JP2000079332A - エアフィルタ用ろ材 - Google Patents
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Abstract
どの加工が施されても、ポリテトラフルオロエチレン
(PTFE)多孔質膜の捕集性能が損なわれないエアフ
ィルタ用ろ材を提供する。 【解決手段】 少なくとも3層のPTFE多孔質膜を含
む積層体2において、最外層PTFE多孔質膜4の圧力
損失が、少なくとも1つの中間層PTFE多孔質膜5の
圧力損失の1/2以下となるようにした。この積層体2
の両最外層に通気性支持材3を接合してエアフィルタ用
ろ材1とした。
Description
ロエチレン(以下、「PTFE」という。)多孔質膜を
用いたエアフィルタ用ろ材に関する。
ラス繊維にバインダーを加えて抄紙したものが多用され
てきた。しかし、このろ材には、ろ材中の微小繊維によ
る発塵、フッ酸などの薬品による劣化に伴う発塵などの
問題があった。そこで、近年、クリーンで耐薬品性にも
優れているPTFE多孔質膜が半導体製造などの分野に
おいてエアフィルタ用ろ材として使用されている。PT
FE多孔質膜は、シート状に成形したPTFEシートを
延伸して多孔質化することにより、製造することができ
る(例えば、特開平7−196831号公報、特表平6
−816802号公報)。このように延伸して得られた
PTFE多孔質膜のみでは剛性が不足しているため、P
TFE多孔質膜はその片面に通気性支持材を接合して用
いられることが多い。通気性支持材により補強して「こ
し」が補われたろ材は、連続したW字状に折り畳むひだ
折り加工(以下、「プリーツ加工」という。)が施され
て、ろ材ユニットとして利用される。
る方法が種々提案されている(例えば、特開昭57−1
31236号公報、特開平3−179038号公報)。
そして、このような積層体を用いたエアフィルタ用ろ材
も提案されている(特表平9−504737号公報)。
特表平9−504737号公報には、同一の圧力損失を
有する5層のPTFE多孔質膜を積層し、その両側に通
気性の支持材料を配置した捕集効率に優れたろ材が開示
されている。このろ材において、通気性の支持材料は、
PTFE多孔質膜の積層体と緩く一緒にプリーツされる
が、当該積層体と接合されてはいない。
E多孔質膜の片面に通気性支持材を接合したろ材は、接
合によりPTFE多孔質膜の一部の微孔が閉塞され、圧
力損失が大きく増加する。一方、PTFE多孔質膜の積
層体の両側に通気性の支持材料を配置したろ材は、積層
体と支持材料とを接合しないので、圧力損失の増加を招
くことはないが、積層体と支持材料とが一体化されてい
ないために取り扱いが不便である。また、積層体と支持
材料とが接合されていないので、プリーツ加工時に積層
体と支持材料の動きにズレが生ずることがあり、積層体
あるいは支持材料に不用意な折れが発生することもあ
る。
く、プリーツ加工、通気性支持材との接合加工などの加
工が施されても、PTFE多孔質膜本来の捕集性能を発
揮し得るようにPTFE多孔質膜の積層体を改良するこ
とにより、加工性、取り扱い性に優れたエアフィルタ用
ろ材を提供することを目的とする。
に、本発明では、PTFE多孔質膜の積層体の最外層に
配置される膜として、上記のような加工の影響を十分に
緩和することができる多孔質膜を用いることとした。す
なわち、本発明のエアフィルタ用ろ材は、少なくとも3
層のPTFE多孔質膜の積層体を捕集層とし、この積層
体が最外層に配置される第1のPTFE多孔質膜と最外
層を除いた中間層の少なくとも1層に配置される第2の
PTFE多孔質膜とを含み、第1のPTFE多孔質膜の
圧力損失が第2のPTFE多孔質膜の圧力損失の1/2
以下となることを特徴とする。
外層として配置される第1のPTFE多孔質膜は、通気
性支持材との接合加工、プリーツ加工などの加工が、中
間層としての第2のPTFE多孔質膜に及ぼす影響を緩
和する役割を果たす。本発明のも、通気性支持材と最外
層としての第1のPTFE多孔質膜との接合により圧力
損失は増加するが、その増加の程度は上記従来品と比べ
て小さく、ろ材の捕集性能に大きな影響が及ばない範囲
に止められる。また、最外層としての第1のPTFE多
孔質膜がプリーツ加工時の物理的衝撃を引き受けるの
で、中間層としての第2のPTFE多孔質膜に作用する
