JP2018186680A - 振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成でかつ精度よく異常を検出することのできる振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスを提供する。【解決手段】振動アクチュエーターの制御方法は、電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御方法であって、前記駆動信号と前記検出信号との位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせる。【選択図】図１

Description

本発明は、振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスに関するものである。

特許文献１に記載の超音波モーターでは、圧電体の検出電極から出力される交番電圧（検出信号）をモニター電圧に変換し、このモニター電圧と所定電圧とを比べることで超音波モーターの異常を検出している。

特開平１−１９０２６９号公報

しかしながら、特許文献１の超音波モーターのように、モニター電圧（圧電体の振幅に相当）を用いて異常を検出する場合、圧電体の振幅を検知する回路が別途必要となる。また、特許文献１には、圧電体の検出電極から出力される交番電圧（検出信号）の周波数に基づいて超音波モーターの異常を検出する方法も記載されている。しかしながら、圧電体が故障しても検出電極から出力される交番電圧（検出信号）の周波数が変化しないこともあり、正確な検出が困難である。

本発明の目的は、簡単な構成でかつ精度よく異常を検出することのできる振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスを提供することにある。

上記目的は、下記の本発明により達成される。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法は、電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御方法であって、
前記駆動信号と前記検出信号との位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ精度よく振動体の異常を検出し、それに基づいて振動体の駆動を制御することができる。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法では、前記振動体は、前記位相差が前記第１基準範囲内である場合に正常と判断され、前記位相差が前記第１基準範囲外である場合に異常と判断されることが好ましい。
これにより、より精度よく、かつ、容易に、振動体の異常を検出することができる。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法では、前記振動体の前記位相差が前記第１基準範囲内である場合、前記位相差が所定値に近づくように前記駆動信号の周波数を変化させることが好ましい。
これにより、振動体をより効率的に振動させることができる。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法では、前記位相差が前記第１基準範囲外である場合において、前記位相差が前記第１基準範囲とは異なる第２基準範囲内である場合と前記第２基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせることが好ましい。
これにより、振動体の異常度合を検出することができ、それに適した制御が可能となる。そのため、より効率的で安全な制御が可能となる。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法では、前記振動体は、被駆動部に当接させる当接部を備え、
前記位相差が前記第１基準範囲内である場合は、前記当接部が回転振動するように前記振動体を振動させ、
前記位相差が前記第２基準範囲内である場合は、前記当接部が前記被駆動部への当接方向に振動するように前記振動体を振動させ、
前記位相差が前記第２基準範囲外である場合は、前記振動体の振動を停止することが好ましい。
これにより、振動アクチュエーターをより効率的にかつ安全に駆動することができる。

本発明の振動アクチュエーターの制御方法では、複数の前記振動体を有し、
前記複数の振動体のうち、所定数以上の前記振動体が前記第１基準範囲外である場合は、前記複数の振動体の駆動を停止することが好ましい。
これにより、事前に、振動体の破壊を防ぎ、振動アクチュエーターの安全性を高めることができる。

本発明の振動アクチュエーターの異常検出方法は、電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの異常検出方法であって、
前記駆動信号と前記検出信号との位相差に基づいて、前記振動体の異常を検出することを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ精度よく振動体の異常を検出することができる。

本発明の振動アクチュエーターの制御装置は、電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御装置であって、
前記駆動信号と前記検出信号の位相差を検出する検出部と、
前記位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせる駆動制御部と、を有することを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ精度よく振動体の異常を検出し、それに基づいて振動体の駆動を制御することができる。

本発明のロボットは、本発明の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いロボットとなる。

本発明の電子部品搬送装置は、本発明の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高い電子部品搬送装置となる。

本発明のプリンターは、本発明の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いプリンターとなる。

本発明のプロジェクターは、本発明の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動アクチュエーターの制御装置の効果を享受でき、信頼性の高いプロジェクターとなる。

本発明の振動デバイスは、電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体と、
プロセッサーと、を有する振動デバイスであって、
前記プロセッサーは、前記駆動信号と前記検出信号の位相差を検出し、前記位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ精度よく振動体の異常を検出し、それに基づいて振動体の駆動を制御することができる。

本発明の第１実施形態に係る制御装置を備えた駆動装置を示す斜視図である。 図１に示す駆動装置の変形例を示す斜視図である。 図１に示す駆動装置が有する圧電振動モジュールを示す側面図である。 図３中のＡ−Ａ線断面図である。 図３中のＢ−Ｂ線断面図である。 図３中のＣ−Ｃ線断面図である。 図３に示す振動体の振動状態を示す図である。 振動体に印加する第１駆動信号の波形を示す図である。 図３に示す振動体の振動状態を示す図である。 振動体に印加する第２駆動信号の波形を示す図である。 第１駆動信号の周波数と駆動速度の関係を示すグラフである。 第１駆動信号の周波数と位相差との関係を示すグラフである。 振動体の振動状態を示す図である。 振動体に印加する駆動信号と振動体から出力する検出信号との関係を示す図である。 本発明の第２実施形態に係るロボットを示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。 図１６に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。 本発明の第５実施形態に係るプロジェクターの全体構成を示す概略図である。

