JP2010118271A - 異方性導電シート、その製造方法、実装モジュール、電子製品、および検査装置。 - Google Patents

Abstract

【課題】 液晶パネル、プリント基板等（被検査体）の電極と、検査装置または実装品の電極との導通を確実にとった上で、被検査体の電極に損傷を生じるおそれのない、異方性導電シート等を提供する。
【解決手段】 絶縁性で厚み方向にクッション性を有するシート１と、シートの一方の表面である第１面１ａ上に形成された第１面配線パターン３ａと、第１面と反対側の表面である第２面１ｂに位置する第２面端子部３ｂと、第１面配線パターンと第２面端子部とを導通するためのシート面間導通部３ｃとを備えることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、異方性導電シート、その製造方法、実装モジュール、電子製品、および検査装置に関するものである。

液晶パネルの枠体には、ディスプレイの画素に対応する、走査線端子およびデータ線端子、の電極が高密度で配列される。液晶パネルディスプレイの製造工程では、短絡、断線、表示特性等を検査する検査工程が設けられている。この検査工程では、高密度配列（ファインピッチ）の電極に、検査装置の電極を確実に当接させて導通をとる必要がある（特許文献１）。一般に、高密度に配置された、液晶パネル枠体の電極と、検査装置の電極との間に、両方の電極を確実に導通させるために、接続部材が用いられる。たとえば、検査装置から順に、回路基板と、リードパターン付き可撓性基板とを配置し、当該リードの一側が回路基板の電極に接続され、他側が液晶パネルの電極に接続される接続部材が開示されている（特許文献２）。リードには、液晶パネルの電極との導通を確実にとるために、バンプ接点が形成される。このバンプ接点は、半球状に突き出ており、ニッケルのコアに金めっきが施されている。上記の回路基板にはドライバＩＣ（実装品）を組み込んだＴＡＢ（Tape Automated Bonding）が含まれており、上記検査が完了した後もそのまま液晶パネルの枠体に実装される。
上記の接続部材により、高密度に配列された、液晶パネルの電極と確実に導通をとって、高い信頼性の検査を行うことができる。上記特許文献１の検査装置においても、液晶パネル枠体の電極との導通に、特許文献２と同様に、可撓性基板に接続端子（上記リードに対応）が形成され、この接続端子により、液晶パネルの電極と導通をとることができる。
特開２０００−５６２８５号公報 特開平０８−２５４６７７号公報

上記の可撓性基板上のリードを用いると、当接のときの条件によっては、半球状バンプとの衝突によって、液晶パネルの電極に損傷が発生する。この液晶パネルの枠体の電極上には、上記のようにドライバＩＣが実装されるので、バンプ接点によって傷が付くと導通不良を生じて重大な不良となるおそれがある。
本発明は、液晶パネル、プリント基板等（被検査体）の電極と、検査装置または実装品の電極との導通を確実にとった上で、被検査体の電極に損傷を生じるおそれのない、異方性導電シート、その製造方法、電子製品、および検査装置を提供することを目的とする。

本発明の異方性導電シートは、絶縁性で、厚み方向にクッション性を有するシートと、シートの一方の表面である第１面上に形成された第１面配線パターンと、第１面と反対側の表面である第２面に位置する第２面端子部と、第１面配線パターンと第２面端子部とを導通するためのシート面間導通部とを備えることを特徴とする。

上記の第１面配線パターンは、配線から構成されるもので、圧力が集中する突起状部分を持たない。このため、シートのクッション性と合わせて、被検査体の電極と、第１面配線パターンとをコンタクトさせても、被検査体の電極に衝撃に起因する傷がつきにくく、またより少ない荷重で確実に導通をとることができる。また、上記の第２面端子部の配列を、検査装置や実装品の電極の配列パターンに合わせて、比較的、疎にしておき、第１面配線パターンの第１面上の所定領域のみ、被検査体の電極ピッチに合わせて、密な配列にすることは、製造上、実行が容易である。

上記のシートは、折り曲げられた状態で固定された倍尺シートによって形成され、シートの第１面および第２面は、折り曲げられる前の倍尺シートの一方の表面に対応し、第２面端子部が、第２面に形成された第２面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第２面配線パターンの他方の端部は第２面の一の辺の縁に位置し、第１面端子部が、第１面に形成された第１面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第１面配線パターンの他方の端部は、第１面の一の辺の縁に位置し、シート面間導通部は、第１面および第２面の一の辺をつなぐ端面上に位置して、第２面配線パターンの他方の端部と、第１面配線パターンの他方の端部とを接続しており、そして、第１面配線パターン、シート面間導通部、および第２面配線パターンが、倍尺シートの一方の表面に一体に連続して形成されたものとできる。これによって、シート／シート間隙／シートという多層構造によって、非常に高いクッション性を得て、被検査体の電極への当たりを柔らかくすることができる。
なお、第２面端子部を形成する第２面配線パターンの一方の端部は、端に限定されず、端を含んで第２面配線パターンの大部分を含んでもよい。また、配線パターンの用語は、配線パターン全体をさす場合と、配線パターン中の配線そのものをさす場合がある。また、２つの配線パターン間の連続、または導通とは、１つの配線パターン中の個々の配線が、他の配線パターン中の配線と、導通または連続することを意味する。これら用語の内容は、本発明の趣旨にそうように、十分広く解釈されるべきである。

