JP2012148501A - 吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 - Google Patents
吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012148501A JP2012148501A JP2011009388A JP2011009388A JP2012148501A JP 2012148501 A JP2012148501 A JP 2012148501A JP 2011009388 A JP2011009388 A JP 2011009388A JP 2011009388 A JP2011009388 A JP 2011009388A JP 2012148501 A JP2012148501 A JP 2012148501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- mesh
- resin
- suction chamber
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 93
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 93
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 59
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 239000006166 lysate Substances 0.000 claims 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- -1 methacryloyl Chemical group 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000005690 diesters Chemical class 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000009415 formwork Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- UIYCHXAGWOYNNA-UHFFFAOYSA-N vinyl sulfide Chemical compound C=CSC=C UIYCHXAGWOYNNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】メッシュスクリーンに硬化性樹脂液を塗布して網含有樹脂層を形成して処理対象物を構成させ、処理対象物を吐出装置50の配置部材2上に配置し、吐出液を吐出する吐出ヘッド53と配置部材2とを相対的に移動させ、所望位置の網含有樹脂層に未硬化の硬化性樹脂を溶解させる吐出液を着弾させ、着弾位置の硬化性樹脂を溶解する。配置部材2の裏面に位置する吸引室6を排気し、処理対象物を真空吸着すると、溶解した硬化性樹脂を含有する吐出液は吸引室6に吸引され、所望パターンの開口を有する網含有樹脂層が得られ、それを硬化させると、スクリーン印刷用の原版が得られる。写真マスクを用いる必要がない。
【選択図】図1
Description
具体的には、型枠に張られたスクリーンに感光性樹脂を塗布・乾燥させ、この上に写真製版したネガ型またはポジ型のフィルムを密着貼付して露光し、現像処理することで製造される。
しかしながら、これら新たに考案された製造方法であっても、依然として複数の工程を必要としたり、複数の構成部材を組み合わせたりする必要があった。
本発明は吐出装置であって、前記吐出ヘッドには、前記吐出孔が複数個設けられた吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記制御装置には、記憶装置が設けられ、前記記憶装置に記憶された吐出位置に向けて前記吐出孔から前記吐出液が吐出されるように構成された吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記吸引室は、前記配置部材の下方に配置され、底面には傾斜が設けられた吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記傾斜の上端よりも下端に近い位置に、液体を排出する排液口と、前記排液口を導通させ又は閉塞させる開閉装置とが設けられた吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記配置部材は、多孔質部材で構成された吐出装置である。
本発明は、吐出装置を用い、網中の所望位置の網目を閉塞させ、スクリーン印刷用原版を形成する原版製造方法であって、前記網に樹脂を塗布し、前記樹脂によって前記網の網目を塞いで前記網と前記樹脂とを含む膜状の網含有樹脂層を形成し、前記網含有樹脂層を有する前記処理対象物を前記配置部材上に配置し、排気装置を動作させて前記吸引室の圧力を、前記処理対象物の前記着弾面が露出された雰囲気の圧力よりも小さくしながら、前記吐出孔から、前記樹脂を溶解させる溶解液を前記吐出液として、前記着弾面の所望位置に向けて吐出して着弾した部分の前記樹脂を溶解させ、前記樹脂の溶解物を含有し、前記配置面上に位置する前記溶解液を、前記細孔によって吸引して前記吸引室内に移動させ、所望位置の前記網目が開けられた前記網含有樹脂層に含有される前記樹脂を硬化させて前記原版を得る原版製造方法である。
本発明は、原版製造方法であって、前記樹脂には、光硬化性樹脂を用い、所望位置の前記網目が開けられた前記網含有樹脂層に前記樹脂を硬化させる波長の光を照射して、前記網含有樹脂層に含有された前記樹脂を硬化させる原版製造方法である。
また、最終原版を作成するための別原版等が不用になるため、製造コストも削減できる。
図1は、本発明の一例の吐出装置50を示す斜視図である。
吐出装置50は、台座51と、台座51上に位置するステージ1と、ステージ1よりも上方に位置する吐出ヘッド53とを有している。
ステージ1には、後述する板状の配置部材2が設けられている。
吐出ヘッド53の内部は中空にされており、吐出ヘッド53は、吐出液タンク57に接続されている。
吐出液タンク57にはポンプ等が設けられており、吐出液タンク57内の吐出液を、吐出ヘッド53の中空部分に供給できるようになっている。
吐出ヘッド53の内部には、吐出ヘッド53内に供給された吐出液を吐出孔58から所定量吐出させる吐出部品が設けられている。
配置部材2には、図3(a)、(b)に示すように複数の細孔17が設けられている。図3(b)は、図1のA−A線切断断面図に相当する。
配置部材2の裏面には吸引室6が配置されている。
吸引室6には、排気装置36が接続されており、排気装置36を動作させると、吸引室6の内部空間に存する気体は排気装置36によって排気され、細孔17を通って、配置面24側の空間の気体が吸引室6内に吸引される。配置面24上に液体が配置されている場合は、液体は、気体と共に、吸引室6内に吸引される。
この吐出装置50は、スクリーン印刷に用いられ、所望位置にインクを通過させる開口を有する原版を形成する装置であり、原版の製造工程を説明すると、まず、配置部材2上に配置する処理対象物を形成するため、図4(a)に示すメッシュスクリーン3を用意する。
図5(a)は、配置した状態の処理対象物4の平面図であり、同図(b)は、処理対象物4と配置部材2と吸引室6との断面図である。
