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JP2777545B2 - アクティブマトリクス液晶表示素子 - Google Patents

アクティブマトリクス液晶表示素子

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JP2777545B2
JP2777545B2 JP30122094A JP30122094A JP2777545B2 JP 2777545 B2 JP2777545 B2 JP 2777545B2 JP 30122094 A JP30122094 A JP 30122094A JP 30122094 A JP30122094 A JP 30122094A JP 2777545 B2 JP2777545 B2 JP 2777545B2
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JP
Japan
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light
electrode
liquid crystal
shielding
film transistor
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JP30122094A
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賢 川畑
広行 蛇口
英夫 黒川
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FURONTETSUKU KK
Original Assignee
FURONTETSUKU KK
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Publication date
Application filed by FURONTETSUKU KK filed Critical FURONTETSUKU KK
Priority to JP30122094A priority Critical patent/JP2777545B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は各種の表示を行う液晶表
示装置に用いられるアクティブマトリクス液晶表示素子
に関するもので、特に所謂光漏れを防止し、コントラス
トの向上を図ったものである。
【0002】
【従来の技術】等価回路の一構成例を図19に示したア
クティブマトリクス液晶表示素子では、多数の走査電極
線G1、G2、・・・Gnと、多数の信号電極線S1、S2、・・
・Smとが格子状に配線され、各走査電極線Gは、それぞ
れ走査回路(図示略)に、各信号電極線Sはそれぞれ信
号供給回路(図示略)に接続されている。また、各走査
電極線Gと各信号電極線Sの交差部分の近傍には、スイ
ッチング素子として薄膜トランジスタ10が形成され、
薄膜トランジスタ10のゲート電極12は走査電極線G
に、ソース電極14は信号電極線Sに接続されている。
また、ドレイン電極は、液晶素子18の画素電極と、容
量部34とに接続されている。
【0003】図19に示す回路においては、走査電極線
G1、G2、・・・Gnを順次走査して1つの走査電極線G上
の全ての薄膜トランジスタ10を一斉にオン状態とし、
この走査に同期させて信号供給回路から信号電極線S
1、S2、・・・Smを介し、このオン状態の薄膜トランジス
タ10に接続されている容量部34のうち、表示するべ
き液晶素子18に対応した容量部34に信号電荷を蓄積
する。この蓄積された信号電荷は、薄膜トランジスタ1
0がオフ状態になっても次の走査に至るまで、対応する
液晶素子18を励起し続けるので、液晶素子18が制御
信号に制御され、表示されたことになる。即ち、このよ
うな駆動を行うことで、外部の駆動用の走査回路または
信号供給回路からは時分割駆動していても各液晶素子1
8はスタティック駆動されていることになる。図15,
16に、図19で示した従来例のアクティブマトリクス
液晶表示素子であって、走査電極線Gと信号電極線S等
の部分を基板上に配置したものの一構造例を示す。
【0004】図15,16に示すアクティブマトリクス
液晶表示素子では、ガラス等の透明な基板6上に、走査
電極線Gと信号電極線Sとが互いの交差部分にゲート絶
縁層9を介して格子状に配線されている。また、走査電
極線Gと信号電極線Sとの交差部分の近傍に薄膜トラン
ジスタ10が形成されている。この薄膜トランジスタ1
0は、走査電極線Gから引き出して形成されたゲート電
極12上に、図16に示すように、ゲート絶縁層9が形
成され、このゲート絶縁層9上にアモルファスシリコン
(a−Si)からなる半導体層24が設けられ、さらに
その半導体層24上にアルミニウム等の導体からなるソ
ース電極14とドレイン電極16とが形成されて概略構
成されている。尚、半導体層24の最上層はリン又は不
純物イオンをドープしたアモルファスシリコン層26と
されている。また、ドレイン電極16は、ゲート絶縁層
9に開けられたコンタクトホール13を介して基板6上
に形成された画素電極15に接続されると共に、ソース
電極14は信号電極線Sに接続されている。
【0005】さらに、ゲート絶縁層9とソース電極14
とドレイン電極16などを覆って、これらの上にパシベ
ーション層28が設けられている。さらにまた、液晶表
示素子として、このパシベーション層28には配向膜1
7が形成され、この配向膜17の上方には、配向膜30
を備えた透明基板19が配置される。また、配向膜1
7,30の間に液晶20が封入され、画素電極15が液
晶20の分子に電界を印加すると、液晶分子の配向制御
ができるようになっている。
【0006】また、図15のB−B’断面図を図17に
示す。図17に示すように、この部分においては、基板
6上に2つの画素に対するそれぞれの画素電極15,1
5''が形成され、それらの上にゲート絶縁層9が積層さ
れている。さらに、ゲート絶縁層9上であって、両画素
電極15,15''の間に位置に信号電極線Sが形成さ
れ、それらの上にさらに、パシベーション層28が積層
される。尚、配向膜17は省略した。また、基板6に対
向して、配向膜30が下面に形成された他方の基板19
が配置される。この基板19には、信号電極線Sの上
方、およびその側部であって、画素電極15,15の縁
部上方にかかるように、ブラックマスク22が形成され
ている。
【0007】また、図15のC−C’断面図を図18に
示す。この部分では、基板6上に、走査電極線Gと、走
査電極線Gの両側方に形成される画素電極15,1
5'''が形成され、これらの上にゲート絶縁層9が形成
されている。また、ゲート絶縁層9上であって、走査電
極線Gの上方と、一方の画素電極15'''の端部上方に
は、容量部34が配置され、ゲート絶縁層9に形成され
たコンタクトホール32を介して容量部34は画素電極
15'''に接続している。これらの上にはパシベーショ
ン層28が積層されと共に、基板6に離間し、対向し
て、配向膜30の形成された基板19が配置されてい
る。走査電極線G、その側部上方および、画素電極1
5,15'''の縁部上方の位置の基板19には、ブラッ
クマスク22が形成される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記したようなアクテ
ィブマトリクス液晶表示素子においては、画素電極15
に電荷をかけて、画素電極15が発生させる電界により
液晶分子の配向性を制御し、表示を行う。この際、画素