上記の第２面端子部が、第２面に形成された第２面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第２面配線パターンの他方の端部は第２面の一の辺の縁に位置し、第１面配線パターンの他方の端部は、第１面の一の辺の縁に位置し、シート面間導通部は、第１面および第２面の一の辺の端面上に位置して、第２面配線パターンの他方の端部と、第１面配線パターンの他方の端部とを接続することができる。これによって、シートのクッション性および配線パターンの平坦性（突起状部分を持たないこと）により、被検査体の電極に傷がつきにくく、少ない荷重で確実に導通をとることができる。

上記のシート面間導通部を、シートを貫通する貫通導通部とし、第２面端子部を、該貫通する導通部の第２面に露出する端部とすることができる。これによって、第２面の配線を非常にコンパクトにすることができる。この場合、導通部はシートのクッション性を阻害しない構造をとることが望ましく、たとえば後で説明する多孔質樹脂の貫通孔に壁面を構成するフィブリルに付着する無電解金属めっき粒などで構成することが望ましい。

上記の第２面端子部のピッチと、第１面配線パターンのピッチが、異なるようにできる。これによって、被検査体の電極の狭ピッチ化に合わせて、検査装置等の電極との間に、確実な導通をとることができる。たとえば、第２面配線パターンの配列を、検査装置や実装品の電極の配列パターンに合わせて、比較的、疎にしておき、第１面配線パターンの第１面上の所定領域を、被検査体の電極ピッチに合わせて、密な配列にすることができる。

少なくとも第１面配線パターンの配線の下地のシート部分が畝状に突き出ているようにできる。これによって、より少ない荷重で、確実な導通を得ることができる。

シートを、多孔質樹脂、または圧縮弾性率が０．１ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の中実材によって形成することができる。これによって、十分なクッション性を得ることができる。中実材の場合、弾性率がＸ１未満では繰り返し使用によりシートが変形して適正な導通に支障をきたし、また弾性率がＸ２を超えると固くなりすぎ、上記電極に傷をつけるおそれが高くなる。上記圧縮弾性率０．１ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の中実材としては、各種ゴムやオレフィン系熱可塑性エラストマー等が該当する。多孔質樹脂の場合は、特殊な樹脂以外は、総体の弾性率は十分低く、クッション性は非常に高く、耐久性も兼ね備えるので、弾性率の限定は不要である。

上記のシートを延伸ポリテトラフルオロエチレンで形成することができる。これによって、高周波信号を低損失で流すことができる。

本発明の実装モジュールは、電子製品に実装され、上記のいずれかの異方性導電シートと、異方性導電シートの第２面端子部に接続された実装品とを備えることを特徴とする。これによって、液晶パネル等の電子製品の電極に傷をつけるおそれがなく、確実な導通をとることができる、駆動ＩＣ等を含む実装モジュールを得ることができる。

本発明の電子製品は、上記の実装モジュールを備えることを特徴とする。これによって、信頼性の高い電子製品を得ることができる。

本発明の検査装置は、上記のいずれかの異方性導電シートを備えた検査装置であって、異方性導電シートの第１面配線パターンを、被検査体の電極に接続することを特徴とする。これによって、被検査体の電極に傷をつけるおそれがない、信頼性の高い検査装置を得ることができる。

本発明の異方性導電シートの製造方法は、絶縁性で、厚み方向にクッション性のある倍尺シートの一方の表面に、一の辺に向かうように延在する、配線パターンを形成する工程と、配線パターンが形成された表面をおもて側にして、配線パターンの延在方向に交差する方向を折り曲げ線として折り曲げて、その折り曲げ状態を固定する工程とを備える。そして、折り曲げられ固定された状態の、一方の面上の配線パターンを第１面配線パターン、他方の面上の配線パターンを第２面配線パターンとし、かつ第１面配線パターンと第２面配線パターンとを接続する配線部分をシート面間導通部とすることを特徴とする。これによって、クッション性の高い異方性導電シートを得ることができる。また、検査装置と被検査体との導通を確実にとることができる。

本発明の別の異方性導電シートの製造方法は、絶縁性で、厚み方向にクッション性のあるシートの第１の表面に、一の辺に向かうように延在する、第１面配線パターンを形成する工程と、シートの第２の表面に、一の辺に向かうよう延在する第２面配線パターンを形成する工程と、シートの一の辺の端面に、第１面配線パターンと第２面配線パターンとを接続するシート面間導通部を形成する工程とを備えることを特徴とする。これによって、被検査体の電極に傷がつきにくくすることができる。また、検査装置と被検査体との導通を確実にとることができる。

