JPH0695125B2 - 半導体装置のテスト装置 - Google Patents
半導体装置のテスト装置Info
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- JPH0695125B2 JPH0695125B2 JP63184004A JP18400488A JPH0695125B2 JP H0695125 B2 JPH0695125 B2 JP H0695125B2 JP 63184004 A JP63184004 A JP 63184004A JP 18400488 A JP18400488 A JP 18400488A JP H0695125 B2 JPH0695125 B2 JP H0695125B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の電気的特性を複数個同時にテスト
する半導体装置のテスト装置に関するものである。
する半導体装置のテスト装置に関するものである。
半導体装置（以下、ICという）は製造装置で製造された
のち、各種のテストが行われるが、このうち電気的特性
をテストする従来のテスト装置は、概略第２図に斜視図
を示すように構成されている。すなわち、平面視をＬ字
状に形成された台１の移動通路1a上には、駆動装置で駆
動されて図に矢印Ａで示す方向に移動する長方形のトレ
イ２が配設されており、移動通路1aの端部側で停止中の
トレイ２の上方には、テスト機構３が設けられている。
４はテスト機構３で電気的特性をテストされたのちトレ
イ２内に収納されたICを示している。一方、台１上に
は、複数個のトレイ５が、前記トレイ２の移動方向Ａと
直交する方向に並設されており、またこのトレイ５の上
方には、図に矢印B,Cで示す直交方向へ移動自在な支持
部材で支持された上下動自在な分類装置６が配設されて
いる。
のち、各種のテストが行われるが、このうち電気的特性
をテストする従来のテスト装置は、概略第２図に斜視図
を示すように構成されている。すなわち、平面視をＬ字
状に形成された台１の移動通路1a上には、駆動装置で駆
動されて図に矢印Ａで示す方向に移動する長方形のトレ
イ２が配設されており、移動通路1aの端部側で停止中の
トレイ２の上方には、テスト機構３が設けられている。
４はテスト機構３で電気的特性をテストされたのちトレ
イ２内に収納されたICを示している。一方、台１上に
は、複数個のトレイ５が、前記トレイ２の移動方向Ａと
直交する方向に並設されており、またこのトレイ５の上
方には、図に矢印B,Cで示す直交方向へ移動自在な支持
部材で支持された上下動自在な分類装置６が配設されて
いる。
このように構成されていることにより、テスト機構３で
電気的特性をテストされた複数個のIC4は、トレイ２内
に収納され、トレイ２は矢印Ａ方向に移動して符号2Aで
示す位置で停止する。停止と同時に分類装置６が前後左
右動と上下動とをしてIC4を把持し、把持されたIC4は各
トレイ５内に収納される。この場合、分類装置６により
テスト結果別に分類され、それぞれ別のトレイ５に収納
される。
電気的特性をテストされた複数個のIC4は、トレイ２内
に収納され、トレイ２は矢印Ａ方向に移動して符号2Aで
示す位置で停止する。停止と同時に分類装置６が前後左
右動と上下動とをしてIC4を把持し、把持されたIC4は各
トレイ５内に収納される。この場合、分類装置６により
テスト結果別に分類され、それぞれ別のトレイ５に収納
される。
しかしながら、このような従来のテスト装置において
は、テストを行う部分と、分類を行う部分とが一体構造
となっているために、テスト条件が多様化している現
在、テスト機構３によるテスト時間が長くてテスト個数
が少ない場合には、分類装置６の休み時間が長くなって
その稼働率が低下し、また逆に、テスト機構３によるテ
スト時間が短くてテスト個数が多い場合には、分類装置
６の能力が不足してテスト機構３の稼働率が低下すると
いうように、テスト機構３と分類装置６との能力のアン
バランスが発生してそれぞれの機能が充分に生かされな
いという問題があった。
は、テストを行う部分と、分類を行う部分とが一体構造
となっているために、テスト条件が多様化している現
在、テスト機構３によるテスト時間が長くてテスト個数
が少ない場合には、分類装置６の休み時間が長くなって
その稼働率が低下し、また逆に、テスト機構３によるテ
スト時間が短くてテスト個数が多い場合には、分類装置
６の能力が不足してテスト機構３の稼働率が低下すると
いうように、テスト機構３と分類装置６との能力のアン
バランスが発生してそれぞれの機能が充分に生かされな
いという問題があった。
本発明は以上のような点に鑑みなされたもので、品種変
更によるテスト条件の変更に対し最大限の能力を発揮し
てこれに対応することを可能にした半導体装置のテスト
装置を提供することを目的としている。
更によるテスト条件の変更に対し最大限の能力を発揮し
てこれに対応することを可能にした半導体装置のテスト
装置を提供することを目的としている。
