JP2018156096A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. 液体を介して基板に露光光を照射する露光装置であって、
   投影光学系と、
   基板を保持する基板保持部材と、前記基板保持部材に保持された前記基板の周囲に、前記基板の表面とほぼ同じ高さになるように平坦面を形成する部材を有する基板ステージと、
   前記平坦面を形成する部材の温度調整を行う温調システムと、
   液体供給口と液体回収口とを有する流路形成部材と、を備え、
   前記流路形成部材の液体供給口から液体を供給するとともに、前記液体供給口から供給された液体を前記流路形成部材の液体回収口から回収することによって、前記基板の表面の一部に液浸領域を形成し、前記液浸領域の液体を介して前記基板に露光光を照射し、
   前記基板を前記投影光学系に対して移動させることによって前記基板上で前記液浸領域が動かされ、
   前記基板のエッジ領域の露光は、前記液浸領域の一部を前記平坦面上に形成した状態で行われる露光装置。
2. 液体を介して基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
   前記基板を保持する基板保持部材を有し、該基板保持部材に前記基板を保持して移動可能な基板ステージと、
   前記基板保持部材の温度調整を行う温調システムとを備えたことを特徴とする露光装置。