本発明のさらに別の異方性導電シートの製造方法は、絶縁性で、厚み方向にクッション性のあるシートの第１の表面に、第１面配線パターンを形成する工程と、シートに貫通孔をあけて、該貫通孔に第１面から第２面にいたる貫通導通部を形成する工程とを備え、第１面配線パターンと、貫通導通部とが導通していることを特徴とする。これによって、第２面の配線パターンを非常に簡単に形成することができる。

第１面配線パターンの所定部分と、第２面配線パターンの所定部分または導通部の端のパターンとを、異なるピッチで形成することができる。これによって、液晶パネル等の被検査体の電極の狭ピッチ化に、容易に対応することができる。
なお、上記の第１面および／または第２面の配線パターンを、フォトリソプロセスまたはインクジェット方式によって、形成するのがよい。これら方法によれば、微細な配線パターンを正確に形成することができる。

本発明によれば、液晶パネル、プリント基板等（被検査体）の電極と、検査装置または実装品の電極との導通を確実にとった上で、被検査体の電極に損傷を生じるおそれのない、異方性導電シート等を得ることができる。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における異方性導電シート１０を示す図である。異方性導電シート１０では、シート１は倍尺シート１１が折り曲げられており、固定手段（接着、固定具など）Ｓによって、その折り曲げ状態が固定され、一枚のシート１として機能する。すなわち、図２に示すように、倍尺シート１１を折り曲げ線Ｋが１辺を形成するように折り曲げることで、異方性導電シート１０は形成される。シート１は３つの面を持つ。一方の面である第１の面１ａと、他方の面である第２面１ｂと、端面１ｃと、である。第１面１ａと端面１ｃとのなす角度、また第２面１ｂと端面１ｃとのなす角度は、直角になるようにするのがよい。
第１面１ａ上には第１面配線パターン３ａが、また第２面１ｂ上には第２面配線パターンが、形成される。そして、端面１ｃ上には、第１面配線パターン３ａと第２面配線パターンとを導通するための、シート面間導通部３ｃが形成されている。これら第１面配線パターン３ａ／シート面間導通部３ｃ／第２面配線パターンは、倍尺シートの表面１ａ，１ｃ，１ｂに、一体に連続に形成されたものであり、各配線パターン３ａ，３ｂとシート面間導通部３ｃと間に、界面というものはなく、一体物である。折り曲げ線Ｋは、シート１の一辺を構成し、この一辺に向かうように、第１面配線パターン３ａおよび第２面配線パターン３ｂは延在している。あとで詳しく説明するが、たとえば第１面配線パターン３ａは、液晶パネルの電極に押し当てられ、また第２面配線パターン３ｂは検査装置の電極と接触し、検査装置と液晶パネルとの導通をとるように用いられる。第２面配線パターン３ｂが、第２面端子部を構成する。このような検査装置による検査の場合、または実装品を電子製品等に実装する場合、異方性導電シート１０は、上下から圧縮荷重を受け、当該異方性導電シート１０を挟む上下の装置または部品に対して反発力（反力）を及ぼすように用いられる。

シート１（１１）には、多孔質樹脂または圧縮弾性率０．１ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の中実材を用いるのがよい。多孔質樹脂の場合、二軸延伸または一軸延伸によるものを用いるのがよい。これら多孔質樹脂については、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、オレフィン系熱可塑性エラストマー、密度０．９１ｇ／ｃｍ^２以下の超低密度ポリエチレン、シンジオタクチック1,2−ポリブタジエン、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン／ビニリデンフルオライドの三元共重合体のうちのいずれか一つ、または、これら熱可塑性高分子の２つ以上の混合物から構成されたものを用いることができる。多孔質化は、抽出法または延伸法によるのがよい。
中実材の場合についても、上記の弾性率範囲を満たす、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、オレフィン系熱可塑性エラストマー、密度０．９１ｇ／ｃｍ^２以下の超低密度ポリエチレン、シンジオタクチック1,2−ポリブタジエン、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン／ビニリデンフルオライドの三元共重合体のうちのいずれか一つ、または、これら熱可塑性高分子の２つ以上の混合物から構成されたものを用いることができる。
シートの材料の多孔質樹脂、または中実材については、このあと説明する実施の形態２以降の異方性導電シート１０のシート材についても同様である。
上記の倍尺シート１１の厚みの範囲は、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲とするのがよい。したがって図１に示すシート１の厚みの範囲は、折り曲げられて出来る間隙はほとんどゼロとみて、または固定手段Ｓで少し圧縮されることを考慮して、０．１ｍｍ〜１ｍｍとするのがよい。このあと説明する実施の形態２以降の、折り曲げのない単葉のシートの厚み範囲も、０．１ｍｍ〜１ｍｍとするのがよい。配線パターン３ａ，３ｂ，３ｃの厚み範囲は、シート１と同程度の、０．１ｍｍ〜１ｍｍとするのがよい。配線間の間隙は、電子製品等の電極配列に依存するが、通常、１００μｍ未満の場合が多い。配線巾は、電子製品の電極巾に依存するが、やはり１００μｍ程度またはそれ以下とする場合が多い。上記配線パターン中の配線の寸法については、このあと説明する実施の形態２以降の異方性導電シート１０の配線も同様である。

