JPH07300336A

JPH07300336A - アルカリ非含有ガラス組成物

Info

Publication number: JPH07300336A
Application number: JP5069423A
Authority: JP
Inventors: Brain Yale; イェールブライアン; Bernard Parker; パーカーバーナード
Original assignee: Pilkington PLC
Current assignee: Pilkington Group Ltd
Priority date: 1992-03-03
Filing date: 1993-03-03
Publication date: 1995-11-14
Also published as: GB9204537D0; AU3302993A; EP0559389A2; EP0559389A3; TW238295B; AU659272B2; ZA931072B

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明のガラス組成物を、薄いフィルム状の
トランジスタが組み込まれた液晶表示装置に使用する。【構成】ガラス組成物は、本質的に以下の成分からな
る。 SiO₂ 60.0 〜 63.0 mol ％ Al₂O₃ 9.5〜 12.0 mol ％ SiO₂ + Al₂O₃の合計量が70.5〜 73.0 mol ％の範囲内、 B₂O₃ 9.0〜 11.5 mol ％ MgO 3.0〜 13.0 mol ％ CaO 0 〜 8.0 mol ％ BaO 3.0〜 9.0 mol ％ MgO + CaO + BaO の合計量が16.0〜 19.0 mol ％の範囲
内、 TiO₂ 0 〜 1.0 mol ％ P₂O₅ 0 〜 1.0 mol ％ Fe₂O₃ 0 〜 0.2 mol ％ガラス組成物は、アルカリ金属酸化物、酸化ストロンチ
ウム及び酸化亜鉛を含有していない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置に使用す
るガラス組成物に係わり、特に、薄いフィルム状のトラ
ンジスタが組み込まれた液晶表示装置に使用することを
意図したアルカリ非含有( アルカリフリー) ガラス組成
物に関する。

【０００２】

【従来の技術】このような高度な液晶表示装置に使用す
るガラス組成物は、特定の非常に厳しい基準を満たさな
ければならない。薄いフィルム状のトランジスタが組み
込まれた液晶表示装置を製造する際に、薄いガラス・シ
ートの表面に直接、多数の薄いフィルム状のトランジス
タの配列が形成される。一般に、この薄いフィルム状の
トランジスタは、ガラス基板のシート上の原位置で成長
する。このガラス基板には、ガラス上にポリシリコンの
層を設けるための前処理が施されている。このポリシリ
コン層は通常、高温でのプロセスでガラス基板上に成形
される。つまり、前記装置において基板として使用され
るガラス組成物は、比較的高い歪点(strain point) 温
度を有する組成物でなければならない。典型的なガラス
の歪点温度は、最低600 ℃、より好ましくは630 ℃より
高温でなければならない。

【０００３】ガラス組成物のもう一つの要件として、ガ
ラス組成物はシリコンの熱膨張係数と相似の熱膨張係数
を有するものでなければならない。シリコンの熱膨張係
数は、50℃〜350 ℃の範囲について約38 x 10 ^-7 deg C
^-1である。正確に一致する必要はないが、ガラスとシリ
コンの熱膨張係数の差は20％以内とする。

【０００４】ガラス組成物が有すべき追加的特性とし
て、ガラス組成物は、薄いフィルム状のトランジスタの
配列をガラス上に置くためのプロセスにおいて使用され
る試薬を用いた処理に耐えられなければならない。この
試薬は、鉱酸及び緩衝フッ化水素酸を含む。

【０００５】さらに追加要件として、ガラス組成物はア
ルカリ金属イオンを実質的に含まないものとする。ガラ
ス組成物中にアルカリ金属イオンが存在していると、ア
ルカリ金属イオンはトランジスタ・マトリックス中に拡
散し、トランジスタ・マトリックスの特性を劣化させる
傾向がある。

【０００６】さらに追加要件として、ガラス組成物は、
低コストで高品質のシート形態に成形することが可能で
あり、また、薄い板ガラスの製造に使用される溶融及び
成形プロセスに耐え得るものでなければならない。

【０００７】経済的な溶融及び清澄のために、最高溶融
温度は、炉用耐火煉瓦の過度の侵食を防ぐために1540℃
を超えないことが好ましい。このためには、溶融は、15
50℃で約2.2 を下回る粘度の対数(log viscosity) を有
するものでなければならない。

