JP2018129329A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オペレータに切削ブレードの着け間違いを認識させること。【解決手段】保持手段に保持された被加工物を第１、第２の切削ブレードを用いて切削する切削装置が、切削ブレードＩＤ毎に色を記憶する色記憶部（８２）と、切削ブレードＩＤの入力を受け付ける操作パネル（１４）と、各切削ブレードＩＤに対応した色で発光する発光手段（８６Ａ、８６Ｂ）とを備え、操作パネルから第１、第２の切削ブレードに対する切削ブレードＩＤの入力に応じて、当該切削ブレードＩＤに対応した色で発光手段を発光する構成にした。【選択図】図３

Description

本発明は、切削ブレードで被加工物を切削する切削装置に関する。

通常、切削装置では被加工物に対応した規格の切削ブレードで被加工物を切削している。このような切削装置では、誤った規格の切削ブレードの選択をオペレータに気付かせるために、切削ブレードの規格毎にブレードケースやケースホルダを色付けして管理する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の管理方法では、切削ブレードを収容するブレードケースとブレードケースを保持するケースホルダを、切削ブレードの規格に合わせて色付けしている。これにより、オペレータは、規格を示す文字列（ＩＤ）では無く、規格に対応した色によって被加工物に対応した切削ブレードを容易に選択できる。

また、切削ブレードの規格に関連付けられた二次元バーコードをブレードケースに付して管理する方法も提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の管理方法では、切削ブレードを切削装置に装着する際に、ブレードケースから切削ブレードを取り出して、ブレードケースに付された二次元バーコードからバーコードリーダで切削ブレードの規格を読み込むようにしている。これにより、二次元バーコードから誤った規格が読み込まれることがなく、切削装置に対する切削ブレードの規格の設定ミスが防止される。

特許第５５０６５５７号公報 特開２００９−０８３０１６号公報

しかしながら、特許文献１、２に記載の管理方法では、切削ブレードの着け間違いを減らすことができるが、オペレータの人為的な誤りを確実に防止することはできない。例えば、装置に対して切削ブレードの規格が正しく入力されていても、ツインダイサのように一対の切削ブレードでステップカットする際に、一方の切削ブレードを他方のスピンドルに装着する等の着け間違いを防ぐことができない。このため、実際に被加工物を加工するまではオペレータが切削ブレードの着け間違いを認識できない場合があり、復帰作業に時間を要するという問題がある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、オペレータに切削ブレードの着け間違いを認識させることができる切削装置を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の切削装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持する被加工物を切削する第１の切削ブレードを回転可能に装着する第１の切削手段及び第２の切削ブレードを回転可能に装着する第２の切削手段と、情報を入力する入力手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、切削ブレードは、切削ブレードの規格に対応した切削ブレードＩＤ毎にそれぞれ異なる色で設定され、該制御手段は、切削ブレードＩＤ毎に対応させて設定された色を予め記憶する色記憶部を備え、該第１の切削手段の近傍を少なくとも該色記憶部に記憶された複数の色のいずれかで発光させる第１の発光手段と、該第２の切削手段の近傍を少なくとも該色記憶部に記憶された複数の色のいずれかで発光させる第２の発光手段と、を備え、切削ブレード交換の際に交換する該第１の切削ブレードの該切削ブレードＩＤを入力すると、該色記憶部に記憶された該切削ブレードＩＤに対応する色で該第１の発光手段が発光し、交換する該第２の切削ブレードの該切削ブレードＩＤを入力すると、該色記憶部に記憶された該切削ブレードＩＤに対応する色で該第２の発光手段が発光すること、を特徴とする。

この構成によれば、第１の切削ブレードの装着先として第１の切削手段の近傍が切削ブレードＩＤに対応する色で発光され、第２の切削ブレードの装着先として第２の切削手段の近傍が切削ブレードＩＤに対応する色で発光される。これにより、第１、第２の切削ブレードの両方の着け替え時には、切削ブレードＩＤに対応する色で両方の切削ブレードの装着先が発光され、第１、第２の切削ブレードのいずれかの着け替え時には、いずれかの装着先だけが発光される。よって、第１、第２の切削ブレードの装着先の間違いを極力防止することができると共に、切削ブレードＩＤに対応した色の発光によって、切削ブレードＩＤの入力ミスや切削ブレードの選択ミスをオペレータに認識させることができる。

