JP2010112849A - 電気抵抗測定用シート、電気抵抗測定用コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 小サイズの多数の被検査電極を有する被検査回路基板でも所要の電気的接続が達成され、被検査電極の突出高さにバラツキがあっても、異方導電性エラストマーシートに長い使用寿命が得られ、全ての被検査電極に対して安定した電気的接続が達成される電気抵抗測定用シート、コネクター装置および回路基板の電気抵抗測定装置の提供。
【解決手段】 本発明の電気抵抗測定用シートは、絶縁性シートの表面に被検査電極に対応して配置された、２つの電流供給用電極および２つの電圧測定用電極よりなる接続用電極組と、絶縁性シートの裏面に配置された、電流供給用電極および電圧測定用電極の一方に電気的に接続された中継電極とを有し、厚み方向に透視したときに、中継電極が、電流供給用電極および電圧測定用電極に重ならない位置に配置されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、回路基板における配線の電気抵抗を測定するために用いられる電気抵抗測定用シート、電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置に関する。

近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２６に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。

しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。

このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されており、具体的には、（ｉ）電流供給用電極および電圧測定用電極上に、それぞれの電極に対応して導電路形成部が形成された異方導電性エラストマーシートが配置されてなる電気抵抗測定装置（特許文献１参照。）、（ii）同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーシートよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置（特許文献２参照。）、（iii ）表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーシートよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置（特許文献３参照。）などが知られている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。

しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図２７に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図２８（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図２７に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向（図において左右方向）に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。

また、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々を、互いに電気的に絶縁された状態で一の被検査電極に同時に電気的に接続するためには、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能の高い異方導電性エラストマーシートを用いることが必要となる。そして、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得るためには、当該異方導電性エラストマーシートの厚みを小さくすることが肝要である。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、被検査電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。

一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。

このような問題を解決するため、絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組を有してなり、接続用電極組の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなるコネクター板と、電流供給用電極および電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能に設けられた複合導電性シートとを具えてなる電気抵抗測定用コネクター装置が提案されている（特許文献４参照。）。
このような電気抵抗測定用コネクター装置によれば、被検査電極が位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。

しかしながら、上記の電気抵抗測定用コネクター装置により、突起状の被検査電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する場合には、以下のような問題があることが判明した。 突起状の被検査電極を有する回路基板の電気的抵抗の測定においては、当該被検査電極の突出高さにバラツキがあるため、異方導電性エラストマーシートの一部の個所には、突出高さの高い被検査電極によって過大な押圧力が作用する結果、当該異方導電性エラストマーシートに故障が生じやすくなる。特に、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートを用いる場合には、その強度が小さいものであるため、当該異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じやすくなり、従って、異方導電性エラストマーシートの使用寿命が短くなる。
また、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートは、分解能が高いものではあるが、厚み方向の弾性変形量が小さくて凹凸吸収能が低いものであるため、突出高さにバラツキのある被検査電極を有する回路基板に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難である。

特開平９−２６４４６号公報 特開２０００−７４９６５号公報 特開２０００−２４１４８５号公報 特開２００８−１２２２４０号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、サイズの小さい多数の被検査電極を有する被検査回路基板に対しても所要の電気的接続を確実に達成することができ、突起状の被検査電極を有し、当該被検査電極の突出高さにバラツキがある被検査回路基板であっても、異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じることがなくて長い使用寿命が得られ、しかも、全ての被検査電極に対して安定した電気的接続が達成され、高い接続信頼性が得られる電気抵抗測定用シート、電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。

本発明の電気抵抗測定用シートは、絶縁性シートと、
この絶縁性シートの表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、２つの電流供給用電極および２つの電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる接続用電極組と、
前記絶縁性シートの裏面に配置された、前記接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
厚み方向に透視したときに、前記中継電極が、前記接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれにも重ならない位置に配置されていることを特徴とする。

本発明の電気抵抗測定用シートにおいては、接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなることが好ましい。
また、一の接続用電極組における２つの電流供給用電極は、共通の中継電極に電気的に接続されていることが好ましい。
また、一の接続用電極組における２つの電圧測定用電極は、共通の中継電極に電気的に接続されていることが好ましい。

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、上記の電気抵抗測定用シートと、この電気抵抗測定用シートの表面に、異方導電性エラストマーシートを介して配置された複合導電性シートとを具えてなり、
前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置においては、電気抵抗測定用シートの裏面には、異方導電性エラストマーシートを介して他の複合導電性シートが配置されており、当該複合導電性シートは、中継電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることが好ましい。
また、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることが好ましい。

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする。

本発明によれば、電気抵抗測定用シートの接続用電極組における２つの電流供給用電極が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されることにより、当該矩形における辺方向に被検査電極が位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。従って、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。
また、電気抵抗測定用シートをその厚み方向に透視したときに、中継電極が、接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれにも重ならない位置に配置されているため、被検査回路基板の電気抵抗を測定する際に、中継電極および接続用電極組における各電極が押圧されたときには、これらの電極が押圧方向に変位するよう湾曲する。すなわち、中継電極と接続用電極組における各電極とは、互いに反対方向から押圧力を受けるため、絶縁性シートが強制的に波形状に変形し、いわば板バネとして機能する結果、被検査電極の突出高さにバラツキがあることにより、電気抵抗測定用シートの表面および裏面に配置された異方導電性エラストマーシートの一部の個所に過大な押圧力が作用しても、電気抵抗測定用シートによるバネ弾性によって、当該異方導電性エラストマーシートに作用する押圧力が緩和される。従って、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が突起状の被検査電極を有し、当該被検査電極の突出高さにバラツキがあるものであっても、異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じることがなくて当該異方導電性エラストマーシート本来の長い使用寿命を得ることができる。
また、被検査回路基板の電気抵抗を測定する際に、電気抵抗測定用シートが被検査電極の各々の突出高さに応じて変形するため、異方導電性エラストマーシートとして厚みの小さいものを使用しても、被検査電極の突出高さにバラツキが十分に吸収される。従って、被検査回路基板が、被検査電極のピッチが小さく、被検査電極の突出高さにばらつきがあるものであっても、全ての被検査電極に対して安定した電気的接続が達成され、高い接続信頼性が得られる。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用シート〉
図１は、本発明の電気抵抗測定用シートの一例における要部を示す平面図であり、図２は、図１に示す電気抵抗測定用シートの要部を示す説明用断面図である。
この電気抵抗測定用シート１１は、柔軟な絶縁性シート１２を有し、この絶縁性シート１２の表面には、複数の接続用電極組１３が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（図１において一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１３の各々は、２つの矩形の電流供給用電極１４および２つの矩形の電圧測定用電極１５の合計４つの電極よりなり、これらの４つの電極は、電流供給用電極１４の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、電圧測定用電極１５の各々が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されるよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性シート１２の裏面には、複数の中継電極１６が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１６の各々には、絶縁性シート１２に形成された配線部１７によって、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれか一方が電気的に接続されている。図示の例では、一の接続用電極組１３における２つの電流供給用電極１４は、共通の中継電極１６に電気的に接続され、一の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１４は、共通の中継電極１６に電気的に接続されている。
そして、この電気抵抗測定用シート１１においては、中継電極１６の各々が、当該電気抵抗測定用シート１１の厚み方向に透視したときに、接続用電極組１３における電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれにも重ならない位置に配置されている。

絶縁性シート１２を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。また、絶縁性シート１２は、単層構成のものであっても多層構成のものであってもよい。
絶縁性シート１２の厚みは、当該絶縁性シート１２が可撓性または柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば５〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜５０μｍである。

電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
また、電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる。

接続用電極組１３における電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間の離間距離は、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜８０μｍである。この離間距離が過小である場合には、電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間に必要な絶縁性を確保することが困難となることがあり、また、当該電気抵抗測定用シート１１の製造が困難となることがある。一方、この離間距離が過大である場合には、被検査電極に対する位置ずれの許容度が小さくなり、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方を被検査電極に確実に電気的に接続することが困難となることがある。

〈電気抵抗測定用コネクター装置〉
図３は、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図であり、図４は、図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置における第１の複合導電性シートを拡大して示す説明用断面図であり、図５は、図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置における第２の複合導電性シートを拡大して示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置１０は、上記の電気抵抗測定用シート１１と、この電気抵抗測定用シート１１の表面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１８と、当該電気抵抗測定用シート１１の裏面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１９と、第１の異方導電性エラストマーシート１８の表面に配置された第１の複合導電性シート２０と、第２の異方導電性エラストマーシート１９の裏面に配置された第２の複合導電性シート２５と、第１の複合導電性シート２０の表面に配置された第３の異方導電性エラストマーシート２８とにより構成されている。