衝撃が緩和され、ろ材としての捕集性能への影響が少な
くなる。
FE多孔質膜の積層体の両最外層に、通気性支持材が接
合されていることが好ましい。このように通気性支持材
を接合すれば、取り扱いに便利であり、安定したプリー
ツ加工が可能となる。
ば、積層体に通気性支持材が接着剤などにより接合され
ている場合のみならず、積層体に通気性支持材が融着に
より接合している場合であっても、通気性支持材の接合
による圧力損失の過度の上昇を防止することができる。
すなわち、積層体の両最外層に適当な手段により接合し
た通気性支持材を含んでいても、エアフィルタ用ろ材の
圧力損失を積層体の圧力損失の1.15倍以下(1〜
1.15倍)とすることができる。
に基づいて説明する。図1は、本発明のエアフィルタ用
ろ材の一形態を示す断面図である。図1のエアフィルタ
用ろ材1は、PTFE多孔質膜の積層体2の両最外層に
通気性支持材3が接合された構造を有している。PTF
E多孔質膜の積層体2には、最外層PTFE多孔質膜4
と中間層PTFE多孔質膜5とが含まれている。最外層
PTFE多孔質膜4は、通気性支持材3との接合やプリ
ーツ加工による捕集性能への影響を緩和する。なお、P
TFE多孔質膜の積層体2をそのままろ材として用いる
こともできる。
ウダーと液状潤滑剤との混和物を押出および/または圧
延によりシート状に成形し、この未焼成シートから液状
潤滑剤を除去し、次いで延伸して多孔質化することによ
り得ることができる。さらに、延伸後にPTFEの融点
以上の温度に加熱して焼成すれば、強度が向上する。上
記PTFE多孔質膜の積層体2は、このような従来から
公知のPTFE多孔質膜の製造方法のいずれかの段階で
PTFE多孔質膜を積層化する工程を加えた方法により
製造することができる。このような積層化工程を含むP
TFE多孔質膜の製造方法を以下に例示する。
剤とを含む複数の層が積層された予備成形体を準備す
る。この予備成形体について、押出し、圧延、延伸など
を順次行うことにより、PTFE多孔質膜の積層体を得
る。 2)液状潤滑剤を含む複数の未焼成PTFEシートを積
層する。この積層体について、従来の製造方法と同様
に、圧延、延伸などを順次行うことにより、PTFE多
孔質膜の積層体を得る。 3)複数の未焼成PTFE多孔質膜を圧着して積層す
る。
るのは、用いる原料や、圧延、延伸の工程における諸条
件である。PTFE多孔質膜の積層体においては、原料
や工程における諸条件が層ごとに調整される。このよう
な調整は、特に限定されないが、例えばPTFEファイ
ンパウダーの分子量、未焼成PTFEシートを形成する
際の圧延条件、未焼成PTFE多孔質膜を形成する際の
延伸条件などにより行われる。
の積層体において、層ごとに圧力損失を測定することは
困難である。しかし、各層の圧力損失は、各層を、積層
体の製造に適用した当該層の原料や、圧延、延伸などの
工程における諸条件を適用して個別に製造することによ
り評価する(積層体を形成する第1および第2のPTF
E多孔質膜を、該積層体と同一条件により膜ごとに製造
し、その膜の状態で評価する)ことができる。
TFE多孔質膜5の圧力損失は、それぞれ後述する方法
により測定でき、最外層PTFE多孔質膜4の圧力損失
が2〜15mmH2O、中間層PTFE多孔質膜5の圧
力損失が10〜30mmH2Oであることが好ましい。
なお、最外層PTFE多孔質膜の圧力損失を中間層PT
FE多孔質膜の圧力損失の10%〜50%の範囲内とす
るのが好ましいことが判明している。
は、中間層PTFE多孔質膜5の圧力損失の半分以下で
あれば、必ずしも同じである必要はない。また、積層体
2におけるPTFE多孔質膜の積層数は、3層に限られ
ず、4層、5層(図2参照)またはそれ以上でも構わな
い。中間層PTFE多孔質膜が2層以上存在するエアフ
ィルタ用ろ材10の場合には、中間層PTFE多孔質膜
5のうちの最大の圧力損失を有する膜に対して、最外層
PTFE多孔質膜4の圧力損失が半分以下となればよ
い。
mance of Filter)値が20より大きい(好ましくは2
1〜40)PTFE多孔質膜が含まれていることが好ま
しい。ここで、PF値は下記式(1)により求められる
数値である。
具体的には、有効面積100cm2の円形ホルダーにP
TFE多孔質膜などのサンプルをセットして、風速5.