上記のシート１または倍尺シート１１は、上述のように、もともと、クッション性に富む、多孔質樹脂または所定の圧縮弾性率の中実材で形成されているが、折り曲げられて間に微小間隙を含む多層構造とされ、さらに一層高いクッション性を得ることができる。このため、たとえば液晶パネルのような電子製品の電極に、第２面配線パターン３ｂの部分が衝撃的に押し当てられても、高いクッション性の異方性導電シート１０によって衝撃荷重は吸収される。また、第１配線パターン３ａの平坦性による応力の分散（応力集中箇所の除去）も有効に作用する。この結果、液晶パネル等の電極に傷が発生するおそれはなくなる。また、各配線パターン３ａ，３ｂとシート面間導通部３ｃとの間に、いわゆる界面はなく一体物であり、一本の配線を、単に領域に形式的に分けて、名称を付しただけなので、異方性導電シート１０内の配線の導通は確実である。

上記のシート１または倍尺シートの材料には、上述のように、多孔質樹脂または圧縮弾性率０．１ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の範囲の中実材を用いるが、とくにＰＴＦＥを用いることにより、高周波信号の伝達に用いられる電子装置において損失を抑制することができる。ＰＴＦＥは、メガヘルツ領域の高周波に対して、比誘電率が２．１未満、誘電正接が０．０００２であり、他の樹脂に比べて、格段に高周波信号を伝播させ難い。このため、電極間に高周波信号を導通させる場合、シート１（１１）に漏れて流出することがない。よって高周波信号を導通させる検査装置、電子製品の場合、ＰＴＦＥのシート１（１１）を用いるのがよい。

つぎに図１に示す異方性導電シート１０の２つの製造方法について説明する。
（フォトリソグラフィ方式）：
図３（ａ）に示すように、多孔質樹脂または所定範囲の弾性率の材料で形成される倍尺シート１１に、レジスト液を塗布してレジスト膜４１を形成する。次いで図３（ｂ）に示すように、フォトマスクパターン（レチクル）を用いてＵＶ露光をする。このあと、現像等の工程を経て、図３（ｃ）に示すように、倍尺シート１１上に、開口４１ｈをもつレジストパターン４１が得られる。このレジストパターン４１付きの倍尺シート１１に対して、銅などの無電解めっきまたは電解めっきを行い、開口４１ｈに対応する倍尺シート１１に配線パターン３ａ，３ｂ，３ｃを形成する。シート１のクッション性を生かし、配線の硬さまたは剛性を高くしないためには、無電解めっきによって配線パターンを形成することが望ましい。配線３ａ，３ｂ，３ｃの厚みは、無電解めっき処理における浸漬時間を制御することで、十分高い精度を得ることができる。このあと、レジストパターン４１を除去すると、図２に示した状態のものが得られる。このあと折り曲げて、図１に示す異方性導電シート１０を得る。
（インクジェット方式）：
図４に示すように、インク容器に設けたノズル４５からインクジェットを出射して倍尺シート１１上に配線パターン３ａ，３ｂ，３ｃを形成する。インクには導電粒子が含まれており、インクジェットが倍尺シート１１に付着して乾燥後に相互に接触しあって配線にそって導通性をもつようにする。配線の線巾、シート材質に応じて、導電粒子の材質、粒子径、含有率等を調整することができる。配線パターンを形成後に、折り曲げて、図１に示す異方性導電シート１０を得る。
上記２つの方法は、実施の形態２以降の異方性導電シートの製造に用いることができる。また、製造方法は、上記に例示の２つに限定されず、その他の製造方法を用いてもよい。