電極15によって制御される液晶は、画素電極15上に
位置しているものだけである。すなわち、画素電極15
の設けられていない領域、例えば、薄膜トランジスタ、
走査電極線G、信号電極線S上に位置する液晶、さらに
は画素電極15と薄膜トランジスタの間、画素電極15
と走査電極線G及び信号電極線Sとの間の間隙上に位置
する液晶は、画素電極15による電界の制御を受けず、
正規な電界を受けて配向しない。
【0009】つまり、これら画素電極15の上方領域か
ら外れた位置にある液晶分子は、画素電極15が発生さ
せる電界の影響外にあるので、配向性が制御されず、い
わば、乱れた配向状態にある。従って、それら画素電極
15の形成されていないところでは、所定の透過率にな
らず、液晶表示素子の基板の下方に付設されるバックラ
イトからの光などが、制御されることなく液晶表示素子
を通過する所謂光漏れが起き、コントラストが低下した
り、表示に支障が生じたりする問題がある。
【0010】この問題を解決すべく、単に画素電極を大
きくし、画素電極の周部に隙間が生じないようにするこ
とにより光漏れを防止する手段があるが、この手段であ
ると、寄生容量が増大し、フリッカ・クロストークを発
生させてしまう問題が生じてしまうものであった。
【0011】そこで、従来から、この配向性が乱れる部
分の光が表示に表われないようにするために、図15〜
18に示すように、対向基板19に、光を透過しないク
ロムなどからなるブラックマスク22を設けていた。ブ
ラックマスク22は基本的には、画素電極15の形成さ
れていない位置に設けられる。例えば、図16に示すよ
うに、薄膜トランジスタの上方および、薄膜トランジス
タと画素電極15の間の間隙の上方、図17に示すよう
に、信号電極線Sの上方および、信号電極線Sと画素電
極15の間の間隙の上方、図18に示すように、走査電
極線Gの上方および、走査電極線Gと画素電極15の間
の間隙の上方に形成される。
【0012】液晶表示素子を製造するには、上記したよ
うに、基板6に対向基板19を組合せることになるが、
この組合せには極めて高い精度が要求され、正確な位置
合わせは困難とされている。そこで、光漏れの発生の防
止をより完全なものとするために、ブラックマスク22
は、多少、画素電極15上にも被さるように、大きめに
形成しておく処置が採られる。しかしながら、このよう
にブラックマスク22を形成した構造であると、ブラッ
クマスク22の開口部分(即ち、ブラックマスクの形成
されていない部分)の面積は、画素電極15の面積より
も小さいことから、開口率が低下する欠点があり、液晶
画面の高精細化が困難になる問題がある。
【0013】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、ブラックマスクを用いることなく光の漏れを
防止するとともに、開口率の低下を防止した液晶表示素
子を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のアクティ
ブマトリクス液晶表示素子は、格子状に配設された複数
の走査電極線および信号電極線と、それら走査電極線と
信号電極線とで区画された部分に形成された透光性の画
素電極と、走査電極線および信号電極線と画素電極とを
接続した薄膜トランジスタとが形成された第1の基板
と、前記画素電極に対向させて対向電極が形成され、前
記第1の基板と離間して配置される第2の基板と、前記
第1の基板と前記第2の基板の間に介在する液晶とを
備し前記薄膜トランジスタに隣接する他の薄膜トラン
ジスタに接続された隣接走査電極線から前記信号電極線
に沿って該信号電極線と該信号電極線と並設された画素
電極との間の間隙を塞ぐよう同一基板上の一走査電極線
まで延び、かつ先端が該一走査電極線およびこれと接続
する薄膜トランジスタに接触しないで該薄膜トランジス
タを囲む遮光導電体を、前記隣接走査電極線と一体的に
形成したことを特徴とするものである。
【0015】請求項2記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子は、請求項1記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子において、前記一走査電極線、前記薄膜トラン
ジスタおよび前記遮光導電体を覆う絶縁層に形成したコ
ンタクトホールを通して前記一走査電極線から前記薄膜
トランジスタおよび前記遮光導電体上に延び、かつこれ
ら薄膜トランジスタと遮光導電体との間隙を少なくとも
覆う遮光電極層を形成 したことを特徴とするものであ
る。
【0016】請求項3記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子は、請求項1記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子において、前記一走査電極線、前記薄膜トラン
ジスタおよび前記遮光導電体を覆う絶縁層に形成したコ
ンタクトホールを通して前記遮光導電体から前記薄膜ト
ランジスタを覆って前記一走査電極線まで延び、かつこ
れら遮光導電体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線
の間隙を少なくとも覆う遮光電極層を形成したことを特
徴とするものである。
【0017】請求項4に記載のアクティブマトリクス液
晶表示素子は、請求項2または3に記載のアクティブマ
トリクス液晶表示素子において、前記遮光電極層が前記
薄膜トランジスタと前記画素電極の間の間隙を塞いでい
ることを特徴とするものである。
【0018】請求項5記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子は、請求項1記載のアクティブマトリクス液晶
表示素子において、前記走査電極線と協働して容量形成
する遮光性の蓄積容量用電極を、前記走査電極線と前記
画素電極との間の間隙を塞ぐよう設けたことを特徴とす
るものである。
【0019】
【作用】請求項1記載の発明であると、隣接走査電極線
から信号電極線に沿って信号電極線と画素電極との間の
間隙を塞ぐよう同一基板上の一走査電極線まで延び、か
つ先端が一走査電極線およびこれと接続する薄膜トラン
ジスタに接触せずに薄膜トランジスタを囲む遮光導電体
を形成したので、信号電極線と画素電極との間の間隙上
の領域または薄膜トランジスタを囲む領域に位置する液
晶は、画素電極の制御を受けて配向しないけれども、そ
の領域を透過しようとするバックライトからの光は遮光
性の遮光導電体により遮られ、液晶表示素子を透過する
ことがなく、ブラックマスクを第2の基板に形成せずと
も、この薄膜トランジスタの周部の間隙の箇所における
光漏れが防止され、コントラストが改善される。
【0020】請求項2記載の発明であると、薄膜トラン
ジスタと遮光導電体との間隙を少なくとも覆うように一
走査電極線からコンタクトホールを通して延びる遮光電
極層が形成されていることにより、その遮光電極層と、
第2の基板に形成されている対向電極の間には電圧が印
加されている状態となる。したがって、遮光電極層上の
液晶は配向し、電圧が印加されている部分の液晶表示が
暗部となるノーマリホワイト型液晶表示素子において
は、この遮光電極層上の液晶は、光が透過しない方向に
配向していることになり、液晶表示素子のこの領域を光
が透過することはなくなる。すなわち、画素電極上以外
の領域ではあるが、薄膜トランジスタ部分を透過しよう
とするバックライトからの光は、遮光電極層により電圧
の印加された液晶により液晶表示素子を透過することは
なく、ブラックマスクを第2の基板に形成せずとも、こ
の薄膜トランジスタの箇所での光漏れが防止され、コン
