JP2015108374A - ローターのバランスを取るための方法およびポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】
より改善された方法でバランスを取られたローターを有するポンプと、ローターのバランスを取るための改善された方法を提供する。
【解決手段】
課題は、ポンプ、特に真空ポンプであって、回転軸（１４）を中心として回転可能なローター（１）を有し、このローター（１）が、少なくとも一つのバランスウェイト（７）の為の調整領域を有し、その際、調整領域内で、バランスウェイト（７）の回転軸（１４）に対する間隔が、ローター（１）に設けられた複数の目標間隔のうちの一つの目標間隔（Ｒ）に調整され、そしてその際、バランスウェイト（７）が調整された目標間隔において、所望のバランス状態を実現することを特徴とするポンプにより解決される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ポンプ、特に真空ポンプであってローターを有するもの、並びにローターのバランスを取る方法に関する。

例えば真空ポンプにおいて使用されるローターは、アンバランス状態を有する可能性がある。これはポンプ作動を損なう恐れがある。そのようなアンバランスは、特に望まれない振動を引き起こし、ポンプの寿命またはローターの寿命を縮める。アンバランスは、ローター製造の際に常に受け入れられる範囲に保持されるとは限らない質量エラーによって引き起こされる。よって、ローターは、好ましくは例えばこれがポンプ内に組み込まれる前に、バランスを取られる必要がある。ローターは、その際、より良好にバランスがとられるほど、振動が少なく、よって寿命が長くなる。

独国出願公開第１０ ２００９ ００３ ０５６ Ａ１号明細書 独国出願公開第１０ ２０１１ １０５ ８０６ Ａ１号明細書 英国出願公開第２ ４５７ ０６０Ａ号明細書 欧州出願公開第１ ７４９ ６１７Ａ１号明細書

よって本発明の課題は、より改善された方法でバランスを取られたローターを有するポンプと、ローターのバランスを取るための改善された方法を提供することである。

この課題は、請求項１に記載の特徴を有するポンプによって、または請求項１５に記載の特徴を有する方法によって解決される。本発明の好ましい実施形および発展形は、従属請求項に記載される。

発明に係るポンプは、回転軸を中心として回転可能なローターを有しており、このローターは、少なくとも一つのバランスウェイトの為の調整領域を有する。その際、調整領域内で、バランスウェイトの回転軸に対する間隔が、ローターにおいて設けられた複数の目標間隔のうちの一つの目標間隔へと調整される。そしてその際、バランスウェイトは、調整された目標間隔において一つの所望のバランス状態を実現する。

冒頭に記載したように、アンバランスは質量エラーに基づいている可能性がある。質量エラーは、その際、点形状の質量ｍ_ｕによって説明されることが可能である。その際、アンバランスは力Ｆ_ｕを実現する。
Ｆ_ｕ＝ｍ_ｕｄω^２ （式１）
その際、ｄは回転軸に対する質量エラーの間隔であり、ωはローターが回転する角速度である。アンバランスによって引き起こされる力Ｆ_ｕは、できる限り完全に、バランスウェイトによって引き起こされる相殺力によって相殺されるべきである。質量ｍ_ｗを有するバランスウェイトは、その際、回転軸に対する間隔ｒ_ｗで力Ｆ_ｗを奏する。
Ｆ_ｗ＝ｍ_ｗｒ_ｗω^２ （式２）
式（１）および（２）に従いＦ_ｕ＝Ｆ_ｗとし、力のバランスが生じる。
Ｆ_ｕ＝Ｆ_ｗ＝ｍ_ｕｄ＝ｒ_ｗｍ_ｗ （式３）