このような目的を達成するために本発明では、電気的特
性テスト後の半導体装置が収納された複数個の搬送用ト
レイを順次テスト部から分類部へ移動させ、この搬送用
トレイ内の前記半導体装置を分類装置でテスト結果別に
分類して収納用トレイ内へ収納する半導体装置のテスト
装置において、前記搬送用トレイの移動径路内に設けら
れこれら複数個の搬送用トレイを順次収納して前記分類
部へ搬送するトレイ収納箱と、このトレイ収納箱に付設
された情報記憶媒体と、前記トレイ収納箱内に収納され
た半導体装置の座標とテスト結果とを対応付けた情報を
前記情報記憶媒体に書き込む情報書き込み装置と、この
書き込まれた情報を読み出して前記分類装置を作動させ
る情報読み出し装置とを設けた。
性テスト後の半導体装置が収納された複数個の搬送用ト
レイを順次テスト部から分類部へ移動させ、この搬送用
トレイ内の前記半導体装置を分類装置でテスト結果別に
分類して収納用トレイ内へ収納する半導体装置のテスト
装置において、前記搬送用トレイの移動径路内に設けら
れこれら複数個の搬送用トレイを順次収納して前記分類
部へ搬送するトレイ収納箱と、このトレイ収納箱に付設
された情報記憶媒体と、前記トレイ収納箱内に収納され
た半導体装置の座標とテスト結果とを対応付けた情報を
前記情報記憶媒体に書き込む情報書き込み装置と、この
書き込まれた情報を読み出して前記分類装置を作動させ
る情報読み出し装置とを設けた。
テスト装置で電気的特性をテストされた半導体装置は、
搬送用トレイに収納されて搬送され、搬送途中でトレイ
収納箱内に順次収納されたのち、このトレイ収納箱は分
類部へ搬送される。この場合トレイ収納箱に付設された
情報記憶媒体には、トレイ収納箱内半導体装置の座標と
テスト結果とを対応付けた情報が情報書き込み装置によ
って書き込まれ、この情報を情報読み出し装置が読み出
して分類装置を作動させるので、この分類装置でトレイ
収納箱から取り出されたトレイ内の半導体装置はテスト
結果にしたがい分類されて収納用トレイ内に収納され
る。
搬送用トレイに収納されて搬送され、搬送途中でトレイ
収納箱内に順次収納されたのち、このトレイ収納箱は分
類部へ搬送される。この場合トレイ収納箱に付設された
情報記憶媒体には、トレイ収納箱内半導体装置の座標と
テスト結果とを対応付けた情報が情報書き込み装置によ
って書き込まれ、この情報を情報読み出し装置が読み出
して分類装置を作動させるので、この分類装置でトレイ
収納箱から取り出されたトレイ内の半導体装置はテスト
結果にしたがい分類されて収納用トレイ内に収納され
る。
第１図は本発明に係る半導体装置のテスト装置の実施例
を示す斜視図である。図において、テスト装置10はテス
ト部11と分類部12とに分離されており、テスト部11の台
13上には、搬送用のトレイ14が、図に矢印Ｄで示す方向
へ移動自在に配設されている。台13上で停止しているト
レイ14の上方には、従来と同様のテスト機構15が設けら
れており、このテスト機構15で電気的特性をテストされ
た複数個の半導体装置16（以下IC16という）は、トレイ
14内に収納されるように構成されている。
を示す斜視図である。図において、テスト装置10はテス
ト部11と分類部12とに分離されており、テスト部11の台
13上には、搬送用のトレイ14が、図に矢印Ｄで示す方向
へ移動自在に配設されている。台13上で停止しているト
レイ14の上方には、従来と同様のテスト機構15が設けら
れており、このテスト機構15で電気的特性をテストされ
た複数個の半導体装置16（以下IC16という）は、トレイ
14内に収納されるように構成されている。
矢印Ｄで示すトレイ14の搬送径路内であるテスト部11と
分類部12との間には、上方へ開口する方形箱状に形成さ
れたトレイ収納箱17が、テスト部11の台13に隣接して床
上に載置されており、このトレイ収納箱17の内部には、
IC16を収納して矢印Ｄ方向に前進した複数個のトレイ14
が上下に重ねられて収納されるように構成されている。
トレイ収納箱17の側面には、内部に収納されたIC16のテ
スト結果と、このIC16のトレイ14内における座標とを対
応付けた情報を例えば光通信により入出力したり記憶し
たりすることのできる情報記憶媒体としてのICカード18
が装着されており、またトレイ収納箱17のICカード18側
側方には、上記テスト結果情報をICカード18へ例えば光
通信により非接触で書き込む情報書き込み装置19がICカ
ード18に対向して設けられている。
分類部12との間には、上方へ開口する方形箱状に形成さ
れたトレイ収納箱17が、テスト部11の台13に隣接して床
上に載置されており、このトレイ収納箱17の内部には、
IC16を収納して矢印Ｄ方向に前進した複数個のトレイ14
が上下に重ねられて収納されるように構成されている。
トレイ収納箱17の側面には、内部に収納されたIC16のテ
スト結果と、このIC16のトレイ14内における座標とを対
応付けた情報を例えば光通信により入出力したり記憶し