（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２における異方性導電シート１０を示す図である。異方性導電シート１０は、シート面間導通部３ｃを端面１ｃ上の配線によって形成する。端面１ｃにおける配線パターン３ｃの断面図を、図６（ａ）または（ｂ）に示す。図６（ａ）では、端面１ｃ上の配線３ｃは、配線３ａ，３ｂの端を画するように延びており、また図６（ｂ）では、配線３ａ、３ｂが、端面の配線３ｃを挟むように延びている。また、図示はしないが、配線３ａ，３ｂと、配線３ｃとの界面が、シート面１ａ，１ｂに対して斜めになるように、すなわち、図６（ａ）と（ｂ）の中間の態様のシート面間接続部３ｃであってもよい。
シート１の材料、寸法、および配線３ａ，３ｂ，３ｃの形成方法、寸法などについては、実施の形態１において説明したものが適用される。また、第２面配線パターン３ｂが第２面端子部を構成することも、実施の形態１と同様である。作用効果についても、折り曲げたシートを用いることないが、十分高いクッション性を確保し、かつ第１配線パターンの平坦性により、液晶パネル等の電子製品の電極に傷を付けることが防止される。
本実施の形態における異方性導電シート１０では、第１面配線パターン３ａおよび第２面配線パターン３ｂは、実施の形態１に示した２つのいずれの方法によっても形成することができる。端面１ｃ上の配線３ｃ、またはシート面間導通部については、図７に示すように、複数枚のシート１を重ねて積層体として、その端面１ｃの全体に対して、たとえばインクジェット方式で配線を形成するのがよい。重ねることで、端面の配線３ｃの長さが増し、インクジェット方式等で配線を描きやすくなる。また、上記の積層体の最上面（トップ）または最下面（ボトム）に、配線を描くときの助走となるダミーを配置してもよい。また、ダミーについては、配線３ｃが連続して、隣接するシートを分離しにくい場合に、隣接するシート間に、配線３ｃも含めて分離が容易な材料で形成された分離用のダミーシートを挿入してもよい。第１面および第２面の配線パターン３ａ，３ｂについては、（１）端面１ｃの配線３ｃを形成する前に形成しておいてもよいし、（２）端面１ｃの配線３ｃを形成したあとに形成してもよい。（１）および（２）のいずれも、図６（ａ）もしくは（ｂ）の端面の配線の構造、またはこれら中間の構造を持たせることができる。

（実施の形態３）
図８は、本発明の実施の形態３における異方性導電シート１０を示す図である。図８（ａ）の異方性導電シート１０は、貫通導通部３ｃの第２面側の端部を第２面端子部３ｂとしている。これに対して、図８（ｂ）では、貫通導通部３ｃの端部に連続させて第２面配線パターン３ｂを形成し、これによって第２面端子部を構成している。どちらの場合も、本実施の形態に含まれる。いずれの異方性導電シート１０も、たとえば第２面の端子部３ｂ（３ｃ）または配線パターン３ｂを、検査装置または実装品の電極に当て、また第１面配線パターン３ａを、液晶パネル等の電極に当てる。
図９は、第１面１ａ上の第１配線パターン３ａを示す斜視図である。仮に、図８（ａ）の異方性導電シートとした場合、第２面１ｂ側の端子部３ｂの配列を、千鳥状に交互にしているので、配列間隔を、第１面配線パターン３ａの間隔より大きくとることができる。このため、たとえば第２面側を検査装置に導通させ、第１面側を電子製品に導通させることにより、電子製品における電極のファインピッチ化の趨勢に対応しやすくなる。
シートの製造方法、材料、寸法等、および配線３ａ，３ｂ，３ｃの寸法、製造方法は、実施の形態１で説明したものを適用する。なお、貫通導通部３ｃの形成方法については、本発明者らによる多くの特許文献に開示がされており、それを参考にして容易に貫通導通部を形成することができる。また、貫通孔の開口については、近年のレーザ加工技術の進歩により、フェムト秒のパルスレーザを用いてもよい。上記シートの材料および厚みに基づき、シート１はクッション性に富み、かつ第１面配線パターンは平坦なので、第１面配線パターン３ａ電極を損傷することはない。

（実施の形態４）
図１０は、本発明の実施の形態４における異方性導電シート１０を示す図である。この異方性導電シート１０では、第１面配線パターン３ａと第２面配線パターン３ｂのピッチが、異なり、第１面配線パターン３ａで狭くなっている。間隔が大きい第２面配線パターン３ｂと、間隔が小さい第１面配線パターン３ａとを連続させるシート間導通部の配線３ｃは、上記大きい間隔から小さい間隔へとテーパがついている。この間隔変化の移行部は、本実施の形態では、端面１ｃ上に位置し、端面上の配線３ｃが分担している。しかし、間隔変化の移行部は、第１面１ａに位置してもよいし、第２面１ｂに位置してもよい。また、端面１ｃと、第１面１ａまたは第２面１ｂとの、両面、または３面で分担してもよい。このことは、図１１に示す倍尺シート１１での配線３ａ，３ｂ，３ｃにおいて、間隔の移行部（テーパ形成部）を、どの部分に配置するか、ということで、本実施の形態における本質ではない。

