JPH04203564A - 真空ポンプ用オイルシール - Google Patents
真空ポンプ用オイルシールInfo
- Publication number
- JPH04203564A JPH04203564A JP2329322A JP32932290A JPH04203564A JP H04203564 A JPH04203564 A JP H04203564A JP 2329322 A JP2329322 A JP 2329322A JP 32932290 A JP32932290 A JP 32932290A JP H04203564 A JPH04203564 A JP H04203564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- lip
- oil seal
- vacuum
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置などに用いられるドラム真空ポ
ンプにおいて、とくに、シールの背面側が真空雰囲気と
なる場合に有効なオイルシールに関する。
ンプにおいて、とくに、シールの背面側が真空雰囲気と
なる場合に有効なオイルシールに関する。
従来の装置は、実開昭６３−１６２１６８号公報に記載
のように、ダストリップ部がメインリップ部と反対の方
向に延びており、リップの潤滑もドラムではなくグリー
ス潤滑となっていた。すなわち、シールの背面側が真空
になるとダストリップの緊迫力が減少し、密封油及びグ
リースなどが漏れやすい構造となっていた。
のように、ダストリップ部がメインリップ部と反対の方
向に延びており、リップの潤滑もドラムではなくグリー
ス潤滑となっていた。すなわち、シールの背面側が真空
になるとダストリップの緊迫力が減少し、密封油及びグ
リースなどが漏れやすい構造となっていた。
上記従来技術は、万一、メインリップ部から油漏れがあ
った場合に、真空雰囲気のロータ機内側への油もれを阻
止するような予備手段の点について考慮がなされておら
ず、漏れた潤滑油が真空チャンバ内に浸入し、製品を汚
染するという問題があった。
った場合に、真空雰囲気のロータ機内側への油もれを阻
止するような予備手段の点について考慮がなされておら
ず、漏れた潤滑油が真空チャンバ内に浸入し、製品を汚
染するという問題があった。
本発明の目的は、万一、メインリップから油が漏れた場
合でも、絶対にロータ機内に油が浸入しないように予備
手段を備えたことにある。
合でも、絶対にロータ機内に油が浸入しないように予備
手段を備えたことにある。
上記の目的を達成するために、本発明はオイルシールの
ロータ機内側内周面、も（７くは背面部に、ロータ機内
側と逆方向に延びる副リップ部を設置−ｉ、副Ｉｌツブ
部の摺動先端を潤滑性の良い樹脂で形成したものである
。
ロータ機内側内周面、も（７くは背面部に、ロータ機内
側と逆方向に延びる副リップ部を設置−ｉ、副Ｉｌツブ
部の摺動先端を潤滑性の良い樹脂で形成したものである
。
従来のダストリップでは背面部が真空になるとリップの
先端が開く方向に働くが５本発明の予備手段としての副
リップは、真空雰囲気であるロータ機内と反対の方向へ
リップが延びているので、軸受潤滑油側が大気圧であっ
ても運転中は、リップ弾性の他に、真空と大気圧との差
圧による緊迫力が増加される。また従来のシール形状で
は潤滑剤としてのグリースが真空側へ吸い込まれる可能
性が大きかったが、本発明ではグリースパックの代りに
潤滑性の良い樹脂で摺動先端を形成しているので、グリ
ースが漏れでるようにトラブルはなＶｌ。
先端が開く方向に働くが５本発明の予備手段としての副
リップは、真空雰囲気であるロータ機内と反対の方向へ
リップが延びているので、軸受潤滑油側が大気圧であっ
ても運転中は、リップ弾性の他に、真空と大気圧との差
圧による緊迫力が増加される。また従来のシール形状で
は潤滑剤としてのグリースが真空側へ吸い込まれる可能
性が大きかったが、本発明ではグリースパックの代りに
潤滑性の良い樹脂で摺動先端を形成しているので、グリ
ースが漏れでるようにトラブルはなＶｌ。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
第４図は本発明を実施するスクリュー形ドライ真空ポン
プの断面図である。スクリュー形のロータ１は図では一
軸しか示してないが、雄ロータと雌ロータの二軸あり、
回転軸２に固定され、タイミングギヤ３により非接触で
同期回転する。また、回転軸２に装着されたもう一つの
ピニオンギヤ４はモータ５からの動力をプルギヤ６及び
アイドルギヤ７により増速される。このようにして、ロ
ータ１が回転すると吸気口８から吸込まれた気体は両ロ
ータにより圧縮移送され、排気口９から大気圧まで昇圧
されて排気される５ 一方、回転軸２は油潤滑軸受１０．１１−で支持されて
いる。下部軸受１】の潤滑は浸漬により行っているが、
上部軸］０、及び、ギヤ３，４，６゜７の潤滑は、回転
軸２の下端部に装着した偏心ポンプ］２から回転軸内部
に設けられた給油孔２ａを通して油タンク１３内の潤滑
油１４を送り込むことで行っている。この潤滑油１４が
クリーンを要求されるロータ機内１５へ浸入するのを防
ぐためにオイルシール１６がスリーブ１７とハウジング
１８との間に装着される。このように構成されたドライ
真空ポンプの軸封装置において、第３図に示すような従
来形のオイルシ・−ルを用いると、万一、メインリップ
２３ａから油漏れを生じた場合には、グリース溜り部２