式（３）から、バランスウェイトの回転軸に対する間隔ｒ_ｗが適当に調整されると、質量ｍ_ｗを有するバランスウェイトが、アンバランスによって引き起こされる力Ｆ_ｕを相殺することがわかる。本発明は、ローターに調整領域が設けられ、この調整領域内でバランスウェイトの回転軸に対する間隔が調整可能であり、およびバランスウェイトが調整領域内で、バランスウェイトが所望のバランス状態を実現する目標間隔に調整されるという思想に基づく。その際、所望のバランス状態は、特に、ローターにバランスウェイト無しで存在するアンバランスが少なくとも近似的に相殺されるバランス状態に相当する。

バランスウェイトの回転軸に対する間隔は、調整領域内で、特に無段階に調整可能であることができる。バランスウェイトの間隔は、よってバランスウェイトの調整領域に沿った移動によって変更可能である。間隔は、よって極めて正確に、所望の目標間隔に調整されることが可能であり、これによって所望のバランス状態が正確に調整されることが可能である。

式（３）から、バランスウェイトの質量ｍ_ｗの変更によってバランス状態が影響を受ける可能性があることがわかる。ローターのバランスを取るために、よって、以下のような措置をとることが可能である。まず異なる質量の複数のバランスウェイトのセットから所定のバランス質量を有するバランスウェイトを選び出す。その際、選択は、選択されたバランスウェイトに対する調整すべき目標間隔が、ローターにおいて設けられた調整領域内にあり、よってローターに設けられた複数の目標間隔の一つに相当するよう行われることができる。その後、選択されたバランスウェイトは調整領域内に配置され、そしてバランスウェイトの回転軸に対する間隔が、所望のバランス状態が実現される目標間隔に調整される。バランスウェイトの調整領域に沿った移動によって、異なる目標間隔の間で間隔が調整される。

バランスウェイトは、目標間隔でローターに、特にローターのローター軸に、固定部でもって固定されることが可能である。これによって特にローター作動中のバランスウェイトの調整（ずれ）が防止されることができる。固定部は、その際、これがバランスウェイトの回転軸の方向の、及び／又は回転軸から離れる方向の移動を防止するよう形成されていることが可能である。

好ましくは、バランスウェイトは接着によって目標間隔に固定される。例えばこの為に、真空状態での適用に適した接着剤が適当である。

バランスウェイトは、緊張（緊張状態、独語でいうＶｅｒｓｐａｎｎｅｎ）によって目標間隔によ固定されることが可能である。緊張生成の為に使用されるテンション装置は、その際、これがバランスウェイトの回転軸の方への移動及び／又は回転軸から離れる方向の移動をブロックするよう形成されていることが可能である。バランスウェイトの目標間隔における確実な固定がこれによって達成される。

好ましくは、少なくとも一つのチャネルがローター内に、特にローター軸内またはローター軸上の部材内に形成される。その際、バランスウェイトはチャネル内に配置され、そして調整領域がチャネルの少なくとも一部にわたって延在する。バランスウェイトは、よってチャネル内で目標間隔に調整され、そして意図した通りのローターの使用の間確実にチャネル内に保持されることが可能である。ローター軸上の部材は、例えば、ローター軸上に座する少なくとも一つのディスクであることが可能である。

本発明の好ましい発展形に従い、チャネルは、ねじ穴として形成され、そしてバランスウェイトは、少なくとも一つのスクリューねじとして形成される。ねじは、回転によってねじ穴にそって無段階に調整されることができ、それによって簡単に目標間隔へと調整されることができる。更に、スクリューねじは、少なくともある程度までねじ穴によって固定されることが可能である。

特に有利には、スクリューねじはグラブねじ（独語でいうＭａｄｅｎｓｃｈｒａｕｂｅ）として形成されている。

チャネルは、好ましくは袋穴として形成され、特に貫通袋穴として、または貫通部として、特に貫通穴として形成される。チャネルは、これによって特に簡単に実現されることが可能である。

チャネルは、好ましくは、これが回転軸と交差するよう形成されることが可能である。バランスウェイトは、これによって回転軸に対する任意の小さな目標間隔に調整されることが可能であるので、比較的小さなアンバランスも相殺されることが可能である。

