JPH0460193A - ドライ真空ポンプの異物捕集装置 - Google Patents
ドライ真空ポンプの異物捕集装置Info
- Publication number
- JPH0460193A JPH0460193A JP17001190A JP17001190A JPH0460193A JP H0460193 A JPH0460193 A JP H0460193A JP 17001190 A JP17001190 A JP 17001190A JP 17001190 A JP17001190 A JP 17001190A JP H0460193 A JPH0460193 A JP H0460193A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign matter
- oil
- sleeve
- rotary shaft
- lubricating oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/023—Lubricant distribution through a hollow driving shaft
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
- F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置などに用いられるドライ真空ポ
ンプの軸受潤滑油の異物捕集方法に関する。
ンプの軸受潤滑油の異物捕集方法に関する。
従来の真空ポンプの潤滑油フィルタは潤滑油の最終もど
り部にオイルフィルタを設置したものや、オイルタンク
の下部にマグネットフィルタあるいはプレートフィルタ
を設けたものが多い。
り部にオイルフィルタを設置したものや、オイルタンク
の下部にマグネットフィルタあるいはプレートフィルタ
を設けたものが多い。
また、真空ポンプの外部に別置の油潤滑ポンプを備えた
タイプのものも見受けられるが、それらは、ラインフィ
ルタを油ポンプの吐呂側に設けている。
タイプのものも見受けられるが、それらは、ラインフィ
ルタを油ポンプの吐呂側に設けている。
上記従来技術はフィルタが目づまりを起こした場合には
、潤滑油がタンク内にもどらず、従って、油位が低下し
、偏心ポンプによる給油ができず軸受、ギヤ、シールな
どが焼き付くという問題がある。
、潤滑油がタンク内にもどらず、従って、油位が低下し
、偏心ポンプによる給油ができず軸受、ギヤ、シールな
どが焼き付くという問題がある。
本発明の目的は給油ラインに、直接、フィルタを設置す
るものではなく、フィルりの目づまりの心配がない異物
捕集装置を提供することにある。
るものではなく、フィルりの目づまりの心配がない異物
捕集装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は接触式シ−ルの相
手スリーブ内周面に異物を留める空間部を設け、磁石、
あるいは、多孔質部材などの異物堆積部材を設けた。
手スリーブ内周面に異物を留める空間部を設け、磁石、
あるいは、多孔質部材などの異物堆積部材を設けた。
異物を含む潤滑油は、偏心ポンプにより、回転軸内部を
通り抜け、接触式シールの相手スリーブに設けた給油口
を通過する際、回転軸の遠心力により、スリーブ内周面
にはねつけられる。この際、異物はスリーブ内周面に設
けた空間部の表面に付着し、自然に堆積する。空間部の
表面あらさが粗い程、接触面積も大きくなり、より多く
の異物を強固に堆積できる。そのため、スリーブの空間
部に凹凸を設けた部材を設けたり、多孔質部材を設ける
ことが考えられる。また、これら凹凸部をもつ部材や多
孔質部材は異物が磁性体でも非磁性体でも捕集する能力
がある。とくに真空ポンプのケーシングは鉱物であるた
め、高硬度な鉱物砂の捕集に有効となる。一方、スリー
ブ空間部に磁石を備えることにより、ギヤ及び軸受など
の磁性体摩耗粉をより強固に捕集することができる。
通り抜け、接触式シールの相手スリーブに設けた給油口
を通過する際、回転軸の遠心力により、スリーブ内周面
にはねつけられる。この際、異物はスリーブ内周面に設
けた空間部の表面に付着し、自然に堆積する。空間部の
表面あらさが粗い程、接触面積も大きくなり、より多く
の異物を強固に堆積できる。そのため、スリーブの空間
部に凹凸を設けた部材を設けたり、多孔質部材を設ける
ことが考えられる。また、これら凹凸部をもつ部材や多
孔質部材は異物が磁性体でも非磁性体でも捕集する能力
がある。とくに真空ポンプのケーシングは鉱物であるた
め、高硬度な鉱物砂の捕集に有効となる。一方、スリー
ブ空間部に磁石を備えることにより、ギヤ及び軸受など
の磁性体摩耗粉をより強固に捕集することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図により説明する。
第２図は本発明を実施するスクリュー形小容量ドライ真
空ポンプの断面図である。スクリュー形のロータ１は図
では一軸しか示してないが、雄ロータと雌ロータの二軸
あり、回転＠２に固定され、タイミングギヤ３により非
接触で同期回転をする。
空ポンプの断面図である。スクリュー形のロータ１は図
では一軸しか示してないが、雄ロータと雌ロータの二軸
あり、回転＠２に固定され、タイミングギヤ３により非
接触で同期回転をする。
また、回転軸２に装着されたもう一つのピニオンギヤ４
はモードル５からの動力をゴルギャ６及びアイドラギヤ
７により増速される。