以下、本発明の振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置および振動デバイスについて説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る制御装置を備えた駆動装置を示す斜視図である。図２は、図１に示す駆動装置の変形例を示す斜視図である。図３は、図１に示す駆動装置が有する圧電振動モジュールを示す側面図である。図４は、図３中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図３中のＢ−Ｂ線断面図である。図６は、図３中のＣ−Ｃ線断面図である。図７は、図３に示す振動体の振動状態を示す図である。図８は、振動体に印加する第１駆動信号の波形を示す図である。図９は、図３に示す振動体の振動状態を示す図である。図１０は、振動体に印加する第２駆動信号の波形を示す図である。図１１は、第１駆動信号の周波数と駆動速度の関係を示すグラフである。図１２は、第１駆動信号の周波数と位相差との関係を示すグラフである。図１３は、振動体の振動状態を示す図である。図１４は、振動体に印加する駆動信号と振動体から出力する検出信号との関係を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図４ないし図６中の上側を「上」とも言い、下側を「下」とも言う。

図１に示す駆動装置１（振動デバイス）は、回転モーター（超音波モーター）として利用され、回転軸Ｏまわりに回転可能なローター２（被駆動部）と、ローター２を回転（駆動）させる振動アクチュエーター３０と、振動アクチュエーター３０の駆動を制御する制御装置９（プロセッサー）と、を有している。また、振動アクチュエーター３０は、複数の振動体３と、各振動体３を支持するステージ４と、ステージ４を介して各振動体３をローター２に向けて付勢する付勢部５と、を有している。

ローター２は、円板状をなしており、回転軸Ｏまわりに回転可能に軸受されている。ただし、ローター２の構成としては、特に限定されない。そして、ローター２の上面２１に当接して複数の振動体３が配置されている。なお、本実施形態では、３つの振動体３が配置されているが、振動体３の数としては、特に限定されず、１つであってもよいし、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。

ただし、駆動装置１としては、特に限定されず、例えば、図２に示す構成となっていてもよい。この場合、駆動装置１は、直動モーターとして利用され、振動アクチュエーター３０の駆動によって直線移動するスライダー７（被駆動部）を有している。

次に、振動体３について説明するが、３つの振動体３は、それぞれ、同様の構成であるため、以下では、１つの振動体３について代表して説明し、その他の振動体３についてはその説明を省略する。

図３に示すように、振動体３は、振動可能な振動部３１と、振動部３１を支持する支持部３２と、振動部３１および支持部３２を接続する一対の接続部３３と、振動部３１に設けられた伝達部３４と、を有している。振動部３１は、略長方形状の板状をなし、その先端部に伝達部３４が設けられている。また、支持部３２は、振動部３１の基端側を囲むＵ字形状となっている。

このような構成の振動体３では、伝達部３４の先端部においてローター２の上面２１に当接し、支持部３２においてステージ４に固定されている。また、ステージ４は、ばね部材（板ばね、スプリングばね）等の付勢部５によってローター２側（図３中下方側）に向けて付勢されており、これにより、伝達部３４が十分な摩擦力を持ってローター２の上面２１と接触している。そのため、スリップが抑制され、伝達部３４を介して振動部３１の振動を効率的にローター２へ伝達することができる。

また、図１に示すように、振動体３は、厚さ方向に対向配置された第１基板３５および第２基板３６を有している。第１基板３５および第２基板３６は、それぞれ、例えば、シリコン基板（半導体基板）を用いることができる。また、振動部３１は、第１基板３５と第２基板３６との間に設けられた圧電素子３７を有し、支持部３２は、第１基板３５と第２基板３６との間に設けられた間座３８を有している。なお、間座３８は、支持部３２の厚さを振動部３１の厚さに揃えるためのスペーサーとして機能する。

図３に示すように、圧電素子３７は、５つの駆動用の圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅと、１つの検出用の圧電素子３７Ｆと、を含んでいる。圧電素子３７Ａ、３７Ｂは、振動部３１の幅方向の一方側（図３中右側）に位置し、振動部３１の長手方向に並んで配置されている。圧電素子３７Ｄ、３７Ｅは、振動部３１の幅方向の他方側（図３中の左側）に位置し、振動部３１の長手方向に並んで配置されている。圧電素子３７Ｃは、振動部３１の幅方向の中央部に位置し、振動部３１の長手方向に沿って配置されている。圧電素子３７Ｆは、圧電素子３７Ａの先端側に位置し、振動部３１の角部に設けられている。なお、圧電素子３７の構成としては、伝達部３４を後述する回転運動で振動させることができれば、特に限定さない。例えば、圧電素子３７Ｃを省略してもよい。また、圧電素子３７Ｆの配置も、振動部３１の振動（変形）に応じた検出信号を取得することができれば、特に限定されない。

また、図４ないし図６に示すように、圧電素子３７は、圧電体３７２と、圧電体３７２の上面に設けられた第１電極３７１と、圧電体３７２の下面に設けられた第２電極３７３と、を有している。

第１電極３７１は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ、３７Ｆに共通して設けられた共通電極である。一方、第２電極３７３は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ、３７Ｆごとに個別に設けられた個別電極である。また、圧電体３７２は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ、３７Ｆに共通して一体的に設けられている。ただし、圧電体３７２は、圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ、３７Ｆごとに個別に設けられていてもよい。

