JP2018523070A - バルブ - Google Patents

Abstract

本発明のバルブ（１）、特に真空バルブは、くさび形状の閉塞部分（３）を有する閉塞部材（２）と、バルブ開口部（４）を取り囲むバルブシート（５）と、を備えている。くさび形状の閉塞部分（３）が記閉塞部材（２）の閉位置においてバルブシート（５）に封止状態で当接してバルブ開口部（４）を閉塞し、かつ、開位置においてバルブ開口部（４）を通じて流体および／または固体を搬送するためにバルブ開口部（４）を開放する。くさび形状の閉塞部分（３）を有する閉塞部材（２）が閉位置および開位置の間で往復運動するように運動軌道（６）に支持されている。運動軌道（６）が屈曲または湾曲している。【選択図】 図１５

Description

本発明は、くさび形状の閉塞部分を有する少なくとも１つの閉塞部材と、バルブ開口部を取り囲む少なくとも１つのバルブシートと、を備え、前記くさび形状の閉塞部分が、前記閉塞部材の閉位置において前記バルブシートに封止状態で当接して前記バルブ開口部を閉塞し、かつ、開位置において前記バルブ開口部を通じて流体および／または固体を搬送するために前記バルブ開口部を開放し、前記くさび形状の閉塞部分を有する前記閉塞部材が前記閉位置および前記開位置の間で往復運動するように運動軌道に支持されているバルブ、特に真空バルブに関する。

前記タイプのバルブは、様々な実施形態で当該技術分野において知られている。これらは、閉塞部材のくさび形状の閉塞部分のために、いわゆるウェッジバルブと呼ばれる場合がある。従来技術では、ウェッジバルブは、開位置と閉位置との間で一方向にのみ直線的に駆動される。開放、すなわち閉位置から開位置への閉塞部材の運動は反対方向にのみ直線的に実現される。

ウェッジバルブは、バルブを閉じるときに比較的簡易に比較的大きな封止力を実現できるという利点を有する。このような理由から、前述のタイプのウェッジバルブは、バルブ開口部を流れる流体に含まれているパーティクルがバルブに堆積し、バルブ、特にバルブシートが汚染するような、いわゆる汚染プロセスで頻繁に使用されていいる。

本発明の目的は、前述のタイプのバルブの代替の実施形態を提案することである。

この目的のために、本発明によれば、前記運動軌道が屈曲および／または湾曲している。

先行技術とは異なり、本発明に係るバルブによれば、閉塞部材が好ましくは全体的に閉位置と開位置との間で一方向だけに直線的に動かされるだけではなく、屈曲したおよび／または湾曲している運動軌道にしたがって動かされる。これは、著しく汚染された流体および／または固体がバルブ開口部を通って搬送される環境においてバルブまたはバルブウェッジを適用する、本発明に係るバルブの付加的な設計を選択可能にする。

屈曲したおよび／または湾曲した軌道に沿って閉塞部材を案内するため、本発明の好ましい実施態様によれば、前記バルブが、前記閉塞部材を前記運動軌道に沿って案内するため、少なくとも１つの案内軌道を備え、前記案内軌道が屈曲または湾曲している。これに関して、前記バルブが、前記閉塞部材を前記運動軌道に沿って案内するため、前記案内軌道により案内される少なくとも１つのローラまたは少なくとも１つのスライダを備えている。これに関連して、閉塞部材のみならず、バルブハウジングなどのバルブの他の構成要素に案内軌道が設けられていてもよい。好ましい変形態様では、閉塞部材を案内するための案内軌道が設けられている。ローラまたはスライダが案内軌道にも同様に適用される。ローラまたはスライダは、閉塞部材のみならず、バルブの他の構成要素、特にバルブハウジングに設けられていてもよく、あるいは、任意の位置で回動可能に固定されてもよい。一または複数の案内軌道は、例えば、軌条、溝などにより構成されている。