本発明によれば、第１、第２の切削ブレードの装着先として、それぞれ第１、第２の切削手段の近傍を切削ブレードＩＤに対応する色で発光することで、オペレータに切削ブレードの着け間違いを認識させることができる。

本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。 本実施の形態の切削装置の内部の斜視図である。 本実施の形態の切削装置の制御構成を示す模式図である。 本実施の形態の第１の切削手段の斜視図である。 本実施の形態の切削ブレードの交換作業の一例を示す図である。 変形例の切削装置の切削ブレードの交換作業の一例を示す図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態の切削装置の外観斜視図である。図２は、本実施の形態の切削装置の内部の斜視図である。なお、切削装置は、図１及び図２に示す構成に限定されない。切削装置は、切削ブレードによって被加工物を切削する装置であれば、どのような構成であってもよい。

図１に示すように、切削装置１には、被加工物Ｗに対応した規格の切削ブレード７２（図２参照）が装着されると共に、この切削ブレード７２のブレード外径、ブレード刃厚、刃先出し量等の規格データが設定されている。切削装置１は、切削ブレード７２と保持手段２１に保持された被加工物Ｗとを相対的に移動させて、保持手段２１上の被加工物Ｗを分割予定ラインに沿って切削するように構成されている。被加工物Ｗの表面は、格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画されており、区画された各領域には各種デバイスが形成されている。

被加工物Ｗの裏面にはダイシングテープＴが貼着されており、ダイシングテープＴの外周にはリングフレームＦが貼着されている。被加工物Ｗは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持された状態で切削装置１に搬入される。なお、被加工物Ｗは、加工対象になるものであればよく、例えば、デバイス形成済みの半導体ウェーハや光デバイスウェーハでもよい。また、ダイシングテープＴは、テープ基材に粘着層が塗布された通常の粘着テープの他、テープ基材にＤＡＦが貼着されたＤＡＦ（Dai Attach Film）テープでもよい。

切削装置１は、切削加工の加工スペースを覆う直方体状の筐体１１と、筐体１１に隣接して待機スペースや洗浄スペースを形成する支持台１２とを有している。支持台１２の上面中央は、筐体１１内に向かって延在するように開口されており、この開口は保持手段２１と共に移動可能な移動板２５及び蛇腹状の防水カバー２６に覆われている。図１においては、保持手段２１を筐体１１の外部に移動させて支持台１２上で待機させた状態を示している。支持台１２上には、保持手段２１を挟んで、カセット（不図示）が載置されるエレベータ手段３１、加工済みの被加工物Ｗを洗浄する洗浄手段３４が設けられている。

エレベータ手段３１は、カセットが載置されたステージ３２を昇降させて、カセット内の被加工物Ｗの出し入れ位置を高さ方向で調整する。洗浄手段３４は、被加工物Ｗを保持したスピンナテーブル３５を支持台１２内に降下させ、回転中のスピンナテーブル３５に向けて洗浄水を噴射して被加工物Ｗを洗浄する。また、洗浄手段３４は、続けて洗浄水の代わりに乾燥エアを吹き付けて被加工物Ｗを乾燥する。支持台１２の上方には、カセット、保持手段２１、洗浄手段３４の相互間で被加工物Ｗを搬送する１つ又は複数の搬送手段（不図示）が設けられている。

図２に示すように、筐体１１及び支持台１２（図１参照）内の基台１５上には、保持手段２１をＸ軸方向に切削送りする切削送り手段４１が設けられている。切削送り手段４１は、基台１５上に配置されたＸ軸方向に平行な一対のガイドレール４２と、一対のガイドレール４２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル４３とを有している。Ｘ軸テーブル４３の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ４４が螺合されている。ボールネジ４４の一端部に連結された駆動モータ４５が回転駆動されることで、保持手段２１が一対のガイドレール４２に沿ってＸ軸方向に切削送りされる。

Ｘ軸テーブル４３の上部には、被加工物Ｗを保持する保持手段２１がＺ軸回りに回転可能に設けられている。保持手段２１には、ポーラスセラミック材により保持面２２（図１参照）が形成されており、この保持面２２に生じる負圧によって被加工物Ｗが吸引保持される。保持手段２１の周囲には、エア駆動式の４つのクランプ部２３が設けられており、各クランプ部２３によって被加工物Ｗの周囲のリングフレームＦが四方から挟持固定される。また、基台１５の上面には、保持手段２１の移動経路を跨ぐように立設した門型の立壁部１６が設けられている。