好ましくは、テンション装置がチャネル内に配置される。その際好ましくは、テンション装置が、チャネル内で半径方向で見て回転軸とバランスウェイトの間に配置される。特に好ましくは、テンション装置は、例えばばねやエラストマーのような弾性要素である。

テンション装置によってバランスウェイトがチャネル内に固定されることが可能である。その際、チャネルがねじ穴として、そしてバランスウェイトがスクリューねじとして形成されていると有利である。というのは、テンション装置がスクリューねじをねじ穴に対して緊張させ、そしてこれによってその位置に固定されることが可能だからである。

貫通袋穴として形成されたチャネルにおいては、テンション装置は、バランスウェイトと袋穴底部の間に配置される、または挟み込まれる。これによってテンション装置は、穴開口部の方に向けて予テンション力をバランスウェイトへと及ぼし、そしてこれによってバランスウェイトが調整された目標間隔に固定されることが可能である。

バランスウェイトが目標間隔に相当するよう回転軸から間隔をあけているよう両方のバランスねじがチャネル内にねじ込まれそして相対しては締め付けられるとき、好ましくは、貫通穴として形成されたチャネル内で、少なくとも二つのバランスねじによって形成されたバランスウェイトが固定されることが可能である。バランスねじは、直接的に相対して締め付けられることが可能である。

代替として、バランスねじの相対しての締め付けが間接的に行われることが可能である。好ましくは、その際、テンション要素及び／又は弾性要素、特にばねが、両方のバランスねじの間に配置されている。バランスねじがテンション要素に対して、または弾性要素に対向してはめ込まれると有利である。その際、テンション要素又は弾性要素は、バランスねじに対向して押さえられる。これによってバランスねじは、其々スクリューに対して予テンションを与えられ、これによってその各目標間隔に固定されることが可能である。

本発明の好ましい発展形にしたがい、少なくとも一つの第二のバランスウェイトの収容の為の少なくとも一つの別のチャネルが形成されることが可能である。第二のバランスウェイトは、第一のバランスウェイトと関連して、アンバランスをより良好に相殺する。その際、回転軸に対する各バランスウェイトの間隔は、他方の各バランスウェイトと関係無く其々の目標間隔へと調整されることが可能である。その際、複数バランスウェイトの適当な調整によって、アンバランスによって発生する力（式（１）参照）が、値だけでなく方向も、両方のバランスウェイトの組合せで生じる相殺力（式（２）参照）を少なくとも近似的に相殺することが可能である。

好ましくは、少なくとも二つのチャネルは、同一の、特に回転軸に対して直角に推移する平面内、または異なる、特に回転軸に対して直角に推移する平面内に延在している。よってチャネルは、回転軸に関して異なる高さで、または同じ高さでローターまたはローター軸を通って推移することが可能である。

好ましくは、少なくとも二つのチャネルは互いにある角度で推移する。その際、特に好ましくは、少なくとも近似的に９０度である。更に特に好ましくは、両方のチャネルは交差しており、特に回転軸の領域で交差している。もちろん、袋穴として形成されたチャネルも互いにある角度で配置されることが可能である。その際、これらは交差しない。

本発明の好ましい発展形によって、少なくとも二つの、特に貫通部として形成されたチャネルが、回転軸に対してオフセットされて推移することが可能である。その際、少なくとも二つのチャネルが互いに平行に推移し、特に回転軸に対して直角に推移する平面内を推移すると特に好ましい。その際、当該平面内に発生するアンバランスが、値および方向について少なくとも近似的に相殺されるよう、少なくとも一つのバランスウェイトがチャネル内で回転軸に対する目標間隔に調整される。

少なくとも一つのチャネル、好ましくはあらゆるチャネルが、回転軸に関して半径方向に延在していると、特に有利である。その様なチャネルは、特に簡単にローター内に、またはローター軸内にもたらされることができる。