3cm/秒で空気を透過させたときの圧力損失を圧力計
(マノメータ)で測定した数値[mmH2O]である。
また、Eは捕集効率を表し、具体的には、圧力損失測定
と同じ装置にサンプルをセットして同じ流速の空気を透
過させながら、粒子径0.1〜0.2μmの多分散ジオ
クチルフタレート(DOP)をエアロゾルとして、約1
08個/リットルになるように供給し、サンプル上流側
および下流側の粒子濃度をパーティクルカウンター(L
PC)で測定して得た数値から下記式(2)により求め
た割合である。
膜より通気性に優れていればよく、不織布、織布、メッ
シュ、その他の多孔質材料が使用できる。材質、構造、
形態が特に限定されるものではないが、強度、柔軟性、
作業性の観点からは不織布が好ましい。また、接着が容
易であることなどの理由から、芯成分が鞘成分より融点
が高い芯/鞘構造を有する複合繊維からなる不織布がよ
り好ましい。
の接合は、接着剤などの接着部材を用いて行うことがで
き、また、通気性支持材の一部を加熱溶融させることに
より融着する方法で行うこともできる。このような接合
を従来のPTFE多孔質膜に適用すると、溶融した通気
性支持材あるいは接着部材がPTFE多孔質膜の孔を閉
口して通気性が低下し、PTFE多孔質膜本来の性能が
損なわれる場合があった。しかし、上記PTFE多孔質
膜積層体によれば、通気性低下の影響を緩和することが
できる。
発明によれば、通気性支持材がPTFE多孔質膜積層体
の両最外層に接合されていても、PF値が17以上であ
るエアフィルタ用ろ材を得ることができる。
TFE多孔質膜相互が接合されていることが好ましい。
取り扱いに便利であり、安定したプリーツ加工が可能に
なるからである。
説明する。ただし、本発明は以下の実施例により限定さ
れるものではない。なお、以下の実施例における圧力損
失、捕集効率およびPF値は、上記に説明した方法によ
り測定した。また、リーク性能は、以下に示す方法によ
り測定した。
リーツ加工機でサンプル(ろ材)をプリーツ状に加工
し、プリーツ加工されたサンプルを捕集効率の上記測定
法と同一の方法により、上流側の粒子濃度とサンプルを
透過してきた下流側の粒子濃度をパーティクルカウンタ
ーで測定し、下記式(3)により粒子透過率を求めた。
における粒子透過率(P0.1)と0.2〜0.3μmの
粒子径範囲における粒子透過率(P0.2)とをそれぞれ
求め、下記式(4)の条件を満たす場合にリークが生じ
ていると判断した。
し、リーク頻度を求めることにより評価した。
(旭・ICIフロロポリマーズ社製フルオンCD−01
4;「PTFEファインパウダーA」)100重量部に
対して液状潤滑剤(流動パラフィン)35重量部を均一
に混合し、この混合物を20kg/cm2の条件で予備
成形し、次いでこれをロッド状にペースト押出成形し、
さらにこのロッド状成形体を1対の金属圧延ロール間に
通し、厚さ500μmの長尺シート(「圧延シート
A」)を得た。また、別のPTFEファインパウダー
(旭・ICIフロロポリマーズ社製フルオンCD−12
3;「PTFEファインパウダーB」)100重量部に
対して液状潤滑剤(流動パラフィン)25重量部を均一
に混合し、この混合物を20kg/cm2の条件で予備
成形した。次いで、この予備成形体をロッド状にペース
ト押出成形し、さらにこのロッド状成形体を1対の金属
圧延ロール間に通し、厚さ300μmの長尺シート
(「圧延シートB」)を得た。
ずつ重ね合せた後、1対の金属圧延ロール間に通して圧