立壁部１６には、切削手段７１をＹ軸方向にインデックス送りするインデックス送り手段５１と、切削手段７１をＺ軸方向に切込み送りする切り込み送り手段６１とが設けられている。インデックス送り手段５１は、立壁部１６の前面に配置されたＹ軸方向に平行な一対のガイドレール５２と、一対のガイドレール５２にスライド可能に設置されたＹ軸テーブル５３とを有している。切り込み送り手段６１は、Ｙ軸テーブル５３上に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６２と、一対のガイドレール６２にスライド可能に設置されたＺ軸テーブル６３とを有している。

各Ｚ軸テーブル６３の下部には、被加工物Ｗを切削する切削手段７１が設けられている。Ｙ軸テーブル５３およびＺ軸テーブル６３の背面側には、それぞれナット部が形成されており、これらナット部にボールネジ５４、６４が螺合されている。Ｙ軸テーブル５３用のボールネジ５４、Ｚ軸テーブル６３用のボールネジ６４の一端部には、それぞれ駆動モータ５５、６５が連結されている。駆動モータ５５、６５により、それぞれのボールネジ５４、６４が回転駆動されることで、各切削手段７１がガイドレール５２に沿ってＹ軸方向に移動され、各切削手段７１がガイドレール６２に沿ってＺ軸方向に切込み送りされる。

各切削手段７１のスピンドルには、保持手段２１に保持された被加工物Ｗにステップカット（切削）する切削ブレード７２が回転可能に装着される。各切削ブレード７２は、例えばダイヤモンド砥粒を結合剤で固めて円板状に成形されている。また、各切削ブレード７２はブレード幅が異なり、一方の切削ブレード７２よりも他方の切削ブレード７２が幅狭に形成されている。ステップカットでは、一方の切削ブレード７２で分割予定ラインに沿って広幅の浅溝が形成され、他方の切削ブレード７２で浅溝の底面に狭幅の深溝が形成されて被加工物Ｗが完全切断される。

図１に戻り、筐体１１の前面１３には、タッチパネル式の操作パネル１４が設置されている。操作パネル１４の表示画面には入力エリア及び表示エリアが設定されており、表示エリアに加工条件等の各種情報が表示され、入力エリアで加工条件等の各種情報が設定される。すなわち、操作パネル１４は、情報を入力するための入力手段として機能すると共に、入力された情報を表示するための表示手段として機能している。なお、操作パネル１４で各種情報を表示及び設定する代わりに、表示手段と入力手段が切削装置１に個別に設けられていてもよい。

また、各切削ブレード７２（図２参照）はそれぞれブレードケース７８に収容されており、各ブレードケース７８はケースホルダ７９に保持された状態で、筐体１１の前面に磁力によって取り付けられる。ブレードケース７８及びケースホルダ７９は、各切削ブレード７２の規格毎に異なる色で色付けされている。このように、各切削ブレード７２が文字列だけで管理されておらず、各切削ブレード７２の規格に対応した色によって管理されている。よって、オペレータがブレードケース７８の色を見ながら各切削ブレード７２を選択することができる。

また、各切削ブレード７２の装着時には、切削ブレードＩＤが操作パネル１４から入力されて、各切削ブレード７２のブレード外径、ブレード刃厚、刃先出し量等の規格データが設定される。切削ブレードＩＤが手入力されるため、実際に装着された各切削ブレード７２の規格と切削ブレードＩＤによって設定された規格が一致しない場合がある。このため、切削装置１では、各切削ブレード７２の規格を示す色を表示して、ブレードケース７８の色と見比べることで各切削ブレード７２の装着ミスや設定ミスをオペレータに気付かせている。

しかしながら、操作パネル１４の位置と各切削ブレード７２の装着時の作業位置が離れているため、操作パネル１４を見ながら各切削ブレード７２を装着することができない。また、操作パネル１４の表示エリアに各切削ブレード７２の規格が色で表示されていても、オペレータの認識違いのような人為的なミスを防ぐことは難しい。例えば、オペレータが操作パネル１４を注意深く確認していても、各切削ブレード７２のうち交換が必要な切削ブレード７２を誤ったり、一対の切削ブレード７２を誤って逆さまに装着したりする場合がある。