好ましい変形態様では、運動軌道は、複数の、好ましくは少なくとも２つ、より好ましくは少なくとも３つの運動軌道要素に区分されている。当該運動軌道要素は、相互に傾斜していてもよく、あるいは、相互に異なる曲率半径を有していてもよい。他の実施態様では、単一の曲率半径で湾曲した運動軌道が設けられていてもよい。この場合、異なる軌道要素が区別されない。様々な軌道要素が実現されてもよく本発明の好ましい実施態様では、前記運動軌道を構成する２つの連続している運動軌道要素および／または前記案内軌道を構成する２つの連続している案内軌道要素が、相互に１３５°〜１７０°、好ましくは１４５°〜１５５°の角度をなしている。「傾斜（屈曲）」とは、正確な角度の形成だけでなく、角度を有することも意味する。傾斜に関して特定の曲率半径が考慮されてもよい。本発明の特に好ましい実施態様において、２つの連続する運動軌道要素および／または案内軌道用が相互に１５０°の角度をなして配置されている。

好ましい実施態様では、運動軌道および／または少なくとも１つの任意の案内軌道が、少なくとも２回にわたって屈曲している。

例えば、前記運動軌道が、中央運動軌道要素と、前記中央運動軌道要素の両端部のそれぞれに連結されている運動軌道要素と、を有し、当該両端部のそれぞれに連結された運動軌道要素のそれぞれが、前記中央軌道要素に対して傾斜して配置されていてもよい。同様に、前記少なくとも１つの案内軌道が、中央案内軌道要素と、前記中央案内軌道要素（１３）の両端部のそれぞれに連結されている案内軌道要素と、を有し、当該両端部に連結されている案内軌道要素のそれぞれが、前記中間案内軌道要素に対して傾斜して配置されていてもよい。また、運動軌道が全体的に湾曲していてもよい。

特に、本発明の好ましい実施態様では、前記閉塞部材が、前記閉塞部材の搬送開口部を取り囲むくさび形状の通路部分を有し、前記閉塞部材が、開位置において前記くさび形状の通路部分において前記バルブシートに封止状態で当接し、前記閉塞部材の前記搬送開口部が、気体および／または固体を搬送させるため、開位置において前記バルブ開口部と同軸に配置されている。換言すると、閉塞部材は、２つの別個のくさび形状の部分、すなわちくさび形状の閉塞部分とくさび形状の通路部分を有している。当該バルブによれば、閉塞部材の前述した２つの異なる位置で、閉塞部材が封止状態でバルブシートに押し付けられまたは当接する。閉塞部材の一の位置において、閉塞部材のくさび形状の閉塞部分がバルブシートに対して封止状態で当接する。閉塞部材の他の位置において、くさび形状の通路部分がバルブシートに対して封止状態で当接する。後者の位置においてバルブが開位置に達し、閉塞部材の通路部分の搬送開口部がバルブ開口部に位置合わせされ、流体／固体が当該開位置においてバルブ開口部および搬送開口部を通じて搬送される。換言すると、閉塞部材は、開位置および閉位置の両方においてバルブシートに対して封止状態で押し付けられあるいは当接する。くさび形状の通路部分に設けられた搬送開口部およびバルブ開口部を通じた流体および／または固体の搬送が可能となる。当該実施態様は、特に、比較的パーティクルを含む流体および／または固体がバルブ開口部を通じて搬送される場合に特に好ましく適用される。そのような液体および／または固体にバルブに望ましくないパーティクルの著しい付着が、本発明の好ましい実施態様により防止されうる。

