JP2013031835A5 - - Google Patents

Description

しかし、上記非特許文献１のフィルターの除粒子性能を求める方法に関しては、ＩＣＰ−ＭＳに微粒子状態の金が直接導入された場合、その分散性のばらつきなどにより測定値が変動してしまい、正確な分析値が得られない可能性がある。その結果、フィルターの除粒子性能を正確に評価できない場合が生じ得る。

Claims (10)

1. 媒質液に金属粒子を添加して分散させて試料液を調製する工程と、
   試料液を評価対象のフィルターに流通して、ろ過液を得る工程と、
   ろ過液を採取する工程と、
   採取したろ過液中の金属粒子を薬液に溶解して溶解液を得る工程と、
   得られた溶解液についてＩＣＰ−ＭＳによって分析し、採取したろ過液中の金属粒子の量を検出する工程と、
   を含み、
   得られたろ過液中の金属粒子の量に基づき、前記フィルターを評価することを特徴とするフィルターの評価方法。
2. 請求項１に記載のフィルターの評価方法において、
   前記媒質液は、水溶液であることを特徴とするフィルターの評価方法。
3. 請求項１〜２のいずれか１つに記載のフィルターの評価方法において、
   前記金属粒子は、金粒子であることを特徴とするフィルターの評価方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載のフィルターの評価方法において、
   前記金属粒子の粒径は、３０ｎｍ以下であることを特徴とするフィルターの評価方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載のフィルターの評価方法において、
   前記薬液は、硝酸と、塩酸または塩化物と、を混合して調整されていることを特徴とするフィルターの評価方法。
6. 請求項５に記載のフィルターの評価方法において、
   前記採取したろ過液について、加熱処理を施す工程をさらに有し、
   前記溶解液を得る工程では、加熱処理したものに前記薬液を混合して前記溶解液を得ることを特徴とするフィルターの評価方法。
7. 請求項６に記載のフィルターの評価方法において、
   前記加熱処理は、前記媒質液を蒸発させて金属粒子の残渣物を得る処理であり、
   前記溶解液を得る工程では、得られた残渣物を薬液で溶解することを特徴とするフィルターの評価方法。
8. 請求項７に記載のフィルターの評価方法において、
   前記溶解液を得る工程では、超音波振動を与えながら前記残渣物を薬液で溶解することを特徴とするフィルターの評価方法。
9. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のフィルターの評価方法において、
   前記試料液中の金属粒子の量を計測し、（ろ過液中の金属粒子の量）／（試料液中の金属粒子の量）によりフィルターにおける粒子除去性能を評価することを特徴とするフィルターの評価方法。
10. 請求項６〜８のいずれか１つに記載のフィルターの評価方法において、
    前記試料液中の金属粒子の量を計測し、（ろ過液中の金属粒子の量）／（試料液中の金属粒子の量）によりフィルターにおける粒子除去性能を評価することを特徴とするフィルターの評価方法。