この例における第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができるが、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０^-1ｓｅｃで１０⁵ ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。

また、第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８の各々の厚みは、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは２５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。

第１の異方導電性エラストマーシート１８は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図６に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１８の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１８の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図７に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図７において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１８Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１８Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図７において下面）が導電性エラストマー用材料１８Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

次いで、図８に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１８Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１８Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、図９に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１８Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１８Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図１０に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１８Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１８が製造される。

以上において、導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１８Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１８Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

また、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８は、第１の異方導電性エラストマーシート１８と同様の方法によって製造することができる。

第１の複合導電性シート２０は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈが電気抵抗測定用シート１１における電流供給用電極１４およひ電圧測定用電極１５のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の各貫通孔２１Ｈに当該絶縁性シート２１の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体２２とにより構成されている。
また、第２の複合導電性シート２５は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２６Ｈが電気抵抗測定用シート１１における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート２６と、この絶縁性シート２６の各貫通孔２６Ｈに当該絶縁性シート２６の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体２７とにより構成されている。
第１の複合導電性シート２０および第２の複合導電性シート２５における剛性導体２２，２７の各々は、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈに挿通された円柱状の胴部２２ａ，２７ａと、この胴部２２ａ，２７ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート２１，２６の表面に露出する端子部２２ｂ，２７ｂとにより構成されている。剛性導体２２，２７における胴部２２ａ，２７ａの長さは、絶縁性シート２１，２６の厚みより大きく、また、当該胴部２２ａ，２７ａの径は、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈの径より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体２２，２７は、絶縁性シート２１，２６の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体２２，２７における端子部２２ｂ，２７ｂの径は、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈの径より大きいものとされている。

絶縁性シート２１，２６を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、電気抵抗測定用コネクター装置１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート２１，２６として、線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０^-6〜２×１０^-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０^-6〜６×１０^-6／Ｋである。このような絶縁性シート２１を用いることにより、当該絶縁性シート２１の熱膨張による剛性導体２２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート２１，２６の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈの径は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。

剛性導体２２，２７を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
剛性導体２２，２７における胴部２２ａ，２７ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、当該剛性導体２２，２７に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈの径と剛性導体２２，２７における胴部２２ａ，２７ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート２１，２６の厚み方向に対して剛性導体２２，２７を移動させることが困難となることがある。
剛性導体２２，２７における端子部２２ｂ，２７ｂの径と絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈの径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体２２，２７が絶縁性シート２１，２６から脱落する恐れがある。
剛性導体２２，２７における端子部２２ｂ，２７ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート２１，２６の厚み方向における剛性導体２２，２７の移動可能距離、すなわち剛性導体２２における胴部２２ａの長さと絶縁性シート２１の厚みとの差は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体２２，２７の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体２２，２７の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート２１，２６の貫通孔２１Ｈ，２６Ｈから露出する剛性導体２２，２７の胴部２２ａ，２７ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体２２，２７の胴部２２ａ，２７ａが座屈または損傷するおそれがある。

第１の複合導電性シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図１１に示すように、絶縁性シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１２に示すように、金属層２３Ａに所要のパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１３に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２１Ｈを形成する。そして、図１４に示すように、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈが形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする剛性導体２２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と形成すべき剛性導体２２における胴部２２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。

そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの各々に剛性導体２２を形成する。具体的に説明すると、図１５に示すように、絶縁性シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性シート２１の他面の各々に、形成すべき剛性導体２２における端子部２２ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数のパターン孔２４Ｈが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させて絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈ内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｈ内に金属を充填することにより、図１６に示すように、絶縁性シート２１の厚み方向に伸びる剛性導体２２を形成する。
このようにして剛性導体２２を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図１７に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを除去することにより、第１の複合導電性シート２０が得られる。

また、第２の複合導電性シート２５は、第１の複合導電性シート２０と同様の方法によって製造することができる。

上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０においては、図１８に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用シート１１における各接続用電極組１３が当該被検査回路基板１の各一面側被検査電極２上に位置するよう配置され、適宜の手段によって押圧されることにより、被検査回路基板１の一面側被検査電極２が、第３の異方導電性エラストマーシート２８、第１の複合導電性シート２０の剛性導体２２および第１の異方導電性エラストマーシート１８を介して、電気抵抗測定用シート１１における接続用電極組１３における電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５に電気的に接続される。一方、電気抵抗測定用シート１１における中継電極１６は、第２の異方導電性エラストマーシート１９を介して第２の複合導電性シート２５の剛性導体２７に電気的に接続される。
このような状態において、電流供給用電極１４を介して被検査回路基板１の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被検査回路基板１における一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、この指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。

このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、電気抵抗測定用シート１１における各接続用電極組１３には、２つの電流供給用電極１４が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極１５が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されており、第１の複合導電性シート２０には、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５に対応して剛性導体２２が配置されているため、当該矩形における辺方向に、一面側被検査電極２が位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、少なくとも１つの電流供給用電極１４および少なくとも１つの電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的な例を挙げて説明すると、図１９（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１９（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１９（ハ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１９（ニ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、電気抵抗測定用シート１１の中継電極１６は、当該電気抵抗測定用シート１１をその厚み方向に透視したときに、接続用電極組１３における電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれにも重ならない位置に配置されているため、被検査回路基板１の電気抵抗を測定する際に、中継電極１６および接続用電極組１３における各電極が押圧されたときには、これらの電極が押圧方向に変位するよう絶縁性シート１２が湾曲する。すなわち、図２０に模式的に示すように、中継電極１６と接続用電極組１３における各電極とは、互いに反対方向から押圧力を受けるため、絶縁性シート１２が強制的に波形状に変形し、いわば板バネとして機能する結果、一面側被検査電極２の突出高さにバラツキがあることにより、電気抵抗測定用シート１１の表面および裏面に配置された各異方導電性エラストマーシートの一部の個所に過大な押圧力が作用しても、電気抵抗測定用シート１１によるバネ弾性によって、これらの異方導電性エラストマーシートに作用する押圧力が緩和される。
また、被検査回路基板１の電気抵抗を測定する際に、電気抵抗測定用シート１１が一面側被検査電極２の各々の突出高さに応じて変形するため、第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８として厚みの小さいものを使用しても、一面側被検査電極２の突出高さにバラツキが十分に吸収される。

更に、第１の複合導電性シート２０の剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、一面側被検査電極２によって厚み方向に加圧されたときには、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第３の異方導電性エラストマーシート２８は、剛性導体２２が絶縁性シート２１の厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形し、これにより、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置１０の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第３の異方導電性エラストマーシート２８の合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。

従って、上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、サイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有する被検査回路基板１についても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、突起状の一面側被検査電極２の突出高さにバラツキがあっても、第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８の各々の一部の個所に、突出高さの高い一面側被検査電極２によって過大な押圧力が作用することが防止されるので、これらの異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じることがなくて長い使用寿命を得ることができ、しかも、全ての一面側被検査電極２に対して安定した電気的接続が達成され、高い接続信頼性を得ることができる。

本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１としては、図２１（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２のみを有し、当該一面側被検査電極２間に形成された回路４ａのみを有するもの、図２１（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂのみを有するもの、図２１（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２間に形成された回路４ａおよび一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。

〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図２２は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を、被検査回路基板と共に示す説明図であり、図２３は、図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図２２において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図２２において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されている。

上部側アダプター４０においては、被検査回路基板１の一面側（図２２において上側）に配置される、例えば図３に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図２２において上面）には、第１の上部側異方導電性シート４４を介して一面側検査用回路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基板４１の表面（図２２において下面）には、電気抵抗測定用シート１１における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極４２が配置され、当該一面側検査用回路基板４１の裏面（図２２において上面）には、後述する電極板４８の標準配列電極４９の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極４３が配置されおり、この端子電極４３の各々は対応する検査電極４２に、電気的に接続されている。

一面側検査用回路基板４１の裏面上には、第２の上部側異方導電性シート４５を介して電極板４８が設けられている。この電極板４８は、その表面（図２２において下面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極４９を有し、これらの標準配列電極４９の各々は、第２の上部側異方導電性シート４５を介して一面側検査用回路基板４１の端子電極４３に電気的に接続されると共に、電極板４８の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。

この例における第１の上部側異方導電性シート４４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用シート１１の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の上部側異方導電性シート４５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の上部側異方導電性シート４４および第２の上部側異方導電性シート４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。