トラストが改善される。
【0021】請求項3記載の発明によれば、遮光導電
体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線の間隙を少な
くとも覆うように遮光導電体からコンタクトホールを通
して延びる遮光電極層が形成されていることにより、
光導電体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線の間隙
の領域において請求項2記載の発明が奏する作用効果
同様の効果を奏することができる。 さらに、請求項2ま
たは3に記載の遮光電極層は、下部に形成されている薄
膜トランジスタに対し、ゲート電極としても機能する
が、特に請求項3記載の発明における遮光電極層は遮光
導電体を介して隣接する他の薄膜トランジスタの接続し
隣接走査電極線に接続されていることにより、隣接す
る画素の同時駆動がなされ、フローティングが生じない
ことになる。よって、寄生容量Cgpが低減される。尚、
隣接する画素には、他の画素の信号が一時的に書き込ま
れることになるが、次のタイミングで隣接した画素の信
号が書き込まれるため、不具合は生じないことになる。
【0022】請求項4記載の発明によれば、遮光電極層
が薄膜トランジスタと画素電極の間の間隙を塞いでいる
ことにより、この領域においても請求項2または3に記
載の発明が奏する作用効果と同様の効果を奏することが
できる。
【0023】尚、請求項2ないし4記載の遮光電極層の
周部においては、電界の屈曲が存在し、ディスクリネー
ションが発生するおそれがあるが、その領域には、遮光
導電体、信号電極線または走査電極線のいずれかが形成
されて、バックライトからの光が透過することがないの
で、液晶表示に不具合が生じることはない。
【0024】請求項5記載の発明によれば、走査電極線
と画素電極の間の間隙を覆うように遮光性の蓄積容量用
電極が設けられていることから、走査電極線と画素電極
の間の間隙上に位置する、画素電極による制御を受けな
い液晶を透過しようとする光は、蓄積容量用電極により
遮られ、この領域を光が透過することがない。したがっ
て、寄生容量が増加することなく、この走査電極線と画
素電極の間での光漏れが防止され、コントラストが改善
される。
【0025】この構成の場合、画素電極の周部において
ディスクリネーション発生のおそれがあるが、その領域
は、下方に蓄積容量用電極が形成されているので、バッ
クライトからの光が透過することがないので、液晶表示
に不具合は生じない。
【0026】また、この構成であると、Cppによる突抜
け電圧は、次式で示され(ここで、Vsigは液晶印加
電圧である)、Vg>>Vsigであることから、走査電極線
と画素電極とが直接オーバーラップしているときの式
のものよりもはるかに小さくなる。
【0027】
【数1】
【0028】
【数2】
【0029】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
するが、本発明がこれらの実施例に限定されないことは
勿論のことである。尚、下記に示す各実施例の特徴部分
以外については、上記従来例で示したアクティブマトリ
クス液晶表示素子と同様の構成を有するものとする。
【0030】〔実施例1〕 図1〜6を用いて実施例1のアクティブマトリクス液晶
表示素子を説明する。液晶表示素子は、第1の基板と、
これに対向して離間して配置される第2の基板と、これ
ら第1の基板と第2の基板の間に介在する液晶とから概
略構成される。第2の基板ならびに液晶等の構成は、通
常一般に用いられる構成が使用され、本発明は以下に説
明するように、第1の基板に特徴がある。第1の基板に
は、ガラスなどの透明な基板上に、図6に示すように複
数の走査電極線Gと信号電極線Sとが格子状に配線され
る。これら走査電極線Gや信号電極線Sは、例えば、T
a、Mo、Al、Crなどの遮光性の導電性金属材料か
らなる。
【0031】そして、図1に示すように、走査電極線G
と信号電極線Sとで区画される各部分には画素電極15
が形成される。画素電極15は透光性のもので、例え
ば、ITOなどが使用される。図1には示していない
が、画素電極上には配向膜が形成され、また、この第1
の基板に対向して配置される第2の基板には、画素電極
15に対向した対向電極が形成される。走査電極線G及
び信号電極線Sと、画素電極15とは薄膜トランジスタ
36で接続される。
【0032】図2及び図3を用いて本実施例の薄膜トラ
ンジスタ36及びその周辺部を説明する。この薄膜トラ
ンジスタ36では、走査電極線Gと接続しているゲート
電極12が基板6上に形成され、そのゲート電極12を
覆ってSiO2やSi窒化膜などからなるゲート絶縁層
9が積層される。このゲート絶縁層9上であってゲート
電極12上には、アモルファスシリコン(a−Si)か
らなる半導体層24が設けられ、さらにその半導体層2
4上にアルミニウム等の導体からなるソース電極14と
ドレイン電極16とが形成されている。さらに、これら
を被覆するように、SiO2やSi窒化膜などからなる
絶縁層であるパシベーション層28が積層されている。
本実施例においては、画素電極15はこのパシベーショ
ン層28上に形成されている。パシベーション層28に
はコンタクトホール38が形成されており、ドレイン電
極16と画素電極15とはこのコンタクトホール38を
通じて接続されている。
【0033】さらに本実施例の液晶表示素子において
は、図1に示すように、他の区画部分に形成された画素
電極15’に接続している薄膜トランジスタが接続して
いる走査電極線G(i-1)から、遮光導電体40が薄膜ト
ランジスタ36のゲート電極12の周部に向かって延出
している。この遮光導電体40は、走査電極線Gと同材
料でなり、また走査電極線Gと同時に基板6上に形成さ
れる。隣接した区画部分の薄膜トランジスタ近傍の走査
電極線G(i-1)から延出した遮光導電体40は、信号電
極線Sに沿って薄膜トランジスタ36に向かい、その端
部において、二股に分れ、一方はそのまま直進した第1
端部42、他方は薄膜トランジスタ36を回り込んでド
レイン電極16の下方に通る第2端部44となる。
【0034】さらに、本実施例の液晶表示素子において
は、薄膜トランジスタ36の上部に遮光電極層46が形
成されている。この遮光電極層46は、画素電極15と
同様に、透明導電性材料で構成され、例えばITOなど
が使用され得る。走査電極線G上であって、ゲート絶縁
層9とパシベーション層28にはこれらを貫通するコン
タクトホール48が形成されており、このコンタクトホ
ール48を通じて走査電極線Gと遮光電極層46は接続
し、走査電極線Gと遮光電極層46は同電位とされてい
る。
【0035】この遮光電極層46と画素電極15とは共
にパシベーション層28上に形成されるが、これら遮光
電極層46と画素電極15とは接触しないように形成す
る。したがって、遮光電極層46と画素電極15の間に
は少なからず間隙50が生じるが、この間隙50と、こ
の間隙50の近傍の画素電極15の端部と、その間隙5
0の近傍の遮光電極層46の端部とに、ゲート絶縁層9
やパシベーション層28等を介して重なるように、第2
端部44が形成される。換言すれば、図2に明示されて
いるように、遮光電極層46は、薄膜トランジスタ36
の周辺部において、ゲート電極12と、ゲート電極の周
部の一部を取り囲む遮光導電体40の第2端部44と信
号電極線Sと、絶縁層等を介して重なるように形成され
る。
【0036】上記構成によれば、図3からわかるよう
に、隣接する画素電極15''と画素電極15の間には、
第1端部42、遮光電極層46、第2端部44のいずれ
かが介在するようになっている。