網含有樹脂層20に開口を形成する位置は予め制御装置65に設けられた記憶装置66に記憶されており、配置部材2と吐出ヘッド53とを相対的に移動させ、吐出ヘッド53の吐出孔58から、硬化性樹脂30を溶解させる液体を、網含有樹脂層20に開口を形成する位置を目標として、目標に向けて吐出し、目標に着弾させる。
硬化性樹脂30の溶解は、網含有樹脂層20の表面で開始され、溶解は、網含有樹脂層20の表面に沿った方向の成分と、深さ方向の成分とを有する方向に進行する。
網28は吐出液によって溶解されないので、吐出液が接触しても残存する。
本発明では、金属製の板等に細孔17を形成した配置部材2を用いることができるが、配置部材2を通気性を有する多孔質材料で構成することもできる。
この状態では、貫通された網目29を有する開口33と細孔17とを通って吸引室6内に気体が流入する。
その流入する気体は排気装置36によって吸引室6の内部から排出される。
この例では、用いた硬化性樹脂は、所定波長の光に反応して硬化する樹脂であり、開口33が形成された処理対象物4は、配置部材2上から露光装置内に移動させ、露光装置によって残存する硬化性樹脂に光を照射して硬化させると、記憶装置66に記憶されたパターンの開口33を有する原版が得られる。
具体的には、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリルアミド基、マレイン酸ジエステル、アリル基、ビニルエーテル基、ビニルチオエーテル基、ビニルアミノ基、グリシジル基、アセチレン性不飽和基を有するモノマー、プレポリマー、ポリマーであり、適切な光重合開始剤、光増感剤、光架橋剤等が配合された溶液を網体19に塗布することができる。
吐出液は、樹脂主成分を溶解できる水溶性有機溶媒等である。
その網28に形成する網含有樹脂層20の厚みは、25μm〜50μm程度であり、網28の片面に塗布する。
要するに、本発明の移動装置10には、ステージ1と吐出ヘッド53、53’とを相対的に移動させる装置であれば含まれる。
3……メッシュスクリーン
4……処理対象物
6……吸引室
10……移動装置
17……細孔
20……網含有樹脂層
24……配置面
50、50’……吐出装置
53、53’……吐出ヘッド
Claims (8)
- 配置面に処理対象物が配置される配置部材と、
吐出液を吐出する吐出孔が設けられた吐出ヘッドと、
前記配置部材と前記吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動装置と、
前記配置部材上に配置された処理対象物の表面である着弾面の所望位置に向けて前記吐出孔から前記吐出液を吐出させる制御装置と、
を有する吐出装置であって、
前記配置部材の裏面には、吸引室が設けられ、前記配置部材の裏面は前記吸引室内に露出され、
前記配置部材には、前記配置部材の前記配置面側の空間と裏面側の空間とを接続する複数の細孔が形成され、
前記吸引室の圧力が前記配置面の上の圧力よりも低下すると、前記配置面の上に位置する液体が前記吸引室内に吸引されるように構成された吐出装置。 - 前記吐出ヘッドには、前記吐出孔が複数個設けられた請求項1記載の吐出装置。
- 前記制御装置には、記憶装置が設けられ、前記記憶装置に記憶された吐出位置に向けて前記吐出孔から前記吐出液が吐出されるように構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の吐出装置。
- 前記吸引室は、前記配置部材の下方に配置され、底面には傾斜が設けられた請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の吐出装置。
- 前記傾斜の上端よりも下端に近い位置に、液体を排出する排液口と、
前記排液口を導通させ又は閉塞させる開閉装置とが設けられた請求項4記載の吐出装置。 - 前記配置部材は、多孔質部材で構成された請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の吐出装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の吐出装置を用い、網中の所望位置の網目を閉塞させ、スクリーン印刷用原版を形成する原版製造方法であって、
前記網に樹脂を塗布し、前記樹脂によって前記網の網目を塞いで前記網と前記樹脂とを含む膜状の網含有樹脂層を形成し、前記網含有樹脂層を有する前記処理対象物を前記配置部材上に配置し、
排気装置を動作させて前記吸引室の圧力を、前記処理対象物の前記着弾面が露出された雰囲気の圧力よりも小さくしながら、前記吐出孔から、前記樹脂を溶解させる溶解液を前記吐出液として、前記着弾面の所望位置に向けて吐出して着弾した部分の前記樹脂を溶解させ、
前記樹脂の溶解物を含有し、前記配置面上に位置する前記溶解液を、前記細孔によって吸引して前記吸引室内に移動させ、
所望位置の前記網目が開けられた前記網含有樹脂層に含有される前記樹脂を硬化させて前記原版を得る原版製造方法。 - 前記樹脂には、光硬化性樹脂を用い、
所望位置の前記網目が開けられた前記網含有樹脂層に前記樹脂を硬化させる波長の光を照射して、前記網含有樹脂層に含有された前記樹脂を硬化させる請求項7記載の原版製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011009388A JP5726544B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011009388A JP5726544B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012148501A true JP2012148501A (ja) | 2012-08-09 |
| JP5726544B2 JP5726544B2 (ja) | 2015-06-03 |
Family
ID=46791255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011009388A Active JP5726544B2 (ja) | 2011-01-20 | 2011-01-20 | 吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5726544B2 (ja) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732569A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Riso Kagaku Corp | 印刷用原紙およびその製版方法 |
| JPH0747654A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Riso Kagaku Corp | 孔版印刷用原紙の製版方法 |
| JP2002187261A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-02 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
| JP2002225311A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Seiko Epson Corp | プラテンを汚すことなく印刷用紙の端部まで行う印刷 |
| JP2003191499A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-08 | Seiko Epson Corp | プラテン及び該プラテンを備えたインクジェット式記録装置 |
| JP2006205566A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