圧電体３７２は、振動部３１の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることで振動部３１の長手方向に伸縮する。逆に、圧電体３７２は、振動部３１が長手方向へ伸縮（変形）することで振動部３１の厚さ方向に沿った方向の電界が発生する。このような圧電体３７２の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された圧電体３７２は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよい。なお、圧電体３７２の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。

以上のような構成の振動体３は、図７に示すように、伝達部３４を回転振動（楕円振動）させることができる。このような振動を行うには、例えば、図８に示すように、電圧が周期的に変化する第１駆動信号Ｓｄ１を圧電素子３７に印加すればよい。具体的には、図８中の電圧Ｖ１を圧電素子３７Ａ、３７Ｅに印加し、電圧Ｖ２を圧電素子３７Ｃに印加し、電圧Ｖ３を圧電素子３７Ｂ、３７Ｄに印加すればよい。なお、電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３は、それぞれ、位相が異なること以外は同じである。これにより、振動部３１は、長手方向に伸縮する縦振動を行いつつ、幅方向に２次で屈曲する横振動を行う。このような縦振動と横振動とが合成され、振動部３１がＳ字状に屈曲振動し、それに伴って、伝達部３４が縦振動と横振動の複合振動である回転振動（楕円振動）を行う。ただし、伝達部３４を回転振動させることができれば、圧電素子３７に印加する電圧パターンは、特に限定されない。

また、振動体３は、図９に示すように、伝達部３４をローター２への当接方向に沿って縦振動させることができる。このような振動を行うには、例えば、図１０に示すように、電圧が周期的に変化する第２駆動信号Ｓｄ２を圧電素子３７に印加すればよい。具体的には、図１０中の電圧Ｖ４を各圧電素子３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅに印加すればよい。これにより、振動部３１は、長手方向に伸縮する縦振動を行い、これに伴って、伝達部３４が縦振動を行う。ただし、伝達部３４を縦振動させることができれば、圧電素子３７に印加する電圧パターンは、特に限定されない。なお、以下では、第１駆動信号Ｓｄ１および第２駆動信号Ｓｄ２をまとめて駆動信号Ｓｄとも言う。

一方、振動体３が上述のように振動すると、圧電素子３７Ｆが撓み、この撓みによって圧電体３７２から発生した電荷が圧電素子３７Ｆ（第１電極３７１と第２電極３７３Ｆとの間）から検出信号Ｓｓ（電圧が周期的に変化する交番電圧）として出力される。そのため、この検出信号を用いることで、精度よく振動体３の振動を検出することができる。なお、検出信号Ｓｓの周波数は、駆動信号Ｓｄの周波数とほぼ等しくなる。

ここで、第１駆動信号Ｓｄ１について説明する。図１１は、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数ｆと振動アクチュエーター３０の駆動速度（ローター２の駆動速度）との関係を示すグラフである。同図に示すように、第１駆動信号Ｓｄの周波数ｆを振動体３の共振周波数ｆ０に近づけることで、駆動速度を早くすることができ、共振周波数ｆ０から遠ざけることで駆動速度を遅くすることができる。また、共振周波数ｆ０をピークとして、共振周波数ｆ０よりも高周波数側ではなだらかに駆動速度が減少し、反対に、共振周波数ｆ０よりも低周波数側では急激に駆動速度が減少する。そのため、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数は、共振周波数ｆ０よりも高く設定されている。これにより、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数が共振周波数ｆ０よりも低い場合と比較して、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数変化に対する駆動速度の変化量が小さくなり、駆動速度を精度よく制御することができる。ただし、第１駆動信号Ｓｄ１は、共振周波数ｆ０より低くてもよい。

次に、第１駆動信号Ｓｄ１と検出信号Ｓｓとの位相差θについて説明する。図１２は、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数ｆと位相差θとの関係を示すグラフである。同図に示すように、位相差θは、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数ｆが低くなるに連れて単調増加する。

以上、振動体３について説明したが、振動体３の構成としては、特に限定されない。例えば、支持部３２および接続部３３を省略してもよい。また、第１基板３５および第２基板３６のいずれかを省略してもよい。

次に、各振動体３から出力される検出信号を用いた振動アクチュエーター３０の制御方法（異常検出方法）について説明する。ただし、制御方法（異常検出方法）は、以下に説明する方法に限定されない。

制御装置９は、各振動体３の駆動をそれぞれ独立して制御することができる。また、図１に示すように、制御装置９は、第１駆動信号Ｓｄ１と検出信号Ｓｓの位相差θを検出する検出部９１と、位相差θに基づいて各振動体３の駆動を独立して制御する駆動制御部９２と、報知部９３と、を有している。

図１３に示すように、駆動制御部９２が各振動体３に第１駆動信号Ｓｄ１を印加すると、各振動体３の伝達部３４が回転振動（楕円振動）し、これにより、ローター２が回転する。また、この際、各振動体３からは、図１４に示すように、回転振動（楕円振動）に応じた検出信号Ｓｓが出力される。そして、検出部９１は、検出信号Ｓｓに基づいて、各振動体３の第１駆動信号Ｓｄ１と検出信号Ｓｓとの位相差θを検出する。なお、前述したように、第１駆動信号Ｓｄ１には位相の異なる３つの電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３が含まれているため、検出部９１は、これら電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３のうちの１つと検出信号Ｓｓとの位相差θを検出すればよい。

振動体３は、劣化、断線、ひび、欠け等のダメージがあり正常な駆動が困難となると、正常な駆動が可能な場合に対して位相差θが変化する特性を有する。そこで、制御装置９は、位相差θを検出し、検出した位相差θに基づいて各振動体３について、正常であるか異常であるかを判断する。

駆動制御部９２には、図１２に示すように、位相差θの第１基準範囲θｂ１が設定されている。駆動制御部９２は、検出部９１で検出された各振動体３の位相差θと第１基準範囲θｂ１とを比較する。そして、駆動制御部９２は、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である振動体３に対してはダメージがほとんどない「正常」であると判断し、位相差θが第１基準範囲θｂ１外である振動体３に対してはダメージがある「異常」であると判断する。

駆動制御部９２による上記判断結果は、報知部９３によって使用者等に報知される。報知部９３は、例えば、表示画面、ライト、スピーカー等を有している。報知部９３は、「異常」であると判断された振動体３の数や場所が分かるような情報を供給するのが好ましい。これにより、振動アクチュエーター３０のメンテナンス性が向上する。

駆動制御部９２は、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である振動体３（以下「振動体３Ａ」とも言う。）についてはそのまま駆動を続行する。また、駆動制御部９２は、振動体３Ａについて、位相差θが目標値θｐに近づくように、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数ｆを変化させる。このような制御を行うことで、ローター２をより効率的にかつ高速で回転させることができる。

また、駆動制御部９２は、振動体３Ａを次のように制御してもよい。具体的には、駆動制御部９２は、振動体３Ａについて、検出信号Ｓｓの振幅が最も大きくなるように、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数を変化させる。すなわち、振動体３Ａについて、検出信号Ｓｓの振幅の最大値を追尾するように、第１駆動信号Ｓｄ１の周波数ｆを経時的に細かく変化させる。検出信号Ｓｓの振幅は、伝達部３４の振幅に比例するため、検出信号Ｓｓの振幅を大きくすることで伝達部３４の振幅が大きくなる。そのため、ローター２をより効率的にかつ高速で回転させることができる。

また、駆動制御部９２には、位相差θの第２基準範囲θｂ２が設定されている。第２基準範囲θｂ２は、第１基準範囲θｂ１からずれた位置に設定されている。具体的には、第２基準範囲θｂ２は、第１基準範囲θｂ１よりも周波数ｆが高い側と、第１基準範囲θｂ１よりも周波数ｆが低い側と、に設定されている。言い換えると、第２基準範囲θｂ２は、第１基準範囲θｂ１よりも広く設定されており、第２基準範囲θｂ２の下限値と上限値との間に、第１基準範囲θ１の全域が位置している。ただし、第２基準範囲θｂ２は、第１基準範囲と異なる範囲であれば、その設定の仕方は、特に限定されず、例えば、第１基準範囲θｂ１よりも周波数ｆが高い側の領域および第１基準範囲θｂ１よりも周波数ｆが低い側の領域の一方を省略してもよい。

駆動制御部９２は、位相差θが第１基準範囲θｂ１外の振動体３（以下「振動体３Ｂ」とも言う。）について、さらに、その位相差θと第２基準範囲θｂ２とを比較する。そして、駆動制御部９２は、位相差θが第２基準範囲θｂ２内である振動体３Ｂに対しては軽度なダメージを有する「軽度な異常」であると判断し、位相差θが第２基準範囲θｂ２外である振動体３Ｂに対しては重度なダメージを有する「重度な異常」であると判断する。駆動制御部９２による上記判断結果は、報知部９３によって使用者等に報知される。

位相差θが第２基準θｂ２内の振動体３Ｂ（以下「振動体３Ｂ’」とも言う。）は、ダメージを有するものの、そのダメージが軽く、引き続き振動させても問題ない場合がある。特に、例えば、断線しかかっていることで配線の抵抗値が高くなり、これが原因で正常な駆動が困難となっている場合には、振動体３Ｂ’に印加する第１駆動信号Ｓｄ１の強度を正常駆動制御に対して高めれば、振動体３Ｂ’が正常な場合と同じ挙動で振動する可能性もある。

そこで、駆動制御部９２は、振動体３Ｂ’に、正常駆動制御の際に印加する第１駆動信号Ｓｄ１よりも高い強度（振幅）の第１駆動信号Ｓｄ１’を印加する。なお、第１駆動信号Ｓｄ１’の強度（振幅）は、徐々に高めるのが好ましい。これにより、振動体３Ｂ’への負担を軽減することができる。そして、駆動制御部９２は、第１駆動信号Ｓｄ１’を印加した振動体３Ｂ’の位相差θが第１基準範囲θｂ１内となった場合には、その振動体３Ｂ’について、そのまま第１駆動信号Ｓｄ１’を印加しつつ、位相差θが目標値θｐに向かうように第１駆動信号Ｓｄ１’の周波数ｆを変化させる。これにより、軽いダメージを有する振動体３Ｂ’についても、正常な振動体３Ａと変わりなく振動させることができるため、より効率的にローター２を回転させることができる。