【0037】図1,4を参照して信号電極線Sの周辺に
ついて説明する。図4に示すように、基板上の最下部に
走査電極線G(i-1)から延出した遮光導電体40が形成
され、これを被覆してゲート絶縁層9が積層されてい
る。そして、その上に信号電極線Sが形成され、これを
被覆するようにパシベーション層28が積層されてい
る。このパシベーション層28上には、信号電極線Sで
区分けされた画素電極15と隣接した画素電極15''と
が形成される。ここで、遮光導電体40の幅は信号電極
線Sの幅よりも広く、信号電極線Sと画素電極15,1
5''の間の間隙bと遮光導電体40は、ゲート絶縁層9
やパシベーション層28を介して重なり、さらに、遮光
導電体40は画素電極15,15''の端部とも重なって
いる。従って、上記構成によれば、信号電極線Sの周辺
での画素電極15とこれに隣接する画素電極15''の間
の下方には、遮光導電体40が形成されていることにな
る。
【0038】さらに、信号電極線Sと画素電極15,1
5''の間の間隙bが遮光導電体40と絶縁層を介して重
なるのであれば、図20に示すように、2本に分割され
た遮光導電体40’であってもかまわない。すなわち、
図20に示すものであると、遮光導電体40’は分割さ
れており、信号電極線Sの央部下方には遮光導電体40
が形成されていない箇所があるが、この構成のものであ
っても、画素電極15と隣接する画素電極15''の間に
は、一方の遮光導電体40’、遮光性の信号電極線S、
他方の遮光導電体40’のいずれかが介在するようにな
っている。
【0039】走査電極線Gの周辺部について図1,5を
参照して説明する。本実施例のアクティブマトリクス液
晶表示素子においては、走査電極線Gの上方に、アルミ
ニウムなどの遮光性の金属からなる蓄積容量用電極52
が形成されている。この蓄積容量用電極52は走査電極
線Gに沿って、かつ図5に示すように、走査電極線Gを
被覆したゲート絶縁層9上に形成される。この蓄積容量
用電極52はパシベーション層28で被覆され、そのパ
シベーション層28上には、画素電極15および隣接す
る画素電極15'''が形成される。蓄積容量用電極52
の幅は走査電極線Gの幅よりも広く、蓄積容量用電極5
2の少なくとも一部分は画素電極15,15'''の周部
とパシベーション層28を介して重なっている。さら
に、パシベーション層28に形成されたコンタクトホー
ル54を通じて、隣接した画素電極15'''と蓄積容量
用電極52は接続され、同電位とされている。この構成
によれば、走査電極線Gの周辺においては、画素電極1
5と、隣接した画素電極15'''との間には、蓄積容量
用電極52が介在するようになっている。
【0040】上記構成のアクティブマトリクス液晶表示
素子の等価回路図は図6に示すようなものとなる。薄膜
トランジスタ36のゲート電極12は走査電極線Gに、
ソース電極14は信号電極線Sに接続し、ドレイン電極
16と接続した画素電極は、液晶との間に容量CLCが形
成される。さらに、ドレイン電極16と隣接する他の区
画に係る走査電極線G(i-1)との間に容量Csが形成され
るとともに、隣接するさらに他の薄膜トランジスタとの
間に寄生容量Cppが形成される。複数の走査電極線Gと
信号電極線Sとで区画された部分に形成された各薄膜ト
ランジスタにおいて、同様の等価回路が構成される。
【0041】上記構成のアクティブマトリクス液晶表示
素子を使用するときには、従来のアクティブマトリクス
液晶表示素子と同様に、走査電極線Gに走査回路から走
査信号を印加すると共に信号供給回路から信号電極線S
に駆動回路を印加し、画素電極15を駆動することによ
り、その画素電極15上に位置する液晶の分子の配向性
を制御し、もって光の透過率を制御する。液晶表示素子
の第1の基板の下方には、バックライトが付設され、そ
のバックライトから発せられた光が制御された液晶を通
過することにより、各種の表示が行なわれる。
【0042】従来の液晶表示素子においては、画素電極
と薄膜トランジスタの間、画素電極と信号電極線の間、
または画素電極と走査電極線Gの間には間隙が存在し、
この間隙上の液晶は画素電極の制御を受けることなく無
秩序に配向するので、バックライトからの透過すべきで
ない光が液晶表示素子を透過することがあった。しかし
ながら、本実施例の液晶表示素子であると、これら各部
での間隙を透過する光は遮られ、無秩序な液晶を光が透
過することがない。
【0043】即ち、画素電極15と薄膜トランジスタ3
6の間隙においては、遮光導電体40及びその第2端部
44が配置されており、この遮光導電体40及びその第
2端部44により光は遮られ、無秩序な液晶部分を光が
透過することがない。
【0044】また、薄膜トランジスタ36の上には、上
記したように、走査電極線Gと接続した遮光電極層46
が形成されている。したがって、遮光電極層46は走査
電極線Gと同電位になっており、この遮光電極層46
と、第2の基板に形成されている遮光電極層46と対向
する電極との間には電圧が印加されている状態となって
いる。よって、電圧が印加されている部分の液晶表示が
暗部となるノーマリホワイト型液晶表示素子において
は、この遮光電極層46上の液晶は、光が透過しない方
向に配向していることになり、遮光電極層46の形成さ
れている位置においては遮光がなされる。即ち、遮光電
極層46そのものは、本実施例においてはITOで構成
されていることから透明であり、光を透過するものであ
るが、遮光電極層46は走査電極線Gと同電位であるこ
とから、液晶が制御されて、液晶表示素子として遮光性
が機能するようになっている。
【0045】また、この遮光電極層46は、画素電極1
5と同じ材料、例えばITO(インジウム錫酸化膜)を
使用できるので、画素電極15と同時に形成することが
できるので、特別な新規工程を付加することなく遮光電
極層46を形成することができ、製造工程が複雑化する
ことなく、製造工程にかかるコスト増加はほとんどな
い。
【0046】また、遮光電極層46の周部においては、
電界の屈曲が存在し、ディスクリネーションが発生する
おそれがあるが、その領域には、走査電極線G、遮光導
電体40または信号電極線Sのいずれかが形成されてお
り、液晶表示に不具合が生じることはない。
【0047】また、信号電極線Sと画素電極15の間に
は間隙が生じるが、本実施例の液晶表示素子であると、
その間隙と遮光導電体40が重なりあっているので、信
号電極線Sと画素電極線15の間の間隙を光が透過する
ことはない。したがって、この構成によれば、寄生容量
が増加することなく、遮光がなされる。
【0048】この際、画素電極15の端部においてディ
スクリネーション発生のおそれがあるが、その領域は、
下方に遮光導電体40が形成されているので、液晶表示
に不具合は生じない。
【0049】また、走査電極線Gと画素電極15,1
5'''の間にも間隙が生じるが、本実施例の液晶表示素
子であると、その間隙と、遮光性の蓄積容量用電極52
が重なっているので、走査電極線Gと画素電極15の間
を光が透過することはない。
【0050】また、本実施例の構成であると、走査電極
線Gと画素電極15の寄生容量Cgpは、蓄積容量用電極
52と画素電極15の寄生容量CppとCspの直列容量と
なり、走査電極線Gと画素電極15とを直接オーバーラ
ップさせた際の寄生容量Cppよりも小さくなる。
【0051】さらにまた、画素電極15の周囲には、デ
ィスクリネーション発生のおそれがあるが、その領域
は、下方に蓄積容量用電極52が形成されているので、
液晶表示に不具合は生じない。
【0052】よって、本実施例の液晶表示素子である
と、画素電極15の形成されていない領域においては、