下部側アダプター５０においては、他面側検査用回路基板５１が設けられ、この他面側検査用回路基板５１の表面（図２２において上面）には、被検査回路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに対応するパターンに従って、１つの他面側被検査電極３に対して、互いに離間して配置された電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂよりなる検査電極対が、他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう配置されている。他面側検査用回路基板５１の裏面には、後述する電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂが配置されており、これらの電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂの各々は、対応する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂに電気的に接続されている。

他面側検査用回路基板５１の表面上には、異方導電性エラストマー層５５が一体的に形成されている。この異方導電性エラストマー層５５には、検査電極対の各々を構成する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂの両方の表面（図２２において上面）に接する共通の導電路形成部５６が形成され、隣接する導電路形成部５６の間には、これらを相互に絶縁する絶縁部５７が形成されている。導電路形成部５６は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部５７は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。また、この例の異方導電性エラストマー層５５においては、導電路形成部５６の表面（図２２において上面）が絶縁部５７の表面から突出した状態で形成されている。

他面側検査用回路基板５１の裏面（図２２において下面）には、下部側異方導電性シート６２を介して電極板６０が設けられている。
電極板６０および下部側異方導電性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板４８および第２の上部側異方導電性シート４５に対応するものであり、電極板６０は、その表面（図２２において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極６１を有し、これらの標準配列電極６１の各々は、下部側異方導電性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流供給用端子電極５３ａまたは電圧測定用端子電極５３ｂに電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート６２は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。

異方導電性エラストマー層５５における導電路形成部５６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。
この比が１を超える場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、導電路形成部５６における導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
このような異方導電性エラストマー層５５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
また、異方導電性エラストマー層５５および下部側異方導電性シート６２を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。

他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極３の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。

以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第３の異方導電性エラストマーシート２８が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、他面側検査用回路基板５１の表面上に形成された異方導電性エラストマー層５５が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。

この測定状態において、電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極５２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０に、図３に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられているため、被検査回路基板１がサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、突起状の一面側被検査電極２の突出高さにバラツキがあっても、第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８の各々の一部の個所に、突出高さの高い一面側被検査電極２によって過大な押圧力が作用することが防止されるので、これらの異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じることがなくて長い使用寿命を得ることができ、しかも、全ての一面側被検査電極２に対して安定した電気的接続が達成され、高い接続信頼性を得ることができる。

図２４は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成を、被検査回路基板と共に示す説明図であり、図２５は、図２４に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図２４において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図２４において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプター４０は、図２２に示す電気抵抗測定装置における上部側アダプターと同様の構成である。

下部側アダプター５０においては、被検査回路基板１の他面側（図２４において下側）に配置される、例えば図３に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図２４において下面）には、第１の下部側異方導電性シート６４を介して他面側検査用回路基板５１が配置されており、この他面側検査用回路基板５１の裏面上には、第２の下部側異方導電性シート６５を介して電極板６０が設けられている。この電極板６０は、図２２に示す電気抵抗測定装置の下部側アダプターにおける電極板と同様の構成である。
他面側検査用回路基板５１の表面（図２４において上面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極５２が配置され、当該他面側検査用回路基板５１の裏面（図２４において下面）には、電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極５３が配置されおり、この端子電極５３の各々は対応する検査電極５２に、電気的に接続されている。

この例における第１の下部側異方導電性シート６４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、下部側アダプター５０における電気抵抗測定用シート１１の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の下部側異方導電性シート６５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の下部側異方導電性シート６４および第２の下部側異方導電性シート６５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。

以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第３の異方導電性エラストマーシート２８が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第３の異方導電性エラストマーシート２８が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。

この測定状態において、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４との間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された電圧測定用電極１５との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の各々に、図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられているため、被検査回路基板１がサイズの小さい多数の一面側被検査電極２および他面側被検査電極３を有するものであっても、当該一面側被検査電極２および他面側被検査電極３に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、突起状の一面側被検査電極２および他面側被検査電極３の突出高さにバラツキがあっても、第１の異方導電性エラストマーシート１８、第２の異方導電性エラストマーシート１９および第３の異方導電性エラストマーシート２８の各々の一部の個所に、突出高さの高い一面側被検査電極２および他面側被検査電極３によって過大な押圧力が作用することが防止されるので、これらの異方導電性エラストマーシートに早期に故障が生じることがなくて長い使用寿命を得ることができ、しかも、全ての一面側被検査電極２に対して安定した電気的接続が達成され、高い接続信頼性を得ることができる。