一方で、振動体３Ｂ’によっては、第１駆動信号Ｓｄ１’を印加しても位相差θが第１基準範囲θｂ１内とならない場合もある。このような場合は、そのまま第１駆動信号Ｓｄ１での駆動を続けると振動体３Ｂ’のダメージが増し、破壊を招くおそれもある。そこで、駆動制御部９２は、第１駆動信号Ｓｄ１’での駆動を停止して、振動体３Ｂ’に対して第２駆動信号Ｓｄ２を印加し、伝達部３４を縦振動させる。このように、正常に駆動できないと判断した振動体３Ｂ’の伝達部３４を縦振動させることで、振動体３Ｂ’がローター２の回転を阻害してしまうことを抑制することができる。

ここで、振動体３Ｂ’を縦振動させる理由について説明すると、前述したように、振動体３は、ローター２に向けて付勢されており、伝達部３４が十分な摩擦力を持ってローター２の上面２１に当接している。そのため、駆動していない振動体３が存在すると、その振動体３が抵抗（ブレーキ）となって、他の振動体３の駆動によってローター２を回転させようとしても、ローター２を回転させることができないか、または、回転してもその速度が低下してしまう等の問題が生じる。

そこで、第１駆動信号Ｓｄ１’で駆動させない振動体３Ｂ’について、ローター２との摩擦力を減少させ、ローター２の回転を許容する必要があり、これを実現するのが伝達部３４の縦振動である。この振動は、ローター２に対して接近、離間する方向の往復振動であるため、離間する方向に振動した際にローター２との摩擦力が低下する（伝達部３４がローター２から離間すれば摩擦力は０となる）。そのため、平均すれば停止状態と比べて伝達部３４とローター２との摩擦力が小さくなり、よって、ローター２の移動を許容することができる。

また、駆動制御部９２は、位相差θが第１基準範囲θｂ１外の振動体３が所定数以上である場合には、全ての振動体３の駆動を停止してもよい。このような場合は、「異常」と判断された振動体３Ｂの比率が高く、振動アクチュエーター３０の故障リスクが高いため、振動アクチュエーター３０の安定した駆動を継続的に行うことが困難である。そのため、全ての振動体３の駆動を停止することで、事前に、振動体３の破壊を防ぎ、振動アクチュエーター３０の安全性を確保することができる。なお、前記所定数としては、特に限定されないが、例えば、全振動体３の１／３以上、１／２以上等とすることができる。

以上、振動体３Ｂ’の制御について説明したが、この制御は、特に限定されない。例えば、第１駆動信号Ｓｄ１’を印加する工程を省き、初めから第２駆動信号Ｓｄ２を印加してもよい。すなわち、全ての振動体３Ｂ’を縦振動させてもよい。これにより、振動体３Ｂ’の制御がより簡単なものとなる。また、例えば、付勢部５による付勢力（押圧力）が振動体３ごとに独立して可変となっている場合には、駆動制御部９２は、振動体３Ｂ’のローター２への押圧力を弱めたり、振動体３Ｂ’をローター２から離間させたりしてもよい。これにより、振動体３Ｂ’とローター２との摩擦力が低下し、振動体３Ｂ’がローター２を回転させる際にブレーキとなってしまうのを効果的に抑制することができる。

一方、位相差θが第２基準範囲θｂ２外の振動体３Ｂ（以下「振動体３Ｂ”」とも言う。）は、重度のダメージを有し、そのまま駆動させれば破壊のおそれがあり、その破壊によって他の部分がダメージを受けるおそれがある。そこで、駆動制御部９２は、振動体３Ｂ”が１つでもあれば、全ての振動体３の駆動を停止する。これにより、振動体３Ｂ”の破壊や、それに伴う他の部分へのダメージを抑制することができる。また、駆動途中での突然の故障等が低減され、振動アクチュエーター３０の安全で安定した駆動が可能となる。

以上、振動体３Ｂ”がある場合の制御について説明したが、この制御は、特に限定されない。例えば、付勢部５による付勢力（押圧力）が、振動体３ごとに独立して可変となっている場合には、駆動制御部９２は、振動体３Ｂ”の駆動を停止すると共に、その振動体３Ｂ”をローター２から離間させる。これにより、振動体３Ｂ”に加わるストレスが低減され、振動体３Ｂ”の破壊を効果的に抑制することができ、また、振動体３Ｂ”によってローター２の回転が阻害されない。

以上、駆動制御部９２による制御方法について説明した。前述したように、駆動制御部９２は、位相差θに基づいて各振動体３の異常を検出する。位相差θは、振動体３を効率的に駆動させるのに必要なパラメーターであるため、検出部９１および駆動制御部９２は、振動体３の異常を検出する／しないに関わらず必要である。そのため、位相差θに基づいて振動体３の異常を検出することで、振動体３の異常を検出するための新たな構成（回路）を付け加えることなく（または、少なく抑えつつ）、振動体３の異常を検出することができる。

また、駆動制御部９２は、次のように振動アクチュエーター３０の駆動を制御してもよい。例えば、３つの振動体３の位相差θを平均化した平均位相差θａを検出し、この平均位相差θａと第１基準範囲θｂ１とを比較し、平均位相差θａが第１基準範囲θｂ１外であれば、全ての振動体３を異常と判断し、全ての振動体３の駆動を停止してもよい。このような方法によれば、全ての振動体３の状態を一括で検出することができるため、より簡単に、振動体３の状態を検出することができる。

また、駆動制御部９２は、次のように振動アクチュエーター３０の駆動を制御してもよい。例えば、３つの振動体３の位相差θを合計し、合計値が所定範囲外であれば、全ての振動体３を異常と判断し、全ての振動体３の駆動を停止してもよい。このような方法によれば、全ての振動体３の状態を一括で検出することができるため、より簡単に、振動体３の状態を検出することができる。

また、駆動制御部９２は、次のように振動アクチュエーター３０の駆動を制御してもよい。例えば、ある振動体３の位相差θを基準位相差として設定し、基準位相差と位相差θとの差が所定以上である振動体３を異常として判断してもよい。なお、基準位相差として設定する位相差θとしては、特に限定されないが、複数の振動体３の位相差θの中央値およびその付近に位置するものを用いることが好ましい。また、基準位相差は、複数の振動体３の位相差θの平均値としてもよい。このような方法によれば、個々の装置に合った基準位相差を設定することができるため、精度よく、振動体３の異常を検出することができる。

以上、振動アクチュエーター３０の制御装置９および振動アクチュエーター３０の制御方法について説明した。前述したように、このような制御装置９は、電圧が周期的に変化する駆動信号Ｓｄを印加することで振動し、当該振動によって電圧が周期的に変化する検出信号Ｓｓが出力される振動体３を有する振動アクチュエーター３０の制御装置である。そして、制御装置９は、駆動信号Ｓｄと検出信号Ｓｓの位相差θを検出する検出部９１と、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせる駆動制御部９２と、を有している。位相差θは、振動体３を効率的に駆動させるのに必要なパラメーターである。そのため、検出部９１および駆動制御部９２は、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせるか否かに関わらず必要である。したがって、制御装置９によれば、新たな構成（回路）を付け加えることなく（または、少なく抑えつつ）、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせることができる。特に、振動体３は、断線、ひび、欠け等のダメージがあり正常な駆動が困難となると、ダメージがほとんどなく正常な駆動が可能な場合に対して位相差θが変化する特性を有する。そのため、制御装置９は、位相差θに基づいて振動体３がダメージのない正常な状態であるかダメージを有する異常な状態であるかを容易に検出ることができる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の異常検出方法は、電圧が周期的に変化する駆動信号Ｓｄを印加することで振動し、当該振動によって電圧が周期的に変化する検出信号Ｓｓが出力される振動体３を有する振動アクチュエーター３０の異常検出方法である。そして、駆動信号Ｓｄと検出信号Ｓｓとの位相差θに基づいて、振動体３の異常を検出する。位相差θは、振動体３を効率的に駆動させるのに必要なパラメーターである。そのため、位相差θは、振動体３の異常を検出するか否かに関わらず必要である。したがって、このような異常検出方法によれば、新たな構成（回路）を付け加えることなく（または、少なく抑えつつ）、振動体３の異常を検出することができる。特に、振動体３は、断線、ひび、欠け等のダメージがあり正常な駆動が困難となると、ダメージがほとんどなく正常な駆動が可能な場合に対して位相差θが変化する特性を有する。そのため、位相差θに基づくことで、振動体３の異常をより精度よく検出することができる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法は、電圧が周期的に変化する駆動信号Ｓｄを印加することで振動し、当該振動によって電圧が周期的に変化する検出信号Ｓｓが出力される振動体３を有する振動アクチュエーター３０の制御方法である。そして、振動アクチュエーター３０の制御方法は、駆動信号Ｓｄと検出信号Ｓｓとの位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせている。位相差θは、振動体３を効率的に駆動させるのに必要なパラメーターである。そのため、位相差θは、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせるか否かに関わらず必要である。したがって、この制御方法によれば、新たな構成（回路）を付け加えることなく（または、少なく抑えつつ）、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせることができる。特に、振動体３は、断線、ひび、欠け等のダメージがあり正常な駆動が困難となると、ダメージがほとんどなく正常な駆動が可能な場合に対して位相差θが変化する特性を有する。そのため、制御装置９は、位相差θに基づいて振動体３がダメージのない正常な状態であるかダメージを有する異常な状態であるかを容易に検出することができる。

また、前述したように、振動デバイスとしての駆動装置１は、電圧が周期的に変化する駆動信号Ｓｄを印加することで振動し、当該振動によって電圧が周期的に変化する検出信号Ｓｓが出力される振動体３と、プロセッサーとしての制御装置９、とを有している。そして、制御装置９は、駆動信号Ｓｄと検出信号Ｓｓの位相差θを検出し、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせる。位相差θは、振動体３を効率的に駆動させるのに必要なパラメーターである。そのため、位相差θは、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせるか否かに関わらず必要である。したがって、駆動装置１によれば、新たな構成（回路）を付け加えることなく（または、少なく抑えつつ）、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合と第１基準範囲θｂ１外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせることができる。特に、振動体３は、断線、ひび、欠け等のダメージがあり正常な駆動が困難となると、ダメージがほとんどなく正常な駆動が可能な場合に対して位相差θが変化する特性を有する。そのため、制御装置９は、位相差θに基づいて振動体３がダメージのない正常な状態であるかダメージを有する異常な状態であるかを容易に検出することができる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法では、振動体３は、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合に正常と判断され、位相差θが第１基準範囲θｂ１外である場合に異常と判断される。これにより、より精度よく、かつ、容易に、振動体３の異常を検出することができる。また、振動体３が正常な場合と異常な場合とで振動体３の振動状態を異ならせることができるため、より効率的で安全な制御が可能となる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法では、振動体３の位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合、位相差θが所定値に近づくように駆動信号Ｓｄ（第１駆動信号Ｓｄ１）の周波数を変化させる。これにより、振動体３をより効率的に振動させることができる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法では、位相差θが第１基準範囲θｂ１外である場合において、位相差θが第１基準範囲θｂ１とは異なる第２基準範囲θｂ２内である場合と第２基準範囲θｂ２外である場合とで振動体３の振動状態を異ならせている。これにより、振動体３の異常度合を検出することができ、それに適した制御が可能となる。そのため、より効率的で安全な制御が可能となる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法では、振動体３は、ローター２（被駆動部）に当接させる伝達部３４（当接部）を備え、位相差θが第１基準範囲θｂ１内である場合は、伝達部３４が回転振動するように振動体３を振動させ、位相差θが第２基準範囲θｂ２内である場合は、伝達部３４が縦振動（ローター２への当接方向に振動）するように振動体３を振動させ、位相差θが第２基準範囲θｂ２外である場合は、振動体３の振動を停止するようになっている。これにより、振動アクチュエーター３０をより効率的にかつ安全に駆動することができる。

また、前述したように、振動アクチュエーター３０の制御方法では、複数の振動体３を有し、複数の振動体３のうち、所定数以上の振動体３が第１基準範囲θｂ１外である場合は、複数の振動体３の駆動を停止するようになっている。これにより、事前に、振動体３の破壊を防ぎ、振動アクチュエーター３０の安全性を高めることができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係るロボットについて説明する。
図１５は、本発明の第２実施形態に係るロボットを示す斜視図である。

図１５に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御するロボット制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には駆動装置１が搭載されており、この駆動装置１の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各駆動装置１の駆動は、ロボット制御部１０８０によって制御される。また、駆動装置１は、エンドエフェクター１０９０に搭載され、エンドエフェクター１０９０の駆動に用いられてもよい。

このようなロボット１０００は、駆動装置１に内蔵された振動アクチュエーター３０の制御装置９を備えている。そのため、上述した制御装置９の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。

図１６は、本発明の第３実施形態に係る電子部品搬送装置を示す斜視図である。図１７は、図１６に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。

図１６に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。

また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。

また、図１７に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための駆動装置１（１ｘ）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための駆動装置１（１ｙ）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための駆動装置１（１θ）と、が内蔵されている。なお、駆動装置１ｘ、１ｙとして、前述した図２に示す形態を用いることができ、駆動装置１θとして、前述した図１に示す形態を用いることができる。

このような電子部品搬送装置２０００は、駆動装置１に内蔵された振動アクチュエーター３０の制御装置９を備えている。そのため、上述した制御装置９の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係るプリンターについて説明する。
図１８は、本発明の第４実施形態に係るプリンターの全体構成を示す概略図である。

図１８に示すプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。また、装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。

印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。また、ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。

往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ａと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ａ上で移動させるタイミングベルト３０２３ｂと、を有している。

給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである駆動装置１と、を有している。

制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。

このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。

このようなプリンター３０００は、駆動装置１に内蔵された振動アクチュエーター３０の制御装置９を備えている。そのため、上述した制御装置９の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。なお、本実施系形態では、駆動装置１が給紙用の駆動ローラー３０３２を駆動しているが、この他にも、例えば、キャリッジ３０２１ｃを駆動してもよい。

＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係るプロジェクターについて説明する。

図１９は、本発明の第５実施形態に係るプロジェクターの全体構成を示す概略図である。

図１９に示すプロジェクター４０００は、ＬＣＤ方式のプロジェクターであり、光源４０１０と、ミラー４０２１、４０２２、４０２３と、ダイクロイックミラー４０３１、４０３２と、液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂと、ダイクロイックプリズム４０５０と、投射レンズ系４０６０と、駆動装置１と、を備えている。

光源４０１０としては、例えば、ハロゲンランプ、水銀ランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）等が挙げられる。また、この光源４０１０としては、白色光が出射するものが用いられる。そして、光源４０１０から出射された光は、まず、ダイクロイックミラー４０３１によって赤色光（Ｒ）とその他の光とに分離される。赤色光は、ミラー４０２１で反射された後、液晶表示素子４０４０Ｒに入射し、その他の光は、ダイクロイックミラー４０３２によってさらに緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とに分離される。そして、緑色光は、液晶表示素子４０４０Ｇに入射し、青色光は、ミラー４０２２、４０２３で反射された後、液晶表示素子４０４０Ｂに入射する。

液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂは、それぞれ、空間光変調器として用いられる。これらの液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂは、それぞれＲ、Ｇ、Ｂの原色に対応する透過型の空間光変調器であり、例えば縦１０８０行、横１９２０列のマトリクス状に配列した画素を備えている。各画素では、入射光に対する透過光の光量が調整され、各液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂにおいて全画素の光量分布が協調制御される。このような液晶表示素子４０４０Ｒ、４０４０Ｇ、４０４０Ｂによってそれぞれ空間的に変調された光は、ダイクロイックプリズム４０５０で合成され、ダイクロイックプリズム４０５０からフルカラーの映像光ＬＬが出射される。そして、出射された映像光ＬＬは、投射レンズ系４０６０によって拡大されて、例えばスクリーン等に投射される。駆動装置１は、投射レンズ系４０６０に含まれる少なくとも１つのレンズを光軸方向に移動させて焦点距離を変更することができる。

このようなプロジェクター４０００は、駆動装置１に内蔵された振動アクチュエーター３０の制御装置９を備えている。そのため、上述した制御装置９の効果を享受することができ、高い信頼性を発揮することができる。

以上、本発明の振動アクチュエーターの制御方法、振動アクチュエーターの異常検出方法、振動アクチュエーターの制御装置、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、振動アクチュエーターの制御装置をロボット、電子部品搬送装置、プリンター、プロジェクターおよび振動デバイスに適用した構成について説明したが、制御装置は、これら以外の各種電子デバイスに適用することができる。

１、１ｘ、１ｙ、１θ…駆動装置、２…ローター、２１…上面、３…振動体、３０…振動アクチュエーター、３１…振動部、３２…支持部、３３…接続部、３４…伝達部、３５…第１基板、３６…第２基板、３７、３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃ、３７Ｄ、３７Ｅ、３７Ｆ…圧電素子、３７１…第１電極、３７２…圧電体、３７３、３７３Ｆ…第２電極、３８…間座、４…ステージ、５…付勢部、７…スライダー、９…制御装置、９１…検出部、９２…駆動制御部、９３…報知部、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０…アーム、１０８０…ロボット制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…キャリッジガイド軸、３０２３ｂ…タイミングベルト、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、４０００…プロジェクター、４０１０…光源、４０２１、４０２２、４０２３…ミラー、４０３１、４０３２…ダイクロイックミラー、４０４０Ｂ、４０４０Ｇ、４０４０Ｒ…液晶表示素子、４０５０…ダイクロイックプリズム、４０６０…投射レンズ系、ＬＬ…映像光、Ｏ…回転軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、Ｓｄ１…第１駆動信号、Ｓｄ２…第２駆動信号、Ｓｓ…検出信号、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４…電圧、θ…位相差、θａ…平均位相差、θｂ１…第１基準範囲、θｂ２…第２基準範囲

Claims (13)

1. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御方法であって、
   前記駆動信号と前記検出信号との位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせることを特徴とする振動アクチュエーターの制御方法。
2. 前記振動体は、前記位相差が前記第１基準範囲内である場合に正常と判断され、前記位相差が前記第１基準範囲外である場合に異常と判断される請求項１に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
3. 前記振動体の前記位相差が前記第１基準範囲内である場合、前記位相差が所定値に近づくように前記駆動信号の周波数を変化させる請求項１または２に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
4. 前記位相差が前記第１基準範囲外である場合において、前記位相差が前記第１基準範囲とは異なる第２基準範囲内である場合と前記第２基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
5. 前記振動体は、被駆動部に当接させる当接部を備え、
   前記位相差が前記第１基準範囲内である場合は、前記当接部が回転振動するように前記振動体を振動させ、
   前記位相差が前記第２基準範囲内である場合は、前記当接部が前記被駆動部への当接方向に振動するように前記振動体を振動させ、
   前記位相差が前記第２基準範囲外である場合は、前記振動体の振動を停止する請求項４に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
6. 複数の前記振動体を有し、
   前記複数の振動体のうち、所定数以上の前記振動体が前記第１基準範囲外である場合は、前記複数の振動体の駆動を停止する請求項５に記載の振動アクチュエーターの制御方法。
7. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの異常検出方法であって、
   前記駆動信号と前記検出信号との位相差に基づいて、前記振動体の異常を検出することを特徴とする振動アクチュエーターの異常検出方法。
8. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体を有する振動アクチュエーターの制御装置であって、
   前記駆動信号と前記検出信号の位相差を検出する検出部と、
   前記位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせる駆動制御部と、を有することを特徴とする振動アクチュエーターの制御装置。
9. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするロボット。
10. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
11. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプリンター。
12. 請求項８に記載の振動アクチュエーターの制御装置を備えることを特徴とするプロジェクター。
13. 電圧が周期的に変化する駆動信号を印加することで振動し、前記振動によって電圧が周期的に変化する検出信号が出力される振動体と、
    プロセッサーと、を有する振動デバイスであって、
    前記プロセッサーは、前記駆動信号と前記検出信号の位相差を検出し、前記位相差が第１基準範囲内である場合と前記第１基準範囲外である場合とで前記振動体の振動状態を異ならせることを特徴とする振動デバイス。

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