いずれも遮光性の、走査電極線G、信号電極線S、ゲー
ト電極12、ソース電極14、ドレイン電極16、遮光
導電体40、蓄積容量用電極52のいずれかが介在する
か、または遮光電極層46上の液晶による遮光性が付与
されていることになるので、制御されていない液晶の領
域を光が透過することがない。したがって、本実施例の
液晶表示素子であると、第2の基板にブラックマスクを
設けることなく、所謂、光漏れを防止することができ
る。したがって、開口率の低下を伴うことなく、コント
ラストの低下と表示の不具合の発生を抑えることができ
る。
【0053】一般に、第1の基板と第2の基板を組合せ
る際の製造精度は、5μm程度とされており、その為、
第2の基板に形成するブラックマスクをその製造誤差に
対応できるように大きく形成していたが、本実施例のよ
うに第1の基板のみで、光漏れの対策を施し、第2の基
板にブラックマスクを形成しないものであると、一方の
基板内の製造精度は2μm程度であるので、開口率は従
来の約50%から約60%に増加し得る。
【0054】しかも、本実施例の構成によれば、画素電
極を大きくすることなく、光漏れを防いでいるものなの
で、寄生容量が増大化せず、フリッカ・クロストークの
発生の問題が生じにくい。
【0055】なお、上記構成の第1の基板を有する液晶
表示素子においても、さらに、第2の基板に、Crなど
の遮光性の金属からなるブラックマスクを形成すること
が好ましい。但し、この場合、ブラックマスクは、第1
の基板に形成された薄膜トランジスタの上部のみで良
く、従来の液晶表示素子のように、対応する薄膜トラン
ジスタの周部上方に形成する必要はなく、また開口率が
低下するおそれが生じるので好ましくなくなる。上記実
施例1の液晶表示素子であると上述したように、薄膜ト
ランジスタの形成されている位置であると、バックライ
トからの光は、遮光電極層46によって、液晶が配向
し、液晶表示素子を光が透過することはないが、第2の
基板側から入射された光は、薄膜トランジスタに到達す
るおそれがある。薄膜トランジスタに不要な光が照射さ
れると、光電効果により、薄膜トランジスタがオン状態
となり、画素電極に不要な電流が流れてしまう問題があ
る。したがって、薄膜トランジスタの上方にだけはブラ
ックマスクを設け、第2の基板側からの光が薄膜トラン
ジスタに照射されないようにしておくことがより好まし
い。
【0056】この場合、薄膜トランジスタを光電効果か
ら防ぐことが目的であるので、ブラックマスクの形成
は、薄膜トランジスタの上方だけでよく、薄膜トランジ
スタの周部の上方に設ける必要はなく、小面積のブラッ
クマスクで十分とされる。したがって、第1の基板と第
2の基板の組合せにかかる精度が多少悪化しても、ブラ
ックマスクの形成による開口率の低下を伴うことはな
い。
【0057】また、遮光電極層46の上部にさらに、偏
光機能を有する薄膜を形成すると、上記ブラックマスク
を不要とすることができる。即ち、液晶表示素子の第2
の基板の上方から入射された光は、第2の基板を透過す
ることにより、第2の基板に形成されている偏光板によ
り偏光光線となる。この際、遮光電極層46の上部に偏
光機能を有する薄膜が、その偏光光線の偏光方向と異な
る方向に形成されていれば、偏光光線は薄膜トランジス
タに到達しなくなる。よって、光電効果等による薄膜ト
ランジスタに及ぼされる不具合の発生が回避される。し
たがって、この偏光機能を有する薄膜を薄膜トランジス
タの上部に形成したものであると、ブラックマスクを完
全に不要とすることが可能となる。
【0058】〔実施例2〕 実施例2のアクティブマトリクス液晶表示素子を図7〜
9を参照して説明する。この実施例2のアクティブマト
リクス液晶表示素子は、その概略構成は実施例1のアク
ティブマトリクス液晶表示素子と同様であるが、実施例
1においては、その各薄膜トランジスタに関し、遮光電
極層46は、コンタクトホール48を通じてその薄膜ト
ランジスタの接続している走査電極線Gに接続してい
た。しかし、この実施例2においては、遮光電極層46
は、その薄膜トランジスタが直接には接続していない、
他の薄膜トランジスタが接続している走査電極線G(i-
1)に接続した構成とされている。
【0059】以下に詳説する。実施例1のアクティブマ
トリクス液晶表示素子においては、図1,2に示されて
いるように、任意の薄膜トランジスタ36における遮光
電極層46は、その薄膜トランジスタ36のゲート電極
12の接続されている走査電極線Gと、その走査電極線
G上に形成されたコンタクトホール48を通じて接続さ
れている。これに対し、実施例2のアクティブマトリク
ス液晶表示素子では、図7,8に示されているように、
他の薄膜トランジスタに接続している走査電極線G(i-
1)から延出した遮光導電体40と、遮光電極層46と
が、遮光導電体40の第2端部56の上方に形成された
コンタクトホール58を通じて接続されている。
【0060】上記実施例1のアクティブマトリクス液晶
表示素子においては、寄生容量Cppと隣接する画素の電
圧変化(極性が反転するために液晶駆動電圧をVLCとし
た時、約2VLC)とにより、式で表わされる突抜け電
圧が生じる。
【0061】
【数3】
【0062】この不具合は、(i+1)番目の画素を同
時に駆動すれば、ΔVsigをほぼ0とできるため、Cpp
による突抜け電圧を低減することができる。この実施例
2のアクティブマトリクス液晶表示素子においては、図
9に示されるように、薄膜トランジスタの上部に形成さ
れる遮光電極層46は、下部に形成されている薄膜トラ
ンジスタに対し、ゲート電極としても機能する。したが
って、遮光電極層46を他の隣接する画素の走査電極線
(i-1)に接続することにより、隣接する画素の同時駆
動がなされ、フローティングが生じないことになる。よ
って、寄生容量Cgpが低減される。尚、(i+1)番目
の画素には、i番目の信号が一時的に書き込まれること
になるが、次のタイミングで(i+1)番目の信号が書
き込まれるため、不具合は生じないことになる。
【0063】尚、この実施例2のアクティブマトリクス
液晶表示素子においても、実施例1のアクティブマトリ
クス液晶表示素子と同様に、画素電極の周部において、
光漏れが生じず、開口率の低下を伴うことなく、コント
ラストが高められている効果が奏される。
【0064】〔実施例3〕 図10〜14を用いて実施例3のアクティブマトリクス
液晶表示素子を説明する。第1の基板は、ガラスなどの
透明な基板上に、複数の走査電極線Gと信号電極線Sと
が格子状に配線され、走査電極線Gと信号電極線Sとで
区画される各部分には透光性の画素電極60が形成され
る。走査電極線G及び信号電極線Sと、画素電極60と
は薄膜トランジスタ72で接続される。
【0065】図10〜12を用いて本実施例の薄膜トラ
ンジスタ72及びその周辺部を説明する。この薄膜トラ
ンジスタ72では、走査電極線Gと接続しているゲート
電極12が基板6上に形成され、そのゲート電極12を
覆ってゲート絶縁層9が積層される。このゲート絶縁層
9上であってゲート電極12上には、アモルファスシリ
コン(a−Si)からなる半導体層24が設けられてい
る。さらにその半導体層24上に導体からなるソース電
極62とドレイン電極とが形成されるが、この実施例3
においては、ソース電極として導体であるITO膜が使
用され、ドレイン電極としては、画素電極と接続された
金属製電極を用いず、画素電極60を直接薄膜トランジ
スタ内に導入し、形成している。さらに、これらを被覆
するように、絶縁層であるパシベーション層28が積層
されている。
【0066】さらに本実施例の液晶表示素子において
は、図10に示すように、他の区画部分に形成された画