少なくとも一つのチャネルが、ローターの回転軸に関して半径方向に対して傾斜している一つの方向に延在することが可能である。これによってチャネルは、回転軸に対して直角に推移せず、傾斜して推移する。チャネル内のバランスウェイトの巧みな配置によって、ローター軸のふらつき及び／又は場合のよっては発生するたわみに対しても影響を与えることが可能である。

ポンプは、好ましくは真空ポンプであり、特に好ましくはターボ分子ポンプである。

本発明は、ローターの、特に発明に係るポンプ、特に真空ポンプのローターのバランスを取る方法に関する。その際、ローターは、少なくとも一つのバランスウェイトの為の調整領域を有しており、その際、ローターの回転軸に対するバランスウェイトの間隔は、調整領域内で、ローターによって意図される複数の目標間隔の一つに調整され、その際、調整された目標間隔は、所望のバランス状態に相当する。

好ましくは、特にバランスウェイトがローターに設けられるチャネル内に配置される前に、例えばばねやエラストマー等のような予テンション装置が配置され、そしてその後、目標間隔の調整の際に、テンション装置に対して押さえ付けられるので、テンション装置は目標間隔に位置固定されたバランスウェイトのもと、特に半径方向外側に向けられた予テンション力をバランスウェイトに及ぼす。

他の方法バリエーションに従い、二つのバランスねじが、ローターに設けられるチャネル内に、バランスねじによって形成されたバランスウェイトが、目標間隔に相当するよう回転軸からの間隔をあけるよう互いに締め付けられる。

以下に添付の図面を参照しつつ、本発明を例示的に説明する。

真空ポンプの断面図。 図１のポンプのローターの第一のバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第二のバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第三のバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第三のバリエーションに対して変更を加えられたバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第四のバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第五のバリエーションのローター軸の部分断面図。 図１のポンプのローターの第六のバリエーションのローター軸の部分断面図。

図１に示された真空ポンプは、インレットフランジ６８によって取り囲まれた一つのポンプインレット７０と、ポンプインレット７０に至るガスを図１に表されていないポンプアウトレットに搬送する為の複数のポンプ段を有する。真空ポンプは、静的なハウジング７２を有するステータと、ハウジング７２内に配置されたローターを有する。このローターは、回転軸１４を中心として回転可能に支承されたローター軸１２を有する。

真空ポンプは、ターボ分子ポンプとして形成されており、そしてポンプ効率的に互いにシリアルに接続された複数のターボ分子ポンプ段を有する。これは、ローター軸１２と接続された複数のターボ分子ローターディスク１６と、軸方向でローターディスク１６の間に配置され、そしてハウジング７２内に固定された複数のターボ分子ステータディスク２６を有している。これは、スペーサーリング３６によってお互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ローターディスク１６とステータディスク２６は、汲み上げ領域（または吸い込み領域、独語でいうＳｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）５０において矢印５８の方法に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。

真空ポンプは、その上、三つの半径方向で互いに入り込んで配置され、そしてポンプ効率的に互いにシリアルに接続されたホルヴェックポンプ段を有している。ホルヴェックポンプ段のローター側の部分は、ローター軸１２と接続されたローターハブ７４を有しており、そしてローターハブ７４に固定され、かつこれによって担持されたシリンダー側面形状のホルヴェックローターシェル７６，７８を有している。このホルヴェックローターシェルは、回転軸１４と同軸に向けられており、そして半径方向で互いに入り込んで接続されている。更に、二つのシリンダー側面形状のホルヴェックステータシェル８０，８２が設けられる。これらは、同様に回転軸１４に同軸に向けられており、そして半径方向で互いに入り込んで接続されている。ホルヴェックポンプ段のポンプ作用を奏する表面（独語でいうｄｉｅ ｐｕｍｐａｋｔｉｖｅｎ Ｏｂｅｒｆｌａｅｃｈｅｎ）は、其々、各一つのホルヴェックローターシェル７６，７８およびホルヴェックステータシェル８０，８２の、半径方向の狭いホルヴェック間隙を形成しつつ互いに向かい合っている半径方向の側面表面によって、形成されている。その際、ポンプ作用を奏する表面の各一つは滑らかに形成されており（この場合ホルヴェックローターシェル７６または７８のそれ）、そしてホルヴェックステータシェル８０，８２の向かい合ったポンプ作用を奏する表面は、らせん形状に回転軸１４の周りを軸方向に推移する溝を有する構造部を有している。この中で、ローターの回転によってガスが促進され、そしてこれによってポンピングされる。