これに関連して、前記バルブハウジングの内部空間に流体および／または固体が進入することを防止するため、前記搬送開口部が、前記閉塞部材の前記通路部分における搬送開口隔壁により取り囲まれている。搬送開口隔壁は、閉塞部材のくさび形状の通路部分が中実の材料から作成される場合は自動的に得られる。閉塞部材の通過部分は、２つのくさび形状の相互に配置された隔壁を有する中空体として構成され、当該２つのくさび形状に配置された隔壁の間の接続壁として搬送開口隔壁が構成されていてもよい。搬送開口隔壁は、例えば対応するくさび形状に形成された筒状部が設けられている。基本的に、閉塞部材の通路部分は、閉塞部材のくさび形状部分または閉塞部材の壁であり、当該通路部分は閉塞部材において搬送開口部として設けられた少なくとも１つの開口部を構成する。閉塞部材の閉塞部分が第１部分として参照され、閉塞部材の通路部分が第２部分として参照されてもよい。これらの部分は重複していないことが好ましい。前記閉塞部材の前記閉塞部分および前記通路部分が相互に堅固に固定されている。閉塞部材をバルブシートに対して封止状態で配置するために必要なシール部材が、閉塞部材それ自体およびバルブシートのいずれかに配置されていてもよい。シール部材が閉塞部材に配置されている場合、前記閉塞部材が前記閉塞部分および前記通路部分のそれぞれにおいて少なくとも１つのシール部材を有する。シール部材がバルブシートに配置され、閉塞部材が閉塞部分および通路部分のそれぞれにおいて少なくとも１つのシールシートを有する。閉塞部材が各部分においてバルブシートに退位して封止状態で押し付けられるまたは当接する際、当該シールシートはバルブシートに設けられたシール部材に押し付けられる。

前記バルブがバルブハウジングを有し、前記バルブシートが前記バルブハウジングの一部である。バルブに相互に対向する２つのバルブシートが設けられ、くさび形状の閉塞部分およびくさび形状の通路部分のそれぞれが、閉位置および開位置のそれぞれにおいて相互に対向するバルブシートに対して封止状態で当接する。当該位置において閉塞部材のくさび形状の部分は、相互に対向するくさび形状に形成されたバルブシートの間に配置される。当該実施態様において、シール部材が閉塞部材に配置または固定されている場合、閉塞部分および通路部分のそれぞれに２つの相互に対向するシール部材が設けられていることが好ましい。

基本的には、屈曲および／または湾曲した運動軌道に沿って閉塞部材を駆動するための様々な方法が存在する。本発明の一実施態様では、前記閉塞部材を前記開位置および前記閉位置の間で進退運動させるため、複数または単一のリニアアクチュエータを備えている。閉塞部材のくさび形状の閉塞部分および／またはくさび形状の通路部分が先細りしている方向は、リニアアクチュエータの運動方向に対して垂直である。本発明の代替的な変形態様では、前記閉塞部材を前記開位置および前記閉位置の間で進退運動させるため、複数または単一の揺動アクチュエータを備えている。閉塞部材のくさび形状の閉塞部分および／またはくさび形状の通路部分が先細りしている方向は、リニアアクチュエータの運動方向に対して垂直である。これらアクチュエータが組み合わせられてもよい。

単一のリニアアクチュエータが使用される場合、好ましい変形態様では、前記リニアアクチュエータおよび前記閉塞部材が、少なくとも１つの伝動レバーによって相互に連結され、前記伝動レバーが前記リニアアクチュエータおよび前記閉塞部材に対して揺動可能に配置されている。

本発明に係るバルブは、いわゆる真空技術に特に好ましく適用される。一般的に、真空技術とは、０．００１ｍｂａｒおよび０．１Ｐａ以下の動作圧力が達成される場合に使用される。真空バルブは、これらの圧力範囲および／または環境に対する相応の差圧のために設計されたバルブである。一般的に、大気圧より低い圧力、すなわち１ｂａｒより低い圧力に対して設計されている場合にも、真空バルブと呼ばれてもよい。