素電極60’に接続している薄膜トランジスタが接続し
ている走査電極線G(i-1)から、遮光導電体40が薄膜
トランジスタ72のゲート電極12の周部に向かって延
出している。この遮光導電体40は、走査電極線Gと同
材料でなり、また走査電極線Gと同時に基板6上に形成
される。隣接した区画部分の薄膜トランジスタ近傍の走
査電極線G(i-1)から延出した遮光導電体40は、信号
電極線Sに沿って薄膜トランジスタ72に向かい、その
端部において、二股に分れ、一方はそのまま直進した第
1端部42、他方は薄膜トランジスタ72を回り込んで
画素電極60のドレイン電極部分の下方を通る第2端部
56となる。
【0067】さらに、本実施例の液晶表示素子において
は、薄膜トランジスタ72の上部に遮光電極層64が形
成されている。この実施例3のアクティブマトリクス液
晶表示素子においては、遮光電極層64は導電性でかつ
遮光性のアルミニウムなどの金属製電極とした。第2端
部56上のゲート絶縁層9とパシベーション層28には
これらを貫通するコンタクトホール58が形成されてお
り、このコンタクトホール58を通じて遮光導電体40
と遮光電極層64は接続している。
【0068】上記構成によれば、図12からわかるよう
に、隣接する画素電極60''と画素電極60の間には、
第1端部42、遮光電極層64、第2端部56のいずれ
かが介在するようになっている。
【0069】図10,13を参照して信号電極線Sの周
辺について説明する。図13に示すように、基板上の最
下部に走査電極線G(i-1)から延出した遮光導電体40
が形成され、これを被覆してゲート絶縁層9が積層され
ている。このゲート絶縁層9上には、画素電極60と、
これに隣接した画素電極60''とが形成され、それら画
素電極60と隣接した画素電極60''の間には、S/D
導電帯66が形成されている。さらに、これら画素電極
60、隣接した画素電極60''と、S/D導電帯66の
上には、パシベーション層28が積層され、S/D導電
帯66上には、シグナルメタル68が形成されている。
シグナルメタル68とS/D導電帯66とは、パシベー
ション層28に形成されたコンタクトホール74を通じ
て接続されている。この実施例3においては、S/D導
電帯66とシグナルメタル68とで信号電極線Sが構成
される。
【0070】S/D導電帯66には、画素電極60と同
様の透明導電性材料、例えばITOを使用することがで
きる。ITOを使用することにより、画素電極60と同
時にS/D導電帯66を形成することが可能となり、製
造工程が複雑化せず、容易になる。また、シグナルメタ
ル68には、薄膜トランジスタ72での遮光電極層64
と同様の導電性金属を使用することができる。シグナル
メタル68と遮光電極層64とに同材料を使用すること
により、これらを同時に製造することが可能となり、製
造工程が複雑化せず、容易となる。
【0071】また、遮光導電体40の幅は信号電極線S
(即ち、S/D導電帯66及びシグナルメタル68)の
幅よりも広く、信号電極線Sと画素電極60,60''の
間の間隙bと遮光導電体40は、ゲート絶縁層9を介し
て重なり、さらに、遮光導電体40は画素電極60,6
0''の端部とも重なっている。したがって、上記構成に
よれば、信号電極線Sの周辺での画素電極60とこれに
隣接する画素電極60''の間には、遮光導電体40が形
成されていることになる。
【0072】尚、この実施例3の信号電極線Sは、上記
したように、S/D導電帯66とシグナルメタル68と
で構成されているが、必ずしもこの必要はなく、S/D
導電帯66だけで信号電極線Sを構成しても良い。しか
しながら、この実施例3においては、S/D導電帯66
をITOで構成しているため、ITOは導電性であるも
のの、金属製導電材料よりは電気抵抗が大きく導電性が
劣るため、ITOからなるS/D導電帯66に加えて、
これに接続した導電性の高いシグナルメタル68を形成
しておく方がより好ましい。
【0073】実施例3のアクティブマトリクス液晶表示
素子における走査電極線Gの周辺部を図10,14を参
照して説明する。この実施例3のアクティブマトリクス
液晶表示素子においては、図14に示すように、走査電
極線G上にはこれを被覆したゲート絶縁層9が形成さ
れ、このゲート絶縁層9上に、画素電極60および隣接
する画素電極60'''を延出した透明電極61'''が形成
され、さらにこれらを被覆するようにパシベーション層
28が積層される。そして、画素電極60と隣接する画
素電極60'''(透明電極61''')の間に形成される間
隙と少なくとも重なるように、パシベーション層28を
介して導電性遮光体70が形成される。パシベーション
層28にはコンタクトホール76が形成されており、こ
のコンタクトホール76を通じて画素電極60と導電性
遮光体70は接続している。
【0074】この構成によれば、走査電極線Gの周辺に
おいては、画素電極60と隣接した画素電極60'''と
の間には、導電性遮光体70が介在するようになってい
る。
【0075】上記構成のアクティブマトリクス液晶表示
素子の等価回路図は実施例2と同様に図9に示すような
ものとなる。したがって、この実施例3のアクティブマ
トリクス液晶表示素子においては、薄膜トランジスタの
上部に形成される遮光電極層64は、下部に形成されて
いる薄膜トランジスタに対し、ゲート電極としても機能
する。したがって、遮光電極層64を他の隣接する画素
の走査電極線G(i-1)に接続したことにより、隣接する
画素の同時駆動がなされ、隣接する画素の電圧変化が小
さくなり、突抜け電圧が低減する。尚、(i+1)番目
の画素には、i番目の信号が一時的に書き込まれること
になるが、次のタイミングで(i+1)番目の信号が書
き込まれるため、不具合は生じないことになる。
【0076】上記構成のアクティブマトリクス液晶表示
素子を使用するときには、従来のアクティブマトリクス
液晶表示素子と同様に、走査電極線Gに走査回路から走
査信号を印加すると共に信号供給回路から信号電極線S
に駆動回路を印加し、画素電極60を駆動することによ
り、その画素電極60上に位置する液晶の分子の配向性
を制御し、もって光の透過率を制御する。液晶表示素子
の第1の基板の下方には、バックライトが付設され、そ
のバックライトから発せられた光が制御された液晶を通
過することにより、各種の表示が行なわれる。
【0077】従来の液晶表示素子においては、薄膜トラ
ンジスタと画素電極の間に間隙が存在し、この間隙上の
液晶は画素電極の制御を受けることなく無秩序に配向す
るので、バックライトからの透過すべきでない光が液晶
表示素子を透過することがあった。しかしながら、本実
施例の液晶表示素子であると、各薄膜トランジスタ72
と画素電極60の間には、遮光導電体40及びその第2
端部44が配置されているので、この遮光導電体40に
より光が遮られ、無秩序な液晶を光が透過することがな
い。
【0078】また、薄膜トランジスタの上には、上記し
たように、遮光導電体40と接続した遮光性金属からな
る遮光電極層64が形成されている。この遮光電極層6
4は遮光導電体40と同電位になっており、この遮光電
極層64と、第2の基板に形成されている、遮光電極層
64と対向する電極との間には電圧が印加されている状
態となっている。よって、ノーマリホワイト液晶におい
ては、この遮光電極層64上の液晶は、光が透過しない
方向に配向していることになり、遮光電極層64のある
位置においては遮光がなされる。また、この実施例3に
おいては、遮光電極層64は遮光性のもので構成してい
るため、第2の基板側から入射される光に対しても、薄
膜トランジスタ72の上部に形成されている遮光電極層