このような、電極のピッチの変換は、実施の形態３における図９の異方性導電シート１０でも確認されたが、ピッチ変換における当該ピッチを自由に選択できるという点で、本実施の形態の異方性導電シート１０は徹底している。このため、液晶パネル等の電子製品の電極のファインピッチ化により確実に追随して、どのような電極のファインピッチにも適切な異方性導電シート１０を提供することができる。
シートの製造方法、材料、寸法等、および配線３ａ，３ｂ，３ｃの寸法、製造方法は、実施の形態１で説明したものを適用する。上記シートの材料および厚みに基づき、シート１はクッション性に富むので、配線パターン３ａ，３ｂが電極を損傷することはない。
なお、実施の形態２における異方性導電シートについて、本実施の形態におけるように、ピッチを第１面と第２面とで変化させることは容易にできる。また、実施の形態３における図８（ｂ）の第２面配線パターン３ｂと、第１面配線パターン３ａとを、本実施の形態の異方性導電シートのように構成することは容易である。この場合、間隔変化の移行部を、たとえば、第１面に位置させるのがよい。上記の、実施の形態２の変形例（または実施の形態４と、実施の形態２との組み合わせ）、および実施の形態３の変形例（または実施の形態４と、実施の形態３との組み合わせ）は、本発明の範囲に含まれるものである。

（実施の形態５）
図１２は、本発明の実施の形態５における異方性導電シート１０を示す図である。本実施の形態の異方性導電シート１０では、配線３ａ，３ｂが載る台状部Ｔと、その周囲を含むその余の領域の薄肉部Ｂとで、シート１（１１）が構成される点に特徴がある。台状部Ｔは、配線３ａ，３ｂに沿って延在するので、畝状に突き出ている、ということができる。このような台状部Ｔまたはその余の領域の薄肉部Ｂの形成によって、検査の際、圧縮荷重を受ける部分は台状部Ｔになるので、より少ない荷重で導通をとることができる。

図１２に示す異方性導電シート１０の製造方法を、図１３および図１４に示す。倍尺シート１１上に配線パターン３ａ，３ｂ，３ｃを形成したものを準備し、これに対してプレス圧縮加工によって、配線３ａ，３ｂの周囲に、当該配線３ａ，３ｂ以外の領域に、薄肉部Ｂを形成する。台状部Ｔは、プレス加工前の、もとのシート厚を維持するように、形成するのがよい。すなわちプレス圧縮加工によって、台状部Ｔはひずみ等の変形を受けないようにする。たとえば多孔質樹脂を用いることで、薄肉部Ｂに限定したプレス圧縮が可能になる。プレス加工は室温での冷間プレスが寸法精度向上、工数節減より、好ましい。

シートの製造方法、材料、寸法等、および配線３ａ，３ｂ，３ｃの寸法、製造方法は、実施の形態１で説明したものを適用する。上記シートの材料および厚みに基づき、シート１はクッション性に富むので、配線パターン３ａ，３ｂが電極を損傷することはない。
なお、実施の形態２における異方性導電シートについて、本実施の形態におけるように、台状部Ｔと薄肉部Ｂとで構成することは容易にできる。また、実施の形態３における図８（ａ）および（ｂ）の異方性導電シートを、本実施の形態の異方性導電シートのように構成することは容易である。上記の、実施の形態２の変形例（または実施の形態５と、実施の形態２との組み合わせ）、および実施の形態３の変形例（または実施の形態５と、実施の形態３との組み合わせ）は、本発明の範囲に含まれるものである。上記組み合わせの２例ともに、図１２における折り曲げ状態の固定手段Ｓを除けば、それが、上記組み合わせ発明の異方性導電シート１０の断面図を表示する。

（実施の形態６）
図１５は、本発明の実施の形態６における異方性導電シート１０、または、それを用いた検査装置７０ａを示す断面図である。液晶パネル等の電子製品５０は、固定テーブル７５に一時的に固定されている。検査装置７０の検査ヘッド７３は、位置合わせ軸７９に挿通されており、その位置合わせ軸に沿って電子製品５０に接近する。検査ヘッド７３と、電子製品５０との間には、異方性導電シート１０が挿入されている。異方性導電シート１０は、実施の形態１〜５のいずれかまたはその組み合わせの異方性導電シート１０を用いることができる。検査ヘッド７３の電極７４は、異方性導電シート１０の第２面配線パターン３ｂと対向しており、また電子製品の電極５４は、異方性導電シート１０の第１面配線パターン３ａと対向している。検査ヘッド７３の接近により、これら対向する、電極７４，５４と配線パターン３ｂ，３ａとは、当接して圧力を受けるにいたる。検査装置７０の検査ヘッド７３の電極７４は、異方性導電シート１０を介在させて、電子製品５０の電極５４と導通し、必要な、電圧、電流のデータを採取する。これらデータは制御・解析部７１において解析される。

図１５において、異方性導電シート１０を検査装置７０に付属するものとして、異方性導電シート付き検査装置７０ａとみることができる。このような異方性導電シート付き検査装置７０ａは、クッション性に富むシート１と平坦な第１面配線パターン３ａとを備えるので、上記の当接の際に、衝撃を和らげ、傷を防止する。このため電子製品５０の電極５４に損傷を与えることなく、確実な導通を得ることができる。異方性導電シート１０は、また、第１面配線パターン３ａと、第２面配線パターン３ｂとの間で、ピッチを代えることができるので、電子製品５０の型式に応じて電極配列が変化した場合、検査装置７０の検査ヘッド７３の電極７４の配列を変えることなく、それに対応することができる可能性がある。