延し一体化することにより、厚さ900μmのシート状
成形体を得た。このシート状成形体から、トリクレンを
用いた抽出法により液状潤滑剤を除去し、未焼成PTF
E積層体を得た。この未焼成PTFE積層体を、ロール
延伸法により290℃の延伸温度でシート長手方向に2
0倍延伸し、さらにテンター法により80℃の延伸温度
でシート幅方向に30倍延伸し、未焼成PTFE多孔質
膜を得た。この3層構造の未焼成PTFE多孔質膜を、
寸法を固定した状態で400℃、20秒間熱処理し、厚
さが約42μmの3層構造の焼成されたPTFE多孔質
膜積層体からなるろ材(「ろ材1」)を得た。
30g/m2のポリエチレンテレフタレート(PET)
/ポリエステル(PE)芯鞘不織布(ユニチカ社製エル
ベスTO303WDO、鞘部PEの融点:129℃)を
一対のロールを用いた熱ラミネート方式(ロール温度1
40℃)により積層し、PTFE多孔質膜積層体を不織
布により挟持した図1と同構造のろ材(「ろ材2」)を
得た。
するために、圧延シートAを単独で1対の金属圧延ロー
ル間に通して厚さ350μmのシート状成形体を得た。
次にこのシート状成形体を、上記と同様の方法により、
潤滑剤の除去、延伸、および熱処理を実施し、厚さが約
16μmのPTFE多孔質膜(「外層膜A」)を得た。
同様に、圧延シートBを単独で1対の金属圧延ロール間
に通して厚さ200μmのシート状成形体を得た。この
シート状成形体についても、上記と同様の方法により、
潤滑剤の除去、延伸、および熱処理を実施し、厚さが約
8μmのPTFE多孔質膜(「中間層膜A」)を得た。
間層膜Aの両面に外層膜Aを重ね合わせ、さらに、その
両面に実施例1で用いたのと同じPET/PE芯鞘不織
布を熱ラミネート方式(ロール温度140℃)により積
層し、PTFE複層多孔質膜を不織布により挟持したろ
材(「ろ材3」)を得た。
100重量部に対して液状潤滑剤(流動パラフィン)3
5重量部を均一に混合し、この混合物を20kg/cm
2の条件で予備成形した。次いで、この予備成形体をロ
ッド状にペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形
体を1対の金属圧延ロール間に通し、厚さ350μmの
長尺シート(「圧延シートC」)を得た。また、PTF
EファインパウダーB100重量部に対して液状潤滑剤
(流動パラフィン)25重量部を均一に混合し、この混
合物を20kg/cm2の条件で予備成形した。次いで
この予備成形体をロッド状にペースト押出成形し、さら
にこのロッド状成形体を1対の金属圧延ロール間に通
し、厚さ200μmの長尺シート(「圧延シートD」)
を得た。
ら、トリクレンを用いた抽出法により液状潤滑剤を除去
し、未焼成PTFEシートを得た。この未焼成PTFE
シートを、ロール延伸法により290℃の延伸温度でシ
ート長手方向に20倍延伸し、圧延シートCからPTF
E延伸シートCを、圧延シートDからPTFE延伸シー
トDをそれぞれ作製した。次いで、PTFE延伸シート
Dの両面にPTFE延伸シートCを重ね合せ、テンター
法により80℃の延伸温度でシート幅方向に30倍延伸
し、未焼成PTFE多孔質膜を得た。この未焼成PTF
E多孔質膜を400℃で20秒間寸法を固定して熱処理
し、目的とする厚さが約39μmの3層構造の焼成され
たPTFE多孔質膜積層体からなるろ材(「ろ材4」)
を得た。
0g/m2の上記PET/PE芯鞘不織布を熱ラミネー
ト方式(ロール温度140℃)により積層し、PTFE