たりすることのできる情報記憶媒体としてのICカード18
が装着されており、またトレイ収納箱17のICカード18側
側方には、上記テスト結果情報をICカード18へ例えば光
通信により非接触で書き込む情報書き込み装置19がICカ
ード18に対向して設けられている。
一方、前記分類部12の台20上には、複数個のIC16の分類
収納用トレイ21が並列して載置されており、その下方に
は、前記トレイ収納箱17が、図に矢印Ｅで示すごとくテ
スト部11側から移動して収納されるように構成されてい
る。分類部12側に移動したトレイ収納箱17のICカード18
側側方には、ICカード18に書き込まれた前記テスト結果
情報をICカード18から例えば光通信により無接触で読み
出す情報読み出し装置22がICカード18に対応して設けら
れている。そして、トレイ21の上方には、図に矢印F,G
で示す直交方向へ移動自在な支持部材で支持された上下
動自在な分類装置23が配設されており、トレイ収納箱17
内のトレイ14を１個ずつ台20上に取り出すとともに、情
報読み出し装置22の読み出した前記テスト結果に基づき
各方向へ移動してIC16をピックアップし、各トレー21へ
テスト結果別に分類して収納させるように構成されてい
る。
収納用トレイ21が並列して載置されており、その下方に
は、前記トレイ収納箱17が、図に矢印Ｅで示すごとくテ
スト部11側から移動して収納されるように構成されてい
る。分類部12側に移動したトレイ収納箱17のICカード18
側側方には、ICカード18に書き込まれた前記テスト結果
情報をICカード18から例えば光通信により無接触で読み
出す情報読み出し装置22がICカード18に対応して設けら
れている。そして、トレイ21の上方には、図に矢印F,G
で示す直交方向へ移動自在な支持部材で支持された上下
動自在な分類装置23が配設されており、トレイ収納箱17
内のトレイ14を１個ずつ台20上に取り出すとともに、情
報読み出し装置22の読み出した前記テスト結果に基づき
各方向へ移動してIC16をピックアップし、各トレー21へ
テスト結果別に分類して収納させるように構成されてい
る。
以上のように構成されたテスト装置の動作を説明する。
テスト部11のテスト機構15で電気的特性をテストされた
IC16は、搬送用のトレイ14内に収納され、このトレイ14
は駆動装置で駆動されて矢印Ｄ方向に搬送される。順次
搬送される複数個の各トレイ14は、トレイ収納箱17の上
方で停止し、順次上下に重なってトレイ収納箱17内に収
納される。このとき、トレイ収納箱17に収納されたトレ
イ14中のIC16の座標と、IC16のテスト結果とを対応付け
た情報が、情報書き込み装置19の例えば光通信により無
接触でICカード18に書き込まれ、この動作が繰返されて
トレー収納箱17がトレー14で満たされると、このトレー
収納箱17は駆動装置で駆動されて分類部12へ搬送され
る。
テスト部11のテスト機構15で電気的特性をテストされた
IC16は、搬送用のトレイ14内に収納され、このトレイ14
は駆動装置で駆動されて矢印Ｄ方向に搬送される。順次
搬送される複数個の各トレイ14は、トレイ収納箱17の上
方で停止し、順次上下に重なってトレイ収納箱17内に収
納される。このとき、トレイ収納箱17に収納されたトレ
イ14中のIC16の座標と、IC16のテスト結果とを対応付け
た情報が、情報書き込み装置19の例えば光通信により無
接触でICカード18に書き込まれ、この動作が繰返されて
トレー収納箱17がトレー14で満たされると、このトレー
収納箱17は駆動装置で駆動されて分類部12へ搬送され
る。
トレー収納箱17が分類部12で停止すると、分類装置23が
トレイ収納箱17からトレイ14を取り出すと同時に、情報
読み出し装置22がICカード18から前記IC16の座標とテス
ト結果とが対応付けられた情報を読み出してこれにより
分類装置23が作動し、各IC16はテスト結果にしたがい分
類されて各収納用トレー21に収納される。
トレイ収納箱17からトレイ14を取り出すと同時に、情報
読み出し装置22がICカード18から前記IC16の座標とテス
ト結果とが対応付けられた情報を読み出してこれにより
分類装置23が作動し、各IC16はテスト結果にしたがい分
類されて各収納用トレー21に収納される。
このようにテスト装置10はテスト部11と分離部12とに分
離，独立していてその間でトレイ収納箱17が移動するの
で、IC16の品種が変更されて同時測定個数やテスト時間
等のテスト条件が変動しても、処理能力に影響がなく、
例えばテスト時間が長い場合には、分類部１台に対しテ
スト部を複数台設ければ、両部の処理能力が同じにな
り、従来のように処理能力がアンバランスになることが
ない。
離，独立していてその間でトレイ収納箱17が移動するの
で、IC16の品種が変更されて同時測定個数やテスト時間
等のテスト条件が変動しても、処理能力に影響がなく、
例えばテスト時間が長い場合には、分類部１台に対しテ
スト部を複数台設ければ、両部の処理能力が同じにな
り、従来のように処理能力がアンバランスになることが
