JP2018005117A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、曲面を有する光学素子を保持する保持装置であって、光学素子を支持する支持部材を有し、光学素子の光軸の方向と重力の方向とを含む平面内において、支持部材は、光軸の方向に対して傾けて光学素子を支持していることを特徴とする。

Claims (12)

1. 曲面を有する光学素子を保持する保持装置であって、
   前記光学素子を支持する支持部材を有し、
   前記光学素子の光軸の方向と重力の方向とを含む平面内において、前記支持部材は、前記光軸の方向に対して傾けて前記光学素子を支持していることを特徴とする保持装置。
2. 前記曲面は、反射面を含み、前記支持部材は、前記曲面とは反対側の前記光学素子の裏面を介して前記光学素子を支持することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 前記支持部材が前記光学素子を支持する前記裏面の部分は、前記曲面のうち有効領域外の部分の反対側の部分であることを特徴とする請求項２に記載の保持装置。
4. 前記支持部材は、前記光学素子に固定されていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の保持装置。
5. 前記支持部材は、前記光学素子に形成された孔に固定されていることを特徴とする請求項４に記載の保持装置。
6. 前記曲面は、凹面であり、前記支持部材は、前記光軸の方向に対して上向きに傾けて前記光学素子を支持していることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の保持装置。
7. 前記曲面は、凸面であり、前記支持部材は、前記光軸の方向に対して下向きに傾けて前記光学素子を支持していることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の保持装置。
8. 前記光軸の方向は、水平方向に沿った方向であることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の保持装置。
9. 前記光学素子の複数箇所にそれぞれ力を加えて前記曲面を変形させる複数のアクチュエータと、
   前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、
   を有することを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の保持装置。
10. 原版のパターンを基板に投影する投影光学系であって、
    曲面を有する光学素子と、
    前記光学素子を保持する請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の保持装置と、
    を含むことを特徴とする投影光学系。
11. 基板を露光する露光装置であって、
    請求項１０に記載の投影光学系を含み、
    前記投影光学系を介して前記基板を露光する、
    ことを特徴とする露光装置。
12. 請求項１１に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
    を有することを特徴とする物品の製造方法。