ローター軸１２の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域における転がり支承部８４によって、およびポンプインレット７０の領域における永久磁石支承部８６によって行われる。

永久磁石支承部８６は、ローター側の支承半部８８と、ステータ側の支承半部９０を有しており、これらは各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石のリング９２，９４から成っている。その際、マグネットリング９２，９４は、半径方向の支承間隙９６を形成しつつ互いに向き合っている。

マグネット支承部８６の内部には、緊急用または安全用支承部９８が設けられている。この支承部は、潤滑されていない転がり支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の作動中非接触で空転し、そしてローターがステータに対して半径方向で過剰に変位した際に、ローターに対する半径方向のストッパーを形成するために、初めて介入するに至る。このストッパーは、ローター側の構造のステータ側の構造による衝突を防止する。

転がり支承部８４の領域では、ローター軸１２にすい形の一つのスプラッシュナット１００が設けられている。このスプラッシュナットは、転がり支承部８４に向かって増加する外直径を有している。これは、例えば潤滑媒体のような作動媒体を含ませられた吸収性の複数ディスク１０２を含む作動媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマーと滑り接触している。作動中、作動媒体は毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１００へと移送され、そして遠心力の結果スプラッシュナット１００に沿って、大きくなるスプラッシュナットの外直径の方向に転がり支承部８４へと搬送され、そこで例えば潤滑機能を満たす。

真空ポンプは、ローターを回転駆動するための駆動モーター１０４を有する。その回転子は、ローター軸１２によって形成されている。制御ユニット１０６はモーター１０４を駆動する。ターボ分子ポンプ段は、汲み上げ領域５０において矢印５８の方向のポンプ効果を提供する。

図１の真空ポンプの意図した通りの使用の際に、ローターは毎分数千または数万回転の回転速度で回転する。よってローターに存在するアンバランスはできる限り相殺されるべきである。特に、これらがポンプ作動を損ない、またはポンプさえも損傷させることを防止する為である。

真空ポンプにおいて、ローターはローター軸１２の領域に、少なくとも一つのバランスウェイトの為の調整領域を有している。その際、調整領域中で、バランスウェイトの回転軸１４に対する間隔は、一つの目標間隔に調整されている。この目標間隔においてバランスウェイトは、所望のバランス状態を実現する（図１には表されていない）。その際、所望のバランス状態とは、ローターのバランスが取れた状態に相当している。

以下に図２から７に基づいて、バランスウェイトを有する様々なローターバリエーションを詳細に説明する。

図２のローター１においては、ローター軸１２に沿って少なくとも、示された両方のチャネル５が袋穴状のねじ穴の形式で形成されている。これらは、回転軸１４に対して半径方向に推移している。その際、各チャネル５内には、バランスねじとして形成されたバランスウェイト７がねじ込まれている。各チャネル５内には、一つの調整領域が設けられている。この調整領域は、基本的にチャネル深さの全域にわたって延在しており、そしてこの内部で各バランスウェイト７が回転軸１４に対する目標間隔Ｒに調整されることが可能である。この目標間隔において、所望のバランス状態が実現される。