（実施の形態７）
図１６は、本発明の実施の形態７における異方性導電シート１０、または、それを用いた実装モジュール２０ａ、若しくはその実装モジュールを備えた電子製品５０ａを示す正面図である。実装品２０には、駆動ＩＣなどの半導体チップやそれを搭載するＴＡＢなどが含まれている。液晶パネル等の電子製品５０は、図１５に示した電子製品と同じである。実装品２０と電子製品５０との間に、異方性導電シート１０が介在する。異方性導電シート１０は、実施の形態１〜５のいずれかまたはその組み合わせの異方性導電シート１０を用いることができる。実装品２０は、付勢力によって電子製品５０に近づくようにされ、異方性導電シート１０は圧縮される。この結果、実装品の電極２４／異方性導電シートの第２面配線パターン３ｂ、のコンタクト、および、異方性導電シートの第１面配線パターン３ａ／電子製品の電極２４、のコンタクト、がともに起きる。このコンタクトの際に、シート１の高いクッション性と、平坦な第１面配線パターン３ａのために衝撃が和らげられる。

図１６において、実装品２０について、異方性導電シート付き実装品２０ａとみることができる。また、電子製品５０について、その異方性導電シート付き実装品２０ａを備える電子製品５０ａとみることができる。異方性導電シート１０を備えることで、（１）上記衝撃の緩和およびその結果として電極損傷の防止を得ることができ、（２）さらに、電子部品２０の電極２４の配列変化、または電子製品５０の電極５４の配列変化が生じた場合、異方性導電シート１０を用いることで、その変化を第１面および／または第２面の配線パターンの変化によって、吸収することができる可能性がある。これによって、実装品２０の電極２４の配列に、大きな変化を生じさせなくてもよい場合がある。

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

本発明によれば、液晶パネル、プリント基板等（被検査体）の電極と、検査装置または実装品の電極との導通を確実にとった上で、被検査体の電極に損傷を生じるおそれのない、異方性導電シート等を得ることができ、検査、実装等の分野において、貢献することができる。

本発明の実施の形態１における異方性導電シートを示す斜視図である。 図１の異方性導電シートを製造するために、倍尺シートに配線パターンを形成した状態を示す図である。 実施の形態１における異方性導電シートのフォトリソグラフィ方式による配線パターンの製造方法を示し、（ａ）はレジストを塗布した状態を、（ｂ）はＵＶ露光の状態を、（ｃ）は現像等によってレジストパターンを形成した状態を、を示す図である。 実施の形態１における異方性導電シートのインクジェット方式による配線パターンの製造方法を示す図である。 本発明の実施の形態２における異方性導電シートを示す斜視図である。 図５の異方性導電シートの端面の断面図であり、（ａ）は端面上の配線が、第１面および第２面の配線パターンを画する場合、（ｂ）は、第１面および第２面の配線パターンが端面上の配線を挟み場合、を示す図である。 本実施の形態の異方性導電シートの端面上の配線を形成する方法を説明するための図である。 本発明の実施の形態３における異方性導電シートを示す断面図であり、（ａ）は第２面端子部を貫通導通部の端部とする場合、（ｂ）は第２面端子部を第２面配線パターンとする場合、を示す。 図８の異方性導電シートの第１面を見た斜視図である。 本発明の実施の形態４における異方性導電シートを示す斜視図である。 図１０の異方性導電シートを製造するために、倍尺シートに配線パターンを形成した状態を示す図である。 本発明の実施の形態５における異方性導電シートを示す断面図である。 図１２の異方性導電シートの製造において、倍尺シートに金型を用いてプレスする状態を示す図である。 図１３において金型によりプレス加工を受けた倍尺シートを示す図である。 本発明の実施の形態６における異方性導電シートおよび検査装置を示す断面図である。 本発明の実施の形態７における異方性導電シート、それを備える実装モジュール、電子製品等を示す図である。

符号の説明

１ シート、１ａ シート第１面、１ｂ シート第２面、１ｃ シート端面、３ａ 第１面の配線パターン、３ｂ 第２面の配線パターン、３ｃ シート面間導通部（端面上の配線パターンまたは貫通導通部）、１０ 異方性導電シート、１１ 倍尺シート、２０ 被実装品、２０ａ 実装モジュール、２４ 電極、４１ レジスト膜またはレジストパターン、４１ｈ 開口部、４５ インクジェットのノズル、５０ 電子製品、５０ａ 実装品が実装された電子製品、５４ 電極、７０ 検査装置、７０ａ 異方性導電シート付き検査装置、７１ 制御・解析部、７３ 検査ヘッド、７４ 電極、７９ 位置合わせ軸、Ｂ 薄肉部、Ｋ 折り曲げ線、Ｓ 固定手段（接着剤等）、Ｔ 台状部。