４、及び、ダストリップ２３１）を容易に漏洩油が通過
し、ロータ機内へ浸入する可能性があった。すなわち、
従来例のオイルシールでは背面側が真空になった場合、
ダストリップ２３ｂは緊迫力が弱まる方向に延びている
ためスリーブとの間で開口状態となり、容易に油が漏れ
でたものと思われる。また、メインリップ２３ａからの
油漏れがない場合でも、リップ間に封入したグリースが
真空側に吸い出され、飛散して真空槽を汚染する場合が
あった。いずれにしても、従来例のオイルシールでは背
面側が真空雰囲気になる場合には油漏九のトラブルがあ
った。
プの断面図である。スクリュー形のロータ１は図では一
軸しか示してないが、雄ロータと雌ロータの二軸あり、
回転軸２に固定され、タイミングギヤ３により非接触で
同期回転する。また、回転軸２に装着されたもう一つの
ピニオンギヤ４はモータ５からの動力をプルギヤ６及び
アイドルギヤ７により増速される。このようにして、ロ
ータ１が回転すると吸気口８から吸込まれた気体は両ロ
ータにより圧縮移送され、排気口９から大気圧まで昇圧
されて排気される５ 一方、回転軸２は油潤滑軸受１０．１１−で支持されて
いる。下部軸受１】の潤滑は浸漬により行っているが、
上部軸］０、及び、ギヤ３，４，６゜７の潤滑は、回転
軸２の下端部に装着した偏心ポンプ］２から回転軸内部
に設けられた給油孔２ａを通して油タンク１３内の潤滑
油１４を送り込むことで行っている。この潤滑油１４が
クリーンを要求されるロータ機内１５へ浸入するのを防
ぐためにオイルシール１６がスリーブ１７とハウジング
１８との間に装着される。このように構成されたドライ
真空ポンプの軸封装置において、第３図に示すような従
来形のオイルシ・−ルを用いると、万一、メインリップ
２３ａから油漏れを生じた場合には、グリース溜り部２
４、及び、ダストリップ２３１）を容易に漏洩油が通過
し、ロータ機内へ浸入する可能性があった。すなわち、
従来例のオイルシールでは背面側が真空になった場合、
ダストリップ２３ｂは緊迫力が弱まる方向に延びている
ためスリーブとの間で開口状態となり、容易に油が漏れ
でたものと思われる。また、メインリップ２３ａからの
油漏れがない場合でも、リップ間に封入したグリースが
真空側に吸い出され、飛散して真空槽を汚染する場合が
あった。いずれにしても、従来例のオイルシールでは背
面側が真空雰囲気になる場合には油漏九のトラブルがあ
った。
本発明は上記のように万一、オイルシールから油が漏れ
た場合の予備手段として考案したものであり、つぎに構
成、動作及び効果を説明する。
た場合の予備手段として考案したものであり、つぎに構
成、動作及び効果を説明する。
本発明の第一の実施例を第１図により説明する。
この図は第４図のオイルシール部付近を拡大したもので
ある。図面の上側がロータ機内側であり２５００〜６０
０ｃｍＨｇの低真空雰囲気となる。下側が軸受潤滑油側
であり、給油孔２ａを通過してきた潤滑油１４が軸受１
０に供給されると同時にオイルシール１６によりロータ
機内１５への浸入を防止する。オイルシールのメインリ
ップ１６ａの先端はゴム弾性と円周上に巻かれたコイル
ばね１９の緊迫力により相手スリーブ１７に摺接しつつ
潤滑油１４を密封する。ところが、万一、潤滑油１４が
メインリップ１６ａを通過してきた場合、もし、その後
に摺接するリップがなければ油はそのままロータ機内１
５へ吸込まれてしまう２すなわち、副リップ１６ｂは、
万一、メインリップ１６ａから漏れがあった場合の予備
手段として設けたものである。リップの形状は背面側が
真空雰囲気であることを考慮して、ロータ機内側内周面
にロータ機内側と逆方向に延びる副リップ１６ｂを設け
た、さらにリップ間２２には漏れる可能性の大きいグリ
ースなどの封入はやめ、ドライシールとしてよく用いら
れているＰＴＦＥ及びポリイミドなど潤滑性の良い樹脂
１６ｅを副リップ１６ｂのコーディングした構成とした
。このような形状及び構成にすることにより７シ一ル背
面側が真空になった場合でも副リップ１６ｂの緊迫力が
大気の場合に比べて増加され漏れにくくなる６また、グ
リース自体油を含んでおり、その油が真空側へ吸い込ま
れる可能性が大きく、その点を考慮し、副リップ］−６
ｂの潤滑は樹脂１，６ｃで行うことにした。
ある。図面の上側がロータ機内側であり２５００〜６０
０ｃｍＨｇの低真空雰囲気となる。下側が軸受潤滑油側
であり、給油孔２ａを通過してきた潤滑油１４が軸受１
０に供給されると同時にオイルシール１６によりロータ
機内１５への浸入を防止する。オイルシールのメインリ
ップ１６ａの先端はゴム弾性と円周上に巻かれたコイル
ばね１９の緊迫力により相手スリーブ１７に摺接しつつ
潤滑油１４を密封する。ところが、万一、潤滑油１４が
メインリップ１６ａを通過してきた場合、もし、その後
に摺接するリップがなければ油はそのままロータ機内１
５へ吸込まれてしまう２すなわち、副リップ１６ｂは、
万一、メインリップ１６ａから漏れがあった場合の予備
手段として設けたものである。リップの形状は背面側が
真空雰囲気であることを考慮して、ロータ機内側内周面
にロータ機内側と逆方向に延びる副リップ１６ｂを設け
た、さらにリップ間２２には漏れる可能性の大きいグリ
ースなどの封入はやめ、ドライシールとしてよく用いら
れているＰＴＦＥ及びポリイミドなど潤滑性の良い樹脂
１６ｅを副リップ１６ｂのコーディングした構成とした
。このような形状及び構成にすることにより７シ一ル背
面側が真空になった場合でも副リップ１６ｂの緊迫力が
大気の場合に比べて増加され漏れにくくなる６また、グ