【０００８】アルカリを含まないガラスは、従来の窓ガ
ラス伸ばし法(window glassdrawing process)で成形す
るのは困難であり、近年主に用いられているプロセス
は、スロット・ブッシング伸ばしシート法(slot-bushin
g down-drawn sheetprocess)である。最近ではフロート
法と、コーニング融解法(Corning fusionprocess)とし
て知られる、より現代的な伸ばしシート法が使用されて
いる。この後者のプロセスでは、液相温度における約3
x 10⁵ ポアズという非常に高い溶融粘度が要求される
が、このような溶融粘度を上記の溶融要件と共に達成す
ることは困難である。スロット・ブッシング法及びフロ
ート法は、液相温度における約2 x 10⁴ ポアズの最低粘
度を必要とするが、この最低粘度を達成することは容易
であり、これらのプロセスのためにこそ、本発明の組成
物が主に意図されているのである。

【０００９】スロット・ブッシング法及びフロート法は
両方とも、1000℃〜1050℃の運転温度を有するソーダ石
灰ガラス用に開発されたが、溶融の運転温度( 即ち、粘
度が1 x 10⁴ ポアズとなる温度) が1100℃を超え、運転
温度が約1200℃を超えると過度になるため、問題が生じ
る。従って、経済的な溶融のためには、1550℃で約2.2
より低い粘度の対数を有する溶融が望ましく、成形のた
めには、運転温度は約1220℃より低く、好ましくは約12
00℃より低いもので、液相温度は運転温度より約50℃(
又はそれ以上) 低くして、液相温度における粘度を約2
x 10⁴ まで高めるようにする。

【００１０】上記の要件を満たすガラスは、酸化物系の
アルミノホウケイ酸(boroaluminosilicate) ガラス(RO
- Al₂O₃ - B₂O₃ - SiO₂)であることが知られている。こ
こでROは、MgO 、CaO 、SrO 、BaO及びZnOの中から選ば
れる酸化物を表している。これらのガラス組成物では、
RO成分が陽イオンを提供する。陽イオンは、ガラス溶融
及び単相溶融に必要なものである。しかし、RO型の酸化
物の濃度が高くなり過ぎると、結果として生じるガラス
組成物の熱膨張係数を過度に高めることになり、結果と
して生じるガラスが、シリコンを基板とする薄いフィル
ム状トランジスタの液晶表示装置の製造に使用するのに
は不適切になってしまう。

【００１１】従って、ガラス組成物の成分酸化物を慎重
に選択してそのバランスを保ち、ガラス・バッチの望ま
しい溶融特質と、結果として生じるガラス組成物の望ま
しい特性という要件を両方とも獲得することが必要であ
る。

【００１２】WO 89/02877(旭硝子) には、主に、55〜70
mol ％のSiO₂、5 〜15mol ％のAl₂O₃ 、10〜25mol ％の
B₂O₃、72〜80mol ％のSiO₂ + B₂O₃ 、1 〜6mol％のMg
O、0 〜6mol％のCaO 、3 〜12mol ％のSrO 、及び3 〜1
2mol ％のBaO から成り、本質的にアルカリ金属酸化物
及び酸化亜鉛を含有しない、アルカリ非含有ガラス組成
物について記載されている。このガラス組成物は、フロ
ート法によってシート状に形成することが可能であると
言われているが、これらはすべて必須成分として酸化ス
トロンチウムを含んでいる。ストロンチウムはその他の
アルカリ土類金属酸化物よりもかなり高価な材料なの
で、ガラス組成物から酸化ストロンチウムを排除すると
コスト面で有利である。