Claims (15)

1. 絶縁性で、厚み方向にクッション性を有するシートと、
   前記シートの一方の表面である第１面上に形成された第１面配線パターンと、
   前記第１面と反対側の表面である第２面に位置する第２面端子部と、
   前記第１面配線パターンと前記第２面端子部とを導通するためのシート面間導通部とを備えることを特徴とする、異方性導電シート。
2. 前記シートは、折り曲げられた状態で固定された倍尺シートによって形成され、前記シートの第１面および第２面は、前記折り曲げられる前の倍尺シートの一方の表面に対応し、前記第２面端子部が、前記第２面に形成された第２面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第２面配線パターンの他方の端部は前記第２面の一の辺の縁に位置し、前記第１面端子部が、前記第１面に形成された第１面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第１面配線パターンの他方の端部は、前記第１面の一の辺の縁に位置し、前記シート面間導通部は、前記第１面および第２面の一の辺をつなぐ端面上に位置して、前記第２面配線パターンの他方の端部と、前記第１面配線パターンの他方の端部とを接続しており、そして、前記第１面配線パターン、前記シート面間導通部、および前記第２面配線パターンが、前記倍尺シートの前記一方の表面に一体に連続して形成されたものであることを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
3. 前記第２面端子部が、前記第２面に形成された第２面配線パターンの一方の端部によって形成され、該第２面配線パターンの他方の端部は前記第２面の一の辺の縁に位置し、前記第１面配線パターンの他方の端部は、前記第１面の一の辺の縁に位置し、前記シート面間導通部は、前記第１面および第２面の一の辺の端面上に位置して、前記第２面配線パターンの他方の端部と、前記第１面配線パターンの他方の端部とを接続することを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
4. 前記シート面間導通部が、前記シートを貫通する貫通導通部であり、前記第２面端子部が、該貫通導通部の第２面に露出する端部、または当該端部に連続する第２面配線パターンの端部であることを特徴とする、請求項１に記載の異方性導電シート。
5. 前記第２面端子部のピッチと、前記第１面配線パターンのピッチが、異なることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
6. 少なくとも前記第１面配線パターンの配線の下地のシート部分が畝状に突き出ていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
7. 前記シートが、多孔質樹脂、または圧縮弾性率が０．１ＭＰａ以上３００ＭＰａ以下の中実材によって形成されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
8. 前記シートが延伸ポリテトラフルオロエチレンで形成されていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の異方性導電シート。
9. 電子製品に実装されるモジュールであって、請求項１〜８のいずれか１項に記載の異方性導電シートと、前記異方性導電シートの前記第２面端子部に接続された実装品とを備えることを特徴とする、実装モジュール。
10. 請求項９に記載の実装モジュールを備えることを特徴とする、電子製品。
11. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の異方性導電シート、または請求項９の実装モジュール、を備えた検査装置であって、前記異方性導電シートの第１面配線パターンを、被検査体の電極に接続することを特徴とする、検査装置。
12. 絶縁性で、厚み方向にクッション性のある倍尺シートの一方の表面に、一の辺に向かうように延在する、配線パターンを形成する工程と、
    前記配線パターンが形成された表面をおもて側にして、前記配線パターンの延在方向に交差する方向を折り曲げ線として折り曲げて、その折り曲げ状態を固定する工程とを備え、
    前記折り曲げられ固定された状態の、一方の面上の配線パターンを第１面配線パターン、他方の面上の配線パターンを第２面配線パターンとし、かつ第１面配線パターンと第２面配線パターンとを接続する配線部分をシート面間導通部とすることを特徴とする、異方性導電シートの製造方法。
13. 絶縁性で、厚み方向にクッション性のあるシートの第１の表面に、一の辺に向かうように延在する、第１面配線パターンを形成する工程と、
    前記シートの第２の表面に、前記一の辺に向かうよう延在する第２面配線パターンを形成する工程と、
    前記シートの一の辺の端面に、前記第１面配線パターンと第２面配線パターンとを接続するシート面間導通部を形成する工程とを備えることを特徴とする、異方性導電シートの製造方法。
14. 絶縁性で、厚み方向にクッション性のあるシートの第１の表面に、第１面配線パターンを形成する工程と、
    前記シートに貫通孔をあけて、該貫通孔に第１面から第２面にいたる貫通導通部、または、さらに該貫通導通部の端部に連続する配線パターン、を形成する工程とを備え、
    前記第１面配線パターンと、前記貫通導通部とが導通していることを特徴とする、異方性導電シートの製造方法。
15. 前記第１面配線パターンの端側部分と、前記第２面配線パターンの端側部分または前記導通部の端のパターンとが、異なるピッチで形成されることを特徴とする、請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の異方性導電シートの製造方法。
    

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