JPH07167053A - 高真空排気装置 - Google Patents
高真空排気装置Info
- Publication number
- JPH07167053A JPH07167053A JP31239993A JP31239993A JPH07167053A JP H07167053 A JPH07167053 A JP H07167053A JP 31239993 A JP31239993 A JP 31239993A JP 31239993 A JP31239993 A JP 31239993A JP H07167053 A JPH07167053 A JP H07167053A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pump
- vacuum exhaust
- roughing
- exhaust
- Prior art date
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】複数の真空処理室１，２，３及び高真空排気ポ
ンプ９，１０，１１を有する高真空排気装置高真空装置
において、これらの真空処理室１，２，３及び高真空排
気ポンプ９，１０，１１の起動時間を短縮することを目
的としている。 【構成】高真空排気ポンプ９，１０，１１を繋ぐ真空配
管と、この真空配管を遮断する遮断バルブ２０，２１，
２２とを設け、例えば、既に高真空排気ポンプ９が起動
状態であれば、遮断バルブ２０，２１を開き高真空排気
ポンプ９の排気を利用して起動しようとする高真空排気
ポンプ１０の荒引きを行う。
ンプ９，１０，１１を有する高真空排気装置高真空装置
において、これらの真空処理室１，２，３及び高真空排
気ポンプ９，１０，１１の起動時間を短縮することを目
的としている。 【構成】高真空排気ポンプ９，１０，１１を繋ぐ真空配
管と、この真空配管を遮断する遮断バルブ２０，２１，
２２とを設け、例えば、既に高真空排気ポンプ９が起動
状態であれば、遮断バルブ２０，２１を開き高真空排気
ポンプ９の排気を利用して起動しようとする高真空排気
ポンプ１０の荒引きを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アイソレーションバル
ブで仕切られる複数の真空処理室を真空排気する高真空
排気装置に関する。
ブで仕切られる複数の真空処理室を真空排気する高真空
排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の高真空排気装置の一例にお
ける構成を示す図である。従来、この種の高真空排気装
置は、図３に示すように、アイソレーションバルブ４，
５で仕切られる複数の真空処理室１，２，３のそれぞれ
にメインバルブ６，７，８を介して取付けられる複数の
高真空排気ポンプ９，１０，１１と、真空処理室１，
２，３の荒引きを行なうとともに高真空排気ポンプ９，
１０，１１の背圧を減ずる荒引きポンプ１８と、真空処
理室１，２，３と荒引きポンプ１８とを連結する第１の
配管の開閉を行なう荒引きバルブ１３，１５，１７と、
高真空排気ポンプ９，１０，１１と荒引きポンプ１８と
を連結する第２の配管の開閉を行なう荒引きバルブ１
２，１４，１６とを備えている。
ける構成を示す図である。従来、この種の高真空排気装
置は、図３に示すように、アイソレーションバルブ４，
５で仕切られる複数の真空処理室１，２，３のそれぞれ
にメインバルブ６，７，８を介して取付けられる複数の
高真空排気ポンプ９，１０，１１と、真空処理室１，
２，３の荒引きを行なうとともに高真空排気ポンプ９，
１０，１１の背圧を減ずる荒引きポンプ１８と、真空処
理室１，２，３と荒引きポンプ１８とを連結する第１の
配管の開閉を行なう荒引きバルブ１３，１５，１７と、
高真空排気ポンプ９，１０，１１と荒引きポンプ１８と
を連結する第２の配管の開閉を行なう荒引きバルブ１
２，１４，１６とを備えている。
【０００３】次に、真空処理室１と高真空排気ポンプ９
を起動する例により動作を説明する。今、全てにバルブ
は閉状態にある。まず、荒引きポンプ１８を起動し、次
に荒引きバルブ１２を開にし高真空排気ポンプ９を約５
０ｍｍＴｏｒｒまで荒引きしる。通常、高真空排気ポン
プにクライオポンプを用いた場合、起動には約１〜６時
間要し、ターボポンプの場合は３０分程度を要する。
を起動する例により動作を説明する。今、全てにバルブ
は閉状態にある。まず、荒引きポンプ１８を起動し、次
に荒引きバルブ１２を開にし高真空排気ポンプ９を約５
０ｍｍＴｏｒｒまで荒引きしる。通常、高真空排気ポン
プにクライオポンプを用いた場合、起動には約１〜６時
間要し、ターボポンプの場合は３０分程度を要する。
【０００４】起動完了後、荒引きバルブ１３を開け真空
処理室１の荒引きを約５０ｍｍＴｏｒｒまで行い、荒引
きバルブ１３を閉じ、メインバルブ６を開け、高真空排
気ポンプ９により真空処理室１を高真空に排気する。
処理室１の荒引きを約５０ｍｍＴｏｒｒまで行い、荒引
きバルブ１３を閉じ、メインバルブ６を開け、高真空排
気ポンプ９により真空処理室１を高真空に排気する。
【０００５】この場合、高真空排気ポンプが補助ポンプ
を必要とする（例えばターボポンプ等）場合には荒引き
ポンプ１８を起動、荒引きバルブ１２を開の状態で使用