多孔質膜積層体を不織布により挟持したろ材(「ろ材
5」)を得た。
するために、PTFE延伸シートCを、上記と同様の方
法によりテンター法による延伸および熱処理を行って厚
さが約16μmのPTFE多孔質膜(「外層膜B」)を
得た。同様にPTFE延伸シートDについても、延伸お
よび熱処理を行って厚さが約8μmのPTFE多孔質膜
(「中間層膜B」)を得た。
100重量部に対して液状潤滑剤(流動パラフィン)3
5重量部を均一に混合し、この混合物を20kg/cm
2の条件で予備成形した。次いでこの予備成形体をロッ
ド状にペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形体
を1対の金属圧延ロール間に通し、厚さ500μmの長
尺シートを得た。この液状潤滑剤を含むシート状成形体
を、ロール延伸法により50℃の延伸温度でシート長手
方向に2倍延伸し、PTFE延伸シートを得た。
代えて用いた点を除いては実施例1と同様にして、厚さ
が約29μmの3層構造の焼成されたPTFE多孔質膜
積層体からなるろ材(「ろ材6」)を得た。さらに、こ
のろ材6の両面に実施例1と同様にして不織布を熱ラミ
ネート方式で積層してろ材(「ろ材7」)を得た。
するために、PTFE延伸シート単独で1対の金属圧延
ロール間に通し、厚さ230μmの長尺シートを得た。
次いでこのシート状成形体を、ろ材6を得た方法と同様
の方法により延伸などを行って厚さが約10μmのPT
FE多孔質膜(「外層膜C」)を得た。なお、本実施例
における中間層の評価には、実施例1と同様、中間層膜
Aを使用した。
に代えて、PTFEファインパウダー(ダイキン工業社
製ポリフロンF−104U;「PTFEファインパウダ
ーC」)を用いた点を除いては、実施例1と同様の条件
により、厚さが約38μmの3層構造の焼成されたPT
FE多孔質膜積層体からなるろ材(「ろ材8」)、およ
び該ろ材8を不織布により挟持したろ材(「ろ材9」)
を得た。
するために、PTFEファインパウダーCを用いて得た
圧延シート単独で1対の金属圧延ロール間に通し、厚さ
350μmの長尺シートを得た。次いでこのシート状成
形体を、ろ材8を得た方法と同様の方法により延伸など
を行って厚さが約16μmのPTFE多孔質膜(「外層
膜D」)を得た。なお、この例における中間層の評価に
は、実施例1と同様、中間層膜Aを使用した。
に代えて、PTFEファインパウダーAを用い、実施例
1における圧延シートBの製造と同様にして、厚さ30
0μmの長尺シート(「圧延シートE」)を得た。圧延
シートEの両面に、圧延シートAを重ね合わせる点を除
いては、実施例1と同様にして、厚さが約43μmの3
層構造の焼成されたPTFE多孔質積層体からなるろ材
(「ろ材10」)を得た。さらに、このろ材10の両面
に、実施例1と同様にして、不織布を熱ラミネート方式
で積層してろ材(「ろ材11」)を得た。
延ロール間に通し、厚さ320μmの長尺シートを得
た。次いでこのシート状成形体を、実施例1の中間層膜
Aを得た方法と同様の方法により延伸などを行って厚さ
が約10μmのPTFE多孔質膜(「中間層膜C」)を
得た。なお、この例における外層の評価には、実施例1
と同様、外層膜Aを使用した。
100重量部に対して液状潤滑剤(流動パラフィン)2
5重量部を均一に混合し、この混合物を20kg/cm
2の条件で予備成形した。この予備成形体をロッド状に
ペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形体を1対