本発明の好ましい実施形態の更なる特徴および詳細は、次の図面に例示されている好ましい実施形態を参照しながら説明される。

閉位置における本発明の第１実施形態に係る真空バルブの正面図。 図１の断面線Ａ−Ａに沿った真空バルブの縦断面図。 閉位置における本発明の第１実施形態に係る真空バルブの上面図。 図３の断面線Ｂ−Ｂに沿った真空バルブの縦断面図。 図１の断面線Ｃ−Ｃに沿った真空バルブの横断面図。 本発明の第１実施形態の閉塞部材におけるくさび形状の閉塞部分およびくさび形状の通路部分の説明図。 第１実施形態に係る閉塞部材の運動軌道の説明図。 中間位置における本発明の第１実施形態に係る真空バルブの正面図。 中間位置における本発明の第１実施形態に係る真空バルブの上面図。 図９の断面線Ｄ−Ｄに沿った真空バルブの縦断面図。 開位置における本発明の第１実施形態に係る真空バルブの正面図。 図１１の断面線Ｅ−Ｅに沿った真空バルブの縦断面図。 図１１の断面線Ｆ−Ｆに沿った真空バルブの横断面図。 開位置における本発明の第１実施形態に嘉耀真空バルブの上面図。 図１４の断面線Ｇ−Ｇに沿った真空バルブの縦断面図。 図１４の断面線Ｈ−Ｈに沿った真空バルブの縦断面図。 本発明の第２実施形態に係る真空バルブの概略図。 本発明の第３実施形態に係る真空バルブの概略図。

図１には、閉位置にあるバルブ１の正面図が示されている。閉位置において閉塞部材２の閉塞部分３によって閉塞されているバルブ開口部４が確認できる。バルブ開口部４は、バルブハウジング１８において相互に対向する両側におけるバルブハウジング１８の開口部および当該開口部の間の空間である。その両側には、それぞれフランジ３１が取り付けられている。当該フランジ３１により、本発明に係るバルブ１は、プロセスチャンバ、接続ライン等に接続されうる。図１には、外部のリニアアクチュエータ２３が示されている。

断面線Ａ−Ａに沿ったバルブ１の縦断面図が図２に示されている。ここでは、閉塞部材２が相互に離間した２つの部材のように示されているが、相互に一体的に接続された部分を有する。これは、バルブ１または閉塞部材２の閉位置において、相互に対向するバルブシート５に対してシール部材２１とともに押し付けられる閉塞部分３であり、これによりバルブ開口部４が閉じられる。さらに、搬送開口部１７が設けられている閉塞部材２の一部が通路部分１６として設けられている。通路部分１６は搬送開口部１７を取り囲んでいる。通路部分１６における搬送開口部１７の出口は、シール部材２２によって取り囲まれている。

図３は、バルブ１の上面図を示している。図３において、断面線Ｂ−Ｂが示されている。断面線Ｂ−Ｂに沿ったバルブ１の断面図が図４に示されている。図４の一部は、閉位置にある閉塞部材２の断面とともに、バルブハウジング１８の内部空間２０を示している。この断面図では、運動軌道６に沿って閉塞部材２を移動させるために使用されるリニアアクチュエータ２３の内部構造を確認することができる。ここで、リニアアクチュエータ２３は、空気圧式ピストンシリンダ装置である。リニアアクチュエータ２３は、シリンダ２５を備え、当該シリンダ２５において既知の方法にしたがって、ピストン２６がリニアアクチュエータ２３の直線運動方向３８に沿って変位可能に支持されている。シリンダ２５においてピストン２６を変位させるため、ピストン２６を挟んで相互に反対側に配置されたシリンダ空間のそれぞれが異なる圧力に調節されるという既知の方法が適用される。ピストン２６は、ピストンロッド２７に固定的に接続されている。ピストンロッド２７は、封止状態に維持された柔軟性があるベローズ２８を通じてシリンダ２５から導出された状態でヘッドピース４０を支持している。ヘッドピース４０、ひいてはピストンロッド２７は、一方側においてバルブハウジング１８において隣接する壁部に支持ローラ２９によって支持されている。反対側では閉塞部材２または連結タブ３２と関節接続されている。ヘッドピース４０またはピストンロッド２７およびリニアアクチュエータ２３、ならびに閉塞部材２に対して、対応するジョイント３０によって回動可能な伝動レバー２４により、ピストンロッド２７またはヘッドピース４０と閉塞部材２または連結タブ３２との連結が実現されている。くさび形状の閉塞部分３およびくさび形状の通路部分１６が先細りとなる、図４および図５に示されている方向３９は、両矢印で示されているリニアアクチュエータ２３の直線運動方向３８に対して垂直である。傾斜している運動軌道６に沿って閉塞部材２を閉位置および開位置の間で動かすため、本実施形態では４つの案内軌道７が設けられている。図４では２つの案内軌道７のみが示され、搬送開口部１７においては部分的に示されている。本実施形態では、案内軌道７は、バルブハウジング１８に固定された状態で配置されている。閉塞部材２にはローラ８が設けられ、リニアアクチュエータ２３により駆動される閉塞部材２がローラ８によって案内軌道７に沿って転動し、図７に示されている２回にわたって屈曲している運動軌道６に沿って案内される。運動軌道６は、閉位置および開位置の間の運動またはその逆の運動中に閉塞部材２における任意の点が付記されることにより可視化されうる。運動軌道６は、通常は案内軌道７と同じ延在態様である。

