとして加工し
やすく、フィルターエレメントにする際に折り込みピッ
チが増やせるという利点がある。
【００３２】また前記構成においては、不織布を構成す
る繊維が、芯鞘構造の複合繊維であり、芯成分が鞘成分
より相対的に融点が高い合成繊維であると、ラミネート
時にさらに収縮せず、また、ＨＥＰＡフィルターやＵＬ
ＰＡフィルターとしてさらに加工しやすく、フィルター
エレメントにする際に折り込みピッチが増やせるという
利点がある。
る繊維が、芯鞘構造の複合繊維であり、芯成分が鞘成分
より相対的に融点が高い合成繊維であると、ラミネート
時にさらに収縮せず、また、ＨＥＰＡフィルターやＵＬ
ＰＡフィルターとしてさらに加工しやすく、フィルター
エレメントにする際に折り込みピッチが増やせるという
利点がある。
【００３３】また前記において、５．３ｃｍ／ｓｅｃの
流速で空気を透過させる時の圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ
以下であると、クリーンルーム等のＨＥＰＡ及びＵＬＰ
Ａフィルターとしてさらに好都合である。
流速で空気を透過させる時の圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ
以下であると、クリーンルーム等のＨＥＰＡ及びＵＬＰ
Ａフィルターとしてさらに好都合である。
【００３４】また前記において、流体を流したときに、
上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下流側のＰＴＦ
Ｅ多孔質膜の圧力損失よりも低いと、フィルター寿命を
さらに長くできる。
上流側のＰＴＦＥ多孔質膜の圧力損失が下流側のＰＴＦ
Ｅ多孔質膜の圧力損失よりも低いと、フィルター寿命を
さらに長くできる。
【図１】 本発明の実施例１のエアーフィルター濾材の
概念断面図。
概念断面図。
【図２】 比較例１のエアーフィルター濾材の概念断面
図。
図。
１，２，３ ＰＴＦＥ多孔質膜 ４，５，６，７ 芯鞘構造の複合繊維を用いたスパンボ
ンド不織布 １１ ＰＴＦＥ多孔質膜 １２，１３ 芯鞘構造の複合繊維を用いたスパンボンド
不織布
ンド不織布 １１ ＰＴＦＥ多孔質膜 １２，１３ 芯鞘構造の複合繊維を用いたスパンボンド
不織布
Claims (6)
- 【請求項１】 ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を
２層以上積層したエアーフィルター用濾材。 - 【請求項２】 ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の
積層間に、さらに補強材を介在させた請求項１に記載の
エアーフィルター用濾材。 - 【請求項３】 補強材が不織布である請求項２に記載の
エアーフィルター用濾材。 - 【請求項４】 不織布を構成する繊維が、芯鞘構造の複
合繊維であり、芯成分が鞘成分より相対的に融点が高い
合成繊維である請求項３に記載のエアーフィルター用濾
材。 - 【請求項５】 ５．３ｃｍ／ｓｅｃの流速で空気を透過
させる時の圧力損失が６５ｍｍＨ2 Ｏ以下である請求項
１に記載のエアーフィルター用濾材。 - 【請求項６】 流体を流したときに、上流側のポリテト
ラフルオロエチレン多孔質膜の圧力損失が下流側のポリ
テトラフルオロエチレン多孔質膜の圧力損失よりも低い
請求項１に記載のエアーフィルター濾材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8016352A JPH09206568A (ja) | 1996-02-01 | 1996-02-01 | エアーフィルター用濾材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8016352A JPH09206568A (ja) | 1996-02-01 | 1996-02-01 | エアーフィルター用濾材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09206568A true JPH09206568A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=11913975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8016352A Pending JPH09206568A (ja) | 1996-02-01 | 1996-02-01 | エアーフィルター用濾材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09206568A (ja) |
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