【００１３】アルカリ土類金属酸化物アルミノホウケイ
酸ガラスのもう一つのカテゴリーが、米国特許第482480
8 号(Corning Glass Works) に開示されている。これら
のガラス組成物は、主に、陽イオン・パーセントで、お
よそ52〜58％がSiO₂、12.5〜18％がAl₂O₃ 、20〜23％が
B₂O₃、0 〜4 ％がMgO 、0 〜6 ％がCaO 、0 〜6 ％がSr
O 、1 〜9 ％がBaO 、8 〜12％がMgO+CaO+SrO+BaO 、0
〜3 ％がZnO 及び0 〜1 ％が清澄剤から成る。これらの
ガラス組成物の膨張係数は、シリコンの膨張係数に非常
に近く、このガラス組成物は特に、溶融法として知られ
る伸ばし平面シート(down-drawn flat sheet) 製造に適
している。しかし、本明細書に記載されるガラス組成物
の溶融粘度は、フロート法等の他のガラス成形方法に必
要な溶融粘度よりも高くなり、これらの組成物の運転温
度は1200℃を超えることになり、これは上述のとおり望
ましいことではない。

【００１４】米国特許第4994415 号( 日本電気硝子)
は、アルミノホウケイ酸ガラスのもう一つの種類を開示
している。これらのガラス組成物は、主に、55〜58wt％
がSiO₂、8 〜13wt％がAl₂O₃ 、4 〜10wt％がB₂O₃、4 〜
7wt ％がCaO 、11〜20wt％がBaO 、0 〜5wt ％がSrO 及
び0.5 〜7wt ％がZnO から成り、アルカリ金属酸化物、
酸化鉛及び酸化マグネシウムを含有していない。上述の
とおり、ストロンチウムは比較的高価な材料であるか
ら、可能であれば、ストロンチウムの使用を避けるのが
望ましい。米国特許第4994415 号の発明を示す実施例に
おいては、組成物の一つを除くすべてがSrO を含んでい
る。また、この発明を示していると言われる組成物のす
べてがZnO を含んでいる。しかし、ZnO はフロート成形
の対象となるガラス組成物には望ましくないということ
が明らかになった。最後に、MgO の存在は特にこの米国
特許の組成物から排除されており、その結果、この特許
はガラス成分としての酸化マグネシウムの価値を利用で
きなくなっている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高度
液晶表示装置の製造に使用されるガラス組成物に必要な
上述の様々な基準を満たすアルカリ非含有アルミノホウ
ケイ酸ガラスを供給することである。また、前記ガラス
組成物は酸化亜鉛及び酸化ストロンチウムを含まないも
のとする。

【００１６】

【課題を解決するための手段および発明の作用】本発明
に従って、本質的に以下の組成からなるアルミノホウケ
イ酸ガラスが提供される。 SiO₂ 60.0〜 63.0 mol ％ Al₂O₃ 9.5〜 12.0 mol ％ SiO₂ + Al₂O₃の合計量は、70.5〜 73.0 mol ％の範囲内
である。 B₂O₃ 9.0〜 11.5 mol ％ MgO 3.0〜 13.0 mol ％ CaO 0〜 8.0 mol ％ BaO 3.0〜 9.0 mol ％ MgO + CaO + BaO の合計量は、16.0〜 19.0 mol ％の範
囲内である。 TiO₂ 0〜 1.0 mol ％ P₂O₅ 0〜 1.0 mol ％ Fe₂O₃ 0〜 0.2 mol ％このガラス組成物は、アルカリ金属酸化物、酸化ストロ
ンチウム及び酸化亜鉛を含まない。

【００１７】本発明の好適組成物では、SiO₂ + Al₂O₃の
合計量は71.0〜72.5％である。最も好ましくは、SiO₂量
は61.0〜63.0mol ％、Al₂O₃ 量は9.5 〜10.5mol ％で、
SiO₂+ Al₂O₃の合計量は71.0〜72.5mol ％の範囲内が良
い。

【００１８】本発明のガラス組成物では、MgO は、結果
として生じるガラス組成物の熱膨張係数を望ましくない
程度増加させることなく、ガラス形成成分のバッチの溶
融粘度を最小限にする上でバランスを取るための限界成
分(key component) として利用される。

【００１９】本発明のガラス組成物では、RO成分( 即ち
MgO + CaO + BaO)の合計量の範囲は非常に狭く、16〜19
mol ％しかない。これらのアルカリ土類金属酸化物の合
計量が19mol ％を超える場合、結果として生じるガラス
の膨張係数は、45 x 10 ^-7deg C ^-1を超えることが明か
となっている。従って、ガラスの膨張係数は、シリコン
の膨張係数と矛盾することになる。一方、これらのアル
カリ土類金属酸化物の合計量が16mol ％を下回る場合、
ガラスの溶融粘度は、ガラス中のB₂O₃の量を増加させる
ことによって望ましい低レベルに維持されるだけであ
る。しかし、これには、鉱酸及びその他の試薬による腐
食に対するガラスの抵抗を容認できない程度まで劣化さ
せるという不都合な結果が伴い、溶融されたガラスの運
転温度(T _W) は、1220℃を超える。