本実施形態では、運動軌道６は、３つの運動軌道要素９，１０，１１を有している。中間運動軌道要素１０は、リニアアクチュエータ２３の直線運動方向３８と平行に延在している。その両端部に連続している２つの運動軌道要素９，１１のそれぞれは運動軌道要素１０に対して傾斜して配置されている。運動軌道要素９および１０の傾斜角度ならびに運動軌道要素１０および１１の間の角度１５は、前述のように１３５°〜１７０°の角度範囲、より好ましくは１４５°〜１５５°の角度範囲に含まれている。例えば、当該角度１５は１５０°である。閉位置に閉塞部材２があり、閉塞部分３がバルブシート５に押し付けられ、バルブ開口部４が封止状態で閉塞されている際、傾斜した運動軌道要素９の上端部に達する。図１１〜図１６に示されているように、通路部分１６がバルブシート５に対して封止状態で押し付けられ、搬送開口部１７がバルブ開口部４に位置合わせされて配置されており、バルブ開口部４が全体的に開放されて流体および／または固体がそれらを通って輸送されうる際、傾斜した運動軌道要素１１の下端部に達する。

閉塞部材２を運動軌道６に沿って確実に案内するため、運動軌道６に対応して案内軌道７が形成されている。それぞれの案内軌道７は、３つの案内軌道要素１２，１３および１４を有する。それぞれの中間案内軌道要素１３は、リニアアクチュエータ２３の直線運動方向３８に平行に延在している。両端部に連結されている案内軌道要素１２および１４のそれぞれは、中間案内軌道要素１３に対して対応する角度１５で傾斜している。案内軌道７の角度１５は運動軌道６の角度１５に等しい。閉塞部材２はローラ８において案内軌道７に沿って転動する。閉位置において、それぞれのローラ８はそれぞれの案内軌道７の上部案内軌道要素１２の端部にある（図４参照）。これにより、それぞれの案内軌道要素１２は、ローラ８を通じて、閉塞部材２、ひいては閉塞部分３をバルブシート５の間またはバルブシート５に封止状態で押し付ける。

図５は、図１の断面線Ｃ−Ｃに沿った横断面図を示しており、閉塞部材２のくさび形状の閉塞部分３がシール部材２１において、同様にくさび形状のバルブシート７に対して封止状態で当接しているまたは押し付けられている。本実施形態では、閉塞部分３が閉塞部材２の全体と同様に中実の材料により作製されている。くさび形状の隔壁により画定された中空部材として閉塞部材２が構成されてもよい。