はモードル５からの動力をゴルギャ６及びアイドラギヤ
７により増速される。
このようにして、ロータ１が回転すると吸気口８から吸
込まれた気体は両ロータにより圧縮移送され排気口９か
ら大気圧まで昇圧されて排気される。
込まれた気体は両ロータにより圧縮移送され排気口９か
ら大気圧まで昇圧されて排気される。
回転軸２は油潤滑軸受１０．１１で支持されている。下
部軸受１１の潤滑は浸漬により行っているが、上部軸受
ｌＯ及びギヤ３，４，６．７の潤滑は、回転軸２の下端
部に装着した偏心ポンプ１２から、回転軸内部に設けら
れた給油孔２ａを通して油タンク１３内の潤滑油１４を
送り込むことで行っている。この潤滑油１４がクリーン
なロータ機内１５へ漏洩するのを防ぐため、オイルシー
ル１６がスリーブ１７とハウジング１８との間に装着さ
れる。このように構成されたドライ真空ポンプは、潤滑
油のフィルタの設置はスペース。
部軸受１１の潤滑は浸漬により行っているが、上部軸受
ｌＯ及びギヤ３，４，６．７の潤滑は、回転軸２の下端
部に装着した偏心ポンプ１２から、回転軸内部に設けら
れた給油孔２ａを通して油タンク１３内の潤滑油１４を
送り込むことで行っている。この潤滑油１４がクリーン
なロータ機内１５へ漏洩するのを防ぐため、オイルシー
ル１６がスリーブ１７とハウジング１８との間に装着さ
れる。このように構成されたドライ真空ポンプは、潤滑
油のフィルタの設置はスペース。
偏心ポンプの性能上の問題、あるいは、油タンク内にフ
ィルタを設置した場合は、フィルタの目づまりによる軸
受、ギヤ、シールなどへの潤滑不良が考えられる。
ィルタを設置した場合は、フィルタの目づまりによる軸
受、ギヤ、シールなどへの潤滑不良が考えられる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。この
図は第５図のオイルシール１６．スリーブ１７．給油孔
２ａ付近を拡大したものである。
図は第５図のオイルシール１６．スリーブ１７．給油孔
２ａ付近を拡大したものである。
回転軸２が回転すると偏心ポンプ１２から回転軸内部に
設けられた給油孔２ａを通って油タンク内の潤滑油１４
が上ってくる。この潤滑油１４は回転軸２の貫通孔１９
を通り抜けると軸受１０゜オイルシール１６及びスリー
ブ１７の内周側に設けられた空間部１７ａの三ケ所に供
給される。この際、スリーブ１７の貫通孔２０は円周上
二カ所しか設けられていないため、かなりの油がスリー
ブ内周面の空間部１７ａに浸入する。浸入した油は回転
軸２の遠心力によりスリーブ内周面に設けられた異物堆
積部材２１にはねつけられる。この際、異物のみが堆積
部材２１に付着堆積する。
設けられた給油孔２ａを通って油タンク内の潤滑油１４
が上ってくる。この潤滑油１４は回転軸２の貫通孔１９
を通り抜けると軸受１０゜オイルシール１６及びスリー
ブ１７の内周側に設けられた空間部１７ａの三ケ所に供
給される。この際、スリーブ１７の貫通孔２０は円周上
二カ所しか設けられていないため、かなりの油がスリー
ブ内周面の空間部１７ａに浸入する。浸入した油は回転
軸２の遠心力によりスリーブ内周面に設けられた異物堆
積部材２１にはねつけられる。この際、異物のみが堆積
部材２１に付着堆積する。
異物堆積部材２１は、スポンジ、多孔質セラミック、繊
維などの多孔質部材、あるいは、金属粉をより強固に付
着させるためには磁石などの堆積部材が考えらおる。ま
た、異物の堆積する面積を広くとれること、−度付着し
た異物が逃げにくくなるなどを考慮すると、堆積部材２
１の表面に凹凸を設けたり、表面あらさを粗くするとい
っそう異物捕集の効果があがる。
維などの多孔質部材、あるいは、金属粉をより強固に付
着させるためには磁石などの堆積部材が考えらおる。ま
た、異物の堆積する面積を広くとれること、−度付着し
た異物が逃げにくくなるなどを考慮すると、堆積部材２
１の表面に凹凸を設けたり、表面あらさを粗くするとい
っそう異物捕集の効果があがる。
本発明によれば、フィルタの目づまり及びスペース確保
の問題が解消でき、軸受、ギヤ、シールなどへ安定した
油の供給ができるので、オイルミストの浸入を許容させ
ない軸シールを確保でき、クリーンなドライ真空ポンプ
を提供給することができる。
の問題が解消でき、軸受、ギヤ、シールなどへ安定した
油の供給ができるので、オイルミストの浸入を許容させ
ない軸シールを確保でき、クリーンなドライ真空ポンプ
を提供給することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す異物捕集部分の縦断面
図、第２図は本発明を実施するスクリュー形ドライ真空
ポンプの縦断面図である。 ２・・回転軸、２ａ・・給油孔、１６・・・オイルシー
ル、１７・スリーブ、１７ａ・・空間部、２１・異物堆
Ｄ ７住−？片油３１ 狐−−−宇間琲 ２−１ −一一異物
図、第２図は本発明を実施するスクリュー形ドライ真空
ポンプの縦断面図である。 ２・・回転軸、２ａ・・給油孔、１６・・・オイルシー
ル、１７・スリーブ、１７ａ・・空間部、２１・異物堆
Ｄ ７住−？片油３１ 狐−−−宇間琲 ２−１ −一一異物
Claims (1)
- １、右及び左ねじロータを一対としたスクリューで、前
記右および左ねじロータは軸受により支承され、その軸
受潤滑油は接触式シールにより前記右および左ねじロー
タへの潤滑油の漏洩を防止する構造のドライ真空ポンプ
において、回転軸端に設けた偏心ポンプと、前記潤滑油
を軸受に給油する際の、異物の捕集のため、前記接触式
シールの相手スリーブ内周面に設けた異物を留める空間
