TW202539966A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明提供基板收納容器。基板收納容器（1）具備形成有基板收納空間（27）的容器主體（2）以及能夠封閉容器主體開口部（21）的蓋體（3），還具備：槽部件（245），具有形成有朝向下方向開口的槽的槽形成部（2450b）以及卡止於下壁（24）的固定部（2401）的被固定部（2450a），支承並固定於下壁（24）；以及底板（244），固定於下壁（24），與下壁（24）一起構成容器主體（2）的底部，槽部件（245）的一部分在被底板（244）覆蓋的狀態下支承並固定於下壁（24）。

Description

基板收納容器

本發明涉及在對半導體晶片、中間掩模（reticle）、印刷基板等基板進行收納、保管、搬運、輸送等時使用的基板收納容器。

作為收納各種基板的基板收納容器，以往已知有具備容器主體以及蓋體的構成的基板（例如參照專利文獻1、2）。

容器主體的一端部具有容器主體開口部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納基板。蓋體能夠相對於容器主體開口部拆裝，能夠封閉容器主體開口部。側方基板支承部在基板收納空間內以成對的方式設置於壁部。在未通過蓋體封閉容器主體開口部時，側方基板支承部能夠在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下支承基板的邊緣部。

在蓋體的一部分且是在封閉容器主體開口部時與基板收納空間對置的部分設置有前部保持構件（蓋體側基板支承部）。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能夠支承基板的邊緣部。另外，後側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設置於壁部。後側基板支承部能夠支承基板的邊緣部。在通過蓋體封閉容器主體開口部時，後側基板支承部與前部保持構件協作來支承基板，從而在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下支承基板。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第6652232號公報

專利文獻2：日本專利第4921429號公報

本發明要解決的課題

在構成容器主體的壁部的下部的下壁固定設置有滑槽（運動滑槽），該滑槽在將容器主體設置於對收納於容器主體的作為基板的晶片實施規定的處理的處理裝置時，通過與該處理裝置的導銷（定位銷）抵接而被支承。

具體而言，將基板收納容器載置於處理裝置，自動地進行從蓋體的開閉到基板的進出。因此，在處理裝置上設置有定位用的工作臺，由3根定位銷固定。在與定位銷接觸的基板收納容器的部分，與容器主體分開設置有由滑動性良好的材質構成的運動滑槽。運動滑槽通過利用嵌件成型、基於鉤等的組裝固定而安裝於容器主體。

但是，在基於鉤等的組裝固定的結構中，由於運動滑槽與外部的干擾，所以會產生晃動或脫離的問題。如果脫離，則在裝置上的位置發生偏移，產生蓋體的開閉不良的情況、無法使基板進出的問題。

本發明的目的在於提供一種具備運動滑槽難以從容器主體脫離的構成的基板收納容器。

用於解決課題的手段

本發明涉及一種基板收納容器，所述基板收納容器具備：容器主體，具備：筒狀的壁部，在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，具備後壁、上壁、下壁以及一對側壁，通過所述上壁的一端部、所述下壁的一端部以及所述側壁的一端部形成所述容器主體開口部，所述容器主體通過所述上壁的內表面、所述下壁的內表面、所述側壁的內表面以及所述後壁的內表面形成基板收納空間，所述基板收納空間能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通；蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；槽部件，具有：槽形成部，形成有朝向下方開口的槽；以及被固定部，卡止於所述下壁的固定部，所述槽部件支承固定於所述下壁；以及底板，固定在所述下壁，與所述下壁一起構成所述容器主體的底部，所述槽部件的一部分在被所述底板覆蓋的狀態下支承固定於所述下壁。

另外優選的是，所述槽部件通過螺紋緊固而固定於所述下壁。另外優選的是，所述槽部件的一部分是所述槽部件的周緣部的一部分，遍及所述容器主體的另一端部側的所述槽部件的周緣部的至少半周被所述底板覆蓋。另外優選的是，所述槽部件的一部分是所述槽部件的周緣部，遍及所述槽部件的周緣部的整周被所述底板覆蓋。

另外優選的是，所述槽部件的槽由仿照了用於進行所述容器主體的定位的運動銷（Kinematic pin）的前端部的形狀的V形狀的槽構成。另外優選的是，所述槽部件由POM、PBT、PEEK中的至少一種熱塑性樹脂構成。另外優選的是，在所述熱塑性樹脂中添加有氟、PE、CF、CP、CNT中的至少一種。

發明效果

根據本發明，能夠提供一種具備運動滑槽難以從容器主體脫離的構成的基板收納容器。

[基板收納容器1的整體構成]

以下參照圖對本實施方式的基板收納容器1進行說明。

圖1是表示基板收納容器1中收納有多個基板W的情況的分解立體圖。圖2是表示基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。圖3是表示基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖4是表示用圖3的A-A線切斷的容器主體2的側視剖視圖。

此處，為了方便說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為前方向D11，將其相反的方向定義為後方向D12，將它們合起來定義為前後方向D1。另外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的上方向）定義為上方向D21，將其相反的方向定義為下方向D22，將它們合起來定義為上下方向D2。另外，將從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為左方向D31，將其相反的方向定義為右方向D32，將它們合起來定義為左右方向D3。在主要的圖中圖示了表示這些方向的箭頭。

另外，基板收納容器1中收納的基板W（參照圖1）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是用於工業的薄基板。本實施方式的基板W是直徑300 mm的矽晶片。

如圖1～圖4所示，基板收納容器1收納由上述那樣的矽晶片構成的基板W，用作在工廠內的工序中搬運的工序內容器，或者用作用於通過陸運方式、空運方式、海運方式等輸送方式輸送基板的出貨容器，包括容器主體2以及蓋體3。容器主體2具備作為側方基板支承部的基板支承板狀部5以及後側基板支承部6。蓋體3具備作為蓋體側基板支承部的未圖示的前部保持構件。

容器主體2具備在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。在壁部20的一部分且是形成基板收納空間27的部分配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在基板收納空間27中能夠收納多個基板W。

基板支承板狀部5是在基板收納空間27內以成對的方式配置的內置部件，能夠拆裝地固定設置於壁部20。基板支承板狀部5通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下支承多個基板W的邊緣部。在基板支承板狀部5的後側與基板支承板狀部5一體成型地設置有後側基板支承部6。

後側基板支承部6在基板收納空間27內以與後述的未圖示的前部保持構件成對的方式設置於壁部20。後側基板支承部6通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠支承多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3能夠相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28拆裝，能夠封閉容器主體開口部21。未圖示的前部保持構件設置於蓋體3的一部分且是在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27對置的部分。前部保持構件配置成在基板收納空間27的內部與後側基板支承部6成對。

在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠支承多個基板W的邊緣部的前部。在通過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件通過與後側基板支承部6協作來支承多個基板W，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分離並排列的狀態下保持基板W。

基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，在沒有特別說明的情況下，作為該材料的樹脂，例如可以舉出聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物這樣的熱塑性樹脂、它們的合金等。在賦予導電性的情況下，向這些成型材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳奈米管、導電性聚合物等導電性物質。另外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維、碳纖維等。

[容器主體2]

以下對各部分詳細地進行說明。如圖1～圖4所示，容器主體2的壁部20具備後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26由上述材料構成，通過一體成型而構成。

第一側壁25與第二側壁26對置，上壁23與下壁24對置。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端以及第二側壁26的後端全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端以及第二側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28形成呈大致長方形形狀的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內表面即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面以及第二側壁26的內表面形成由它們包圍的基板收納空間27。形成於開口周緣部28的容器主體開口部21與由壁部20包圍且形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最多能夠收納25個基板W。

在上壁23以及下壁24的一部分且是開口周緣部28的附近的部分形成有朝向基板收納空間27的外方凹陷的閂鎖卡合凹部231A、23B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、23B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近各形成有一個，合計形成有四個。

在上壁23的外表面，與上壁23一體成型地設置有肋235。肋235提高了容器主體2的剛性。另外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236是當在AMHS（自動晶片輸送系統）、PGV（晶片基板輸送臺車）等中懸吊基板收納容器1時成為在基板收納容器1中被鉤掛而懸吊的部分的部件。

如圖3所示，在下壁24固定有底板244。底板244具有與構成下壁24的外表面的下表面對置地配置的板狀，固定於下壁24，與下壁24一起構成容器主體2的底部。另外，在圖3中，用容易理解的實線圖示了底板244，用雙點鏈線圖示了其他部件。

具體而言，底板244具有在從與下壁24的中央對置的中央部朝向後述的一對排氣孔243的方向上延伸的部分、在比該中央部靠後側與下壁24的後部對置的部分、以及沿著左右的下壁24的端緣在前後方向D1上延伸的部分。

底板244的一部分且是在從與該下壁24的中央對置的中央部朝向後述的一對排氣孔243的方向上延伸的部分以及在比該中央部靠後側與下壁24的後部對置的部分覆蓋作為後述的槽部件的運動滑槽245的一部分。由此，運動滑槽245支承並固定於下壁24。

更詳細地說，如圖5所示，底板244的邊緣部具有：被支承部2443，具有與下壁24平行地延伸的部分以及從其一端部向上方（圖5、圖6中的下方）延伸且與下壁24抵接的部分；以及傾斜壁2442，從被支承部2443的端緣向斜上方（圖5中的斜下方）延伸。另外，如圖6所示，底板244的邊緣部具有：被支承部2448，具有與下壁24平行地延伸的部分以及從其一端部向上方（圖6中的下方）延伸且與下壁24抵接的部分；以及傾斜壁2447，從被支承部2448的端緣向斜上方（圖6中的斜下方）延伸。

在下壁24的四角附近形成有作為兩種貫通孔的供氣孔242以及排氣孔243。在本實施方式中，下壁24的前部的兩個部位的貫通孔是用於排出容器主體2的內部的氣體的排氣孔243，後部的兩個部位的貫通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242。

在作為供氣孔242的貫通孔配置有作為附加部件的供氣用過濾器部98，在作為排氣孔243的貫通孔配置有排氣用過濾器部99。即，供氣用過濾器部98以及排氣用過濾器部99的內部的氣體的流道構成能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的通氣路的一部分。另外，供氣用過濾器部98以及排氣用過濾器部99配置於壁部20，在供氣用過濾器部98以及排氣用過濾器部99中，在容器主體2的外部的空間與基板收納空間27之間，氣體能夠經由過濾器（未圖示）通過。構成為供給到供氣用過濾器部98的吹掃氣體向基板收納空間27供給。排氣用過濾器部99構成為能夠使氣體從基板收納空間27向容器主體2的外部的空間通過。

[運動滑槽245]

作為槽部件的運動滑槽（Kinematic slider）245是以在將基板收納容器1設置於自動地進行從蓋體3的開閉到基板W的進出的未圖示的處理裝置時與該處理裝置上的定位銷抵接的方式固定設置於下壁24的部件。如圖5所示，運動滑槽245在從槽部件245的長邊方向觀察時具有以中央位置為中心的左右對稱的形狀。

如圖3等所示，運動滑槽245具備：被固定部2450a，由長邊方向上的兩端部構成，通過利用螺絲247的螺紋緊固而固定支承於下壁24的一部分且將運動滑槽245固定於下壁24的固定部2401；以及槽形成部2450b，由該兩端部間的部分構成，具有形成有朝向下方開口的槽的山形部2454。被固定部2450a與槽形成部2450b一體成型地連接。

山形部2454具有山形屋頂形狀。通過山形部2454的下表面（圖5、圖6中的上側的一對傾斜面）形成朝向下方（圖5、圖6中的上方）開口的V形的槽。該V形的槽的形狀是仿照了載置基板收納容器1的未圖示的處理裝置上的定位用的工作臺的3根定位銷（運動銷）的前端部的形狀的形狀。V形的槽的谷底的一部分由下壁24的一部分構成。

如圖5、圖6所示，在運動滑槽245的寬度方向的兩側，水平部2453與山形部2454一體成型地連接。水平部2453從山形部2454的寬度方向的兩端以相互分離的方式延伸，構成運動滑槽245的山形部2454的周緣部。另外，被固定部2450a的一部分且是與山形部2454連接的被固定部2450a的部分以外的部分構成運動滑槽245的周緣部。相對於與山形部2454連接的水平部2453的一端部的另一端部與垂直部2452一體成型地連接。

垂直部2452從水平部2453的寬度方向的兩端向上方（圖5、圖6中的下方）延伸，垂直部2452的上端部（圖5、圖6中的下端部）位於與上下方向上的山形部2454的上端部（圖5、圖6的下端部）一致的位置。在垂直部2452的上端部與垂直部2452一體成型地連接有抵接部2451。

抵接部2451具有從垂直部2452以相互分離的方式水平地延伸的部分、以及從該部分的中途的部分向上方（圖5、圖6中的下方）延伸的部分，所述抵接部2451與下壁24抵接。

如圖3所示，設置有三個的運動滑槽245中的位於後側的運動滑槽245的周圍的底板244的傾斜壁2442的上端部2441（圖5中的下端部）如圖5所示那樣位於水平部2453的下方（圖5中的上方）。抵接部2451、垂直部2452以及水平部2453的一部分成為從下方（圖5所示的上方）被底板244的傾斜壁2442以及被支承部2443覆蓋的狀態。

另外，對於被固定部2450a的一部分且是與山形部2454連接的被固定部2450a的部分以外的部分，也成為被底板244的傾斜壁2442以及被支承部2443覆蓋的狀態。由此，圖3所示的設置有三個的運動滑槽245中的位於後側的一個運動滑槽245的周緣部成為遍及整周被底板244的傾斜壁2442以及被支承部2443覆蓋的狀態。

另外，如圖3、圖6所示，前側的兩個運動滑槽245的周緣部成為遍及半周被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態。

具體而言，如圖3所示，設置有三個的運動滑槽245中的位於前側的兩個運動滑槽245的周圍的底板244的傾斜壁2447的上端部2446（圖6中的下端部）如圖6所示那樣位於水平部2453的下方（圖6中的上方）。抵接部2451、垂直部2452以及水平部2453的一部分且是位於後側的部分（在圖6中位於比運動滑槽245的V字形槽的谷底靠左側的部分）成為從下方（圖6所示的上方）被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態，但位於前側的部分（在圖6中位於比運動滑槽245的V字形槽的谷底靠右側的部分）未被底板244的傾斜壁2447、被支承部2448覆蓋。

另外，對於被固定部2450a的一部分且是與山形部2454連接的被固定部2450a的部分以外的部分，也成為被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態。具體而言，圖3所示的設置有三個的運動滑槽245中的位於前側的兩個運動滑槽245各自的被固定部2450a的後側的一半成為被底板244的傾斜壁2447（參照圖6）以及被支承部2448（參照圖6）覆蓋的狀態，但被固定部2450a的前側的一半未被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋。

由此，圖3所示的設置有三個的運動滑槽245中的位於前側的兩個運動滑槽245的周緣部成為遍及作為容器主體2的另一端部側的後側的半周被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態。

運動滑槽245與容器主體2不同，由滑動性良好的材質即熱塑性樹脂構成。具體而言，在本實施方式中，由POM（聚縮醛樹脂）、PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯樹脂）、PEEK（聚醚醚酮樹脂）中的至少一種熱塑性樹脂構成。進而，也可以在這些熱塑性樹脂中添加氟、PE（聚乙烯）、CF（碳填料。具體而言為CF（碳纖維）、CP（碳粉末）、CNT（碳奈米管））中的至少一種。

[突出部8]

後壁22具備作為氣體噴出噴嘴部的突出部8。突出部8成對地設置有兩個。通過突出部的基部以與供氣用過濾器部98的內部的通氣路氣密地連通的方式利用各一個合計兩個的插入結構插入到形成於兩個供氣孔242的附近的容器主體2的下壁24的一部分的孔中，從而將突出部8固定於容器主體2的下壁24。另外，作為突出部8的前端側的部分的突出部8的上部通過卡扣配合或熔接等固定在構成壁部20的後壁22。

通過該構成，一對突出部8肋狀地從後壁22朝向容器主體開口部21突出，並平行地從後壁22的上端部延伸到下端部。突出部8具有中空的柱狀。

突出部8向基板收納空間27供給流入通氣路的氣體，所述通氣路是能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的供氣用過濾器部98的內部的氣體的流道。

[蓋體3]

如圖1所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大體一致的大致長方形形狀。蓋體3能夠相對於容器主體2的開口周緣部28拆裝，通過將蓋體3安裝到開口周緣部28，蓋體3能夠以被開口周緣部28包圍的位置關係封閉容器主體開口部21。

在蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的背側的面）且是在蓋體3封閉容器主體開口部21時與在開口周緣部28的緊靠後方向D12的位置形成的臺階部分的面（密封面281）對置的面，以繞蓋體3的外周緣部一周的方式安裝有環狀的密封部件4。密封部件4配置成繞蓋體3一周。密封部件4為能夠彈性變形的聚酯類、聚烯烴類等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等。

在蓋體3安裝於開口周緣部28時，密封部件4由容器主體2的密封面281與蓋體3的內表面夾持而彈性變形。即，通過在蓋體3與容器主體2之間夾設密封部件4，在蓋體3與開口周緣部28不相互抵接而分離的狀態下，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28卸下蓋體3，能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取出或放入基板W。

在蓋體3設置有閂鎖機構。如圖1所示，閂鎖機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，具備能夠從蓋體3的上邊向上方向D21突出的兩個上側閂鎖部32A、32A、以及能夠從蓋體3的下邊向下方向D22突出的兩個下側閂鎖部32B、32B。兩個上側閂鎖部32A、32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側閂鎖部32B、32B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面設置有操作部33。通過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，能夠使上側閂鎖部32A、32A、下側閂鎖部32B、32B成為從蓋體3的上邊、下邊突出或者不從上邊、下邊突出的狀態。通過上側閂鎖部32A、32A從蓋體3的上邊向上方向D21突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，並且下側閂鎖部32B、32B從蓋體3的下邊向下方向D22突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，從而將蓋體3固定於容器主體2的容器主體開口部21。

在蓋體3的內側（圖1中的蓋體3的後方向D12的一側）形成有向基板收納空間27的外方（前方向D11）凹陷的凹部（未圖示）。在凹部固定設置有前部保持構件（未圖示）。

前部保持構件（未圖示）具備前部保持構件基板承接部（未圖示）。前部保持構件基板承接部（未圖示）配置在左右方向D3上的中央的一個部位。前部保持構件基板承接部並不限定於配置在左右方向D3上的中央的一個部位，也可以配置在多個部位，例如可以按照以規定的間隔分離且成對的方式各配置兩個。這樣配置的前部保持構件基板承接部以在上下方向上排列有25對的狀態設置。通過將基板W收納到基板收納空間27內並關閉蓋體3，前部保持構件基板承接部支承基板W的邊緣部的端緣。

[實施方式的效果]

根據上述構成的本實施方式的基板收納容器1，能夠得到以下的效果。

本實施方式的基板收納容器1具備：容器主體2，具備筒狀的壁部20，所述壁部20在一端部具有形成容器主體開口部21的開口周緣部28且另一端部被封閉，具備後壁22、上壁23、下壁24以及一對側壁25、26，通過上壁23的一端部、下壁24的一端部以及側壁25、26的一端部形成容器主體開口部21，所述容器主體2通過上壁23的內表面、下壁24的內表面、側壁25、26的內表面以及後壁22的內表面形成基板收納空間27，所述基板收納空間27能夠收納多個基板W且與容器主體開口部21連通；蓋體3，能夠相對於容器主體開口部21拆裝，能夠封閉容器主體開口部21；作為槽部件的運動滑槽245，具備：槽形成部2450b，形成有朝向下方開口的槽；以及被固定部2450a，卡止於下壁24的固定部2401，所述運動滑槽245支承並固定於下壁24；以及底板244，固定於下壁24，與下壁24一起構成容器主體2的底部，運動滑槽245的一部分在被底板244覆蓋的狀態下支承並固定於下壁24。

通過該構成，即使在基板收納容器1的外部的其他物體與運動滑槽245碰撞而對運動滑槽245作用了力的情況下，要從下壁24脫離的運動滑槽245的一部分也能夠與覆蓋運動滑槽245的底板244的傾斜壁2442、2447抵接而阻止脫離，能夠使運動滑槽24難以脫離。

其結果，在將容器主體2設置於對作為收納於容器主體2的基板W的晶片實施規定的處理的未圖示的處理裝置時，容器主體2由設置在處理裝置上的定位用的工作臺的3根定位銷固定，此時，能夠抑制此時產生容器主體2相對於處理裝置的位置偏移、蓋體3的開閉不良、基板W無法進出等問題。

另外，根據本實施方式的基板收納容器1，作為槽部件的運動滑槽245通過螺紋緊固而固定於下壁24。通過該構成，能夠更牢固地將運動滑槽245固定於下壁24。

另外，根據本實施方式的基板收納容器1，作為槽部件的運動滑槽245的一部分是運動滑槽245的周緣部的一部分，遍及容器主體2的另一端部側的運動滑槽245的周緣部的半周被底板244覆蓋。通過該構成，即使運動滑槽245要從下壁24脫離，通過遍及運動滑槽245的周緣部的半周被底板244覆蓋，在該部分，運動滑槽245的周緣部與底板244抵接，從而也能夠抑制運動滑槽245從下壁24脫離。

另外，根據本實施方式的基板收納容器1，作為槽部件的運動滑槽245的一部分是運動滑槽245的周緣部，遍及運動滑槽245的周緣部的整周被底板244覆蓋。通過該構成，即使運動滑槽245要從下壁24脫離，通過遍及運動滑槽245的周緣部的整周被底板244覆蓋，在運動滑槽245的周緣部的整周與底板244抵接，也能夠可靠地抑制運動滑槽245從下壁24脫離。

另外，在本實施方式的基板收納容器1中，作為槽部件的運動滑槽245的槽由仿照了用於進行容器主體2的定位的未圖示的運動銷的前端部的形狀的V形狀的槽構成。由此，能夠維持運動銷的前端部在該槽中與構成運動滑槽245的山形部2454的下表面的由圖5、圖6中的上側的一對傾斜面形成的槽的谷底部穩定地抵接的狀態。

另外，在運動銷的前端部在該槽中與運動滑槽245抵接的狀態下，運動滑槽245能夠相對於運動銷的前端部容易地相對移動。其結果，能夠容易地由運動銷的前端部進行的、包括運動滑槽245的容器主體2的定位。

另外，在本實施方式的基板收納容器1中，作為槽部件的運動滑槽245由POM、PBT、PEEK中的至少一種熱塑性樹脂構成。由此，在運動滑槽245中能夠得到高滑動特性，在運動銷的前端部與運動滑槽245抵接時，能夠更順暢地進行定位。

另外，在包括上述運動滑槽245等樹脂部件的本實施方式的基板收納容器1中，也可以在熱塑性樹脂中添加氟、PE、CF、CP、CNT中的至少一種。由此，能夠使運動滑槽245的耐熱性高、耐化學性高、摩擦性低、容易滑動、非黏合性高（難以黏合）、導電性高（防止帶電的效果高）。另外，CF（碳填料，具體而言，CF（碳纖維）、CP（碳粉末）、CNT（碳奈米管））能夠提高構成包括運動滑槽245的基板收納容器1的熱塑性樹脂的強度。

[變形例]

本發明並不限定於上述實施方式，在申請專利範圍所記載的技術範圍內能夠進行變形。

例如，底板、槽部件的構成並不限定於本實施方式的底板244、運動滑槽245的構成。另外，如圖3、圖6所示，前側的兩個運動滑槽245的周緣部處於遍及半周被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態，但並不限定於該構成。也可以運動滑槽245的周緣部至少遍及半周被底板244的傾斜壁2447以及被支承部2448覆蓋的狀態。

同樣地，設置有三個的運動滑槽245中的位於後側的運動滑槽245的周緣部處於遍及整周被底板244的傾斜壁2442以及被支承部2443覆蓋的狀態，但並不限定於此，也可以處於至少遍及半周被底板244的傾斜壁2442以及被支承部2443覆蓋的狀態。

另外，容器主體以及蓋體的形狀、容器主體中能夠收納的基板的個數、尺寸並不限定於本實施方式中的容器主體2以及蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的個數、尺寸。

1:基板收納容器 2:容器主體 20:壁部 21:容器主體開口部 22:後壁 23:上壁 231A,231B:閂鎖卡合凹部 235:肋 236:頂部凸緣 24:下壁 2401:固定部 241A,241B:閂鎖卡合凹部 242:供氣孔 243:排氣孔 244:底板 2441:上端部 2442:傾斜壁 2443:被支承部 2446:上端部 2447:傾斜壁 2448:被支承部 245:運動滑槽（槽部件） 2450a:被固定部（周緣部） 2450b:槽形成部 2451:抵接部（周緣部） 2452:垂直部（周緣部） 2453:水平部（周緣部） 2454:山形部 247:螺絲 25:第一側壁（側壁） 26:第二側壁（側壁） 27:基板收納空間 28:開口周緣部 281:密封面 3:蓋體 32A:上側閂鎖部 32B:下側閂鎖部 33:操作部 4:密封部件 5:基板支承板狀部 6:後側基板支承部 8:突出部 98:供氣用過濾器部 99:排氣用過濾器部 D1:前後方向 D11:前方向 D12:後方向 D2:上下方向 D21:上方向 D22:下方向 D3:左右方向 D31:左方向 D32:右方向 W:基板

圖1是表示本發明的實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的情況的分解立體圖。

圖2是表示本發明的實施方式的基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。

圖3是表示本發明的實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。

圖4是表示本發明的實施方式的基板收納容器1的容器主體2的側視剖視圖。

圖5是表示用圖3的A-A線切斷的容器主體2的放大剖視圖。

圖6是表示用圖3的B-B線切斷的容器主體2的放大剖視圖。

24:下壁

244:底板

2441:上端部

2442:傾斜壁

2443:被支承部

245:運動滑槽(槽部件)

247:螺絲

2401:固定部

2451:抵接部(周緣部)

2452:垂直部(周緣部)

2453:水平部(周緣部)

2454:山形部

Claims (7)

1. 一種基板收納容器，其特徵在於，具備：容器主體，具備筒狀的壁部，所述壁部在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉，具備後壁、上壁、下壁以及一對側壁，通過所述上壁的一端部、所述下壁的一端部以及所述側壁的一端部形成所述容器主體開口部，所述容器主體通過所述上壁的內表面、所述下壁的內表面、所述側壁的內表面以及所述後壁的內表面形成基板收納空間，所述基板收納空間能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通；蓋體，能夠相對於所述容器主體開口部拆裝，能夠封閉所述容器主體開口部；以及槽部件，具有：槽形成部，形成有朝向下方開口的槽；以及被固定部，卡止於所述下壁的固定部，所述槽部件支承並固定於所述下壁；以及底板，固定於所述下壁，與所述下壁一起構成所述容器主體的底部，所述槽部件的下端部的一部分在被所述底板覆蓋的狀態下支承並固定於所述下壁。
2. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述槽部件通過螺紋緊固而固定於所述下壁。
3. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述槽部件的一部分是所述槽部件的周緣部的一部分，遍及所述容器主體的另一端部側的所述槽部件的周緣部的至少半周被所述底板覆蓋。
4. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述槽部件的一部分是所述槽部件的周緣部，遍及所述槽部件的周緣部的整周被所述底板覆蓋。
5. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述槽部件的槽由仿照了用於進行所述容器主體的定位的運動銷的前端部的形狀的V形狀的槽構成。
6. 如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於，所述槽部件由POM、PBT、PEEK中的至少一種熱塑性樹脂構成。
7. 如請求項6所述的基板收納容器，其特徵在於，在所述熱塑性樹脂中添加有氟、PE、CF、CP、CNT中的至少一種。