リース自体油を含んでおり、その油が真空側へ吸い込ま
れる可能性が大きく、その点を考慮し、副リップ］−６
ｂの潤滑は樹脂１，６ｃで行うことにした。
つぎに本発明の第二の実施例を第２図に示す。
第一の実施例の副リップがオイルシールの内周面に設け
たのに対し、第二実施例ではオイルシールの背面部へ設
けたものである。すなわち、オイルシール２０にメイン
リップ２０ａから漏れた潤滑油１４はリップ間２１を通
り、予備手段としての副リップ２０ｂとスリーブの端面
】７ ａとの間でシールされ、真空側への油の浸入が阻
止される。
たのに対し、第二実施例ではオイルシールの背面部へ設
けたものである。すなわち、オイルシール２０にメイン
リップ２０ａから漏れた潤滑油１４はリップ間２１を通
り、予備手段としての副リップ２０ｂとスリーブの端面
】７ ａとの間でシールされ、真空側への油の浸入が阻
止される。
副リップの形状も真空になるとシール面の緊迫力が増加
するように、内径方向に延びた形状とした。
するように、内径方向に延びた形状とした。
また、副リップ２０ｂの摺動先端には第一実施例と同様
に潤滑性の良い樹脂２０ ｃをコーディングした構成と
１２だ。
に潤滑性の良い樹脂２０ ｃをコーディングした構成と
１２だ。
本発明によれば、万一、オイルシールのメインリップよ
り油もれを生しても、副すノ−ｆでロータ機内への油も
れを防ぐことができ、ワリーンな真空ポンプが供給でき
るので、製品の歩留り向上に寄与できる。
り油もれを生しても、副すノ−ｆでロータ機内への油も
れを防ぐことができ、ワリーンな真空ポンプが供給でき
るので、製品の歩留り向上に寄与できる。
第１図は本発明の−・実施例を示す軸封部の縦断面図、
第２図は第二実施例を示す軸封部の縦断■１図、第３図
は従来例を示す軸封部の縦断面図、第４図は本発明を実
施するスクリュー形ドラム真空ポンプの縦断面図である
。 １６．２０−オイルシール、１６ａ、２０ｂ−メインリ
ップ、１６ｂ、２０ｂ−副リップ １ｃｃ。
第２図は第二実施例を示す軸封部の縦断■１図、第３図
は従来例を示す軸封部の縦断面図、第４図は本発明を実
施するスクリュー形ドラム真空ポンプの縦断面図である
。 １６．２０−オイルシール、１６ａ、２０ｂ−メインリ
ップ、１６ｂ、２０ｂ−副リップ １ｃｃ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、右ねじ及び左ねじロータを一対としたスクリュー真
空ポンプで、各ロータは軸受により支承され、その軸受
潤滑油がロータ機内へ浸入しないようにオイルシールを
設けてなる真空ポンプの軸封装置において、 前記オイルシールの前記ロータ機内側内周面に前記ロー
タ機の内側と逆方向に延びる副リップ部を設け、前記副
リップ部の摺動先端を潤滑性の良い樹脂で形成したこと
を特徴とする真空ポンプ用オイルシール
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2329322A JPH04203564A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 真空ポンプ用オイルシール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2329322A JPH04203564A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 真空ポンプ用オイルシール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203564A true JPH04203564A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18220164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2329322A Pending JPH04203564A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 真空ポンプ用オイルシール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04203564A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004349619A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Tdk Corp | インターフェースシール |
| JP2008064315A (ja) * | 2007-10-29 | 2008-03-21 | Nabtesco Corp | シール |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2329322A patent/JPH04203564A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004349619A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Tdk Corp | インターフェースシール |
| JP2008064315A (ja) * | 2007-10-29 | 2008-03-21 | Nabtesco Corp | シール |
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