ない。
なお、本実施例では情報記憶媒体として光通信による情
報の受渡し可能なICカードを例示したが、フロッピーデ
ィスク等の情報記憶媒体でもよい。但し、本実施例のよ
うに情報書き込み装置，情報読み出し装置，情報記憶媒
体間の通信を光通信にすることにより、非接触状態で通
信を行うことができ、情報書き込み装置や情報読み出し
装置に対し情報記憶媒体を挿入したり取り出したりする
ための機構を必要とせず、コストが低減され、耐用性が
向上する。
報の受渡し可能なICカードを例示したが、フロッピーデ
ィスク等の情報記憶媒体でもよい。但し、本実施例のよ
うに情報書き込み装置，情報読み出し装置，情報記憶媒
体間の通信を光通信にすることにより、非接触状態で通
信を行うことができ、情報書き込み装置や情報読み出し
装置に対し情報記憶媒体を挿入したり取り出したりする
ための機構を必要とせず、コストが低減され、耐用性が
向上する。
また、本実施例では、分類機能を自動装置とした例を示
したが、コンピュータ等を用いて情報を引き出し、ディ
スプレイや紙の上に表示したものを人が行ってもよい。
したが、コンピュータ等を用いて情報を引き出し、ディ
スプレイや紙の上に表示したものを人が行ってもよい。
以上の説明により明らかなように本発明によれば半導体
装置のテスト装置において、分類部から分離されている
テスト部に設けたテスト済半導体装置収納の搬送用トレ
イに情報記憶媒体を付設して、これにトレイ内半導体装
置の座標とテスト結果とを対応付けた情報を書き込み、
この搬送用トレイを分類部へ移動させたのち、情報記憶
媒体から読み出した情報で分類装置を作動させ，トレイ
収納箱から取り出した搬送用トレイ内の半導体装置をテ
スト結果別に分類して複数個の収納用トレイ内へ収納す
るように構成したことにより、分離されたテスト部と分
類部との間でトレイ収納箱を移動させて半導体装置をテ
スト結果ごとに分類，収納することができるので、半導
体装置の品種変更によりテスト条件が変っても、従来の
ようにテスト部と分類部との処理能力がアンバランスに
なることがなく、テスト部、分類部個々の処理能力を最
大限に発揮することができるとともに、処理能力のバラ
ンスをとるためにはテスト部のみの台数を増減すればよ
く、設備費の低減を計ることができる。また、テスト部
と分類部とが独立しているので、相互間に通信妨害が発
生せず、稼働率が向上する。
装置のテスト装置において、分類部から分離されている
テスト部に設けたテスト済半導体装置収納の搬送用トレ
イに情報記憶媒体を付設して、これにトレイ内半導体装
置の座標とテスト結果とを対応付けた情報を書き込み、
この搬送用トレイを分類部へ移動させたのち、情報記憶
媒体から読み出した情報で分類装置を作動させ，トレイ
収納箱から取り出した搬送用トレイ内の半導体装置をテ
スト結果別に分類して複数個の収納用トレイ内へ収納す
るように構成したことにより、分離されたテスト部と分
類部との間でトレイ収納箱を移動させて半導体装置をテ
スト結果ごとに分類，収納することができるので、半導
体装置の品種変更によりテスト条件が変っても、従来の
ようにテスト部と分類部との処理能力がアンバランスに
なることがなく、テスト部、分類部個々の処理能力を最
大限に発揮することができるとともに、処理能力のバラ
ンスをとるためにはテスト部のみの台数を増減すればよ
く、設備費の低減を計ることができる。また、テスト部
と分類部とが独立しているので、相互間に通信妨害が発
生せず、稼働率が向上する。
第１図は本発明に係る半導体装置のテスト装置の実施例
を示すテスト装置の斜視図、第２図は従来の半導体装置
のテスト装置の斜視図である。 10……テスト装置、11……テスト部、12……分類部、14
……搬送用トレイ、15……テスト機構、16……半導体装
置、17……トレイ収納箱、18……ICカード、19……情報
書き込み装置、21……収納用トレイ、22……情報読み出
し装置、23……分類装置。
を示すテスト装置の斜視図、第２図は従来の半導体装置
のテスト装置の斜視図である。 10……テスト装置、11……テスト部、12……分類部、14
……搬送用トレイ、15……テスト機構、16……半導体装
置、17……トレイ収納箱、18……ICカード、19……情報
書き込み装置、21……収納用トレイ、22……情報読み出
し装置、23……分類装置。
Claims (1)
- 【請求項１】電気的特性テスト後の半導体装置が収納さ
れた複数個の搬送用トレイを順次テスト部から分類部へ
移動させ、この搬送用トレイ内の前記半導体装置を分類
装置でテスト結果別に分類して収納用トレイ内へ収納す
る半導体装置のテスト装置において、前記分類部から分
離したテスト部に設けられ前記複数個の搬送用トレイを
順次収納して前記分類部へ移動するトレイ収納箱と、こ
のトレイ収納箱に付設された情報記憶媒体と、前記トレ
イ収納箱内に収納された半導体装置の座標とテスト結果
とを対応付けた情報を前記情報記憶媒体に書き込む情報
書き込み装置と、この書き込まれた情報を読み出して前