図６は、本実施形態で使用される閉塞部材２が他の構成要素から取り外された状態を示す。閉塞部分３および通路部分１６の形態の各くさび形状の部分が相互に固定して連結されていることが確認できる。通路部分１６には搬送開口部１７が配置されている。通路部分１６の両側には、搬送開口部１７を取り囲むそれぞれＯ字形状のシール部材２２が設けられている。閉塞部分３には、その両側に相応の形状を有するシール部材２１が設けられている。閉塞部材２は、閉塞部分３のシール部材２１の内側部分において、バルブ開口部４が閉位置において完全に閉塞されるように閉じた隔壁として形成されている。搬送開口部１７は、閉塞部材２の通路部分１６の搬送開口隔壁１９により取り囲まれている。閉塞部材２が開位置にあり、通路部分１６が封止状態でバルブシート５に当接して、バルブ開口部４を開放するために搬送開口部１７およびバルブ４が位置合わせされている際、搬送開口隔壁１９はバルブハウジング１８の内部空間２０に流体および／または固体が入り込むことを防止する。前述のように、通路部分１６に搬送開口部１７が設けられる際、搬送開口隔壁１９は中実の材料の通路部分１６により自動的に構成されている。通路部分１６または閉塞部材２が全体的に、くさび形状の隔壁により取り囲まれている中空体として構成されており、搬送開口隔壁１９は、例えば対応するくさび形状の円筒部材と同様に、通路部分１６の両側の隔壁に対して相互に接続されていてもよい。

前述のように、図７は、本実施形態に係る傾斜した運動軌道６を示す。

バルブ１を図１〜図５に示されている閉位置から、図１１〜図１６に示されている開位置まで動かすため、閉塞部材２がリニアアクチュエータ２３により下方に動かされる。案内軌道７またはその上部案内軌道要素１２が、最初に閉塞部分３をバルブシート５から押し離す。続いて、ローラ８が中間案内軌道要素１３に沿って転動する。運動軌道要素１０により、閉塞部材２がリニアアクチュエータ２３の直線運動方向３８に対して平行に動かされる。ローラ８が当該閉塞運動によって下部案内軌道要素１４に達すると、閉塞部材２が通路部分１６において、方向３９について運動成分をもってバルブシート５の間に押し付けられ、図１１〜図１６に示されている終端位置において、バルブシート５の間を封止する開位置が実現される。開位置において、バルブハウジング１８の内部空間２０も封止される。バルブ開口部４が搬送開口部１７に位置合わせされて配置されることにより、流体および／または固体がバルブ開口部４および搬送開口部１７を通って搬送されうる。

図８〜図１０には、閉塞部材２が運動軌道６の中央運動軌道１０に沿って移動する状況における中間位置が示されている。当該中間位置では、図８および図１０に示されているように、搬送開口部１７は、バルブ開口部４と部分的にのみ位置合わせされて配置されている。閉塞部分３および通路部分１６は、中間位置ではバルブシート５に対して封止状態で押し付けられていない。伝動レバー２４が閉塞部材２およびリニアアクチュエータ２３のそれぞれに対してジョイント３０を介して関節支持されているので、閉塞部材２が方向３８に沿った運動のために方向３９に平行に運動することができる。

開位置を示している図１１〜図１６のうち、図１１は外側から見たバルブ１の正面図を示している。図１２は図１１の断面線Ｅ−Ｅに沿った縦断面図であり、図１３は図１１の断面線Ｆ−Ｆに沿った横断面図である。図１２に示されているように、開位置では通路部分１６がバルブシート５に対して押し付けられ、一方で搬送開口部１７がバルブ開口部４に位置合わせされて配置され、これらを通じて貫通状態が実現される。他方で閉塞した搬送開口隔壁１９およびシール部材２２によるバルブシート５の封止により、この位置でバルブ開口部４を通過する流体および／または固体がバルブハウジング１８の内部空間２０に進入することが防止される。図１３は、水平断面または横断面における同じ状況を示す。通路部分１６のくさび形状、搬送開口部１７およびバルブシート５のくさび形状の配置態様が確認できる。

図１４には、２本の断面線Ｇ−Ｇ、Ｈ−Ｈとともに上面図が示されている。断面線Ｇ−Ｇに沿った縦断面図が図５に示されている。図１６には、４つの案内軌道７およびそこで案内されるローラ８の全てをまとめて示すため、屈曲した断面線Ｈ−Ｈに沿った断面図が示されている。図１５および図１６に示されているように、通路部分１６をバルブシート５に対して封止状態で押し付けるため、ローラ８のそれぞれは傾斜した下部案内軌道要素１４の端部にある。