部と表面に凹凸部をもつ異物堆積部材とを含むことを特
徴とする異物捕集装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17001190A JPH0460193A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ドライ真空ポンプの異物捕集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17001190A JPH0460193A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ドライ真空ポンプの異物捕集装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460193A true JPH0460193A (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=15896937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17001190A Pending JPH0460193A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | ドライ真空ポンプの異物捕集装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460193A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6398484B1 (en) | 1998-03-13 | 2002-06-04 | Hitachi, Ltd. | Centrifugal compressor and shaft seal |
| US7458790B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump with improved oil lubrication |
| WO2013018272A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| WO2015083194A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 株式会社飯塚鉄工所 | スクリュー真空ポンプ |
| WO2015128906A1 (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | 国立大学法人東北大学 | スクリュー排気ポンプ用のオイル供給部品及びその部品を備えたスクリュー排気ポンプ |
| CN105782045A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-07-20 | 北京朗禾科技有限公司 | 具有自循环润滑系统的立式干泵 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17001190A patent/JPH0460193A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6398484B1 (en) | 1998-03-13 | 2002-06-04 | Hitachi, Ltd. | Centrifugal compressor and shaft seal |
| US7458790B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump with improved oil lubrication |
| WO2013018272A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| CN103717902A (zh) * | 2011-08-02 | 2014-04-09 | 国立大学法人东北大学 | 气体排气用泵系统和气体排气方法 |
| JP5499411B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2014-05-21 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| US20140193283A1 (en) * | 2011-08-02 | 2014-07-10 | Tohoku University | Gas exhaust pump system and gas exhaust method |
| WO2015083194A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 株式会社飯塚鉄工所 | スクリュー真空ポンプ |
| WO2015128906A1 (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | 国立大学法人東北大学 | スクリュー排気ポンプ用のオイル供給部品及びその部品を備えたスクリュー排気ポンプ |
| CN105782045A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-07-20 | 北京朗禾科技有限公司 | 具有自循环润滑系统的立式干泵 |
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