の金属圧延ロール間に通し、厚さ250μmの長尺シー
トを得た。このシート状成形体から、トリクレンを用い
た抽出法により液状潤滑剤を除去し、未焼成PTFEシ
ートを得た。この未焼成体PTFEシートを、ロール延
伸法により290℃の延伸温度でシート長手方向に15
倍延伸し、さらにテンター法により80℃の延伸温度で
シート幅方向に30倍延伸し、未焼成PTFE多孔質膜
を得た。この未焼成PTFE多孔質膜を、寸法を固定し
た状態で400℃、20秒間熱処理し、厚さが約13μ
mの焼成されたPTFE多孔質膜(「PTFE単層多孔
質膜」)を得た。
μm、目付量30g/m2の上記PET/PE芯鞘不織
布を熱ラミネート方式(ロール温度140℃)により積
層し、PTFE多孔質膜を不織布により挟持したろ材
(「ろ材12」)を得た。
材、外層膜、中間層膜、PTFE単層多孔質膜の圧力損
失および捕集効率を表1に示す。
たろ材の圧力損失、捕集効率およびPF値を表2に示
す。
トでの圧損上昇率(%)」は、ろ材4の圧力損失と、実
施例1で得られた中間層膜Aの両面に外層膜Aを重ね合
わせた状態の圧力損失から算出した。
中間層膜の圧力損失の半分以下としたろ材1〜7におい
ては、通気性支持材として用いた不織布の熱ラミネート
による圧力損失の上昇が10%以下と小幅であり、その
結果、各ろ材の圧力損失は、45mmH2O以下に止ま
った。また、ろ材1〜7は、捕集効率が99.9999
%以上であり、PF値は、いずれも17以上となった。
一方、ろ材9およびろ材G12は、不織布の熱ラミネー
トによる圧力損失の上昇が大きく(18%超)、圧力損
失が過大となった。また、ろ材11は熱ラミネートによ
る圧力損失は小さいが捕集効率が低くエアフィルタ用と
しては不適なろ材となった。
れたろ材のリーク性能を表3に示す。
び7は、ろ材9,11および12よりもリーク性能にお
いて優れていた。
FE多孔質膜の積層体において、最外層に配置される膜
として、エアフィルタ用ろ材として用いるための加工の
影響を十分に緩和することができる膜を用いることによ
り、PTFE多孔質膜本来の捕集性能を発揮し得るエア
フィルタ用ろ材を提供することができる。
ある。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 少なくとも3層のポリテトラフルオロエ
チレン多孔質膜の積層体を捕集層とし、前記積層体が最
外層に配置される第1のポリテトラフルオロエチレン多
孔質膜と前記最外層を除いた中間層の少なくとも1層に
配置される第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜
とを含み、前記第1のポリテトラフルオロエチレン多孔
質膜の圧力損失が前記第2のポリテトラフルオロエチレ
ン多孔質膜の圧力損失の1/2以下となることを特徴と
するエアフィルタ用ろ材。 - 【請求項2】 前記積層体の両最外層に接合された通気
性支持材を含む請求項1に記載のエアフィルタ用ろ材。 - 【請求項3】 前記積層体の両最外層に接合された通気
性支持材を含み、前記積層体の圧力損失の1.15倍以
下の圧力損失を有する請求項2に記載のエアフィルタ用
ろ材。 - 【請求項4】 前記通気性支持材が、芯成分が鞘成分よ
りも融点が高い芯/鞘構造を有する複合繊維からなる不
織布である請求項2または3に記載のエアフィルタ用ろ
材。
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