し、補助必要としない高真空排気ポンプ（例えばクライ
オポンプ等）の場合は、荒引きポンプ１８を停止し、荒
引きバルブ１２を閉じた状態で使用する。
を必要とする（例えばターボポンプ等）場合には荒引き
ポンプ１８を起動、荒引きバルブ１２を開の状態で使用
し、補助必要としない高真空排気ポンプ（例えばクライ
オポンプ等）の場合は、荒引きポンプ１８を停止し、荒
引きバルブ１２を閉じた状態で使用する。
【０００６】前述の例では順次真空排気を行う場合を上
げてあるが、真空処理室と高真空排を同時に荒引きする
場合もある。
げてあるが、真空処理室と高真空排を同時に荒引きする
場合もある。
【０００７】また、他の真空処理室及び高真空排気ポン
プの起動も同様に行うが、同時にあるいは順次行なう場
合がある。さらに、本動作例では全ての高真空排気ポン
プが停止している状態を上げているが場合、通常、本動
作例の状態はまれで、いずれかの高真空排気ポンプは起
動している場合がほとんどである。
プの起動も同様に行うが、同時にあるいは順次行なう場
合がある。さらに、本動作例では全ての高真空排気ポン
プが停止している状態を上げているが場合、通常、本動
作例の状態はまれで、いずれかの高真空排気ポンプは起
動している場合がほとんどである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この従来の高真空排気
装置では、真空処理室及び高真空排気ポンプの荒引きを
荒引きポンプのみで行っているため、荒引き圧力が５０
ｍｍＴｏｒｒ程度と高く、真空処理室及び高真空排気ポ
ンプの起動に長時間を要していた。特に高真空排気ポン
プにクライオンポンプを用いた場合には真空断熱効果が
小さいので、起動に１〜６時間も要するという問題があ
った。
装置では、真空処理室及び高真空排気ポンプの荒引きを
荒引きポンプのみで行っているため、荒引き圧力が５０
ｍｍＴｏｒｒ程度と高く、真空処理室及び高真空排気ポ
ンプの起動に長時間を要していた。特に高真空排気ポン
プにクライオンポンプを用いた場合には真空断熱効果が
小さいので、起動に１〜６時間も要するという問題があ
った。
【０００９】従って、本発明の目的は、真空処理室の排
気および高真空排気ポンプの起動時間をより短くするこ
とのできる高真空排気装置を提供することである。
気および高真空排気ポンプの起動時間をより短くするこ
とのできる高真空排気装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、アイソ
レーションバルブで仕切られる複数の真空処理室のそれ
ぞれにメインバルブを介して取付けられる複数の高真空
排気ポンプと、前記真空処理室の荒引きを行なうととも
に前記高真空排気ポンプの背圧を減ずる荒引きポンプ
と、前記真空処理室と該荒引きポンプとを連結する第１
の配管の開閉を行なう第１の開閉バルブと、前記高真空
排気ポンプと前記荒引きポンプとを連結する第２の配管
の開閉を行なう第２の開閉バルブとを備える高真空排気
装置において、前記高真空排気ポンプを互いに連結する
第３の配管と、この第３の配管を独立に開閉する第３の
開閉バルブとを備える高真空排気装置置である。
レーションバルブで仕切られる複数の真空処理室のそれ
ぞれにメインバルブを介して取付けられる複数の高真空
排気ポンプと、前記真空処理室の荒引きを行なうととも
に前記高真空排気ポンプの背圧を減ずる荒引きポンプ
と、前記真空処理室と該荒引きポンプとを連結する第１
の配管の開閉を行なう第１の開閉バルブと、前記高真空
排気ポンプと前記荒引きポンプとを連結する第２の配管
の開閉を行なう第２の開閉バルブとを備える高真空排気
装置において、前記高真空排気ポンプを互いに連結する
第３の配管と、この第３の配管を独立に開閉する第３の
開閉バルブとを備える高真空排気装置置である。
【００１１】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１は本発明の高真空排気装置の一実施例
における構成を示す図である。この高真空排気装置は、
図１に示すように、高真空排気ポンプ９，１０，１１を
互いに連結する第３の配管と、これらの第３の配管を独
立に開閉する遮断バルブ２０，２１，２２を備えてい
る。それ以外は従来例と同じである。
における構成を示す図である。この高真空排気装置は、
図１に示すように、高真空排気ポンプ９，１０，１１を
互いに連結する第３の配管と、これらの第３の配管を独
立に開閉する遮断バルブ２０，２１，２２を備えてい
る。それ以外は従来例と同じである。
【００１３】図２は図１の高真空排気装置の動作を説明
するためのフローチャートである。次にこの高真空排気
装置の動作について、真空処理室１及び高真空排気ポン
プ９が起動済みで真空処理室２及び高真空排気ポンプ１
０を起動する例を挙げて説明する。
するためのフローチャートである。次にこの高真空排気
装置の動作について、真空処理室１及び高真空排気ポン
プ９が起動済みで真空処理室２及び高真空排気ポンプ１
０を起動する例を挙げて説明する。
【００１４】まず、ステップＡで荒引きポンプ１８を起
動し、ステップＢで荒引きバルブ１４を開く、ステップ
Ｃで高真空ポンプ１０が５０ｍｍＴｏｒｒに達したら、
ステップＤで荒引きバルブ１４を閉じる。次に、ステッ
プＥとステップＦにより遮断バルブ２０および２１を開