そこで、本実施の形態では、一対の切削ブレード７２の装着先として、一対の切削手段７１のそれぞれ近傍を切削ブレードＩＤに対応する色で発光するようにしている（図５Ｂ参照）。これにより、一対の切削手段７１の近傍の発光色によって各切削ブレード７２の装着先をオペレータに認識させて、各切削ブレード７２の着け間違いを防止することができる。また、各切削手段７１の近傍の発光色とブレードケース７８の色の違いによって切削ブレードＩＤの設定ミス、又は切削ブレード７２の選択ミスをオペレータに認識させることが可能になっている。

以下、図３及び図４を参照して、切削ブレードＩＤに対応した表示制御及び発光制御について説明する。図３は、本実施の形態の切削装置の制御構成を示す模式図である。図４は、本実施の形態の第１の切削手段の斜視図である。なお、図３においては、説明の便宜上、切削ブレードＩＤの表示制御及び発光制御に関係のない構成については省略して記載している。なお、以降の説明では、一対の切削手段を第１、第２の切削手段とし、一対の切削ブレードを第１、第２の切削ブレードとして説明する。

図３に示すように、切削装置１（図１参照）の操作パネル１４には、情報の入力を受け付ける入力エリア９１と、入力エリア９１で入力された情報を表示する表示エリア９２とが表示される。入力エリア９１には、例えば、選択ボタン、入力欄、キーボード画像等の入力ツールが表示されており、オペレータの指先で操作可能な操作エリアになっている。表示エリア９２には、例えば、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの規格データやデバイスデータ等が表示されており、データの表示のみが可能な非操作エリアになっている。操作パネル１４には、この入力エリア９１と表示エリア９２との組み合わせによって様々な画面が表示される。

操作パネル１４は、切削装置１（図１参照）の各部を統括制御する制御手段８１によって制御されている。制御手段８１には、切削ブレードＩＤ毎に対応させて設定された色を予め記憶する色記憶部８２と、入力エリア９１で入力した切削ブレードＩＤに応じて規格データを設定するデータ設定部８３とが設けられている。また、制御手段８１には、切削ブレードＩＤに応じた色で表示エリア９２を色付けする表示制御部８４と、切削ブレードＩＤに応じた色で切削装置１の加工室内の第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂを発光させる発光制御部８５とが設けられている。

色記憶部８２には、切削ブレードＩＤ毎に規格データと規格データを示す色とが関連付けられている。すなわち、切削ブレード７２は、切削ブレード７２の規格に対応した切削ブレードＩＤ毎にそれぞれ異なる色で設定されている。なお、規格データを示す色は、ブレードケース７８（図１参照）の色に一致している。データ設定部８３では、入力エリア９１で入力された切削ブレードＩＤと色記憶部８２に記憶された切削ブレードＩＤとが照合され、切削ブレードＩＤに関連付いた規格データが色記憶部８２から読み出されて切削装置１に設定される。

表示制御部８４では、入力エリア９１で入力された切削ブレードＩＤと色記憶部８２で記憶された切削ブレードＩＤとが照合され、切削ブレードＩＤに関連付いた色が色記憶部８２から読み出されて表示エリア９２が色付けされる。この表示エリア９２の色がブレードケース７８（図１参照）の色と同じか否かに応じて、切削ブレード７２が正しく選択されているか、及び切削ブレード７２の規格データが適切に設定されているかをオペレータに確認させることができる。また、切削ブレードＩＤの入力直後に表示エリア９２の色が変わるため、早い段階でオペレータに切削ブレードＩＤの設定ミス又は切削ブレードの選択ミスを認識させることができる。

発光制御部８５では、入力エリア９１で入力された切削ブレードＩＤと色記憶部８２で記憶された切削ブレードＩＤとが照合され、切削ブレードＩＤに関連付いた色が色記憶部８２から読み出されて第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂが発光される。第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂは、例えば、合計７色を表示可能なマルチカラーＬＥＤ（Light Emitting Diode）や、あらゆる色を表示可能なフルカラーＬＥＤで構成されており、それぞれ色記憶部８２に記憶された複数の色のいずれかで第１、第２の切削手段７１Ａ、７１Ｂの近傍を発光させている。

これら第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂの発光色が、ブレードケース７８及び表示エリア９２の色と同じか否かに応じて、切削ブレード７２が正しく選択されているか、及び切削ブレードの規格データが適切に設定されているかをオペレータに認識させることができる。また、第１、第２の切削手段７１Ａ、７１Ｂの近傍が異なる色で発光されるため、第１、第２の切削手段７１Ａ、７１Ｂに対する第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの装着先をオペレータに認識させることができる。このように、発光手段８６Ａ、８６Ｂによって切削ブレードの装着位置を示すことで、切削ブレードの人為的な付け間違いを減少することができる。

なお、制御手段８１の各部は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、例えば、表示制御用のプログラム及び発光制御用のプログラム等が記憶されている。また、切削ブレードＩＤは、各切削ブレードの品種情報を含む文字列であり、例えば、品種情報、砥粒情報、ボンド情報、ブレードの形状情報等の一部又は全てを組み合わせて構成されている。なお、切削ブレードＩＤは、切削ブレードの規格に関連付けた情報であれば、品種情報等に関係ない文字列で構成されていてもよい。

図４に示すように、第１の切削手段７１Ａには第１の切削ブレード７２Ａの略下半部を突出させた状態で、第１の切削ブレード７２Ａの周囲をカバーする箱型のブレードカバー７３が設けられている。ブレードカバー７３の後部には、略Ｌ字状で左右一対のサイドノズル７４が設けられており、サイドノズル７４から第１の切削ブレード７２Ａに向けて側方から洗浄水が噴射される。ブレードカバー７３の前部には、シャワーノズル７５及びフロントノズル７６が設けられており、シャワーノズル７５から第１の切削ブレード７２Ａに向けて前方から洗浄水が噴射され、フロントノズル７６から被加工物Ｗに向けて洗浄水が噴射される。

ブレードカバー７３の側面には、第１の切削手段７１Ａの近傍を発光させる第１の発光手段８６Ａが設けられている。第１の発光手段８６Ａは、入力エリア９１（図３）から入力された切削ブレードＩＤに対応した色に発光して、第１の切削ブレード７２Ａの装着位置の周辺を照らしている。このとき、第１の発光手段８６Ａ自体が発光するだけではなく、加工室内で第１の発光手段８６Ａの側方空間が切削ブレードＩＤに対応した色で照らされる。すなわち、第１の発光手段８６Ａは報知用の光源としてだけでなく、第１の切削手段７１Ａの近傍を照らす照明として機能している。

よって、第１の発光手段８６Ａ自体を直に見ることなく、第１の発光手段８６Ａで照らされた第１の切削手段７１Ａの側方空間の色からオペレータが第１の発光手段８６Ａの発光色を確認することが可能になっている。特に本実施の形態のように、オペレータからブレードカバー７３の側面を確認し難い場合であっても、第１の切削手段７１Ａの側方空間が照らされることで、切削ブレードの装着先だけでなく、切削ブレードの種類（規格）をオペレータに確認させることができる。なお、説明は省略するが、第２の発光手段８６Ｂ（図５Ｂ参照）についても第１の発光手段８６Ａと同様に構成されている。

また、切削装置１（図１参照）の加工室内が切削ブレードＩＤに応じた色で照らされるため、発光色によってオペレータの作業空間の雰囲気を変えることができる。第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂ（図３参照）の照明効果によって切削装置１の装飾性を高めると共に、独特な作業環境を演出してオペレータの作業に対する意欲喚起を促すことができる。なお、第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂはブレードカバー７３に設けられる構成に限定されず、第１、第２の切削手段７１Ａ、７１Ｂ（図５Ｂ参照）の近傍を照らすことが可能であれば、切削装置１のどの位置に取り付けられていてもよい。

図５を参照して、切削ブレードの交換作業について説明する。図５は、本実施の形態の切削ブレードの交換作業の一例を示す図である。なお、図５Ａ及び図５Ｂは一対の切削ブレードを同時に交換する一例を示し、図５Ｃは片側の切削ブレードを交換する一例を示している。

図５Ａに示すように、オペレータによって操作パネル１４（図３参照）から第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの切削ブレードＩＤが入力される。操作パネル１４には、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの表示エリア９２Ａ、９２Ｂが設けられ、各表示エリア９２Ａ、９２Ｂに入力エリア９１Ａ、９１Ｂとして入力セルが設けられている。各入力セルには、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂに対する切削ブレードＩＤが入力される。これにより、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂのそれぞれに対して、色記憶部８２（図３参照）から切削ブレードＩＤに対応した色及び規格データが読み出される。

この結果、表示エリア９２Ａには切削ブレードＩＤに対応した規格データが第１の切削ブレード７２Ａ用に表示されると共に、表示エリア９２全体が当該切削ブレードＩＤに対応した色で表示される。同様に、表示エリア９２Ｂには切削ブレードＩＤに対応した規格データが第２の切削ブレード７２Ｂ用に表示されると共に、表示エリア９２全体が当該切削ブレードＩＤに対応した色で表示される。この表示エリアの色がブレードケース７８Ａ、７８Ｂの色に一致しているか否かによって、適切な規格データが設定されているかをオペレータに確認させることができる。

また、図５Ｂに示すように、操作パネル１４の表示エリア９２Ａ、９２Ｂ（図５Ａ参照）が色付けされると同時に、色記憶部８２（図３参照）から読み出された色で第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂが発光される。第１の切削手段７１Ａの近傍が切削ブレードＩＤに対応した色で照明されると共に、第２の切削手段７１Ｂの近傍が切削ブレードＩＤに対応した色で照明される。この第１、第２の切削手段７１Ａ、７１Ｂの近傍の照明の色を確認しながら、ブレードケース７８Ａ、７８Ｂから第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂを取り出すことで、切削ブレード７２Ａ、７２Ｂを逆さまに装着する等の着け間違いを防止することができる。

このとき、第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂ（図４参照）がブレードカバー７３の側面に設けられているため、オペレータからは各発光手段８６Ａ、８６Ｂ自体を直に確認し難いが、発光手段８６Ａ、８６Ｂからの照明光の色を確認することができる。また、第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂが照明として機能しているため、切削ブレードＩＤに対応した色によって加工室内を独特の雰囲気に演出することができる。よって、オペレータの意欲喚起を促すことができると共に、様々な色の照明によって加工室内の装飾性を向上させることができる。

また、図５Ｃに示すように、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂのいずれか一方を交換する場合には、第１、第２の発光手段８６Ａ、８６Ｂのいずれか一方だけを発光させてもよい。例えば、第１の切削ブレード７２Ａだけを装着する際には、第１の切削手段７１Ａの近傍だけが切削ブレードＩＤに対応した色で照明される。このため、第１の切削手段７１Ａの近傍の照明の色を確認しながら、第１の切削ブレード７２Ａの装着先を確認することができるため、第１の切削ブレード７２Ａを第２の切削手段７１Ｂに取り付ける等の着け間違いを防止することができる。

以上のように、本実施の形態の切削装置１によれば、第１の切削ブレード７２Ａの装着先として第１の切削手段７１Ａの近傍が切削ブレードＩＤに対応する色で発光され、第２の切削ブレード７２Ｂの装着先として第２の切削手段７１Ｂの近傍が切削ブレードＩＤに対応する色で発光される。これにより、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの両方の着け替え時には、切削ブレードＩＤに対応する色で両方の切削ブレードの装着先が発光され、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂのいずれかの着け替え時には、いずれかの装着先だけが発光される。よって、第１、第２の切削ブレード７２Ａ、７２Ｂの装着先の間違いを極力防止することができると共に、切削ブレードＩＤに対応した色の発光によって、切削ブレードＩＤの入力ミスや切削ブレードの選択ミスをオペレータに認識させることができる。

なお、本実施の形態では、本発明を一対の切削ブレードを備えた切削装置に適用する構成について説明したが、この構成に限定されない。図６に示すように、本発明を単一の切削ブレード９５を備えた切削装置に適用してもよい。単一の切削ブレード９５を交換する場合であっても、発光手段９６の発光色とブレードケース９７の色が一致しているか否かに応じて、切削ブレード９５の選択ミス又は切削ブレードＩＤの設定ミスをオペレータに認識させることができる。

また、本実施の形態では、第１、第２の発光手段の発光色は、切削ブレードＩＤに対応した色であればよく、ブレードケースの色に完全に一致している必要はない。第１、第２の発光手段の発光色がブレードケースの色に対応していることが分かる程度に、色が異なっていてもよい。