図２に表されたバリエーションにおいては、両方のバランスウェイト７が互いに反対の方向にむけられた相殺力を発揮する。というのは、バランスウェイト７は、回転軸１４に関して互いに向かい合った側に配置されているからである。所望のバランス状態は、よって、実現される相殺力によって実現される。この相殺力は、反対方向に向けられた、同じ値の、アンバランスによって引き起こされる力を相殺することが可能である。

図２に示されるように、各目標間隔Ｒに配置されたバランスウェイト７は、各チャネル５の各底部９まではねじ込まれていない。右側のチャネル５内では、むしろバランスウェイト７とチャネル底部９の間に、ばね１１の形式のテンション装置が配置されている。これは、バランスウェイト５に半径方向で外側に向かう予テンション力を及ぼす。この予テンション力は、バランスウェイト５を調整された目標間隔Ｒに固定する。左側のチャネル５内には、バランスウェイト７とチャネル底部９の間に、これとは逆に、エラストマー１３の形式のテンション装置が配置されている。これは、バランスウェイト７に同様に半径方向外側に向かう予テンション力を及ぼす。この予テンション力は、バランスウェイト７を調整された目標間隔Ｒに同様に固定する。

図３に表されたバリエーションにおいては、少なくとも一つのチャネル５がローター１のローター軸１２内に貫通したねじ穴として形成されている。チャネル５内では、バランスウェイト７が回転軸に対する一つの目標間隔Ｒに調整されている。これによって所定のバランス状態が達成される。特に、バランスウェイト７は、回転軸１４を中心として回転するローター１において、式（２）に従い、一つの目標間隔に応じた相殺力（図３では左に向かって向けられている）を実現するので、目標間隔Ｒに調整されたバランスウェイト７は、図３で右に向かって向けられた同じ値の力（アンバランスによって引き起こされる力）を相殺することが可能である。

有利には、回転軸１４と交差するチャネル５において、バランスウェイト７が極めて小さい目標間隔に調整されることも可能であるので、値の小さなアンバランスも補正されることが可能である。その際、バランスウェイト７は例えば接着剤によって貫通穴５内に接着されることも可能である。調整された目標間隔Ｒで固定するためである。

図４に示されたローター１のローター軸１２においては、貫通したねじ穴として形成されたチャネル５が設けられている。この中に二つのバランスねじ１５が其々の側から、これらによって形成されるバランスウェイトが、回転軸１４からの所定の目標間隔Ｒで間隔をあけ、そしてこれによって所望のバランス状態を実現するようねじ込まれそして直接相対して締め付けられる。両方のバランスねじ１５の相対しての締め付けは、ねじ内での緊張を実現し、これによって両方のバランスねじ１５はその各目標間隔に確実に固定される。

図４に対して異なり、図４Ａに示されたローター１のローター軸１２は、両方のバランスねじ１５の間に一つのばね１１を配置されている。このばねに対して両方のバランスねじ１５がはめ込まれる。ばね１１は、その際、バランスねじ１５に対して押さえられており、そしてバランスねじ１５のねじ穴のねじに対する緊張を実現する。これによってバランスねじ１５は、その各目標間隔に確実に固定される。

図５に示されたローター１のローター軸１２は、貫通したねじ穴として形成された二つのチャネル５を設けられている。これらは、回転軸１４に対して直角に延在する異なる平面内で、互いに対して９０度の角度で推移している。各チャネル５内には、各一つのバランスウェイト７がねじ込まれており、そして各バランスウェイト７は、その際、其々調整された目標間隔で固定されているので、両方のバランスウェイト７は所望のバランス状態を実現する。

特に、両方のバランスウェイト７は、アンバランスが相殺されるよう調整されていることが可能である。互いに直交する両方のチャネル５の方向に基づいて、バランスウェイトは、直交した方向に調整されることが可能であるので、生じる相殺力（バランスウェイト７が実現する相殺力）の値だけでなく方向も変更可能である。これによって、両方のバランスウェイト７のチャネル５内での適当な選択および配置によって、任意の半径方向において作用するアンバランスが少なくとも近似的に相殺されることが可能であるということが可能である。