記分類装置を作動させる情報読み出し装置とを設けたこ
とを特徴とする半導体装置のテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184004A JPH0695125B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 半導体装置のテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184004A JPH0695125B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 半導体装置のテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0232269A JPH0232269A (ja) | 1990-02-02 |
| JPH0695125B2 true JPH0695125B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=16145639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63184004A Expired - Fee Related JPH0695125B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 半導体装置のテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0695125B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (en) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Semiconductor device tester and semiconductor device testing system with a plurality of semiconductor device testers |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2640162B2 (ja) * | 1990-06-04 | 1997-08-13 | シャープ株式会社 | カラーセンサ |
| JPH0499974A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験システム |
| JP2888750B2 (ja) * | 1994-01-28 | 1999-05-10 | 株式会社東芝 | 半導体装置の処理装置およびその処理方法 |
| DE19625876B4 (de) * | 1995-03-03 | 2005-11-03 | Advantest Corp. | Automatisches Prüfmanipulatorsystem für IC-Prüfer |
| JP4585685B2 (ja) * | 2000-12-07 | 2010-11-24 | 株式会社アドバンテスト | 半導体デバイス試験装置の制御方法・半導体デバイス試験装置 |
| TW201407171A (zh) * | 2012-08-10 | 2014-02-16 | Hon Tech Inc | 電子元件測試分類設備 |
| TWI454715B (zh) * | 2012-08-17 | 2014-10-01 | Hon Tech Inc | Electronic components composite receiving unit and its application of the test equipment |
| JP6460804B2 (ja) * | 2015-01-15 | 2019-01-30 | 株式会社新川 | 分類装置及び分類方法 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63184004A patent/JPH0695125B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (en) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Semiconductor device tester and semiconductor device testing system with a plurality of semiconductor device testers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0232269A (ja) | 1990-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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