| JP2006248026A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 廃インク処理装置、記録装置、廃液処理装置および液体噴射装置 |
| JP2010099864A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Seiko Epson Corp | ミスト回収装置、液体噴射装置 |
-
2011
- 2011-01-20 JP JP2011009388A patent/JP5726544B2/ja active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0732569A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Riso Kagaku Corp | 印刷用原紙およびその製版方法 |
| JPH0747654A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Riso Kagaku Corp | 孔版印刷用原紙の製版方法 |
| JP2002187261A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-02 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
| JP2002225311A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-14 | Seiko Epson Corp | プラテンを汚すことなく印刷用紙の端部まで行う印刷 |
| JP2003191499A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-08 | Seiko Epson Corp | プラテン及び該プラテンを備えたインクジェット式記録装置 |
| JP2006205566A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
| JP2006248026A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 廃インク処理装置、記録装置、廃液処理装置および液体噴射装置 |
| JP2010099864A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Seiko Epson Corp | ミスト回収装置、液体噴射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5726544B2 (ja) | 2015-06-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102521991B1 (ko) | 반도체 디바이스 패키지 제작 프로세스들을 위한 평탄화 | |
| JP2015170828A (ja) | プラズマエッチング方法およびパターン化基板の製造方法 | |
| JP6603218B2 (ja) | 微細構造体の製造方法 | |
| JP2014110367A (ja) | ナノインプリント方法およびそれを用いたパターン化基板の製造方法 | |
| JP2013055146A (ja) | インプリント用レジスト材料、パターン形成方法、及びインプリント装置 | |
| CN1751805B (zh) | 喷墨涂布方法及显示元件制造方法 | |
| TW201428819A (zh) | 奈米壓印方法及使用其之圖案化基板之製造方法 | |
| CN104085195B (zh) | 液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备 | |
| JP5726544B2 (ja) | 吐出装置、スクリーン印刷用原版製造方法 | |
| TWI332442B (en) | Method for making fluid emitter orifice | |
| JP2007314791A (ja) | パターン形成用レジン組成物及びこれを利用するインプレーンプリンティング工程方法 | |
| US9260300B2 (en) | Pattern formation method and pattern formation apparatus | |
| JP6571028B2 (ja) | パターン形成方法 | |
| TW201640562A (zh) | 帶圖案形成罩幕用薄膜層的基體及圖案化基體的製造方法 | |
| KR101323926B1 (ko) | 박막층 구조와 그 제조방법 | |
| JP5794285B2 (ja) | 造形装置 | |
| US20120205782A1 (en) | Imprint Apparatus, Imprint Method, and Process Condition Selection Method | |
| KR102382369B1 (ko) | 전도성 미세패턴 형성장치 및 형성방법 | |
| JP2021044299A (ja) | インプリント方法、半導体装置の製造方法、及びインプリント装置 | |
| JP2016082045A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
| KR102351958B1 (ko) | 박막 패턴의 형성 방법 | |
| JP2001307980A (ja) | 半導体製品製造装置および半導体装置の製造方法 | |
| RU2020132943A (ru) | Пористый полимерный трехмерный объект сложной формы и способ изготовления пористого полимерного трехмерного объекта сложной формы | |
| Nakamura et al. | Print and imprint method for nanoimprint lithography with high-viscosity photo-curable resins | |
| JP2015056548A (ja) | インプリント装置及びインプリント方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131120 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140812 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140813 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20141006 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141006 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150317 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150401 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5726544 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |