JP2018174641A - 圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター - Google Patents

Abstract

【課題】装置構成が簡単で小型化を図ることのできる圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供する。【解決手段】圧電駆動装置は、振動部と、従動部に当接し、前記振動部の前記従動部との並び方向の縦振動、および前記縦振動と前記振動部の前記並び方向に交差する方向の横振動との複合振動である屈曲振動を前記従動部に伝達する伝達部と、を含む複数の圧電振動モジュールを有し、前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部が第１方向に前記屈曲振動する第１駆動モードと、前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動または前記第１方向と反対方向の第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに関するものである。

特許文献１に記載の超音波モーターは、第１軸と、第１軸を回転させるための第１振動体（圧電素子）と、第１軸と接続された第２軸と、第２軸を回転させるための第２振動体（圧電素子）と、第１軸および第２軸と接続されている出力軸と、を有している。そして、第１振動体で第１軸の角速度を制御することができ、第２振動体で第２軸の角速度を制御することができ、第１軸および第２軸の角速度をそれぞれ独立して変更することで、出力軸の角速度を調整することができる構成となっている。

特開２０１０−６３２２８号公報

しかしながら、特許文献１の超音波モーターでは、出力軸の角速度を変更するために第１軸および第２軸を設ける必要があり、装置が複雑で大型となってしまう。

本発明の目的は、装置構成が簡単で小型化を図ることのできる圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供することにある。

上記目的は、下記の本発明により達成される。

本発明の圧電駆動装置は、振動部と、従動部に当接し、前記振動部の前記従動部との並び方向の縦振動、および前記縦振動と前記振動部の前記並び方向に交差する方向の横振動との複合振動である屈曲振動を前記従動部に伝達する伝達部と、を含む複数の圧電振動モジュールを有し、
前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部が第１方向に前記屈曲振動する第１駆動モードと、
前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動または前記第１方向と反対方向の第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、を有する第２駆動モードと、を有することを特徴とする。
このような構成によれば、第１駆動モードと第２駆動モードとを切り換えることで、従動部の移動速度を変化させることができるため、操作性の高い（利便性が高く、使い勝手のよい）圧電駆動装置となる。また、全ての圧電振動モジュールが１つの従動部に当接しているため、装置構成を簡単にすることができ、小型化を図ることもできる。

本発明の圧電駆動装置では、前記第２駆動モードは、
前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数よりも多い第３駆動モードを有していることが好ましい。
これにより、より簡単な方法で、第２駆動モードを実現することができる。

本発明の圧電駆動装置では、前記第２駆動モードは、
前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数よりも多い第４駆動モードを有していることが好ましい。
これにより、より簡単な方法で、第２駆動モードを実現することができる。

本発明の圧電駆動装置では、前記第２駆動モードは、
前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有する第５駆動モードを有していることが好ましい。
これにより、より簡単な方法で、第２駆動モードを実現することができる。

本発明の圧電駆動装置では、前記第２駆動モードは、
前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記第５駆動モードよりも前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が多い第６駆動モードを有していることが好ましい。
これにより、従動部の移動速度が異なる２つの第２駆動モードを得ることができる。

本発明の圧電駆動装置では、前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部がそれぞれ前記縦振動することで、前記従動部の移動を許容する第７駆動モードを有していることが好ましい。
これにより、例えば、操作者が手動（自らの手で）で従動部を操作することができ、圧電駆動装置の使い勝手がより向上する。

本発明の圧電駆動装置の駆動方法は、振動部と、従動部に当接し、前記振動部の前記従動部との並び方向の縦振動、および前記縦振動と前記振動部の前記並び方向に交差する方向の横振動との複合振動である屈曲振動を前記従動部に伝達する伝達部と、を含む複数の圧電振動モジュールを有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部を第１方向に前記屈曲振動させる第１駆動モードと、
前記伝達部を前記第１方向に前記屈曲振動させる前記圧電振動モジュールと、前記伝達部を前記縦振動または前記第１方向と反対方向の第２方向に前記屈曲振動させる前記圧電振動モジュールと、を有する第２駆動モードと、が設定されており、
前記第１駆動モードおよび前記第２駆動モードのいずれかを選択して実行することを特徴とする。
このような駆動方法によれば、第１駆動モードと第２駆動モードとを切り換えることで、従動部の移動速度を変化させることができるため、高い操作性（高い利便性および使い勝手）を発揮することができる。また、全ての圧電振動モジュールが１つの従動部に当接しているため、圧電駆動装置の装置構成を簡単とすることができる共に、小型化を図ることもできる。

本発明のロボットは、本発明の圧電駆動装置を備えること特徴とする。
これにより、本発明の圧電駆動装置の効果を享受でき、高い信頼性を有するロボットが得られる。

本発明の電子部品搬送装置は、本発明の圧電駆動装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の圧電駆動装置の効果を享受でき、高い信頼性を有する電子部品搬送装置が得られる。

本発明のプリンターは、本発明の圧電駆動装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の圧電駆動装置の効果を享受でき、高い信頼性を有するプリンターが得られる。

本発明のプロジェクターは、本発明の圧電駆動装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の圧電駆動装置の効果を享受でき、高い信頼性を有するプロジェクターが得られる。

本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置を示す斜視図である。 図１に示す圧電駆動装置が有する圧電振動モジュールを示す平面図である。 図２中のＡ−Ａ線断面図である。 図２中のＢ−Ｂ線断面図である。 図２に示す圧電振動モジュールの順回転振動モードを示す図である。 図２に示す圧電振動モジュールの逆回転振動モードを示す図である。 図２に示す圧電振動モジュールの縦振動モードを示す図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。 図１７に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。 本発明の第５実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。 本発明の第６実施形態に係るプロジェクターの全体構成を示す概略図である。

以下、本発明の圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置を示す斜視図である。図２は、図１に示す圧電駆動装置が有する圧電振動モジュールを示す平面図である。図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図である。図４は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。図５は、図２に示す圧電振動モジュールの順回転振動モードを示す図である。図６は、図２に示す圧電振動モジュールの逆回転振動モードを示す図である。図７は、図２に示す圧電振動モジュールの縦振動モードを示す図である。図８ないし図１４は、それぞれ、図１に示す圧電駆動装置の駆動方法を説明するための図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１ないし図１４中の上側を「上」とも言い、図１ないし図１４中の下側を「下」とも言う。

図１に示す圧電駆動装置１は、回転モーター（超音波モーター）として利用され、回転軸Ｏまわりに回転可能なローター２（従動部）と、ローター２の上面２１に当接する複数の圧電振動モジュール３と、各圧電振動モジュール３を支持するステージ４と、ステージ４を介して各圧電振動モジュール３をローター２に向けて付勢する付勢部５と、各圧電振動モジュール３の駆動を独立して制御する制御部６と、を有している。このような圧電駆動装置１は、制御部６によって複数の圧電振動モジュール３の振動パターンをそれぞれ独立して制御（変更）することで、ローター２の回転速度（角速度）およびトルクを変化させることができる。そのため、例えば、ローター２の目標回転角度（回転回数）に近づくまでは高速駆動モードで駆動し、目標回転角度に近づいたら低速駆動モードに切り替えることで、より短時間でかつより精度よく、ローター２を目標回転角度に合わせることができる。このように、圧電駆動装置１によれば、操作性の高い（利便性が高く、使い勝手のよい）装置を実現することができる。また、全ての圧電振動モジュール３が同じローター２に当接しているため、装置構成を簡単にすることができ、かつ、小型化を図ることもできる。以下、圧電駆動装置１について、詳細に説明する。

ローター２は、円板状をなしており、回転軸Ｏまわりに回転可能に軸受されている。ただし、ローター２の構成としては、特に限定されない。

そして、ローター２の上面２１に当接して、複数の圧電振動モジュール３が配置されている。また、複数の圧電振動モジュール３は、回転軸Ｏまわりに等間隔に配置されている。なお、本実施形態では、５つの圧電振動モジュール３が配置されているが、圧電振動モジュール３の数としては、特に限定されない。また、ローター２を回転させることができれば、圧電振動モジュール３の配置も特に限定されない。

図２に示すように、圧電振動モジュール３は、振動可能な振動部３１と、振動部３１を支持する支持部３２と、振動部３１および支持部３２を接続する一対の接続部３３と、振動部３１に設けられた伝達部３４と、を有している。振動部３１は、略長方形状の板状をなし、その先端部（ローター２側の端部）に伝達部３４が設けられている。また、支持部３２は、振動部３１の基端側を囲むＵ字形状となっている。

このような構成の圧電振動モジュール３は、伝達部３４の先端部においてローター２の上面２１に当接し、支持部３２においてステージ４に固定されている。なお、ステージ４は、ばね部材（板ばね、スプリングばね）等の付勢部５によってローター２側（図２中下方側）に向けて付勢されており、これにより、伝達部３４が十分な摩擦力を持ってローター２の上面２１と接触している。そのため、スリップが抑制され、伝達部３４を介して振動部３１の振動を効率的にローター２へ伝達することができる。

また、図１に示すように、圧電振動モジュール３は、第１基板３５と、第２基板３６と、を有している。また、振動部３１は、第１基板３５と第２基板３６との間に設けられた圧電素子３７を有し、支持部３２は、第１基板３５と第２基板３６との間に設けられた間座３８を有している。なお、間座３８は、支持部３２の厚さを振動部３１の厚さに揃えるためのスペーサーとして機能する。

図２に示すように、圧電素子３７は、５つの圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅを含んでいる。そして、圧電素子３７Ａ、３７Ｂは、振動部３１の幅方向の一方側（図２中右側）に位置し、振動部３１の長手方向に並んで配置されている。また、圧電素子３７Ｄ、３７Ｅは、振動部３１の幅方向の他方側（図２中の左側）に位置し、振動部３１の長手方向に並んで配置されている。また、圧電素子３７Ｃは、振動部３１の幅方向の中央部に位置し、振動部３１の長手方向に沿って配置されている。なお、圧電素子３７の構成としては、特に限定されず、例えば、圧電素子３７Ｃを省略してもよい。

また、図３および図４に示すように、５つの圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅは、それぞれ、圧電体３７２と、圧電体３７２の上面に設けられた第１電極３７１と、圧電体３７２の下面に設けられた第２電極３７３と、を有している。そして、圧電体３７２の第１電極３７１と第２電極３７３とで挟まれた領域が振動領域３７０となっている。

第１電極３７１は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅに共通して設けられた共通電極である。一方、第２電極３７３は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体３７２は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅに共通して一体的に設けられている。なお、圧電体３７２は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅごとに個別に設けられていてもよい。

圧電体３７２は、振動部３１の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることで振動部３１の長手方向に沿った方向（圧電振動モジュール３とローター２との並び方向）に伸縮する。圧電体３７２の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体３７２は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。なお、圧電体３７２の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。

以上のような構成の圧電振動モジュール３では、制御部６から供給される駆動電圧を第１電極３７１と第２電極３７３との間に印加すると、駆動電圧のパターンに応じて各圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅが振動し、振動部３１全体が振動する。

次に、圧電振動モジュール３の振動モードについて説明する。圧電振動モジュール３は、伝達部３４が順方向（第１方向）に回転する順回転振動モードと、伝達部３４が順方向と逆方向（第２方向）に回転する逆回転振動モードと、伝達部３４が振動部３１の長手方向に振動する縦振動モードと、を有しており、これらの振動モードを選択（切替）できるようになっている。

順回転振動モードは、図５に示すように、図中の反時計回りに伝達部３４を楕円運動させる振動モードである。このような回転振動モードを行うには、例えば、図５中の電圧Ｖ１を圧電素子３７Ａ、３７Ｅに印加し、電圧Ｖ２を圧電素子３７Ｃに印加し、電圧Ｖ３を圧電素子３７Ｂ、３７Ｄに印加する。これにより、振動部３１は、その長手方向（圧電振動モジュール３とローター２との並び方向。付勢部５による押圧方向）に伸縮する縦振動を行いつつ、その幅方向（長手方向に交差（直交）する方向）に２次で屈曲する横振動を行う。このような縦振動と横振動とが合成され、振動部３１がＳ字状に屈曲振動し、それに伴って、伝達部３４が縦振動と横振動の複合振動である反時計回りの回転振動（楕円振動）を行う。ただし、伝達部３４を反時計回りに楕円運動させることができれば、圧電振動モジュール３に印加する電圧パターンは、特に限定されない。

逆回転振動モードは、図６に示すように、図中の時計回りに伝達部３４を楕円運動させる振動モードである。このような回転振動モードを行うには、例えば、図６中の電圧Ｖ１’を圧電素子３７Ａ、３７Ｅに印加し、電圧Ｖ２’を圧電素子３７Ｃに印加し、電圧Ｖ３’を圧電素子３７Ｂ、３７Ｄに印加する。これにより、振動部３１は、その長手方向に伸縮する縦振動を行いつつ、その幅方向に２次で屈曲する横振動を行う。このような縦振動と横振動とが合成され、振動部３１が逆Ｓ字状に屈曲振動し、それに伴って、伝達部３４が縦振動と横振動の複合振動である時計回りの回転振動（楕円振動）を行う。ただし、伝達部３４を時計回りに楕円運動させることができれば、圧電振動モジュール３に印加する電圧パターンは、特に限定されない。

縦振動モードは、図７に示すように、振動部３１の長手方向（圧電振動モジュール３とローター２との並び方向。付勢部５による押圧方向）に伝達部３４を振動させる振動モードである。このような縦振動モードを行うには、例えば、図７中の電圧Ｖ４を圧電素子３７Ｃに印加し、他の圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｄ、３７Ｅには電圧を印加しない。これにより、振動部３１は、その長手方向に伸縮する縦振動を行い、それに伴って、伝達部３４が縦振動を行う。特に、電圧Ｖ４を圧電素子３７Ｃにしか印加しないことで、縦振動モードにおける縦振動の振幅を、順回転振動モードおよび逆回転振動モードにおける縦振動の振幅とほぼ等しくすることができる。ただし、伝達部３４を縦振動させることができれば、圧電振動モジュール３に印加する電圧パターンは、特に限定されない。

なお、本実施形態の縦振動モードは、実質的に縦振動だけを含む振動モードである。このように、縦振動モードは、縦振動だけを含む振動モードであることが好ましい。しかしながら、縦振動モードとしては、例えば、前述した順回転振動モードおよび逆回転振動モードよりも小さい振幅の横振動を含んでいてもよい。すなわち、順回転振動モードおよび逆回転振動モードよりも小さい駆動力を発生する回転振動を行うモードであってもよい。

以上、圧電振動モジュール３について説明した。なお、圧電振動モジュール３としては、上述したような順回転振動モード、逆回転振動モードおよび縦振動モードで駆動することができれば、特に限定されない。例えば、支持部３２および接続部３３を省略してもよいし、圧電素子３７の構成（圧電素子の数、配置）も特に限定されない。また、圧電振動モジュール３として、例えば、本実施形態の圧電振動モジュール３を複数積層させた（重ね合わせた）構成としてもよい。これにより、より駆動力の大きい圧電振動モジュール３となる。

次に、圧電駆動装置１の駆動方法について説明する。圧電駆動装置１は、高速（高い角速度）でローター２を回転軸Ｏまわりに回転させる高速駆動モード（第１駆動モード）と、高速駆動モードよりも低速（低い角速度）でローター２を回転軸Ｏまわりに回転させる低速駆動モード（第２駆動モード）と、ローター２を保持する（回転を規制する）保持モード（第８駆動モード）と、ローター２を回転自在とし、手動でローター２を回転させることができる手動モード（第７駆動モード）と、を有し、これらのうちの１つの駆動モードを選択可能となっている。なお、駆動モードの選択は、制御部６によって行われる。なお、制御部６は、圧電振動モジュール３ごとに印加する駆動電圧を変更することで、駆動モードを選択することができる。以下、これら各駆動モードについて詳細に説明する。

まず、保持モードについて説明する。保持モードは、ローター２の回転（移動）を規制する駆動モードである。この保持モードでは、図８に示すように、全ての圧電振動モジュール３が駆動（振動）を停止している。前述したように、各圧電振動モジュール３は、付勢部５によってローター２側に付勢されており、各伝達部３４が十分な摩擦力を持ってローター２の上面２１と接触している。そのため、この状態では、各圧電振動モジュール３によってローター２が保持されており、ローター２の回転（移動）が阻止されている。このような保持モードを有することで、ローター２を所定の位置（回転角度）に保持することができる。また、ローター２の意図しない移動（回転）を抑制することができ、圧電駆動装置１の安全性や使い勝手（利便性）が向上する。

次に、高速駆動モードについて説明する。高速移動モードは、ローター２を高速かつ高トルクで回転（移動）させる駆動モードである。この高速移動モードでは、図９に示すように、各圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動する。これにより、各圧電振動モジュール３の伝達部３４が順方向に楕円運動し、これによってローター２が順方向に送り出され、ローター２が順方向に回転する。高速駆動モードでは、全ての圧電振動モジュール３が順回転振動モードで駆動しているため、高速かつ高トルクでローター２を回転させることができる。

次に、低速駆動モードについて説明する。低速駆動モードは、前述した高速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転（移動）させる駆動モードである。この低速駆動モードは、さらに、第１低速駆動モード（第６駆動モード）と、第１低速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させる第２低速駆動モード（第５駆動モード）、第３低速駆動モード（第３駆動モード）および第４低速駆動モード（第４駆動モード）と、を有している。

第１低速駆動モードでは、図１０に示すように、５つの圧電振動モジュール３のうちの２つの圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動し、残りの３つの圧電振動モジュール３を縦振動モードで駆動する。このような第１低速駆動モードでは、高速駆動モードよりも少ない２つの圧電振動モジュール３でローター２を回転させる駆動力を発生させているため、高速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させることができる。なお、残りの３つの圧電振動モジュール３に生じている縦振動モードは、ローター２を回転させる駆動力を実質的に発生せず、ローター２の回転を許容するための振動である。

詳しく説明すると、前述したように、圧電振動モジュール３は、ローター２に向けて付勢されており、非駆動状態において、圧電振動モジュール３の伝達部３４は、十分な摩擦力を持ってローター２の上面２１に当接している。そのため、駆動していない圧電振動モジュール３が存在すると、その圧電振動モジュール３が抵抗（ブレーキ）となって、他の圧電振動モジュール３を駆動させてローター２を回転させようとしても、ローター２を回転させることができないか、または、回転してもその速度が低下してしまう等の問題が生じる。

そこで、順回転振動モードで駆動させない（駆動力を発生させない）圧電振動モジュール３について、ローター２との摩擦力を減少させ、ローター２の回転を許容する必要があり、これを実現するのが縦振動モードである。この振動モードは、ローター２に対して接近、離間する方向の往復振動であるため、離間する方向に振動した際にローター２との摩擦力が低下する（伝達部３４がローター２から離間すれば摩擦力は０となる）。そのため、平均すれば非駆動状態と比べて伝達部３４とローター２との摩擦力が小さくなり、よって、ローター２の移動を許容することができる。

以上、第１低速駆動モードについて説明した。なお、本実施形態では、２つの圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動しているが、順回転振動モードで駆動する圧電振動モジュール３の数は、高速駆動モードよりも少なければ、特に限定されず、例えば、４つであってもよいし、３つであってもよい。また、第１低速駆動モードは、２つから４つの間で、順回転振動モードで駆動する圧電振動モジュール３の数を変更できるようになっていてもよい。これにより、第１低速駆動モードの中でも、さらに、ローター２の回転速度およびトルクを変更することができる。

また、縦振動モードで駆動させる圧電振動モジュール３は、例えば、所定時間毎や所定駆動回数毎に変更することが好ましい。より具体的には、例えば、第１低速駆動モードでの連続駆動時間が所定時間を経過すると、縦振動モードで駆動している圧電振動モジュール３と、順回転振動モードで駆動している圧電振動モジュール３との振動モードを入れ替えたり、前回の第１低速駆動モードにおいて縦振動モードで駆動させた圧電振動モジュールについては、次回の第１低速駆動モードでは、縦振動モードで駆動させずに順回転振動モードで駆動させたりすることが好ましい。これにより、各圧電振動モジュール３の伝達部３４にかかる負担を均一化することができ、ある圧電振動モジュール３の伝達部３４だけが著しく摩耗するといった不具合を抑制することができる。そのため、圧電駆動装置１の長寿命化を図ることができ、また、メンテナンスの間隔を長くすることもできる。このことは、後述する第２低速駆動モード、第３低速駆動モード、第４低速駆動モードについても同様である。

第２低速駆動モードでは、図１１に示すように、５つの圧電振動モジュール３のうちの１つの圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動し、残りの４つの圧電振動モジュール３を縦振動モードで駆動する。このような第２低速駆動モードでは、第１低速駆動モードよりも少ない１つの圧電振動モジュール３でローター２を回転させる駆動力を発生させているため、第１低速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させることができる。

第３低速駆動モードでは、図１２に示すように、５つの圧電振動モジュール３のうちの３つの圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動し、残りの２つの圧電振動モジュール３を逆回転振動モードで駆動する。このような第３低速駆動モードでは、順回転振動モードで駆動している３つの圧電振動モジュール３のうちの２つから生じる駆動力が、逆回転振動モードで駆動している２つの圧電振動モジュール３から生じる逆方向の駆動力によって打ち消され（相殺され）、実質的に、順回転振動モードで駆動している１つの圧電振動モジュール３から生じる駆動力だけでローター２が回転する。このように、第３低速駆動モードでは、１つの圧電振動モジュール３でローター２を回転させる駆動力を発生させているため、第１低速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させることができる。なお、このような第３低速駆動モードは、ローター２を回転させる駆動力を発生させる圧電振動モジュール３の数が前述した第２低速駆動モードと同じことから、実質的に、第２低速駆動モードと同じ回転速度およびトルクでローター２を回転させることができる。

第４低速駆動モードでは、図１３に示すように、５つの圧電振動モジュール３のうちの２つの圧電振動モジュール３を順回転振動モードで駆動し、１つの圧電振動モジュール３を逆回転振動モードで駆動し、残りの２つの圧電振動モジュール３を縦振動モードで駆動する。このような第４低速駆動モードでは、順回転振動モードで駆動している２つの圧電振動モジュール３のうちの１つから生じる駆動力が、逆回転振動モードで駆動している１つの圧電振動モジュール３から生じる逆方向の駆動力によって打ち消され（相殺され）、実質的に、順回転振動モードで駆動している１つの圧電振動モジュール３から生じる駆動力だけでローター２が回転する。このように、第４低速駆動モードでは、１つの圧電振動モジュール３でローター２を回転させる駆動力を発生させているため、第１低速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させることができる。なお、このような第４低速駆動モードは、ローター２を回転させる駆動力を発生させる圧電振動モジュール３の数が前述した第２低速駆動モードと同じことから、実質的に、第２低速駆動モードと同じ回転速度およびトルクでローター２を回転させることができる。

ただし、この第４低速駆動モードでは、縦振動モードで駆動させる２つの圧電振動モジュール３とローター２との摩擦力が僅かにブレーキとなって、前述した第２低速駆動モードおよび第３低速駆動モードよりもローター２の回転速度およびトルクが僅かに低下する場合もある。この場合には、例えば、第４低速駆動モードを第２低速駆動モードおよび第３低速駆動モードよりも低速かつ低トルクでローター２を回転させるための駆動モードとして利用してもよい。

次に、手動モードについて説明する。手動モードは、ローター２を手動で自在に移動させることができるようにする駆動モードである。この手動モードでは、図１４に示すように、全ての圧電振動モジュール３を縦振動モードで駆動する。これにより、全ての圧電振動モジュール３とローター２との摩擦力を減少させることができ、手動でローター２を動かすことのできる状態となる。なお、このような手動モードでは、全ての圧電振動モジュール３が縦振動のみを行っているため、圧電振動モジュール３の駆動によるローター２の回転は、実質的に生じない。

このような手動モードは、例えば、操作者が手動（自らの手で）でローター２を操作したい場合や、圧電駆動装置１の制御部６にローター２の動きを教示する（記憶させる）場合に好適に使用することができる。

以上、圧電駆動装置１について説明した。このような圧電駆動装置１は、前述したように、振動部３１と、ローター２（従動部）に当接し、振動部３１のローター２との並び方向の縦振動、および横振動（縦振動と振動部３１のローター２との並び方向に交差する方向の振動）との複合振動である回転振動（屈曲振動）をローター２に伝達する伝達部３４と、を含む複数の圧電振動モジュール３を有している。そして、複数の圧電振動モジュール３の伝達部３４が順方向（第１方向）に回転振動する高速駆動モード（第１駆動モード）と、伝達部３４が順方向に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が縦振動または順方向と反対方向の逆方向（第２方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、を有する低速駆動モード（第２駆動モード）と、を有している。このような圧電駆動装置１では、高速駆動モードと低速駆動モードとを切り換えることで、ローター２の回転速度およびトルクを変化させることができるため、操作性の高い（利便性が高く、使い勝手のよい）装置となる。また、全ての圧電振動モジュール３が１つのローター２に当接しているため、装置構成を簡単にすることができ、小型化を図ることもできる。

また、前述したように、振動部３１と、ローター２に当接し、振動部３１のローター２との並び方向の縦振動、および縦振動と横振動（振動部３１のローター２との並び方向に交差する方向の振動）との複合振動である回転振動（屈曲振動）をローター２に伝達する伝達部３４と、を含む複数の圧電振動モジュール３を有する圧電駆動装置１の駆動方法は、複数の圧電振動モジュール３の伝達部３４を順方向（第１方向）に回転振動させる高速駆動モード（第１駆動モード）と、伝達部３４を順方向に回転振動させる圧電振動モジュール３と、伝達部３４を縦振動または逆方向（順方向と反対方向の第２方向）に回転振動させる前記圧電振動モジュール３と、を有する低速駆動モード（第２駆動モード）と、が設定されており、高速駆動モードおよび低速駆動モードのいずれかを選択して実行するようになっている。このような駆動方法によれば、高速駆動モードと低速駆動モードとを切り換えることで、ローター２の回転速度およびトルクを変化させることができるため、高い操作性（高い利便性および使い勝手）を発揮することができる。また、全ての圧電振動モジュール３が１つのローター２に当接しているため、圧電駆動装置１の装置構成を簡単とすることができる共に、小型化を図ることもできる。

また、前述したように、低速駆動モード（第２駆動モード）は、伝達部３４が順方向（第１方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が逆方向（第２方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、を有し、伝達部３４が順方向に回転振動する圧電振動モジュール３の数が、伝達部３４が逆方向に回転振動する圧電振動モジュール３の数よりも多い第３低速駆動モード（第３駆動モード）を有している。これにより、より簡単な方法で、低速駆動モードを実現することができる。

ここで、第３低速駆動モードは、前述したように、第２低速駆動モードおよび第４低速駆動モードと、実質的に同じ回転速度およびトルクでローター２を回転させることができるが、第２低速駆動モードおよび第４低速駆動モードに比べて次のようなメリットを有する。すなわち、圧電駆動装置１の駆動方法として、例えば、ローター２の目標回転角度（回転回数）に近づくまでは高速駆動モードで駆動し、目標回転角度に近づいたら低速駆動モードに切り替える方法がある。この際、低速駆動モードとして第３低速駆動モードを選択することで、高速駆動モードから低速駆動モード（第３低速駆動モード）への切り替えをよりスムーズに行うことができる。

より具体的には、高速駆動モードから第３低速駆動モードへの切り替えは、２つの圧電振動モジュール３の駆動モードを順回転振動モードから逆回転振動モードに切り替えることで行われる。前述したように、圧電振動モジュール３を逆回転振動モードで駆動するには、全ての圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅに電圧を印加するため、同じく全ての圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅに電圧を印加している順回転振動モードからの切り替えをよりスムーズに安定した状態で行うことができる。

これに対して、高速駆動モードから第２低速駆動モードへの切り替えは、４つの圧電振動モジュール３の駆動モードを順回転振動モードから縦振動モードに切り替えることで行われる。前述したように、圧電振動モジュール３を縦振動モードで駆動するには、圧電素子３７Ｃにのみ電圧を印加するため、第３低速駆動モードと比べて、順回転振動モードからの切り替え時において振動状態が不安定になり易く、駆動条件（駆動電圧を大きさ、ローター２との摩擦力等）によっては、例えば、伝達部３４の振動方向が傾いてしまい、ローター２の回転速度やトルクが設計値からずれてしまうおそれがある。このことは、第４低速駆動モードについても同様である。

また、前述したように、低速駆動モード（第２駆動モード）は、伝達部３４が順方向（第１方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が縦振動する圧電振動モジュール３と、を有する第２低速駆動モード（第５駆動モード）を有している。これにより、より簡単な方法で、低速駆動モードを実現することができる。

ここで、第２低速駆動モードは、前述したように、第３低速駆動モードと、実質的に同じ回転速度およびトルクでローター２を回転させることができるが、第３低速駆動モードに比べて次のようなメリットを有する。すなわち、第３低速駆動モードでは、順回転振動モードで駆動させない圧電振動モジュール３については逆回転振動モードで駆動させている。この逆回転振動モードは、ローター２の回転方向に対して反対方向に（ローター２の回転に逆らって）伝達部３４が回転運動する振動モードであるため、伝達部３４の負担（摩耗）が大きい。これに対して、縦振動モードでは、伝達部３４がローター２に接近、離間する方向に往復振動するため、逆回転振動モードと比べて伝達部３４の負担（摩耗）が小さい。そのため、圧電駆動装置１の長寿命化を図ることができ、また、メンテナンスの間隔を長くすることができる。