64によって、薄膜トランジスタ72への照射が妨げら
れるので、光電効果等による薄膜トランジスタ72の不
具合発生が防止される。
【0079】また、信号電極線Sと画素電極60の間に
は間隙が生じるが、本実施例の液晶表示素子であると、
その間隙と遮光導電体40が重なりあっているので、信
号電極線Sと画素電極線60の間の間隙を光が透過する
ことはない。
【0080】また、走査電極線Gと画素電極60の間に
も間隙が生じるが、本実施例の液晶表示素子であると、
その間隙と導電性遮光体70が重なっているので、走査
電極線Gと画素電極60の間を光が透過することはな
い。
【0081】よって、本実施例の液晶表示素子である
と、画素電極60の形成されていない箇所においては、
いずれも遮光性の、走査電極線G、ゲート電極12、遮
光導電体40、導電性遮光体70のいずれかが介在する
か、または遮光電極層64に制御された液晶による遮光
性が付与されていることになるので、制御されていない
液晶を光が透過することがない。したがって、本実施例
の液晶表示素子であると、第2の基板にブラックマスク
を全く設けることなく、所謂、光漏れを防止することが
できる。したがって、開口率の低下を伴うことなく、コ
ントラストの低下と表示の不具合の発生を抑えることが
できる。
【0082】尚、遮光電極層64の周部や画素電極60
の周部においては、電界の屈曲が存在し、ディスクリネ
ーションが発生するおそれがあるが、その領域では光が
透過しないので、液晶表示に不具合が生じることはな
い。
【0083】
【発明の効果】請求項1記載の発明であると、隣接走査
電極線から信号電極線に沿って信号電極線と画素電極と
の間の間隙を塞ぐよう同一基板上の一走査電極線まで延
び、かつ先端が一走査電極線およびこれと接続する薄膜
トランジスタに接触せずに薄膜トランジスタを囲む遮光
導電体を形成したので、信号電極線と画素電極との間の
間隙上の領域または薄膜トランジスタを囲む領域に位置
する液晶は、画素電極の制御を受けて配向しないけれど
も、その領域を透過しようとするバックライトからの光
は遮光性の遮光導電体により遮られ、液晶表示素子を透
過することがなく、ブラックマスクを第2の基板に形成
せずとも、この薄膜トランジスタの周部の間隙の箇所に
おける光漏れが防止され、コントラストが改善される。
【0084】請求項2記載の発明であると、薄膜トラン
ジスタと遮光導電体との間隙を少なくとも覆うように一
走査電極線からコンタクトホールを通して延びる遮光電
極層が形成されていることにより、その遮光電極層と、
第2の基板に形成されている対向電極の間には電圧が印
加されている状態となる。したがって、遮光電極層上の
液晶は配向し、電圧が印加されている部分の液晶表示が
暗部となるノーマリホワイト型液晶表示素子において
は、この遮光電極層上の液晶は、光が透過しない方向に
配向していることになり、液晶表示素子のこの領域を光
が透過することはなくなる。すなわち、画素電極上以外
の領域ではあるが、薄膜トランジスタ部分を透過しよう
とするバックライトからの光は、遮光電極層により電圧
の印加された液晶により液晶表示素子を透過することは
なく、ブラックマスクを第2の基板に形成せずとも、こ
の薄膜トランジスタの箇所での光漏れが防止され、コン
トラストが改善される。
【0085】請求項3記載の発明によれば、遮光導電
体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線の間隙を少な
くとも覆うように遮光導電体からコンタクトホールを通
して延びる遮光電極層が形成されていることにより、遮
光導電体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線の間隙
の領域において請求項2記載の発明が奏する作用効果と
同様の効果を奏することができる。 さらに、請求項2ま
たは3に記載の遮光電極層は、下部に形成されている薄
膜トランジスタに対し、ゲート電極としても機能する
が、特に請求項3記載の発明における遮光電極層は遮光
導電体を介して隣接する他の薄膜トランジスタの接続し
た隣接走査電極線に接続されていることにより、隣接す
る画素の同時駆動がなされ、フローティングが生じない
ことになる。よって、寄生容量Cgpが低減される。尚、
隣接する画素には、他の画素の信号が一時的に書き込ま
れることになるが、次のタイミングで隣接した画素の信
号が書き込まれるため、不具合は生じないことになる。
【0086】請求項4記載の発明によれば、遮光電極層
が薄膜トランジスタと画素電極の間の間隙を塞いでいる
ことにより、この領域においても請求項2または3に記
載の発明が奏する作用効果と同様の効果を奏することが
できる。
【0087】尚、請求項2ないし4記載の遮光電極層の
周部においては、電界の屈曲が存在し、ディスクリネー
ションが発生するおそれがあるが、その領域には、遮光
導電体、信号電極線または走査電極線のいずれかが形成
されて、バックライトからの光が透過することがないの
で、液晶表示に不具合が生じることはない。
【0088】請求項5記載の発明によれば、走査電極線
と画素電極の間の間隙を覆うように遮光性の蓄積容量用
電極が設けられていることから、走査電極線と画素電極
の間の間隙上に位置する、画素電極による制御を受けな
い液晶を透過しようとする光は、蓄積容量用電極により
遮られ、この領域を光が透過することがない。したがっ
て、寄生容量が増加することなく、この走査電極線と画
素電極の間での光漏れが防止され、コントラストが改善
される。
【0089】この構成の場合、画素電極の周部において
ディスクリネーション発生のおそれがあるが、その領域
は、下方に蓄積容量用電極が形成されているので、バッ
クライトからの光が透過することがないので、液晶表示
に不具合は生じない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例1の液晶表示素子の平面図である。
【図2】 実施例1での薄膜トランジスタ部分の拡大平
面図である。
【図3】 図1,2のD−D’断面図である。
【図4】 図1のE−E’断面図である。
【図5】 図1のF−F’断面図である。
【図6】 実施例1の液晶表示素子の等価回路図であ
る。
【図7】 実施例2の液晶表示素子の平面図である。
【図8】 実施例2での薄膜トランジスタ部分の拡大平
面図である。
【図9】 実施例2の液晶表示素子の等価回路図であ
る。
【図10】 実施例3の液晶表示素子の平面図である。
【図11】 実施例3での薄膜トランジスタ部分の拡大
平面図である。
【図12】 図10のH−H’断面図である。
【図13】 図10のI−I’断面図である。
【図14】 図10のJ−J’断面図である。
【図15】 従来例の液晶表示素子の平面図である。
【図16】 図15のA−A’断面図である。
【図17】 図15のB−B’断面図である。
【図18】 図15のC−C’断面図である。
【図19】 従来例の液晶表示素子の等価回路図であ
る。
【図20】 実施例1のアクティブマトリクス液晶表示
素子の遮光導電体の他の例を示す、図1のE−E’断面
図である。
【符号の説明】
6 基板 9 ゲート絶縁層 10 薄膜トランジスタ 12 ゲート電極 14 ソース電極 15 画素電極 16 ドレイン電極 18 液晶素子 19 対向基板 20 液晶 22 ブラックマスク 24 半導体層 28 パシベーション層 34 蓄積容量 36 薄膜トランジスタ 40 遮光導電体 42 第1端部 44 第2端部 46 遮光電極層 52 蓄積容量用電極 56 第2端部 60 画素電極 61''' 透明電極 62 ソース電極 64 遮光電極層 66 S/D導電帯 68 シグナルメタル 70 導電性遮光体 72 薄膜トランジスタ G 走査電極線 S 信号電極線