図１７は本発明の第２実施形態を示し、揺動アクチュエータとして構成されているアクチュエータ３３と、くさび形状の閉塞部分３およびくさび形状の通路部分１６を有する閉塞部材２と、４つの案内軌道７の２組と閉塞部材２が示されている。残りの案内軌道７、ならびに、バルブ開口部４、バルブシート５およびフランジ３１を有するバルブハウジング１８は、基本的に第１実施形態と同様に構成されている。第２実施形態では、閉塞部材２は、揺動アクチュエータ３３によって、図７と同様に構成されている傾斜した運動軌道６に沿って運動する。揺動アクチュエータ３３は駆動レバー３４を有し、駆動レバー３４は揺動方向３７に揺動可能であり、かつ、閉塞部材２のスロット状の案内溝３５における案内ローラ３６により案内される。

図１８は第３実施形態を概略的に示しており、閉塞部材２を運動軌道６に沿って移動させるため、駆動レバー３４を揺動方向３７に進退運動させる揺動アクチュエータ３３が用いられる。図１８において、閉塞部材２は、上昇した閉位置にあり、下降した開位置にある状態が破線で示されている。閉塞部分３および通路部分１６の配置の縦断面が示されている。破線で示されている下降位置において、搬送開口部１７はバルブ開口部４（図示略）に位置合わせされて配置される。バルブハウジング１８、バルブシート５およびフランジ３１は図示されていない。これらは第１実施形態と同様に構成され、第３実施形態では閉塞部分３および通路部分１６が図１８に示されている方向３９に先細りになっており、バルブシート５がそれに応じて設計されかつ配置される必要がある。図１８には、湾曲した運動軌道６を有する本発明の例示的な実施形態を概略的に図示されている。

１‥バルブ、２‥閉塞部材、３‥閉塞部分、４‥バルブ開口部、５‥バルブシート、６‥運動軌道、７‥案内軌道、８‥ローラ、９‥運動軌道要素、１０‥運動軌道要素、１１‥運動軌道要素、１２‥案内軌道要素、１３‥案内軌道要素、１４‥案内軌道要素、１５‥角度、１６‥通路部分、１７‥搬送開口部、１８‥バルブハウジング、１９‥搬送開口隔壁、２０‥内部空間、２１‥シール部材、２２‥シール部材、２３‥リニアアクチュエータ、２４‥伝動レバー、２５‥シリンダ、２６‥ピストン、２７‥ピストンロッド、２８‥ベローズ、２９‥支持ローラ、３０‥ジョイント、３１‥フランジ、３２‥連結タブ、３３‥揺動アクチュエータ、３４‥駆動レバー、３５‥案内溝、３６‥案内ローラ、３７‥揺動方向、３８‥直線運動方向、３９‥方向、４０‥ヘッドピース。

Claims (14)