図５のバリエーションと異なり、両方のチャネル５は、同一の平面内を推移し、そして、特に回転軸１４の領域において交差することが可能である（図示されていない）。図５のバリエーションにおいてのように交差しないチャネルの配置によって、しかしながら、交差点における稜線形成と関連する問題が回避されることが可能である。

図６に示されたローター軸１２は、互いに平行に推移し、かつ貫通した二つのねじ穴５が設けられている。これらの中に、各バランスウェイト７がねじ込まれている。その際、バランスウェイト７は、回転軸１４に対する各目標間隔Ｒで配置されている。これは、これらが組合せとして所望のバランス状態を実現し、このバランス状態によって特に、バランスウェイト７の平面内に生じるアンバランスが少なくとも近似的に相殺されることが可能であるよう行われる。

図２から６のバリエーションにおいて、チャネル５は其々回転軸１４に対して直角に各ローター軸１２内に取り込まれている。これに対して図７のバリエーションにおけるローター軸１２内のチャネル５は、回転軸１４に対して傾斜して推移している。換言すると、チャネル５は、回転軸１４に対する半径方向に対して傾斜した方向内を推移している。チャネル５においては、バランスウェイト７をチャネル５内に所定の深さまでねじ込むことによって、つまりバランスウェイト７を回転軸１４に対して所定の間隔へと調整することによって、ローター１のふらつき及び／又はローター軸１２の場合によっては発生するたわみに対しても影響を及ぼすことが可能であることは有利である。

上述したバリエーションは、例としてのみ考えられる。他の図示されていないバリエーションにおいては、ローター軸内に、ローター軸の周囲方向で均等に互いに間隔をあけた複数の、半径方向に推移するチャネルが設けられることが可能である。これらチャネル内には、各少なくとも一つのバランスウェイトが取り付けられ、そして各目標間隔へと調整されることが可能である。その上、少なくとも二つのチャネルが、ローター軸の長手方向に関して互いにオフセットされて推移することが可能である。

バランスウェイト７、１５の収容の為のバランス穴またはチャネルは、ローター１内で、任意の平面内に回転軸１４に沿って転がり支承部８４と永久磁石支承部８６の間の領域内に設けられることが可能である。つまりチャネル５は、全て同一の平面内を推移する必要はなく、異なるチャネル５が、転がり支承部８４と永久磁石支承部８６の間の領域内で、ローター１内の異なる平面内、特に回転軸１４に対して垂直に向けられた平面内を推移することが可能である。

１ ローター
５ チャネル
７ バランスウェイト
９ チャネル底部
１１ ばね
１２ ローター軸
１３ エラストマー
１４ 回転軸
１５ バランスねじ
１６ ローターディスク
２６ ステータディスク
３６ スペーサーリング
５０ 汲み上げ領域
５８ 矢印
６８ インレットフランジ
７０ ポンプインレット
７２ ハウジング
７４ ローターハブ
７６，７８ ホルヴェック・ローターシェル
８０，８２ ホルヴェック・ステータシェル
８４ 転がり支承部
８６ 永久磁石支承部
８８ ローター側の支承半部
９０ ステータ側の支承半部
９２，９４ 永久磁石のリング
９６ 半径方向の支承間隙
９８ 安全用支承部
１００ スプラッシュナット
１０２ 吸収性のディスク
１０４ 駆動モーター
１０６ 制御ユニット
Ｒ 目標間隔

Claims (15)