き、高真空排気ポンプ９の排気を利用し高真空排気ポン
プ１０を真空排気する。ステップＧで高真空排気ポンプ
１０の圧力が０．２ｍｍＴｏｒｒ以下になったら、ステ
ップＨで高真空排気ポンプ１０を起動する。そして、再
びステップＩとＪにより遮断バルブ２０，２１を閉じ、
ステップＫで荒引きバルブ１５を開き真空処理室２を荒
引きする。そしてステップＬで真空処理室２が５０ｍｍ
Ｔｏｒｒに達したら、ステップＭで荒引きバルブ１５を
閉じ、ステップＮでメインバルブ７を開き、高真空排気
ポンプ１０で真空処理室２を高真空にする。
動し、ステップＢで荒引きバルブ１４を開く、ステップ
Ｃで高真空ポンプ１０が５０ｍｍＴｏｒｒに達したら、
ステップＤで荒引きバルブ１４を閉じる。次に、ステッ
プＥとステップＦにより遮断バルブ２０および２１を開
き、高真空排気ポンプ９の排気を利用し高真空排気ポン
プ１０を真空排気する。ステップＧで高真空排気ポンプ
１０の圧力が０．２ｍｍＴｏｒｒ以下になったら、ステ
ップＨで高真空排気ポンプ１０を起動する。そして、再
びステップＩとＪにより遮断バルブ２０，２１を閉じ、
ステップＫで荒引きバルブ１５を開き真空処理室２を荒
引きする。そしてステップＬで真空処理室２が５０ｍｍ
Ｔｏｒｒに達したら、ステップＭで荒引きバルブ１５を
閉じ、ステップＮでメインバルブ７を開き、高真空排気
ポンプ１０で真空処理室２を高真空にする。
【００１５】このように既に起動状態に達した高真空排
気ポンプを次段に立上げる高真空排気ポンプの真空排気
に利用することによって、高真空排気ポンプの軌道を早
めることができる。なお、ここで述べた実施例の構成で
は、圧力の測定系については省略してある。又、チャー
トに記載する判定圧力は高真空排気ポンプの種類、真空
処理室の容量等により変化する。
気ポンプを次段に立上げる高真空排気ポンプの真空排気
に利用することによって、高真空排気ポンプの軌道を早
めることができる。なお、ここで述べた実施例の構成で
は、圧力の測定系については省略してある。又、チャー
トに記載する判定圧力は高真空排気ポンプの種類、真空
処理室の容量等により変化する。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、各高真空
排気ポンプを結なぐ真空配管とこの真空配管の連通ある
いは遮断を行なうバルブとを設け、既に起動している高
真空排気ポンプの排気作用を利用して起動しようとする
高真空排気ポンプを従来より低い圧力に荒引きすること
によって、真空処理室及び高真空排気ポンプの起動時間
を短くすることが出来という効果がある。例えば、高真
空排気ポンプにクライオンポンプを用いた場合、その起
動時間は従来技術に較べ５０〜７０パーセントまで短縮
できる。
排気ポンプを結なぐ真空配管とこの真空配管の連通ある
いは遮断を行なうバルブとを設け、既に起動している高
真空排気ポンプの排気作用を利用して起動しようとする
高真空排気ポンプを従来より低い圧力に荒引きすること
によって、真空処理室及び高真空排気ポンプの起動時間
を短くすることが出来という効果がある。例えば、高真
空排気ポンプにクライオンポンプを用いた場合、その起
動時間は従来技術に較べ５０〜７０パーセントまで短縮
できる。
【図１】本発明の高真空排気装置の一実施例における構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】図１の高真空排気装置の動作を説明するための
フローチャートである。
フローチャートである。
【図３】従来の高真空排気装置の一例における構成を示
す図である。
す図である。
１，２，３ 真空処理室 ４，５ アイソレーションバルブ ６，７，８ メインバルブ ９，１０，１１ 高真空排気ポンプ １２，１３，１４，１５，１６，１７ 荒引きバルブ １８ 荒引きポンプ ２０，２１，２２ 遮断バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】 アイソレーションバルブで仕切られる複
数の真空処理室のそれぞれにメインバルブを介して取付
けられる複数の高真空排気ポンプと、前記真空処理室の
荒引きを行なうとともに前記高真空排気ポンプの背圧を
減ずる荒引きポンプと、前記真空処理室と該荒引きポン
プとを連結する第１の配管の開閉を行なう第１の開閉バ
ルブと、前記高真空排気ポンプと前記荒引きポンプとを
連結する第２の配管の開閉を行なう第２の開閉バルブと
を備える高真空排気装置において、前記高真空排気ポン
プを互いに連結する第３の配管と、この第３の配管を独
立に開閉する第３の開閉バルブとを備えることを特徴と