【００２０】酸化ホウ酸(B₂O₃)は、本発明のガラス組成
物の必須成分である。その存在によって、膨張係数を容
認できないくらい増加させることなく、ガラスの溶融粘
度及び液相温度を低下させることとなる。但し、塩酸等
の試薬による腐食に対するガラスの抵抗は、B₂O₃のレベ
ルが約12mol ％を超えると、劣化し始める。従って、本
発明のガラス組成物中のB₂O₃量の安全上限は11.5mol ％
である。B₂O₃の量がこの最大値であるか又はこの上限に
近い値であるとき、組成物中のRO成分の合計量は、下記
の表Ｉ中の実施例27に示される特定範囲の最低値に近い
値( 即ち、16.0mol ％に近い値) であることが好まし
い。本発明の特に好ましい組成物において、B₂O₃の量
は、10.0〜11.0mol ％の範囲内である。

【００２１】酸化マグネシウムは、本発明のガラス組成
物のもう一つの必須成分であり、ガラス組成物の溶融粘
度を低下させるのに使用されている。すべてのRO型の酸
化物が、ガラス組成物の溶融粘度をほぼ同じ程度(mol％
基準で計算した場合) 低下させる。但し、MgO は、結果
として生じるガラス組成物の膨張係数を、BaO の場合よ
りもかなり少ない量だけ増加させる。つまり、MgO は、
BaO が引き起こす増加量の約半分しか膨張係数を増加さ
せない。従って、MgO のほうが好ましい。しかし、MgO
をあまり添加しすぎないように注意しなければならな
い。何故ならば、MgO が過量になり過ぎると、冷却溶融
において相分離を生じ得るからである。従って、ガラス
組成物の様々な成分であるRO型酸化物の量のバランスを
慎重に取り、そのような相分離が生じるのを防ぐ必要が
ある。下記の表Ｉに記載される本発明に従うガラス組成
物はいずれも、可視的相分離を示さなかった。

【００２２】もう一つのRO型酸化物である酸化バリウム
もまた、本発明のガラス組成物の必須成分である。一般
的に、酸化バリウムは、酸化カルシウム又は酸化マグネ
シウムの場合よりも低い液相温度をもたらすものであ
り、また酸化バリウムは、望ましくない相分離を起こす
傾向が最も低いが、この酸化物はガラス組成物の膨張係
数を最も高めるものである。組成物中のRO型酸化物(即
ち、酸化マグネシウム、酸化カルシウム及び酸化バリウ
ム) のバランスを慎重に取ることによって、ガラスの線
熱膨張係数を45 x 10 ^-7 deg C^-1を超えて増加させず、
且つ相分離も起こさずに、組成物中のRO型酸化物の合計
量を最大にできることが明らかになった。ガラス中のRO
型酸化物の含有量を16〜19mol ％の範囲内の最大値にす
ることによって、ガラス組成物中のB₂O₃含有量を、12mo
l ％より低い値に維持することができ、その結果、フッ
化水素酸等の試薬による腐食に対するガラスの抵抗を向
上させる。

【００２３】MgO 、CaO 及びBaO の好ましい量は、以下
のとおりである。 MgO 5.0 〜 13.0 mol ％、より好ましくは5.0 〜
7.0 mol％ CaO 0 〜 8.0 mol ％、より好ましくは5.0 〜
7.0 mol％ BaO 4.0 〜 8.0 mol ％

【００２４】ガラス組成物の溶融粘度を持続的に低下さ
せるために少量のTiO₂( 実施例13参照) 及び／又はP₂O₅
( 実施例20参照) を加えることができる。しかし、TiO₂
はガラス組成物に薄黄茶色(pale yellow-brown)の着色
を施すが、この添加物が1mol％を超えるのは望ましくな
い。P₂O₅の存在はガラス組成物中の相分離を悪化させ、
ガラス組成物の耐久性の劣化を引き起こす。従って、こ
の添加物を1mol％を超えてガラス組成物に添加すること
は望ましくない。

【００２５】酸化アンチモン、酸化砒素、もしくは硫酸
マグネシウム、硫酸カルシウム又は硫酸バリウム等の従
来の清澄剤は、少量添加することができる。典型的に、
酸化アンチモン及び酸化砒素は、それぞれ0.2mol％まで
添加することができ、一方硫酸マグネシウム、硫酸カル
シウム及び硫酸バリウムは、それぞれ0.3mol％ SO₃まで
存在することができる。これらの添加物がガラス組成物
の望ましい特性に不都合な影響を与えないように注意を
払わなければならない。フロート成形の対象となるガラ
ス組成物に関しては、酸化アンチモン及び酸化砒素は望
ましくないということを注意しなければならない。

【００２６】本発明の範囲内のガラスは、溶融性、外観
及び／又はその他のガラスの特性を修正するために低い
割合で使用される着色剤又はその他の添加物等のその他
の既知の成分を任意に組み込むことができる。

【００２７】但し、これらの添加物は、上記に特定され
る組成制限を維持するために、非常に制限された量だけ
添加すべきものである。何故ならば、以下に示すとお
り、前記組成制限から外れたガラス組成物は、望ましい
性質を所有しないことが明らかになっている。

【００２８】結果として生じるガラス組成物の主な望ま
しい物理的特質は、以下のとおりである。 (i) 47 x 10 ^-7 deg C^-1以下で40〜47 x 10 ^-7 deg C
^-1の範囲内の線熱膨張係数。 (ii) 1220 ℃より低い、より好ましくは1200℃より低い
運転温度(T_W) 。 (iii) 運転温度よりも50℃以上低い液相温度(T_L)。よ
り好ましくは、ガラス組成物の運転温度よりも少なくと
も75℃低い、1120℃以下が好ましい液相温度(T_L) 。 (iv) 630℃より高い、より好ましくは640 ℃より高い歪
点(T_14.5) 。 (v) 20mg cm ^-2day ^-1より少ない酸耐久性( 減量)(以下
に定義される) 。

【００２９】本発明のガラス組成物は、珪砂、か焼アル
ミナ、ホウ酸及びアルカリ土類炭酸塩等の従来のガラス
成形材料から成形することができる。粉体の大きさの珪
砂又は微粉砂を使用すると特に有利である。また、マグ
ネシウム及びカルシウムの両方の供給源としてドロマイ
ト(MgCO₃・ CaCO₃)を使用すると好都合であるが、これは
決して必須ではない。以下の実施例に示されるガラス組
成物の多くは、次の理由で、CaO 及びMgO を等モル量を
有しているものとみなされる。原料を混合したバッチ
は、従来のガラス融解炉の中で溶融され得るが、当業者
が理解するような侵食に対する十分に優れた抵抗を有す
る炉用耐火煉瓦を慎重に選択する必要がある。その後、
溶融されたガラスは運転温度まで冷却され、フロット・
ブッシング法又はフロート法のいずれかの方法で成形さ
れる。

【００３０】本発明は、表Ｉに示す実施例によって説明
される。表ＩＩには、いくつかの比較実施例が示されて
おり、この比較実施例は、ガラス組成物の成分が特定の
制限を外れたときに、本発明のガラス組成物の望ましい
特性が如何に失われるかを示している。

【００３１】

【実施例】表Ｉ及び表ＩＩに使用されている略語は、以
下の意味を有する。 RO MgO + CaO + BaO の合計量を表す。 CTE 50℃〜350 ℃の温度範囲における熱膨張係数(d
eg C^-1で測定) を表す。 T_L 液相温度( ℃) T_W ASTM 運転温度( ℃) 1 x 10⁴ ポアズ( 又はd PaS)の溶融粘度に相当する。 T₁₃ ASTM焼ナマシ点( ℃) T_14.5 歪点( ℃) log. visc. 1550℃での粘度の対数を表す。 (1550 ℃) (経済的な溶融を行うためには、この
値は約2.20より小さくなければならない) Acid durab. ガラスのサンプルが、95℃の5 ％の塩
酸水に浸されたときの減量として定義される酸耐久性(m
g cm^-2 day^-1) 。

【００３２】特に適したガラス組成物の例は、実施例９
に示されている。このガラスは、1200℃より低い運転温
度、1070℃という低い液相温度とこれに相当する低い結
晶成長率、優れた酸耐久性、要求最低値(630℃) を20℃
超える歪点、並びに不適合の問題無くシリコンの析出及
び結晶化を受けるのに十分低い膨張係数を有する。この
ガラスは、緩衝フッ化水素酸の中でも検査され、濁りが
全く無い、0.035mgcm^-2min ^-1という低い溶液比率を示
した。1020℃から700 ℃という温度勾配での４時間の熱
処理は、相分離による目に見える不透明度を全く示さな
かった。

【００３３】表ＩＩの比較実施例28〜33は、ガラス組成
物が特定の制限から外れたときに、本発明のガラス組成
物の望ましい特性が如何に失われるかを示している。

【００３４】実施例28は、B₂O₃が20mg cm ^-2day ^-1とい
う望ましい最低減量値を超えて増加したときに、如何に
耐久性が劣化するかを示している。

【００３５】実施例29は、不十分な量のアルミナを含
み、これが十分な特性を有しているように見える反面、
このガラスは850 ℃より低い温度で熱処理されたときに
相分離による不透明度を示す。これは液晶表示装置の製
造には受け入れられないものである。

【００３６】実施例30は、酸化バリウムの含有量が特定
の限度を超えたときに、如何に膨張係数が望ましい上限
45 x 10 ^-7 deg C^-1を超えて増加し、高すぎる値になる
かを示している。

【００３７】実施例31は、望ましい運転温度( 即ち1220
℃より低い温度) にするには不十分なRO含有量( またシ
リカ含有量はこれに相応じて過剰である) のガラスを示
している。

【００３８】実施例32は、バリウムを除いた場合に、液
相温度が如何に高すぎるかを示している。また、このガ
ラスは、960 ℃より低温度の熱処理で相分離を生じる。

【００３９】実施例33は、米国特許第4824808 号の請求
の範囲に含まれる組成物が、T _Wが1220℃よりもかなり
高温である場合に、過度に高い溶融粘度を生じることを
示している。

【００４０】

【表１】

【００４１】

【表２】

【００４２】表ＩＩＩでは、本発明のガラス組成物のT
_2.5値( ℃) 及びT _W-T_L値( ℃) が示されている。

【００４３】ガラス組成物のT_2.5値とは、log₁₀ η= 2.
5 のときの温度( ℃) である( ηは溶融されたガラスの
粘度である) 。T_2.5値は、ガラス組成物を溶融する難し
さを示すものである。経済的に溶融及び清澄するために
は、比較的低い値が望ましい。この特性が測定された表
ＩＩＩ中のすべてのガラス組成物は、比較的低いT_2.5値
を示している。

【００４４】T _W-T_L値は、成形温度でのガラス組成物
の安定性の基準を提供する。この数値が大きいほど、ガ
ラスの安定性は高く、従ってガラス組成物の製造はより
容易となる。表ＩＩＩ中のすべての組成物は、実施例６
の場合を除いて、75℃以上のT _W-T_L値を有し、本発明
に従う組成物が成形温度において安定していることを示
している。

【００４５】

【表３】

【００４６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、熱膨張係
数、運転温度、液相温度、歪温度、および酸耐久性等
が、薄いフィルム状のトランジスタが組み込まれた液晶
表示装置に使用されるに適したアルカリ非含有ガラス組
成物を提供することができる。具体的には、本発明はＲ
Ｏ成分の濃度を制限することにより前記アルカリ非含有
ガラス組成物に適した熱膨張係数、すなわちシリコンの
熱膨張係数と相似の熱膨張係数を与えることとができ
る。また酸化ほう素酸および酸化マグネシウムを必須成
分とすることにより、膨張係数を増加させることなく溶
融粘度を低下させることができる。さらに、酸化ほう素
および酸化バリウムを必須成分にすることにより、低い
液相温度をもたらすことができる。一方、本発明によれ
ば、酸化ストロンチウムを含有しないため、低コストな
アルカリ非含有ガラス組成物を提供することができる。

【表１】

【表２】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者バーナードパーカーイギリス国ランカシャイアーダブリュ．エヌ．５７ビー．ピー．，ウィガン，ビリンジ，ドリックグリーン９

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】以下の成分より本質的になり、 SiO₂ 60.0 〜 63.0 mol ％ Al₂O₃ 9.5〜 12.0 mol ％ SiO₂ + Al₂O₃の合計量が70.5〜 73.0 mol ％の範囲内、 B₂O₃ 9.0〜 11.5 mol ％ MgO 3.0〜 13.0 mol ％ CaO 0 〜 8.0 mol ％ BaO 3.0〜 9.0 mol ％ MgO + CaO + BaO の合計量が16.0〜 19.0 mol ％の範囲
内、 TiO₂ 0 〜 1.0 mol ％ P₂O₅ 0 〜 1.0 mol ％ Fe₂O₃ 0 〜 0.2 mol ％アルカリ金属酸化物、酸化ストロンチウム及び酸化亜鉛
を含まない、アルミノホウケイ酸ガラス組成物。
【請求項２】前記ガラス組成物中のSiO₂ + Al₂O₃の合
計量が71.0〜72.5mol ％である、請求項１記載のガラス
組成物。
【請求項３】前記ガラス組成物中のB₂O₃の量が10.0〜
11.0mol ％である、請求項１または請求項２記載のガラ
ス組成物。
【請求項４】前記ガラス組成物中のSiO₂の量が61.0〜
63.0mol ％であり、Al₂O₃ の量が9.5 〜10.5mol ％であ
り、SiO₂ + Al₂O₃の合計量が71.0〜72.5mol ％の範囲内
である、請求項２または請求項３記載のガラス組成物。
【請求項５】前記ガラス組成物中のMgO の量が5.0 〜
13.0mol ％であり、CaO の量が0 〜8.0mol％であり、Ba
O の量が4.0 〜8.0mol％である、請求項１ないし請求項
４のいずれか一項に記載のガラス組成物。
【請求項６】以下の成分より本質的になる、 SiO₂ 61.0〜 63.0 mol ％ Al₂O₃ 9.5〜 10.5 mol ％ SiO₂ + Al₂O₃の合計量が71.0〜 72.5 mol ％の範囲内、 B₂O₃ 10.0〜 11.0 mol ％ MgO 5.0〜 13.0 mol ％ CaO 0 〜 8.0 mol ％ BaO 4.0〜 8.0 mol ％ MgO + CaO + BaO の合計量が16.0〜 19.0 mol ％の範囲
内、請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のガラス
組成物。
【請求項７】前記ガラス組成物中のMgO の量が5.0 〜
7.0mol％であり、CaO の量が5.0 〜7.0mol％であり、Ba
O の量が4.0 〜8.0mol％である、請求項６記載のガラス
組成物。
【請求項８】以下の成分から本質的になる請求項１に
記載されたガラス組成物。 SiO₂ 62.0 mol％ Al₂O₃ 10.0 mol％ B₂O₃ 10.0 mol％ MgO 6.5 mol％ CaO 6.5 mol％ BaO 5.0 mol％
【請求項９】運転温度(T_W) が1120℃以下である、請
求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のガラス組
成物。
【請求項10】液相温度(T_L) が1120℃以下である、請
求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載のガラス組
成物。
【請求項11】歪点(T_14.5) が640 ℃よりも高い、請求
項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載のガラス組
成物。
【請求項12】液相温度が、ガラス組成物の運転温度(T
_W) を少なくとも75℃下回る、請求項１ないし請求項１
１のいずれか一項に記載のガラス組成物。
【請求項13】溶融されたガラスの溶融粘度( η) がlo
g₁₀ η= 2.5 となるような温度Ｔ( 摂氏) であるT_2.5値
が1467℃以下である、請求項１ないし請求項１２のいず
れか一項に記載のたガラス組成物。
【請求項14】請求項１ないし請求項１３のいずれか一
項に記載されたガラス組成物のシートの表面に形成され
る薄いフィルム状のトランジスタの配列が組み込まれた
液晶装置。