本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。
例えば電気抵抗測定用シート１１は、複数の接続用電極組１３における電流供給用電極１４に電気的に接続された中継電極１６を有するものであってもよい。このような電気抵抗測定用シート１１によれば、中継電極１６の数が少なくなり、従って、当該電気抵抗測定用コネクター装置１０が電気的に接続される検査用回路基板における検査電極の数を少なくすることができるので、検査用回路基板の製造が容易となり、また、検査用回路基板の製造コストの低減化を図ることができる。
また、回路基板の電気抵抗測定装置においては、下部側アダプター５０の他面側検査用回路基板５１は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂが電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
また、異方導電性エラストマー層５５としては、電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂの各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。

本発明の電気抵抗測定用シートの一例における要部を示す平面図である。 図１に示す電気抵抗測定用シートの要部を示す説明用断面図である。 本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図である。 図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置における第１の複合導電性シートを拡大して示す説明用断面図である。 図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置における第２の複合導電性シートを拡大して示す説明用断面図である。 第１の異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。 図８に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。 図８に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。 複合導電性シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。 積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。 積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。 複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。 被検査回路基板の一面上に、図３に示す電気抵抗測定用コネクター装置が配置された状態を示す説明用断面図である。 電気抵抗測定用コネクター装置における接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。 電気抵抗測定用シートの変形状態を模式的に示す示す説明図である。 被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明図である。 図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明図である。 図２４に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。 電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。

符号の説明

１ 被検査回路基板
２ 一面側被検査電極
３ 他面側被検査電極
４ａ，４ｂ 回路
１０ 電気抵抗測定用コネクター装置
１１ 電気抵抗測定用シート
１２ 絶縁性シート
１３ 接続用電極組
１４ 電流供給用電極
１５ 電圧測定用電極
１６ 中継電極
１７ 配線部
１８ 第１の異方導電性エラストマーシート
１８Ａ 導電性エラストマー用材料層
１８Ｂ 導電性エラストマー用材料
１９ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ 第１の複合導電性シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性シート
２１Ｈ 貫通孔
２２ 剛性導体
２２ａ 胴部
２２ｂ 端子部
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｈ パターン孔
２５ 第２の複合導電性シート
２６ 絶縁性シート
２６Ｈ 貫通孔
２７ 剛性導体
２７ａ 胴部
２７ｂ 端子部
２８ 第３の異方導電性エラストマーシート
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
４０ 上部側アダプター
４１ 一面側検査用回路基板
４２ 検査電極
４３ 端子電極
４４ 第１の上部側異方導電性シート
４５ 第２の上部側異方導電性シート
４８ 電極板
４９ 標準配列電極
５０ 下部側アダプター
５１ 他面側検査用回路基板
５２ 検査電極
５３ 端子電極
５２ａ 電流供給用検査電極
５２ｂ 電圧測定用検査電極
５３ａ 電流供給用端子電極
５３ｂ 電圧測定用端子電極
５５ 異方導電性エラストマー層
５６ 導電路形成部
５７ 絶縁部
５９ テスター
６０ 電極板
６１ 標準配列電極
６２ 下部側異方導電性シート
６４ 第１の下部側異方導電性シート
６５ 第２の下部側異方導電性シート
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
９３ 電源装置
９４ 電気信号処理装置
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 電圧測定用回路

Claims (8)

1. 絶縁性シートと、
   この絶縁性シートの表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、２つの電流供給用電極および２つの電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなる接続用電極組と、
   前記絶縁性シートの裏面に配置された、前記接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
   厚み方向に透視したときに、前記中継電極が、前記接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれにも重ならない位置に配置されていることを特徴とする電気抵抗測定用シート。
2. 接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が互いに離間して配置されてなることを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用シート。
3. 一の接続用電極組における２つの電流供給用電極は、共通の中継電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用シート。
4. 一の接続用電極組における２つの電圧測定用電極は、共通の中継電極に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電気抵抗測定用シート。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用シートと、この電気抵抗測定用シートの表面に、異方導電性エラストマーシートを介して配置された複合導電性シートとを具えてなり、
   前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター装置。
6. 電気抵抗測定用シートの裏面には、異方導電性エラストマーシートを介して他の複合導電性シートが配置されており、当該複合導電性シートは、中継電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする請求項５に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
7. 複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。
8. 請求項５乃至請求項７のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。

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