する高真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5312399A JP2990003B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 高真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5312399A JP2990003B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 高真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167053A true JPH07167053A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2990003B2 JP2990003B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=18028781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5312399A Expired - Fee Related JP2990003B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | 高真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2990003B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6817377B1 (en) | 1998-12-23 | 2004-11-16 | Applied Materials, Inc. | Processing apparatus having integrated pumping system |
| WO2011080980A1 (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社アルバック | 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 |
| CN103228922A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-07-31 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP5312399A patent/JP2990003B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6817377B1 (en) | 1998-12-23 | 2004-11-16 | Applied Materials, Inc. | Processing apparatus having integrated pumping system |
| US7077159B1 (en) | 1998-12-23 | 2006-07-18 | Applied Materials, Inc. | Processing apparatus having integrated pumping system |
| WO2011080980A1 (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社アルバック | 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 |
| CN102713287A (zh) * | 2009-12-28 | 2012-10-03 | 株式会社爱发科 | 真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置 |
| KR101327715B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2013-11-11 | 가부시키가이샤 알박 | 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법, 그리고 기판 처리 장치 |
| JP5377666B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2013-12-25 | 株式会社アルバック | 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 |
| CN102713287B (zh) * | 2009-12-28 | 2015-04-15 | 株式会社爱发科 | 真空排气装置、真空排气方法及基板处理装置 |
| TWI503481B (zh) * | 2009-12-28 | 2015-10-11 | Ulvac Inc | A vacuum venting device and a vacuum venting method, and a substrate processing device |
| CN103228922A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-07-31 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |
| CN103228922B (zh) * | 2010-05-11 | 2016-10-26 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵送系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2990003B2 (ja) | 1999-12-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990928 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |