JP2015231654A - 加工装置設置用治具及び加工装置の設置方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 加工装置を容易に所望の場所に設置し得る加工装置設置用治具及び該治具を使用した加工装置設置方法を提供することである。【解決手段】 加工装置を設置する際に使用する加工装置設置用治具であって、加工装置の足が載置される第一面と、該第一面の背面の第二面とを有する第一プレートと、該第一プレートの下に配設され、該第一プレートの該第二面に当接する第三面と、該第三面の背面で床に当接する第四面とを有する第二プレートと、を備え、該第一プレートの該第二面と、該第二プレートの該第三面はそれぞれ平滑処理が施されていることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は加工装置を所定場所に設置するために使用する加工装置設置用治具及び該治具を用いた加工装置の設置方法に関する。

通常、切削装置、研削装置又はレーザ加工装置等の加工装置は、装置の外形を形成する骨組み（骨格）を有し、この骨組みや骨組みの内部に駆動部や制御部が組み付けられて構成される。これらの駆動部や制御部を保護する目的、駆動部が駆動中に作業者が駆動部にアクセスすることを防止する目的、又は装置の外観性を確保する目的等により、骨組みの外側には外装カバーが装着される。

このような加工装置は工場、事業所等の設置場所に搬入されて設置される。設置された後、特開２００８−１８３２０１号公報で開示される転倒防止金具等を用いて設置場所の床に固定されることもある。加工装置を設置する際、設置する部屋に重機で加工装置を搬入して大まかな設置位置に加工装置を載置した後、設置位置を微調整するようにしていた。

特開２００８−１８３２０１号公報

従来の加工装置の設置方法では、加工装置を設置する部屋に重機で搬入して大まかな設置位置に加工装置を載置した後、設置位置を微調整するようにしたため、非常に手間が掛かるという問題があった。特に、加工装置を他の加工装置と接続して連続的に被加工物に加工を施すインラインシステムにおいては、ミリ単位での加工装置の位置合わせが必要であり、非常に苦労していた。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置を容易に所望の場所に設置し得る加工装置設置用治具及び該治具を使用した加工装置設置方法を提供することである。

請求項１記載の発明によると、加工装置を設置する際に使用する加工装置設置用治具であって、加工装置の足が載置される第一面と、該第一面の背面の第二面とを有する第一プレートと、該第一プレートの下に配設され、該第一プレートの該第二面に当接する第三面と、該第三面の背面で床に当接する第四面とを有する第二プレートと、を備え、該第一プレートの該第二面と、該第二プレートの該第三面はそれぞれ平滑処理が施されていることを特徴とする加工装置設置用治具が提供される。

請求項２記載の発明によると、請求項１記載の加工装置設置用治具を用いて加工装置を設置する加工装置の設置方法であって、設置する加工装置の足と床との間に、該床に該第二プレートの該第四面が当接するとともに、該第二プレートの該第三面に該第一プレートの該第二面が対面する状態で、該第一プレートと該第二プレートを介在させる治具配設ステップと、該治具配設ステップを実施した後、該第一プレートと該第二プレートと互いに摺動させて該加工装置を所望の位置に位置付ける位置づけステップと、を備えたことを特徴とする加工装置の設置方法が提供される。

本発明の加工装置設置用治具は、加工装置の足と床との間に配設される第一プレートと第二プレートとを備え、第一プレートと第二プレートの互いに対面するそれぞれの面が平滑処理されているため、治具上に加工装置を設置した状態で第一プレートと第二プレートとを摺動させることで、治具上に設置された加工装置を簡単に所望の位置に位置合わせでき、加工装置を容易に所望の位置に設置し得る。

加工装置の外観斜視図である。 実施形態に係る加工装置設置用治具の斜視図である。 治具配設ステップを示す側面図である。 位置づけステップを示す側面図である。 設置ステップの第１実施形態を説明する側面図である。 設置ステップの第２実施形態を説明する側面図である。 設置ステップの第３実施形態を説明する一部断面側面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置２の外観斜視図が示されている。加工装置２は例えば切削装置から構成され、骨組み（骨格）４内に切削装置の機械的構成要素であるチャックテーブル、切削ブレードを備えた切削ユニット、ウェーハの切削すべき領域を検出する撮像装置を備えたアライメントユニット、スピンナ洗浄装置、ウェーハを搬送する搬送装置等が収容されている。

符号６，８，１０は加工装置２の骨組み４に取り外し可能に装着される外装カバーであり、これらの外装カバー４，８，１０及び骨組み４に固定された複数のパネル１２によりハウジング１４が構成される。

オペレータが加工装置２を操作する操作側には、オペレーション表示モニタ１６が配設されている。このオペレーション表示モニタ１６はタッチパネル式であり、オペレータはモニタ１６に表示された情報にタッチすることにより、加工装置２にコマンドを入力することができるとともに、加工装置２の稼働状況がこのモニタ１６上に表示される。

１８は加工装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、加工装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。２０は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタン２０を押すと加工装置２の作動を直ちに停止することができる。

加工装置２の操作側には、観音開きに開閉可能な扉２２，２４が設けられている。例えば、加工装置２のチャックテーブルにウェーハを装着したり、又はスピンドルに装着された切削ブレードを交換したい場合には、これらの扉２２，２４を開閉して作業を実施する。

加工装置２の底部には四個の足２６が配設されており、これらの足２６は伸縮可能な機構を有しており、設置場所に加工装置２を設置した後、足２６の長さを調整することにより加工装置２を水平に設置することができる。

次に、図２乃至図７を参照して、本発明実施形態に係る加工装置設置用治具及び該治具を使用した加工装置の設置方法について説明する。図２を参照すると、加工装置設置用治具の斜視図が示されている。加工装置設置用治具は、第一プレート２８と、第二プレート３０とからなる。第一及び第二プレート２８，３０ともＳＵＳ等の金属から形成されている。

第一プレート２８は、加工装置２の足２６が載置される第一面２８ａと第一面２８ａの背面の第二面２８ｂとを有している。第二プレート３０は、第一プレート２８の第二面２８ｂに当接する第三面３０ａと、第三面３０ａの背面で床に当接する第四面３０ｂとを有している。治具として使用されるときには、第二プレート３０は第一プレート２８の下に配設される。

第一プレート２８の第二面２８ｂと、第二プレート３０の第三面３０ａとは、磨かれて平滑処理されている。又は、シリコンコーティング等のコーティングが施されている。代替実施形態として、第一プレート２８の第二面２８ｂ及び第二プレート３０の第三面３０ａにそれぞれ両面テープを貼着して剥離紙を剥がさない状態としておいてもよい。

第一プレート２８の第一面２８ａは加工装置２の足２６の下面に対して摩擦係数の大きい状態に形成されており、第二プレート３０の第四面３０ｂは床に対して摩擦係数の大きい状態に形成されているのが好ましい。図示された第一プレート２８及び第二プレート３０は略正方形状をしているが、これらの形状は限定されるものではなく、ディスク形状等の形状でもよい。

特に、図３乃至図７を参照して、図２に示した加工装置設置用治具を用いた加工層の設置方法について説明する。加工装置の設置方法は、まず図３に示すように、設置する加工装置２の足２６と床３２との間に、床３２に第二プレート３０の第四面３０ｂが当接するとともに、第二プレート３０の第三面３０ａに第一プレート２８の第二面２８ｂが対面する状態で、第一プレート２８と第二プレート３０を介在させる治具配設ステップを実施する。

例えば、加工装置２の足２６の配置状態が予め判明しているため、第一プレート２８と第二プレート３０とを重ねて加工装置２の足２６を設置すべき床面に置き、重機を用いて加工装置２を搬入してそれぞれの足２６を第一プレート２８上に載置する。

治具配設ステップを実施した後、第一プレート２８と第二プレート３０とを摺動させて加工装置２を所望の位置に位置付ける位置づけステップを実施する。第一プレート２８の第二面２８ｂと第二プレート３０の第三面３０ａとは平滑処理されており、第一プレート２８の第一面２８ａは足２６の下面に対して摩擦係数の大きい状態に形成され、第二プレート３０の第四面３０ｂは床３２の上面に対して摩擦係数の起きい状態に形成されているため、第一プレート２８を第二プレート３０に対して比較的容易に摺動させて加工装置２を所望の位置に位置付けることができる。

位置づけステップを実施して加工装置２を所望の位置に位置付けた後、例えば加工装置２をジャッキアップして治具２８，３０を除去することで、図５に示すように加工装置２を床３２上に載置して設置する。設置後、アンカーボルトや転倒防止金具で加工装置を固設するようにしても良い。

加工装置２の足２６が伸縮可能となっている場合は、まず図６（Ａ）に示す位置づけステップ実施後、図６（Ｂ）に示すように、足２６を順に上げて治具２８，３０を除去するようにしても良い。この場合は、ジャッキアップ用のジャッキは不要である。

代替実施形態として、図７に示すように、位置づけステップ実施後、第一及び第二プレート２８，３０ごとボルト３４で床３２に固定するようにしても良い。この設置方法によると、ジャッキ使用時にずれるのを防止することができる。

２ 加工装置
２６ 足
２８ 第一プレート
２８ａ 第一面
２８ｂ 第二面
３０ 第二プレート
３０ａ 第三面
３０ｂ 第四面
３２ 床
３４ ボルト

Claims (2)

1. 加工装置を設置する際に使用する加工装置設置用治具であって、
   加工装置の足が載置される第一面と、該第一面の背面の第二面とを有する第一プレートと、
   該第一プレートの下に配設され、該第一プレートの該第二面に当接する第三面と、該第三面の背面で床に当接する第四面とを有する第二プレートと、を備え、
   該第一プレートの該第二面と、該第二プレートの該第三面はそれぞれ平滑処理が施されていることを特徴とする加工装置設置用治具。
2. 請求項１記載の加工装置設置用治具を用いて加工装置を設置する加工装置の設置方法であって、
   設置する加工装置の足と床との間に、該床に該第二プレートの該第四面が当接するとともに、該第二プレートの該第三面に該第一プレートの該第二面が対面する状態で、該第一プレートと該第二プレートを介在させる治具配設ステップと、
   該治具配設ステップを実施した後、該第一プレートと該第二プレートと互いに摺動させて該加工装置を所望の位置に位置付ける位置づけステップと、
   を備えたことを特徴とする加工装置の設置方法。