1. ポンプ、特に真空ポンプであって、回転軸（１４）を中心として回転可能なローター（１）を有し、このローター（１）が、少なくとも一つのバランスウェイト（７）の為の調整領域を有し、その際、調整領域内で、バランスウェイト（７）の回転軸（１４）に対する間隔が、ローター（１）に設けられた複数の目標間隔のうちの一つの目標間隔（Ｒ）に調整され、そしてその際、バランスウェイト（７）が調整された目標間隔において、所望のバランス状態を実現することを特徴とするポンプ。
2. バランスウェイト（７）が、目標間隔（Ｒ）でローター（１）、特にローター軸（１２）に固定部により固定され、特に接着または緊張により固定されることを特徴とする請求項１に記載のポンプ。
3. 少なくとも一つのチャネル（５）がローター（１）内、特にローター軸（１２）内またはローター軸（１２）上の部材内に形成されており、その際、バランスウェイト（７）が、チャネル（５）内に配置され、そして調整領域がチャネル（５）の少なくとも一部にわたって延在していることを特徴とする請求項１または２に記載のポンプ。
4. チャネル（５）が、ねじ穴として形成され、かつバランスウェイト（７）が、ねじ穴内に配置された少なくとも一つのスクリューねじとして形成されていることを特徴とする請求項３に記載のポンプ。
5. チャネル（５）が、袋穴として、または貫通部として形成されていることを特徴とする請求項３または４に記載のポンプ。
6. 調整された目標間隔（Ｒ）において、バランスウェイト（７）が袋穴として形成されたチャネル（５）の底部（９）から間隔をあけていることを特徴とする請求項５に記載のポンプ。
7. テンション装置（１１，１３）、特に一つの弾性的な要素、例えばばねやエラストマーのようなものがチャネル（５）内に配置され、好ましくは、半径方向でみて回転軸（１４）とバランスウェイト（７）の間に配置されていることを特徴とする請求項３から６のいずれか一項に記載のポンプ。
8. 少なくとも二つのバランスねじ（１５）がチャネル（５）内に、バランスねじ（１５）によって形成されるバランスウェイトが、目標間隔（Ｒ）に応じて回転軸（１４）から間隔をあけているようねじ込まれ、そして直接または間接に互いに締め付けられており、その際、好ましくはテンション要素及び／又は弾性的な要素、特にばね（１１）が両方のバランスねじ（１５）の間に配置されていることを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載のポンプ。
9. 少なくとも一つの第二のバランスウェイト（７）を収容するための少なくとも一つの別のチャネル（５）が形成されていることを特徴とする請求項３から８のいずれか一項に記載のポンプ。
10. 少なくとも二つのチャネル（５）が、同一の平面内、特に回転軸（１４）に対して直角に推移する平面内、又は異なる平面内、特に回転軸（１４）に対して其々直角に推移する平面内を推移することを特徴とする請求項３から９のいずれか一項に記載のポンプ。
11. 少なくとも二つのチャネル（５）が、互いに一つの角度を有して推移する、好ましくは、少なくとも近似的に９０度の角度を有して推移することを特徴とする請求項３から１０のいずれか一項に記載のポンプ。
12. 少なくとも二つのチャネル（５）が、互いに平行に推移することを特徴とする請求項３から１１のいずれか一項に記載のポンプ。
13. 少なくとも一つのチャネル（５）、好ましくはあらゆるチャネルが、回転軸（１４）に対して半径方向に延在していることを特徴とする請求項３から１２のいずれか一項に記載のポンプ。
14. 少なくとも一つのチャネル（５）が、回転軸（１４）に関する半径方向に対して傾斜した方向に延在していることを特徴とする請求項３から１３のいずれか一項に記載のポンプ。
15. ローター（１）、特にポンプの、特に真空ポンプの、特に請求項１から１４のいずれか一項に記載の真空ポンプのローター（１）のバランスを取るための方法であって、その際、ローター（１）が少なくとも一つのバランスウェイト（７）の為の調整領域を有し、その際、調整領域内で、ローター（１）の回転軸（１４）に対するバランスウェイト（７）の間隔が、ローターに設けられた複数の目標間隔のうちの一つの目標間隔（Ｒ）に調整され、その際、調整された目標間隔（Ｒ）が所望のバランス状態に相当することを特徴とする方法。

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