1. くさび形状の閉塞部分（３）を有する少なくとも１つの閉塞部材（２）と、バルブ開口部（４）を取り囲む少なくとも１つのバルブシート（５）と、を備え、前記くさび形状の閉塞部分（３）が、前記閉塞部材（２）の閉位置において前記バルブシート（５）に封止状態で当接して前記バルブ開口部（４）を閉塞し、かつ、開位置において前記バルブ開口部（４）を通じて流体および固体のうち少なくとも一方を搬送するために前記バルブ開口部（４）を開放し、前記くさび形状の閉塞部分（３）を有する前記閉塞部材（２）が前記閉位置および前記開位置の間で往復運動するように運動軌道（６）に支持されているバルブ（１）または真空バルブであって、
   前記運動軌道（６）が屈曲または湾曲していることを特徴とするバルブ。
2. 請求項１記載のバルブ（１）において、前記閉塞部材（２）を前記運動軌道（６）に沿って案内するため、少なくとも１つの案内軌道（７）を備え、前記案内軌道（７）が屈曲または湾曲していることを特徴とするバルブ。
3. 請求項２記載のバルブ（１）において、前記閉塞部材（２）を前記運動軌道（６）に沿って案内するため、前記案内軌道（７）により案内される少なくとも１つのローラ（８）または少なくとも１つのスライダを備えていることを特徴とするバルブ。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、運動軌道（６）および少なくとも１つの任意の案内軌道（７）のうち少なくとも一方が、少なくとも２回にわたって屈曲していることを特徴とするバルブ。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記運動軌道（６）が、中央運動軌道要素（１０）と、前記中央運動軌道要素（１０）の両端部のそれぞれに連結されている運動軌道要素（９）（１１）と、を有し、当該両端部のそれぞれに連結された運動軌道要素（９）（１１）のそれぞれが、前記中央軌道要素（１０）に対して傾斜して配置されていることを特徴とするバルブ。
6. 請求項２〜５のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記少なくとも１つの案内軌道（７）が、中央案内軌道要素（１３）と、前記中央案内軌道要素（１３）の両端部のそれぞれに連結されている案内軌道要素（１２）（１４）と、を有し、当該両端部に連結されている案内軌道要素（１２）（１４）のそれぞれが、前記中間案内軌道要素（１３）に対して傾斜して配置されていることを特徴とするバルブ。
7. 請求項１〜６のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記運動軌道を構成する２つの連続している運動軌道要素（９）（１０）（１１）および前記案内軌道（７）を構成する２つの連続している案内軌道要素（１２）（１３）（１４）のうち少なくとも１つが、相互に１３５°〜１７０°または１４５°〜１５５°の角度をなしていることを特徴とするバルブ。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記運動軌道（７）が全体的に湾曲していることを特徴とするバルブ。
9. 請求項１〜８のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記閉塞部材（２）が、前記閉塞部材（２）の搬送開口部（１７）を取り囲むくさび形状の通路部分（１６）を有し、前記閉塞部材（２）が、開位置において前記くさび形状の通路部分（１６）において前記バルブシート（５）に封止状態で当接し、前記閉塞部材（２）の前記搬送開口部（１７）が、気体および固体のうち少なくとも一方を搬送させるため、開位置において前記バルブ開口部（４）と同軸に配置されていることを特徴とするバルブ。
10. 請求項１〜９のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、バルブハウジング（１８）を備え、前記バルブシート（５）が前記バルブハウジング（１８）の一部であることを特徴とするバルブ。
11. 請求項９または１０記載のバルブ（１）において、前記バルブハウジング（１８）の内部空間（２０）に流体および固体のうち少なくとも一方が進入することを防止するため、前記搬送開口部（１７）が、前記閉塞部材（２）の前記通路部分（１６）における搬送開口隔壁（１９）により取り囲まれていることを特徴とするバルブ。
12. 請求項９〜１１のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記閉塞部材（２）の前記閉塞部分（３）および前記通路部分（１６）が相互に堅固に固定され、付加的または代替的に、前記閉塞部材（２）が前記閉塞部分（３）および前記通路部分（１６）のそれぞれにおいて少なくとも１つのシール部材（２１）（２２）または少なくとも１つのシールシートを有することを特徴とするバルブ。
13. 請求項１〜１２のうちいずれか１項に記載のバルブ（１）において、前記閉塞部材（２）を前記開位置および前記閉位置の間で進退運動させるため、複数または単一のリニアアクチュエータ（２３）および揺動アクチュエータ（３３）のうち少なくとも一方を備えていることを特徴とするバルブ。
14. 請求項１３記載のバルブ（１）において、前記リニアアクチュエータ（２３）および前記閉塞部材（２）が、少なくとも１つの伝動レバー（２４）によって相互に連結され、前記伝動レバー（２４）が前記リニアアクチュエータ（２３）および前記閉塞部材（２）に対して揺動可能に配置されていることを特徴とするバルブ。

Images