また、前述したように、低速駆動モード（第２駆動モード）は、伝達部３４が順方向（第１方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が縦振動する圧電振動モジュール３と、を有し、第２低速駆動モード（第５駆動モード）よりも伝達部３４が順方向に回転振動する圧電振動モジュール３の数が多い第１低速駆動モード（第６駆動モード）を有している。これにより、ローター２の回転速度およびトルクが異なる２種類の低速駆動モードが得られる。そのため、圧電駆動装置１の操作性が向上する。また、より簡単な方法で、低速駆動モードを実現することができる。

また、前述したように、低速駆動モード（第２駆動モード）は、伝達部３４が順方向（第１方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が逆方向（第２方向）に回転振動する圧電振動モジュール３と、伝達部３４が縦振動する圧電振動モジュール３と、を有し、伝達部３４が順方向に回転振動する圧電振動モジュール３の数が、伝達部３４が逆方向に回転振動する圧電振動モジュール３の数よりも多い第４低速駆動モード（第４駆動モード）を有している。これにより、より簡単な方法で、低速駆動モードを実現することができる。なお、第４低速駆動モードは、第２低速駆動モードと第３低速駆動モードの折衷であり、前述した第２低速駆動モードのメリットおよび第３低速駆動モードのメリットを共に発揮することができる。

また、前述したように、圧電駆動装置１は、複数の圧電振動モジュール３の伝達部３４がそれぞれ縦振動することで、ローター２の移動を許容する手動モード（第７駆動モード）を有している。これにより、例えば、操作者が手動（自らの手で）でローター２を操作することができ、圧電駆動装置１の使い勝手がより向上する。また、手動モードは、圧電駆動装置１の制御部６にローター２の動きを教示する（記憶させる）場合に好適に使用することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
図１５は、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置を示す斜視図である。

以下、第２実施形態の圧電駆動装置１について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置は、従動部の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。

図１５に示すように、本実施形態の圧電駆動装置１は、直動モーターとして利用され、方向Ｘに沿って直線移動可動なスライダー７（従動部）と、スライダー７の上面７１に当接する複数の圧電振動モジュール３と、複数の圧電振動モジュール３を支持するステージ４と、ステージ４を介して圧電振動モジュール３をローター２に向けて付勢する付勢部５と、各圧電振動モジュール３の駆動を独立して制御する制御部６と、を有している。このような圧電駆動装置１は、複数の圧電振動モジュール３の振動パターンをそれぞれ独立して制御（変更）することで、スライダー７の移動速度を変更できるようになっている。

スライダー７は、板状をなしており、レール（誘導部材）等によって、実質的に、方向Ｘにのみ往復移動できるようになっている。ただし、スライダー７の構成としては、特に限定されない。そして、スライダー７の上面７１に当接して複数の圧電振動モジュール３が配置されている。また、複数の圧電振動モジュール３は、方向Ｘ（スライダー７の移動方向）に沿って配置されている。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係るロボットについて説明する。
図１６は、本発明の第３実施形態に係るロボットを示す斜視図である。

図１６に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御するロボット制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には圧電駆動装置１が搭載されており、この圧電駆動装置１の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電駆動装置１の駆動は、ロボット制御部１０８０によって制御される。また、圧電駆動装置１は、エンドエフェクター１０９０に搭載され、エンドエフェクター１０９０の駆動に用いられてもよい。

このようなロボット１０００は、圧電駆動装置１を備えている。そのため、上述した圧電駆動装置１の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。

図１７は、本発明の第４実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。図１８は、図１７に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。

図１７に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。

また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。

また、図１８に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための圧電駆動装置１（１ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための圧電駆動装置１（１ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための圧電駆動装置１（１θ）と、が内蔵されている。なお、例えば、圧電駆動装置１ｘ、１ｙとして、前述した第２実施形態のものを用いることができ、圧電駆動装置１θとして、前述した第１実施形態のものを用いることができる。

このような電子部品搬送装置２０００は、圧電駆動装置１を備えている。そのため、上述した圧電駆動装置１の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係るプリンターについて説明する。

図１９は、本発明の第５実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。

図１９に示すプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。また、装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。

印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。また、ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。

往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ａと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ａ上で移動させるタイミングベルト３０２３ｂと、を有している。

給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電駆動装置１と、を有している。

制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。

このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。

このようなプリンター３０００は、圧電駆動装置１を備えている。そのため、上述した圧電駆動装置１の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。なお、本実施系形態では、圧電駆動装置１が給紙用の駆動ローラー３０３２を駆動しているが、この他にも、例えば、キャリッジ３０２１ｃを駆動してもよい。

＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係るプロジェクターについて説明する。

図２０は、本発明の第６実施形態に係るプロジェクターの全体構成を示す概略図である。

図２０に示すプロジェクター４０００は、ＬＣＤ方式のプロジェクターであり、光源４０１０と、ミラー４０２１、４０２２、４０２３と、ダイクロイックミラー４０３１、４０３２と、液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂと、ダイクロイックプリズム４０５０と、投射レンズ系４０６０と、圧電駆動装置１と、を備えている。

光源４０１０としては、例えば、ハロゲンランプ、水銀ランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）等が挙げられる。また、この光源４０１０としては、白色光が出射するものが用いられる。そして、光源４０１０から出射された光は、まず、ダイクロイックミラー４０３１によって赤色光（Ｒ）とその他の光とに分離される。赤色光は、ミラー４０２１で反射された後、液晶表示素子４０４０Ｒに入射し、その他の光は、ダイクロイックミラー４０３２によってさらに緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とに分離される。そして、緑色光は、液晶表示素子４０４０Ｇに入射し、青色光は、ミラー４０２２、４０２３で反射された後、液晶表示素子４０４０Ｂに入射する。

液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂは、それぞれ、空間光変調器として用いられる。これらの液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂは、それぞれＲ、Ｇ、Ｂの原色に対応する透過型の空間光変調器であり、例えば縦１０８０行、横１９２０列のマトリクス状に配列した画素を備えている。各画素では、入射光に対する透過光の光量が調整され、各液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂにおいて全画素の光量分布が協調制御される。このような液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂによってそれぞれ空間的に変調された光は、ダイクロイックプリズム４０５０で合成され、ダイクロイックプリズム４０５０からフルカラーの映像光ＬＬが出射される。そして、出射された映像光ＬＬは、投射レンズ系４０６０によって拡大されて、例えばスクリーン等に投射される。圧電駆動装置１は、投射レンズ系４０６０に含まれる少なくとも１つのレンズを光軸方向に移動させて焦点距離を変更することができる。

このようなプロジェクター４０００は、圧電駆動装置１を備えている。そのため、上述した圧電駆動装置１の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

以上、本発明の圧電駆動装置、圧電駆動装置の駆動方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、圧電駆動装置をロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに適用した構成について説明したが、圧電駆動装置は、これら以外の各種電子デバイスに適用することができる。

１、１ｘ、１ｙ、１θ…圧電駆動装置、２…ローター、２１…上面、３…圧電振動モジュール、３１…振動部、３２…支持部、３３…接続部、３４…伝達部、３５…第１基板、３６…第２基板、３７、３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ…圧電素子、３７０…振動領域、３７１…第１電極、３７２…圧電体、３７３…第２電極、３８…間座、４…ステージ、５…付勢部、６…制御部、７…スライダー、７１…上面、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０…アーム、１０８０…ロボット制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…キャリッジガイド軸、３０２３ｂ…タイミングベルト、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、４０００…プロジェクター、４０１０…光源、４０２１、４０２２、４０２３…ミラー、４０３１、４０３２…ダイクロイックミラー、４０４０Ｂ、４０４０Ｇ、４０４０Ｒ…液晶表示素子、４０５０…ダイクロイックプリズム、４０６０…投射レンズ系、ＬＬ…映像光、Ｏ…回転軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、Ｖ１、Ｖ１’、Ｖ２、Ｖ２’、Ｖ３、Ｖ３’、Ｖ４…電圧、Ｘ…方向

Claims (11)

1. 振動部と、従動部に当接し、前記振動部の前記従動部との並び方向の縦振動、および前記縦振動と前記振動部の前記並び方向に交差する方向の横振動との複合振動である屈曲振動を前記従動部に伝達する伝達部と、を含む複数の圧電振動モジュールを有し、
   前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部が第１方向に前記屈曲振動する第１駆動モードと、
   前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動または前記第１方向と反対方向の第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、を有する第２駆動モードと、を有することを特徴とする圧電駆動装置。
2. 前記第２駆動モードは、
   前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数よりも多い第３駆動モードを有している請求項１に記載の圧電駆動装置。
3. 前記第２駆動モードは、
   前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が、前記伝達部が前記第２方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数よりも多い第４駆動モードを有している請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
4. 前記第２駆動モードは、
   前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有する第５駆動モードを有している請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
5. 前記第２駆動モードは、
   前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールと、前記伝達部が前記縦振動する前記圧電振動モジュールと、を有し、前記第５駆動モードよりも前記伝達部が前記第１方向に前記屈曲振動する前記圧電振動モジュールの数が多い第６駆動モードを有している請求項４に記載の圧電駆動装置。
6. 前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部がそれぞれ前記縦振動することで、前記従動部の移動を許容する第７駆動モードを有している請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
7. 振動部と、従動部に当接し、前記振動部の前記従動部との並び方向の縦振動、および前記縦振動と前記振動部の前記並び方向に交差する方向の横振動との複合振動である屈曲振動を前記従動部に伝達する伝達部と、を含む複数の圧電振動モジュールを有する圧電駆動装置の駆動方法であって、
   前記複数の圧電振動モジュールの前記伝達部を第１方向に前記屈曲振動させる第１駆動モードと、
   前記伝達部を前記第１方向に前記屈曲振動させる前記圧電振動モジュールと、前記伝達部を前記縦振動または前記第１方向と反対方向の第２方向に前記屈曲振動させる前記圧電振動モジュールと、を有する第２駆動モードと、が設定されており、
   前記第１駆動モードおよび前記第２駆動モードのいずれかを選択して実行することを特徴とする圧電駆動装置の駆動方法。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えること特徴とするロボット。
9. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
10. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とするプリンター。
11. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とするプロジェクター。

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