また、本実施の形態では、切削ブレードＩＤに対応した色で操作パネルの表示エリアの表示色を変えると共に、発光手段の発光色を変える構成にしたが、この構成に限定されない。少なくとも発光手段の発光色を変える構成であればよく、操作パネルの表示エリアの表示色を変えなくてもよい。

また、本実施の形態では、操作パネルによって色記憶部の色設定を変更可能にしてもよい。例えば、第１の切削ブレード用に暖色系の色が設定され、第２の切削ブレード用に寒色系の色が設定されてもよい。さらに、第１の切削ブレードの色と第２の切削ブレード用の色が補色になるように設定されていてもよい。

また、本実施の形態では、第１、第２の発光手段としてＬＥＤ照明を例示して説明したが、この構成に限定されない。第１、第２の発光手段は、切削ブレードの交換の際に、第１、第２の切削ブレードの切削ブレードＩＤを入力すると、色記憶部に記憶された切削ブレードＩＤに対応する色で発光するものであればよい。例えば、第１、第２の発光手段は、調色可能な光源であればよく、例えば、ＬＥＤの他に有機ＥＬ、無機ＥＬが用いられてもよい。

また、本実施の形態では、切削装置として被加工物を個片化する切削装置を例示して説明したが、この構成に限定されない。本発明は、切削ブレードの取り付けが必要になる他の切削装置に適用可能であり、例えば、エッジトリミング装置にも適用されてもよい。

また、本実施の形態では、被加工物として、例えば、半導体デバイスウェーハ、光デバイスウェーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウェーハ、生セラミックス基板、圧電基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウェーハとしては、シリコンウェーハや化合物半導体ウェーハにＩＣ等のデバイスが形成されたものが用いられてもよい。光デバイスウェーハとしては、サファイアウェーハやシリコンカーバイドウェーハにＬＥＤ等の光デバイスが形成されたものが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip Size Package）基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウェーハとしてはリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。

また、本実施の形態では、第１、第２の切削ブレードとしてハブ基台に切削砥石を固定したハブブレードを例示して説明したが、この構成に限定されない。切削ブレードは、ハブレスタイプのワッシャーブレードでもよい。

また、本実施の形態では、保持手段は吸引チャック式のテーブルに限らず、静電チャック式のテーブルでもよい。

また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を切削装置に適用した構成について説明したが、加工具の装着先をＩＤに対応する色で発光してオペレータに加工具の着け間違いを認識させる他の加工装置に適用することも可能である。

以上説明したように、本発明は、オペレータに切削ブレードの着け間違いを認識させることができるという効果を有し、特に、一対の切削ブレードを備えたツインダイサに有用である。

１ 切削装置
１４ 操作パネル（入力手段）
２１ 保持手段
７１Ａ 第１の切削手段
７１Ｂ 第２の切削手段
７２Ａ 第１の切削ブレード
７２Ｂ 第２の切削ブレード
８１ 制御手段
８２ 色記憶部
８３ データ設定部
８４ 表示制御部
８５ 発光制御部
８６Ａ 第１の発光手段
８６Ｂ 第２の発光手段
Ｗ 被加工物

Claims (1)

1. 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段が保持する被加工物を切削する第１の切削ブレードを回転可能に装着する第１の切削手段及び第２の切削ブレードを回転可能に装着する第２の切削手段と、情報を入力する入力手段と、制御手段と、を備える切削装置であって、
   切削ブレードは、切削ブレードの規格に対応した切削ブレードＩＤ毎にそれぞれ異なる色で設定され、
   該制御手段は、切削ブレードＩＤ毎に対応させて設定された色を予め記憶する色記憶部を備え、
   該第１の切削手段の近傍を少なくとも該色記憶部に記憶された複数の色のいずれかで発光させる第１の発光手段と、該第２の切削手段の近傍を少なくとも該色記憶部に記憶された複数の色のいずれかで発光させる第２の発光手段と、を備え、
   切削ブレード交換の際に交換する該第１の切削ブレードの該切削ブレードＩＤを入力すると、該色記憶部に記憶された該切削ブレードＩＤに対応する色で該第１の発光手段が発光し、交換する該第２の切削ブレードの該切削ブレードＩＤを入力すると、該色記憶部に記憶された該切削ブレードＩＤに対応する色で該第２の発光手段が発光すること、を特徴とする切削装置。

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