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−72121(JP,A) 特開 平4−233516(JP,A) 特開 昭61−3118(JP,A) 特開 昭63−276031(JP,A) 特開 平2−198430(JP,A) 特開 平2−51128(JP,A) 特開 平5−27249(JP,A) 特開 平3−15827(JP,A) 特開 平5−27266(JP,A) 特開 平6−138484(JP,A) 実開 昭61−157927(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/136 500

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 格子状に配設された複数の走査電極線お
    よび信号電極線と、それら走査電極線と信号電極線とで
    区画された部分に形成された透光性の画素電極と、走査
    電極線および信号電極線と画素電極とを接続した薄膜ト
    ランジスタとが形成された第1の基板と、 前記画素電極に対向させて対向電極が形成され、前記第
    1の基板と離間して配置される第2の基板と、 前記第1の基板と前記第2の基板の間に介在する液晶と
    具備し前記薄膜トランジスタに隣接する他の薄膜トランジスタ
    に接続された隣接走査電極線から前記信号電極線に沿っ
    て該信号電極線と該信号電極線と並設された画素電極と
    の間の間隙を塞ぐよう同一基板上の一走査電極線まで延
    び、かつ先端が該一走査電極線およびこれと接続する薄
    膜トランジスタに接触しないで該薄膜トランジスタを囲
    む遮光導電体を、前記隣接走査電極線と一体的に形成し
    ことを特徴とするアクティブマトリクス液晶表示素
    子。
  2. 【請求項2】 前記一走査電極線、前記薄膜トランジス
    タおよび前記遮光導電体を覆う絶縁層に形成したコンタ
    クトホールを通して前記一走査電極線から前記薄膜トラ
    ンジスタおよび前記遮光導電体上に延び、かつこれら薄
    膜トランジスタと遮光導電体との間隙を少なくとも覆う
    遮光電極層を形成したことを特徴とする請求項1に記載
    のアクティブマトリクス液晶表示素子。
  3. 【請求項3】 前記一走査電極線、前記薄膜トランジス
    タおよび前記遮光導電体を覆う絶縁層に形成したコンタ
    クトホールを通して前記遮光導電体から前記薄膜トラン
    ジスタを覆って前記一走査電極線まで延び、かつこれら
    遮光導電体、薄膜トランジスタおよび一走査電極線の間
    隙を少なくとも覆う遮光電極層を形成したことを特徴と
    する請求項1に記載のアクティブマトリクス液晶表示素
    子。
  4. 【請求項4】 前記遮光電極層が前記薄膜トランジスタ
    と前記画素電極の間の間隙を塞いでいることを特徴とす
    る請求項2または3に記載のアクティブマトリクス液晶
    表示素子。
  5. 【請求項5】 前記走査電極線と協働して容量形成する
    遮光性の蓄積容量用電極を、前記走査電極線と前記画素
    電極との間の間隙を塞ぐよう設けたことを特徴とする請
    求項1に記載のアクティブマトリクス液晶表示素子。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100357215B1 (ko) * 1999-06-21 2002-10-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 멀티도메인 액정표시소자
JP2002258320A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Nec Corp 液晶表示装置
US6885416B2 (en) * 2003-07-07 2005-04-26 Au Optronics Corp. Flat panel display with a non-matrix light shielding structure
KR101030545B1 (ko) * 2004-03-30 2011-04-21 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자
JP4951890B2 (ja) * 2005-07-29 2012-06-13 カシオ計算機株式会社 液晶表示装置
JP5137241B2 (ja) * 2008-01-07 2013-02-06 株式会社ジャパンディスプレイセントラル 液晶表示装置
EP2244121B1 (en) 2008-02-21 2018-02-14 Unified Innovative Technology, LLC Active matrix substrate, and liquid crystal display device
KR101604577B1 (ko) * 2009-06-30 2016-03-17 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 제조 방법
US10254864B2 (en) * 2015-12-28 2019-04-09 Lg Display Co., Ltd. Display device with light shield

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS613118A (ja) * 1984-06-16 1986-01-09 Canon Inc トランジスタ基板
JPS61157927U (ja) * 1985-03-20 1986-09-30
JP2652786B2 (ja) * 1987-05-08 1997-09-10 株式会社日立製作所 液晶表示装置
JPH07111521B2 (ja) * 1987-09-11 1995-11-29 富士通株式会社 アクティブマトリクス型液晶表示装置
JPH0251128A (ja) * 1988-08-12 1990-02-21 Seikosha Co Ltd シリコン薄膜トランジスタアレイの保持容量
JPH07119915B2 (ja) * 1989-01-27 1995-12-20 日本電気株式会社 薄膜電界効果型トランジスタ素子アレイ
JPH0315827A (ja) * 1989-06-14 1991-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタアレー及び液晶表示装置
GB2245741A (en) * 1990-06-27 1992-01-08 Philips Electronic Associated Active matrix liquid crystal devices
JP3024661B2 (ja) * 1990-11-09 2000-03-21 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板及びその製造方法
JP2702319B2 (ja) * 1991-07-25 1998-01-21 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板
JP2924506B2 (ja) * 1992-10-27 1999-07-26 日本電気株式会社 アクティブマトリックス型液晶表示装置の画素構造

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